JP2985490B2 - 研磨機の除熱方法 - Google Patents

研磨機の除熱方法

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JP2985490B2
JP2985490B2 JP4078290A JP7829092A JP2985490B2 JP 2985490 B2 JP2985490 B2 JP 2985490B2 JP 4078290 A JP4078290 A JP 4078290A JP 7829092 A JP7829092 A JP 7829092A JP 2985490 B2 JP2985490 B2 JP 2985490B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体Ｓｉ単結晶からな
るウェーハのような、両面側が平坦な被研磨材を平面研
磨する研磨機の除熱方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体デバイスの高集積化に伴
い、ウェーハの主面上に超微細加工を施す技術が日進月
歩で開発され、デバイス上の線幅は１μｍから０．５μ
ｍ以下になってきている。このような超微細加工を行な
うにあたって、半導体デバイスの基板となるウェーハが
平坦でなければ、リソグラフィ、エッチング、薄膜形成
などを精度良く行なうことはできない。すなわち、ウェ
ーハは前記線幅の微細化に伴なって、より高度の平坦度
が要求されるので、平面研磨を行なうための研磨方法や
研磨機においても、間断のない改良が必要とされる。図
１７は従来の研磨機の一例の概要構造を示すものであ
る。平坦な表面を形成する円板状の定盤体５５は定盤体
保持部５６に固持される。定盤体保持部５６と一体的に
形成された回転軸５７は図略の駆動部に連結し回転駆動
される。定盤体５５の表面には研磨布５８がほぼ全面に
わたり敷設される。一方、ウェーハ７を保持するウェー
ハ保持ヘッド８は図略の駆動手段により自転する。な
お、ウェーハ７と研磨布５８間に研磨剤９を供給する研
磨剤供給手段５９が配置される。研磨剤９は、例えばコ
ロイダルシリカ等の砥粒をアルカリ性溶液に分散した分
散液から構成される。
【０００３】また、定盤体保持部５６の上面側には冷却
水溜り６０が凹設され定盤体５５の裏面に接する。一
方、回転軸５７内には冷却水溜り部６０に連通する冷却
水供給路６１および冷却水排水路６２が形成され、クー
ラー６３および冷却水供給源６４に連通する。以上の構
造により、冷却水供給源６４からクーラー６３を介して
冷却された冷却水は冷却水供給路６１から冷却水溜り部
６０内に送られ、定盤体５５を冷却した後、冷却水排水
路６２を介して冷却水供給源６４に戻入されて循環す
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】所で、前述のようによ
り高度のウェーハ表面の平坦度を得るためには、研磨機
の場合、研磨時に被研磨材と圧接する研磨布を含む定盤
体が相応の平面を保つと同時に、摩擦による損耗や機械
的応力による変形のないのが条件の１つである。そのた
め定盤体は、相応の機械的強度を有する材料と構造体で
設計されている。しかしながら、発明者等は、ウェーハ
口径が大きくなったり、研磨機の生産性向上を目的に単
位処理量を増すべく装置を大型化する場合、あるいは研
磨を高速度化しようとする場合に、定盤体における新た
な変形の問題、すなわち研磨時における定盤体の局所的
摺動部分で発生する摩擦熱により定盤体表面部に温度む
らが発生し、それが原因と見られる定盤体の変形が、ウ
ェーハ平坦度を向上させることの障害となっていること
に気が付いた。また、ウェーハ７の研磨効率を向上する
には、高速，高圧（ウェーハの圧接力を高くすること）
の研磨が必要があるが、この場合はウェーハ７および研
