TWI843273B - 描繪資料生成裝置、描繪系統以及描繪資料生成方法 - Google Patents

Abstract

描繪資料生成裝置6係生成對基板進行描繪的描繪裝置1中使用的描繪資料。描繪資料生成裝置6的圖案資料轉換部62係從包含與描繪的圖案以及字元相關的資訊之向量格式的設計資料中獲取與該圖案相關的圖案設計資料，且將該圖案設計資料轉換為網格格式的圖案描繪資料。字型準備部64係基於上述設計資料中所含的字元設計資料，準備具有所需的字型種類以及所需的字型大小之網格格式的字元描繪資料。描繪資料生成部66係利用上述的圖案描繪資料以及字元描繪資料生成網格格式的描繪資料。藉此，可在基板上描繪具有所需的字型種類以及所需的字型大小之字元。

Description

描繪資料生成裝置、描繪系統以及描繪資料生成方法

本發明係關於一種生成用於對基板進行描繪的描繪裝置中的描繪資料之技術。 [相關申請案的參照] 本申請案主張2022年3月24日申請案的日本專利申請案JP2022-047870的優先權的利益，該日本專利申請案JP2022-047870的全部揭示皆併入本申請案中。

以往，藉由對半導體基板、印刷基板、或者用於有機EL(electroluminescence；電致發光)顯示裝置或者液晶顯示裝置中的玻璃基板等(以下稱為「基板」)所形成的感光材料照射光從而描繪圖案(pattern)。會有於該基板描繪出圖案以及用於描繪之描繪裝置的識別號等字元群。

在日本特開2020-13042號公報(文獻1)的描繪裝置中，將以向量格式記述的圖案的設計資料轉換為網格(raster)格式後，將轉換後的圖案的資料與點陣圖(bitmap)格式的字元資料合成而生成最終描繪資料。在該描繪裝置中，針對可能會使用的候選字元(例如，26個字母(alphabet)字元以及0至9這10個數字)預先記憶了幾種大小的點陣圖資料。並且，將要描繪字元之預定的區域以可能描繪的最大字元數進行分割而獲得分割區域，從大小為該分割區域以內的候選字元的點陣圖資料中提取描繪的字元的資料並嵌入至最終描繪資料中。

然而，在對基板進行描繪時，會有要求描繪出與描繪裝置中預先記憶的大小不同大小的字元之可能性。而且，亦會有要求描繪出與描繪裝置中預先記憶的字元的字型種類不同的字元之可能性。

本發明係著眼於一種用以生成對基板進行描繪的描繪裝置中使用的描繪資料之描繪資料生成裝置，目的在於在基板上描繪出具有所需的字型種類以及所需的字型大小之字元。

本發明的較佳的一形態中的描繪資料生成裝置係具備：圖案資料轉換部，係從包含與描繪的圖案以及字元相關的資訊之向量格式的設計資料中獲取與前述圖案相關的圖案設計資料，且將前述圖案設計資料轉換為網格格式的圖案描繪資料；字型準備部，係基於前述設計資料中所含的字元設計資料，準備具有所需的字型種類以及所需的字型大小之網格格式的字元描繪資料；以及描繪資料生成部，係利用前述圖案描繪資料以及前述字元描繪資料生成網格格式的描繪資料。

根據上述描繪資料生成裝置，能在基板上描繪具有所需的字型種類以及所需的字型大小之字元。

較佳為，前述字型準備部係具備：字型提取部，係當要基於前述字元設計資料準備之預定的前述字元描繪資料包含在預先記憶的既有字元集資料群中時，從前述既有字元集資料群中讀出前述字元描繪資料；以及字型生成部，係當前述既有字元集資料群中不包含前述字元描繪資料時，基於前述字元設計資料生成前述字元描繪資料。

較佳為，描繪資料生成裝置還具備：圖案校正部，係基於基板的應變針對前述圖案描繪資料進行應變校正處理。前述描繪資料生成部係將經前述圖案校正部校正後的前述圖案描繪資料與前述字元描繪資料合成而生成前述描繪資料。

較佳為，基於前述設計資料設定字元配置區域，前述字元配置區域係圍繞描繪在基板上的描繪字元群。當前述描繪字元群由描繪裝置所描繪的描繪要素所構成時，前述描繪資料生成部係對前述描繪資料進行設定，以使前述字元配置區域中的前述描繪字元群以外的區域由不會進行前述描繪裝置所為的描繪之非描繪要素所構成；當前述描繪字元群由前述非描繪要素所構成時，前述描繪資料生成部係對前述描繪資料進行設定，以使前述字元配置區域中的前述描繪字元群以外的區域由前述描繪要素所構成。

