TWI786859B - 畸變校正處理裝置、繪圖方法及程式 - Google Patents

畸變校正處理裝置、繪圖方法及程式 Download PDF

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Abstract

[課題]本發明提供一種畸變校正處理裝置，能夠縮短從搬入基板到進行圖像資料的畸變校正之後開始繪圖為止的待機時間。 [解決手段]畸變校正處理裝置根據繪圖對象物的畸變量對用來定義在繪圖區域中要形成之圖案之原圖像資料進行畸變校正，生成校正完畢之圖像資料並傳送至繪圖處理部。此時，每當針對繪圖區域的一部分的區域，對原圖像資料進行畸變校正後，將校正完畢的繪圖用部分圖像資料傳送至繪圖處理部。

Description

畸變校正處理裝置、繪圖方法及程式
本發明係有關一種畸變校正處理裝置、繪圖方法及程式。 本申請案係主張基於2020年10月23日申請之日本專利申請第2020-178123號的優先權。該日本申請案的全部內容係藉由參閱而援用於本說明書中。
已知一種從噴墨頭吐出包含薄膜材料之液滴，從而在基板的表面形成薄膜的技術(例如專利文獻1)。
在這樣的薄膜形成技術中，例如，基板使用印刷基板，薄膜材料使用阻焊劑。印刷基板包括基材及配線，在印刷基板的預定的位置焊接電子零件等。阻焊劑暴露出焊接電子零件等的導體部分，而覆蓋不需要焊接的部分。與在整個面塗佈阻焊劑之後使用光刻技術形成開口之方法相比，使用噴墨頭之方法能夠實現製造成本的減少。 [先前技術文獻]
[專利文獻1] 日本特開2004-104104號公報
[發明所欲解決之問題]
由於在基板製造階段進行的熱處理等，在印刷基板發生畸變。優選根據在基板發生的畸變，對形成於其表面之薄膜之圖案進行修正。通常，阻焊劑之圖案由向量形式之圖像資料提供。當從噴墨頭吐出薄膜材料的液滴而形成薄膜之情況下，根據用來定義薄膜之圖案的向量形式之圖像資料，生成光柵形式之圖像資料。噴墨頭的控制基於該光柵形式之圖像資料進行。
在將基板搬入薄膜形成裝置之後，在薄膜形成之前，檢測基板上的對準標記，藉此進行基板的位置對準。根據多個對準標記的位置計算基板的畸變量。根據所計算出的畸變，進行光柵形式之圖像資料的畸變校正。在對圖像資料進行畸變校正的期間，無法進行使用了噴墨頭之繪圖處理。期待著縮短從搬入基板到開始繪圖處理為止的待機時間。
本發明的目的在於提供一種，能夠縮短從搬入基板到進行圖像資料的畸變校正之後開始.繪圖為止的待機時間之畸變校正處理裝置、繪圖方法及程式。 [解決問題之技術手段]
根據本發明的一觀點，提供一種畸變校正處理裝置， 其根據繪圖對象物的畸變量對用來定義在繪圖區域中要形成之圖案之原圖像資料進行畸變校正，生成校正完畢之圖像資料並傳送至繪圖處理部， 前述畸變校正處理裝置每當針對前述繪圖區域的一部分的區域，對前述原圖像資料進行畸變校正後，將校正完畢的繪圖用部分圖像資料傳送至前述繪圖處理部。
根據本發明的另一觀點，提供一種繪圖方法，其進行如下操作： 獲取用來定義在繪圖對象物的繪圖區域中要形成之圖案之原圖像資料， 測量前述繪圖對象物的畸變量， 根據所測量的畸變量，針對前述繪圖對象物的繪圖區域的一部分的區域，對前述原圖像資料進行畸變校正，藉此生成校正完畢的繪圖用部分圖像資料， 根據所生成的繪圖用部分圖像資料，在前述繪圖對象物的繪圖區域進行繪圖， 在根據1個繪圖用部分圖像資料進行繪圖的期間，針對還沒有進行畸變校正之區域的至少一部分的區域，對前述原圖像資料進行畸變校正，藉此生成其他的繪圖用部分圖像資料。
