JP2003011055A - 研磨機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 １台の研磨機で上定盤を完全に固定した研磨
方式と、上定盤に自在性を持たせた研磨方式の選択が可
能な研磨機を提供する。 【解決手段】 上面にテンプレート１１が貼り付けられ
た下定盤１０と、下面に研磨パット２１が貼り付けら
れ、ボールジョイント２３を介して回転軸２２と連結さ
れている上定盤２０とからなり、回転軸２２は上定盤２
０の上面側と間隔を置いた位置に回転軸２２が貫通して
遊嵌する補助板２４を有し、上定盤２０と補助板２４と
の間にバネ２５を介在させた状態で上定盤２０に回転軸
２２を固定するための複数本の第１の定盤固定用ボルト
２６と、上定盤２０と補助板２４との間にスペーサ２７
を介在させた状態で上定盤２０に回転軸２２を固定する
ための複数本の第２の定盤固定用ボルト２８とを備えた
構成とする。上定盤２０と補助板２４との間にスペーサ
２７を介在させた状態と介在させない状態を選択する。

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【発明の属する技術分野】本発明は、上下定盤の間に対
象物を挟んだ状態で下定盤に対し上定盤を回転させる構
造の研磨機に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】従来、上記の構造をした回転式の研磨機
により、ガラス板などの高い平滑度を要求される対象物
を研磨する場合、上下定盤の平面度と平行度に依存した
研磨が行われるため、上定盤が回転軸に対して完全に固
定されたタイプの研磨機を使用している。 【０００３】一方、表面形状を維持したままの研磨を行
う場合、例えばカラーフィルター表面の汚れ取り、表面
粗さ向上、不純物除去などを目的として研磨を行う場合
は、前述のような上下定盤が完全に固定したタイプの研
磨機では表面の凹凸までも研磨してしまうため、上定盤
を回転軸に対して完全に固定しないタイプの研磨機が使
用されている。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】上記したように、高い
平面度を要求されるガラス板などの研磨の場合と、カラ
ーフィルターなどの表面形状を維持したままの研磨を行
う場合とでは、上定盤と回転軸の固定方法が異なる研磨
機を使用するため、従来はそれぞれの目的に合わせて別
々の研磨機を用意する必要があった。 【０００５】本発明は、上記のような事情に鑑みてなさ
れたものであり、その目的とするところは、１台の研磨
機で上定盤を完全に固定した研磨方式と、上定盤に自在
性を持たせた研磨方式の選択が可能な研磨機を提供する
ことにある。 【０００６】 【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明の研磨機は、上面にテンプレートが貼り付け
られた下定盤と、下面に研磨パットが貼り付けられ、ボ
ールジョイントを介して回転軸と連結されている上定盤
とからなり、回転軸は上定盤の上面側と間隔を置いた位
置に回転軸が貫通して遊嵌する補助板を有し、上定盤と
補助板との間にバネを介在させた状態で上定盤に回転軸
を固定するための複数本の第１の定盤固定用ボルトと、
上定盤と補助板との間にスペーサを介在させた状態で上
定盤に回転軸を固定するための複数本の第２の定盤固定
用ボルトとを備えたことを特徴としている。 【０００７】 【発明の実施の形態】以下、具体例を挙げて本発明の実
施の形態について説明する。 【０００８】図１は本発明に係る研磨機の一例を示す平
面図と側面図であり、上定盤の固定時を示している。 【０００９】図１において１０は下定盤、２０は上定盤
であり、下定盤１０の上面にはテンプレート１１が貼り
付けられ、上定盤２０の下面には研磨パット２１が貼り
付けられている。そして、下定盤１０のテンプレート１
１の上に対象物が載置され、それに上定盤２０の研磨パ
ット２１が当接した状態で回転することで対象物の研磨
が行われる。 【００１０】下定盤１０と上定盤２０は鋳物などで出来
ており、互いに対向する面は平面度が高く仕上げられて
いる。テンプレート１１は、研磨対象物を下定盤１０に
固定する治具であり、一般的には図示のようにスウェー
ドの如きバッキング材１１ａとそれを固定するベークラ
イトの如き枠１１ｂとで構成される。研磨パット２１
は、研磨を行う際にガラス板等のワークと接触する布で
あり、研磨用途によって発泡ウレタン、スウェードなど
が使い分けられる。 【００１１】上定盤２０は回転軸２２とボールジョイン
ト２３を介して連結されている。そして、回転軸２２は
上定盤２０の上面側と所定間隔を置いた位置に回転軸２
０が貫通して遊嵌する補助板２４を有しており、図２に
拡大して示すように、上定盤２０と補助板２４との間に
バネ２５を介在させた状態で上定盤２０に回転軸２２を
固定するための第１の定盤固定用ボルト２６が、等間隔
で位置する４つの貫通孔２４ａを通してそれぞれ設けら
れ、さらに、図３に拡大して示すように、上定盤２０と
補助板２４との間にスペーサ２７を介在させた状態で上
定盤２０に回転軸２２を固定するための第２の定盤固定
用ボルト２８が、前記第１の定盤固定用ボルト２６の間
に等間隔で位置する４つのネジ孔２４ｂを通してそれぞ
れ設けられている。なお、第１の定盤固定用ボルト２６
と補助板２４の間には、第１の定盤固定用ボルト２６を
衝撃から保護するための緩衝材としてラバークッション
２９が介在され、第２の定盤固定用ボルト２８と補助板
２４の間には、通常のワッシャー３０が介在されてい
る。 【００１２】この図１に示す状態では、上定盤２０が回
転軸と完全に固定されているので、ガラス板のように高
い平滑度を要求される対象物の研磨を行うようにする。
なお、所望サイズのスペーサ２７を挿入することによ
り、上定盤を規定の高さに調整することができるもので
ある。 【００１３】図４は図１に示した研磨機の変形使用状態
を示す平面図と側面図であり、上定盤の自在時を示して
いる。 【００１４】この図４に示す研磨機は、図１に示す状態
からスペーサ２７を挿入した第２の定盤固定用ボルト２
８を外したものである。第１の固定用ボルト２６、バネ
２５、ボールジョイント２３による回転軸２２と上定盤
２０の固定となるため、上定盤２０は自在性（フレキシ
ブル性）を持つことになる。したがって、研磨対象物の
表面形状のままの研磨が可能である。 【００１５】以上、本発明を実施の形態に基づいて説明
したが、本発明による研磨機は、上記実施の形態に何ら
限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範
囲において種々の変更が可能であることは言うまでもな
い。 【００１６】 【発明の効果】以上説明したように、本発明の研磨機
は、上面にテンプレートが貼り付けられた下定盤と、下
面に研磨パットが貼り付けられ、ボールジョイントを介
して回転軸と連結されている上定盤とからなり、回転軸
は上定盤の上面側と間隔を置いた位置に回転軸が貫通し
て遊嵌する補助板を有し、上定盤と補助板との間にバネ
を介在させた状態で上定盤に回転軸を固定するための複
数本の第１の定盤固定用ボルトと、上定盤と補助板との
間にスペーサを介在させた状態で上定盤に回転軸を固定
するための複数本の第２の定盤固定用ボルトとを備えた
ことを特徴としているので、第２の定盤固定用ボルトに
より上定盤と補助板との間にスペーサを介在させた状態
と介在させない状態を選択することにより、ガラス板の
ように高い平面度を要求される研磨とカラーフィルター
のように表面形状を維持したままの研磨を１台の研磨機
で行うことができる。