較佳為，前述字元配置區域的大小以及位置係設定為與前述字元設計資料所表示的字元群在基板上的佔據區域相同。前述字型準備部所準備的前述字元描繪資料的字型大小係比前述設計資料所指定的字型大小還小預定量。

本發明亦著眼於一種用以對基板進行描繪之描繪系統。本發明的較佳的一形態中的描繪系統係具備：上述描繪資料生成裝置；以及描繪裝置，係基於前述描繪資料生成裝置所生成的描繪資料對基板進行描繪。

本發明亦著眼於一種用以生成對基板進行描繪的描繪裝置中使用的描繪資料之描繪資料生成方法。本發明的較佳的一形態中的描繪資料生成方法係具備：工序a，係從包含與描繪的圖案以及字元相關的資訊之向量格式的設計資料中獲取與前述圖案相關的圖案設計資料，且將前述圖案設計資料轉換為網格格式的圖案描繪資料；工序b，係基於前述設計資料中所含的字元設計資料，準備具有所需的字型種類以及所需的字型大小之網格格式的字元描繪資料；以及工序c，係利用前述圖案描繪資料以及前述字元描繪資料生成網格格式的描繪資料。

關於上述目的與其他目的、特徵、形態以及優點，係藉由基於以下參照隨附圖式對本發明所作的詳細說明而明瞭。

圖1係表示本發明的一實施形態中的描繪系統7的立體圖。描繪系統7係具備描繪裝置1以及描繪資料生成裝置6。描繪裝置1為直接描繪裝置，用以將經過空間調變的大致光束狀的光照射至基板9上的感光材料，使該光的照射區域在基板9上掃描，藉此進行圖案描繪。描繪資料生成裝置6為用以生成描繪裝置1的描繪中使用的描繪資料之裝置。圖1中，將彼此正交的三個方向作為X方向、Y方向以及Z方向並以箭頭表示。圖1所示的例子中，X方向以及Y方向為彼此垂直的水平方向，Z方向為鉛直方向。其他圖中亦同樣如此。

描繪資料生成裝置6係例如為通常的電腦。以下的說明中，雖然對描繪資料生成裝置6為一台電腦的情況進行說明，但並不限於此。描繪資料生成裝置6亦可為例如複數個電腦以有線或者無線的方式連接而成的電腦系統。再者，圖1中將描繪資料生成裝置6概念性地繪製成大致立方體。

描繪裝置1係具備台(stage)121、台移動機構122、拍攝部13、描繪部14以及控制部15。台121為大致平板狀的基板保持部，用以在拍攝部13以及描繪部14的下方(亦即(-Z)側)從下側保持處於水平狀態的基板9。基板9為例如當俯視時呈大致矩形狀的板狀構件。基板9係例如為印刷配線基板。台121係例如為真空夾具，用以吸附基板9的下表面並保持基板9。台121亦可具有真空夾具以外的構造。載置於台121上的基板9的上表面91係與Z方向大致垂直，且與X方向以及Y方向大致平行。

台移動機構122為移動機構，用以使台121相對於拍攝部13以及描繪部14在水平方向(亦即，與基板9的上表面91大致平行的方向)相對性地移動。台移動機構122係具備第一移動機構123以及第二移動機構124。第二移動機構124係使台121沿著導軌在X方向上線性移動。第一移動機構123係使台121與第二移動機構124一同沿著導軌在Y方向上線性移動。第一移動機構123以及第二移動機構124的驅動源係例如為線性伺服馬達或者在滾珠螺桿上安裝馬達而成。第一移動機構123以及第二移動機構124的構造亦可進行各種變更。

在描繪裝置1中，亦可設置台旋轉機構，用以使台121以沿著Z方向延伸的旋轉軸為中心而旋轉。而且，亦可在描繪裝置1設置台升降機構，用以使台121在Z方向上移動。作為台旋轉機構，例如可利用伺服馬達。作為台升降機構，例如可利用線性伺服馬達。台旋轉機構以及台升降機構的構造亦可實施各種變更。

拍攝部13係具備排列在X方向上的複數個(圖1所示的例子中為兩個)拍攝頭131。各個拍攝頭131係藉由拍攝頭支撐部130而支撐在台121以及台移動機構122的上方，拍攝頭支撐部130係跨及台121以及台移動機構122而設置。各個拍攝頭131為攝影機，具備省略圖示的拍攝感測器以及光學系統。各個拍攝頭131係獲取基板9的上表面91上的大致矩形狀的拍攝區域的圖像。再者，拍攝部13的拍攝頭131的數量亦可為一個或者亦可為三個以上。