磨布５８は更に高温になり、定盤体表面部における温度
不均一性は拡大する。さらに、ウェーハ７の平坦度を所
望値に仕上げるためには、ウェーハ７と研磨布５８とが
均一に接触することが必要である。すなわち、ウェーハ
７と研磨布５８との間には研磨による摩擦熱が発生し、
ウェーハ７および研磨布５８を高温にする。その場合、
両者の接触面全体が均一の温度に保持されないとウェー
ハ７を均一に仕上げることは出来ない。
【０００５】一方、研磨剤９の研磨挙動も温度に影響さ
れるため、ウェーハ７および研磨布５８間に介在する研
磨剤９の温度が不均一になると切れ味が変り、ウェーハ
７を均一に研磨仕上げすることができなくなる。
【０００６】通常の研磨機においては、前記したように
冷却水溜り部６０を設け、定盤体５５を冷却してウェー
ハ７と研磨布５８の高熱化を防止するようにしていた。
図１８は定盤体５５および定盤体保持部５６の温度分布
を示すものである。定盤体５５の摺動部分には矢印Ａの
ように比較的大きな摩擦熱流が上方から下方に向かって
流れ、その周辺に行くにしたがって矢印Ｂのように比較
的小さな摩擦熱流が流れる。また、矢印Ｃに示すよう
に、駆動部から発生した熱流が下方から上方に向かって
流れる。その結果、図１８の左側に示すように、定盤体
５５の摺動部分には実線で示すような接触負荷の大きい
高摩擦熱の部分と点線で示すような低摩擦熱の部分が生
じる。
【０００７】この場合、定盤体５５の厚みが数１０ｍｍ
あるため、冷却水溜り部６０のみでは定盤体５５表面部
の冷却が充分にできず、図示のように定盤体５５の表面
と裏面との間に大きな温度差を生じ、その結果、図１９
に極端に示すように定盤体５５が熱変形する。また、定
盤体５５は、一般にＳＵＳ又はセラミックス等の材料か
ら形成され、定盤体保持部５６は鋳鉄等から形成されて
いるため、両者の熱膨張係数の相違によるバイメタル的
な熱変形も加って、定盤体５５の表面を平坦に保持する
上での障害となる。
【０００８】図２１はウェーハ７を一枚づつ研磨する毎
葉式の研磨方法を示し、図２２は複数枚（図示では４
枚）のウェーハ７を単一のウェーハプレート６５に支持
し、同時研磨を行うバッチ式の研磨方法を示すものであ
る。そのいずれの場合にも、研磨時における摺動部の発
熱が定盤体５５の表面部に温度むらを発生させると同時
にウェーハの摺動部分においては図示のような研磨布負
荷が生ずる。研磨布負荷とは研磨布が回転する際に研磨
布がウェーハ７に接して研磨を行っている度合（比率）
を示すもので、山の高い方が研磨布負荷が高く摩擦熱が
高くなる。そのため、図２０に示すようにウェーハの中
央が高温になり周辺が低温となる不均一温度分布がウェ
ーハ７内に生ずる。以上の現象により、毎葉式およびバ
ッチ式のいずれの研磨方法によっても、ウェーハ７の平
坦度を均一に仕上げることが出来ない問題点があった。
【０００９】本発明は、以上の問題点を解決するもの
で、研磨時におけるウェーハ研磨面の温度差を緩和する
と同時に、定盤体の温度分布を均一に保つことでこの熱
的な変形を抑制し、結果として、被研磨材の平坦度と品
質を安定化させると同時に、研磨時における研磨面の冷
却能力を高めることにより、高速かつ高圧条件による研
磨を可能にした、生産性の高い研磨機の提供を目的とし
ている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、駆動部により
回転する平坦な定盤体の表面に研磨布を敷設し、該研磨
布に被研磨材を圧接させながら回転させ、両者間に研磨
剤を供給して平面研磨を行うに際し、前記定盤体の表面
に近い裏面側に、且つ該裏面の全域にわたり溝部を多数
形成することにより、該溝部上方の定盤体部分の肉厚を
相当に薄くしてその剛性を低下させるとともに、前記定
盤体を高剛性の定盤体保持部上に固定して、前記溝部に
より冷却水流路を形成し、冷却水を前記冷却水流路内に
