KR101020122B1 - 다중의 연마패드를 구비한 폴리싱 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 다중의 연마패드를 구비한 폴리싱 장치로서, 상면에 회전가능하게 설치되는 회전판을 포함하는 본체와, 상면에 연마입자가 도포되고, 상기 회전판 상면에 동심원상으로 다수개가 부착되는 연마패드와, 상기 본체의 일측에 상기 연마패드의 지름방향으로 전후진 가능하게 설치되는 지지부 및 상기 지지부 일측에 상하이동가능하게 설치되고, 하단부에 연마대상 시편이 결합되어 하강하는 경우 상기 시편이 상기 다수개의 연마패드 중 어느 하나의 연마패드에 의해 그라인딩되도록 하는 홀더부를 포함하되, 상기 다수의 연마패드는 상기 연마입자가 상호 상이한 밀도로 도포되는 것을 특징으로 하는 다중의 연마패드를 구비한 폴리싱 장치를 제공한다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 동심원상으로 다수의 연마패드를 구비하고 각 연마패드에 연마입자의 밀도를 상호 상이하게 형성함으로써 별도의 연마패드 교체작업없이 각 연마공정이 연속적으로 이루어지도록 하여 작업시간을 현저하게 단축시킬 수 있는 효과가 있다.

Description

다중의 연마패드를 구비한 폴리싱 장치{Apparatus for polishing with multi polishing pad}

본 발명은 다중의 연마패드를 구비한 폴리싱 장치로서, 보다 상세하게는 별도의 연마패드 교체없이 조연마, 정밀연마, 광택연마가 이루어질 수 있도록 하여 작업시간을 보다 단축시킬 수 있는 다중의 연마패드를 구비한 폴리싱 장치에 관한 것이다.

일반적으로 폴리싱 공정은 연마대상 시편의 표면거칠기 감소, 가공 변질층 제거를 목적으로 이루어지는데, 이러한 폴리싱 공정은 통상 전처리 작업을 위한 시편절단, 마운팅 공정과, 시편의 연마작업을 위한 조연마, 정밀연마, 광택연마 공정과, 세척 및 건조 공정, 총 6단계의 공정으로 이루어진다.

이와 같은 폴리싱 공정을 위한 종래의 폴리싱 장치는 상면 일측에 연마패드가 회전가능하게 설치되는 본체와, 본체 중 상기 연마패드의 상부에서 상하이동가능하게 설치되고 하단부에 결합구가 형성되어 결합구에 시편이 고정되는 홀더부 및 상기 홀더부 일측에 결합되어 상기 홀더부에 회전력을 제공하는 회전력제공수단을 포함하여 구성된다.

상기한 종래의 폴리싱 장치는 시편이 고정된 홀더부가 하강하면 연마패드의 일측에 시편이 접촉되고, 연마패드와 시편이 접촉된 상태에서 연마패드 및 홀더부가 회전하면서 시편을 그라인딩 하게 된다.

그러나, 종래의 폴리싱 장치는 홀더부에 시편을 고정하기 위해 시편을 절단하는 시편절단 공정과, 홀더부의 결합구에 대응되도록 시편의 외부에 폴리수지를 형성하는 마운팅 공정이 실시되면서 작업시간이 현저하게 증대될 뿐 아니라 이를 실시하기 위한 작업인원이 소요되면서 인건비가 상승하고, 그에 따라 제조단가 또한 현저하게 증대되는 문제점이 있었다.

또한, 종래의 폴리싱 장치는 앞서 설명한 바와 같이 조연마, 정밀연마, 광택연마의 단계를 거치면서 시편을 연마하게 되는데, 각 공정간 그 공정을 실시할 수 있는 연마패드로 교체하여 시편을 연마해야 함으로써 작업시간이 증대될 뿐 아니라 연마패드의 교체작업이 매우 번거롭고, 연마패드의 교체시기를 확인하기 위해 별도의 작업인원이 요구되면서 인력비용이 증대되는 문제점이 있었다.