根據本發明的又一觀點，提供一種程式，其使電腦執行如下步驟： 控制畸變測量部並計算繪圖對象物的畸變量，該畸變測量部用於測量在表面分隔有繪圖區域之繪圖對象物的畸變量；及 對用來定義在繪圖區域中要形成之圖案之原圖像資料，每當根據所測量的畸變量對前述繪圖對象物的繪圖區域的一部分的區域進行畸變校正後，將校正完畢的繪圖用部分圖像資料傳送至繪圖處理部。 [發明之效果]
由於針對繪圖區域的一部分的區域中的原圖像資料進行畸變校正，因此與針對繪圖區域的整個區域中的原圖像資料進行畸變校正的情況相比，能夠縮短畸變校正之處理時間。基於所生成之繪圖用部分圖像資料對一部分的區域進行繪圖處理，因此能夠縮短到開始繪圖處理為止之待機時間。
參考圖1～圖7，對基於一實施例的畸變校正處理裝置及繪圖方法進行說明。 圖1係搭載基於實施例的畸變校正處理裝置10之繪圖裝置的方塊圖。該繪圖裝置具備畸變校正處理裝置10、輸入裝置11、繪圖處理部20及畸變測量部21。畸變校正處理裝置10包括畸變量計算部10A、向量形式之圖像資料獲取部10B、光柵形式的原圖像資料生成部10C、畸變校正處理部10D及記憶部10E。
輸入裝置11用於輸入繪圖所需的資訊，例如用來定義應繪圖之圖案及位置之向量形式之圖像資料、應繪圖之圖案的解析度等。輸入裝置11例如由通信裝置、可移動媒體讀取裝置、鍵盤、定點裝置(pointing device)等構成。繪圖處理部20從畸變校正處理裝置10接收校正完畢的繪圖用之圖像資料，並對繪圖對象物例如基板進行繪圖。畸變測量部21測量繪圖對象物例如基板的畸變量。將畸變測量部21的測量結果輸入到畸變校正處理裝置10。
畸變校正處理裝置10例如由電腦構成。在記憶部10E中儲存有使電腦實現各種功能的程式。參考圖2A、圖2B，如後面敘述那樣，繪圖處理部20具備噴墨頭、可動工作台及控制裝置。繪圖處理部20的控制裝置例如由電腦構成。構成畸變校正處理裝置10之電腦亦可以兼作構成繪圖處理部20的控制裝置之電腦。
畸變量計算部10A基於畸變測量部21所測量到之測量結果，計算基板的畸變量。圖像資料獲取部10B獲取用來定義從輸入裝置11輸入之圖案及位置之向量形式之圖像資料。原圖像資料生成部10C基於由圖像資料獲取部10B獲取到之向量形式之圖像資料，生成光柵形式的原圖像資料。畸變校正處理部10D基於由畸變量計算部10A計算得到之基板的畸變量，對由原圖像資料生成部10C生成之原圖像資料進行畸變校正。在後面參考圖4A～圖5B對畸變校正處理進行說明。
圖2A係繪圖處理部20(圖1)及畸變測量部21(圖1)的概略前視圖。可動載台25由移動機構24支撐於基台22上。用來定義xyz直角座標系，其x軸及y軸朝向水平方向，z軸朝向鉛垂下方。藉由控制裝置50控制移動機構24，從而使可動載台25向x方向及y方向這兩個方向移動。作為移動機構24，例如，能夠利用包括X方向移動機構24X和Y方向移動機構24Y之XY工作台。X方向移動機構24X使Y方向移動機構24Y相對於基台22在x方向移動，Y方向移動機構24Y使可動載台25相對於X方向移動機構24X沿y方向移動。
