TWI803557B - 基板保持裝置及基板檢查裝置 - Google Patents

Abstract

本發明可將基板推壓至基準面且抑制基板之振動。 本發明之基板保持裝置之夾緊部可於與基板抵接之抵接位置和不與基板抵接之退回位置之間沿大致水平方向移動，且於抵接位置具備具有與基板抵接之第1前端面之第1單元、及以可於第1單元與框架之間沿大致水平方向移動之方式設置之第2單元。第1前端面與和基板之背面所抵接之基準面大致正交之面所形成之角度（角度θ1）大致小於45度，於抵接位置第1前端面抵接於基板之側面與倒角部之稜線。作為第1單元與第2單元所抵接之面之第1後端面及第2前端面與和基準面大致正交之面所形成之角度（角度θ2）大於角度θ1，第1單元沿第2單元之第2前端面向基準面側滑動。

Description

基板保持裝置及基板檢查裝置

本發明係關於一種基板保持裝置及基板檢查裝置。

專利文獻1中揭示一種基板保持裝置，其於框架上設置有保持基板之側邊之複數個帶鎖汽缸，帶鎖汽缸之前端以相對於基板之邊緣傾斜10度左右之方式形成。於該基板保持裝置中，由帶鎖汽缸前端之斜面自斜前方推壓基板之倒角部，使基板之背面抵接於框架之面（基準面）。 [現有技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2009-147099號公報

[發明所欲解決之問題]

例如，為了向無塵室之天花板吹送潔淨之空氣，而設置有具備HEPA過濾器（High Efficiency Particulate Air Filter，高效粒子空氣過濾器）或送風機之送風機過濾單元。存在於該送風機過濾單元設置有例如送風能力較高之多翼式送風機之情況，自多翼式送風機產生20 Hz左右之低頻率之壓力振動，該振動傳導至存在於無塵室內之設備或基板。

於專利文獻1所記載之發明中，相對於帶鎖汽缸之推力（與基準面大致平行之方向之力）之基準面方向之分力分量較小，因此將基板向基準面推壓之力不足，而有基板之背面以微小量（例如0.2 mm左右）高出基準面之虞。若基板之背面與框架分離，則自送風機產生之低頻率之音響振動導致基板振動。該振動於振幅最大之基板之中央部分大致為2 μm以上，為較大之值，檢查時有產生偽缺陷之虞。

本發明係鑒於此種情況而完成者，其目的在於提供一種可將基板推壓至基準面且抑制基板之振動之基板保持結構、基板保持裝置及基板檢查裝置。 [解決問題之手段]

為了解決上述課題，本發明之遮罩保持裝置之特徵在於：其係將例如於周緣形成有平面或曲面之倒角部之透明的大致板狀之基板保持於大致豎直方向上之基板保持裝置，其具備具有大致豎直地延設之大致棒狀之第1縱框部及第2縱框部之框架、以及設置於上述第1縱框部及上述第2縱框部之複數個夾緊部，上述夾緊部可於與上述基板抵接之抵接位置和不與上述基板抵接之退回位置之間沿大致水平方向移動，上述第1縱框部及上述第2縱框部自與上述基板之表面大致正交之方向觀察具有與上述基板之周緣重疊之部分，該重疊之部分於上述夾緊部位於上述抵接位置時具有上述基板之背面所抵接之基準面，上述夾緊部於上述抵接位置具備具有和上述基板之側面與上述倒角部之稜線抵接之第1前端面之第1單元、及以可於上述第1單元與上述框架之間沿大致水平方向移動之方式設置之第2單元，上述第1單元具有與上述第2單元抵接之第1後端面，上述第2單元具有與上述第1後端面抵接之第2前端面，上述第1前端面與和上述基準面大致正交之面所形成之角度大致小於45度，上述第1後端面及上述第2前端面與和上述基準面大致正交之面所形成之角度大於上述第1前端面與和上述基準面大致正交之面所形成之角度，若上述第2單元自上述退回位置向上述抵接位置移動，則上述第1前端面抵接於上述基板之側面與上述倒角部之稜線，且上述第1單元沿上述第2前端面向上述基準面側滑動。

根據本發明之遮罩保持裝置，夾緊部可於與基板抵接之抵接位置和不與基板抵接之退回位置之間沿大致水平方向移動，且於抵接位置具備具有與基板抵接之第1前端面之第1單元、及以可於第1單元與框架之間沿大致水平方向移動之方式設置之第2單元。第1前端面與和基板之背面所抵接之基準面大致正交之面所形成之角度（角度θ1）大致小於45度，因此於抵接位置第1前端面抵接於基板之側面與倒角部之稜線。作為第1單元與第2單元所抵接之面之第1後端面及第2前端面與和基準面大致正交之面所形成之角度（角度θ2）大於角度θ1，因此於第2單元自退回位置向抵接位置移動時對第1單元施加向下之力。因此，第1前端面抵接於基板之側面與倒角部之稜線，第1單元沿第2單元之第2前端面向基準面側滑動。藉此，可將基板推壓至基準面且抑制基板之振動。尤其是藉由將夾緊部製成第1單元與第2單元之2個零件構成，對基板施加之力依賴於角度θ2而不依賴於角度θ1。因此，可減小角度θ1。