아울러, 종래의 폴리싱 장치는 금속재질의 시편을 연마하는 경우 금속재질의 특성상 강도가 높은 시편으로부터 발생되는 파티클이 시편과 연마패드 사이에 개재되면서 시편에 스크래치가 발생되고, 이로 인해 시편의 연마효율이 현저하게 저하되는 문제점이 발생되었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 동심원상으로 다수의 연마패드를 구비하고 각 연마패드에 연마입자의 밀도를 상호 상이하게 형성함으로써 별도의 연마패드 교체작업없이 각 연마공정이 연속적으로 이루어지도록 하여 작업시간을 현저하게 단축시킬 수 있는 다중의 연마패드를 구비한 폴리싱 장치를 제공함에 있다.

그리고, 시편의 연마공정시 시편으로부터 발생되는 파티클이 연마패드와 연마패드 사이에 형성된 이격공간을 통해 자성체인 회전판에 부착되도록 하여 파티클에 인한 시편의 스크래치 발생을 미연에 방지할 수 있는 다중의 연마패드를 구비한 폴리싱 장치를 제공함에 있다.

또한, 시편의 연마공정 시 홀더부에 가해지는 부하값에 따라 시편을 다음 연마공정으로 이동시켜 각 연마공정이 연속적으로 이루어지도록 함으로써 연마패드의 교체시기를 확인하기 위한 작업인원이 요구되지 않게 되면서 인건비용을 현저하게 절감할 수 있을 뿐 아니라 작업시간을 보다 단축시킬 수 있는 다중의 연마패드를 구비한 폴리싱 장치를 제공함에 있다.

아울러, 시편의 형상이 홀더부의 결합구와 동일하지 않더라도 시편이 홀더부에 용이하게 결합되도록 함으로써 시편절단 및 마운팅 공정을 생략하여 작업시간을 보다 단축시킬 수 있는 다중의 연마패드를 구비한 폴리싱 장치를 제공함에 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일측면에 따르면, 상면에 회전가능하게 설치되는 회전판을 포함하는 본체와, 상면에 연마입자가 도포되고, 상기 회전판 상면에 동심원상으로 다수개가 부착되는 연마패드와, 상기 본체의 일측에 상기 연마패드의 지름방향으로 전후진 가능하게 설치되는 지지부 및 상기 지지부 일측에 상하이동가능하게 설치되고, 하단부에 연마대상 시편이 결합되어 하강하는 경우 상기 시편이 상기 다수개의 연마패드 중 어느 하나의 연마패드에 의해 그라인딩되도록 하는 홀더부를 포함하되, 상기 다수의 연마패드는 상기 연마입자가 상호 상이한 밀도로 도포되는 것을 특징으로 하는 다중의 연마패드를 구비한 폴리싱 장치를 제공한다.

그리고, 상기 회전판은 자성체로 형성되며, 상기 다수의 연마패드는 연마패드와 연마패드가 상호 이격되게 상기 회전판에 부착되어 상기 연마패드와 연마패드 사이에 이격공간이 형성되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 홀더부는 상기 지지부의 일측에 설치되는 바디부와, 상기 바디부의 하부에 설치되는 제1 홀더부와, 상기 바디부의 내부에 설치되고, 일측이 상기 제1 홀더부와 결합되어 상기 제1 홀더부에 회전력을 제공하는 회전력제공수단과, 상기 바디부의 내부에 설치되고, 일측이 회전력제공수단에 결합되어 상기 회전력제공수단 및 상기 제1 홀더부에 상하이동력을 제공하는 상하구동수단과, 일단부가 상기 제1 홀더부의 내부 일측에 지지되고, 하방으로 탄성력을 갖는 탄성부재와, 상기 제1 홀더부의 내부에서 상면이 상기 탄성부재의 타단부와 결합되는 자성체와, 상단부가 상기 자성체에 부착되고, 하단부에 상기 시편이 결합되는 결합구가 형성된 제2 홀더부를 포함할 수 있다.