循環させることにより、定盤体温度の均一化と低温化と
を図ることを特徴とする研磨機の除熱方法である。また
本発明は、駆動部により回転する平坦な定盤体の表面に
研磨布を敷設し、該研磨布に被研磨材を圧接させながら
回転させ、両者間に研磨剤を供給して平面研磨を行うに
際し、前記定盤体を多数個の定盤ブロック体群で構成
し、これらの定盤ブロック体群は定盤体保持部上に、且
つそのほぼ全域にわたって互いに間隔を置いて固定し、
隣接する定盤ブロック体間には冷却用媒体の流路を形成
し、冷却用媒体を前記流路内に循環させることにより、
定盤体温度の均一化と低温化とを図ることを特徴とする
研磨機の除熱方法である。
【００１１】
【作用】本発明では、定盤体の表面に近い裏面側に、且
つ該裏面の全域にわたり多数形成した溝部により冷却水
流路を形成し、この流路に冷却水を循環させることで、
定盤体温度の均一化と低温化とを確実に達成することが
できる。さらに、前記溝部上方の定盤体部分の肉厚を相
当に薄くしてその剛性を低下させたため、定盤体が熱膨
張してもその変形が防止される。さらにこの定盤体は高
剛性の定盤体保持部上に固定したので、定盤体全体の剛
性が保証される。このようにして定盤体温度の均一化
と、定盤体の変形防止が達成されるため、安定して、平
坦度の高い被研磨材に仕上げることができる。また本発
明は、定盤体保持部上に多数個の定盤ブロック体群を設
けることで定盤体を構成するとともに、これら定盤ブロ
ック体間の間隙により冷却用媒体の流路を形成したもの
であり、この発明では、平面研磨時にそれぞれのブロッ
クが熱変形することにより、定盤体全体としての変形が
防止されるため、確実に平坦度の高い被研磨材に仕上げ
ることができる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づき説明す
る。 実施例１ 図１は研磨機１の全体構造を示す。研磨布６を表面に敷
設した、平坦な表面を形成する定盤体２ａは定盤体保持
部２９上に固定されたものからなる。定盤体保持部２９
には回転軸３ａが一体的に形成され、回転軸３ａは図略
の駆動部に連結する。研磨布６と相対向する位置にはウ
ェーハ７が配置され、ウェーハ７はウェーハ保持ヘッド
８に保持されて、図略のウェーハ駆動手段による自転す
る。
【００１３】研磨剤９は研磨布６と相対向する位置に配
置される研磨剤供給ノズル１０から供給されてウェーハ
７と研磨布６間に供給される。研磨剤９はウェーハ７の
研磨用に使用されると共に、冷却用媒体として兼用され
るものである。定盤体２ａの周縁には定盤体２ａの表面
から周縁側に流れて落下した研磨剤９を受ける研磨剤溜
り部１１が定盤体２ａの外縁を囲繞して配置される。
【００１４】研磨剤排出パイプ１２の一端側が研磨剤溜
り部１１に連通し、他端側は研磨剤用タンク１３の直上
に位置している。研磨剤９はこの他端側を介して研磨剤
用タンク１３に戻入する。一方、クーラー１５および制
御弁１６を介して冷却水供給源１４に一端側を連結する
冷却水パイプ１７は研磨剤用タンク１３内を通り、冷却
水供給源１４に他端側を連結する。更に、温度制御部１
８は研磨剤用タンク１３内に配置される温度検出センサ
１９と制御弁１６とに連結し、温度検出センサ１９の検
出信号により制御弁１６を開閉操作して研磨剤用タンク
１３内の研磨剤９の温度を所定温度に保持すべく機能す
る。研磨剤用タンク１３にその一端側を連結し、ポンプ
２１を介設する研磨剤供給パイプ２０は研磨剤供給ノズ
ル１０に連結する。上記図略の駆動部は駆動モータと、
プーリー、プーリーベルトおよび回転軸３ａに駆動機構
部を介して連結するプーリー等からなり、上記駆動モー
タの回転を回転軸３ａに伝達するようになっている。
【００１５】 更に、定盤体保持部２９の裏面（下面）全
体を覆 う断熱剤２６が敷設される。上記駆動モータおよ