此處，上述第1前端面可相對於與上述基準面大致正交之面傾斜大致10度，上述第1後端面及上述第2前端面相對於與上述基準面大致正交之面傾斜大致45度。藉此，可減小第1單元與基板重疊之距離，並且於第2單元自退回位置向抵接位置移動時，可使第2單元沿水平方向推壓第1單元之力與對第1單元施加之向下之力大致相同。此外，藉由減小第1單元與基板重疊之距離，可縮小遮蓋基板檢查用之拍攝部之視野之範圍，避免對基板之檢查造成障礙。又，藉由使第2單元沿水平方向推壓第1單元之力與對第1單元施加之向下之力大致相同，可將基板緊緊地推壓至基準面，從而抑制基板之振動。

此處，上述夾緊部亦可具有對上述第1單元施加使其遠離上述基準面之方向之力之彈性構件。藉此，於曲柄部與基板分離時，可使第1單元恢復至原來位置。

此處，上述第1單元於自豎直上方向或豎直下方向觀察時之形狀可為大致梯形形狀，距上述基準面較遠之側之上底可短於距上述基準面較近之側之下底，上述上底之長度可大致為1 mm。藉此，利用對第2單元施加之施加力，可使第1單元沿第2單元之第2前端面移動（第1單元不旋轉）。

此處，於自豎直上方向或豎直下方向觀察時，通過上述第1前端面與上述基板抵接之位置且與上述第1前端面大致正交之線可與上述第1後端面及上述第2前端面交叉。藉此，利用對第2單元施加之施加力，可使第1單元沿第2單元之第2前端面移動（第1單元不旋轉）。

此處，亦可具備：保持單元，其具有與上述基板之下端面抵接之數個保持塊、及相對於上述各保持塊改變高度之調整機構；及控制部，其控制上述調整機構使上述保持塊與上述基板之下端面抵接後使上述夾緊部向上述抵接位置移動。藉此，藉由推壓基板之兩側面與下端面，可將基板保持於大致豎直方向上。

此處，上述夾緊部可具有設置於上述第1縱框部之第1夾緊部及第2夾緊部與設置於上述第2縱框部之第3夾緊部及第4夾緊部，上述第1夾緊部與上述第3夾緊部相對向，上述第2夾緊部與上述第4夾緊部相對向，上述控制部可自上述第1夾緊部、上述第2夾緊部、上述第3夾緊部及上述第4夾緊部位於上述抵接位置之狀態起，於將上述第1夾緊部與上述第3夾緊部配置於上述抵接位置之狀態下使上述第2夾緊部與上述第4夾緊部自上述抵接位置向上述退回位置同時移動，其後，使上述第2夾緊部與上述第4夾緊部自上述退回位置向上述抵接位置同時移動，且使上述第1夾緊部與上述第3夾緊部自上述抵接位置向上述退回位置同時移動。藉此，於保持基板時即便基板與基準面分離，亦可使基板逐漸向基準面移動，而將基板推壓至基準面。

此處，上述控制部可使上述夾緊部沿大致水平方向連續往復移動複數次。藉此，即便基板與基準面分離，亦可使基板逐漸向基準面移動，而將基板推壓至基準面。

此處，上述保持塊可具有與上述基板之下端面抵接之第1保持塊、及設置於上述第1保持塊之下側之第2保持塊，上述第1保持塊可沿大致水平方向移動。藉此，於基板向基準面移動時，基板與第1保持塊不會摩擦，而可避免第1保持塊損傷基板之下端面。

為了解決上述課題，本發明之遮罩檢查裝置之特徵在於例如具備：如請求項1至9中任一項所述之基板保持裝置；拍攝部，其拍攝上述基板；及照明部，其對上述基板照射光，且以隔著上述基板與上述拍攝部相對向之方式設置。藉此，可將基板推壓至基準面而抑制基板之振動，且避免於檢查時產生偽缺陷。 [發明之效果]

根據本發明，可使基板抵接於基準面，從而抑制基板之振動。

以下，參照圖式對本發明之實施形態進行詳細說明。本發明係將於周緣形成有平面或曲面之倒角部之透明的大致板狀之基板保持於大致豎直方向上之基板保持裝置，其設置於檢查基板之基板檢查機等之內部。

於本發明中，使用遮罩M作為基板。遮罩M係由石英等形成之透明之大致板狀之構件，為用以製造例如有機EL或液晶顯示裝置之顯示裝置用基板之曝光用遮罩。遮罩M係於一邊為1 m左右之大型之大致矩形形狀的基板上形成有1個或複數個影像設備用轉印圖案者。又，對於遮罩M，為了避免遮罩邊緣缺損，而於周緣形成有倒角部。

倒角部可為平面之倒角部（所謂C面），亦可為曲面之倒角部（所謂R面）。又，C面可為角度大致為45度之通常倒角，亦可為角度大致為30度之特別倒角。以下，作為倒角部，以具有角度大致為45度、邊之長度為1 mm之倒角（C1）之情形為例進行說明。

圖1係表示第1實施形態之遮罩保持裝置1之概略的立體圖。以下，將大致沿水平方向上之框架11之長度方向的方向定義為x方向，以豎直方向作為y方向，將與x方向及y方向正交之方向定義為z方向。