아울러, 상기 회전력제공수단과 전기적으로 연결되어 상기 시편이 연마되는 경우 상기 회전력제공수단에 가해지는 부하값을 검출하고, 검출된 부하값에 따라 검출신호를 발생하는 토크센서 및 상기 토크센서로부터 발생된 검출신호를 인가받고, 인가된 상기 검출신호에 따른 상기 제1 홀더부에 가해진 부하값이 미리 설정된 부하값 미만인 경우 상기 시편이 상기 다수의 연마패드 중 연마중인 연마패드로부터 다른 연마패드로 이동되도록 상기 홀더부 및 상기 지지부를 제어하는 제어부를 더 포함하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 제2 홀더부의 내부에 설치되고, 상기 시편이 상기 제2 홀더부로부터 이탈하는 경우 이탈신호를 발생하는 이탈감지센서 및 상기 이탈감지센서로부터 발생되는 이탈신호를 인가받는 경우 상기 회전판의 회전과 상기 홀더부의 상하이동 및 상기 지지부의 전후진이동을 정지시키는 제어부를 더 포함할 수 있다.

아울러, 상기 제2 홀더부는 상기 결합구가 형성된 내측에 부착되는 연질의 고정부재를 더 포함할 수 있다.

상기와 같은 본 발명에 따르면, 동심원상으로 다수의 연마패드를 구비하고 각 연마패드에 연마입자의 밀도를 상호 상이하게 형성함으로써 별도의 연마패드 교체작업없이 각 연마공정이 연속적으로 이루어지도록 하여 작업시간을 현저하게 단축시킬 수 있는 효과가 있다.

그리고, 시편의 연마공정시 시편으로부터 발생되는 파티클이 연마패드와 연마패드 사이에 형성된 이격공간을 통해 자성체인 회전판에 부착되도록 하여 파티클에 인한 시편의 스크래치 발생을 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다.

또한, 시편의 연마공정 시 홀더부에 가해지는 부하값에 따라 시편을 다음 연마공정으로 이동시켜 각 연마공정이 연속적으로 이루어지도록 함으로써 연마패드의 교체시기를 확인하기 위한 작업인원이 요구되지 않게 되면서 인건비용을 현저하게 절감할 수 있을 뿐 아니라 작업시간을 보다 단축시킬 수 있는 효과가 있다.

아울러, 시편의 형상이 홀더부의 결합구와 동일하지 않더라도 시편이 홀더부에 용이하게 결합되도록 함으로써 시편절단 및 마운팅 공정을 생략하여 작업시간을 보다 단축시킬 수 있는 효과가 있다.

도1은 본 발명의 일실시예에 따른 다중의 연마패드를 구비한 폴리싱 장치의 사시도,
도2는 본 발명의 일실시예에 따른 다중의 연마패드를 구비한 폴리싱 장치의 측단면도,
도3은 본 발명의 일실시예에 따른 연마패드와 회전판의 사시도,
도4는 본 발명의 일실시예에 따른 홀더부의 단면도,
도5a 내지 도5c는 본 발명의 일실시예에 따른 시편이 그라인딩되는 상태를 도시한 도면.

이하에서 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일실시예를 상세하게 설명하도록 한다.

도1은 본 발명의 일실시예에 따른 다중의 연마패드를 구비한 폴리싱 장치의 사시도이고, 도2는 본 발명의 일실시예에 따른 다중의 연마패드를 구비한 폴리싱 장치의 측단면도이며, 도3은 본 발명의 일실시예에 따른 연마패드와 회전판의 사시도이고, 도4는 본 발명의 일실시예에 따른 홀더부의 단면도이다.

도1 내지 도4에서 보는 바와 같이 본 발명의 일실시예에 따른 다중의 연마패드를 구비한 폴리싱 장치(1)는 본체(10)와, 연마패드(20)와, 홀더부(40)와, 이탈감지센서(50)와, 토크센서(60) 및 제어부(70)를 포함하여 구성된다.

