CN203101282U - 移载装置 - Google Patents
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Abstract
一种移载装置，运用于机台，用以检测待测物，包含：放置待测物的载盘，连接于机台；透光检测盘，包含第一面及第二面，透光检测盘连接于机台，以放置待测物；载台本体，连接于机台而邻近于载盘与透光检测盘的一侧；真空吸持件，连接于载台本体，以吸持载盘上的待测物，且移载待测物至透光检测盘的第一面上；及二光学检测组件，分别位于透光检测盘的二侧，以检测待测物。如此，藉由透光检测盘的设置，以及利用载台本体将待测物自载盘移载至透光检测盘上，使光学检测组件能经由不同面向直接于透光检测盘上对待测物作检测，解决已知粹盘无法作双面检测，并且需要翻转料片的问题。
Description
技术领域
本实用新型是一种移载装置，特别是一种可经由透光检测盘检测的移载装置。
背景技术
随着科技的进步以及知识的进展，半导体或是面板等科技产业亦发展迅速，而如何提升产品良率，亦是每家厂商所关心的议题，无论是材料或是制程，甚或是检验，在每个过程中皆是环环相扣，而为了检测出人眼难以窥见的缺陷，通常需要较为精密的检测仪器协助检测。
目前科技厂商在藉助仪器进行检测时，大多都需要透过光学组件检测。但传统检测机台，于检测料片时，仅能对料片的一面作检测，如需要对另一面作检测时，常需要再藉由其它装置翻转料片，基此，传送机台需要有额外空间用以进行翻转工程，以达到料片能够进行双面检测。
此外，传统机台进行料片检测的检测托盘(Tray)，其光学组件仅能位于检测托盘的上方对料片作检测，而无法透过其它方向对料片检测，因此，亦造成要对料片作双面检测时，需要先对料片翻面才能进行检测的步骤。
因此，如何改良移载装置，使得移载装置能于检测托盘上直接进行多个面向的检测，而无需透过翻转料片，亦能完成检测料片的工作为本案的创作人以及本领域的技术人员亟欲改善的课题。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是：针对上述现有技术中已知粹盘无法作双面检测且需要翻转料片的不足，提出一种移载装置。
为了解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：一种移载装置，运用于一机台，以检测待测物，其特点是：该装置包含：载盘，连接于该机台，以放置该待测物；透光检测盘，包含第一面及第二面，该透光检测盘连接于该机台，以放置该待测物；载台本体，连接于该机台而邻近于该载盘与该透光检测盘的一侧；真空吸持件，连接于该载台本体，以吸持该载盘上的该待测物，且移载该待测物至该透光检测盘的该第一面上；及二光学检测组件，分别位于该透光检测盘的二侧，其中一该光学检测组件面对该第一面检测该待测物，另一该光学检测组件面对该第二面检测该待测物。
本实用新型所采用的另一种技术方案是：一种移载装置，运用于一机台，以检测待测物，其特点是：该装置包含：载盘，连接于该机台，以放置该待测物；透光检测盘，包含第一面及第二面，该透光检测盘连接于该机台，以放置该待测物；载台本体，连接于该机台而邻近于该载盘与该透光检测盘的一侧；翻转机构，连接于该载台本体，以翻转该透光检测盘及该载盘，使该待测物移载至该透光检测盘；及二光学检测组件，分别位于该透光检测盘的二侧，其中一该光学检测组件面对该第一面检测该待测物，另一该光学检测组件面对该第二面检测该待测物。
所述透光检测盘邻近于该载盘，且与该载盘呈同一水平面。
所述载盘和透光检测盘为真空射出成型。
所述载盘与该透光检测盘分别更包含数个以置放该待测物的容置槽。
所述载台本体更包含驱动轴，该驱动轴的一端连接于该真空吸持件，以驱动该真空吸持件移载该待测物至该透光检测盘。
如此，藉由透光检测盘的设置，以及利用载台本体将待测物自载盘移载至透光检测盘上，使光学检测组件能经由不同面向直接于透光检测盘上对待测物作检测，解决已知检测托盘无法作双面检测，并且需要翻转料片的问题。
