CN102288138A - 半导体基片自动测试设备 - Google Patents

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CN102288138A CN 201110175122 CN201110175122A CN102288138A CN 102288138 A CN102288138 A CN 102288138A CN 201110175122 CN201110175122 CN 201110175122 CN 201110175122 A CN201110175122 A CN 201110175122A CN 102288138 A CN102288138 A CN 102288138A
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李正贤
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SHANGHAI BESTITY SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY Co Ltd
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Abstract

本发明为一种半导体基片自动测试设备，包括主控计算机、伺服驱动系统、机械手、X向工作台、Y向工作台、测试头和信号处理系统，其特征在于：还包括人机交互软件模块、运动控制模块和数据处理模块，各模块之间紧密关联，相互进行数据交换和共享；所述的人机交互软件模块主要实现参数的输入、报警信息的提示；所述的运动控制模块对设备设有的10个马达通过运功控制板卡进行相应的控制，协调各马达的稳定运行，并带有自诊断功能，将出现的异常情况数据实时传输至主屏幕显示；所述的数据处理模块处理激光干涉仪采集的大量数据，并实时传输至主屏幕显示给用户。本发明有效实现了半导体基片生产过程中的机械化和自动化测量。

Description

半导体基片自动测试设备
技术领域
本发明涉及一种半导体基片参数测试设备，特别是公开一种半导体基片自动测试设备。
背景技术
在集成电路制造、LED生产以及太阳能电池芯片的生产过程中，对基片的平整度、翘曲度有很高的要求，半导体基片参数测试设备就是用于测试半导体基片表面平整度、翘曲度等的检测设备。在国内，目前尚没有单位生产、提供类似的设备。 
国内大部分企业都是根据产品设计要求和技术规格，通过人工进行相关的测试，速度和精确度均存在很多问题，而且容易造成污染。
发明内容
本发明的目的是解决现有技术的缺陷，公开一种半导体基片自动测试设备，实现对半导体基片的检测，并对数据进行动态处理，实时显示。
本发明是这样实现的：一种半导体基片自动测试设备，包括主控计算机、伺服驱动系统、机械手、X向工作台、Y向工作台、测试头和信号处理系统，设备的运行过程：通过机械手将基片放置在X向工作台上，然后运行至测试头下方，依照主控程序设定的测试模式移动，而测试头则根据设定的采样方式进行检测，采样数据经过信号处理系统处理后传输至主控计算机，由主控计算机保存至数据库，并在显示器上实时显示相关曲线，其特征在于：还包括人机交互软件模块、运动控制模块和数据处理模块，各模块之间紧密关联，相互进行数据交换和共享；所述的人机交互软件模块主要实现参数的输入、报警信息的提示；所述的运动控制模块对设备设有的10个马达通过运功控制板卡进行相应的控制，协调各马达的稳定运行，并带有自诊断功能，将出现的异常情况数据实时传输至主屏幕显示；所述的数据处理模块处理激光干涉仪采集的大量数据，并实时传输至主屏幕显示给用户。采用多线程控制方式进行实时控制，提升机器运行效率，采用集散式的采样方式满足设备实时性需求。采用激光干涉仪进行基片检测，并设有与激光干涉仪相配合的测试夹具。所设的设备兼容2寸～4寸基片的检测，数据处理模块采用动态处理技术，对数据实时进行相应处理。
同时，为了保证用户能使用多台设备，在多台机器之间配置数据交换共享模块（此模块是可选的），借助一根网线，即能满足用户在多台机器间进行数据库资源共享。
本发明的有益效果是：本发明有效实现了半导体基片生产过程中的机械化和自动化测量，不仅提高了生产效率，也无污染，而且测试结果精确，能实时的为用户提供准确数据，便于用户处置。
附图说明
图1  是本发明方框原理图。
图2  是本发明工作流程图。
具体实施方式
根据附图1，一种半导体基片自动测试设备，包括主控计算机、伺服驱动系统、机械手、X向工作台、Y向工作台、测试头、信号处理系统、人机交互软件模块、运动控制模块和数据处理模块，各模块之间紧密关联，相互进行数据交换和共享。人机交互软件模块主要实现参数的输入、报警信息的提示。运动控制模块对设备设有的10个马达通过运功控制板卡进行相应的控制，协调各马达的稳定运行，并带有自诊断功能，将出现的异常情况数据实时传输至主屏幕显示。数据处理模块处理激光干涉仪采集的大量数据，并实时传输至主屏幕显示给用户。
本发明设备的运行过程：通过机械手将基片放置在X向工作台上，然后运行至测试头下方，依照主控程序设定的测试模式移动，而测试头则根据设定的采样方式进行检测，采样数据经过信号处理系统处理后传输至主控计算机，由主控计算机保存至数据库，并在显示器上实时显示相关曲线，
本发明设备采用多线程控制方式进行实时控制，提升机器运行效率，采用集散式的采样方式满足设备实时性需求。采用激光干涉仪进行基片检测，并设有与激光干涉仪相配合的测试夹具。本发明设备兼容2寸～4寸基片的检测，数据处理模块采用动态处理技术，对数据实时进行相应处理。
根据附图2，本发明工作流程如下：
1、初始化时，各马达回零。如果有任何异常，会将相应的报警信息显示在屏幕，同时指示灯的红灯闪烁、蜂鸣器报警。操作者会根据相应的提示去进行故障排除。
2、按照用户的工艺要求进行相应的参数设定。
3、对操作面板上按钮进行扫描，是否有“开始”按钮按下：如果有按下，机器开始运行。如果没有按下，继续扫描操作面板。
4、上片台上有相应的传感器，有无放片盒，能够检测出来。通过机械手从片盒取出一个基片到X工作台的承片台上。
5、承片台上有真空传感器，检测有基片后，会移动至检测装置下方，依照程序设定的运行方式运行。
6、检测头开始依照设置模式采样。计算机后台数据处理。数据库处理，图形实时显示。
7、扫描是否有“停止”键按下。如果没有，继续下一个基片的检测，否则停止。同时屏幕有相应的提示。
本发明采用多线程控制方式来进行实时的控制，有效提升机器的运行效率。由于同时有10个马达实时需要控制，所以对相应多个传感器的检测就更为重要，因此采用集散式的采样方式来满足设备实时性的需求。本发明采用激光干涉仪来进行基片的检测，该技术目前在国内还没有类似应用，通过一系列的实验，设备安装一些相配合的夹具，实现了采用激光干涉仪进行基片的参数检测功能。本发明设备兼容2寸到4寸基片的检测，随着基片尺寸的不同，对应处理的参数的多少也差异比较大，所以本发明在数据库处理上采用动态处理技术，不会有数据溢出或当机现象出现。为了能给用户以较直观的操作理念，本发明还采用动态实时显示技术，能够动态地显示检测出的基片的各项参数，并有相应的图像模拟显示。

