TWI821857B - 雙面或單面工具機 - Google Patents

Abstract

本發明係關於一種雙面或單面工具機，包含緊固至一第一支撐盤之一較佳環形第一工作盤且包含一反向軸承元件，其中該第一工作盤及該反向軸承元件可藉由至少一個驅動軸驅動以相對於彼此旋轉，其中一工作間隙形成於該第一工作盤與該反向軸承元件之間以加工平坦工件之兩面或一面，且其中提供第一夾持構件以使背對該工作間隙之一夾持表面抵靠該第一支撐盤之面向該第一工作盤之一夾持表面來夾持該第一工作盤，其中提供解耦構件以用於至少部分地使該第一工作盤與該第一支撐盤解耦。

Description

雙面或單面工具機

本發明係關於一種雙面或單面工具機，包含緊固至第一支撐盤之較佳環形第一工作盤且包含反向軸承元件，其中可藉由至少一個驅動軸驅動第一工作盤及反向軸承元件以相對於彼此旋轉，其中工作間隙形成於第一工作盤與反向軸承元件之間以加工平坦工件之兩面或一面，且其中提供第一夾持構件以使背對該工作間隙之夾持表面抵靠第一支撐盤之面向第一工作盤之夾持表面來夾持第一工作盤。

舉例而言，在雙面工具機之兩個面上同時加工諸如晶圓之平坦工件。為此目的，雙面工具機具有頂部工作盤及底部工作盤，在處理期間在其中導引待加工之工件的工作間隙形成於頂部工作盤與底部工作盤之間。頂部工作盤緊固至頂部支撐盤，並且底部工作盤緊固至底部支撐盤。為了進行加工，藉由可旋轉地驅動工作盤中之至少一者連同其支撐盤而產生工作盤之間的相對旋轉。雙面工具機係已知的，其中所謂的轉子盤經導引。轉子盤大體上以浮動方式將待加工之工件容納於圓形開口中。藉由合適之運動學，確保轉子盤亦在工作盤之相對旋轉期間在工作間隙內旋轉。因此，工件在工作間隙內沿著擺線路徑移動。藉此達成尤其一致之表面加工。

在此處討論之種類之工具機的情況下，工作盤之間的工作間隙由於在加工期間產生之製程熱而發生改變。特定言之，發生工作盤之熱相關變形且 因此間隙幾何形狀與所規定形狀發生偏離。此不利地影響加工之結果。此尤其適用於所謂的主要晶圓之極高加工要求。

自DE 100 07 390 B4已知雙盤拋光機，特定言之用於加工半導體晶圓。在此情況下，冷卻通道形成於承載拋光盤之支撐盤中，或支撐盤中及拋光盤中，藉以進行冷卻以防止對工作間隙之幾何形狀的非所要影響。此外，准許在基底支撐件與支撐盤之間的相對徑向移動，藉此在基底支撐件及支撐盤之溫度不同時減少變形。

自DE 10 2004 040 429 B4已知藉由控制工作盤之溫度而抵消來自產生之製程熱的負面效應。通道形成於支撐盤中，諸如冷卻水之對應溫度控制流體傳導通過該等通道。

此外，用於以機械方式使頂部支撐盤及與其附接之頂部工作盤變形的設備自DE 10 2006 037 490 B4已知。藉由此設備，可將頂部工作盤之最初平坦的工作表面改變為稍微凹面表面。相反地，可將頂部工作盤之最初稍微凸面之工作表面分別改變成平坦或凹面的工作表面。

自DE 10 2016 102 223 A1已知雙面或單面工具機，其具有用於尤其藉由將例如水之壓力介質引入至作用於工作盤之壓力腔室中而使工作盤中之至少一者局部變形的構件。以此方式，例如，可產生工作盤之局部凹面或複雜變形。此外，冷卻通道形成於工作盤之支撐盤中以用於進行冷卻。另外，可提供用於產生整體變形之構件，如DE 10 2006 037 490 B4中所描述。