在可動載台25的上表面(保持面)保持作為繪圖對象的基板80。基板80例如由真空吸盤固定在可動載台25。移動機構24使保持在可動載台25之基板80在與xy面平行的方向移動。在可動載台25的上方，油墨吐出單元30及撮像裝置40例如由門型的支撐構件23支撐。油墨吐出單元30及撮像裝置40被支撐為能夠相對於基台22升降。油墨吐出單元30具有與基板80相對向之多個噴嘴。各噴嘴朝向基板80的表面將光硬化性(例如紫外線硬化性)的油墨液滴化並吐出。油墨的吐出藉由控制裝置50控制。
撮像裝置40拍攝基板80的上表面(塗佈有油墨的表面)。更具體而言，藉由撮像裝置40拍攝基板80的上表面中位於撮像裝置40之視場角的範圍內的區域。對藉由撮像裝置40獲取到之圖像進行分析，藉此能夠測量基板80的畸變量。例如，畸變量計算部10A(圖1)藉由進行圖像分析來計算基板80的畸變量。畸變測量部21(圖1)由撮像裝置40構成。
控制裝置50從畸變校正處理裝置10接收光柵形式的繪圖用圖像資料。繪圖用圖像資料指定基板80的表面上的油墨應著落的位置。控制裝置50基於該繪圖用圖像資料控制移動機構24及油墨吐出單元30，藉此使油墨著落在基板80的表面的預定的位置。藉此，在基板80的表面形成預定圖案的油墨的膜。
圖2B係表示俯視觀察可動載台25、油墨吐出單元30及撮像裝置40時的位置關係之圖。在可動載台25的保持面保持有基板80。在基板80的上方支撐有油墨吐出單元30及撮像裝置40。油墨吐出單元30包括噴墨頭31及硬化用光源33。在噴墨頭31的、與基板80相對向之面設置有多個噴嘴32。多個噴嘴32在x方向上等間隔地排列。該間隔例如為與600dpi的解析度對應的尺寸。
硬化用光源33在y方向上分別配置在噴墨頭31的兩側，將用於硬化塗佈在基板80之油墨之光照射在基板80。例如，油墨為紫外線硬化型，硬化用光源33將紫外線照射在基板80。
藉由控制裝置50控制移動機構24，從而使可動載台25在x方向及y方向移動。並且，控制裝置50控制從噴墨頭31的各噴嘴32吐出油墨。
一邊使基板80在y方向移動(換言之，一邊使噴墨頭31相對於基板80在y方向上相對移動)，一邊從噴墨頭31吐出油墨，藉此能夠在x方向上例如以600dpi的解析度將油墨塗佈在基板80上。著落在基板80的油墨藉由從位於基板80的移動方向的下游側之硬化用光源33發射之光而硬化。將一邊使基板80在y方向移動，一邊使油墨從噴墨頭31向基板80著落的動作稱為“掃描動作”。將y方向稱為掃描方向。
亦可以在1次掃描動作中使噴墨頭31在y方向上往返至少1次。此時，藉由在往程和返程中使噴墨頭31相對於基板80在x方向錯開噴嘴32的間距的1/2，能夠以1200dpi的解析度使油墨著落在基板80。將噴墨頭31的錯開量設為噴嘴32的間距的1/4，並使噴墨頭31往返2次，藉此能夠以2400dpi的解析度使油墨著落在基板80。如此，即使為了提高解析度而使噴墨頭31在y軸的正方向及負方向多次移動的情況下，亦將多次的移動統稱為1次掃描動作。
當結束1次掃描動作時，控制裝置50使可動載台25在x方向移動。換言之，使噴墨頭31相對於基板80在x方向相對移動。將該動作稱為“位移動作”。將x方向稱為位移方向。藉由重複掃描動作和位移動作，能夠將油墨塗佈在基板80的整個區域。噴墨頭31相對於基板80在x方向上的相對移動量只要與位於x方向的兩端的2個噴嘴32之間的距離大致相等即可。另外，當兩端附近的一部分的噴嘴32不使用於油墨的吐出的情況下，只要與實際使用的噴嘴32中位於兩端的噴嘴32之間的距離大致相等即可。
