TWI805551B

TWI805551B - 黏著片

Info

Publication number: TWI805551B
Application number: TW106122794A
Authority: TW
Inventors: 平山高正; 副島和樹; 福原淳仁; 有満幸生; 西尾昭德
Original assignee: 日商日東電工股份有限公司
Priority date: 2016-07-11
Filing date: 2017-07-07
Publication date: 2023-06-21
Also published as: JP2018009050A; JP6783570B2; TW201816031A; CN107629720A; CN107629720B

Abstract

本發明提供一種黏著片，其係能夠供於電子零件材料(例如坯片)之固定者，且於該黏著片上將電子零件材料切斷時，能夠防止切斷後之晶片之再附著。本發明之黏著片具備伸長性基材、配置於該伸長性基材之單側或兩側之黏著劑層、及配置於該伸長性基材與該黏著劑層之間之中間層，且該黏著劑層包含黏著劑與熱膨脹性微小球，該黏著劑層之厚度為1 μm～25 μm，使該黏著片與被黏著體密接時之該中間層之厚度與基於奈米壓痕法之彈性模數之關係為0.5(MPa・μm^-1 )≦(1/中間層之厚度(μm))×中間層之基於奈米壓痕法之彈性模數(MPa)≦40(MPa・μm^-1 )，該黏著片對SUS304BA之黏著力為0.1 N/20 mm以上。

Description

黏著片

本發明係關於一種黏著片。

近年來，要求電子零件之小型化及精密化，於陶瓷電容器中，亦正推進小型化。

作為上述陶瓷電容器之製造方法之一例，可列舉經過如下步驟之方法：(1)於陶瓷之焙燒前片材(以下亦稱為坯片)印刷電極之印刷步驟；(2)將形成有電極之坯片積層特定層(例如150層)之積層步驟；(3)對(2)中獲得之積層體進行加壓壓製之加壓步驟；(4)將經加壓之積層體切斷分離成特定尺寸(例如0.4mm×0.2mm)而獲得晶片之切斷步驟；及(5)對獲得之晶片進行焙燒之焙燒步驟。通常，於印刷步驟~切斷步驟中，將被加工物固定於黏著片上進行加工。

自先前以來，已知有上述切斷步驟之後獲得之晶片彼此進行再附著(即所謂對狀化)。若晶片進行對狀化，則會產生自上述黏著片取出(剝離)晶片時之良率降低之問題。為了解決此種問題，提出有使用伸縮性黏著片(例如專利文獻1)。根據該方法，於取出切斷後之晶片時，藉由拉伸黏著片，而可實現對狀化消除。

然而，隨著陶瓷電容器之進一步微小化，即便採用使用伸縮性黏著片之方法，亦無法充分消除晶片之對狀化。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻] 日本專利特開2000-169808號公報

本發明係為了解決上述先前之問題而成者，其目之在於提供一種黏著片，其係能夠供於電子零件材料(例如坯片)之固定者，且於該黏著片上切斷電子零件材料時，能夠防止切斷後之晶片之再附著。

本發明之黏著片具備伸長性基材、配置於該伸長性基材之單側或兩側之黏著劑層、及配置於該伸長性基材與該黏著劑層之間之中間層，且該黏著劑層包含黏著劑與熱膨脹性微小球，該黏著劑層之厚度為1μm~25μm，使該黏著片與被黏著體密接時之該中間層之厚度與基於奈米壓痕法之彈性模數之關係為0.5(MPa‧μm^-1)≦(1/中間層之厚度(μm))×中間層之基於奈米壓痕法之彈性模數(MPa)≦40(MPa‧μm^-1)，該黏著片對SUS304BA之黏著力較佳為0.1N/20mm以上。

於一實施形態中，使上述黏著片與被黏著體密接時之上述黏著劑層之厚度與基於奈米壓痕法之彈性模數之關係為0.05(MPa‧μm^-1)≦(1/黏著劑層之厚度(μm))×黏著劑層之基於奈米壓痕法之彈性模數(MPa)≦40(MPa‧μm^-1)。

於一實施形態中，上述黏著劑係由包含具有乙烯性不飽和官能基之化合物之樹脂材料構成。

於一實施形態中，上述黏著劑包含黏著賦予劑。

於一實施形態中，上述中間層係由包含具有乙烯性不飽和官能基之化合物之樹脂材料形成。

於一實施形態中，上述中間層包含黏著賦予劑。

根據本發明，藉由於伸長性基材與包含熱膨脹性微小球之黏著劑層之間具備中間層，能夠減薄該黏著劑層之厚度，其結果，可提供作為能夠供於電子零件材料(例如坯片)加工時之固定之黏著片而言適宜之黏著片。關於本發明之黏著片，於該黏著片上切斷電子零件材料時能夠防止切斷後之晶片之再附著。又，根據本發明，藉由使黏著劑層中含有熱膨脹性微小球，從而能夠提供電子零件材料之固定性(加工時之固定性)及電子零件之剝離性(加工後之剝離性)兩者優異之黏著片。

10:伸長性基材

20:中間層

30:黏著劑層

31:熱膨脹性微小球

32:黏著劑

100:黏著片

H:高度

圖1係本發明之一實施形態之黏著片之概略剖視圖。

A.黏著片之概要

圖1係本發明之較佳實施形態之黏著片之概略剖視圖。黏著片100具備伸長性基材10、配置於該伸長性基材之單側或兩側(圖示例中為單側)之黏著劑層30、及配置於伸長性基材10與黏著劑層30之間之中間層20。黏著劑層30包含黏著劑31與熱膨脹性微小球32。上述黏著片亦可進而具備任意適當之其他層。又，於將黏著片供於實際使用之前之期間，亦可於黏著劑層30上配置剝離紙來保護黏著劑層30。再者，於圖示例中，明確地圖示出黏著劑層30與中間層20之界面，但界面亦可為不易藉由目視、顯微鏡等辨別之界面。不易藉由目視、顯微鏡等辨別之界面例如可分析各層之組成而辨別(詳細內容於後文進行說明)。

如上所述，本發明之黏著片所具備之黏著劑層包含熱膨脹性微小球。該熱膨脹性微小球可於特定溫度下發泡。包含此種熱膨脹性微小球之黏著劑層藉由加熱而使熱膨脹性微小球發泡，藉此於黏著面(即黏著劑層表面)產生凹凸，使黏著力降低或消失。於例如電子零件(例如陶瓷電容器)之加工時，將本發明之黏著片用作加工物之暫時固定用片材之情形時，對該加工物實施特定之加工時表現出暫時固定所需之黏著性，於加工後自加工物剝離黏著片時，藉由加熱而使黏著力降低或消失，表現出良好之剝離性。

上述熱膨脹性微小球其至少一部分亦可自黏著劑層朝中間層突出。於該情形時，熱膨脹性微小球之突出部分以埋入中間層並由其覆蓋之方式存在。

本發明中，藉由設置中間層，能夠允許熱膨脹性微小球自黏著劑層突出，從而可減薄黏著劑層。其結果，於使被加工物密接於黏著片上(實質上為黏著劑層上)並切斷該被加工物時，能夠防止切斷後之晶片之再附著。本發明之作用可推測如下。先前之黏著片中，於切斷時插入被加工物中之切斷刃到達黏著劑層後，在將切斷刃自黏著劑層、然後自被加工物拔出時，黏著劑因切斷刃之移動而被拖動，使該黏著劑附著於晶片之切斷面。進而，於將晶片自黏著片剝離時，亦會產生黏著劑向晶片剖面之移動。認為此種現象之結果導致晶片變得容易再附著。另一方面，本發明中，由於黏著劑層之厚度較薄，故而黏著劑層之流動量較少，黏著劑變得不易附著於晶片之切斷面，能夠防止晶片之再附著。根據本發明，即便為相當微少之晶片(例如0.1mm×0.05mm~6.4mm×3.2mm尺寸之晶片)，亦能夠防止再附著。再者，於不設置中間層而僅減薄黏著劑層之情形時，自黏著劑層突出之熱膨脹性微小球之突出部接觸伸長性基材，因該影響而於黏著劑層之與伸長性基材為相反側之面(即黏著面)產生凹凸。此種黏著片之接著性不充分，又，會成為於該黏著片上加工被黏著體時之加工不良之原因。

進而，於本發明中，藉由設置中間層，能夠提高具備伸長性基材之黏著片之熱剝離性。通常，於非伸長性基材上設置有黏著劑層之情形時，於黏著劑層之拘束面(與基材接觸之內側面)附近與非拘束面(與拘束面為相反側之面、即外表面)附近，黏著劑層之變形容易程度不同，外表面附近容易變形。因此，黏著劑層中之熱膨脹性微小球發泡時產生之應力主要使外表面變形。其結果，使用非伸長性基材之黏著片顯示出良好之剝離性。然而，於伸長性基材上設置有黏著劑層之情形時，黏著劑層於內側面附近亦容易變形，熱膨脹性微小球發泡時產生之應力會分散。因此，於先前之使用伸長性基材之黏著片中，無法充分獲得添加熱膨脹性微小球之效果。另一方面，本發明之黏著片中，藉由設置彈性相對較高之中間層，對黏著劑層內側面之拘束力提高，儘管具備伸長性基材，亦能夠表現出良好之熱剝離性。