びそれに連結する上記駆動機構部等からは熱が発生し、
その熱により定盤体保持部２９がその裏面側から加熱さ
れるが、断熱材２６を配設することにより上記駆動部側
の熱が定盤体保持部２９を介して定盤体２ａ側に伝達さ
れず、定盤体２ａの温度の不均一性が低減される。
【００１６】 定盤体２ａの定盤体保持部２９に接する裏
面側には定盤体２ａの表面側に向かって凹設される溝部
３０が定盤体２ａのほぼ全域にわたり形成される。図２
に拡大表示するように、溝部３０の図の上方部の溝底と
定盤体２ａの研磨布６の敷設される表面との間の肉厚ｔ
は極力薄く形成される。肉厚ｔを薄くすることにより定
盤体２ａの剛性が低下し、定盤体２ａの熱膨張時におけ
る変形を吸収して定盤体２ａ全体の変形を防止すること
が出来る。なお、定盤体２ａには高剛性体の定盤体保持
部２９が固定されるため、肉厚ｔが薄くとも全体の剛性
は保持される。
【００１７】 図１ に示すように定盤体保持部２９および
回転軸３ａには冷却水供給路３１と冷却水排水路３２が
形成される。冷却水供給路３１はその一端側を溝部３０
に連通すると共に他端側はクーラー１５を介して冷却水
供給源１４に連結される。また、冷却水排水路３２はそ
の一端側を溝部３０に連通すると共に、他端側を冷却水
供給源１４に連結する。以上の構造により、冷却水供給
源１４からクーラー１５を介して適温に冷却された冷却
水が冷却水供給路３１より溝部３０内に供給されるため
定盤体２ａが全域にわたり冷却され、その熱変位が低減
される。
【００１８】 以上の構成により、冷却水供給源１４から
の冷却水により適温に冷却された研磨剤９は研磨剤用タ
ンク１３からポンプ２１により研磨剤供給パイプ２０か
ら研磨剤供給ノズル１０側に導かれ、研磨布６の上面に
噴出供給される。研磨剤９はウェーハ７と研磨布６間を
流れる。
【００１９】 研磨布６側の熱を吸収した冷却水は冷却水
排水路３２を介し冷却水供給源１４側に戻入されて循環
する。一方、研磨剤用タンク１３内の研磨剤９も研磨布
６上に供給され、研磨剤として機能すると共に研磨布お
よび定盤体２ａを冷却すべく機能する。以上により、研
磨布６の平坦度が保持され、ウェーハ７の平坦度等を所
望値に保持することができる。
【００２０】 研磨剤用タンク１３内の研磨剤９は冷却水
により適温に冷却されると共に、温度検出センサ１９の
検出信号を受けた温度制御部１８による制御弁１６の開
閉動作によりほぼ一定温度に保持される。また、上記駆
動部の駆動により定盤体２ａが回転すると共にウェーハ
保持ヘッド８が自転するため、ウェーハ７は研磨布６に
圧接された状態で平面研磨仕上げされる。
【００２１】 図３および図４ は溝部３０の形状を示すも
ので、図３は縦横碁盤状の溝部３０ａを形成したもので
あり、図４は放射状の溝部３０ｂと同心円状の溝部３０
ｃを形成したものである。勿論、溝部３０の形状はこれ
らのものに限定されない。図５乃至図７は図３、図４に
示した溝部３０ａ，３０ｂ，３０ｃの一部を堰止めして
冷却水の通れる流路を制御し、定盤体２ａの冷却性の均
一性と効率化を図ったものである。
【００２２】 図５ は定盤体２ａの外縁側から中心に向か
う冷却水通路３３を形成し冷却水の流れにアクセントを
つけたものであり、図６は定盤体２ａを１／４に区切り
１／４ごとに冷却水通路３４を形成したものであり、図
７はほぼ全域にわたり冷却水が円滑に、かつ均等に流れ
るように屈曲した冷却水通路３５を形成したものであ
る。
【００２３】 実施例２，３ 図８は研磨機の要部構造を示す軸断面図である。また、
図９は図８ とほぼ近似する構造からなる他の実施例を示
す。両実施例とも前記実施例の定盤体２ａの替わりに定
盤ブロック３６，３６ａを採用したものである。図８に
示すように、定盤体保持部３７の上面側には後に詳細形
状を説明する多数個の定盤ブロック体３６がシール部材
３８を介して嵌め込まれている。また、各定盤ブロック