已知系統之問題為直接毗鄰工作間隙之工作盤與承載該工作盤之支撐盤相比可在操作期間變熱更多。因此，應力可出現在工作盤與支撐盤之間，且因此工作間隙可不再以可靠地可控制方式受影響。取決於溫度差，亦可發生支撐盤與工作盤之間的相互移位。在操作之後的後續冷卻期間，由於例如來自螺紋連接之摩擦力抵消了移動，盤並不完全返回至其先前位置。因此，在完全冷 卻後，盤之間的力差可保持為摩擦力兩倍之量。此又可得到不同局部幾何形狀。此外，亦可藉由支撐盤與工作盤之間的改變之支撐而改變工作盤之整體幾何形狀。在操作期間，顯著溫度差亦可出現於毗鄰工作間隙之工作盤之一面與工作盤之相對面之間。此等顯著溫度差可導致兩面之不同熱膨脹，此可導致工作盤之隆突且因此亦導致局部幾何形狀之改變。

幾何形狀之熱相關改變可藉由使用具有極低熱膨脹係數之材料來抵消，諸如特殊鐵鎳合金，例如被稱為鎳鋼。然而，此類材料昂貴且難以處理，尤其鑄造或加工。使用此類材料僅對於相對薄的工作盤為經濟上可行的。然而，此工作盤藉由由具有較大熱膨脹係數之材料製成的支撐盤之支撐將形成雙金屬，使得幾何形狀之改變及對應的較大支撐力將甚至在相對較小溫度改變之情況下出現。WO 2020/208968 A1因此提議當使用具有低熱膨脹係數之工作盤材料時，並不藉由支撐盤支撐工作盤，而是僅經由安裝件將其懸置於支撐盤上。因此，將使工作盤與支撐盤之間的接觸最小化。然而，支撐盤與工作盤之間的支撐之所得缺乏削弱加工結果。

自所解釋之先前技術出發，本發明之目標為提供一種所討論之類型之雙面或單面工具機，其最小化用於加工工件之工作間隙之幾何形狀由於熱效應的局部或整體改變。

本發明藉由如請求項1之雙面或單面工具機來達成此目標。有利的實施方式揭示於附屬請求項、實施方式及圖式中。

對於所討論之類型之雙面或單面工具機，本發明達成以下目標：提供解耦構件以用於至少部分地使第一工作盤與第一支撐盤解耦。

工具機可例如為拋光機、磨光機或研磨機。工作間隙形成於第一工作盤與反向軸承元件(諸如，具有單面工具機之簡單重量或壓力汽缸)或具有雙面工具機之第二工作盤之間，其中在兩面或一面上加工諸如晶圓之待加工之 工件。工具機可為雙面或單面工具機。藉由雙面工具機，可較佳地在工作間隙中同時加工工件之底面及頂面。對應地，兩個工作盤可具有加工工件表面之工作表面。在單面工具機之情況下，僅對比地加工一個工件面；舉例而言，由底部工作盤加工底面。在此情況下，僅一個工作盤具有加工工件表面之工作表面。反向承載元件在此情況下僅用以形成用於由工作盤進行加工之對應反向軸承。

工件可以已知浮動方式容納在配置於工作間隙中之轉子盤中的開口中以用於進行加工。第一工作盤及反向軸承元件在操作期間例如由第一及/或第二驅動軸及至少一個驅動馬達驅動以相對於彼此旋轉。反向軸承元件以及第一工作盤兩者可經驅動以例如在相反方向上旋轉。然而，有可能僅可旋轉地驅動反向軸承元件或第一工作盤。舉例而言，在雙面工具機之情況下，轉子盤可藉由合適的運動學移動以在此相對旋轉期間穿過工作間隙旋轉，使得配置於轉子盤中之工件在工作間隙中描述擺線路徑。舉例而言，轉子盤可在其外部邊緣上及/或在其內部邊緣上具有嚙合於例如第一工作盤之相關聯齒中的齒。具有所謂的行星運動學之此類機器係熟知的。

第一工作盤可經設計成環形。反向軸承元件或第二工作盤亦可分別經設計成環形。第一工作盤及諸如第二工作盤之反向軸承元件接著擁有相對之環形工作表面，環形工作間隙形成於該等工作表面之間。工作表面可覆蓋有諸如拋光布之工作覆蓋物。固持工作盤之任何支撐盤亦可經設計成環形，或至少擁有工作盤緊固至之環形支撐區段。亦可按每工作盤提供多於一個支撐盤。第一工作盤及/或反向軸承元件可形成於一或多個層中。相同情形適用於承載第一工作盤或反向軸承元件之支撐盤。