본체(10)는 대략 직육면체 형상으로 형성되고, 상면 일측에 설치홈(11)이 형성되며, 설치홈(11) 내에 회전판(12)이 회전가능하게 설치되어, 연마패드(20)의 설치영역을 제공함과 아울러 연마패드(20)를 회전시키는 역할을 한다.

여기서 회전판(12)은 자성체로 형성되고, 후술하는 금속재질의 연마패드(20)가 탈부착가능하게 결합되며, 본체(10)의 내부에 설치된 모터(13)에 결합되어 모터(13)로부터 제공되는 회전력에 의해 회전하면서 상면에 부착되는 연마패드(20)가 동반회전하도록 하는 역할을 한다.

연마패드(20)는 금속재질로 형성되고, 도2에서 보는 바와 같이 회전판(12)의 상면에 동심원상으로 다수개가 부착되며, 상면에 시편(S)을 연마하기 위한 연마입자(21)가 도포되어 있다.

여기서 다수개의 연마패드(20)에 도포되는 연마입자(21)는 각 연마패드(20)마다 다른 입자밀도를 갖도록 도포되는데, 각 연마패드(20)에 도포되는 연마입자(21)의 입자밀도는 각각 조연마, 정밀연마, 광택연마를 수행할 수 있을 정도의 밀도를 갖도록 도포되는 것이 바람직하다.

즉, 본 실시예의 연마패드(20)는 동심원을 갖는 다수의 연마패드(20)로 형성함으로써 시편(S)을 연마하는 경우 별도의 연마패드(20) 교환없이 시편(S)의 위치를 이동하는 것만으로 조연마, 정밀연마 및 광택연마의 공정이 수행되도록 함으로써 연마패드(20) 교체에 따른 번거로움을 미연에 방지할 수 있을 뿐 아니라 연마공정시간을 현저하게 단축시킬 수 있는 특징이 있다.

또한, 다수의 연마패드(20)는 연마패드(20)와 연마패드(20)간 이격되게 설치함으로써 연마패드(20)와 연마패드(20) 사이에 이격공간(22)이 형성되도록 하여 시편(S)의 연마공정시 발생되는 파티클이 이격공간(22)을 통해 회전판(12)에 부착되도록 하는 것이 바람직하다.

아울러 본 실시예에서는 연마패드(20)의 상면에 연마입자(21)를 도포하는 것으로 설명하고 있으나, 본 발명은 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 연마입자(21)가 도포된 종이 또는 천을 부착하여 사용할 수 있음을 밝혀둔다.

지지부(30)는 몸체(31)와, 몸체(31)로부터 하방으로 연장형성되고 하단부가 본체(10) 일측에 전후진가능하게 결합되는 지지바(32)를 포함하여 구성되며, 후술하는 홀더부(40)를 전후진 이동시키는 역할을 한다.

여기서 지지바(32)는 도면에 도시되어 있진 않지만 본체(10) 내부에 설치된 실린더 중 실린더 헤드와 연결되어 실린더 헤드의 전후진 운동에 따라 동반 전후진될 수 있으나, 본 발명에 따른 지지바(32)의 전후진 이동 구조는 반드시 이에 한정되는 것은 아니며 기어구조 또는 LM가이드 구조와 같이 지지바(32)를 전후진 시킬 수 있는 구조이면 어느 것이든 적용이 가능하다.