遮罩保持裝置1係載置於平台（未圖示）上，主要具有遮罩保持部10、保持單元20、拍攝部30、及照明部40。

遮罩保持部10主要具有大致為框狀之框架11、及握持遮罩M之夾緊部12。框架11以包圍保持為豎直之遮罩M之外周之方式形成為大致框狀。框架11具有大致豎直地延設之大致棒狀之縱框部11a、11b。自與遮罩M之表面大致正交之方向（z方向）觀察，縱框部11a、11b具有與遮罩M之周緣重疊之部分。

框架11以遮罩M之表面m1（形成圖案之面）與xy平面大致平行之方式保持遮罩M。為了應對不同大小之遮罩，縱框部11a、11b可沿下框部11e在水平方向（x方向）上移動。關於將縱框部11a、11b以可移動之方式設置之形態及移動機構，可使用已公知之各種技術。

於縱框部11a、11b設置夾緊部12。夾緊部12具有夾緊部12a～12j。於縱框部11a設置夾緊部12a、12b、12c、12d、12e，於縱框部11b設置夾緊部12f、12g、12h、12i、12j。夾緊部12a與夾緊部12f相對向，夾緊部12b與夾緊部12g相對向，夾緊部12c與夾緊部12h相對向，夾緊部12d與夾緊部12i相對向，夾緊部12e與夾緊部12j相對向。

此外，於本實施形態中，於縱框部11a設置有5個夾緊部12，於縱框部11b設置有5個夾緊部12，但夾緊部12之位置及數量並不限於此。下文對夾緊部12進行詳細說明。

夾緊部12a～12j之前端可於與遮罩M抵接之抵接位置和不與遮罩M抵接之退回位置之間沿大致水平方向（x方向）移動。

於遮罩保持部10之下端附近設置保持單元20。保持單元20係載置於平台（未圖示），具有與遮罩M之下端面抵接之數個保持塊21、及相對於各保持塊21而設置於保持塊21之下側之調整機構22。保持塊21及調整機構22沿x方向設置有數個。調整機構22具有上表面相對於xz平面傾斜之第1塊22a、及下表面相對於xz平面傾斜之第2塊22b，藉由改變第1塊22a與第2塊22b之相對之位置關係，而針對各保持塊21變更保持塊21之高度方向（y方向）之位置。調整機構22已為公知，因此省略詳細之說明。

拍攝部30對保持於遮罩保持部10之遮罩M進行拍攝。照明部40對遮罩M照射光。拍攝部30及照明部40以隔著遮罩M相對向之方式設置。一面自照明部40照射光，一面利用拍攝部30拍攝圖案之圖像。拍攝部30、照明部40已為公知，因此省略詳細之說明。

其次，對遮罩保持部10進行詳細說明。圖2係表示遮罩保持裝置1中之遮罩保持部10之概略的俯視圖。於圖2中，省略一部分構成之圖示。

於圖2中，夾緊部12a～12j（於圖2中無法視認到夾緊部12b～12e、12g～12j）位於與遮罩M抵接之抵接位置。縱框部11a、11b於夾緊部12a～12j位於抵接位置時，分別具有遮罩M之背面m2所抵接之基準面11c、11d。若夾緊部12a～12j推壓遮罩M，則背面m2被推壓至基準面11c、11d。

於遮罩M之表面m1形成有圖案，使用拍攝部30及照明部40進行圖案之檢查。圖案係形成於距遮罩M之周緣10 mm～20 mm左右內側之區域。因此，拍攝部30及照明部40一面沿x方向及y方向移動，一面對除距遮罩M之周緣之距離為距離x1（距離x1大致為10 mm）之部分以外之區域進行檢查。

照明部40之開口數為拍攝部30之開口數之0.7倍左右，因此若考慮入射至拍攝部30之光之路徑，則遮罩M與基準面11c、11d所抵接之距離x2小於距離x1，大致為3～5 mm左右。又，為了防止投影被拍攝部30拍攝到，夾緊部12與遮罩M重疊之距離x3小於距離x2。藉由減小距離x3，可縮小遮蓋拍攝部30之視野之範圍，避免對遮罩M之檢查造成障礙。

圖3係圖1之A-A截面圖，係表示夾緊部12a之概略之圖。於圖3中，二點鎖線表示夾緊部12a位於退回位置之狀態，實線表示夾緊部12a位於抵接位置之狀態。此外，夾緊部12a～12j為相同之構成。其中，夾緊部12a～12e與夾緊部12f～12j左右對稱。

夾緊部12a主要具有夾器121、夾緊板122、脫料螺栓123、及彈性構件124。

夾器121係設置於夾緊部12a之前端。夾緊板122係設置於夾器121與框架11（於圖3中省略圖示）之間。夾緊板122係以相對於框架11可移動之方式設置，藉由未圖示之驅動部而沿大致水平方向移動。若夾緊板122沿大致水平方向移動，夾緊部12a移動至抵接位置，則夾器121與遮罩M抵接。