根據本發明，提供解耦構件以用於第一工作盤與第一支撐盤之至 少部分(例如完全)解耦，特定言之機械解耦。由解耦構件引起之至少部分解耦使得第一工作盤及第一支撐盤可相較於在無解耦構件之情況下更易於，亦即在減小之摩擦力下相對於彼此移動。因此，工作盤及視情況支撐盤之幾乎自由的膨脹係可能的。特定言之，第一工作盤與第一支撐盤之面向彼此的夾持表面之間由第一夾持構件引起之摩擦力減小。為此目的，解耦構件可作用於第一夾持構件。

在先前技術中，已嘗試藉助於諸如冷卻或機械變形之額外措施來抵消熱膨脹，特定言之以儘可能地抑制熱膨脹。本發明提供另一方法。基本上准許大小之熱改變，但解耦構件具有大小之熱改變不會不利地影響工作間隙且因此影響加工結果之效應。由於第一工作盤與支撐盤之夾持表面之間的摩擦力減小，因此工作盤例如在操作期間之大小之熱改變不會導致在開始時相對於工作間隙之幾何形狀改變所解釋的問題。如所解釋，例如當第一工作盤在操作期間沿著其形成對應接合表面之夾持表面加熱時，第一工作盤及第一支撐盤相對於彼此移位。亦如所解釋，由於由第一夾持構件引起之摩擦力，後續冷卻不會引起至起始位置之完全返回移動。因此存在一定程度之滯後。解耦構件減小由第一夾持構件引起之摩擦力，以此方式使得例如至起始位置之完全返回移動在加熱之後發生之冷卻期間進行。對應持續應力及由此引起之幾何形狀之局部或整體改變可因此最小化。同時，在支撐盤與工作盤之間實現大量支撐，特定言之實質上在第一工作盤及/或第一支撐盤之整個表面或整個徑向延伸部上方的支撐。相比於在上文所論述之先前技術中缺少的此支撐，加工結果因此未削弱。

解耦構件可配置於第一工作盤與第一支撐盤之夾持表面之間。因此，在第一工作盤與第一支撐盤之夾持表面之間有可能不存在直接接觸，而是僅存在經由解耦構件之間接接觸。同時，工作盤及支撐盤可例如經由設置於不同徑向位置中之夾持螺釘在其整個表面，特定言之其整個徑向延伸部上方抵靠彼此支撐。解耦構件亦可作用於第一夾持構件自身。接著有可能地，儘管第一工作盤 之夾持表面直接抵靠第一支撐盤之夾持表面，但對第一夾持構件進行預力，例如以此方式使得在減小之摩擦力之情況下在夾持表面上方有可能發生第一工作盤與第一支撐盤之間的相對移動。

根據本發明，特定言之，在無中間層或中間元件設置於夾持表面之間之情況下，第一工作盤之夾持表面有可能直接抵靠第一支撐盤之夾持表面。若解耦構件配置於第一工作盤與第一支撐盤之夾持表面之間，則除解耦構件外，在夾持表面之間有可能不存在中間層或不存在另一中間元件。

根據一尤其實務實施方式，解耦構件可包含配置於第一工作盤與第一支撐盤之夾持表面之間的至少一個軸承，特定言之複數個此類軸承。配置於夾持表面之間的軸承在顯著減小之摩擦力之情況下藉由實現機械解耦來准許第一工作盤與第一支撐盤之間的相對移動。滾動軸承，例如滾子軸承為尤其合適的軸承。舉例而言，此類軸承可特定言之配置於夾持構件，例如夾持螺釘周圍。

根據另一實施方式，解耦構件可包含用於第一夾持構件之彈性預力之彈性預力構件。可替代地或另外提供此類彈性預力構件以用於配置於夾持表面之間的解耦構件，諸如軸承。彈性預力構件對第一夾持構件進行彈性預力，以此方式使得彈性預力構件及第一夾持構件抵靠彼此來夾持第一工作盤及第一支撐盤之夾持表面。相對於此彈性預力，夾持表面之間的摩擦力在大小之熱改變過程中在夾持表面相對於彼此移位時減小。如所解釋，除夾持構件表面之間的解耦構件，例如夾持表面之間的至少一個軸承之外，亦可提供彈性預力構件。在此情況下，彈性預力構件可對至少一個軸承，例如至少一個滾動軸承進行預力。第一工作盤與第一支撐盤之夾持表面之間的提高之自由度之移動接著可具備彈性預力構件之彈性變形。

