TW201423089A - 檢測裝置 - Google Patents
檢測裝置 Download PDFInfo
- Publication number
- TW201423089A TW201423089A TW101146854A TW101146854A TW201423089A TW 201423089 A TW201423089 A TW 201423089A TW 101146854 A TW101146854 A TW 101146854A TW 101146854 A TW101146854 A TW 101146854A TW 201423089 A TW201423089 A TW 201423089A
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- module
- web
- optical
- detecting
- detecting device
- Prior art date
Links
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
一種檢測裝置,係運用於機台,包含:載台,用以置放料片;光學檢測模組,設置於載台上方,用以檢測料片;及反射鏡組,設置於載台與光學檢測模組之間,包含:光源模組,用以發射光線至料片;及反射板,可調整地連接於光源模組而鄰近於料片之側邊;其中,投射至側邊之光線反射至反射板,光學檢測模組對反射板取側邊影像。
Description
本發明是一種檢測裝置,特別是一種可檢測料片空焊或缺焊之檢測裝置。
隨著科技的進步以及知識的進展,科技產業亦隨之發展迅速,而如何提升各項產品良率,亦是每家廠商所關心之議題,無論是材料或是製程,甚或是檢驗,在每個過程中皆是環環相扣,而為了檢測出人眼難以窺見之缺陷,通常需要較為精密之檢測儀器協助檢測。儀器檢測一般比較常見的是在半導體產業的應用,例如對各類晶片、積體電路等電子元件、印刷電路板,或是LCD螢幕等,進行表面刮傷、瑕疵、異物等各式缺陷檢測。
目前科技廠商在藉助儀器進行檢測時,大多都需要透過光學元件檢測。惟傳統之檢測機台,於檢測料片時,大多藉由一台攝像元件對料片作檢測,而其僅能檢測料片一個面向,如需檢測其他面向,例如料片之四個側邊時,即需要再增加一台攝像元件,並擺設在不同方位,以對其側邊處進行缺陷檢側。因此,目前市面上為檢側料片是否有空焊(未焊接有焊點)或缺焊(焊點焊接不完整)之問題,皆是採用增加攝像元件之方法,以對料片之側邊處進行檢測。惟以此方法檢測不僅造成成本之增加,再者,因增加之攝像元件其要另外擺放於料片之側邊處,以對側邊進行檢測,因此,亦造成了機台整體體積過大的問題。
因此,如何改良檢測裝置,使得檢測裝置能對料片進行一個面向檢測時,亦能同時檢測側邊處焊點空焊或缺焊,並且減低機台製造成本及機台
體積之縮減係為本案之發明人以及從事此相關行業之技術領域者亟欲改善的課題。
有鑑於此,本發明提出一種檢測裝置,係運用於機台包含:載台,用以置放料片;光學檢測模組,設置於載台上方,用以檢測料片;及反射鏡組,設置於載台與光學檢測模組之間,包含:光源模組,用以發射光線至料片;及反射板,可調整地連接於光源模組而鄰近於料片之側邊;其中,投射至側邊之光線反射至反射板,光學檢測模組對反射板取側邊影像。
再者,本發明更包含連接軸,用以連接光學檢測模組與反射鏡組。基此,光學檢測模組與反射鏡組係設置於定位,轉動料片,使料片之每一側邊對應反射板,並位於光學檢測模組下方。光學檢測模組係可位移至料片之每一側邊上方,並旋轉光學檢測模組而連動反射板對應料片之每一側邊。
本發明更提出一種檢測裝置,係運用於機台包含:載台,用以置放料片;光學檢測模組,設置於載台上方,用以檢測料片;及反射鏡組,設置於載台與光學檢測模組之間,包含:光源模組,用以發射光線至料片;及二反射板,可調整地連接於光源模組而鄰近於料片相鄰之二側邊;其中,投射至二側邊之光線反射至對應之反射板,光學檢測模組對二反射板分別取側邊影像。
再者,本發明更包含連接軸,用以連接光學檢測模組與反射鏡組。基此,光學檢測模組與反射鏡組係設置於定位,轉動料片,使料片每一相鄰之二側邊對應反射板,且相鄰之二側邊之交界處位於光學檢測模組下方。光學檢測模組係可位移至料片相鄰之二側邊之交界處上方,並旋轉光學檢
測模組而連動反射板對應料片每一相鄰之二側邊。
