TWM454623U - 移載裝置 - Google Patents

Description

移載裝置

本創作是一種移載裝置，特別是一種可經由透光檢測盤檢測之移載裝置。

隨著科技的進步以及知識的進展，半導體或是面板等等之科技產業亦發展迅速，而如何提升產品良率，亦是每家廠商所關心之議題，無論是材料或是製程，甚或是檢驗，在每個過程中皆是環環相扣，而為了檢測出人眼難以窺見之缺陷，通常需要較為精密之檢測儀器協助檢測。

目前科技廠商在藉助儀器進行檢測時，大多都需要透過光學元件檢測。惟傳統之檢測機台，於檢測料片時，僅能對料片之一面作檢測如需要對另一面作檢測時，常需要再藉由其他裝置翻轉料片，基此，傳送機台需要有額外空間用以進行翻轉工程，以達到料片能夠進行雙面檢測。

此外，傳統機台進行料片檢測之Tray盤，其光學元件僅能位於Tray盤之上方對料片作檢測，而無法透過其他方向對料片檢測，因此，亦造成要對料片作雙面檢測時，需要先對料片翻面才能進行檢測之步驟。

因此，如何改良移載裝置，使得移載裝置能於Tray盤上直接進行多個面向之檢測，而無需透過翻轉料片，亦能完成檢測料片之工作係為本案之創作人以及從事此相關行業之技術領域者亟欲改善的課題。

有鑑於此，本創作提出一種移載裝置，係運用於 機台，用以檢測待測物，包含：載盤，連接於機台，用以放置待測物；透光檢測盤，包含第一面及第二面，透光檢測盤連接於機台，用以放置待測物；載台本體，連接於機台而鄰近於載盤與透光檢測盤之一側；真空吸持件，連接於載台本體，用以吸持載盤上之待測物，且移載待測物至透光檢測盤之第一面上；及二光學檢測元件，分別位於透光檢測盤之二側，其中一光學檢測元件面對第一面檢測待測物，另一光學檢測元件面對第二面檢測待測物。

基此，透光檢測盤鄰近於載盤，且與載盤約略呈同一水平面。並且載盤與透光檢測盤皆為真空射出成型。

再者，載盤與該透光檢測盤分別更包含複數容置槽，用以置放該待測物。此外，載台本體更包含驅動軸，驅動軸之一端連接於真空吸持件，用以驅動真空吸持件移載待測物至透光檢測盤。

本創作藉由透光檢測盤之設置，以及利用載台本體將待測物自載盤移載至透光檢測盤上，使光學檢測元件能經由不同面向直接於透光檢測盤上對待測物作檢測，解決習知Tray盤無法作雙面檢測，並且需要翻轉料片之問題。

以下在實施方式中詳細敘述本創作之詳細特徵以及優點，其內容足以使任何熟悉相關技藝者瞭解本創作之技術內容並據以實施，且根據本說明書所揭露之內容、申請專利範圍及圖式，任何熟習相關技藝者可輕易地理解本創作相關之目的及優點。

10‧‧‧載盤

20‧‧‧透光檢測盤

21‧‧‧第一面

22‧‧‧第二面

30‧‧‧載台本體

31‧‧‧驅動軸

40‧‧‧真空吸持件

50‧‧‧光學檢測元件

60‧‧‧待測物

70‧‧‧容置槽

80‧‧‧翻轉機構

第1圖為本創作移載裝置之示意圖(一)。

第2圖為本創作移載裝置之俯視圖。

第3圖為本創作移載裝置之示意圖(二)。

第4圖為本創作移載裝置另一實施例之示意圖。

請參閱第1圖所示，第1圖為本創作移載裝置之示意圖(一)。本創作之移載裝置，係運用於機台(圖中未示)，用以檢測待測物60，包含有載盤10、透光檢測盤20、載台本體30、真空吸持件40及光學檢測元件50。