未圖示之驅動部係連接於未圖示之致動器（例如，氣壓致動器），若將壓縮空氣自第1填充口向汽缸內送氣，自第2填充口排氣，則夾緊板122移動至圖3中之左側，若將壓縮空氣自第2填充口向汽缸內送氣，自第1填充口排氣，則夾緊板122移動至圖3中之右側。但驅動部之形態並不限於此。

圖4係自+y方向觀察夾緊部12a中之夾器121之圖，圖5係自+z方向觀察夾緊部12a中之夾器121之圖。

夾器121係由聚醚醚酮樹脂（PEEK）等耐熱性、機械強度優異之樹脂所形成。夾器121具有自豎直上方向（+y方向）或豎直下方向（-y方向）觀察時之形狀大致為梯形形狀之本體部121a、及形成於大致中央之安裝部121b。

本體部121a之前端面121c係與遮罩M抵接之面。前端面121c相對於與基準面11c大致正交之面傾斜，遠離基準面11c之側與靠近基準面11c之側相比位於更靠近遮罩M之內側之位置。本體部121a之前端面121c之相反側之面係與夾緊板122抵接，為作為夾器121與夾緊板122之滑動面之滑動面121d。

前端面121c與和基準面11c大致正交之面P所形成之角度θ1大致小於45度。藉由使前端面121c與面P所形成之角度θ1大致小於45度，可使遮罩M之稜線e與前端面121c抵接，避免前端面121c偏向遮罩M之表面m1，從而避免有損形成於表面m1之圖案資訊之雜質附著於表面m1。於本實施形態中，角度θ1大致為10度。其係為了如圖3所示使距離x3小於距離x2，且儘量減小距離x3。

滑動面121d與面P所形成之角度θ2大於角度θ1。於本實施形態中，角度θ2大致為45度。夾緊板122將夾器121向下推壓之力隨著角度θ2變大而增強。

本體部121a之距基準面11c較遠之側的上底121e之長度大致為1 mm。角度θ1大致為10度，角度θ2大致為45度，因此與上底121e大致平行、且距基準面11c較近之側之下底121f之長度長於上底121e。

於上底121e與前端面121c之間形成有長度與上底121e大致相同之平面121g，以避免角成為刀刃形狀。但平面121g並非必需。

安裝部121b以向與前端面121c相反之側突出之方式形成於本體部121a之大致中央。安裝部121b之與前端面121c相反側之面係與夾緊板122抵接，為作為夾器121與夾緊板122之滑動面之滑動面121h。滑動面121h與滑動面121d大致平行，滑動面121h與面P所形成之角度與角度θ2相等。

於夾器121（本體部121a）之±y側之端面形成孔121i、121j。孔121i與孔121j為一體，孔121j較孔121i更粗，孔121i較孔121j更長。於孔121i、121j中插入彈性構件124（參照圖3）。插入彈性構件124後，可於夾器121之±y側之端面貼附黏著性之密封劑等。藉此，即便孔121i、121j與彈性構件124之摩擦導致彈性構件124之表面被磨削而產生雜質，亦可利用密封劑高效率地捕捉雜質。

又，於夾器121形成螺孔121k、及孔121l。螺孔121k與孔121l為一體，孔121l向滑動面121h開口。於孔121l中插入脫料螺栓123（參照圖3）。又，於螺孔121k中螺合脫料螺栓123之螺紋部（參照圖3）。

圖6係夾緊部12a中之夾緊板122之立體圖，圖7係自+y方向觀察夾緊部12a中之夾緊板122之圖。

夾緊板122係由鐵等金屬所形成，具有作為夾器121與夾緊板122之滑動面之滑動面122a、122b。滑動面122a與滑動面121d抵接，滑動面122b與滑動面121h抵接。滑動面122a、122b與滑動面121d、滑動面121h大致平行，滑動面122a、122b與面P所形成之角度與角度θ2相等。

於夾緊板122之+y側之端面形成孔122c、122d。孔122c與孔122d為一體，孔122c較孔122d更粗，孔122d較孔122c更長。於孔122c、122d中插入彈性構件124（參照圖3）。插入彈性構件124後，亦可於夾緊板122之+y側之端面貼附密封劑等。

又，於夾緊板122形成長孔122e及鏜孔122f。長孔122e貫通夾緊板122。長孔122e及鏜孔122f為一體，一端向上表面122g開口，另一端向滑動面122b開口。長孔122e及鏜孔122f與滑動面122b大致正交。於長孔122e及鏜孔122f中插入脫料螺栓123（參照圖3）。

返回至圖3之說明。將脫料螺栓123自上表面122g側插入至孔121l、長孔122e及鏜孔122f中，將脫料螺栓123之前端之螺紋部螺合至螺孔121k。其結果為夾器121與夾緊板122由脫料螺栓123所連結，以避免夾器121自夾緊板122脫離。此時，脫料螺栓123之頭部123a位於鏜孔122f之內部，頭部123a之下表面抵接於鏜孔122f之底面。