上述熱膨脹性微小球自黏著劑層突出之部分之高度H較佳為0.4μm以上，更佳為0.4μm~80μm，進而較佳為0.6μm~80μm。

本發明之黏著片對聚對苯二甲酸乙二酯膜(例如厚度25μm)之黏著力較佳為0.1N/20mm以上，更佳為1.0N/20mm~50N/20mm，進而較佳為2.0N/20mm~20N/20mm。若為此種範圍，則可獲得作為例如電子零件之製造中使用之暫時固定用片材有用之黏著片。又，若黏著力未達0.1N/20mm時，則有於黏著片上切斷被黏著體時，於切斷步驟、晶片彼此之分離步驟等中產生無需之被黏著體剝離之虞。另一方面，若上述黏著力超過50N/20mm，則有因加熱引起之熱膨脹性微小球之發泡變得不充分，導致黏著力之降低於黏著面內變得不均勻之虞。本說明書中黏著力係指對熱膨脹性微小球發泡前之黏著劑層在23℃之環境下藉由依照JIS Z 0237：2000之方法(貼合條件：2kg輥往返1次、剝離速度：300mm/分鐘、剝離角度180°)所測得之黏著力。

於一實施形態中，較佳為黏著劑層含有硬化性黏著劑，於使該黏著劑硬化(例如基於活性能量線、較佳為基於紫外線之硬化)後，該黏著劑層對SUS304BA之黏著力成為上述範圍。作為使黏著劑硬化之方法，例如可列舉如下方法：將黏著片貼附於SUS304BA後，使用紫外線照射機「UM810(高壓水銀燈光源)」(日東精機股份有限公司製造)，自黏著片側照射累計光量600mJ/cm²之紫外線。

本發明之黏著片之厚度較佳為30μm~500μm，更佳為40μm~300μm，進而較佳為50μm~200μm。

本發明之黏著片在23℃下之斷裂伸長率較佳為10%以上，更佳為250%以上，進而較佳為250%~1000%，尤佳為250%~800%。上述斷裂伸長率可依據JIS K7113進行測定。

本發明之黏著片在90℃下之斷裂伸長率較佳為130%~1500%，更佳為150%~1400%，進而較佳為200%~1300%。若為此種範圍，則可獲得於使熱膨脹性微小球發泡之加熱處理時之作業性優異之黏著片。

本發明之黏著片在23℃下之25%模數較佳為1N/10mm~100N/10mm，更佳為2N/10mm~60N/10mm，進而較佳為3N/10mm~30N/10mm。於一實施形態中，本發明之黏著片在23℃下之25%模數為30 N/10mm以下。若為此種範圍，則可獲得良好之擴展性。25%模數之測定方法於下文進行說明。

B.黏著劑層

上述黏著劑層包含用於賦予黏著性之黏著劑及熱膨脹性微小球。

上述黏著劑層之厚度較佳為1μm~25μm，更佳為1μm~15μm，進而較佳為2μm~10μm。若為此種範圍，則防止切斷後之晶片之再附著之效果變得顯著。再者，本說明書中，所謂黏著劑層之厚度，如圖1所示係指自構成中間層20之材料與構成黏著劑層30之黏著劑32之界面起至黏著劑層之與該界面為相反側之面為止之距離。即，於熱膨脹性微小球31自黏著劑層30突出之情形時，將突出之部分視為黏著劑層之厚度之評價對象以外。於將黏著片割斷並目視觀察割斷面時，構成中間層20之材料與構成黏著劑層30之黏著劑32之界面明確之情形時，黏著劑層(及中間層)之厚度可使用尺、游標卡尺、測微計進行測定。又，亦可使用電子顯微鏡、光學顯微鏡、原子力顯微鏡等顯微鏡測定黏著劑層之厚度。進而，亦可根據中間層與黏著劑層之組成之差異來辨別界面並測定黏著劑層(以及中間層)之厚度。例如，可藉由拉曼光譜分析、紅外光譜分析、X射線電子光譜分析等光譜分析；基質輔助雷射脫附游離飛行時間質譜儀(MALDI-TOFMS，Matrix Assisted Laser Desorption Ionization-Time of Flight Mass Spectrometry)、飛行時間二次離子質譜儀(TOF-SIMS，Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry)等質譜等分析構成中間層之材料及構成黏著劑層之黏著劑之組成，根據該組成之差異來辨別界面並測定黏著劑層(及中間層)之厚度。如此藉由光譜分析或質譜來辨別界面之方法於目視或使用顯微鏡之觀察時難以辨別界面之情形時較為有用。

使上述黏著片與被黏著體密接時之黏著劑層之基於奈米壓痕法之彈性模數較佳為1500MPa以下，更佳為1MPa~1200MPa，進而較佳為2MPa~800MPa。若為此種範圍，則防止切斷後之晶片之再附著之效果變得顯著，能夠形成黏著性優異、且不會阻礙熱膨脹性微小球之發泡之黏著劑層。上述彈性模數例如可藉由黏著劑層所含之黏著劑之組成、成為黏著劑之基礎聚合物之樹脂材料之種類、分子量、交聯度等進行調整。再者，基於奈米壓痕法之彈性模數係指自負載時至卸載時連續地測定將壓頭壓入試樣(不存在熱膨脹性微小球之部位)時對壓頭之負載荷重與壓入深度，由獲得之負載荷重-壓入深度曲線而求出。本說明書中，基於奈米壓痕法之彈性模數係指將測定條件設為荷重：1mN、負載/卸載速度：0.1mN/s、保持時間：1s、環境溫度：23℃並以上述方式測得之彈性模數。

使上述黏著片與被黏著體密接時之上述黏著劑層之厚度與黏著劑層之基於奈米壓痕法之彈性模數之關係較佳為0.05(MPa‧μm^-1)≦(1/黏著劑層之厚度(μm))×黏著劑層之基於奈米壓痕法之彈性模數(MPa)≦40(MPa‧μm^-1)，更佳為0.1(MPa‧μm^-1)≦(1/黏著劑層之厚度(μm))×黏著劑層之基於奈米壓痕法之彈性模數(MPa)≦38(MPa‧μm^-1)，進而較佳為0.5(MPa‧μm^-1)≦(1/黏著劑層之厚度(μm))×黏著劑層之基於奈米壓痕法之彈性模數(MPa)≦35(MPa‧μm^-1)。再者，本說明書中，「使黏著片與被黏著體密接」之狀態係指黏著劑層表現出特定之黏著力(例如上述範圍之黏著力)之狀態，於黏著劑層包含硬化性黏著劑之情形時係指使黏著劑硬化而調整黏著力之後之狀態。又，其係指使熱膨脹性微小球發泡前之狀態。此種狀態亦為貼合作為被加工物之被黏著體並將所固定之該被黏著體供於加工之階段之狀態。

藉由將黏著劑層之厚度與基於奈米壓痕法之彈性模數(以下亦簡稱為彈性模數)之關係設為上述範圍，能夠形成黏著劑層之流動量、以及流動性亦得到適當調整之黏著劑。其結果，於使被加工物密接於黏著片上(實質上為黏著劑層上)並切斷該被加工物時，防止切斷後之晶片之再附著之效果變得更顯著。進而，若使用黏著劑層之厚度與彈性模數之關係被調整為上述範圍之黏著片並在該黏著片上切斷被加工物，則能夠獲得切斷面之平滑性優異之晶片。認為其原因在於：藉由將黏著劑層之厚度與彈性模數之關係設為上述範圍，而切斷時之被加工物之振動受到抑制。

於一實施形態中，黏著劑層含有硬化性黏著劑，於使該黏著劑硬化(例如基於活性能量線、較佳為基於紫外線之硬化)後，黏著劑層之厚度與彈性模數之關係成為上述範圍。於此種實施形態中，例如較佳為使用UV硬化性黏著劑作為黏著劑，以氣泡等不會混入黏著劑層之方式將黏著劑層與被黏著體貼合，對該黏著劑層照射紫外線而使該黏著劑層硬化後，黏著劑層之厚度與彈性模數之關係成為上述範圍。具備包含硬化性黏著劑且黏著劑硬化後厚度與彈性模數之關係成為上述範圍之黏著劑層之黏著片於貼附時(即黏著劑硬化前)之作業性優異。進而，該黏著片在貼附於被黏著體後使黏著劑硬化時，可表現出被黏著體不會脫離之程度之黏著性，並且，若使用該黏著片切斷被黏著體，則如上所述，可防止切斷後之晶片之再附著。作為使黏著劑硬化之方法，可採用上述A項中說明之方法。