根據另一尤其實務實施方式，第一夾持構件可包含夾持螺釘，第一支撐盤藉由使其夾持表面抵靠第一工作盤之夾持表面藉由該等夾持螺釘來夾 持。此類夾持螺釘可自背對工作間隙之面插入至第一支撐盤及第一工作盤之對應螺釘插座中。為此目的，夾持螺釘可導引穿過第一支撐盤且旋擰至第一工作盤中。至少在第一工作盤中，螺釘插座可具有對應螺紋。夾持螺釘之螺釘頭可靠在第一支撐盤之背對第一工作盤之面上。為進行支撐，可提供複數個夾持螺釘。舉例而言，在環形第一工作盤的情況下，夾持螺釘之第一群組沿著第一工作盤或第一支撐盤之徑向外部的部分圓配置，且夾持螺釘之第二群組沿著第一工作盤或第一支撐盤之徑向內部的部分圓配置。部分圓可各自配置為接近於第一工作盤或第一支撐盤之徑向外端或內端。

根據另一實施方式，就此而言，彈性預力構件可包含彈性彈簧墊圈，其各自配置於夾持螺釘之螺釘頭與第一支撐盤之背對第一工作盤之表面之間。彈簧墊圈可夾持於螺釘頭與支撐盤之對面且可由此彈性地壓縮且因此進行預力。相對於此預力，第一工作盤與第一支撐盤之夾持表面之間的摩擦力可減小。

根據另一實施方式，解耦構件可包含第一工作盤與第一支撐盤之間的解耦中間層。舉例而言，此可為例如尤其滑動材料，諸如特氟隆之滑動中間層。然而，其亦可為用於熱解耦之中間層，其因此具有低熱導率。解耦構件因此亦可為熱解耦構件。

根據另一實施方式，第一工作盤之材料相較於第一支撐盤之材料可具有較低熱膨脹係數。特定言之，第一工作盤之熱膨脹係數可實質上小於第一支撐盤之熱膨脹係數，例如低5倍，較佳地低10倍。如在開始時所解釋，用於第一支撐盤及第一工作盤之具有大大不同熱膨脹係數之材料之使用產生雙金屬及在大小發生熱改變之情況下由此引起之幾何形狀改變。由於第一工作盤與第一支撐盤之間根據本發明之至少部分解耦，甚至在第一工作盤及第一支撐盤之大大不同熱膨脹係數的情況下，第一工作盤與第一支撐盤之間不存在顯著應力。因 此，可避免在開始關於雙金屬所解釋之問題。因此，特定言之僅對於第一工作盤，有可能使用具有極低熱膨脹係數之材料，例如鐵鎳合金，諸如鎳鋼，而對於第一支撐盤，同時使用具有較高熱膨脹係數之習知材料，例如鑄鐵。接著可產生很大程度上獨立於製程熱之幾何形狀。同時，相對於工作盤及因此工作間隙之幾何穩定性，用於工作盤之具有極低熱膨脹係數之材料之使用為有利的。

根據另一實施方式，反向軸承元件可由較佳環形第二工作盤形成，其中第一及第二工作盤相對於彼此同軸配置，且其中工作間隙形成於第一工作盤與第二工作盤之間以用於加工平坦工件之兩面或一面。第二工作盤可緊固至第二支撐盤，其中提供第二夾持構件以用於藉由使背對工作間隙之夾持表面抵靠第二支撐盤之面向第二工作盤之夾持表面來夾持第二工作盤，且其中亦提供解耦構件以用於至少部分地使第二工作盤與第二支撐盤解耦。舉例而言，第二夾持構件可經設計為第一夾持構件。第二工作盤及/或第二支撐盤可經設計為類似於第一工作盤或第一支撐盤。用於使第二工作盤與第二支撐盤解耦之解耦構件亦可經設計為類似於用於使第一工作盤與第一支撐盤解耦之解耦構件。就此而言，在此上下文中所解釋之所有例示性實施方式可藉由第二夾持構件及其解耦構件傳送至第二工作盤及第二支撐盤。

根據另一實施方式，較佳環形壓力容積可形成於第一支撐盤與第一工作盤之間。壓力容積連接至壓力流體供應器，該壓力流體供應器為可致動的以使得壓力積累於壓力容積中，該壓力產生第一工作盤之預定局部變形。就用於本申請案中之術語流體而言，其可指定氣體以及液體兩者。壓力流體可為液體，特定言之水。藉由將壓力流體引入至壓力容積中，壓力可施加於工作盤上，該工作盤相較於支撐盤為薄的，該加壓引起工作盤之變形。特定言之，工作盤可由此藉由在壓力容積中設定低壓而改變成局部凹面形狀、藉由設定中壓而改變成局部平坦形狀，以及藉由設定高壓而改變成局部凸面形狀。局部凸面或分別凹面變 形或分別形狀特定言之在徑向方向上處於環形第一工作盤之內部邊緣與外部邊緣之間。壓力容積為可變壓力容積。第一工作盤形成取決於由不同壓力產生之壓力容積之容積而變形的膜。