描繪部14係具備排列在X方向以及Y方向上的複數個(圖1所示的例子中為五個)描繪頭141。各個描繪頭141係具備省略圖示的光源、光學系統以及空間光調變元件。各個描繪頭141係藉由拍攝頭支撐部140而支撐在台121以及台移動機構122的上方，拍攝頭支撐部140係跨及台121以及台移動機構122而設置。再者，描繪部14的描繪頭141的數量亦可為一個或者亦可為複數個。

在描繪裝置1中，一邊從描繪部14的複數個描繪頭141將經過調變(亦即經過空間光調變)的光照射至基板9的上表面91上，一邊利用台移動機構122使基板9在Y方向上移動。藉此，來自複數個描繪頭141的光的照射區域係在基板9上沿著Y方向掃描，從而對基板9進行圖案的描繪。以下的說明中，Y方向亦稱為「掃描方向」。台移動機構122為掃描機構，用以使來自各個描繪頭141的光的照射區域在基板9上沿著掃描方向移動。

描繪裝置1中，對基板9的描繪係以所謂單程(single pass)(單向(one pass))方式進行。具體而言，利用台移動機構122使台121在Y方向上相對於複數個描繪頭141相對移動，來自複數個描繪頭141的光的照射區域係在基板9的上表面91上沿著Y方向(亦即掃描方向)僅掃描1次。藉此，完成對基板9的描繪。再者，描繪裝置1中，亦可採用使台121反復在Y方向移動以及在X方向步進移動的多程(multi pass)方式，來對基板9進行描繪。再者，當描繪裝置1中實施多程方式的描繪時，Y方向為主掃描方向，X方向為副掃描方向。而且，台移動機構122的第一移動機構123為主掃描機構，用以使台121沿著主掃描方向移動；第二移動機構124為副掃描機構，用以使台121沿著副掃描方向移動。

控制部15係基於描繪資料生成裝置6所生成的描繪資料來控制台移動機構122、拍攝部13以及描繪部14等，並對基板9進行圖案描繪。在描繪系統7中，作為控制部15，例如使用通常的電腦。

圖2係表示描繪資料生成裝置6的構成的圖。描繪資料生成裝置6為通常的電腦 ，具備處理器601、記憶體602、輸入輸出部603以及匯流排604。匯流排604為訊號電路，連接處理器601、記憶體602以及輸入輸出部603。記憶體602係記憶各種資訊。記憶體602係例如將預先記憶在記憶媒體608中的程式609讀出並進行記憶。記憶媒體608係例如為USB(universal serial bus；通用序列匯流排)記憶體或者CD-ROM(Compact Disc Read-Only Memory；唯讀光碟記憶體)。

處理器601係按照記憶體602中記憶的程式609等，利用記憶體602等執行各種處理(例如數值計算、圖像處理)。輸入輸出部603係具備：鍵盤605與滑鼠606，係接受操作人員所作的輸入；以及顯示器607，係顯示出來自處理器601的輸出等。

圖3係表示藉由描繪資料生成裝置6執行上述程式609而實現的功能的方塊圖。圖3中亦表示出描繪資料生成裝置6以外的構成。描繪資料生成裝置6係具備記憶部61、圖案資料轉換部62、圖案校正部63、字型準備部64以及描繪資料生成部66。字型準備部64係具備字型提取部641以及字型生成部642。

記憶部61係主要由記憶體602(參照圖2)所實現，且預先記憶與描繪資料的生成相關的各種資訊。於記憶部61中記憶設計資料，該設計資料係包含與要描繪在基板9上的預定的圖案以及字元相關的資訊。該設計資料為CAD(computer aided design；電腦輔助設計)資料等向量格式的資料。設計資料係例如由與描繪資料生成裝置6不同的設計用終端所作成，且被發送至描繪資料生成裝置6。

而且，於記憶部61中預先記憶著既有字元集資料群。既有字元集資料群係例如包含複數個字元集資料。各個字元集資料為網格格式(例如點陣圖格式)的資料，網格格式(例如點陣圖格式)的資料係針對存在用在描繪裝置1的描繪之可能性的複數個候選字元(例如，26個字母字元以及0至9這10個數字)以一個字型種類且一個字型大小表現。在複數個字元集資料中，字型種類以及／或者字型大小彼此不同。字型種類係指例如「Gothic」、「Times New Roman」等字元字型的種類。字型大小係指例如「8pt」、「10pt」等字元的大小。

各個字元集資料較佳為例如針對上述36個候選字元分別包含方向各相差90°的四個資料。例如，與候選字元「A」相關的該四個資料係如圖4A所示方向為0°的字元的資料、如圖4B所示方向朝右旋轉90°的字元的資料、如圖4C所示方向朝右旋轉180°的字元的資料以及如圖4D所示方向朝右旋轉270°的字元的資料。再者，候選字元並不限於上述例子，例如亦可為平假名、片假名或者漢字等，又可為日語以外的官方語言所使用的字元等。