体３６はボルト３９により定盤体保持部３７側に固定さ
れる。隣接する定盤ブロック体３６，３６間には溝部４
０が形成される。
【００２４】 以上の構造により図８においては、研磨剤
供給ノズル１０からの研磨剤９は溝部４０を連通しなが
ら定盤ブロック体３６を冷却し、定盤ブロック体３６上
に敷設される研磨布６の高熱化を防止し、研磨布６の平
坦度を保持する。図９は図８と同様に定盤ブロック体３
６ａを定盤体２ａの替わりに採用した実施例を示すもの
である。定盤体２ａの研磨布６の敷設される上方側は下
方側に較べて拡径し、鍔部４２ａを形成する。定盤ブロ
ック体３６ａを固持する定盤体保持部４１には図１に示
した実施例と同様に冷却水供給路３１ａと冷却水排水路
３２ａがそれぞれ形成される。隣接する定盤ブロック３
６ａ，３６ａの鍔部４２ａ，４２ａ間にはシール材４３
が嵌着される。そのため、隣接する定盤ブロック体３６
ａ，３６ａの下方側の縮径部４５ａ，４５ａ間には密閉
された溝部４４が形成される冷却水供給路３１ａおよび
冷却水排水路３２ａは溝部４４に連通する。なお、図９
において図８と同一符号のものは同一物又は同一機能の
物でその説明を省略する。本実施例により、定盤ブロッ
ク体３６ａが適温に冷却され、その鍔部４２ａ上に敷設
される研磨布６の平坦度を保持する。
【００２５】 図１０乃至図１３ は各種形状の定盤ブロッ
ク体３６ｂ，３６ｃ，３６ｄ，３６ｅを示す。図１０に
おいて、定盤ブロック３６ｂは鍔部４２ｂとその下方の
縮径部４５ｂと縮径部４５ｂに一体的に形成されるフイ
ン部４６から形成される。フィン部４６は冷却水が接触
する接触面積を増加し、定盤ブロック体３６ｂの冷却性
を向上するためのものである。
【００２６】 図１１ の定盤ブロック体３６ｃの縮径部４
５ｃには貫通孔４７が形成される。冷却水が貫通孔４７
を連通することにより定盤ブロック体３６ｃの冷却性が
向上する。符号４２ｃは鍔部である。
【００２７】 また、図１２の定盤ブロック体３６ｄは２
個の貫通孔４８，４８を設けたもので冷却性向上に機能
する。符号４２ｄは鍔部、４５ｄは縮径部である。
【００２８】 図１３に示すものは図９ に示した定盤ブロ
ック体３６ａと図示のような定盤ブロック体３６ｅとを
隣接して組み合わせたものからなる。定盤ブロック体３
６ｅは上方側に突出部４９を形成し中間に鍔部４２ｅ、
その下に縮径部４５ｅを形成したものからなる。定盤ブ
ロック体３６ａの鍔部４２ａと定盤ブロック体３６ｅの
鍔部４２ｅは上下に重合し、その間にはシール材５０が
挟着される。それにより、隣接する縮径部４５ａと縮径
部４５ｅ間に溝部４４が形成される。
【００２９】 図１４および図１５ は定盤体保持部３７，
４１上に固定された前記定盤ブロック体３６乃至３６ｅ
の上面部（鍔部４２ａ等）の形状を示すものである。図
１４は六角形状に形成され、図１５は四角形状に形成さ
れるものからなる。勿論、その形状は図示のものに限定
されない。隣接する定盤ブロック体３６等の間には前記
したように溝部４０（４４）が形成される。
【００３０】 図１６ は断熱材５１を定盤体２ｂと定盤体
保持部２９ｂ間に介設した実施例を示す。その表面測に
研磨布６を敷設する定盤体２ｂの下方側には冷却水溜り
部５２が凹設される。また、定盤体保持部２９ｂには冷
却水溜り部５２に連通する冷却水通路５３，５４が形成
される。断熱材５１は定盤体保持部２９ｂ側から定盤体
２ｂ側への伝熱を防止すべく機能する。これにより熱容
量が減少し、始動時定常状態に達する時間が短縮する。
【００３１】 また、本発明においては、図５に示した除
熱装置に近似するものを一対相対向して配置することに
より、ウェーハ上方側の定盤体に敷設される研磨布と下
方側の定盤体の研磨布間に挟持されて両面同時に平面研
磨されるようにすることができる。なお、上記の説明に
おいては、説明の都合上毎葉式を中心に述べたが、バッ