圖3係基板80的俯視圖。基板80為長方形的板狀構件，在其4個角分別形成有對準標記81。在基板80的表面分隔有繪圖區域82。藉由使油墨的液滴著落並硬化在繪圖區域82的預定的部位，形成各種圖案的油墨的膜或點。藉由繪圖用圖像資料指定應使油墨著落的位置。對準標記81配置於繪圖區域82的外側。
將能夠在1次掃描動作中塗佈油墨的區域稱為單位區域83。多個單位區域83在x方向排列配置。在圖3中，1張基板80的繪圖區域82的整個區域被4個單位區域83覆蓋。另外，所需的單位區域83的個數取決於基板80的大小、及噴墨頭31的大小。
接著，參考圖4A～圖5B，對畸變校正處理部10D(圖1)的處理進行說明。
圖4A係表示使沒有發生畸變的基板80保持在可動載台25(圖2B)的基準位置之狀態(以下，稱為基準狀態。)下的對準標記81、繪圖區域82A及單位區域83A的位置關係及形狀的示意圖。圖4B係表示使發生畸變的基板80保持在可動載台25(圖2B)並進行定位之狀態(以下，稱為畸變狀態。)下的對準標記81、繪圖區域82B及單位區域83B的位置關係及形狀的示意圖。在可動載台25(圖2A、圖2B)的保持面用來定義將原點設為O的xy直角座標系。
如圖4A所示，預先賦予基準狀態下的4個對準標記81的xy座標A1～A4。應形成於基準狀態下的繪圖區域82A內之圖案由光柵形式的原圖像資料用來定義。在圖4A中，在繪圖區域82A標註有向右下方傾斜的淡陰影線。在基板80的表面分隔有4個單位區域83A。在第1次掃描動作中成為油墨塗佈的對象的區域(以下，稱為油墨塗佈對象區域85。)中包括最左側的單位區域83A。
如圖4B所示，畸變狀態下的4個對準標記81的位置從基準狀態時的4個對準標記81的位置偏移。畸變狀態下的4個對準標記81的xy座標B1～B4能夠藉由畸變測量部21(圖1)進行測量。
由於基板80畸變，在基準狀態下的繪圖區域82A及單位區域83A中，亦如圖4B所示之繪圖區域82B及單位區域83B那樣發生畸變。在畸變後的繪圖區域82B中標註向右下方傾斜的淡陰影線。
在發生畸變的基板80上進行繪圖時的第1次掃描動作中的油墨塗佈對象區域85的位置及形狀不受基板80的畸變的影響，與基準狀態下的油墨塗佈對象區域85(圖4A)的位置及形狀相同。
畸變校正處理部10D對最初繪圖的油墨塗佈對象區域85中所包含之單位區域83A(圖4A)、和擴展至與該單位區域83A相鄰的單位區域83A的一部分的區域的區域(以下，稱為畸變校正對象區域84A。)進行原圖像資料的畸變校正，生成校正完畢的繪圖用部分圖像資料。該畸變校正處理中，能夠利用眾所周知的演算法。由於基板80畸變，在基準狀態下的畸變校正對象區域84A中亦如圖4B所示之畸變校正對象區域84B那樣發生畸變。
畸變狀態下的繪圖區域82B和油墨塗佈對象區域85重疊的區域包含在畸變校正對象區域84B。即，進行第1次掃描動作時所需之圖像資料包含在與畸變校正對象區域84B對應的繪圖用部分圖像資料中。因此，藉由基於與畸變校正對象區域84B對應的繪圖用部分圖像資料進行第1次掃描動作，能夠在油墨塗佈對象區域85內的繪圖區域82B進行繪圖。
在第1次掃描動作中進行繪圖之後，在第2次以後的掃描動作中亦同樣地對原圖像資料進行畸變校正，生成繪圖用部分圖像資料。
