UA96022C2 - Обработка борсодержащих хлорсилановых потоков - Google Patents
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Abstract
Изобретение касается способа получения обедненных бором хлорсиланов из борсодержащей хлорсилановой смеси путем дистилляционного отделения обогащенного бором перегонного потока. Изобретение касается также устройства для получения обедненных бором хлорсиланов из борсодержащей хлорсилановой смеси.
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