KR20220054191A - 왜곡보정처리장치, 묘화방법, 및 프로그램 - Google Patents

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Abstract

기판을 반입하고 나서, 화상데이터의 왜곡보정을 행한 후, 묘화를 개시할 때까지의 대기시간을 단축하는 것이 가능한 왜곡보정처리장치를 제공한다.
왜곡보정처리장치가, 묘화영역에 형성하는 패턴을 정의하는 원화상데이터에 대하여, 묘화대상물의 왜곡량에 근거하여 왜곡보정을 행하여, 보정완료된 화상데이터를 생성하여 묘화처리부에 전달한다. 이때, 묘화영역의 일부의 영역에 대하여 원화상데이터에 대하여 왜곡보정을 행할 때마다, 보정완료된 묘화용 부분화상데이터를 묘화처리부에 전달한다.

Description

왜곡보정처리장치, 묘화방법, 및 프로그램{APPARATUS FOR PROCESSING DISTORTION CORRECTION, WRITING METHOD, AND PROGRAM}
본 출원은 2020년 10월 23일에 출원된 일본 특허출원 제2020-178123호에 근거하여 우선권을 주장한다. 그 출원의 전체 내용은 이 명세서 중에 참고로 원용되어 있다.
본 발명은, 왜곡보정처리장치, 묘화방법, 및 프로그램에 관한 것이다.
잉크젯헤드로부터 박막재료를 포함한 액적을 토출하여, 기판의 표면에 박막을 형성하는 기술이 알려져 있다(예를 들면 특허문헌 1).
이와 같은 박막형성기술에 있어서, 예를 들면, 기판에는 프린트기판이 이용되고, 박막재료에는 솔더레지스트가 이용된다. 프린트기판은 기재 및 배선을 포함하고, 프린트기판의 소정의 위치에 전자부품 등이 납땜된다. 솔더레지스트는, 전자부품 등을 납땜하는 도체부분을 노출시켜, 납땜이 불필요한 부분을 덮는다. 전체면에 솔더레지스트를 도포한 후 포토리소그래피기술을 이용하여 개구를 형성하는 방법에 비하여, 잉크젯헤드를 이용하는 방법은, 제조비용의 저감을 도모하는 것이 가능하다.
특허문헌 1: 일본 공개특허공보 2004-104104호
기판제조단계에서 행해지는 열처리 등에 의하여, 프린트기판에 왜곡(변형)이 발생한다. 기판에 발생한 왜곡에 따라, 그 표면에 형성하는 박막의 패턴을 수정하는 것이 바람직하다. 일반적으로, 솔더레지스트의 패턴은, 벡터형식의 화상데이터로 부여된다. 잉크젯헤드로부터 박막재료의 액적을 토출하여 박막을 형성하는 경우, 박막의 패턴을 정의하는 벡터형식의 화상데이터에 근거하여 래스터형식의 화상데이터가 생성된다. 잉크젯헤드의 제어는, 이 래스터형식의 화상데이터에 근거하여 행해진다.
기판을 박막형성장치에 반입한 후, 박막형성 전에, 기판 상의 얼라인먼트마크를 검출함으로써, 기판의 위치맞춤이 행해진다. 복수의 얼라인먼트마크의 위치로부터, 기판의 왜곡량이 산출된다. 산출된 왜곡에 따라, 래스터형식의 화상데이터의 왜곡보정을 행한다. 화상데이터에 대하여 왜곡보정을 행하고 있는 기간은, 잉크젯헤드를 이용한 묘화처리를 행할 수 없다. 기판을 반입하여 묘화처리를 개시할 때까지의 대기시간의 단축이 요망된다.
본 발명의 목적은, 기판을 반입하고 나서, 화상데이터의 왜곡보정을 행한 후, 묘화를 개시할 때까지의 대기시간을 단축하는 것이 가능한 왜곡보정처리장치, 묘화방법, 및 프로그램을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 관점에 의하면,
묘화영역에 형성하는 패턴을 정의하는 원(原)화상데이터에 대하여, 묘화대상물의 왜곡량에 근거하여 왜곡보정을 행하고, 보정완료된 화상데이터를 생성하여 묘화처리부에 전달하는 왜곡보정처리장치로서,
상기 묘화영역의 일부의 영역에 대하여 상기 원화상데이터에 대하여 왜곡보정을 행할 때마다, 보정완료된 묘화용 부분화상데이터를 상기 묘화처리부에 전달하는 왜곡보정처리장치가 제공된다.
본 발명의 다른 관점에 의하면 묘화대상물의 묘화영역에 형성하는 패턴을 정의하는 원화상데이터를 취득하고,
상기 묘화대상물의 왜곡량을 계측하며,
계측된 왜곡량에 근거하여, 상기 묘화대상물의 묘화영역의 일부의 영역에 대하여 상기 원화상데이터에 대하여 왜곡보정을 행함으로써, 보정완료된 묘화용 부분화상데이터를 생성하고,
생성한 묘화용 부분화상데이터에 근거하여 상기 묘화대상물의 묘화영역에 묘화하며,
1개의 묘화용 부분화상데이터에 근거하여 묘화를 행하고 있는 기간에, 아직 왜곡보정이 행해지고 있지 않은 영역의 적어도 일부의 영역에 대하여 상기 원화상데이터에 대하여 왜곡보정을 행함으로써, 다른 묘화용 부분화상데이터를 생성하는 묘화방법이 제공된다.