於25℃之環境溫度下使上述熱膨脹性微小球發泡前之上述黏著劑層之表面粗糙度Ra較佳為500nm以下，更佳為400nm以下，進而較佳為300nm以下。若為此種範圍，則能夠獲得可減少被黏著體之貼合面產生之凹凸之黏著片。表面粗糙度Ra可依據JIS B 0601：1994進行測定。

將本發明之黏著片加熱而使熱膨脹性微小球發泡後之上述黏著劑層之表面粗糙度Ra較佳為3μm以上，更佳為5μm以上。若為此種範圍，則能夠獲得黏著力於加熱後降低或消失而可容易地剝離被黏著體之黏著片。再者，此處，黏著劑層之表面粗糙度Ra係指於不存在被黏著體之狀態下加熱後之黏著劑層之表面粗糙度Ra。

B-1.黏著劑

作為構成上述黏著劑層之黏著劑，只要可獲得本發明之效果，則可使用任意適當之黏著劑。於一實施形態中，作為上述黏著劑，可使用硬化型黏著劑，較佳為使用活性能量線硬化型黏著劑。於另一實施形態中，作為上述黏著劑，可使用感壓型黏著劑。作為感壓型黏著劑，例如可列舉丙烯酸系黏著劑、橡膠系黏著劑等。較佳為使用硬化型黏著劑。若使用硬化型黏著劑，則可提供如下黏著片，即，於貼合被黏著體時作業性優異，且使黏著劑硬化而使被黏著體與黏著劑層密接後形成具有上述彈性模數之黏著劑層，能夠防止晶片之再附著。貼合被黏著體時(即硬化前)之黏著劑層之基於奈米壓痕法之彈性模數例如為0.01MPa~100MPa。

(活性能量線硬化型黏著劑)

作為構成上述活性能量線硬化型黏著劑之樹脂材料，例如可列舉：紫外線硬化系統(加藤清視著、綜合技術中心發行、(1989))、光硬化技術(技術情報協會編(2000))、日本專利特開2003-292916號公報、日本專利4151850號等記載之樹脂材料。更具體而言，可列舉：包含成為主劑之聚合物與活性能量線反應性化合物(單體或低聚物)之樹脂材料(R1)、包含活性能量線反應性聚合物之樹脂材料(R2)等。

作為上述成為主劑之聚合物，例如可列舉：天然橡膠、聚異丁烯橡膠、苯乙烯-丁二烯橡膠、苯乙烯-異戊二烯-苯乙烯嵌段共聚物橡膠、再生橡膠、丁基橡膠、聚異丁烯橡膠、丁腈橡膠(NBR)等橡膠系聚合物；聚矽氧系聚合物；丙烯酸系聚合物等。該等聚合物可單獨使用或組合使用2種以上。

作為上述活性能量線反應性化合物，例如可列舉具有複數個丙烯醯基、甲基丙烯醯基、乙烯基、烯丙基、乙炔基等包含碳-碳多重鍵之官能基之光反應性單體或低聚物。其中，較佳為使用具有乙烯性不飽和官能基之化合物，更佳為使用具有乙烯性不飽和官能基之(甲基)丙烯酸系化合物。具有乙烯性不飽和官能基之化合物藉由紫外線而容易生成自由基，因此若使用該化合物，則能夠形成可以短時間硬化之黏著劑層。又，若使用具有乙烯性不飽和官能基之(甲基)丙烯酸系化合物，則能夠形成於硬化後具有適當硬度(具體而言，熱膨脹性微小球可良好地發泡之硬度)之黏著劑層。作為光反應性單體或低聚物之具體例，可列舉：三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、四羥甲基甲烷四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇單羥基五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、1,4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸胺基甲酸酯系化合物等含(甲基)丙烯醯基化合物；該含(甲基)丙烯醯基化合物之2~5聚體等。該等化合物可單獨使用或組合使用2種以上。

又，作為上述活性能量線反應性化合物，可使用環氧化丁二烯、甲基丙烯酸縮水甘油酯、丙烯醯胺、乙烯基矽氧烷等單體；或由該單體構成之低聚物。包含該等化合物之樹脂材料(R1)可利用紫外線、電子束等高能量線進行硬化。

進而，作為上述活性能量線反應性化合物，可使用鎓鹽等有機鹽類與分子內具有複數個雜環之化合物之混合物。該混合物藉由活性能量線(例如紫外線、電子束)之照射，有機鹽裂解而生成離子，該離子成為起始種而引起雜環之開環反應，從而能夠形成三維網狀結構。作為上述有機鹽類，例如可列舉：碘鎓鹽、鏻鹽、銻鎓鹽、鋶鹽、硼酸鹽等。作為上述分子內具有複數個雜環之化合物中之雜環，可列舉：環氧乙烷、氧雜環丁烷、四氫呋喃、環硫乙烷、氮丙啶等。

於上述包含成為主劑之聚合物與活性能量線反應性化合物之樹脂材料(R1)中，相對於成為主劑之聚合物100重量份，活性能量線反應性化合物之含有比率較佳為0.1重量份~500重量份，更佳為1重量份~300重量份，進而較佳為10重量份~200重量份。

作為上述活性能量線反應性聚合物，例如可列舉具有丙烯醯基、甲基丙烯醯基、乙烯基、烯丙基、乙炔基等包含碳-碳多重鍵之活性能量線反應性官能基之聚合物。較佳為使用具有乙烯性不飽和官能基之化合物(聚合物)，更佳為使用具有丙烯醯基或甲基丙烯醯基之(甲基)丙烯酸系聚合物。作為具有活性能量線反應性官能基之聚合物之具體例，可列舉由多官能(甲基)丙烯酸酯構成之聚合物等。該由多官能(甲基)丙烯酸酯構成之聚合物較佳為於側鏈具有碳數為4以上之烷基酯，更佳為具有碳數為6以上之烷基酯，進而較佳為具有碳數為8以上之烷基酯，尤佳為具有碳數為8~20之烷基酯，最佳為具有碳數為8~18之烷基酯。若使用側鏈具有碳數為4以上之烷基酯之聚合物，則可形成於黏著劑硬化後對被黏著體(例如陶瓷電容器)之潤濕性亦優異之黏著劑層。其結果，可防止被黏著體之不必要之脫落(例如被黏著體加工時之脫落)。上述聚合物中，具有碳數為4以上之烷基酯作為側鏈之結構單元之含有比率相對於構成該聚合物之全部結構單元，較佳為30重量%以上，更佳為50重量%~80重量%。

上述包含活性能量線反應性聚合物之樹脂材料(R2)亦可進而包含上述活性能量線反應性化合物(單體或低聚物)。

上述活性能量線硬化型黏著劑可藉由活性能量線之照射而硬化。本發明之黏著片中，藉由在使黏著劑硬化之前貼合被黏著體，然後照射活性能量射而使黏著劑硬化，能夠使該被黏著體密接。作為活性能量線，例如可列舉：伽馬射線、紫外線、可見光線、紅外線(熱線)、射頻波、α射線、β射線、電子束、電漿流、電離射線、粒子射線等。活性能量線之波長、照射量等條件可根據使用之樹脂材料之種類等而設定為任意適當之條件。例如可照射照射量10~1000mJ/cm²之紫外線而使黏著劑硬化。

(丙烯酸系黏著劑)

作為上述丙烯酸系黏著劑，例如可列舉以使用(甲基)丙烯酸烷基酯之1種或2種以上作為單體成分之丙烯酸系聚合物(均聚物或共聚物)作為基礎聚合物之丙烯酸系黏著劑等。作為(甲基)丙烯酸烷基酯之具體例，可列舉：(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸異丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸第二丁酯、(甲基)丙烯酸第三丁酯、(甲基)丙烯酸戊酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸庚酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸異辛酯、(甲基)丙烯酸壬酯、(甲基)丙烯酸異壬酯、(甲基)丙烯酸癸酯、(甲基)丙烯酸異癸酯、(甲基)丙烯酸十一烷基酯、(甲基)丙烯酸十二烷基酯、(甲基)丙烯酸十三烷基酯、(甲基)丙烯酸十四烷基酯、(甲基)丙烯酸十五烷基酯、(甲基)丙烯酸十六烷基酯、(甲基)丙烯酸十七烷基酯、(甲基)丙烯酸十八烷基酯、(甲基)丙烯酸十九烷基酯、(甲基)丙烯酸二十烷基酯等(甲基)丙烯酸C1-20烷基酯。其中，可較佳地使用具有碳數為4~18之直鏈狀或支鏈狀烷基之(甲基)丙烯酸烷基酯。