홀더부(40)는 도4에서 보는 바와 같이 지지부(30)의 몸체(31) 하부에 결합되는 바디부(41)와, 바디부(41)의 하부에 배치되는 제1 홀더부(42)와, 바디부(41)의 내부에 설치되고 회전축이 제1 홀더부(42)의 상부와 결합되는 회전력제공수단(43)과, 바디부(41)의 내부 중 회전력제공수단(43) 상부에 설치되어 일측이 회전력제공수단(43) 상부에 결합되는 상하구동수단(44)과, 일단부가 제1 홀더부(42)의 내부 일측에 지지되고 하방으로 탄성을 갖는 탄성부재(45)와, 상면이 탄성부재(45)의 타단부가 결합되는 제1 마그넷(46)과, 제1 마그넷(46)의 하부에 위치하고 하단부에 결합구(47a)가 형성된 제2 홀더부(47)와, 제2 홀더부(47)의 상면에 결합되는 제2 마그넷(48) 및 결합구(47a)가 형성된 제2 홀더부(47)의 내벽면에 부착되는 연질의 고정부재(49)를 포함하며, 연마대상 시편(S)을 고정한 상태에서 시편(S)을 연마패드(20)에 접촉시키고 시편(S)이 그라인딩되도록 하는 역할을 하는데, 이러한 홀더부(40)의 동작설명은 도5에서 상세하게 설명하도록 한다.

여기서 탄성부재(45)는 제2 홀더부(47)가 제1 홀더부(42)에 결합된 상태에서 시편(S)이 연마패드(20)에 의해 연마되는 경우 제2 홀더부(47)를 상부에서 하방으로 가압하여 시편(S)이 연마패드(20)에 보다 밀착되게 함으로써 시편(S)의 연마효율을 향상시키는 역할을 한다.

그리고, 본 실시예에서는 회전력제공수단(43)으로 모터(13)가 사용되고, 상하구동수단(44)으로 실린더가 사용된다.

이탈감지센서(50)는 제2 홀더부(47)의 내부 중 제2 마그넷(48)과 고정부재(49) 사이에 개재되어 제2 홀더부(47)의 결합구(47a)에 결합되는 시편(S)의 결합유무를 검출하고, 제2 홀더부(47)에 시편(S)이 결합되지 않은 경우 이탈신호를 발생하는 역할을 한다.

토크센서(60)는 시편(S)의 연마공정시 시편(S)과 연마패드(20)간의 마찰계수를 검출하기 위한 것으로서, 바디부(41)의 내부 일측에 설치되고, 회전력제공수단(43)과 전기적으로 연결되어 시편(S)과 연마패드(20)간 발생되는 마찰계수에 의해 회전력제공수단(43)에 가해지는 부하값을 검출하고 검출신호를 발생하는 역할을 한다.

제어부(70)는 본체(10)의 내부 일측에 설치되고, 이탈감지센서(50) 및 토크센서(60)와 전기적으로 연결되어 이탈신호에 따라 진행중인 시편(S)의 연마공정을 중단키는 역할을 하며, 검출신호에 따라 시편(S)의 각 연마공정이 연속적으로 이루어질 수 있도록 하는 역할을 하는데, 이러한 제어부(70)의 동작은 후술하는 동작설명에서 상세하게 설명하도록 한다.

도5a 내지 도5c는 본 발명의 일실시예에 따른 시편이 그라인딩되는 상태를 도시한 도면이다.

이와 같은 구성을 갖는 본 발명의 일실시예에 따른 다중의 연마패드(20)를 구비한 폴리싱 장치(1)의 동작을 첨부된 도5a 내지 도5c를 참조하여 설명하면 다음과 같다.

먼저, 연마하고자 하는 시편(S)을 제2 홀더부(47)의 결합구(47a)에 고정시킨 상태에서 제2 마그넷(48)을 제1 마그넷(46)에 부착하여 제2 홀더부(47)를 제1 홀더부(42)에 결합한다.

이때, 본 발명의 일실시예에 따른 다중의 연마패드(20)를 구비한 폴리싱 장치(1)는 시편(S)의 형상이 결합구(47a)의 형상과 동일하지 않더라도 결합구(47a)에 시편(S)이 결합되는 경우 시편(S)의 형상과 대응되게 고정부재(49)가 변형되면서 시편(S)을 견고하게 고정함으로써 시편(S)을 결합구(47a)에 고정하기 위해 시편(S)의 형상을 결합구(47a)의 형상과 동일하게 가공하는 시편(S)절단 공정과 마운팅 공정이 생략되어 작업시간을 현저하게 단축시킬 수 있다.