長孔122e及鏜孔122f具有直線部，因此脫料螺栓123可沿長孔122e及鏜孔122f之長度方向於長孔122e及鏜孔122f之內部滑動。

此外，於本實施形態中，使用脫料螺栓123將夾器121與夾緊板122以可滑動之方式連結，但將夾器121與夾緊板122以可滑動之方式連結之方法並不限於此。

彈性構件124係例如可實現鋼琴線等之彈性變形之線材。將彈性構件124自±y側插入至孔121j、孔121i、孔122c及孔122d中，藉由未圖示之螺釘固定於夾緊板122。孔121i、122d之寬度與彈性構件124之直徑大致相同，孔121j、122c之寬度大於彈性構件124之直徑。

若夾緊板122自待機位置向抵接位置移動（於圖3中為向-x方向移動，參照圖3黑色箭頭），則前端面121c抵接於遮罩M之側面s與倒角部c之稜線e。於前端面121c與稜線e抵接後，亦藉由未圖示之驅動部對夾緊板122施加向-x方向移動之方向之力。

於自豎直上方向或豎直下方向觀察時，通過前端面121c與稜線e抵接之位置且與前端面121c大致正交之線（參照圖3一點鎖線）與滑動面121d、122a交叉。因此，藉由對夾緊板122施加之施加力，夾器121平行移動（夾器121不旋轉）。

於本實施形態中，角度θ2大致為45度（參照圖4、7），因此若將藉由未圖示之驅動部對夾緊板122施加之朝向-x方向之力設為力F，則夾器121被施加自夾緊板122向下之力F。

如上所述，夾器121沿滑動面122a、122b向前端面121c側滑動（參照圖3黑色箭頭）。藉由前端面121c與稜線e之摩擦，即便夾器121相對於夾緊板122滑動，前端面121c與稜線e之位置關係亦不變化。因此，遮罩M被夾器121向-z方向壓入，利用力F將遮罩M之背面m2推壓至基準面11c。

孔121i、122d之寬度與彈性構件124之直徑大致相同，孔121j、122c之寬度大於彈性構件124之直徑，因此彈性構件124伴隨夾器121相對於夾緊板122移動而發生彈性變形。

藉由彈性構件124發生彈性變形，而利用彈性構件124對夾器121施加自基準面11c遠離之方向之力。若藉由未圖示之驅動部夾緊板122自抵接位置向待機位置移動（圖3中向+x方向移動），則前端面121c與稜線e分離，藉由彈性構件124將夾器121向+z方向推升。彈性構件124係設置於夾器121及夾緊板122之±y側，夾器121自y方向之兩側均衡受力，因此夾器121平行移動。

圖8係表示保持塊21之概略之圖。保持塊21具有與遮罩M抵接之保持塊21a、及設置於保持塊21a之下側之保持塊21b。保持塊21b與調整機構22之第1塊22a抵接。為了進行說明，圖8中將保持塊21a與保持塊21b稍加分離而圖示，但實際上保持塊21a與保持塊21b抵接。

保持塊21a可沿大致水平方向、此處為沿遮罩M之厚度方向（z方向）移動。保持塊21a、21b分別具有作為保持塊21a與保持塊21b之滑動面之滑動面21c、21d。由於對滑動面21c、21d之間供油等，故而滑動面21c、21d中之滑動阻力小於遮罩M與保持塊21a之摩擦力。

保持塊21具有將保持塊21a向+z方向推壓之彈性構件（未圖示）。

圖9係表示遮罩保持裝置1之電構成之方塊圖。遮罩保持裝置1主要包含控制部101、存儲部102、輸入部103、輸出部104而構成。

控制部101係作為運算裝置之CPU（Central Processing Unit）等程式控制設備，依照存儲於存儲部102中之程式而動作。下文對控制部101之詳細動作之內容進行詳細說明。

存儲部102係不揮發性記憶體、揮發性記憶體等，保持藉由控制部101實行之程式等之同時，作為控制部101之工作記憶體而動作。輸入部103包括鍵盤或滑鼠等輸入設備。輸出部104為顯示器等。

對控制部101所進行之處理之流程進行說明。圖10係表示將遮罩M保持於大致豎直方向上之處理流程之流程圖。於開始處理之前，夾緊部12位於待機位置。

首先，控制部101控制調整機構22及未圖示之驅動部使保持塊21向下方（-y方向）移動（步驟S1）。其次，控制部101藉由載入器（未圖示）握持遮罩M，將遮罩M向遮罩保持裝置1之內部插入（步驟S2）。

藉此，將遮罩M配置於框架11之近側（+z側）。控制部101控制調整機構22及未圖示之驅動部使保持塊21向上方（+y方向）移動，而使保持塊21與遮罩M之下端面抵接（步驟S3）。

其次，控制部101使夾緊部12自待機位置向抵接位置移動（步驟S4）。此時，使全部夾緊部12同時移動。藉此，夾緊部12握持遮罩M，夾器121、即遮罩M向-z方向移動，將遮罩M之背面m2推壓至基準面11c。

於遮罩M向-z方向移動時，保持塊21a相對於保持塊21b滑動，保持塊21a向-z方向移動。藉此，於使遮罩M向-z方向移動時，可避免保持塊21a損傷遮罩M之下端面。

於步驟S4中，控制部101可使夾緊部12沿大致水平方向連續往復移動複數次。即，控制部101可重複如下處理：利用夾緊部12握持遮罩M，使夾緊部12自遮罩M分離，再次利用夾緊部12握持遮罩M。藉此，即便步驟S2中所插入之遮罩M與基準面11c分離數mm左右，亦可將由夾緊部12握持之遮罩M之背面m2推壓至基準面11c。