圖3所示的圖案資料轉換部62、圖案校正部63、字型準備部64以及描繪資料生成部66係主要藉由處理器101(參照圖2)所實現。圖案資料轉換部62係從記憶部61中記憶的向量格式的上述設計資料中獲取與圖案相關的資料(以下亦稱為「圖案設計資料」)，且將該圖案設計資料轉換為網格格式的圖案描繪資料。在圖案資料轉換部62中之從圖案設計資料向圖案描繪資料的轉換中，可利用公知的網格化技術。圖案描繪資料係例如為運行長度資料(run length data)。

圖案校正部63係基於預定要進行描繪之基板9的應變，對上述圖案描繪資料進行應變校正處理。該應變校正處理係可利用公知的應變校正方法進行。基板9的應變係能藉由利用描繪裝置1的拍攝部13(參照圖1)拍攝設在該基板9的上表面91的對準標記且基於設計位置相對於該對準標記的偏離等而求出。

字型準備部64係基於上述設計資料中所含之表示字元的資料(以下亦稱為「字元設計資料」)，準備具有設計資料所指定的所需的字型種類以及所需的字型大小之網格格式的字元描繪資料。所需的字型種類以及所需的字型大小係指操作描繪系統7的操作人員希望用於描繪字元之字型種類以及字型大小，並不限於描繪資料生成裝置6中預先記憶的字型種類以及字型大小。字元描繪資料例如為定長的RUN(運行)格式或者點陣圖格式的資料。再者，字元描繪資料亦可為定長的RUN格式以及點陣圖格式以外的網格格式的資料。

設計資料中所含的字元設計資料係表示例如公司名、描繪裝置1的型號名稱等固定有各個字元的具體字元群。而且，該字元設計資料亦可表示按照預先設定的規則使每個基板9的一部分字元或者全部字元變化的字元群，如依序賦予供描繪裝置1進行描繪的複數個基板9的序列號。或者，在設計資料的作成時間點並不決定與該字元設計資料對應的字元群的內容，該字元設計資料亦可為表示代入描繪資料生成裝置6中由操作人員輸入的字元群的指示。

在字型準備部64中，判斷要基於設計資料中所含的字元設計資料而準備之預定的字元描繪資料(以下亦稱為「預準備的字元描繪資料」)是否包含在記憶部61內的既有字元集資料群中。上述預準備的字元描繪資料係具有與以設計資料所指定的字型種類相同的字型種類。而且，該預準備的字元描繪資料係具有與以設計資料所指定的字型大小相同的字型大小。

在字型準備部64中，當字型種類以及字型大小與預準備的字元描繪資料相同的字元集資料包含在既有字元集資料群中時，判斷預準備的字元描繪資料包含在既有字元集資料群中。該情況下，藉由字型提取部641，從既有字元集資料群中提取與預準備的字元描繪資料對應的字元集資料。並且，從所提取的字元集資料中選擇構成字元設計資料所表示的字元群之各個字元的資料並加以排列，藉此作成字元描繪資料。換言之，在預準備的字元描繪資料包含在既有字元集資料群中時，字型提取部641係從既有字元集資料群中讀出該字元描繪資料。

具體而言，例如當字元設計資料表示字型種類為「Gothic」且字型大小為「10pt」的「ABC」的字元群時，藉由字型提取部641從既有字元集資料群中提取字型種類為「Gothic」且字型大小為「10pt」的字元集資料。並且，從所提取的字元集資料中選擇字元「A」、字元「B」以及字元「C」的資料並按「ABC」的順序加以排列，藉此作成字元描繪資料。選擇字元「A」、字元「B」以及字元「C」的資料時，考慮描繪裝置1中這些字元的描繪方向，選擇上述四個方向中合適的方向的資料。

另一方面，在字型準備部64中，當字型種類以及字型大小與預準備的字元描繪資料相同的字元集資料不包含在既有字元集資料群中時，判斷預準備的字元描繪資料不包含在既有字元集資料群中。該情況下，藉由字型生成部642基於字元設計資料生成字型種類以及字型大小與預準備的字元描繪資料相同的新的字元集資料。並且，從該新的字元集資料中選擇構成字元設計資料所表示的字元群之各個字元的資料並加以排列，藉此生成字元描繪資料。換言之，字型生成部642係基於字元設計資料生成字元描繪資料。上述新的字元集資料係被送至記憶部61且包含在既有字元集資料群中。再者，該新的字元集資料係具有與既有字元集資料群中所含的其他字元集資料相同的資料構成。