본 발명의 또 다른 관점에 의하면,
표면에 묘화영역이 획정(劃定)된 묘화대상물의 왜곡량을 계측하는 왜곡계측부를 제어하여 묘화대상물의 왜곡량을 산출하는 수순과,
묘화영역에 형성하는 패턴을 정의하는 원화상데이터에 대하여, 계측된 왜곡량에 근거하여 상기 묘화대상물의 묘화영역의 일부의 영역에 대하여 왜곡보정을 행할 때마다, 보정완료된 묘화용 부분화상데이터를 묘화처리부에 전달하는 수순을 실행시키는, 프로그램을 기록한 컴퓨터로 판독 가능한 기록매체가 제공된다.
묘화영역의 일부의 영역에 대하여 원화상데이터에 대하여 왜곡보정을 행하기 때문에, 묘화영역의 전역에 대하여 원화상데이터에 대하여 왜곡보정을 행하는 경우와 비교하여, 왜곡보정의 처리시간을 단축할 수 있다. 일부의 영역에 대하여 생성된 묘화용 부분화상데이터에 근거하여 묘화처리를 행하기 때문에, 묘화처리를 개시할 때까지의 대기시간을 단축할 수 있다.
도 1은, 실시예에 의한 왜곡보정처리장치를 탑재한 묘화장치의 블록도이다.
도 2의 2A는, 묘화처리부(도 1) 및 왜곡계측부(도 1)의 개략정면도이며,
도 2의 2B는, 가동테이블, 잉크토출유닛, 및 촬상장치의 평면시(平面視)에 있어서의 위치관계를 나타내는 도이다.
도 3은, 묘화대상물인 기판의 평면도이다.
도 4의 4A 및 4B는, 각각 얼라인먼트마크, 묘화영역, 및 단위영역의 무왜곡상태 및 왜곡이 발생하고 있는 상태에 있어서의 위치관계 및 형상을 나타내는 모식도이다.
도 5의 5A 및 5B는, 2회째의 스캔동작을 행할 때의 기준상태에 있어서의 왜곡보정대상영역 및 왜곡상태에 있어서의 왜곡보정대상영역을 나타내는 모식도이다.
도 6은, 본 실시예에 의한 묘화방법의 수순을 나타내는 플로차트이다.
도 7의 7A~7C는, 비교예에 의한 묘화방법으로 묘화할 때의 묘화용 부분화상데이터를 생성하는 수순을 나타내는 모식도이며, 도 7의 7D~7F는, 본 실시예에 의한 묘화방법으로 묘화할 때의 묘화용 부분화상데이터를 생성하는 수순을 나타내는 모식도이다.
도 8의 8A~8C는, 다른 실시예에 의한 기준상태에 있어서의 묘화영역, 왜곡보정대상영역, 및 왜곡상태에 있어서의 묘화영역, 왜곡보정대상영역을 나타내는 모식도이다.
도 9의 9A는, 또 다른 실시예에 대하여 설명하기 위한, 얼라인먼트마크, 묘화영역, 및 단위영역의 무왜곡상태에 있어서의 위치관계 및 형상을 나타내는 모식도이며, 도 9의 9B는 왜곡이 발생하고 있는 상태에 있어서의 모식도이다.
도 1~도 7을 참조하여, 일 실시예에 의한 왜곡보정처리장치 및 묘화방법에 대하여 설명한다.
도 1은, 실시예에 의한 왜곡보정처리장치(10)를 탑재한 묘화장치의 블록도이다. 이 묘화장치는, 왜곡보정처리장치(10), 입력장치(11), 묘화처리부(20), 및 왜곡계측부(21)를 구비하고 있다. 왜곡보정처리장치(10)는, 왜곡량산출부(10A), 벡터형식의 화상데이터취득부(10B), 래스터형식의 원화상데이터생성부(10C), 왜곡보정처리부(10D), 및 기억부(10E)를 포함한다.
입력장치(11)는, 묘화에 필요한 정보, 예를 들면 묘화해야 할 패턴 및 위치를 정의하는 벡터형식의 화상데이터, 묘화해야 할 패턴의 해상도 등의 입력에 사용된다. 입력장치(11)는, 예를 들면 통신장치, 리무버블미디어판독장치, 키보드, 포인팅디바이스 등으로 구성된다. 묘화처리부(20)는, 왜곡보정처리장치(10)로부터 보정완료된 묘화용의 화상데이터를 수신하여, 묘화대상물, 예를 들면 기판에 대하여 묘화를 행한다. 왜곡계측부(21)는, 묘화대상물, 예를 들면 기판의 왜곡량을 계측한다. 왜곡계측부(21)의 계측결과가 왜곡보정처리장치(10)에 입력된다.