為了實現凝聚力、耐熱性、交聯性等之改質，上述丙烯酸系聚合物亦可視需要進而包含對應於能夠與上述(甲基)丙烯酸烷基酯共聚之其他單體成分的單元。

(橡膠系黏著劑)

作為上述橡膠系黏著劑，例如可列舉以如下橡膠等作為基礎聚合物之橡膠系黏著劑：天然橡膠；聚異戊二烯橡膠、苯乙烯-丁二烯(SB)橡膠、苯乙烯-異戊二烯(SI)橡膠、苯乙烯-異戊二烯-苯乙烯嵌段共聚物(SIS)橡膠、苯乙烯-丁二烯-苯乙烯嵌段共聚物(SBS)橡膠、苯乙烯-乙烯-丁烯-苯乙烯嵌段共聚物(SEBS)橡膠、苯乙烯-乙烯-丙烯-苯乙烯嵌段共聚物(SEPS)橡膠、苯乙烯-乙烯-丙烯嵌段共聚物(SEP)橡膠、再生橡膠、丁基橡膠、聚異丁烯、該等之改性體等合成橡膠。

(添加劑)

上述黏著劑亦可視需要包含任意適當之添加劑。作為該添加劑，例如可列舉：起始劑、交聯劑、黏著賦予劑、塑化劑、顏料、染料、填充劑、防老化劑、導電材料、抗靜電劑、紫外線吸收劑、光穩定劑、剝離調整劑、軟化劑、界面活性劑、阻燃劑、抗氧化劑等。

於一實施形態中，上述黏著劑包含黏著賦予劑及/或塑化劑。若使黏著劑含有黏著賦予劑及/或塑化劑，則可形成上述熱膨脹性微小球容易發泡之黏著劑層。

作為上述黏著賦予劑，可使用任意適當之黏著賦予劑。作為黏著賦予劑，例如可使用黏著賦予樹脂。作為黏著賦予樹脂之具體例，可列舉：松香系黏著賦予樹脂(例如未改性松香、改性松香、松香苯酚系樹脂、松香酯系樹脂等)、萜烯系黏著賦予樹脂(例如萜烯系樹脂、萜酚系樹脂、苯乙烯改性萜烯系樹脂、芳香族改性萜烯系樹脂、氫化萜烯系樹脂)、烴系黏著賦予樹脂(例如脂肪族系烴樹脂、脂肪族系環狀烴樹脂、芳香族系烴樹脂(例如苯乙烯系樹脂、二甲苯系樹脂等)、脂肪族/芳香族系石油樹脂、脂肪族/脂環族系石油樹脂、氫化烴樹脂、熏草咔系樹脂、熏草咔茚系樹脂等)、酚系黏著賦予樹脂(例如烷基苯酚系樹脂、二甲苯甲醛系樹脂、可溶酚醛樹脂、酚醛清漆等)、酮系黏著賦予樹脂、聚醯胺系黏著賦予樹脂、環氧系黏著賦予樹脂、彈性體系黏著賦予樹脂等。尤佳為松香系黏著賦予樹脂、萜烯系黏著賦予樹脂或烴系黏著賦予樹脂(苯乙烯系樹脂等)。黏著賦予劑可單獨使用或組合使用2種以上。

於一實施形態中，使用松香系黏著賦予樹脂及/或萜烯系黏著賦予樹脂。於該等黏著賦予樹脂與包含(甲基)丙烯酸系化合物之黏著劑(由(甲基)丙烯酸系活性能量線反應性化合物或活性能量線反應性聚合物構成之上述活性能量線硬化型黏著劑；上述丙烯酸系黏著劑等)併用之情形時特別有用。更詳細而言，上述黏著賦予樹脂由於對包含(甲基)丙烯酸系化合物之黏著劑之相容性良好，故而若使用該黏著賦予樹脂，則不易產生黏著劑層表面之微小區域間之黏著力差異，能夠獲得對處理較小之被黏著體(被加工物)而言適宜之黏著片。

上述黏著賦予劑之添加量相對於上述成為主劑之聚合物或基礎聚合物100重量份，較佳為1重量份~100重量份，更佳為2重量份~60重量份，進而較佳為20重量份~50重量份。

上述黏著賦予劑之軟化點較佳為200℃以下，更佳為60℃~150℃。若為此種範圍，則可形成於被黏著體加工時堅固、且藉由用以使上述熱膨脹性微小球發泡之加熱而變柔軟之黏著劑層。

上述黏著賦予劑之羥值較佳為10mgKOH/g以上，更佳為40mgKOH/g~400mgKOH/g。羥值為此種範圍之黏著賦予劑於與包含(甲基)丙烯酸系化合物之黏著劑(由(甲基)丙烯酸系活性能量線反應性化合物或活性能量線反應性聚合物構成之上述活性能量線硬化型黏著劑；上述丙烯酸系黏著劑等)併用之情形時特別有用。更詳細而言，羥值為上述範圍之黏著賦予劑由於對包含(甲基)丙烯酸系化合物之黏著劑之相容性良好，因此若使用該黏著賦予劑，則不易產生黏著劑層表面之微小區域間之黏著力差異，能夠獲得對處理較小之被黏著體(被加工物)而言適宜之黏著片。又，若使用羥值為上述範圍之黏著賦予劑，則可形成於黏著劑硬化後對被黏著體(例如陶瓷電容器)之潤濕性亦優異之黏著劑層。其結果，可防止被黏著體之不必要之脫落(例如被黏著體加工時之脫落)。

作為上述塑化劑，可使用任意適當之塑化劑。作為塑化劑之具體例，例如可列舉：偏苯三甲酸酯系塑化劑、均苯四甲酸酯系塑化劑、聚酯系塑化劑、己二酸系塑化劑等。其中較佳為偏苯三甲酸酯酯系塑化劑(例如偏苯三甲酸三(正辛酯)、偏苯三甲酸三(2-乙基己酯)等)或均苯四甲酸酯系塑化劑(例如均苯四甲酸四(正辛酯)、均苯四甲酸四(2-乙基己酯)等)。塑化劑可單獨使用或組合使用2種以上。塑化劑之含量相對於上述成為主劑之聚合物或基礎聚合物100重量份，較佳為1重量份~20重量份、更佳為1重量份~5重量份。

B-2.熱膨脹性微小球

熱膨脹性微小球係指能夠藉由加熱而膨脹或發泡之微小球。具有包含該熱膨脹性微小球之黏著劑層之黏著片藉由加熱而在貼合面產生凹凸，導致黏著力降低，因此在需要黏著力時具有充分之黏著力，且在需要剝離時之剝離性優異。

上述熱膨脹性微小球之含有比率可根據所需之黏著力之降低性等而適當設定。熱膨脹性微小球之含有比率相對於黏著劑中之上述成為主劑之聚合物或基礎聚合物100重量份，較佳為1重量份~150重量份，更佳為10重量份~100重量份，進而較佳為20重量份~80重量份。若為此種範圍，則於熱膨脹性微小球之發泡前能夠形成平滑之黏著劑層，於熱膨脹性微小球之發泡後能夠形成具有良好之凹凸面之黏著劑層。再者，熱膨脹性微小球相對於成為主劑之聚合物或基礎聚合物之含有比率可藉由下述式求出。熱膨脹性微小球之重量可藉由測定自黏著劑層取出之熱膨脹性微小球之重量而求出。

熱膨脹性微小球之含有比率(重量%)=熱膨脹性微小球之重量/黏著劑層之重量×100

又，熱膨脹性微小球之含有比率亦可以自黏著劑層之剖面測定之熱膨脹性微小球之面積比率表示。於將特定剖面之黏著劑層之截面面積設為A、將該剖面之熱膨脹性微小球之截面面積設為B之情形時，相對於黏著劑層之截面面積A，熱膨脹性微小球之截面面積B之比率較佳為5%以上，更佳為7%以上，進而較佳為9%以上。相對於黏著劑層之截面面積A，熱膨脹性微小球之截面面積B之比率之上限較佳為50%以下，更佳為45%以下，進而較佳為40%以下。再者，熱膨脹性微小球之截面面積B之比率例如可利用電子顯微鏡(例如Hitachi High-Technologies公司製造，商品名「S-3400 N低真空掃描電子顯微鏡」)觀察黏著劑層之剖面，對獲得之圖像進行適當之處理，從而求出。例如，可將該圖像輸出於紙上，根據黏著劑層部分(即包含熱膨脹性微小球之黏著劑層整體)之紙重量a與僅切出熱膨脹性微小球部分之紙之重量b，藉由b/a×100之式而求出。

作為上述熱膨脹性微小球，可使用任意適當之熱膨脹性微小球。作為上述熱膨脹性微小球，例如可使用將藉由加熱而容易膨脹之物質內包於具有彈性之殼內之微小球。此種熱膨脹性微小球可利用任意適當之方法、例如凝聚法、界面聚合法等進行製造。