控制部101藉由未圖示之狀態感應器，判定夾緊部12是否握持遮罩M（步驟S5）。於夾緊部12未握持遮罩M（步驟S5中為NO）之情形時，控制部101使夾緊部12再次向抵接位置移動（步驟S4）。於夾緊部12握持遮罩M（步驟S5中為NO）之情形時，推壓遮罩M之兩側面與下端面，將遮罩M保持於大致豎直方向上。因此，控制部101將載入器自遮罩M移除，結束保持遮罩M之處理。

此外，將載入器自遮罩M移除後，於遮罩M與框架11分離數mm左右之情形時，即便夾緊部12握持遮罩M，亦可能存在遮罩M之背面m2未被充分推壓至基準面11c之情形。於此種情形時，控制部101進行修正遮罩M之位置之修正處理。

例如，於基準面11c設置未圖示之感應器，使用感應器等檢測推壓基準面11c之力。其結果為，即便夾緊部12全部位於抵接位置，若檢測到背面m2未被充分推壓至基準面11c，則控制部101使夾緊部12a、12c、12e、12f、12h、12j（配置於奇數序號者）與夾緊部12b、12d、12g、12i（配置於偶數序號者）於不同之時間點水平移動。

控制部101於位於抵接位置之全部夾緊部12中，於將夾緊部12a、12c、12e、12f、12h、12j配置於抵接位置之狀態下，使夾緊部12b、12d、12g、12i自抵接位置向退回位置同時移動。其後，控制部101使夾緊部12b、12d、12g、12i自退回位置向抵接位置同時移動，使夾緊部12b、12d、12g、12i與遮罩M抵接，並且使夾緊部12a、12c、12e、12f、12h、12j自抵接位置向退回位置同時移動。即，控制部101藉由將僅利用夾緊部12a、12c、12e、12f、12h、12j握持遮罩M與僅利用夾緊部12b、12d、12g、12i握持遮罩M交替重複進行，而使遮罩M逐漸向基準面11c移動。藉此，可將背面m2充分推壓至基準面11c。

如上所述，若將遮罩M保持於大致豎直方向上，則控制部101使用拍攝部30及照明部40進行檢查處理。檢查處理已為公知，因此省略說明。

結束檢查處理後，控制部101將遮罩M自框架11分離，向遮罩保持裝置1之外部搬出。於該搬出處理中，控制部101利用載入器（未圖示）握持遮罩M，使夾緊部12向退回位置移動，並且使保持塊21向下方移動，將遮罩M自框架11卸除。其後，控制部101使載入器（未圖示）移動而將遮罩M向遮罩保持裝置1之外部搬出。

於夾緊部12設置有彈性構件124，因此於夾緊部12向退回位置移動時，相對於夾緊板122移動之夾器121藉由彈性構件124之施加力返回至原來之位置。又，藉由設置於保持塊21之未圖示之彈性構件之施加力，保持塊21a向+z方向移動，保持塊21a返回至原來之位置。

根據本實施形態，夾緊部12具有夾器121與夾緊板122，使滑動面121d、121h、122a、122b與面P所形成之角度θ2大於前端面121c與面P所形成之角度θ1，因此於夾緊板122自退回位置向抵接位置移動時，對夾器121施加之向下之力變大。因此，夾器121向基準面11c側滑動，而可將前端面121c所抵接之遮罩M推壓至基準面11c。藉此，可抑制遮罩M之振動。

圖11（A）係對本實施形態中之夾緊部12推壓遮罩M之力進行說明之圖，圖11（B）係對先前形態中之夾緊部120推壓遮罩M之力進行說明之圖。藉由未圖示之驅動部，對夾緊部12、120施加朝向遮罩M、大小F之施加力。

於圖11（A）所示之本實施形態中，夾緊板122以大小F之力將夾器121向水平方向推壓。夾器121與夾緊板122之滑動面與面P所形成之角度θ2大致為45度，因此對夾器121施加大小F之向下之力。稜線e相對於前端面121c之位置不發生變化，因此亦對遮罩M施加大小F之向下之力。藉此，可將遮罩M緊緊地推壓至基準面11c。又，對遮罩M施加之力依賴於角度θ2而不依賴於角度θ1，因此可減小角度θ1。

與此相對，於圖11（B）所示之先前形態中，夾緊部120直接推壓遮罩M，因此若將夾緊部120之前端面與面P所形成之角度設為θ1，則對遮罩M施加之向下之力為F×tanθ1。若減小角度θ1，則對遮罩M施加之向下之力、即相對於夾緊部12之推力（朝向遮罩M、大小F之施加力）之基準面11c方向之分力分量F×tanθ1亦變小，有無法將遮罩M推壓至基準面11c之虞。

因此，如本實施形態般，藉由將夾緊部12製成夾器121與夾緊板122之2個零件構成，可增大角度θ2，藉此可將遮罩M推壓至基準面11c，避免遮罩M與基準面11c分離。並且，藉由避免遮罩M與基準面11c分離，而可於振幅最大之基板之中央部分設為小於1 μm之振幅，從而抑制基板之振動。因此，可避免於檢查時產生偽缺陷。