왜곡보정처리장치(10)는, 예를 들면 컴퓨터로 구성된다. 컴퓨터에 다양한 기능을 실현시키기 위한 프로그램이 기억부(10E)에 저장되어 있다. 묘화처리부(20)는, 도 2의 2A, 2B를 참조하여 후술하는 바와 같이, 잉크젯헤드, 가동스테이지, 및 제어장치를 구비하고 있다. 묘화처리부(20)의 제어장치는, 예를 들면 컴퓨터로 구성된다. 왜곡보정처리장치(10)를 구성하는 컴퓨터가, 묘화처리부(20)의 제어장치를 구성하는 컴퓨터를 겸해도 된다.
왜곡량산출부(10A)는, 왜곡계측부(21)에서 계측된 계측결과에 근거하여 기판의 왜곡량을 산출한다. 화상데이터취득부(10B)는, 입력장치(11)로부터 입력된 패턴 및 위치를 정의하는 벡터형식의 화상데이터를 취득한다. 원화상데이터생성부(10C)는, 화상데이터취득부(10B)에서 취득된 벡터형식의 화상데이터에 근거하여, 래스터형식의 원화상데이터를 생성한다. 왜곡보정처리부(10D)는, 원화상데이터생성부(10C)에서 생성된 원화상데이터에 대하여, 왜곡량산출부(10A)에서 산출된 기판의 왜곡량에 근거하여 왜곡보정을 행한다. 왜곡보정처리에 대해서는, 이후에 도 4의 4A~도 5의 5B를 참조하여 설명한다.
도 2의 2A는, 묘화처리부(20)(도 1) 및 왜곡계측부(21)(도 1)의 개략정면도이다. 기대(基臺)(22) 상에 이동기구(24)에 의하여 가동테이블(25)이 지지되어 있다. x축 및 y축이 수평방향을 향하고, z축이 연직하방을 향하는 xyz직교좌표계를 정의한다. 이동기구(24)는, 제어장치(50)에 의하여 제어되어, 가동테이블(25)을 x방향 및 y방향의 두 방향으로 이동시킨다. 이동기구(24)로서, 예를 들면, X방향이동기구(24X)와 Y방향이동기구(24Y)를 포함하는 XY스테이지를 이용할 수 있다. X방향이동기구(24X)는 기대(22)에 대하여 Y방향이동기구(24Y)를 x방향으로 이동시키고, Y방향이동기구(24Y)는, X방향이동기구(24X)에 대하여 가동테이블(25)을 y방향으로 이동시킨다.
가동테이블(25)의 상면(지지면)에, 묘화대상인 기판(80)이 지지된다. 기판(80)은, 예를 들면 진공척에 의하여 가동테이블(25)에 고정된다. 이동기구(24)는, 가동테이블(25)에 지지된 기판(80)을 xy면에 평행한 방향으로 이동시킨다. 가동테이블(25)의 상방에 잉크토출유닛(30) 및 촬상장치(40)가, 예를 들면 문형(門型)의 지지부재(23)에 의하여 지지되어 있다. 잉크토출유닛(30) 및 촬상장치(40)는, 기대(22)에 대하여 승강 가능하게 지지되어 있다. 잉크토출유닛(30)은, 기판(80)에 대향하는 복수의 노즐을 갖는다. 각 노즐은, 기판(80)의 표면을 향하여 광경화성(예를 들면 자외선경화성)의 잉크를 액적화하여 토출한다. 잉크의 토출은, 제어장치(50)에 의하여 제어된다.
촬상장치(40)는, 기판(80)의 상면(잉크가 도포되는 표면)을 촬상한다. 보다 구체적으로는, 기판(80)의 상면 중, 촬상장치(40)의 화각의 범위 내에 위치하는 영역이, 촬상장치(40)에 의하여 촬상된다. 촬상장치(40)에 의하여 취득된 화상을 해석함으로써, 기판(80)의 왜곡량을 계측할 수 있다. 예를 들면, 왜곡량산출부(10A)(도 1)가 화상해석을 행하여 기판(80)의 왜곡량을 산출한다. 왜곡계측부(21)(도 1)는, 촬상장치(40)에 의하여 구성된다.
제어장치(50)는, 왜곡보정처리장치(10)로부터 래스터형식의 묘화용 화상데이터를 수신한다. 묘화용 화상데이터는, 기판(80)의 표면 상의 잉크를 착탄시켜야 할 위치를 지정한다. 제어장치(50)는, 이 묘화용 화상데이터에 근거하여 이동기구(24) 및 잉크토출유닛(30)을 제어함으로써, 기판(80)의 표면의 소정의 위치에, 잉크를 착탄시킨다. 이로써, 기판(80)의 표면에 소정의 패턴의 잉크의 막이 형성된다.
도 2의 2B는, 가동테이블(25), 잉크토출유닛(30), 및 촬상장치(40)의 평면시에 있어서의 위치관계를 나타내는 도이다. 가동테이블(25)의 지지면에 기판(80)이 지지되어 있다. 기판(80)의 상방에 잉크토출유닛(30) 및 촬상장치(40)가 지지되어 있다. 잉크토출유닛(30)은, 잉크젯헤드(31) 및 경화용 광원(33)을 포함한다. 잉크젯헤드(31)의, 기판(80)에 대향하는 면에, 복수의 노즐(32)이 마련되어 있다. 복수의 노즐(32)은, x방향에 관하여 등간격으로 나열되어 있다. 이 간격은, 예를 들면 600dpi의 해상도에 상당하는 치수이다.