描繪資料生成部66係使用上述圖案描繪資料以及字元描繪資料生成描繪資料。具體而言，描繪資料生成部66係將由圖案校正部63校正後的網格格式的圖案描繪資料以及由字型準備部64所準備的網格格式的字元描繪資料合成，從而生成網格格式的描繪資料。此時，合成為圖案描繪資料之字元描繪資料的位置(亦即字元描繪資料所表示的字元群相對於圖案描繪資料所表示的圖案之相對位置)亦可配合圖案校正部63的上述校正而調節。

描繪資料生成部66所生成的上述描繪資料係經由輸入輸出部603(參照圖2)等而從描繪資料生成裝置6送至描繪裝置1。在圖1所示的描繪裝置1中，藉由控制部15基於該描繪資料等控制台移動機構122、拍攝部13以及描繪部14等，對基板9進行圖案的描繪。

圖5係表示描繪資料生成裝置6的處理流程的流程圖。在描繪資料生成裝置6中，首先，藉由圖案資料轉換部62從記憶部61(參照圖3)中記憶的向量格式的設計資料中獲取圖案設計資料，並將圖案設計資料轉換為網格格式的圖案描繪資料(步驟S11)。接著，藉由圖案校正部63對該圖案描繪資料進行應變校正處理(步驟S12)。

步驟S12結束後，藉由字型準備部64(參照圖3)從上述設計資料中獲取字元設計資料，基於該字元設計資料判斷預準備的字元描繪資料是否包含在既有字元集資料群中(步驟S13)。並且，當判斷預準備的字元描繪資料包含在既有字元集資料群中時，藉由字型提取部641從既有字元集資料群中讀出該字元描繪資料(步驟S14)。藉此，縮短了為了準備該字元描繪資料所需的時間。

另一個方面，當判斷預準備的字元描繪資料不包含在既有字元集資料群中時，藉由字型生成部642基於字元設計資料生成新的字元集資料，從而生成字元描繪資料(步驟S15)。而且，該新的字元集資料係包含在既有字元集資料群中(步驟S16)。藉此，縮短了為了準備以後的字元描繪資料所需的時間。再者，步驟S13至步驟S16亦可與步驟S11至步驟S12同步，亦可在步驟S11至步驟S12之前進行。

步驟S11至步驟S16結束後，藉由描繪資料生成部66(參照圖3)將上述字元描繪資料與校正後的圖案描繪資料合成，從而生成網格格式的描繪資料(步驟S17)。之後，從描繪資料生成裝置6將該描繪資料發送至描繪裝置1(步驟S18)。如上所述，在描繪裝置1中基於該描繪資料進行圖案的描繪。

再者，在描繪資料生成裝置6中未必要進行步驟S12中的圖案描繪資料的應變校正處理。該情況下，在步驟S17中，將步驟S11中藉由轉換(亦即網格化)而獲取的圖案描繪資料與上述字元描繪資料合成從而生成描繪資料。亦即，在步驟S17中，利用步驟S11中所獲取的圖案描繪資料與上述字元描繪資料生成描繪資料。

如以上說明所述，描繪資料生成裝置6係生成在對基板9進行描繪的描繪裝置1中使用的描繪資料。描繪資料生成裝置6係具備圖案資料轉換部62、字型準備部64以及描繪資料生成部66。圖案資料轉換部62係從包含與描繪的圖案以及字元相關的資訊之向量格式的設計資料中獲取與該圖案相關的圖案設計資料，且將該圖案設計資料轉換為網格格式的圖案描繪資料。字型準備部64係基於上述設計資料中所含的字元設計資料，準備具有所需的字型種類以及所需的字型大小之網格格式的字元描繪資料。描繪資料生成部66係利用上述圖案描繪資料以及字元描繪資料生成網格格式的描繪資料。藉此，能在描繪裝置1中將具有所需的字型種類以及所需的字型大小之字元描繪在基板9上。

描繪系統7係具備：上述描繪資料生成裝置6；以及描繪裝置1，係基於由描繪資料生成裝置6所生成的描繪資料對基板9進行描繪。如上所述，在該描繪系統7中，能將具有所需的字型種類以及所需的字型大小之字元描繪在基板9上。

如上所述，較佳為字型準備部64係具備字型提取部641以及字型生成部642。當要基於字元設計資料而準備之預定的字元描繪資料包含在預先記憶的既有字元集資料群中時，字型提取部641係從該既有字元集資料群中讀出字元描繪資料。當字元描繪資料不包含在該既有字元集資料群中時，字型生成部642係基於字元設計資料生成字元描繪資料。藉此，當預準備的字元描繪資料包含在既有字元集資料群中時，縮短了為了生成描繪資料所需的時間。而且，即便預準備的字元描繪資料不包含在既有字元集資料群中，描繪裝置1亦能將具有所需的字型種類以及所需的字型大小之字元較佳地描繪在基板9上。