又，根據本實施形態，夾緊部12係夾器121與夾緊板122之2個零件構成，角度θ1與遮罩M之推壓力無關，因此可減小角度θ1。

此外，於本實施形態（圖2、3等）中係握持如遮罩M之稜線e抵接於前端面121c之大致中央之厚度的遮罩M，但遮罩保持裝置1可握持各種厚度之遮罩。圖12係表示夾緊部12與遮罩保持裝置1所握持之數種遮罩M1、M2、M3、M4之關係之示意圖。遮罩M1之厚度t1大致為10 mm，遮罩M2之厚度t2大致為14 mm，遮罩M3之厚度t3大致為17 mm，遮罩M4之厚度t4大致為20 mm。

為了夾器121藉由對夾緊板122施加之施加力而平行移動（夾器121不旋轉），通過前端面121c與遮罩M抵接之位置且與前端面121c大致正交之線（參照圖12之一點鎖線）必須與滑動面121d、122a交叉。由於遮罩M1～M4中最厚之遮罩M4條件最嚴格，故而於本發明中，以通過前端面121c與遮罩M4抵接之位置且與前端面121c大致正交之線L與滑動面121d、122a交叉之方式設定夾器121之形狀。

例如，假設夾器121及夾緊板122之距基準面11c最遠之面為止之距離t5為21 mm～22 mm，若將上底121e之長度設為大致1 mm以上，則可使線L與滑動面121d、122a交叉。

又，於本實施形態中，彈性構件124對夾器121施加使其遠離基準面11c之方向之力，但對夾器121施加遠離基準面11c之方向之力的形態並不限於此。例如，亦可以隔著滑動面121d、122a之方式，於夾器121之+y側之面的靠近基準面11c之位置與夾緊板122之+y側之面的遠離基準面11c之位置分別設置銷釘，於2根銷釘設置拉伸彈簧之兩端。又，例如，亦可於長孔122e或鏜孔122f與脫料螺栓123之間設置壓縮彈簧，藉由壓縮彈簧將脫料螺栓123向遠離基準面11c之方向推升。

以上參照圖式對該發明之實施形態進行了詳細說明，但具體之構成並不限於該實施形態，亦包括不脫離該發明之主旨之範圍之設計變更等。

於本發明中，所謂「大致」係不僅包括嚴格相同之情形，而且包括不喪失同一性之程度之誤差或變形之概念。例如，所謂大致立方體形狀並不限於嚴格為立方體形狀之情形。又，例如，於僅表述為豎直、一致等之情形時，不僅包括嚴格豎直、一致等之情形，而且包括大致豎直、大致一致等之情形。又，於本發明中，所謂「附近」，例如於為A之附近時，係表示為A之附近，可包含A亦可不包含A之概念。

1‧‧‧遮罩保持裝置 10‧‧‧遮罩保持部 11‧‧‧框架 11a、11b‧‧‧縱框部 11c、11d‧‧‧基準面 11e‧‧‧下框部 12、12a、12b、12c、12d、12e、12f、12g、12h、12i、12j‧‧‧夾緊部 20‧‧‧保持單元 21、21a、21b‧‧‧保持塊 21c、21d‧‧‧滑動面 22‧‧‧調整機構 22a‧‧‧第1塊 22b‧‧‧第2塊 30‧‧‧拍攝部 40‧‧‧照明部 101‧‧‧控制部 102‧‧‧存儲部 103‧‧‧輸入部 104‧‧‧輸出部 120‧‧‧夾緊部 121‧‧‧夾器 121a‧‧‧本體部 121b‧‧‧安裝部 121c‧‧‧前端面 121d、121h‧‧‧滑動面 121e‧‧‧上底 121f‧‧‧下底 121g‧‧‧平面 121i、121j‧‧‧孔 121k‧‧‧螺孔 121l‧‧‧孔 122‧‧‧夾緊板 122a、122b‧‧‧滑動面 122c、122d‧‧‧孔 122e‧‧‧長孔 122f‧‧‧鏜孔 122g‧‧‧上表面 123‧‧‧脫料螺栓 123a‧‧‧頭部 124‧‧‧彈性構件

圖1係表示第1實施形態之遮罩保持裝置1之概略的立體圖。 圖2係表示遮罩保持裝置1中之遮罩保持部10之概略的俯視圖。 圖3係圖1之A-A截面圖，係表示夾緊部12a之概略之圖。 圖4係自+y方向觀察夾緊部12a中之夾器121之圖。 圖5係自+z方向觀察夾緊部12a中之夾器121之圖。 圖6係夾緊部12a中之夾緊板122之立體圖。 圖7係自+y方向觀察夾緊部12a中之夾緊板122之圖。 圖8係表示保持塊21之概略之圖。 圖9係表示遮罩保持裝置1之電構成之方塊圖。 圖10係表示將遮罩M保持於大致豎直方向上之處理流程之流程圖。 圖11中（A）係對本實施形態中之夾緊部12推壓遮罩M之力進行說明之圖，（B）係對先前形態中之夾緊部120推壓遮罩M之力進行說明之圖。 圖12係表示夾緊部12與遮罩保持裝置1所握持之數種遮罩M1、M2、M3、M4之關係之示意圖。