경화용 광원(33)은, y방향에 관하여 잉크젯헤드(31)의 양측에 각각 배치되어 있으며, 기판(80)에 도포된 잉크를 경화시키기 위한 광을 기판(80)에 조사한다. 예를 들면, 잉크가 자외선경화형의 것이며, 경화용 광원(33)은 자외선을 기판(80)에 조사한다.
이동기구(24)가, 제어장치(50)에 의하여 제어됨으로써, 가동테이블(25)을 x방향 및 y방향으로 이동시킨다. 또한, 제어장치(50)는, 잉크젯헤드(31)의 각 노즐(32)로부터의 잉크의 토출을 제어한다.
기판(80)을 y방향으로 이동시키면서(바꾸어 말하면, 기판(80)에 대하여 잉크젯헤드(31)를 y방향으로 상대적으로 이동시키면서), 잉크젯헤드(31)로부터 잉크를 토출함으로써, x방향에 관하여 예를 들면 600dpi의 해상도로, 잉크를 기판(80)에 도포할 수 있다. 기판(80)에 착탄된 잉크는, 기판(80)의 이동방향의 하류측에 위치하는 경화용 광원(33)으로부터 방사되는 광에 의하여 경화된다. 기판(80)을 y방향으로 이동시키면서, 잉크젯헤드(31)로부터 기판(80)에 잉크를 착탄시키는 동작을, "스캔동작"이라고 하는 것으로 한다. y방향을 스캔방향이라고 한다.
1회의 스캔동작에서, 잉크젯헤드(31)를 y방향으로 적어도 1왕복시켜도 된다. 이때, 왕로(往路)와 복로(復路)에서 노즐(32)의 피치의 1/2만큼 잉크젯헤드(31)를 기판(80)에 대하여 x방향으로 어긋나게 함으로써, 1200dpi의 해상도로 잉크를 기판(80)에 착탄시킬 수 있다. 잉크젯헤드(31)의 어긋남양을 노즐(32)의 피치의 1/4로 하여, 잉크젯헤드(31)를 2왕복시킴으로써, 2400dpi의 해상도로 잉크를 기판(80)에 착탄시킬 수 있다. 이와 같이, 해상도를 높이기 위하여 잉크젯헤드(31)를 y축의 정(正)의 방향 및 부(負)의 방향으로 복수 회 이동시키는 경우에서도, 복수 회의 이동을 통합하여 1회의 스캔동작이라고 한다.
제어장치(50)는, 1회의 스캔동작이 종료되면, 가동테이블(25)을 x방향으로 이동시킨다. 바꾸어 말하면, 기판(80)에 대하여 잉크젯헤드(31)를 x방향으로 상대적으로 이동시킨다. 이 동작을, "시프트동작"이라고 하는 것으로 한다. x방향을 시프트방향이라고 한다. 스캔동작과 시프트동작을 반복함으로써, 기판(80)의 전역에 잉크를 도포할 수 있다. 기판(80)에 대한 잉크젯헤드(31)의 x방향으로의 상대적인 이동량은, x방향의 양단(兩端)에 위치하는 2개의 노즐(32)의 사이의 거리와 대략 동일하게 하면 된다. 다만, 양단 근방의 일부의 노즐(32)을 잉크의 토출에 사용하지 않는 경우에는, 기판(80)에 대한 잉크젯헤드(31)의 x방향으로의 상대적인 이동량을, 실제로 사용하는 노즐(32) 중 양단에 위치하는 노즐(32)의 사이의 거리와 대략 동일하게 하면 된다.
도 3은, 기판(80)의 평면도이다. 기판(80)은, 직사각형의 판상부재이며, 그 네 귀퉁이에, 각각 얼라인먼트마크(81)가 형성되어 있다. 기판(80)의 표면에 묘화영역(82)이 획정되어 있다. 묘화영역(82)의 소정의 개소에 잉크의 액적을 착탄시켜 경화시킴으로써, 다양한 패턴의 잉크의 막 또는 도트를 형성한다. 잉크를 착탄시켜야 할 위치가, 묘화용 화상데이터에 의하여 지정된다. 얼라인먼트마크(81)는, 묘화영역(82)의 외측에 배치되어 있다.
1회의 스캔동작으로 잉크를 도포할 수 있는 영역을 단위영역(83)이라고 한다. 복수의 단위영역(83)이 x방향으로 나란히 배치되어 있다. 도 3에서는, 4개의 단위영역(83)에 의하여 1매의 기판(80)의 묘화영역(82)의 전역이 커버되어 있다. 다만, 필요한 단위영역(83)의 개수는, 기판(80)의 크기, 및 잉크젯헤드(31)의 크기에 의존한다.
다음으로, 도 4의 4A~도 5의 5B를 참조하여, 왜곡보정처리부(10D)(도 1)의 처리에 대하여 설명한다.