圖5A係進行第2次掃描動作時的基準狀態下的畸變校正對象區域84A的示意圖，圖5B係表示畸變狀態下的畸變校正對象區域84B之示意圖。在第2次掃描動作中的油墨塗佈對象區域85中所包含之單位區域83A的兩側分別相鄰有單位區域83A。畸變校正對象區域84A從油墨塗佈對象區域85中所包含之單位區域83A擴展到其兩側的單位區域83A的一部分的區域。
畸變狀態下的繪圖區域82B與油墨塗佈對象區域85的重疊區域包含在畸變狀態下的畸變校正對象區域84B。因此，能夠基於與畸變校正對象區域84B對應的繪圖用部分圖像資料進行第2次掃描動作。
圖6係表示基於本實施例的繪圖方法的步驟之流程圖。首先，圖像資料獲取部10B(圖1)獲取用來定義應繪圖之圖案及位置之向量形式之圖像資料(步驟S1)。從輸入裝置11輸入向量形式之圖像資料。接著，原圖像資料生成部10C(圖1)藉由將向量形式之圖像資料轉換為光柵形式來生成光柵形式的原圖像資料(步驟S2)。原圖像資料用來定義基準狀態下的繪圖區域82A(圖4A)的整個區域之圖案及位置。
控制裝置50(圖2A)使搬出搬入機器人(未圖示)動作，從而將基板80搬到可動載台25上(步驟S3)。然後，畸變量計算部10A(圖1)計算基板80的畸變量(步驟S4)。以下，對計算畸變量的步驟進行說明。首先，控制裝置50控制移動機構24(圖2A、圖2B)，將4個對準標記81(圖3)依次配置在撮像裝置40(圖2A、圖2B)的視場角內，從而拍攝對準標記81。控制裝置50從撮像裝置40獲取對準標記81之圖像資料。將對準標記81之圖像資料傳送至畸變量計算部10A。
畸變量計算部10A藉由分析對準標記81之圖像資料，根據拍攝對準標記81時的可動載台25的位置和圖像分析結果，求出畸變狀態下的對準標記81的xy座標B1～B4(圖4B)。根據基準狀態下的對準標記81的xy座標A1～A4(圖4A)和畸變狀態下的對準標記81的xy座標B1～B4計算畸變量。
畸變校正處理部10D(圖1)對繪圖區域82A(圖4A、圖5A)的一部分的區域進行畸變校正並生成繪圖用部分圖像資料(步驟S5)。具體而言，畸變校正處理部10D針對包含進行下一掃描動作之對象的單位區域83A之畸變校正對象區域84A(圖4A、圖5A)、對原圖像資料進行畸變校正，並生成繪圖用部分圖像資料。
若畸變校正處理部10D生成繪圖用部分圖像資料，則將繪圖用部分圖像資料傳送至繪圖處理部20的控制裝置50(圖2A)(步驟S6)。當接收繪圖用部分圖像資料時，繪圖處理部20的控制裝置50控制移動機構24及噴墨頭31(圖2B)，對與接收到之繪圖用部分圖像資料對應的油墨塗佈對象區域85(圖4B、圖5B)開始掃描動作(步驟S7)。即，繪圖處理部20對每個油墨塗佈對象區域85進行繪圖處理。
畸變校正處理部10D對繪圖區域82A(圖4A、圖5A)的整個區域重複步驟S5、步驟S6直至掃描動作結束為止。同樣地，繪圖處理部20的控制裝置50重複步驟S7(步驟S8)。
若對繪圖區域82A的整個區域結束掃描動作，則控制裝置50搬出保持在可動載台25的基板80(步驟S9)。直到對所有基板80的繪圖處理結束為止，重複從步驟S3到步驟S9的處理(步驟S10)。