如上所述，較佳為，描繪資料生成裝置6還具備：圖案校正部63，係基於基板9的應變來對上述圖案描繪資料進行應變校正處理。並且，較佳為，描繪資料生成部66係將經圖案校正部63校正後的圖案描繪資料與上述字元描繪資料合成而生成描繪資料。這樣，將要描繪在基板9上的預定的字元與應變校正處理後的圖案合成，藉此能防止因應變校正處理使該字元變形。結果，能在描繪裝置1終將該字元較佳地描繪在基板9上。

上述描繪資料生成方法係具備下述工序：從包含與描繪的圖案以及字元相關的資訊之向量格式的設計資料中獲取與該圖案相關的圖案設計資料，且將該圖案設計資料轉換為網格格式的圖案描繪資料(步驟S11)；基於該設計資料中所含的字元設計資料，準備具有所需的字型種類以及所需的字型大小之網格格式的字元描繪資料(步驟S13至步驟S15)；以及利用上述圖案描繪資料以及字元描繪資料生成網格格式的描繪資料(步驟S17)。藉此，與上述同樣，能在基板9上描繪具有所需的字型種類以及所需的字型大小之字元。

在描繪資料生成裝置6中，亦可除了上述步驟S11至步驟S18之外還實施其他的資料處理。例如，在圖6A以及圖6B的流程圖所示的例子中，在步驟S12與步驟S13之間實施步驟S21，在步驟S13至步驟S16與步驟S17之間實施步驟S31至步驟S33。該情況下，如圖7所示，描繪資料生成裝置6係除了具備圖3所示的各個構成之外還具備配置區域設定部65。

圖6A以及圖6B所示的例子中，步驟S11至步驟S12結束後，藉由配置區域設定部65從設計資料中獲取字元設計資料，基於該字元設計資料設定字元配置區域(步驟S21)。如圖8所示，字元配置區域82為下述區域：當基於字元設計資料而在基板9上描繪字元群81(亦即一個或者複數個字元，以下亦稱為「描繪字元群81」)時圍繞描繪字元群81。在圖8所示的例子中，描繪字元群81為「ABC」這一字元群；字元配置區域82為最小矩形區域，該最小矩形區域係外接於描繪字元群81且內部包含整個描繪字元群81。藉由配置區域設定部65所設定的字元配置區域82的大小以及位置係被發送至描繪資料生成部66。

如上所述，在描繪資料生成部66中，藉由字型準備部64準備具有與以設計資料所指定的字型種類以及字型大小相同的字型種類以及字型大小之字元描繪資料(步驟S13至步驟S16)。

步驟S13至步驟S16結束後，確認字元描繪資料所表示的字元群是由描繪要素所構成還是由非描繪要素所構成(步驟S31)。描繪要素係指在描繪裝置1中基板9上照射到光而得到描繪之微小區域(亦即曝光的像素)。非描繪要素係指構成基板9上的描繪要素以外的區域之微小區域，且表示未進行描繪裝置1所為的描繪(亦即未曝光)之像素。

並且，當字元描繪資料所表示的字元群由描繪要素所構成時，如圖9A所示，描繪資料生成部66係對描繪資料進行設定，以使應變校正處理後的圖案描繪資料中由非描繪要素構成字元配置區域82中的描繪字元群81以外的區域(步驟S32)。在圖9A中，對描繪要素標上黑色或者標上平行斜線而進行表示，而對非描繪要素不著色亦不標上平行斜線(圖9B、圖10A以及圖10B中亦同樣)。藉此，即便描繪字元群81周圍的區域由描繪要素所構成，亦能容易讀取由描繪要素所構成的描繪字元群81。再者，當實際對基板9進行描繪時，由於不描繪字元配置區域82的輪廓，因此圖9A中以二點鏈線表示字元配置區域82的輪廓(圖9B、圖10A以及圖10B中亦同樣)。

而且，當字元描繪資料所表示的字元群由非描繪要素所構成時，如圖9B所示，描繪資料生成部66係對描繪資料進行設定，以使應變校正處理後的圖案描繪資料中由描繪要素構成字元配置區域82中的描繪字元群81以外的區域(步驟S33)。藉此，即便描繪字元群81周圍的區域由非描繪要素所構成，亦能容易讀取由非描繪要素所構成的描繪字元群81。