以下在实施方式中详细叙述本实用新型的详细特征以及优点，其内容足以使任何本领域的技术人员可了解本实用新型的技术内容并据以实施，且根据本说明书所揭露的内容、申请专利范围及图式，任何本领域的技术人员可轻易地理解实用新型相关的目的及优点。
附图说明
图1为本实用新型移载装置的示意图一。
图2为本实用新型移载装置的俯视图。
图3为本实用新型移载装置的示意图二。
图4为本实用新型移载装置另一实施例的示意图。
标号说明
10载盘 20透光检测盘
21第一面 22第二面
30载台本体 31驱动轴
40真空吸持件 50光学检测组件
60待测物 70容置槽
80翻转机构
具体实施方式
请参阅图1所示，图1为本实用新型移载装置的示意图一。本实用新型的移载装置，运用于机台(图中未示)，用以检测待测物60，包含有载盘10、透光检测盘20、载台本体30、真空吸持件40及光学检测组件50。
载盘10为概呈矩形的平板结构，其较佳地为PVC材质，并且以真空射出成型所制成。基此，载盘10连接于机台(图中未示)，用以放置待测物60。
透光检测盘20为概呈矩形的平板结构，其较佳地为PVC材质，并且以真空射出成型所制成。基此，透光检测盘20的大小较佳地对应于载盘10的大小而设置，进一步而言，透光检测盘20的大小约略等同于载盘10的大小。此外，透光检测盘20更具有第一面21及第二面22，基此，透光检测盘20连接于机台，且其第一面21处亦可用于放置待测物60。
透光检测盘20与载盘10不同的地方在于，透光检测盘20为可透光的材质，进一步而言，光线照射至透光检测盘20上时，光线可穿射过透光检测盘20，而载盘10系光线所无法穿射。再者，透光检测盘20的位置邻近于载盘10，并且约略与载盘10呈同一水平面，惟此处仅为举例，透光检测盘20的位置可视使用者的需求而设置。
请参阅图1及图2所示，图2为本实用新型的移载装置的俯视图。本实用新型的透光检测盘20与载盘10，其分别具有数个容置槽70，以本实用新型而言，容置槽70成相互对应排列，并且容置槽70的形状为概呈矩形，惟此处仅为举例，本实用新型并非以此为限。当本实用新型的移载装置所欲检测的待测物60面积较大时，则待测物60将覆盖于容置槽70上，如待测物60的面积较小，则待测物60将落入于容置槽70内，基此，则可视容置槽70的数量多少，同时检测该些数量的待测物60。
再请参阅图1所示，载台本体30连接于机台，并且邻近于载盘10与透光检测盘20而位于载盘10与透光检测盘20的一侧。基此，本实用新型更具有真空吸持件40，连接于载台本体30，藉由真空吸持件40的设置，可吸持载盘10上的待测物60，并将待测物60吸离开载盘10的表面。基此，载台本体30更具有驱动轴31，其驱动轴31的一端连接于真空吸持件40，藉由驱动轴31的设置，当真空吸持件40吸持住待测物60并使其离开载盘10表面时，可驱动真空吸持件40将待测物60移载至透光检测盘20上，并将待测物60置于透光检测盘20的第一面21处。
光学检测组件50分别位于透光检测盘20的二侧，参照图1所示，其中一光学检测组件50位于透光检测盘20的第一面21处的上方，另一光学检测组件50位于透光检测盘20的第二面22处的下方。
请参阅图3所示，图3为本实用新型移载装置检测的示意图二。当本实用新型进行待测物检测时，先藉由真空吸持件40吸持住待测物60并使其离开载盘10表面，再藉由驱动轴31驱动真空吸持件40将待测物60移载至透光检测盘20上。当待测物60落于透光检测盘20的第一面21处之后，光学检测组件50即对于待测物进行检测，基此，位于透光检测盘20的第一面21处上方的光学检测组件50面对第一面21以检测待测物60。位于透光检测盘20的第二面22处下方的另一光学检测组件50，则面对第二面22以检测待测物60。因本实用新型的透光检测盘20具可透光性。因此，位于第一面21处的待测物60，亦可经由第二面22处观之，更进一步而言，透过透光检测盘20的可透光性，二个光学检测组件50即可分别位于透光检测盘20的第一面21处及第二面22处，而各自对位于第一面21上的待测物60作检测。