壓力流體供應器包含連接至壓力容積之至少一個壓力管線所連接至的壓力流體儲集器。泵及控制閥可配置於可經致動以例如藉由控制及/或調節設備在壓力容積內積累所要壓力的壓力管線中。另外，壓力流體供應器可包含直接地或間接地量測壓力容積中之壓力且可亦將量測結果發送至控制及/或調節設備的壓力量測設備。藉由適當地致動壓力容積中之壓力流體供應器，可在此基礎上調整所要工作間隙幾何形狀之所需壓力。舉例而言，整個徑向延伸部上方工作盤之間的不變距離為合乎需要的。所要間隙幾何形狀可在靜態操作及/或動態操作中，亦即，在加工工件時，進行調整。

藉由壓力容積，基本上可能將第一工作盤之局部形狀在由安裝、幾何形狀及材料邊界條件判定之最大凹面形狀與最大凸面形狀之間進行平滑調整。第一工作盤原則上可具有任何厚度。取決於盤幾何形狀之所要調整範圍，工作盤擁有合適厚度，使得其可取決於其表面積，特定言之分別其環寬度或其轉彎半徑，而在可用壓力下變形。如DE 10 2016 102 223 A1中所解釋，調整第一工作盤在徑向方向上之局部幾何形狀的可能性可補償間隙自在加工期間溫度之影響的改變。

根據另一實施方式，有可能提供溫度控制通道以用於控制第一工作盤之溫度，該等溫度控制通道連接至溫度控制流體供應器。溫度控制通道經設計以傳導溫度控制流體。該等溫度控制通道可例如經設計成類似於曲徑。可在操作機器以控制溫度，特定言之冷卻工作盤時導引例如諸如水之溫度控制液體的溫度控制流體穿過溫度控制通道。可藉由溫度控制通道在一定程度上抵消工作盤之熱相關變形。

根據另一實施方式，溫度控制通道有可能配置於第一工作盤內，使得相較於壓力容積，溫度控制通道配置為較接近於工作間隙，且溫度控制通道並不連接至壓力容積。由於溫度控制通道在第一工作盤內，特定言之專門在第一工作盤內之配置，溫度控制通道相較於壓力容積可配置為較接近於工作間隙。特定言之，僅一個用於溫度控制流體之饋料及排放管線可延行穿過連接至溫度控制流體供應器之支撐盤。由於配置為較接近於工作間隙之溫度控制通道，第一工作盤之冷卻較有效，因此特定言之可最小化與支撐盤相比工作盤之較強變熱及毗鄰工作間隙之工作盤之一面的較強變熱的上文所解釋之問題。亦可最小化第一工作盤與第一支撐盤之間的對應應力以及第一工作盤之非所要變形。實際上，溫度控制通道經安置成儘可能接近毗鄰工作間隙之工作盤之表面，使得可防止製程熱穿過工作盤至支撐盤中之滲透。為了進一步最小化第一工作盤與第一支撐盤之間的熱傳遞，有可能將第一支撐盤及/或第一工作盤提供在其與桿或其他隆起部接觸之區域中，使得盤之間的接觸表面最小化。

另外，在此實施方式中，溫度控制通道並不連接至壓力容積，亦不同於溫度控制通道與壓力容積彼此連接且形成共同電路之先前技術。因此提供一方面用於溫度控制通道且另一方面用於壓力容積之單獨流體系統(電路)。此使得壓力容積中之壓力能夠獨立於溫度控制通道中之壓力而更靈活地調整。另外，相比於先前技術，用於調整局部幾何形狀之壓力容積中之有效壓力不受溫度控制通道中之壓力限制。