도 4의 4A는, 왜곡이 발생하고 있지 않은 기판(80)을 가동테이블(25)(도 2의 2B)의 기준위치에 지지시킨 상태(이하, 기준상태라고 한다.)에 있어서의 얼라인먼트마크(81), 묘화영역(82A), 및 단위영역(83A)의 위치관계 및 형상을 나타내는 모식도이다. 도 4의 4B는, 왜곡이 발생하고 있는 기판(80)을 가동테이블(25)(도 2의 2B)에 지지시켜 위치결정을 행한 상태(이하, 왜곡상태라고 한다.)에 있어서의 얼라인먼트마크(81), 묘화영역(82B), 및 단위영역(83B)의 위치관계 및 형상을 나타내는 모식도이다. 가동테이블(25)(도 2의 2A, 2B)의 지지면에, 원점을 O로 하는 xy직교좌표계가 정의되어 있다.
도 4의 4A에 나타내는 바와 같이, 기준상태에 있어서의 4개의 얼라인먼트마크(81)의 xy좌표(A1~A4)가 미리 부여되어 있다. 기준상태에 있어서의 묘화영역(82A) 내에 형성해야 할 패턴이, 래스터형식의 원화상데이터에 의하여 정의되어 있다. 도 4의 4A에 있어서, 묘화영역(82A)에 오른쪽이 내려가는 옅은 해칭을 넣고 있다. 기판(80)의 표면에 4개의 단위영역(83A)이 획정되어 있다. 1회째의 스캔동작으로 잉크도포의 대상이 되는 영역(이하, 잉크도포대상영역(85)이라고 한다.)에, 가장 좌측의 단위영역(83A)이 포함된다.
도 4의 4B에 나타내는 바와 같이, 왜곡상태에 있어서의 4개의 얼라인먼트마크(81)의 위치는, 기준상태일 때의 4개의 얼라인먼트마크(81)의 위치로부터 어긋난다. 왜곡상태에 있어서의 4개의 얼라인먼트마크(81)의 xy좌표(B1~B4)는, 왜곡계측부(21)(도 1)에서 계측할 수 있다.
기판(80)이 왜곡됨으로써, 기준상태에 있어서의 묘화영역(82A) 및 단위영역(83A)에도, 도 4의 4B에 나타낸 묘화영역(82B) 및 단위영역(83B)과 같이 왜곡이 발생한다. 왜곡 후의 묘화영역(82B)에, 오른쪽이 내려가는 옅은 해칭을 넣고 있다.
왜곡이 발생하고 있는 기판(80)에 묘화할 때의 1회째의 스캔동작에 있어서의 잉크도포대상영역(85)의 위치 및 형상은, 기판(80)의 왜곡에는 영향을 받지 않고, 기준상태에 있어서의 잉크도포대상영역(85)(도 4의 4A)의 위치 및 형상과 동일하다.
왜곡보정처리부(10D)는, 최초로 묘화하는 잉크도포대상영역(85)에 포함되는 단위영역(83A)(도 4의 4A)과, 그 단위영역(83A)에 인접하는 단위영역(83A)의 일부의 영역까지 확산되어 있는 영역(이하, 왜곡보정대상영역(84A)이라고 한다.)에 대하여, 원화상데이터의 왜곡보정을 행하여, 보정완료된 묘화용 부분화상데이터를 생성한다. 이 왜곡보정처리에는, 공지의 알고리즘을 이용할 수 있다. 기판(80)이 왜곡됨으로써, 기준상태에 있어서의 왜곡보정대상영역(84A)에도, 도 4의 4B에 나타낸 왜곡보정대상영역(84B)과 같이 왜곡이 발생하고 있다.
왜곡상태에 있어서의 묘화영역(82B)과 잉크도포대상영역(85)이 중복되는 영역은, 왜곡보정대상영역(84B)에 포함된다. 즉, 1회째의 스캔동작을 행할 때에 필요해지는 화상데이터는, 왜곡보정대상영역(84B)에 대응하는 묘화용 부분화상데이터에 포함된다. 따라서, 왜곡보정대상영역(84B)에 대응하는 묘화용 부분화상데이터에 근거하여 1회째의 스캔동작을 행함으로써, 잉크도포대상영역(85) 내의 묘화영역(82B)에 묘화할 수 있다.
1회째의 스캔동작으로 묘화를 행한 후, 2회째 이후의 스캔동작에 있어서도 동일하게, 원화상데이터에 대하여 왜곡보정을 행하여, 묘화용 부분화상데이터를 생성한다.
도 5의 5A는, 2회째의 스캔동작을 행할 때의 기준상태에 있어서의 왜곡보정대상영역(84A)의 모식도이며, 도 5의 5B는, 왜곡상태에 있어서의 왜곡보정대상영역(84B)을 나타내는 모식도이다. 2회째의 스캔동작에 있어서의 잉크도포대상영역(85)에 포함되는 단위영역(83A)에 대해서는, 그 양측으로 각각 단위영역(83A)이 인접하고 있다. 왜곡보정대상영역(84A)은, 잉크도포대상영역(85)에 포함되는 단위영역(83A)부터, 그 양측의 단위영역(83A)의 일부의 영역까지 확산되어 있다.