作為藉由加熱而容易膨脹之物質，例如可列舉：丙烷、丙烯、丁烯、正丁烷、異丁烷、異戊烷、新戊烷、正戊烷、正己烷、異己烷、庚烷、辛烷、石油醚、甲烷之鹵化物、四烷基矽烷等低沸點液體；藉由熱分解而氣化之偶氮二甲醯胺等。

作為構成上述殼之物質，例如可列舉由下述物質構成之聚合物：丙烯腈、甲基丙烯腈、α-氯丙烯腈、α-乙氧基丙烯腈、反丁烯二腈等腈單體；丙烯酸、甲基丙烯酸、伊康酸、順丁烯二酸、反丁烯二酸、檸康酸等羧酸單體；偏二氯乙烯；乙酸乙烯酯；(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸第三丁酯、(甲基)丙烯酸異

基酯、(甲基)丙烯酸環己酯、(甲基)丙烯酸苄酯、丙烯酸-β-羧基乙酯等(甲基)丙烯酸酯；苯乙烯、α-甲基苯乙烯、氯苯乙烯等苯乙烯單體；丙烯醯胺、取代丙烯醯胺、甲基丙烯醯胺、取代甲基丙烯醯胺等醯胺單體等。由該等單體構成之聚合物可為均聚物，亦可為共聚物。作為該共聚物，例如可列舉：偏二氯乙烯-甲基丙烯酸甲酯-丙烯腈共聚物、甲基丙烯酸甲酯-丙烯腈-甲基丙烯腈共聚物、甲基丙烯酸甲酯-丙烯腈共聚物、丙烯腈-甲基丙烯腈-伊康酸共聚物等。

作為上述熱膨脹性微小球，可使用無機系發泡劑或有機系發泡劑。作為無機系發泡劑，例如可列舉：碳酸銨、碳酸氫銨、碳酸氫鈉、亞硝酸銨、硼氫化鈉、各種疊氮化物類等。又，作為有機系發泡劑，例如可列舉：三氯單氟甲烷、二氯單氟甲烷等氯氟化烷烴系化合物；偶氮雙異丁腈、偶氮二甲醯胺、偶氮二甲酸鋇等偶氮系化合物；對甲苯磺醯肼、二苯基碸-3,3'-二磺醯肼、4,4'-氧基雙(苯磺醯肼)、烯丙基雙(磺醯肼)等肼系化合物；對甲苯基磺醯基胺基脲、4,4'-氧基雙(苯磺醯基胺基脲)等胺基脲系化合物；5-嗎啉基-1,2,3,4-硫代三唑等三唑系化合物；N,N'-二亞硝基五亞甲基四胺、N,N'-二甲基-N,N'-二亞硝基對苯二甲醯胺等N-亞硝基系化合物等。

上述熱膨脹性微小球亦可使用市售品。作為市售品之熱膨脹性微小球之具體例，可列舉：松本油脂製藥股份有限公司製造之商品名「Matsumoto Microsphere」(型號：F-30、F-30D、F-36D、F-36LV、F-50、F-50D、F-65、F-65D、FN-100SS、FN-100SSD、FN-180SS、FN-180SSD、F-190D、F-260D、F-2800D)、Japan Fillite公司製造之商品名「Expancel」(型號：053-40、031-40、920-40、909-80、930-120)、吳羽化學工業公司製造之「DAIFOAM」(型號：H750、H850、H1100、S2320D、S2640D、M330、M430、M520)、積水化學工業公司製造之「ADVANCELL」(型號：EML101、EMH204、EHM301、EHM302、EHM303、EM304、EHM401、EM403、EM501)等。

上述熱膨脹性微小球於加熱前之粒徑較佳為0.5μm~80μm，更佳為5μm~45μm，進而較佳為10μm~20μm，尤佳為10μm~15μm。因此，當以平均粒徑來說明上述熱膨脹性微小球於加熱前之粒子尺寸時，較佳為3μm~40μm，更佳為5μm~35μm。若為此種範圍，則於熱膨脹性微小球之發泡前能夠形成平滑之黏著劑層，於熱膨脹性微小球之發泡後能夠形成具有良好之凹凸面之黏著劑層。熱膨脹性微小球之平均粒徑可對於從黏著劑層中隨機選出之50個熱膨脹性微小球，根據由顯微鏡測得之粒徑計算算術平均，從而求出。

上述熱膨脹性微小球較佳為具有在體積膨脹率達到較佳為5倍以上，更佳為7倍以上、進而較佳10倍以上之前不會破裂之適當之強度。於使用此種熱膨脹性微小球之情形時，能夠藉由加熱處理效率良好地降低黏著力。

C.中間層

使上述黏著片與被黏著體密接時之上述中間層之厚度與基於奈米壓痕法之彈性模數之關係為0.5(MPa‧μm^-1)≦(1/中間層之厚度(μm))×中間層之基於奈米壓痕法之彈性模數(MPa)≦40(MPa‧μm^-1)，較佳為0.8(MPa‧μm^-1)≦(1/中間層之厚度(μm))×中間層之基於奈米壓痕法之彈性模數(MPa)≦40(MPa‧μm^-1)，更佳為1.0(MPa‧μm^-1)≦(1/中間層之厚度(μm))×中間層之基於奈米壓痕法之彈性模數(MPa)≦40(MPa‧μm^-1)。如B項所述，「使黏著片與被黏著體密接」之狀態係指黏著劑層表現出特定之黏著力(例如上述範圍之黏著力)之狀態。因此，於中間層含有硬化性材料之情形時係指特定之硬化處理(例如用以使中間層硬化之活性能量線照射)後之狀態。

本發明中，藉由將中間層之厚度與基於奈米壓痕法之彈性模數之關係設為上述範圍，可獲得雖具有適當之柔軟性但不易變形之黏著片。本發明之黏著片由於不易變形，故而於切斷步驟中用作暫時固定用片材之情形時，能夠精度良好地切斷被加工物，並且能夠防止切斷後之晶片之再附著。

上述中間層之厚度較佳為能夠將自黏著劑層突出之熱膨脹性微小球全部被覆之厚度。中間層之厚度較佳為1μm~200μm，更佳為5μm~50μm，進而較佳為10μm~40μm。若為此種範圍，則能夠獲得於切斷步驟中用作暫時固定用片材之情形時可有助於提高加工精度之黏著片。再者，本說明書中，中間層之厚度係如圖1所示，自構成中間層20之材料與構成黏著劑層30之黏著劑32之界面起至中間層之與該界面為相反側之面為止之距離。即，於熱膨脹性微小球31自黏著劑層30突出之情形時，將突出部分視為中間層之厚度之評價對象以外。

使上述黏著片與被黏著體密接時之中間層之基於奈米壓痕法之彈性模數較佳為1000MPa以下，更佳為900MPa以下，進而較佳為10MPa~800MPa以下，尤佳為50MPa~500MPa。若為此種範圍，則能夠獲得於切斷步驟中用作暫時固定用片材之情形時可有助於提高加工精度之黏著片。使黏著片與被黏著體密接時之中間層之基於奈米壓痕法之彈性模數較佳為大於使黏著片與被黏著體密接時之黏著劑層之基於奈米壓痕法之彈性模數。再者，貼合被黏著體時(即硬化前)之中間層之基於奈米壓痕法之彈性模數例如為0.1MPa~100MPa。

作為構成上述中間層之材料，例如可列舉：聚矽氧系聚合物、環氧系聚合物、聚碳酸酯系聚合物、乙烯基系聚合物、丙烯酸系聚合物、胺基甲酸酯系聚合物、聚酯系聚合物、聚烯烴系聚合物、聚醯胺系聚合物、聚醯亞胺系聚合物、不飽和烴系聚合物等聚合物材料。若使用該等聚合物材料，則適當選擇單體種類、交聯劑、聚合度等，從而能夠容易地形成具有上述彈性模數之中間層。上述聚合物材料可單獨使用或組合使用2種以上。

於一實施形態中，作為構成上述中間層之材料，可使用能夠藉由活性能量線之照射而硬化之樹脂材料。若使用能夠藉由活性能量線之照射而硬化之樹脂材料，則可於適當之時機照射活性能量線而使中間層高彈性模數化，且彈性模數之調整亦變得容易。若利用此種材料形成中間層，則可獲得如下黏著片：於貼附黏著片時低彈性且柔軟性較高，操作性優異，於貼附後藉由照射活性能量線，能夠調整為上述範圍之彈性模數。