根據另一實施方式，第一工作盤有可能由彼此連接之兩個較佳環形盤形成，溫度控制通道形成於這兩個較佳環形盤之間，其中該等盤中之一者毗鄰工作間隙且該等盤中之另一者包含用於抵靠第一支撐盤之夾持表面夾持之夾持表面。因此，第一工作盤以兩個部分構造，其中其在類似於夾層構造之兩個部分盤之間形成溫度控制通道。此設計使得專門在第一工作盤內形成溫度控制通 道就構造而言極其容易。根據一尤其實務實施方式，兩個盤可旋擰至彼此。然而，其他類型之緊固當然亦為可設想的。

根據另一實施方式，第一工作盤有可能僅在其外部邊緣之區域中及在其內部邊緣之區域中緊固至第一支撐盤。如已解釋，工作盤可特定言之為環形。較佳環形壓力容積接著形成於第一工作盤與第一支撐盤之間。在前述實施方式中，第一工作盤僅在其毗鄰工作表面之徑向外部邊緣及徑向內部邊緣的區域中緊固至第一支撐盤，例如使用夾持螺釘作為夾持構件沿著部分圓旋擰。在此等邊緣區域之間，工作盤對比地並不緊固至支撐盤。特定言之，壓力容積可形成於此區域內。以此方式，工作盤擁有所需行動性以便藉由在壓力容積中積累合適壓力而以所要方式變形。選擇工作盤至支撐盤之附接，使得在可能時將內部及外部邊緣上之接觸表面保持為儘可能狹窄以便在工作盤之整個表面上方達成特定變形。

10,10',100:第一支撐盤

120:第二支撐盤

14,14',140:第一工作盤

160:第二工作盤

18,180:工作間隙

20:夾持螺釘

22:螺釘頭

24:夾持表面

26:夾持表面

28:表面

30:彈性彈簧墊圈

32:滾動軸承

34:釋放凹槽

36:釋放凹槽

200:控制及/或調節設備

220:溫度控制通道

240:饋料件

260:排放件

280:溫度控制通道

300:壓力容積

320:饋料件

下文基於圖式更詳細地解釋本發明之例示性實施方式。示意性地：[圖1]展示雙面工具機之一部分之剖面圖；[圖2]展示根據第一例示性實施方式的雙面工具機之第一工作盤及第一支撐盤之剖面圖；[圖3]展示根據第二例示性實施方式的雙面工具機之第一工作盤及第一支撐盤之剖面圖；[圖4]展示根據另一實施例的雙面工具機之第一工作盤及第一支撐盤之剖面圖。

除非另外指示，否則相同元件符號在圖式中代表相同元件。

在圖1中僅描繪為一實施例之雙面工具機具有環形的第一支撐盤100及亦為環形的第二支撐盤120。環形的第一工作盤140緊固至第一支撐盤100，並且亦為環形之第二工作盤160緊固至第二支撐盤120。在第一工作盤1401和第二工作盤60之間，形成環形工作間隙180，其中在操作期間在兩面上加工諸如晶圓之平坦工件。雙面工具機可例如為拋光機、磨光機或研磨機。

第二支撐盤120及第二工作盤160及/或第一支撐盤100及第一工作盤140可由包含例如頂部驅動軸及/或底部驅動軸以及至少一個驅動馬達之合適的驅動設備相對於彼此可旋轉地驅動。驅動設備本身已知，並且出於清晰之原因將不進一步加以描述。以亦本身已知之方式，可將待加工之工件以在工作間隙180中之轉子盤中浮動的方式固持。藉由合適的運動學(例如行星運動學)，可確保轉子盤亦分別在支撐盤100、120或工作盤140、160之相對旋轉期間穿過工作間隙180旋轉。控制及/或調節設備200分別控制或調節雙面工具機之操作。

在圖1中所展示之實施例中，在第一工作盤140內提供類曲徑之溫度控制通道220。溫度控制通道220藉由饋料件240及排放件260，例如經由驅動第一支撐盤100及第一工作盤140之驅動軸連接至溫度控制流體供應器。舉例而言，控制及/或調節設備200可用以藉由對應地調整溫度控制流體之溫度而調節至溫度控制流體在溫度控制通道之入口及/或出口處之預定溫度值或存在於溫度控制通道之入口處之溫度與存在於出口處之溫度之間的預定溫度差。在所展示實施例中，迷宮溫度控制通道280亦形成於第二工作盤160中，該等迷宮溫度控制通道亦經由饋料件及排放件(圖中未示)連接至溫度控制流體供應器。此溫度控制流體供應器亦由控制及/或調節設備200控制。藉由分別向溫度控制通道220或280供應溫度控制流體，例如諸如水之冷卻劑，可有效地抵消工作盤140、160之變熱及 至支撐盤100、120中之熱傳遞，使得幾何形狀之對應改變減小。