接著，對上述實施例的優異的效果，參考圖7A～圖7F進行說明。 圖7A～圖7C係表示生成以基於比較例的繪圖方法進行繪圖時的繪圖用部分圖像資料之步驟之示意圖。對光柵形式的原圖像資料90(圖7A)的整個區域進行畸變校正，生成畸變校正完畢的繪圖用圖像資料91(圖7B)。繪圖處理部20的控制裝置50(圖2A)從畸變校正完畢的繪圖用圖像資料91切取掃描動作所需的寬度A1的部分，並生成繪圖用部分圖像資料92(圖7C)。基於該繪圖用部分圖像資料92進行掃描動作。
圖7D～圖7F係表示生成以基於本實施例的繪圖方法進行繪圖時的繪圖用部分圖像資料之步驟之示意圖。切取光柵形式的原圖像資料90(圖7D)中與寬度A2的一部分的畸變校正對象區域84A(圖7E)對應的部分。畸變校正對象區域84A(圖7E)與圖4A、圖5A所示之畸變校正對象區域84A對應。藉由對畸變校正對象區域84A進行畸變校正處理，生成校正完畢的繪圖用部分圖像資料93(圖7F)。
在比較例中，對原圖像資料90的整體進行畸變校正，直到生成畸變校正完畢的繪圖用圖像資料91才能開始繪圖。相對於此，在本實施例中，對原圖像資料90的一部分進行畸變校正，生成繪圖用部分圖像資料93之後，即使在原圖像資料90(圖7E)中殘留有未進行畸變校正的部分，亦能夠開始繪圖。對原圖像資料90的一部分進行畸變校正所需的時間，比對原圖像資料90的整體進行畸變校正所需的時間短。因此，在本實施例中，可以得到從搬入基板80(步驟S3)到開始繪圖(步驟S7)為止的待機時間與比較例相比變短的優異效果。
並且，在開始掃描動作(步驟S7)之後，與掃描動作並行地，對接下來應繪圖的一部分的區域進行原圖像資料90的畸變校正(步驟S5)。直到1次掃描動作結束為止，生成接下來進行的掃描動作所需的繪圖用部分圖像資料。因此，能夠在1次掃描動作結束時，立刻開始接下來的掃描動作。因此，與比較例相比，從繪圖的開始到結束為止的時間不會變長。
藉此，在本實施例中，與比較例相比，能夠縮短從搬入基板80到繪圖結束為止的時間。
接著，參考圖8A～圖8C，對另一實施例進行說明。以下，對於與圖1～圖6所示之實施例相同的結構省略說明。
圖8A～圖8C係表示基於本實施例的基準狀態下的繪圖區域82A、畸變校正對象區域84A、及畸變狀態下的繪圖區域82B、畸變校正對象區域84B之示意圖。
在本實施例中，與圖1～圖6所示之實施例同樣地，如圖8A所示，在基準狀態下的繪圖區域82A中、決定在下一掃描動作進行繪圖的油墨塗佈對象區域85。在圖4A所示之實施例中，對基準狀態下的繪圖區域82A設定有畸變校正對象區域84A，但在本實施例中，如圖8B所示，將畸變狀態下的繪圖區域82B和油墨塗佈對象區域85的重疊區域設定為畸變校正對象區域84B。
基於畸變狀態下的畸變校正對象區域84B(圖8B)，決定基準狀態下的畸變校正對象區域84A(圖8C)。從畸變狀態下的畸變校正對象區域84B向基準狀態下的畸變校正對象區域84A的轉換能夠使用步驟S4(圖6)中計算出之畸變量進行。畸變校正處理部10D(圖1)針對圖8C所示之畸變校正對象區域84A、對原圖像資料進行畸變校正，並生成繪圖用部分圖像資料。該繪圖用部分圖像資料用來定義圖8B所示之畸變校正對象區域84B內的繪圖圖案。因此，能夠適當地生成掃描動作所需之圖像資料。
在圖4A～圖5B所示之實施例中，根據基準狀態下的繪圖區域82A(圖4A、圖5A)和油墨塗佈對象區域85的位置關係決定畸變校正對象區域84A。為了避免掃描動作所需之圖像資料的欠缺，將基準狀態的畸變校正對象區域84A設定成比油墨塗佈對象區域85寬。因此，繪圖用部分圖像資料還包含掃描動作中不使用之圖像資料。