本發明更提出一種檢測裝置,係運用於機台包含:載台,用以置放料片;光學檢測模組,設置於載台上方,用以檢測料片;及反射鏡組,設置於載台與光學檢測模組之間,包含:光源模組,用以發射光線至料片;及複數反射板,可調整地連接於光源模組而分別鄰近於料片之側邊;其中,投射至側邊之光線反射至對應之反射板,光學檢測模組對每一反射板取側邊影像,且對料片之頂面取頂面影像。
再者,本發明更包含連接軸,用以連接光學檢測模組與反射鏡組。基此,光學檢測模組係可位移至料片之每一側邊上方,並連動反射板分別對應料片之側邊。
本發明藉由具有反射材質之反射板,反射投射至料片側邊處之光線,使得攝像元件藉由對反射板取像,而能僅藉由一台攝像元件就能直接對料片之四個側邊處作檢測,解決習知料片檢測空焊或缺焊需要額外增加攝像元件,造成成本過高體積過大之問題。
以下在實施方式中詳細敘述本發明之詳細特徵以及優點,其內容足以使任何熟悉相關技藝者瞭解本發明之技術內容並據以實施,且根據本說明書所揭露之內容、申請專利範圍及圖式,任何熟習相關技藝者可輕易地理解本發明相關之目的及優點。
請參閱第1圖所示,第1圖為本發明檢測裝置第一實施例之示意圖。本發明之檢測裝置,係運用於機台(圖中未示),包含有載台10、光學檢測模組20及反射鏡組30。
載台10為概呈矩形之立體結構,其具有一平面可用以放置料片40。基此,本發明之檢測裝置係於此載台10之區域進行料片40之檢測。以本發明而言,料片40係具有四個側邊矩形結構,本發明之檢測裝置係可用以檢測料片40四個側邊處之空焊或缺焊缺陷。惟本發明之料片40並非限定為四個邊,前述係僅為舉例,本發明之檢測裝置係可用以檢測包含任意邊數之料片40。
光學檢測模組20係設置位於載台10之上方,用以檢測料片40。基此,光學檢測模組較佳地係可為電荷耦合元件(Charge Coupled Device,CCD),或是互補式金屬氧化物半導體(Complementary Metal-Oxide-Semiconductor,CMOS),但本發明並非以此為限。
反射鏡組30係設置於載台10與光學檢測模組20之間,基此,反射鏡組30係具有光源模組31與反射板32。其中,光源模組31係具有一連接板33及光源34,光源34較佳地可為一環狀光源,但本發明並非以此為限。再者,反射板32係可調整地連接於光源模組31之一側,其較佳地係連接於連接板33之外側邊緣處而鄰近於料片40之側邊,並且反射板32係可調整地轉動角度。此外,反射板32更具有反射材質,能用以反射光線,其反射材質(亦稱為不透光材質)較佳地可為金、錫、銅、銀、鐵、鉛、鎘、鉬、鋡、釹、鈦、鉭、或其它材料、或上述之氮化物、或上述之氧化物、或上述之合金、或上述之組合,但本發明並非以此為限。
基此,當光源模組31發射光線後,光線將投射至料片40後,經由光學反射,使得光學檢測模組20得以對料片40取得影像執行檢測。此外,投射至料片40側邊處之光線,亦會經由光學反射至反射板32,再經由調整
反射板32之角度,使得光線能再反射至光學檢測模組20。基此,光學檢測模組20即可對反射板32取得料片40之側邊影像,使得本發明僅需一台光學檢測模組20即可對料片40之側邊作焊點空焊或缺焊之缺陷檢測。
再者,本發明更包含連接軸50,用以連接光學檢測模組20及反射鏡組30,其連接軸50較佳地係連接於連接板33上,使得光學檢測模組20與反射鏡組30連為一體。
請參閱第2圖所示,第2圖為本發明檢測裝置第一實施例之俯視圖。當本發明欲對料片40作檢測時,可先將光學檢測模組20及反射鏡組30設置於定位,並藉由轉動載台10使得置於其上之料片40轉動,或是其他方式轉動料片40,使得料片40經由轉動之後每一個側邊皆能對應至反射板32,並且側邊係位於光學檢測模組20之下方。基此,料片40在經由轉動之後,光學檢測模組20皆能透過反射板32對料片40之每一個側邊取側邊影像並作檢測。
再者,本發明亦能藉由移動光學檢測模組20及反射鏡組30,使光學檢測模組20及反射鏡組30位移至料片40之每一側邊上方,同時旋轉光學檢測模組20,並藉由連接軸50連動反射鏡組30使得反射板能同時移動對應至料片40之每一側邊。基此,以此方式亦能對料片40之每一側邊取側邊影像並作檢測。
請參閱第3圖所示,第3圖為本發明檢測裝置第二實施例之示意圖。第二實施例不同之地方在於,第二實施例係具有二個反射板32,且二個反射板32為彼此相鄰,並可調整地連接於光源模組31上,而鄰近於料片40相鄰之二側邊。
請參閱第4圖所示,第4圖為本發明檢測裝置第二實施例之俯視圖。第二實施例欲進行檢測時,亦可藉由轉動載台10使得置於其上之料片40轉動,或是其他方式轉動料片40,使得料片40經由轉動之後每一個相鄰之二側邊皆能對應至二個反射板32。基此,第二實施例之料片40轉動後,其料片40之二個相鄰側邊之交界處,係位於光學檢測模組20之下方,使得光學檢測模組20能同時對二個側邊進行檢測,惟本發明並非以此為限。