載盤10為概呈矩形之平板結構，其較佳地係為PVC材質，並且以真空射出成型所製成。基此，載盤10係連接於機台(圖中未示)，用以放置待測物60。

透光檢測盤20為概呈矩形之平板結構，其較佳地係為PVC材質，並且以真空射出成型所製成。基此，透光檢測盤20之大小較佳地係對應於載盤10之大小而設置，進一步而言，透光檢測盤20之大小係約略等同於載盤10之大小。此外，透光檢測盤20更具有第一面21及第二面22，基此，透光檢測盤20係連接於機台，且其第一面21處係亦可用於放置待測物60。

透光檢測盤20與載盤10不同之地方在於，透光檢測盤20係為可透光之材質，進一步而言，光線照射至透光檢測盤20上時，光線可穿射過透光檢測盤20，而載盤10係光線所無法穿射。再者，透光檢測盤20之位置係鄰近於載盤10，並且約略與載盤10呈同一水平面，惟此處僅為舉例，透光檢測盤20之位置係可視使用者之需求而設置。

請參閱第1圖及第2圖所示，第2圖為本創作移載裝置之俯視圖。本創作之透光檢測盤20與載盤10，其分別具有複數個容置槽70，以本創作而言，容置槽70係成相互對應排列，並且容置槽70之形狀為概呈矩形，惟此處僅為舉例，本創作並非以此為限。當本創作之移載裝置所欲檢測之待測物60如面積較大，則待測物60將覆蓋於容置槽70上。如待 測物60之面積較小，則待測物60將落入於容置槽70內，基此，則可視容置槽70之數量多寡，同時檢測該些數量之待測物60。

再請參閱第1圖所示，載台本體30係連接於機台，並且鄰近於載盤10與透光檢測盤20而位於載盤10與透光檢測盤20之一側。基此，本創作更具有真空吸持件40，連接於載台本體30，藉由真空吸持件40之設置，可吸持載盤10上之待測物60，並將待測物60吸離開載盤10之表面。基此，載台本體30更具有驅動軸31，其驅動軸31之一端係連接於真空吸持件40，藉由驅動軸31之設置，當真空吸持件40吸持住待測物60並使其離開載盤10表面時，可驅動真空吸持件40將待測物60移載至透光檢測盤20上，並將待測物60置於透光檢測盤20之第一面21處。

光學檢測元件50係分別位於透光檢測盤20之二側，參照第1圖所示，其中一光學檢測元件50係位於透光檢測盤20之第一面21處之上方，另一光學檢測元件50係位於透光檢測盤20之第二面22處之下方。

請參閱第3圖所示，第3圖為本創作移載裝置檢測之示意圖(二)。當本創作進行待測物檢測時，先藉由真空吸持件40吸持住待測物60並使其離開載盤10表面，再藉由驅動軸31驅動真空吸持件40將待測物60移載至透光檢測盤20上。當待測物60落於透光檢測盤20之第一面21處之後，光學檢測元件50即對於待測物進行檢測，基此，位於透光檢測盤20之第一面21處上方之光學檢測元件50面對第一面21檢測待測物60。位於透光檢測盤20之第二面22處下方之另一光學檢測元件50，則面對第二面22檢測待測物60。因本創作之透光檢測盤20係可透光性。因此，位於第一面21處之待測物60，亦可經由第二面22處觀之，更進一步而言，透過透光檢測盤20之可透光性，二個光學檢測元件50即可分 別位於透光檢測盤20之第一面21處及第二面22處，而各自對位於第一面21上之待測物60作檢測。

請參閱第4圖所示，第4圖為本創作移載裝置另一實施例之示意圖。本實施例與前述實施例不同之地方在於，本創作係藉由翻轉機構80取代真空吸持件40，並利用翻轉機構80翻轉透光檢測盤20及載盤10，以使待測物能往返來回於透光檢測盤20及載盤10。