在圖8A～圖8C所示之實施例中，繪圖用部分圖像資料適當地包含掃描動作所需之資料，因此與圖1～圖6所示之實施例相比，可以得到削減成為畸變校正處理的對象的資料量的優異之效果。
接著，參考圖9A及圖9B對另一實施例進行說明。以下，對於與圖1～圖6所示之實施例相同的結構省略說明。在圖1～圖6所示之實施例中，如圖3那樣配置有1個噴墨頭31。相對於此，在本實施例中，配置有2個噴墨頭31。因此，能夠對2個單位區域83同時進行掃描動作。
圖9A係表示基準狀態下的對準標記81、繪圖區域82A及單位區域83A的位置關係之示意圖，圖9B係表示畸變狀態下的對準標記81、繪圖區域82B及單位區域83B的位置關係之示意圖。在本實施例中，與2個噴墨頭31對應地設定有2個油墨塗佈對象區域85。畸變校正處理部10D與2個油墨塗佈對象區域85對應地設定2個畸變校正對象區域84A。作為2個畸變校正對象區域84A，與圖4A、圖5A所示之實施例同樣地，設定成比油墨塗佈對象區域85寬的區域。
畸變校正處理部10D對2個畸變校正對象區域84A進行畸變校正。因此，對畸變狀態的2個畸變校正對象區域84B(圖9B)生成繪圖用部分圖像資料。繪圖處理部20(圖1)對2個油墨塗佈對象區域85同時進行掃描動作。
在本實施例，僅針對繪圖區域82A的一部分的區域，對原圖像資料進行畸變校正，因此能夠縮短到繪圖開始為止的待機時間。並且，由於同時對多個油墨塗佈對象區域85進行掃描動作，因此能夠縮短在繪圖區域82B的整個區域進行繪圖處理所需的時間。
接著，對基於又一實施例的程式進行說明。 圖1所示之畸變校正處理裝置10中使用電腦。在記憶部10E中儲存用於使電腦實現圖6所示之各步驟的功能的程式。電腦藉由執行該程式來執行圖6所示之各步驟。藉由將該程式安裝到以往的畸變校正處理裝置10，能夠使繪圖處理部20執行圖6所示之各步驟。
上述各實施例為例示，能夠進行以不同的實施例來示出的結構的局部性地置換或組合是不言而喻的。關於基於多個實施例的相同結構的相同的作用效果，並不按照每個實施例依次提及。而且，本發明並不限於上述實施例。例如，能夠進行各種變更、改良、組合等對於本領域的技術人員來說是顯而易見的。
10:畸變校正處理裝置 10A:畸變量計算部 10B:圖像資料獲取部 10C:原圖像資料生成部 10D:畸變校正處理部 10E:記憶部 11:輸入裝置 20:繪圖處理部 21:畸變測量部 22:基台 23:支撐構件 24:移動機構 24X:X方向移動機構 24Y:Y方向移動機構 25:可動載台 30:油墨吐出單元 31:噴墨頭 32:噴嘴 33:硬化用光源 40:撮像裝置 50:控制裝置 80:基板 81:對準標記 82:繪圖區域 82A:基準狀態下的繪圖區域 82B:畸變狀態下的繪圖區域 83:單位區域 83A:基準狀態下的單位區域 83B:畸變狀態下的單位區域 84A:基準狀態下的畸變校正對象區域 84B:畸變狀態下的畸變校正對象區域 85:油墨塗佈對象區域 90:原圖像資料 91:畸變校正完畢的繪圖用圖像資料 92,93:繪圖用部分圖像資料