在描繪資料生成裝置6中，當在步驟S21中設定字元配置區域82後，在步驟S13至步驟S16中準備字元描繪資料時，字元描繪資料所表示的字元群的字型大小未必要與以設計資料所指定的字型大小相同。例如，在步驟S21中，字元配置區域82的大小以及位置設定為與字元設計資料所表示的字元群在基板9上的佔據區域(亦即最小矩形區域，該最小矩形區域係與具有與以設計資料所指定的字型大小相同的字型大小之該字元群外接且內部包含整個該字元群)相同。並且，在步驟S13至步驟S16中，亦可藉由字型準備部64準備字型大小比以設計資料所指定的字型大小還小預定量(例如1pt)的字元描繪資料。

藉此，如圖10A以及圖10B所示，該字元描繪資料所表示的描繪字元群81a係可在字元配置區域82內相對於字元配置區域82的外緣靠內側描繪。因此，能更容易讀取描繪字元群81a。而且，由於能防止字元配置區域82超出字元設計資料的上述佔據區域，因此能防止字元配置區域82中設定在描繪字元群81a周圍的描繪要素或者非描繪要素對圖案造成不良影響。結果，能在描繪裝置1中對基板9較佳地進行圖案的描繪。

如以上說明所述，較佳為，在描繪資料生成裝置6中基於上述設計資料設定字元配置區域82，字元配置區域82係圍繞描繪在基板9上的描繪字元群81、81a。並且，較佳為，當描繪字元群81、81a由描繪裝置1所描繪的描繪要素所構成時，描繪資料生成部66係對描繪資料進行設定，以使字元配置區域82中描繪字元群81、81a以外的區域由不會進行描繪裝置1所為的描繪之非描繪要素所構成。而且，較佳為，當描繪字元群81、81a由非描繪要素所構成時，描繪資料生成部66係對描繪資料進行設定，以使字元配置區域82中描繪字元群81、81a以外的區域由描繪要素所構成。藉此，如上所述，能容易讀取描繪字元群81、81a。

而且，較佳為，字元配置區域82的大小以及位置係設定為與上述字元設計資料所表示的字元群在基板9上的佔據區域相同。並且，較佳為，藉由字型準備部64所準備的字元描繪資料的字型大小係比以設計資料所指定的字型大小還小預定量。藉此，如上所述，能更容易讀取描繪字元群81a。而且，能防止字元配置區域82對圖案造成不良影響，能較好地對基板9進行圖案的描繪。

在上述描繪資料生成裝置6、描繪系統7以及描繪資料生成方法中可實施各種變更。

例如，既有字元集資料群中所含的字元集資料未必要包含圖4A至圖4D所示的四個方向的字元的資料，亦可包含其他數量(例如一個或者兩個)的方向的字元的資料。

設計資料未必要包含用於指定字型種類的資訊。例如，所需的字型種類亦可另外經由輸入輸出部603進行輸入來指定。

在描繪資料生成裝置6中，既有字元集資料群未必要記憶在記憶部61中，字元描繪資料亦無需從既有字元集資料群讀出。例如，在字型準備部64中，亦可每當從設計資料中獲取字元設計資料便基於該字元設計資料生成字元描繪資料。該情況下，可進行基於字元設計資料所為之字元集資料的生成，亦可並不進行基於字元設計資料所為之字元集資料的生成。而且，亦可省略描繪資料生成裝置6中的字型提取部641以及字型生成部642。

在描繪系統7中，控制部15未必要設在描繪裝置1中，描繪資料生成裝置6亦可作為控制描繪裝置1的各個構成的控制部發揮功能。

如上所述，描繪資料生成裝置6亦可為複數個電腦以有線或者無線的方式連接而成的電腦系統。例如，字型準備部64亦可設在與設有圖案資料轉換部62以及描繪資料生成部66的電腦不同的電腦(例如用以進行設計資料的製作之設計用終端)中。

基板9未必限於印刷配線基板。在描繪裝置1中，亦可對例如半導體基板、液晶顯示裝置或者有機EL顯示裝置等的平板顯示裝置中使用的玻璃基板、光罩中使用的玻璃基板、太陽電池面板中使用的基板等進行描繪。

上述實施形態以及各個變形例中的構成可在不相互矛盾的條件下適當組合。

以上已詳細描述並說明了發明，但所作的說明僅為例示，並不具限定性。因此，可在不脫離本發明範圍的情況下採用各種變形或者形態。

1:描繪裝置 6:描繪資料生成裝置 7:描繪系統 9:基板 13:拍攝部 14:描繪部 61:記憶部 62:圖案資料轉換部 63:圖案校正部 64:字型準備部 65:配置區域設定部 66:描繪資料生成部 81,81a:描繪字元群 82:字元配置區域121:台 122:台移動機構 123:第一移動機構 124:第二移動機構 130:拍攝頭支撐部 131:拍攝頭 140:拍攝頭支撐部 141:描繪頭 601:處理器 602:記憶體 603:輸入輸出部 604:匯流排 605:鍵盤 606:滑鼠 607:顯示器 608:記憶媒體 609:程式 641:字型提取部 642:字型生成部 S11至S18,S21,S31至S33:步驟