【図面の簡単な説明】 【図１】本発明に係る研磨機の一例を上定盤の固定時で
示す平面図と側面図である。 【図２】第１の定盤固定用ボルトによる固定状態を示す
拡大断面図である。 【図３】第２の定盤固定用ボルトによる固定状態を示す
拡大断面図である。 【図４】図１に示した研磨機を上定盤の自在時で示す平
面図と側面図である。 【符号の説明】 １０ 下定盤 １１ テンプレート １１ａ パッキング材 １１ｂ 枠 ２０ 上定盤 ２１ 研磨パット ２２ 回転軸 ２３ ボールジョイント ２４ 補助板 ２４ａ 貫通孔 ２４ｂ ネジ孔 ２５ バネ ２６ 第１の定盤固定用ボルト ２７ スペーサ ２８ 第２の定盤固定用ボルト ２９ ラバークッション ３０ ワッシャー

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 【請求項１】 上面にテンプレートが貼り付けられた下
   定盤と、下面に研磨パットが貼り付けられ、ボールジョ
   イントを介して回転軸と連結されている上定盤とからな
   り、回転軸は上定盤の上面側と間隔を置いた位置に回転
   軸が貫通して遊嵌する補助板を有し、上定盤と補助板と
   の間にバネを介在させた状態で上定盤に回転軸を固定す
   るための複数本の第１の定盤固定用ボルトと、上定盤と
   補助板との間にスペーサを介在させた状態で上定盤に回
   転軸を固定するための複数本の第２の定盤固定用ボルト
   とを備えたことを特徴とする研磨機。