以第二實施例而言,其矩形料片在進行完第一次之相鄰二個側邊檢測後,僅需要轉動載台10或料片40一次,使得剩餘之相鄰二個側邊對應至二個反射板32,即能完成檢測,不同於第一實施例,其係矩形料片係檢測完一個側邊之後,需再轉動載台10或料片40三次,才能完成所有檢測。
此外,第二實施例亦可藉由移動光學檢測模組20及反射鏡組30,使光學檢測模組20及反射鏡組30位移至料片40之二個相鄰側邊之交界處上方,進行檢測後,再移動並旋轉光學檢測模組20,以對其餘之相鄰二個側邊進行檢測。
請參閱第5圖所示,第5圖為本發明檢測裝置第三實施例之示意圖。第三實施例不同之地方在於,第三實施例係具有複數個反射板32,並可調整地連接於光源模組31上,以本實施例而言,反射板32較佳地可為四個,但本發明並非以此為限。
請參閱第6圖所示,第6圖為本發明檢測裝置第三實施例之俯視圖(一)。當料片40如尺寸較小時,光學檢測模組20及反射鏡組30位於料片40中間上方時,反射板32恰可全部位於料片40之外側,使得光學檢測模組20可同時對料片40之側邊取得側邊影像,及頂面41取得頂面影像。
請參閱第7圖所示,第7圖為本發明檢測裝置第三實施例之俯視圖(二)。當欲對料片40進行檢測時,例如為矩形料片,如矩形料片尺寸較大而超過反射板32之外側,則可藉由移動載台10或料片40,使得矩形料片之每一個側邊能移動至光學檢測模組20下方,因第三實施例之反射板32數量係對應矩形料片之側邊數,因此,第三實施例之載台10或料片40僅需作位移而不需要作轉動,即可進行檢測。
此外,第三實施例亦可藉由移動光學檢測模組20及反射鏡組30,使光學檢測模組20及反射鏡組30位移至料片40之側邊上方,進行檢測後,再移動光學檢測模組20,以對其餘之側邊進行檢測。基此,因第三實施例之反射板32數量係對應矩形料片之側邊數,因此,第三實施例之光學檢測模組20僅需作位移而不需要作轉動,即可對料片40進行檢測。
本發明藉由具有反射材質之反射板,反射投射至料片側邊處之光線,使得攝像元件藉由對反射板取像,而能僅藉由一台攝像元件就能直接對料片之側邊處作檢測,並檢測側邊焊點空焊或缺焊之缺陷,解決習知料片檢測空焊或缺焊需要額外增加攝像元件,造成成本過高體積過大之問題。
雖然本發明的技術內容已經以較佳實施例揭露如上,然其並非用以限定本發明,任何熟習此技藝者,在不脫離本發明之精神所作些許之更動與潤飾,皆應涵蓋於本發明的範疇內,因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。
10‧‧‧載台
20‧‧‧光學檢測模組
30‧‧‧反射鏡組
31‧‧‧光源模組
32‧‧‧反射板
33‧‧‧連接板
34‧‧‧光源
40‧‧‧料片
41‧‧‧頂面
50‧‧‧連接軸
第1圖為本發明檢測裝置第一實施例之示意圖。
第2圖為本發明檢測裝置第一實施例之俯視圖。
第3圖為本發明檢測裝置第二實施例之示意圖。
第4圖為本發明檢測裝置第二實施例之俯視圖。
第5圖為本發明檢測裝置第三實施例之示意圖。
第6圖為本發明檢測裝置第三實施例之俯視圖(一)。
第7圖為本發明檢測裝置第三實施例之俯視圖(二)。
10‧‧‧載台
20‧‧‧光學檢測模組
30‧‧‧反射鏡組
31‧‧‧光源模組
32‧‧‧反射板
33‧‧‧連接板
34‧‧‧光源
40‧‧‧料片
41‧‧‧頂面
50‧‧‧連接軸
Claims (14)
- 一種檢測裝置,係運用於一機台,包含:一載台,用以置放一料片;一光學檢測模組,設置於該載台上方,用以檢測該料片;及一反射鏡組,設置於該載台與該光學檢測模組之間,包含:一光源模組,用以發射一光線至該料片;及一反射板,可調整地連接於該光源模組而鄰近於該料片之一側邊;其中,投射至該側邊之該光線反射至該反射板,該光學檢測模組對該反射板取一側邊影像。
- 如請求項1所述之檢測裝置,其中該反射板更包含一反射材質,用以反射該光線。
- 如請求項1所述之檢測裝置,更包含一連接軸,用以連接該光學檢測模組與該反射鏡組。
- 如請求項3所述之檢測裝置,其中該光學檢測模組與該反射鏡組係設置於一定位,轉動該料片,使該料片之每一該側邊對應該反射板,並位於該光學檢測模組下方。
- 如請求項3所述之檢測裝置,其中該光學檢測模組係可位移至該料片之每一該側邊上方,並旋轉該光學檢測模組而連動該反射板對應該料片之每一該側邊。