[圖1]係表示一實施形態中的描繪裝置的立體圖。 [圖2]係表示描繪資料生成裝置的構成的圖。 [圖3]係表示描繪資料生成裝置的功能的方塊圖。 [圖4A]係表示候選字元的例子的圖。 [圖4B]係表示候選字元的例子的圖。 [圖4C]係表示候選字元的例子的圖。 [圖4D]係表示候選字元的例子的圖。 [圖5]係表示描繪資料生成裝置的處理流程的流程圖。 [圖6A]係表示描繪資料生成裝置的處理流程的另一個流程圖。 [圖6B]係表示描繪資料生成裝置的處理流程的另一個流程圖。 [圖7]係表示描繪資料生成裝置的功能的其他方塊圖。 [圖8]係表示描繪字元群以及字元配置區域的圖。 [圖9A]係表示描繪字元群以及字元配置區域的圖。 [圖9B]係表示描繪字元群以及字元配置區域的圖。 [圖10A]係表示描繪字元群以及字元配置區域的圖。 [圖10B]係表示描繪字元群以及字元配置區域的圖。

1:描繪裝置

6:描繪資料生成裝置

61:記憶部

62:圖案資料轉換部

63:圖案校正部

64:字型準備部

66:描繪資料生成部

641:字型提取部

642:字型生成部

Claims (7)

1. 一種描繪資料生成裝置，係生成對基板進行描繪的描繪裝置中使用的描繪資料，並具備： 圖案資料轉換部，係從包含與描繪的圖案以及字元相關的資訊之向量格式的設計資料中獲取與前述圖案相關的圖案設計資料，且將前述圖案設計資料轉換為網格格式的圖案描繪資料； 字型準備部，係基於前述設計資料中所含的字元設計資料，準備具有所需的字型種類以及所需的字型大小之網格格式的字元描繪資料；以及 描繪資料生成部，係利用前述圖案描繪資料以及前述字元描繪資料生成網格格式的描繪資料。
2. 如請求項1所記載之描繪資料生成裝置，其中前述字型準備部係具備： 字型提取部，係當要基於前述字元設計資料而準備之預定的前述字元描繪資料包含在預先記憶的既有字元集資料群中時，從前述既有字元集資料群中讀出前述字元描繪資料；以及 字型生成部，係當前述既有字元集資料群中不包含前述字元描繪資料時，基於前述字元設計資料生成前述字元描繪資料。
3. 如請求項1所記載之描繪資料生成裝置，其中還具備：圖案校正部，係基於基板的應變而對前述圖案描繪資料進行應變校正處理； 前述描繪資料生成部係將經前述圖案校正部校正後的前述圖案描繪資料與前述字元描繪資料合成而生成前述描繪資料。
4. 如請求項1至3中任一項所記載之描繪資料生成裝置，其中基於前述設計資料設定字元配置區域，前述字元配置區域係圍繞描繪在基板上的描繪字元群； 當前述描繪字元群由描繪裝置所描繪的描繪要素所構成時，前述描繪資料生成部係對前述描繪資料進行設定，以使前述字元配置區域中的前述描繪字元群以外的區域由不會進行前述描繪裝置所為的描繪之非描繪要素所構成； 當前述描繪字元群由前述非描繪要素所構成時，前述描繪資料生成部係對前述描繪資料進行設定，以使前述字元配置區域中的前述描繪字元群以外的區域由前述描繪要素所構成。
5. 如請求項4所記載之描繪資料生成裝置，其中前述字元配置區域的大小以及位置係設定為與前述字元設計資料所表示的字元群在基板上的佔據區域相同； 前述字型準備部所準備的前述字元描繪資料的字型大小係比前述設計資料所指定的字型大小還小預定量。
6. 一種描繪系統，係對基板進行描繪，並具備： 如請求項1所記載之描繪資料生成裝置；以及 描繪裝置，係基於前述描繪資料生成裝置所生成的描繪資料對基板進行描繪。
7. 一種描繪資料生成方法，係生成對基板進行描繪的描繪裝置中使用的描繪資料，並具備： 工序a，係從包含與描繪的圖案以及字元相關的資訊之向量格式的設計資料中獲取與前述圖案相關的圖案設計資料，且將前述圖案設計資料轉換為網格格式的圖案描繪資料； 工序b，係基於前述設計資料中所含的字元設計資料，準備具有所需的字型種類以及所需的字型大小之網格格式的字元描繪資料；以及 工序c，係利用前述圖案描繪資料以及前述字元描繪資料生成網格格式的描繪資料。

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