本實施例係藉由翻轉機構80翻轉透光檢測盤20，使透光檢測盤20覆蓋於載盤10上，並且在第一面21包覆待測物60後，將待測物60壓於載盤10與透光檢測盤20之間，再翻轉透光檢測盤20並連動翻轉載盤10回至透光檢測盤20之原定位，使得待測物60落於透光檢測盤20上方時，再將載盤10翻轉至載盤10之原定位。基此，光學檢測元件50即對於待測物進行檢測，位於透光檢測盤20之第一面21處上方之光學檢測元件50面對第一面21檢測待測物60，位於透光檢測盤20之第二面22處下方之另一光學檢測元件50，則面對第二面22檢測待測物60。

待檢測完畢之後再翻轉載盤10覆蓋於透光檢測盤20上，將待測物60壓於載盤10與透光檢測盤20之間，再翻轉載盤10與透光檢測盤20回至載盤10之原定位，使得待測物60落於載盤10上方時，再將透光檢測盤20翻轉至透光檢測盤20之原定位。

本創作之移載裝置藉由透光檢測盤之設置，以及利用載台本體將待測物自載盤移載至透光檢測盤上，使光學檢測元件能經由不同面向直接於透光檢測盤上對待測物作檢測，解決習知粹盤無法作雙面檢測，並且需要翻轉料片之問題。

雖然本創作的技術內容已經以較佳實施例揭露如上，然其並非用以限定本創作，任何熟習此技藝者，在不 脫離本創作之精神所作些許之更動與潤飾，皆應涵蓋於本創作的範疇內，因此本創作之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

10‧‧‧載盤

20‧‧‧透光檢測盤

21‧‧‧第一面

22‧‧‧第二面

30‧‧‧載台本體

40‧‧‧真空吸持件

50‧‧‧光學檢測元件

60‧‧‧待測物

Claims (11)

1. 一種移載裝置，係運用於一機台，用以檢測一待測物，包含：一載盤，連接於該機台，用以放置該待測物；一透光檢測盤，包含一第一面及一第二面，該透光檢測盤連接於該機台，用以放置該待測物；一載台本體，連接於該機台而鄰近於該載盤與該透光檢測盤之一側；一真空吸持件，連接於該載台本體，用以吸持該載盤上之該待測物，且移載該待測物至該透光檢測盤之該第一面上；及二光學檢測元件，分別位於該透光檢測盤之二側，其中一該光學檢測元件面對該第一面檢測該待測物，另一該光學檢測元件面對該第二面檢測該待測物。
2. 如請求項1所述之移載裝置，其中該透光檢測盤鄰近於該載盤，且與該載盤約略呈同一水平面。
3. 如請求項1所述之移載裝置，其中該載盤為真空射出成型。
4. 如請求項1所述之移載裝置，其中該透光檢測盤為真空射出成型。
5. 如請求項1所述之移載裝置，其中該載盤與該透光檢測盤分別更包含複數容置槽，用以置放該待測物。
6. 如請求項1所述之移載裝置，其中該載台本體更包含一驅動軸，該驅動軸之一端連接於該真空吸持件，用以驅動該真空吸持件移載該待測物至該透光檢測盤。
7. 一種移載裝置，係運用於一機台，用以檢測一待測物，包含：一載盤，連接於該機台，用以放置該待測物；一透光檢測盤，包含一第一面及一第二面，該透光檢測盤連接於該機台，用以放置該待測物；一載台本體，連接於該機台而鄰近於該載盤與該透光檢測盤之一側；一翻轉機構，連接於該載台本體，用以翻轉該透光檢測盤及該載盤，使該待測物移載至該透光檢測盤；及二光學檢測元件，分別位於該透光檢測盤之二側，其中一該光學檢測元件面對該第一面檢測該待測物，另一該光學檢測元件面對該第二面檢測該待測物。
8. 如請求項7所述之移載裝置，其中該透光檢測盤鄰近於該載盤，且與該載盤約略呈同一水平面。
9. 如請求項7所述之移載裝置，其中該載盤為真空射出成型。
10. 如請求項7所述之移載裝置，其中該透光檢測盤為真空射出成型。
11. 如請求項7所述之移載裝置，其中該載盤與該透光檢測盤分別更包含複數容置槽，用以置放該待測物。