왜곡상태에 있어서의 묘화영역(82B)과 잉크도포대상영역(85)의 중복영역이, 왜곡상태에 있어서의 왜곡보정대상영역(84B)에 포함된다. 이 때문에, 왜곡보정대상영역(84B)에 대응하는 묘화용 부분화상데이터에 근거하여 2회째의 스캔동작을 행할 수 있다.
도 6은, 본 실시예에 의한 묘화방법의 수순을 나타내는 플로차트이다. 먼저, 화상데이터취득부(10B)(도 1)가, 묘화해야 할 패턴 및 위치를 정의하는 벡터형식의 화상데이터를 취득한다(스텝 S1). 벡터형식의 화상데이터는, 입력장치(11)로부터 입력된다. 다음으로, 원화상데이터생성부(10C)(도 1)가, 벡터형식의 화상데이터를 래스터형식으로 변환함으로써, 래스터형식의 원화상데이터를 생성한다(스텝 S2). 원화상데이터는, 기준상태에 있어서의 묘화영역(82A)(도 4의 4A)의 전역의 패턴 및 위치를 정의한다.
제어장치(50)(도 2의 2A)가 반출입로봇(도시하지 않음)을 동작시켜 기판(80)을 가동테이블(25) 상에 반입한다(스텝 S3). 그 후, 왜곡량산출부(10A)(도 1)가 기판(80)의 왜곡량을 산출한다(스텝 S4). 이하, 왜곡량을 산출하는 수순에 대하여 설명한다. 먼저, 제어장치(50)가 이동기구(24)(도 2의 2A, 2B)를 제어하고, 4개의 얼라인먼트마크(81)(도 3)를 차례로 촬상장치(40)(도 2의 2A, 2B)의 화각 내에 배치하여 얼라인먼트마크(81)를 촬상한다. 제어장치(50)는, 촬상장치(40)로부터 얼라인먼트마크(81)의 화상데이터를 취득한다. 얼라인먼트마크(81)의 화상데이터는, 왜곡량산출부(10A)에 전달된다.
왜곡량산출부(10A)는, 얼라인먼트마크(81)의 화상데이터를 해석함으로써, 얼라인먼트마크(81)를 촬상했을 때의 가동테이블(25)의 위치와 화상해석결과로부터, 왜곡상태에 있어서의 얼라인먼트마크(81)의 xy좌표(B1~B4)(도 4의 4B)를 구한다. 기준상태에 있어서의 얼라인먼트마크(81)의 xy좌표(A1~A4)(도 4의 4A)와 왜곡상태에 있어서의 얼라인먼트마크(81)의 xy좌표(B1~B4)로부터, 왜곡량을 산출한다.
왜곡보정처리부(10D)(도 1)가, 묘화영역(82A)(도 4의 4A, 도 5의 5A)의 일부의 영역에 대하여 왜곡보정을 행하여, 묘화용 부분화상데이터를 생성한다(스텝 S5). 구체적으로는, 왜곡보정처리부(10D)는, 다음으로 스캔동작을 행할 대상의 단위영역(83A)을 포함하는 왜곡보정대상영역(84A)(도 4의 4A, 도 5의 5A)에 대하여, 원화상데이터에 대하여 왜곡보정을 행하여, 묘화용 부분화상데이터를 생성한다.
왜곡보정처리부(10D)는, 묘화용 부분화상데이터를 생성하면, 묘화용 부분화상데이터를 묘화처리부(20)의 제어장치(50)(도 2의 2A)에 전달한다(스텝 S6). 묘화처리부(20)의 제어장치(50)는, 묘화용 부분화상데이터를 수신하면, 이동기구(24) 및 잉크젯헤드(31)(도 2의 2B)를 제어하여, 수신한 묘화용 부분화상데이터에 대응하는 잉크도포대상영역(85)(도 4의 4B, 도 5의 5B)에 대하여 스캔동작을 개시한다(스텝 S7). 즉, 묘화처리부(20)는, 잉크도포대상영역(85)마다 묘화처리를 행한다.
왜곡보정처리부(10D)는, 묘화영역(82A)(도 4의 4A, 도 5의 5A)의 전역에 대하여 스캔동작이 종료될 때까지, 스텝 S5, 스텝 S6을 반복한다. 동일하게, 묘화처리부(20)의 제어장치(50)는, 스텝 S7을 반복한다(스텝 S8).
묘화영역(82A)의 전역에 대하여 스캔동작이 종료되면, 제어장치(50)는 가동테이블(25)에 지지되어 있는 기판(80)을 반출한다(스텝 S9). 모든 기판(80)에 대한 묘화처리가 종료될 때까지, 스텝 S3부터 스텝 S9까지의 처리를 반복한다(스텝 S10).
다음으로, 상기 실시예의 우수한 효과에 대하여, 도 7의 7A~7F를 참조하여 설명한다.