11‧‧‧框架

11c‧‧‧基準面

12a‧‧‧夾緊部

121‧‧‧夾器

121c‧‧‧前端面

121i、121j‧‧‧孔

121k‧‧‧螺孔

121l‧‧‧孔

122‧‧‧夾緊板

122c、122d‧‧‧孔

122e‧‧‧長孔

122f‧‧‧鏜孔

122g‧‧‧上表面

123‧‧‧脫料螺栓

123a‧‧‧頭部

124‧‧‧彈性構件

e‧‧‧稜線

c‧‧‧倒角部

M‧‧‧遮罩

m1‧‧‧遮罩M之表面

m2‧‧‧遮罩M之背面

s‧‧‧遮罩M之側面

Claims (10)

1. 一種基板保持裝置，其係將於周緣形成有平面或曲面之倒角部之透明的大致板狀之基板保持於大致豎直方向上者，其特徵在於：其具備框架，其具有大致豎直地延設之大致棒狀之第1縱框部及第2縱框部；及複數個夾緊部，其等設置於上述第1縱框部及上述第2縱框部，且上述夾緊部可於與上述基板抵接之抵接位置和不與上述基板抵接之退回位置之間沿大致水平方向移動，上述第1縱框部及上述第2縱框部自與上述基板之表面大致正交之方向觀察具有與上述基板之周緣重疊之部分，該重疊之部分於上述夾緊部位於上述抵接位置時具有上述基板之背面所抵接之基準面，上述夾緊部於上述抵接位置具備具有和上述基板之側面與上述倒角部之稜線抵接之第1前端面之第1單元、及以可於上述第1單元與上述框架之間沿大致水平方向移動之方式設置之第2單元，上述第1單元具有與上述第2單元抵接之第1後端面，上述第2單元具有與上述第1後端面抵接之第2前端面，上述第1前端面與和上述基準面大致正交之面所形成之角度大致小於45度，上述第1後端面及上述第2前端面與和上述基準面大致正交之面所形成之角度大於上述第1前端面與和上述基準面大致正交之面所形成之角度，若上述第2單元自上述退回位置向上述抵接位置移動，則上述第1前端面抵接於上述基板之側面與上述倒角部之稜線，且上述第1單元沿上述第2前端面向上述基準面側滑動。
2. 如請求項1所述之基板保持裝置，其中上述第1前端面相對於與上述基準面大致正交之面傾斜大致10度，上述第1後端面及上述第2前端面相對於與上述基準面大致正交之面傾斜大 致45度。
3. 如請求項1或2所述之基板保持裝置，其中上述夾緊部具有對上述第1單元施加使其遠離上述基準面之方向之力之彈性構件。
4. 如請求項1或2所述之基板保持裝置，其中上述第1單元於自豎直上方向或豎直下方向觀察時之形狀為大致梯形形狀，距上述基準面較遠之側之上底短於距上述基準面較近之側之下底，上述上底之長度大致為1mm。
5. 如請求項1或2所述之基板保持裝置，其中於自豎直上方向或豎直下方向觀察時，通過上述第1前端面與上述基板抵接之位置且與上述第1前端面大致正交之線與上述第1後端面及上述第2前端面交叉。
6. 如請求項1或2所述之基板保持裝置，其具備：保持單元，其具有與上述基板之下端面抵接之數個保持塊、及相對於上述各保持塊改變高度之調整機構；及控制部，其控制上述調整機構使上述保持塊與上述基板之下端面抵接後使上述夾緊部向上述抵接位置移動。
7. 如請求項6所述之基板保持裝置，其中上述夾緊部具有設置於上述第1縱框部之第1夾緊部及第2夾緊部與設置於上述第2縱框部之第3夾緊部及第4夾緊部，上述第1夾緊部與上述第3夾緊部相對向，上述第2夾緊部與上述第4夾緊部相對向，上述控制部自上述第1夾緊部、上述第2夾緊部、上述第3夾緊部及上述第4夾緊部位於上述抵接位置之狀態起，於將上述第1夾緊部與上述第3夾緊部配置 於上述抵接位置之狀態下使上述第2夾緊部與上述第4夾緊部自上述抵接位置向上述退回位置同時移動，其後，使上述第2夾緊部與上述第4夾緊部自上述退回位置向上述抵接位置同時移動，且使上述第1夾緊部與上述第3夾緊部自上述抵接位置向上述退回位置同時移動。
8. 如請求項6所述之基板保持裝置，其中上述控制部使上述夾緊部沿大致水平方向連續往復移動複數次。
9. 如請求項6所述之基板保持裝置，其中上述保持塊具有與上述基板之下端面抵接之第1保持塊、及設置於上述第1保持塊之下側之第2保持塊，上述第1保持塊可沿大致水平方向移動。
10. 一種基板檢查裝置，其特徵在於：其具備如請求項1至9中任一項所述之基板保持裝置；拍攝部，其拍攝上述基板；及照明部，其對上述基板照射光，且以隔著上述基板與上述拍攝部相對向之方式設置。

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