여기서 고정부재(49)는 통상의 고무가 사용될 수 있다.

이후 전원이 인가되면 도5a에서 보는 바와 같이 상하구동수단(44)에서 제1 홀더부(42)를 하강시키고, 제1 홀더부(42)가 하강함에 따라 제2 홀더부(47)가 동반 하강하여 도5b에서 보는 바와 같이 제2 홀더부(47)에 부착된 시편(S)이 다수의 연마패드(20) 중 어느 하나의 연마패드(20)에 접촉된다.

시편(S)이 연마패드(20)에 접촉되면 도5c에서 보는 바와 같이 회전력제공수단(43)과 본체(10)에 설치된 모터(13)가 구동되어 시편(S)과 연마패드(20)가 각각 회전하고, 이에 시편(S)이 연마패드(20)에 의해 연마된다.

이때, 시편(S)의 재질이 금속인 경우 시편(S)이 연마패드(20)에 의해 연마되면서 발생되는 파티클이 회전판(12)의 자성에 의해 회전판(12)에 부착되도록 함으로써 시편(S)과 연마패드(20) 사이에 잔존하는 파티클에 의한 시편(S)의 스크래치 발생문제를 미연에 방지할 수 있는 특징이 있다.

다음 시편(S)의 연마공정 중 이탈감지센서(50)로부터 이탈신호가 발생되면 제어부(70)는 발생된 이탈신호를 인가받고 회전력제공수단(43)과, 본체(10) 내부에 설치된 모터(13)의 작동을 정지되도록 함으로써 시편(S)의 연마 작업이 중지되도록 한다.

이는 시편(S)의 연마공정 도중 시편(S)이 제2 홀더부(47)로부터 이탈되는 경우 제2 홀더부(47)와 연마패드(20)가 접촉하여 제2 홀더부(47) 및 연마패드(20)가 손상되거나 파손되는 것을 방지하기 위함이다.

또한, 시편(S)의 연마공정 중 시편(S)이 연마되어 시편(S)의 조도가 향상되고, 시편(S)과 연마패드(20)간 마찰계수가 낮아진 상태에서 토크센서(60)로부터 검출신호가 발생되면 제어부(70)는 발생된 검출신호를 인가받고, 인가받은 검출신호에 따라 회전력제공수단(43)에 가해지는 부하값이 미리 설정된 부하값 미만인 경우 진행중인 시편(S)의 연마공정을 중지하고, 상하구동수단(44)과, 지지부(30)의 지지바(32)와 연결된 실린더를 구동하여 다음 연마공정이 진행될 수 있도록 그와 대응되는 연마패드(20)와 대응되는 위치로 시편(S)을 이동시키는 역할을 한다.

이와 같이 본 발명의 일실시예에 따른 다중의 연마패드(20)를 구비한 폴리싱 장치(1)는 시편(S)의 각 연마공정이 작업자의 조작없이 연속적으로 이루어짐으로써 다음 연마공정으로 시편(S)을 이송시키기 위한 별도의 조작인원이 요구되지 않아 인건비용을 절감할 수 있고, 작업시간을 현저하게 단축시킬 수 있는 특징이 있다.

비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서 첨부된 특허청구의 범위는 본 발명의 요지에서 속하는 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.