作為能夠藉由活性能量線之照射而硬化之樹脂材料，例如可列舉於上述B項中說明之包含成為主劑之聚合物與活性能量線反應性化合物(單體或低聚物)之樹脂材料(R1)、包含活性能量線反應性聚合物之樹脂材料(R2)等。於一實施形態中，作為用作中間層之材料之樹脂材料(R1)中之活性能量線反應性化合物，可使用具有乙烯性不飽和官能基之化合物。又，於一實施形態中，作為樹脂材料(R2)中之活性能量線反應性聚合物，可使用具有乙烯性不飽和官能基之化合物(聚合物)。

又，作為構成上述中間層之材料，亦可使用由乙烯-乙酸乙烯酯共聚物、聚丙烯系樹脂、聚醯胺系樹脂等熱塑性樹脂構成之熱熔系樹脂。

上述中間層亦可視需要包含任意適當之添加劑。作為該添加劑，例如可以列舉：起始劑、交聯劑、黏著賦予劑、塑化劑、顏料、染料、填充劑、防老化劑、導電材料、抗靜電劑、紫外線吸收劑、光穩定劑、剝離調整劑、軟化劑、界面活性劑、阻燃劑、抗氧化劑等。

C.伸長性基材

上述伸長性基材具有支持黏著劑層、且對黏著片賦予伸長性之功能。若使用伸長性基材作為黏著劑層之支持體，則於上述黏著片上切斷被黏著體，然後拾取晶片時，藉由拉伸黏著片能夠消除晶片之對狀化。本發明中，藉由於此種伸長性基材上形成上述特性之中間層及黏著劑層，即便對相當微少之晶片亦能夠實現防止對狀化。

作為上述伸長性基材，例如可列舉由軟質氯乙烯系樹脂、伸縮性聚酯系樹脂、軟質聚烯烴系樹脂、橡膠系聚合物、該等樹脂之摻合物等形成之基材。伸長性基材亦可為由複數片不同膜構成之多層結構。上述伸長性基材較佳為由具有不會因使熱膨脹性微小球發泡之加熱處理而損害機械物性之程度之耐熱性的材料構成。

作為上述軟質氯乙烯系樹脂，例如可列舉：氯乙烯之均聚物、氯乙烯-乙酸乙烯酯共聚物、氯乙烯-乙烯共聚物、氯乙烯-丙烯共聚物、氯乙烯-丙烯酸酯共聚物、氯乙烯-偏二氯乙烯共聚物、氯乙烯-丙烯腈共聚物、氯乙烯-順丁烯二酸酯共聚物、EVA(乙烯-乙酸乙烯酯共聚物)-氯乙烯接枝共聚物、聚胺基甲酸酯-氯乙烯接枝共聚物等。由軟質氯乙烯系樹脂構成之伸長性基材較佳為包含熱穩定劑。

作為上述伸縮性聚酯系樹脂，例如可列舉：飽和聚酯(例如聚對苯二甲酸乙二酯、聚對苯二甲酸丁二酯等)與改性聚烯烴(例如丙烯酸改性聚乙烯、丙烯酸改性聚丙烯等酸改性聚烯烴；環氧改性聚烯烴等)或橡膠系聚合物(例如乙烯-丙烯橡膠、聚酯彈性體、乙烯-丙烯酸系橡膠等熱塑性彈性體等)之摻合物；聚萘二甲酸乙二酯等。

作為上述軟質聚烯烴系樹脂，例如可列舉：具有包含聚丙烯等之硬鏈段與包含乙烯-丙烯共聚物等之軟鏈段之樹脂；軟質聚乙烯等。

作為上述橡膠系聚合物，例如可列舉：天然橡膠、異戊二烯橡膠、丁二烯橡膠、1,2-聚丁二烯、氯丁二烯橡膠、苯乙烯-丁二烯橡膠、丁腈橡膠、丁基橡膠、乙烯-丙烯橡膠、丙烯酸系橡膠、表氯醇橡膠、矽橡膠、氟橡膠、胺基甲酸酯橡膠、氯磺化聚乙烯、多硫橡膠、氯化聚乙烯、熱塑性彈性體(例如苯乙烯系、聚胺基甲酸酯系、聚酯系、氟聚合物系、聚醯胺系熱塑性彈性體等)等。

上述伸長性基材在23℃下之斷裂伸長率較佳為10%以上，更佳為250%以上，進而較佳為250%~1000%，尤佳為250%~800%。上述斷裂伸長率可依照JIS K7113進行測定。

上述伸長性基材在90℃下之斷裂伸長率較佳為130%~1500%，更佳為150%~1400%，進而較佳為200%~1300%。若為此種範圍，則能夠獲得在使熱膨脹性微小球發泡之加熱處理時作業性優異之黏著片。

上述伸長性基材在23℃下之25%模數較佳為1N/10mm~100N/10mm，更佳為2N/10mm~60N/10mm，進而較佳為3N/10mm~30N/10mm。於一實施形態中，伸長性基材在23℃下之25%模數為30N/10mm以下。若為此種範圍，則可獲得良好之擴展性。25%模數之測定方法於後文進行說明。

上述伸長性基材之基於奈米壓痕法之彈性模數較佳為1MPa~100000MPa，更佳為5MPa~10000MPa。

上述伸長性基材之基於奈米壓痕法之彈性模數相對於上述中間層之基於奈米壓痕法之彈性模數較佳為50%~50000%，更佳為100%~10000%。若為此種範圍，則能夠獲得在延伸時中間層不易自伸長性基材剝離之黏著片。

上述伸長性基材之厚度可根據所需之強度或柔軟性、以及使用目的等而設定為任意適當之厚度。伸長性基材之厚度較佳為1000μm以下，更佳為1μm~1000μm，進而較佳為1μm~500μm，尤佳為3μm~300μm，最佳為5μm~250μm。

就對黏著劑層之抓固力之觀點而言，上述伸長性基材亦可實施表面處理。作為表面處理，例如可列舉：易接著處理、印刷處理、電暈處理、鉻酸處理、臭氧暴露、火焰暴露、高壓電擊暴露、離子化放射線處理、利用底塗劑之塗佈處理等。

作為上述有機塗佈材料，例如可列舉塑膠硬塗材料II(CMC出版、(2004))中記載之材料。較佳為使用胺基甲酸酯系聚合物，更佳為使用聚丙烯酸胺基甲酸酯、聚酯胺基甲酸酯或該等之前驅物。其原因在於：對伸長性基材之塗覆/塗佈較為簡便，且在工業上能夠選擇多種物質並廉價地獲取。該胺基甲酸酯系聚合物例如為包含異氰酸酯單體與含醇性羥基之單體(例如含羥基丙烯酸系化合物或含羥基之酯化合物)之反應混合物的聚合物。有機塗佈材料亦可包含聚胺等鏈延長劑、抗老化劑、氧化穩定劑等作為任意之添加劑。有機塗佈層之厚度並無特別限定，例如適宜為0.1μm~10μm左右，較佳為0.1μm~5μm左右，更佳為0.5μm~5μm左右。

D.黏著片之製造方法

本發明之黏著片可藉由任意適當之方法來製造。本發明之黏著片可於伸縮性基材上形成中間層，並在該中間層上形成黏著劑層而獲得。作為中間層之形成方法，例如可列舉如下方法：於伸長性基材上直接塗覆包含樹脂材料之中間層形成用組合物之方法；將於任意適當之基體上塗覆中間層形成用組合物而形成之塗覆層轉印至伸長性基材之方法等。作為黏著劑層之形成方法，例如可列舉於任意適當之基體上塗覆包含黏著劑與熱膨脹性微小球之黏著劑層形成用組合物而形成塗覆層，並將形成之塗覆層轉印至中間層之方法等。又，亦可於利用包含黏著劑之組合物形成黏著劑塗覆層後，於該黏著劑塗覆層撒上熱膨脹性微小球，然後使用層壓機等使該熱膨脹性微小球埋入該塗覆層中，形成包含熱膨脹性微小球之黏著劑層。上述中間層形成用組合物及黏著劑層形成用組合物可含有任意適當之溶劑。又，於包含熱膨脹性微小球之黏著劑層形成用組合物中，該熱膨脹性微小球之含有比率相對於黏著劑與熱膨脹性微小球之合計量100重量份，較佳為1重量份~80重量份，更佳為5重量份~60重量份。

若如上所述般將於任意適當之基體上塗覆黏著劑層形成用組合物而形成之塗覆層轉印至中間層從而形成黏著劑層，則以與基體接觸之狀態形成黏著面，因此該黏著面可成為無熱膨脹性微小球突出之平坦面。另一方面，於黏著劑層之與黏著面為相反側之面，熱膨脹性微小球有可能突出。本發明中，該突出之熱膨脹性微小球可由上述中間層被覆。