チ式においても本発明は適用できる。
【００３２】
【発明の効果】本発明によれば、次のような顕著な効果
が得られる。（１）請求項１ に係る発明によれば、定盤体の表面に近
い裏面側に且つ該裏面の全域にわたり多数形成した溝部
により冷却水流路を形成し、この流路に冷却水を循環さ
せるとともに、溝部上方の定盤体部分の肉厚を相当に薄
くしてその剛性を低下させたため、請求項１の発明によ
る場合と同等に平坦度の高い被研磨材に仕上げることが
できる。（２）請求項２ に係る発明によれば、定盤体保持部上に
多数個の定盤ブロック体群を設けることで冷却用媒体の
流路を形成したため、定盤体温度の均一化・低温化が達
成されるとともに、平面研磨時にそれぞれの定盤ブロッ
クが熱変形することにより、定盤体全体としての変形が
防止されるため、確実に平坦度の高い被研磨材に仕上げ
ることができる。（３）請求項１，２ に係る発明によれば、定盤体および
研磨布の高熱化が防止されるため、被研磨材の高圧・高
速研磨が可能になり生産性が向上する。また請求項１，
２に係る発明によれば、定盤体の表面側または裏面側に
形成される冷却用媒体の流路の形状・大きさ等を任意に
設定することができるため、研磨布の温度分布に対応さ
せて最も効果的な冷却用媒体流路を形成することができ
る。（４）請求項４ に係る発明によれば、定盤ブロック体
に、前記冷却用媒体と接するフィン、又は前記冷却用媒
体が流過しうる貫通孔を形成したので、定盤体の冷却効
果が大幅に向上する。（５）請求項５ に係る発明によれば、所定の態様で断熱
材を配設したので、駆動部側から定盤体側への熱伝達を
抑えることができるうえ、その結果として、定盤体の実
質的な熱容量が減少するため、平面研磨作業を開始して
から定常状態になるまでの時間が短縮される。なお本発
明は、除熱装置を相対向して配置することにより、被研
磨材の両面を同時に研磨仕上げする装置、すなわち両面
研磨機に応用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の一実施例の適用される研磨機の全体構
成図である。
【図２】 図１ に示した実施例の溝部の形状を示す拡大部
分断面図である。
【図３】 図１ の実施例の溝部形状を示す平面図である。
【図４】 図１ の実施例の溝部形状を示す平面図である。
【図５】 図１ の実施例の溝部の流路の堰止め状態を示す
平面図である。
【図６】 図１ の実施例の溝部の流路の堰止め状態を示す
平面図である。
【図７】 図１ の実施例の溝部の流路堰止め状態を示す平
面図である。
【図８】 定盤体の替わりに定盤ブロック体を用いた一実
施例の要部構造を示す軸断面図である。
【図９】 図８ と同様形式の他の実施例の要部構造を示す
軸断面図である。
【図１０】 図９ に示した実施例の定盤ブロック体の実施
例を示す正面図である。
【図１１】 図９ に示した実施例の定盤ブロック体の実施
例を示す正面図である。
【図１２】 図９ に示した実施例の定盤ブロック体の実施
例を示す正面図である。
【図１３】 図９ に示した実施例の定盤ブロック体の実施
例を示す正面図である。
【図１４】 図８および図９ に示した実施例の定盤ブロッ
ク体の配列形状の一実施例を示す平面図である。
【図１５】 図８および図９ に示した実施例の定盤ブロッ
ク体の配列形状の他の実施例を示す平面図である。
【図１６】 定盤体と定盤体保持部間に介設される断熱材
の配設状態を示す軸断面図である。
【図１７】 従来の研磨機の除熱装置の構成図である。
【図１８】 図１７ に示した除熱装置における定盤体の厚
み方向の温度分布を説明するための一部断面図と線図で
ある。
【図１９】 従来の定盤体の熱変形を説明するための軸断
面図である。
【図２０】 従来の除熱装置における定盤体上の研磨布の
温度分布を説明するための線図および断面図である。