1 : 다중의 연마패드를 구비한 폴리싱 장치
10 : 본체 11 : 설치홈
12 : 회전판 13 : 모터
20 : 연마패드 21 : 연마입자
22 : 이격공간 30 : 지지부
31 : 몸체 32 : 지지바
40 : 홀더부 41 : 바디부
42 : 제1 홀더부 43 : 회전력제공수단
44 : 상하구동수단 45 : 탄성부재
46 : 제1 마그넷 47 : 제2 홀더부
47a : 결합구 48 : 제2 마그넷
49 : 고정부재 50 : 이탈감지센서
60 : 토크센서 70 : 제어부

Claims (6)

1. 상면에 회전가능하게 설치되는 회전판을 포함하는 본체와;
   상면에 연마입자가 도포되고, 상기 회전판 상면에 동심원상으로 다수개가 부착되는 연마패드와;
   상기 본체의 일측에 상기 연마패드의 지름방향으로 전후진 가능하게 설치되는 지지부; 및
   상기 지지부 일측에 상하이동가능하게 설치되고, 하단부에 연마대상 시편이 결합되어 하강하는 경우 상기 시편이 상기 다수개의 연마패드 중 어느 하나의 연마패드에 의해 그라인딩되도록 하는 홀더부를 포함하되,
   상기 다수의 연마패드는 상기 연마입자가 상호 상이한 밀도로 도포되는 것을 특징으로 하는 다중의 연마패드를 구비한 폴리싱 장치.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 회전판은 자성체로 형성되며,
   상기 다수의 연마패드는 연마패드와 연마패드가 상호 이격되게 상기 회전판에 부착되어 상기 연마패드와 연마패드 사이에 이격공간이 형성되는 것을 특징으로 하는 다중의 연마패드를 구비한 폴리싱 장치.
   
3. 제1항에 있어서,
   상기 홀더부는
   상기 지지부의 일측에 설치되는 바디부와;
   상기 바디부의 하부에 설치되는 제1 홀더부와;
   상기 바디부의 내부에 설치되고, 일측이 상기 제1 홀더부와 결합되어 상기 제1 홀더부에 회전력을 제공하는 회전력제공수단과;
   상기 바디부의 내부에 설치되고, 일측이 회전력제공수단에 결합되어 상기 회전력제공수단 및 상기 제1 홀더부에 상하이동력을 제공하는 상하구동수단과;
   일단부가 상기 제1 홀더부의 내부 일측에 지지되고, 하방으로 탄성력을 갖는 탄성부재와;
   상기 제1 홀더부의 내부에서 상면이 상기 탄성부재의 타단부와 결합되는 자성체와;
   상단부가 상기 자성체에 부착되고, 하단부에 상기 시편이 결합되는 결합구가 형성된 제2 홀더부를 포함하는 것을 특징으로 하는 다중의 연마패드를 구비한 폴리싱 장치.
   
4. 제3항에 있어서,
   상기 회전력제공수단과 전기적으로 연결되어 상기 시편이 연마되는 경우 상기 회전력제공수단에 가해지는 부하값을 검출하고, 검출된 부하값에 따라 검출신호를 발생하는 토크센서; 및
   상기 토크센서로부터 발생된 검출신호를 인가받고, 인가된 상기 검출신호에 따른 상기 제1 홀더부에 가해진 부하값이 미리 설정된 부하값 미만인 경우 상기 시편이 상기 다수의 연마패드 중 연마중인 연마패드로부터 다른 연마패드로 이동되도록 상기 홀더부 및 상기 지지부를 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다중의 연마패드를 구비한 폴리싱 장치.
   
5. 제3항에 있어서,
   상기 제2 홀더부의 내부에 설치되고, 상기 시편이 상기 제2 홀더부로부터 이탈하는 경우 이탈신호를 발생하는 이탈감지센서; 및
   상기 이탈감지센서로부터 발생되는 이탈신호를 인가받는 경우 상기 회전판의 회전과 상기 홀더부 및 상기 연마패드의 동작을 정지시키는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다중의 연마패드를 구비한 폴리싱 장치.
   
6. 제3항에 있어서,
   상기 제2 홀더부는 상기 결합구가 형성된 내측에 부착되는 연질의 고정부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다중의 연마패드를 구비한 폴리싱 장치.

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