- 一種檢測裝置,係運用於一機台,包含:一載台,用以置放一料片; 一光學檢測模組,設置於該載台上方,用以檢測該料片;及一反射鏡組,設置於該載台與該光學檢測模組之間,包含:一光源模組,用以發射一光線至該料片;及二反射板,可調整地連接於該光源模組而鄰近於該料片相鄰之二側邊;其中,投射至該二側邊之該光線反射至對應之該反射板,該光學檢測模組對該二反射板分別取一側邊影像。
- 如請求項6所述之檢測裝置,其中該反射板更包含一反射材質,用以反射該光線。
- 如請求項6所述之檢測裝置,更包含一連接軸,用以連接該光學檢測模組與該反射鏡組。
- 如請求項8所述之檢測裝置,其中該光學檢測模組與該反射鏡組係設置於一定位,轉動該料片,使該料片每一相鄰之該二側邊對應該反射板,且相鄰之該二側邊之一交界處位於該光學檢測模組下方。
- 如請求項8所述之檢測裝置,其中該光學檢測模組係可位移至該料片相鄰之該二側邊之一交界處上方,並旋轉該光學檢測模組而連動該反射板對應該料片每一相鄰之該二側邊。
- 一種檢測裝置,係運用於一機台,包含:一載台,用以置放一料片;一光學檢測模組,設置於該載台上方,用以檢測該料片;及一反射鏡組,設置於該載台與該光學檢測模組之間,包含:一光源模組,用以發射一光線至該料片;及 複數反射板,可調整地連接於該光源模組而分別鄰近於該料片之一側邊;其中,投射至該側邊之該光線反射至對應之該反射板,該光學檢測模組對每一該反射板取一側邊影像,且對該料片之一頂面取一頂面影像。
- 如請求項11所述之檢測裝置,其中每一該反射板更包含一反射材質,用以反射該光線。
- 如請求項11所述之檢測裝置,更包含一連接軸,用以連接該光學檢測模組與該反射鏡組。
- 如請求項13所述之檢測裝置,其中該光學檢測模組係可位移至該料片之每一該側邊上方,並連動該些反射板分別對應該料片之該側邊。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW101146854A TW201423089A (zh) | 2012-12-12 | 2012-12-12 | 檢測裝置 |
CN201310009736.0A CN103868926A (zh) | 2012-12-12 | 2013-01-11 | 检测装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW101146854A TW201423089A (zh) | 2012-12-12 | 2012-12-12 | 檢測裝置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW201423089A true TW201423089A (zh) | 2014-06-16 |
Family
ID=50907691
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW101146854A TW201423089A (zh) | 2012-12-12 | 2012-12-12 | 檢測裝置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN103868926A (zh) |
TW (1) | TW201423089A (zh) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI524064B (zh) * | 2014-09-05 | 2016-03-01 | 由田新技股份有限公司 | 多重瑕疵檢出之光學檢測設備 |
TWI553308B (zh) * | 2014-12-25 | 2016-10-11 | 由田新技股份有限公司 | 光學檢測設備、方法、電腦可讀取紀錄媒體及電腦程式產品 |
CN106841228B (zh) * | 2015-12-03 | 2020-10-30 | 特铨股份有限公司 | 微尘检测机构 |
CN108628015B (zh) * | 2018-05-09 | 2022-05-17 | 京东方科技集团股份有限公司 | 检测装置及其检测方法、检测设备 |
TWI702384B (zh) * | 2019-07-04 | 2020-08-21 | 和碩聯合科技股份有限公司 | 光學檢測裝置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04273047A (ja) * | 1991-02-27 | 1992-09-29 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 表面欠陥検査装置 |