【図２１】 従来の毎葉式のウェーハ研磨におけるウェー
ハの研磨布負荷分布を示す平面図および線図である。
【図２２】 従来のバッチ式のウェーハ研磨におけるウェ
ーハの研磨布負荷分布を示す平面図および線図である。
【符号の説明】
１ 研磨機 ２ａ 定盤体 ３ａ 回転軸 ６ 研磨布 ７ ウェーハ ８ ウェーハ保持ヘッド ９ 研磨剤 １０ 研磨剤供給ノズル １１ 研磨剤溜り部 １２ 研磨剤排出パイプ １３ 研磨剤用タンク １４ 冷却水供給源 １５ クーラー １６ 制御弁 １７ 冷却水パイプ １８ 温度制御部 １９ 温度検出センサ ２０ 研磨剤供給パイプ ２１ ポンプ ２６ 断熱材 ２９ 定盤体保持部 ３０ 溝部 ３０ａ 溝部 ３０ｂ 溝部 ３０ｃ 溝部 ３１ 冷却水供給路 ３１ａ 冷却水供給路 ３２ 冷却水排水路 ３２ａ 冷却水排水路 ３３ 冷却水通路 ３４ 冷却水通路 ３５ 冷却水通路 ３６ 定盤ブロック体 ３６ａ 定盤ブロック体 ３７ 定盤体保持部 ３８ シール材 ３９ ボルト ４０ 溝部 ４１ 定盤体保持部 ４２ａ 鍔部 ４３ シール材 ４４ 溝部 ４５ａ 縮径部 ４５ｂ 縮径部 ４６ フィン部 ４７ 貫通孔 ４８ 貫通孔 ４９ 突出部 ５０ シール材 ５１ 断熱材 ５２ 冷却水溜り部 ５３ 冷却水通路 ５４ 冷却水通路
フロントページの続き (72)発明者 鈴木 文夫 福島県西白河群西郷村大字小田倉字大平 150番地 信越半導体株式会社 半導体 白河研究所内 (56)参考文献 特開 昭63−237865（ＪＰ，Ａ)

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 駆動部により回転する平坦な定盤体の表
    面に研磨布を敷設し、該研磨布に被研磨材を圧接させな
    がら回転させ、両者間に研磨剤を供給して平面研磨を行
    うに際し、前記定盤体の表面に近い裏面側に、且つ該裏
    面の全域にわたり溝部を多数形成することにより、該溝
    部上方の定盤体部分の肉厚を相当に薄くしてその剛性を
    低下させるとともに、前記定盤体を高剛性の定盤体保持
    部上に固定して、前記溝部により冷却水流路を形成し、
    冷却水を前記冷却水流路内に循環させることにより、定
    盤体温度の均一化と低温化とを図ることを特徴とする研
    磨機の除熱方法。
  2. 【請求項２】 駆動部により回転する平坦な定盤体の表
    面に研磨布を敷設し、該研磨布に被研磨材を圧接させな
    がら回転させ、両者間に研磨剤を供給して平面研磨を行
    うに際し、前記定盤体を多数個の定盤ブロック体群で構
    成し、これらの定盤ブロック体群は定盤体保持部上に、
    且つそのほぼ全域にわたって互いに間隔を置いて固定
    し、隣接する定盤ブロック体間には冷却用媒体の流路を
    形成し、冷却用媒体を前記流路内に循環させることによ
    り、定盤体温度の均一化と低温化とを図ることを特徴と
    する研磨機の除熱方法。
  3. 【請求項３】 隣接する定盤ブロック体の表面側にシー
    ル部材を充填して前記冷却用媒体流路の上方側を閉塞し
    たことを特徴とする請求項２に記載の研磨機の除熱方
    法。
  4. 【請求項４】 前記定盤ブロック体に、前記冷却用媒体
    と接するフィン、又は前記冷却用媒体が流過しうる貫通
    孔を形成したことを特徴とする請求項２又は３に記載の
    研磨機の除熱方法。
  5. 【請求項５】 前記定盤体保持部の前記駆動部側に、又
    は前記定盤体と前記定盤体保持部との間に、前記駆動部
    側の熱が前記定盤体側へ伝達することを防止する断熱材
    を配設したことを特徴とする請求項１〜４のいずれか一
    つの項に記載の研磨機の除熱方法。
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