도 7의 7A~7C는, 비교예에 의한 묘화방법으로 묘화할 때의 묘화용 부분화상데이터를 생성하는 수순을 나타내는 모식도이다. 래스터형식의 원화상데이터(90)(도 7의 7A)의 전역에 대하여 왜곡보정을 행하여, 왜곡보정완료된 묘화용 화상데이터(91)(도 7의 7B)를 생성한다. 묘화처리부(20)의 제어장치(50)(도 2의 2A)는, 왜곡보정완료된 묘화용 화상데이터(91)로부터 스캔동작에 필요한 폭(A1)의 부분을 잘라내, 묘화용 부분화상데이터(92)(도 7의 7C)를 생성한다. 이 묘화용 부분화상데이터(92)에 근거하여 스캔동작을 행한다.
도 7의 7D~7F는, 본 실시예에 의한 묘화방법으로 묘화할 때의 묘화용 부분화상데이터를 생성하는 수순을 나타내는 모식도이다. 래스터형식의 원화상데이터(90)(도 7의 7D) 중 폭(A2)의 일부의 왜곡보정대상영역(84A)(도 7의 7E)에 상당하는 부분을 잘라낸다. 왜곡보정대상영역(84A)(도 7의 7E)은, 도 4의 4A, 도 5의 5A에 나타낸 왜곡보정대상영역(84A)에 상당한다. 왜곡보정대상영역(84A)에 대하여 왜곡보정처리를 행함으로써, 보정완료된 묘화용 부분화상데이터(93)(도 7의 7F)를 생성한다.
비교예에 있어서는, 원화상데이터(90)의 전체에 대하여 왜곡보정을 행하여, 왜곡보정완료된 묘화용 화상데이터(91)를 생성할 때까지 묘화를 개시할 수 없다. 이에 대하여 본 실시예에서는, 원화상데이터(90)의 일부에 대하여 왜곡보정을 행하여, 묘화용 부분화상데이터(93)를 생성한 후에는, 원화상데이터(90)(도 7의 7E)에 왜곡보정되어 있지 않은 부분이 남아 있어도 묘화를 개시할 수 있다. 원화상데이터(90)의 일부에 대하여 왜곡보정을 행하는 데 필요한 시간은, 원화상데이터(90)의 전체에 대하여 왜곡보정을 행하는 데 필요한 시간보다 짧다. 이 때문에, 본 실시예에서는, 기판(80)을 반입(스텝 S3)하고 나서 묘화를 개시할(스텝 S7) 때까지의 대기시간이, 비교예에 비하여 짧아진다는 우수한 효과가 얻어진다.
또, 스캔동작을 개시(스텝 S7)한 후, 스캔동작과 병행하여, 다음으로 묘화해야 할 일부의 영역에 대하여, 원화상데이터(90)의 왜곡보정(스텝 S5)이 행해진다. 1회의 스캔동작이 종료될 때까지, 다음으로 행할 스캔동작에 필요해지는 묘화용 부분화상데이터가 생성된다. 이 때문에, 1회의 스캔동작이 종료되면, 바로 다음의 스캔동작을 개시할 수 있다. 따라서, 비교예와 비교하여 묘화의 개시부터 종료까지의 시간이 길어지는 경우는 없다.
이와 같이, 본 실시예에 있어서는, 비교예와 비교하여, 기판(80)을 반입하고 나서 묘화가 종료될 때까지의 시간을 단축할 수 있다.
다음으로, 도 8의 8A~8C를 참조하여, 다른 실시예에 대하여 설명한다. 이하, 도 1~도 6에 나타낸 실시예와 공통의 구성에 대해서는 설명을 생략한다.
도 8의 8A~8C는, 본 실시예에 의한 기준상태에 있어서의 묘화영역(82A), 왜곡보정대상영역(84A), 및 왜곡상태에 있어서의 묘화영역(82B), 왜곡보정대상영역(84B)을 나타내는 모식도이다.
본 실시예에 있어서도 도 1~도 6에 나타낸 실시예와 동일하게, 도 8의 8A에 나타내는 바와 같이, 기준상태에 있어서의 묘화영역(82A) 중, 다음의 스캔동작으로 묘화를 행할 잉크도포대상영역(85)을 결정한다. 도 4의 4A에 나타낸 실시예에서는, 기준상태에 있어서의 묘화영역(82A)에 대하여 왜곡보정대상영역(84A)을 설정하고 있지만, 본 실시예에서는, 도 8의 8B에 나타내는 바와 같이, 왜곡상태에 있어서의 묘화영역(82B)과 잉크도포대상영역(85)의 중복영역을, 왜곡보정대상영역(84B)으로서 설정한다.
왜곡상태에 있어서의 왜곡보정대상영역(84B)(도 8의 8B)에 근거하여, 기준상태에 있어서의 왜곡보정대상영역(84A)(도 8의 8C)을 결정한다. 왜곡상태에 있어서의 왜곡보정대상영역(84B)으로부터 기준상태에 있어서의 왜곡보정대상영역(84A)으로의 변환은, 스텝 S4(도 6)에서 산출된 왜곡량을 이용하여 행할 수 있다. 왜곡보정처리부(10D)(도 1)는, 도 8의 8C에 나타낸 왜곡보정대상영역(84A)에 대하여, 원화상데이터에 대하여 왜곡보정을 행하여, 묘화용 부분화상데이터를 생성한다. 이 묘화용 부분화상데이터는, 도 8의 8B에 나타낸 왜곡보정대상영역(84B) 내의 묘화패턴을 정의하고 있다. 이 때문에, 스캔동작에 필요한 화상데이터를 과부족하지 않게 생성할 수 있다.