Claims (4)

1.一种半导体基片自动测试设备，包括主控计算机、伺服驱动系统、机械手、X向工作台、Y向工作台、测试头和信号处理系统，设备的运行过程：通过机械手将基片放置在X向工作台上，然后运行至测试头下方，依照主控程序设定的测试模式移动，而测试头则根据设定的采样方式进行检测，采样数据经过信号处理系统处理后传输至主控计算机，由主控计算机保存至数据库，并在显示器上实时显示相关曲线，其特征在于：还包括人机交互软件模块、运动控制模块和数据处理模块，各模块之间紧密关联，相互进行数据交换和共享；所述的人机交互软件模块主要实现参数的输入、报警信息的提示；所述的运动控制模块对设备设有的10个马达通过运功控制板卡进行相应的控制，协调各马达的稳定运行，并带有自诊断功能，将出现的异常情况数据实时传输至主屏幕显示；所述的数据处理模块处理激光干涉仪采集的大量数据，并实时传输至主屏幕显示给用户。
2.根据权利要求 1 所述的半导体基片自动测试设备，其特征在于：采用多线程控制方式进行实时控制，提升机器运行效率，采用集散式的采样方式满足设备实时性需求。
3.根据权利要求 1 所述的半导体基片自动测试设备，其特征在于：采用激光干涉仪进行基片检测，并设有与激光干涉仪相配合的测试夹具。
4.根据权利要求 1 所述的半导体基片自动测试设备，其特征在于：所设的设备兼容2寸～4寸基片的检测，数据处理模块采用动态处理技术，对数据实时进行相应处理。
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PB01 Publication
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