作為上述組合物之塗覆方法，可以採用任意適當之塗覆方法。例如，可於塗佈後進行乾燥而形成各層。作為塗佈方法，例如可列舉使用多重塗佈機、模嘴塗佈機、凹版塗佈機、敷料器等之塗佈方法。作為乾燥方法，例如可列舉自然乾燥、加熱乾燥等。加熱乾燥時之加熱溫度可根據作為乾燥對象之物質之特性而設定為任意適當之溫度。

E.用途

本發明之黏著片可於製造電子零件時作為用以暫時固定電子零件材料之片材而較佳地使用。於一實施形態中，本發明之黏著片可用作切斷電子零件材料時之暫時固定片材。作為該電子零件材料，例如可列舉陶瓷電容器材料。

[實施例]

以下，藉由實施例對本發明進行具體說明，但本發明並不限定於該等實施例。實施例中之評價方法如下所述。再者，下述評價中使用剝離了隔離膜之黏著片。又，實施例中，只要無特別說明，則「份」及「%」為重量基準。

(1)黏著力

將黏著片切斷成寬：20mm、長：140mm之尺寸，依據JIS Z 0237：2009，使2kg之輥往返1次而將黏著面貼合於被黏著體之SUS304BA板上，並放置30分鐘，然後照射紫外線(照射量600mJ/cm²)。將該測定試樣安裝於帶恆溫槽之拉伸試驗機(島津製作所公司製造，商品名「Shimadzu Autograph AG-120kN」)。然後，對將被黏著體以剝離角度：180°、剝離速度(拉伸速度)：300mm/分鐘之條件沿長度方向自黏著片剝離時之荷重進行測定，求出此時之最大荷重(除測定初期之峰頂以外之荷重之最大值)，將該最大荷重除以帶寬度獲得之值作為黏著力(N/20mm寬)。再者，上述操作係於溫度：23±3℃以及濕度：65±5%RH之環境下進行。

(2)使用黏著片之情形時之被黏著體加工性之評價

(2-1)被黏著體(被加工物)之準備

於甲苯溶劑中加入鈦酸鋇粉末100重量份、聚乙烯醇縮丁醛樹脂30重量份、鄰苯二甲酸雙(2-乙基己酯)3重量份，利用球磨分散機進行混合及分散，藉此獲得介電體之甲苯溶液。使用敷料器將該溶液以溶劑揮發後之厚度成為50μm之方式塗佈於MRF38(Mitsubishi Polyester Film股份有限公司製造，附矽脫模劑處理面之聚對苯二甲酸乙二酯膜(厚度38μm))之矽脫模劑處理面，進行乾燥以使溶劑揮發。將所獲得之片材以厚度成為500μm之方式進行積層，而獲得被黏著體(被加工物；坯片)。

(2-2)晶片分離性之評價

將上述被黏著體貼合於黏著片後進行照射(照射量600mJ/cm²)，使上述被黏著體密接於黏著片上。

將被黏著體以成為0.8mm×0.4mm之晶片之方式切斷成骰子狀。切斷條件如下所述。

進而，使用擴張裝置(Hugle Electronics公司製造，型號HS-1005；環尺寸：5英吋晶圓環、頂起量：70mm、台溫度：50℃、頂起時間：20秒)拉伸黏著片，嘗試晶片彼此之分離。

上述操作後，測定500個晶片中仍然附著於鄰接之晶片之晶片數。

(2-3)加熱剝離性之評價

與上述2-2之評價同樣地使被黏著體密接於黏著片(20mm×20mm)上。將如此獲得之附被黏著體之黏著片以特定之發泡溫度進行加熱，評價被黏著體之剝離性。表1中，將被黏著體發生剝離之情況記為○、將未剝離之情況記為×。

(3)彈性模數

將黏著片利用切片機沿厚度方向切斷，對中間層之切斷面藉由奈米壓痕儀測定彈性模數。將距黏著劑層表面3μm左右之切斷面表面作為測定對象。將藉由對測定對象壓抵探針(壓頭)而獲得之位移-荷重遲滯曲線利用測定裝置附帶之軟體(triboscan)進行數值處理，藉此獲得彈性模數(10次測定之平均值)。

奈米壓痕儀裝置以及測定條件如下所述。

裝置及測定條件

‧裝置：奈米壓痕儀；Hysitron Inc公司製造之Triboindenter

‧測定方法：單一壓入法

‧測定溫度：23℃

‧壓入速度：約1000nm/秒

‧壓入深度：約800nm

‧探針：金剛石製、Berkovich型(三角錐型)

(4)模數

將黏著片作為測定試樣。將該測定試樣切斷成寬10mm、長100mm之尺寸，以夾頭間距離成為50mm之方式安裝於帶恆溫槽之拉伸試驗機(島津製作所公司製造，商品名「Shimadzu Autograph AG-120kN」)。然後，以拉伸速度：50mm/分鐘沿長度方向拉伸試樣，將25%伸長時之應力設為模數(N/10mm)。再者，上述操作係於溫度：23±3℃以及濕度：65±5%RH之環境下進行。

(5)23℃下之斷裂伸長率

將黏著片作為測定試樣。將該測定試樣切斷成寬10mm、長100mm之尺寸，以夾頭間距離成為50mm之方式安裝於帶恆溫槽之拉伸試驗機(商品名「Shimadzu Autograph AG-120kN」，島津製作所公司製造)。然後，以拉伸速度：50mm/分鐘沿長度方向拉伸試樣，將斷裂時之伸長率(%)作為斷裂伸長率(%)。再者，上述操作係於溫度：23±3℃以及濕度：65±5%RH之環境下進行。

(6)90℃下之斷裂伸長率

除了將試驗溫度設為90±3℃以外，利用與上述(5)相同之方法測定伸長性基材之斷裂伸長率。

[製造例1]伸長性基材1之製造

使用T模成形機(Placo公司製造，設定溫度：230℃)，由烯烴系熱塑性彈性體(丙烯-乙烯共聚物、丙烯成分86莫耳%/乙烯成分14%莫耳、三菱化學公司製造、商品名「Zelas 7053」)製作伸縮性基材1(厚度：40μm)。再者，對伸縮性基材1之一面實施過電暈處理。

[製造例2]伸長性基材2之製造

使用T模成形機(Placo公司製造，設定溫度：230℃)，由烯烴系熱塑性彈性體(丙烯-乙烯共聚物、丙烯成分72.5莫耳%/乙烯成分17.5%莫耳、三菱化學公司製造、商品名「Zelas 5053」)製作伸縮性基材2(厚度：45μm)。再者，對伸縮性基材2之一面實施過電暈處理。

[製造例3]聚合物1之製造

於甲苯中添加丙烯酸丁酯95份、丙烯酸5份、及作為聚合起始劑之過氧化苯甲醯0.3份後，於60℃下進行加熱，獲得丙烯酸系共聚物(聚合物1)之甲苯溶液。

[製造例4]聚合物2之製造

於甲苯中加入丙烯酸丁酯50份、丙烯酸2-乙基己酯60份、丙烯酸2-羥基乙酯20份、及作為聚合起始劑之過氧化苯甲醯(相對於丙烯酸丁酯、丙烯酸2-乙基己酯及丙烯酸2-羥基乙酯之合計100份為0.3份)後，於60℃下進行加熱，獲得共聚物溶液。向該共聚物溶液中加入與該溶液中之源自丙烯酸2-羥基乙酯之羥基之50重量%相當之量之丙烯酸2-異氰酸酯基乙酯後進行加熱，使該源自丙烯酸2-羥基乙酯之羥基與甲基丙烯酸2-異氰酸酯基乙酯進行加成，藉此獲得側鏈具有甲基丙烯酸酯基之丙烯酸系共聚物(聚合物2)之甲苯溶液。

[製造例5]聚合物3之製造

於甲苯中添加甲基丙烯酸酯70份、丙烯酸2-乙基己酯30份、丙烯酸10份、及作為聚合起始劑之過氧化苯甲醯0.3份後，於60℃下進行加熱，獲得丙烯酸系共聚物(聚合物3)之甲苯溶液。

[製造例6]聚合物4之製造

於甲苯中加入甲基丙烯酸酯50份、丙烯酸2-乙基己酯50份、丙烯酸10份、及作為聚合起始劑之過氧化苯甲醯0.3份後，於60℃下進行加熱，獲得丙烯酸系共聚物(聚合物4)之甲苯溶液。

[製造例7]聚合物5之製造

於甲苯中加入丙烯酸2-乙基己酯40份、丙烯酸乙酯60份、丙烯酸羥基乙酯3份、及作為聚合起始劑之過氧化苯甲醯0.3份後，於60℃下進行加熱，獲得丙烯酸系共聚物(聚合物5)之甲苯溶液。

[製造例8]聚合物6之製造

於甲苯中加入丙烯酸2-乙基己酯30份、丙烯酸乙酯70份、丙烯酸羥基乙酯4份、甲基丙烯酸甲酯5份、及作為聚合起始劑之過氧化苯甲醯0.3份後，於60℃下進行加熱，獲得丙烯酸系共聚物(聚合物6)之甲苯溶液。