此外，在所展示實施例中為環形之壓力容積300形成於第一支撐盤100與第一工作盤140之間，並且經由饋料件320，例如亦經由驅動第一支撐盤100及第一工作盤140之驅動軸而連接至壓力流體供應器。壓力流體供應器亦由控制及/或調節設備200致動。藉由將壓力流體對應地引入至壓力容積300中，可產生第一工作盤140之局部變形，特定言之如DE 10 2016 102 223 A1中原則上所描述之局部凹面或凸面變形。

如圖1中可見，溫度控制通道220與壓力容積300相比配置為較接近於工作間隙180。此外，壓力容積300及溫度控制通道220之管道系統彼此不連接，而是分別為單獨地可控制的或可調節的。

圖2至圖4各自展示可用於圖1中所示之雙面工具機中的第一支撐盤及第一工作盤。出於說明的原因，圖2至圖4不展示溫度控制通道220及壓力容積300，包括相關聯饋料管線及排放管線。不言而喻，圖2至圖4中所展示之工作盤及支撐盤亦可具有對應溫度控制通道及壓力容積，包括饋料及排放管線。另外，出於說明起見，圖2至圖4僅展示第一支撐盤及第一工作盤。可因此設計另外提供之第二支撐盤及第二工作盤。

圖2展示可用於例如圖1中展示之雙面工具機中的第一支撐盤10及第一工作盤14之第一例示性實施方式。在所展示之例示性實施方式中，提供複數個夾持螺釘20，其自背對工作間隙18之面插入穿過第一支撐盤10且旋擰至第一工作盤14中之對應螺紋孔中。夾持螺釘經由環形支撐件及工作盤10、14沿著兩個部分圓，亦即徑向外部的部分圓及徑向內部的部分圓配置。夾持螺釘20各自具有螺釘頭22。第一支撐盤10具有面向第一工作盤14之夾持表面24且第一工作盤14具有面向第一支撐盤10之夾持表面26。在夾持螺釘20之旋擰期間，第一支撐盤10及第一工作盤14抵靠彼此支撐。在根據圖2之所說明例示性實施方式中，夾持 表面24、26在支撐狀態下直接抵靠彼此且抵靠彼此支撐。

在根據圖2之例示性實施方式中，彈性彈簧墊圈30安置於夾持螺釘20之螺釘頭22與第一支撐盤10之背對第一工作盤14之表面28之間，該等彈簧墊圈在夾持螺釘20之旋擰狀態下彈性地壓縮且因此對夾持螺釘20進行彈性預力。因此，在第一支撐盤10與第一工作盤14之間在夾持表面24、26上方之熱誘發之相對移動的情況下，由夾持螺釘20提供之摩擦力減小，使得例如在第一工作盤14之熱膨脹及由此相對於第一支撐盤10引起之相對移動之後，第一工作盤14完全移動回至其原始位置中。

圖3展示很大程度上對應於根據圖2之例示性實施方式的另一例示性實施方式。除彈性彈簧墊圈30之外，在根據圖3之例示性實施方式中，配置於夾持螺釘20周圍之滾動軸承32設置於第一支撐盤10與第一工作盤14之夾持表面24、26之間。藉助於此等滾動軸承32，第一支撐盤10及第一工作盤14，特定言之其夾持表面24、26以機械方式彼此解耦。因此，由夾持螺釘20引起的第一支撐盤10與第一工作盤14之間的摩擦力進一步減小。

圖4展示用於尋求避免上文所解釋之大小之熱改變之效應的另一實施例。一方面，根據圖4之實施例與根據圖2之例示性實施方式的不同之處在於未提供呈彈性彈簧墊圈30形式之解耦構件。另一方面，不同之處在於，釋放凹槽34、36在第一支撐盤10'及第一工作盤14'中形成於夾持螺釘20周圍。已嘗試藉助於此類釋放凹槽34、36抵消上文所解釋之大小之熱改變之不利效應。然而，已發現，此措施並未得到與根據圖2及圖3之解耦構件相關聯的成功。

100:第一支撐盤

120:第二支撐盤

140:第一工作盤

160:第二工作盤

180:工作間隙

200:控制及/或調節設備

220:溫度控制通道

240:饋料件

260:排放件

280:溫度控制通道

300:壓力容積

320:饋料件

Claims (11)