KR100269731B1 (ko) * | 1993-07-15 | 2000-10-16 | 하루타 히로시 | 영상 프로세서용 광원장치 |
DE20307076U1 (de) * | 2003-05-06 | 2003-08-28 | VH Lichttechnische Spezialgeräte GmbH, 53604 Bad Honnef | Beleuchtungsvorrichtung |
CN201637681U (zh) * | 2010-02-04 | 2010-11-17 | 阳程科技股份有限公司 | 光学检测机 |
CN102243185A (zh) * | 2011-04-25 | 2011-11-16 | 苏州大学 | 一种多面成像测量装置 |
CN202486043U (zh) * | 2012-03-15 | 2012-10-10 | 华东师范大学 | 一种硅片微裂纹检测系统 |
TWM451540U (zh) * | 2012-12-12 | 2013-04-21 | Utechzone Co Ltd | 檢測裝置 |
-
2012
- 2012-12-12 TW TW101146854A patent/TW201423089A/zh unknown
-
2013
- 2013-01-11 CN CN201310009736.0A patent/CN103868926A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103868926A (zh) | 2014-06-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4157037B2 (ja) | 欠陥検査装置 | |
JP5909751B2 (ja) | 平板ガラスの異物検査装置及び検査方法 | |
TW200817701A (en) | Method and apparatus for inspection of wafer and semiconductor device | |
TW201423089A (zh) | 檢測裝置 | |
JP5924511B2 (ja) | 光学フィルム貼付位置測定装置 | |
TWI498545B (zh) | Optical inspection machine | |
JPWO2002023123A1 (ja) | 光学式センサ | |
JP2015227793A (ja) | 光学部品の検査装置及び検査方法 | |
JP2019054203A (ja) | 半導体製造装置および半導体装置の製造方法 | |
KR101344817B1 (ko) | 펠리클 프레임 검사기능을 구비한 레티클 검사기 | |
TWM451540U (zh) | 檢測裝置 | |
JP2015219085A (ja) | 基板検査装置 | |
KR100969349B1 (ko) | 에이오아이(aoi) 장치 | |
WO2005040775A1 (ja) | 外観検査装置 | |
TW200925588A (en) | Defect inspecting device and its method thereof | |
JP2009103494A (ja) | 表面検査装置 | |
JP2007333672A (ja) | 外観検査装置および外観検査方法 | |
JP5288672B2 (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
JP2004006504A (ja) | バンプ検査方法及び装置 | |
KR102304880B1 (ko) | 반도체 제조 장치 및 반도체 장치의 제조 방법 | |
KR20180016757A (ko) | 광학 필름의 결함 검사 방법 및 장치 | |
TWI442290B (zh) | 光學觸控模組之檢測系統及其自動檢測方法 | |
JP2010190740A (ja) | 基板検査装置、方法およびプログラム | |
TW202022314A (zh) | 檢查鍵合的半導體晶片的設備和方法 | |
JP2000046747A (ja) | 液晶基板の外観検査方法および装置 |