请参阅图4所示，图4为本实用新型移载装置另一实施例的示意图。本实施例与前述实施例不同的地方在于，本实用新型是藉由翻转机构80取代真空吸持件40，并利用翻转机构80翻转透光检测盘20及载盘10，以使待测物能往返来回于透光检测盘20及载盘10。
本实施例是藉由翻转机构80翻转透光检测盘20，使透光检测盘20覆盖于载盘10上，并且在第一面21包覆待测物60后，将待测物60压于载盘10与透光检测盘20之间，再翻转透光检测盘20并连动翻转载盘10回至透光检测盘20的原定位，使得待测物60落于透光检测盘20上方时，再将载盘10翻转至载盘10的原定位。基此，光学检测组件50即对于待测物进行检测，位于透光检测盘20的第一面21处上方的光学检测组件50面对第一面21检测待测物60，位于透光检测盘20的第二面22处下方的另一光学检测组件50，则面对第二面22检测待测物60。
待检测完毕之后再翻转载盘10覆盖于透光检测盘20上，将待测物60压于载盘10与透光检测盘20之间，再翻转载盘10与透光检测盘20回至载盘10的原定位，使得待测物60落于载盘10上方时，再将透光检测盘20翻转至透光检测盘20的原定位。
本实用新型的移载装置藉由透光检测盘的设置，以及利用载台本体将待测物自载盘移载至透光检测盘上，使光学检测组件能经由不同面向直接于透光检测盘上对待测物作检测，解决已知粹盘无法作双面检测，并且需要翻转料片的问题。
虽然本实用新型的技术内容已经以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本实用新型，任何本领域的技术人员，在不脱离本实用新型的精神所作些许的更动与润饰，皆应涵盖于本实用新型的范畴内，因此本实用新型的保护范围当视后附的申请专利范围所界定的为准。
Claims (11)
1.一种移载装置，运用于一机台，以检测待测物，其特征在于：该装置包含：
载盘，连接于该机台，以放置该待测物；
透光检测盘，包含第一面及第二面，该透光检测盘连接于该机台，以放置该待测物；
载台本体，连接于该机台而邻近于该载盘与该透光检测盘的一侧；
真空吸持件，连接于该载台本体，以吸持该载盘上的该待测物，且移载该待测物至该透光检测盘的该第一面上；及
二光学检测组件，分别位于该透光检测盘的二侧，其中一该光学检测组件面对该第一面检测该待测物，另一该光学检测组件面对该第二面检测该待测物。
2.如权利要求1所述的移载装置，其特征在于：所述透光检测盘邻近于该载盘，且与该载盘呈同一水平面。
3.如权利要求1所述的移载装置，其特征在于：所述载盘为真空射出成型。
4.如权利要求1所述的移载装置，其特征在于：所述透光检测盘为真空射出成型。
5.如权利要求1所述的移载装置，其特征在于：所述载盘与该透光检测盘分别更包含数个以置放该待测物的容置槽。
6.如权利要求1所述的移载装置，其特征在于：所述载台本体更包含驱动轴，该驱动轴的一端连接于该真空吸持件，以驱动该真空吸持件移载该待测物至该透光检测盘。
7.一种移载装置，运用于一机台，以检测待测物，其特征在于：该装置包含：
载盘，连接于该机台，以放置该待测物；
透光检测盘，包含第一面及第二面，该透光检测盘连接于该机台，以放置该待测物；
载台本体，连接于该机台而邻近于该载盘与该透光检测盘的一侧；
翻转机构，连接于该载台本体，以翻转该透光检测盘及该载盘，使该待测物移载至该透光检测盘；及
二光学检测组件，分别位于该透光检测盘的二侧，其中一该光学检测组件面对该第一面检测该待测物，另一该光学检测组件面对该第二面检测该待测物。
8.如权利要求7所述的移载装置，其特征在于：所述透光检测盘邻近于该载盘，且与该载盘呈同一水平面。
9.如权利要求7所述的移载装置，其特征在于：所述载盘为真空射出成型。
10.如权利要求7所述的移载装置，其特征在于：所述透光检测盘为真空射出成型。
11.如权利要求7所述的移载装置，其特征在于：所述载盘与该透光检测盘分别更包含数个以置放该待测物的容置槽。
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