1. 一種雙面或單面工具機，其包含緊固至一第一支撐盤(10，100)之一第一工作盤(14，140)且包含一反向軸承元件，其中該第一工作盤(14，140)及該反向軸承元件可藉由至少一個驅動軸驅動以相對於彼此旋轉，其中一工作間隙(18，180)形成於該第一工作盤(14，140)與該反向軸承元件之間以加工平坦工件之兩面或一面，且其中提供第一夾持構件以使背對該工作間隙(18，180)之一夾持表面(26)抵靠該第一支撐盤(10，100)之面向該第一工作盤(14，140)之一夾持表面(24)來夾持該第一工作盤(14，140)，其特徵在於提供解耦構件以用於至少部分地使該第一工作盤(14，140)與該第一支撐盤(10，100)解耦，該解耦構件包含配置於該第一工作盤(14，140)與該第一支撐盤(10，100)之該等夾持表面(24，26)之間的至少一個軸承，該至少一個軸承包含至少一個滾動軸承(32)，該第一夾持構件包含夾持螺釘(20)，該第一支撐盤(10，100)藉由使其夾持表面(24)抵靠該第一工作盤(14，140)之該夾持表面(26)藉由該等夾持螺釘(20)來夾持。
2. 如請求項1之雙面或單面工具機，其特徵在於該解耦構件包含用於對該第一夾持構件進行彈性預力之彈性預力構件。
3. 如請求項1之雙面或單面工具機，其特徵在於該彈性預力構件包含各自配置於該等夾持螺釘(20)之一螺釘頭(22)與該第一支撐盤(10，100)之背對該第一工作盤(14，140)之一表面(28)之間的彈性彈簧墊圈(30)。
4. 如請求項1至3中任一項之雙面或單面工具機，其特徵在於該解耦構件包含該第一工作盤(14，140)與該第一支撐盤(10，100)之間的一解耦中間層，其中該解耦中間層是一滑動中間層或用於熱解耦之一中間層。
5. 如請求項1至3中任一項之雙面或單面工具機，其特徵在於該第一工作盤(14，140)之材料相較於該第一支撐盤(10，100)之材料具有一較低 熱膨脹係數。
6. 如請求項1至3中任一項之雙面或單面工具機，其特徵在於該反向軸承元件由一第二工作盤(160)形成，其中該第一工作盤及該第二工作盤(160)相對於彼此同軸配置，其中該工作間隙(18，180)形成於該第一工作盤(14，140)與該第二工作盤(160)之間以加工平坦工件之兩面或一面。
7. 如請求項6之雙面或單面工具機，其特徵在於該第二工作盤(160)緊固至一第二支撐盤(120)，其中提供第二夾持構件以用於藉由使背對該工作間隙(18，180)之一夾持表面抵靠該第二支撐盤(120)之面向該第二工作盤(160)之一夾持表面來夾持該第二工作盤(160)，且其中亦提供解耦構件以用於至少部分地使該第二工作盤(160)與該第二支撐盤(120)解耦。
8. 如請求項1至3中任一項之雙面或單面工具機，其特徵在於一壓力容積(300)配置於該第一支撐盤(10，100)與該第一工作盤(14，140)之間，該壓力容積連接至一壓力流體供應器，可致動該壓力流體供應器以此方式使得一壓力積累於該壓力容積(300)中，這會產生該第一工作盤(14，140)之一預定變形。
9. 如請求項1至3中任一項之雙面或單面工具機，其特徵在於提供溫度控制通道(220，280)以用於控制該第一工作盤(14，140)之溫度，該等溫度控制通道連接至一溫度控制流體供應器。
10. 如請求項9之雙面或單面工具機，其特徵在於該等溫度控制通道(220，280)配置在該第一工作盤(14，140)內，使得該等溫度控制通道(220，280)相較於該壓力容積(300)配置為較接近於該工作間隙(18，180)，且該等溫度控制通道(220，280)並不連接至該壓力容積(300)。
11. 如請求項9之雙面或單面工具機，其特徵在於該第一工作盤(14，140)由彼此連接且中間形成有該等溫度控制通道(220，280)之兩個環 形盤形成，其中該環形盤中之一者毗鄰該工作間隙(18，180)且該環形盤中之另一者具有用於抵靠該第一支撐盤(10，100)之該夾持表面夾持之該夾持表面。