[製造例9]聚合物7之製造

於甲苯中加入丙烯酸丁酯50份、丙烯酸乙酯50份、丙烯酸5份、及作為聚合起始劑之過氧化苯甲醯0.3份後，於60℃下進行加熱，獲得丙烯酸系共聚物(聚合物7)之甲苯溶液。

[實施例1]

(由伸縮性基材/中間層構成之積層體之製作)

將製造例1中製備之聚合物1之甲苯溶液(聚合物1：100份)、環氧系交聯劑(三菱瓦斯化學公司製造，商品名「TETRAD C」)0.5份、活性能量線反應性低聚物(日本合成化學公司製造，商品名「紫光7620EA」、丙烯酸胺基甲酸酯系低聚物)30份、及能量線聚合起始劑(BASF Japan公司製造，商品名「Irgacure 184」)6份進行混合，而製備混合液。向該混合液中進而添加與該混合液中之溶劑相同之溶劑(甲苯)，進行黏度調整直至成為容易塗佈之黏度。使用敷料器，以溶劑揮發(乾燥)後之厚度成為40μm之方式將該混合液塗佈於伸長性基材1之電暈處理面上，然後進行乾燥，而於伸長性基材上形成中間層。

(黏著劑層之製作)

將聚合物1之甲苯溶液(聚合物1：100份)、環氧系交聯劑(三菱瓦斯化學公司製造，商品名「TETRAD C」)0.5份、作為黏著賦予劑之萜酚系樹脂(YASUHARA CHEMICAL公司製造，商品名「YS POLYSTER U130」)30份、及熱膨脹性微小球(松本油脂製藥公司製造，商品名「Matsumoto Microsphere F-30D」、發泡起始溫度：70℃~80℃、最大膨脹溫度：110℃~120℃、平均粒徑10μm~18μm)50份進行混合，製備混合液。向該混合液中進而加入與該混合液中之溶劑相同之溶劑(甲苯)，進行黏度調整直至成為容易塗佈之黏度。使用敷料器，以溶劑揮發(乾燥)後之厚度成為10μm之方式塗佈於附聚矽氧脫模劑處理面之聚對苯二甲酸乙二酯膜(Mitsubishi Polyester Film公司製造，商品名「MRF38」，厚度：38μm)，然後進行乾燥，而於該聚對苯二甲酸乙二酯膜上形成黏著劑層。

(黏著片之製作)

將形成在聚對苯二甲酸乙二酯膜上之上述黏著劑層轉印至上述中間層，獲得依序具備伸縮性基材、中間層及黏著劑層之黏著片。將獲得之黏著片供於上述評價(1)~(6)。將結果示於表1。

[實施例2~5、比較例1~3]

如表1所示般使用表1所示之聚合物(聚合物2~7)、交聯劑、黏著賦予樹脂、熱膨脹性微小球、活性能量線反應性低聚物、起始劑以及基材而形成中間層及黏著劑層，除此以外與實施例1同樣地獲得黏著片。將獲得之黏著片供於上述評價(1)~(6)。將結果示於表1。

再者，比較例2中，於基材上不設置中間層，而將黏著劑層直接轉印至基材從而獲得黏著片。

(交聯劑)

CORONATE L：異氰酸酯系交聯劑；Nippon Polyurethane Industry公司製造，商品名「CORONATE L」

(黏著賦予樹脂)

YS POLYSTER U130：萜酚系黏著賦予樹脂；YASUHARA CHEMICAL公司製造，商品名「YS POLYSTER U130」

YS POLYSTER G125：萜酚系黏著賦予樹脂；YASUHARA CHEMICAL公司製造，商品名「YS POLYSTER G125」

YS POLYSTER U160：萜酚系黏著賦予樹脂；YASUHARA CHEMICAL公司製造，商品名「YS POLYSTER U160」

YS POLYSTER T160：萜酚系黏著賦予樹脂；YASUHARA CHEMICAL公司製造，商品名「YS POLYSTER T160」

SUMILITERESIN PR51732：萜酚系黏著賦予樹脂；住友電木公司製造，商品名「SUMILITERESIN PR51732」

(熱膨脹性微小球)

F-50D：發泡起始溫度：95℃~105℃、最大膨脹溫度：125℃~135℃、平均粒徑10μm~18μm；松本油脂製藥公司製造，商品名「Matsumoto Microsphere F-50D」

F-48D：發泡起始溫度：90℃~100℃、最大膨脹溫度：125℃~135℃、平均粒徑9μm~15μm；松本油脂製藥公司製造，商品名「Matsumoto Microsphere F-48D」

F-35D：發泡起始溫度：70℃~80℃、最大膨脹溫度：110℃~120℃、平均粒徑10μm~16μm；松本油脂製藥公司製造，商品名「Matsumoto Microsphere F-35D」

F-30D：發泡起始溫度：70℃~80℃、最大膨脹溫度：110℃~120℃、平均粒徑10μm~18μm；松本油脂製藥公司製造，商品名「Matsumoto Microsphere F-30D」

(活性能量線反應性低聚物)

ARONIX M404：二季戊四醇六丙烯酸酯；東亞合成公司製造，商品名「ARONIX M404」

UV-1700B：丙烯酸胺基甲酸酯系低聚物；日本合成化學公司製造，商品名「紫光UV-1700B」

UV-7630B：丙烯酸胺基甲酸酯系低聚物；日本合成化學公司製造，商品名「紫光UV-7630B」

(起始劑)

Irgacure 651、Irgacure 369：BASF Japan公司製造

(基材)

Lumirror S10：非伸長性基材；PET膜；厚度：100μm；Toray公司製造，商品名「Lumirror S10」

10‧‧‧伸長性基材

20‧‧‧中間層

30‧‧‧黏著劑層

31‧‧‧熱膨脹性微小球

32‧‧‧黏著劑

100‧‧‧黏著片

H‧‧‧高度

Claims

一種黏著片，其具備伸長性基材、配置於該伸長性基材之單側或兩側之黏著劑層、及配置於該伸長性基材與該黏著劑層之間之中間層，且該黏著劑層包含黏著劑與熱膨脹性微小球，該黏著劑層之厚度為1μm~25μm，使該黏著片與被黏著體密接時之該中間層之厚度與基於奈米壓痕法之彈性模數之關係為0.5(MPa‧μm^-1)≦(1/中間層之厚度(μm))×中間層之基於奈米壓痕法之彈性模數(MPa)≦40(MPa‧μm^-1)，使用依據JIS Z 0237：2009之方法測定之該黏著片對SUS304BA之黏著力為0.1N/20mm以上，該中間層係由藉由活性能量線之照射而能硬化之樹脂材料所構成，上述伸長性基材在23℃下之25%模數為1N/10mm~100N/10mm。
如請求項1之黏著片，其中使上述黏著片與被黏著體密接時之上述中間層之厚度與基於奈米壓痕法之彈性模數之關係為1.0(MPa‧μm^-1)≦(1/中間層之厚度(μm))×中間層之基於奈米壓痕法之彈性模數(MPa)≦40(MPa‧μm^-1)。
如請求項1之黏著片，其中使上述黏著片與被黏著體密接時之中間層之基於奈米壓痕法之彈性模數為1000MPa以下。
如請求項1之黏著片，其中使上述黏著片與被黏著體密接時之上述黏著劑層之厚度與基於奈米壓痕法之彈性模數之關係為0.05(MPa‧μm^-1)≦(1/黏著劑層之厚度(μm))×黏著劑層之基於奈米壓痕法之彈性模數(MPa)≦40(MPa‧μm^-1)。
如請求項1之黏著片，其中使上述黏著片與被黏著體密接時之上述黏著劑層之基於奈米壓痕法之彈性模數為1500MPa以下。
如請求項1之黏著片，其中上述黏著劑係由包含具有乙烯性不飽和官能基之化合物之樹脂材料構成。
如請求項1之黏著片，其中上述黏著劑包含黏著賦予劑。
如請求項1之黏著片，其中上述中間層係由包含具有乙烯性不飽和官能基之化合物之樹脂材料形成。
如請求項1之黏著片，其中上述中間層包含黏著賦予劑。
如請求項1之黏著片，其中上述中間層之厚度為1μm~200μm。
如請求項1之黏著片，其中上述伸長性基材之基於奈米壓痕法之彈性模數相對於上述中間層之基於奈米壓痕法之彈性模數為50%~50000%。
如請求項1之黏著片，其於23℃下之斷裂伸長率為10%以上。
如請求項1之黏著片，其於90℃下之斷裂伸長率為130%~1500%。
如請求項1之黏著片，其於23℃下之25%模數為1N/10mm~100N/10mm。