[圖1]係基於實施例的搭載畸變校正處理裝置之繪圖裝置的方塊圖。 [圖2A]係繪圖處理部(圖1)及畸變測量部(圖1)的概略前視圖，[圖2B]係表示俯視觀察可動載台、油墨吐出單元及撮像裝置在時的位置關係之圖。 [圖3]係作為繪圖對象物的基板的俯視圖。 [圖4A]及[圖4B]係分別表示對準標記、繪圖區域及單位區域的無畸變狀態及發生畸變的狀態下的位置關係及形狀之示意圖。 [圖5A]及[圖5B]係表示進行第2次掃描動作時的基準狀態下的畸變校正對象區域及畸變狀態下的畸變校正對象區域之示意圖。 [圖6]係表示基於本實施例的繪圖方法的步驟之流程圖。 [圖7A～圖7C]係表示生成以基於比較例的繪圖方法進行繪圖時的繪圖用部分圖像資料之步驟之示意圖，[圖7D～圖7F]係表示生成以基於本實施例的繪圖方法進行繪圖時的繪圖用部分圖像資料之步驟之示意圖。 [圖8A～圖8C]係表示基於其他的實施例的基準狀態下的繪圖區域、畸變校正對象區域、及畸變狀態下的繪圖區域、畸變校正對象區域之示意圖。 [圖9A]係表示用於進一步對另一實施例進行說明的對準標記、繪圖區域及單位區域在無畸變狀態下的位置關係及形狀之示意圖，[圖9B]係發生畸變的狀態下的示意圖。
11:輸入裝置
10:畸變校正處理裝置
10A:畸變量計算部
10B:向量形式的圖像資料獲取部
10C:光柵形式的原圖像資料生成部
10D:畸變校正處理部
10E:記憶部
21:畸變測量部
20:繪圖處理部

Claims (4)

  1. 一種畸變校正處理裝置，其係根據繪圖對象物的畸變量對用來定義在繪圖區域中要形成之圖案的原圖像資料進行畸變校正，生成校正完畢之圖像資料並傳送至繪圖處理部，前述畸變校正處理裝置每當針對前述繪圖區域的一部分的區域，對前述原圖像資料進行畸變校正後，將校正完畢的繪圖用部分圖像資料傳送至前述繪圖處理部，前述繪圖處理部對構成繪圖區域的多個油墨塗佈對象區域的每一個區域進行繪圖處理，由1個繪圖用部分圖像資料定義的區域，係包含1個油墨塗佈對象區域。
  2. 如請求項1所述之畸變校正處理裝置，其中由1個繪圖用部分圖像資料定義的區域，係擴展到1個油墨塗佈對象區域和與其相鄰的其他的油墨塗佈對象區域的一部分的區域。
  3. 一種繪圖方法，其係進行如下操作：獲取用來定義在繪圖對象物的繪圖區域中要形成之圖案的原圖像資料，測量前述繪圖對象物的畸變量，根據所測量的畸變量，針對前述繪圖對象物的繪圖區域的一部分的區域，對前述原圖像資料進行畸變校正，藉此生成校正完畢的繪圖用部分圖像資料， 根據所生成的繪圖用部分圖像資料，在前述繪圖對象物的繪圖區域進行繪圖，在根據1個繪圖用部分圖像資料進行繪圖的期間，針對還沒有進行畸變校正的區域的至少一部分的區域，對前述原圖像資料進行畸變校正，藉此生成其他的繪圖用部分圖像資料。
  4. 一種畸變校正處理用的程式，其係使電腦執行如下步驟：控制畸變測量部並計算繪圖對象物的畸變量的步驟，該畸變測量部用於測量在表面分隔有繪圖區域的繪圖對象物的畸變量；及對用來定義在繪圖區域中要形成之圖案的原圖像資料，每當根據測量到的畸變量對前述繪圖對象物的繪圖區域的一部分的區域進行畸變校正後，將校正完畢的繪圖用部分圖像資料傳送至繪圖處理部；前述繪圖處理部對構成繪圖區域的多個油墨塗佈對象區域的每一個區域進行繪圖處理的步驟；其中，由1個繪圖用部分圖像資料定義的區域，係包含1個油墨塗佈對象區域。
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