도 4의 4A~도 5의 5B에 나타낸 실시예에서는, 기준상태에 있어서의 묘화영역(82A)(도 4의 4A, 도 5의 5A)과 잉크도포대상영역(85)의 위치관계로부터, 왜곡보정대상영역(84A)을 결정하고 있다. 스캔동작에 필요한 화상데이터의 결핍을 회피하기 위하여, 기준상태의 왜곡보정대상영역(84A)을, 잉크도포대상영역(85)보다 넓게 설정하고 있다. 이 때문에, 묘화용 부분화상데이터에는, 스캔동작에서 사용되지 않는 화상데이터도 포함된다.
도 8의 8A~8C에 나타낸 실시예에서는, 묘화용 부분화상데이터가, 스캔동작에 필요한 데이터를 과부족하지 않게 포함하고 있기 때문에, 도 1~도 6에 나타낸 실시예와 비교하여 왜곡보정처리의 대상이 되는 데이터양이 삭감된다는 우수한 효과가 얻어진다.
다음으로, 도 9의 9A 및 9B를 참조하여 다른 실시예에 대하여 설명한다. 이하, 도 1~도 6에 나타낸 실시예와 공통의 구성에 대해서는 설명을 생략한다. 도 1~도 6에 나타낸 실시예에서는, 도 3에 나타내는 바와 같이 1개의 잉크젯헤드(31)가 배치되어 있다. 이에 대하여 본 실시예에서는, 2개의 잉크젯헤드(31)가 배치되어 있다. 이 때문에, 2개의 단위영역(83)에 대하여 동시에 스캔동작을 행할 수 있다.
도 9의 9A는, 기준상태에 있어서의 얼라인먼트마크(81), 묘화영역(82A), 및 단위영역(83A)의 위치관계를 나타내는 모식도이며, 도 9의 9B는, 왜곡상태에 있어서의 얼라인먼트마크(81), 묘화영역(82B), 및 단위영역(83B)의 위치관계를 나타내는 모식도이다. 본 실시예에서는, 2개의 잉크젯헤드(31)에 대응하여 2개의 잉크도포대상영역(85)이 설정된다. 왜곡보정처리부(10D)는, 2개의 잉크도포대상영역(85)에 대응하여, 2개의 왜곡보정대상영역(84A)을 설정한다. 왜곡보정처리부(10D)는, 2개의 왜곡보정대상영역(84A)으로서, 도 4의 4A, 도 5의 5A에 나타낸 실시예와 동일하게, 잉크도포대상영역(85)보다 넓은 영역을 설정한다.
왜곡보정처리부(10D)는, 2개의 왜곡보정대상영역(84A)에 대하여 왜곡보정을 행한다. 이 때문에, 왜곡상태의 2개의 왜곡보정대상영역(84B)(도 9의 9B)에 대하여, 묘화용 부분화상데이터가 생성된다. 묘화처리부(20)(도 1)는, 2개의 잉크도포대상영역(85)에 대하여 동시에 스캔동작을 행한다.
본 실시예에 있어서도, 묘화영역(82A)의 일부의 영역만에 대하여, 원화상데이터에 대하여 왜곡보정을 행하기 때문에, 묘화개시까지의 대기시간을 단축할 수 있다. 또한, 동시에 복수의 잉크도포대상영역(85)에 대하여 스캔동작을 행하기 때문에, 묘화영역(82B)의 전역에 묘화처리를 행하는 데 필요한 시간을 단축할 수 있다.
다음으로, 또 다른 실시예에 의한 프로그램에 대하여 설명한다.
도 1에 나타낸 왜곡보정처리장치(10)에 컴퓨터가 이용된다. 도 6에 나타낸 각 스텝의 기능을 컴퓨터에 실현시키기 위한 프로그램이, 기억부(10E)에 저장되어 있다. 컴퓨터는, 이 프로그램을 실행함으로써, 도 6에 나타낸 각 스텝을 실행한다. 종래의 왜곡보정처리장치(10)에 이 프로그램을 인스톨함으로써, 도 6에 나타낸 각 스텝을 묘화처리부(20)에 실행시킬 수 있다.
상술한 각 실시예는 예시이며, 다른 실시예에서 나타낸 구성의 부분적인 치환 또는 조합이 가능한 것은 말할 필요도 없다. 복수의 실시예의 동일한 구성에 의한 동일한 작용 효과에 대해서는 실시예별로는 따로 언급하지 않는다. 또한, 본 발명은 상술한 실시예에 제한되는 것은 아니다. 예를 들면, 다양한 변경, 개량, 조합 등이 가능한 것은 당업자에게 자명할 것이다.
10 왜곡보정처리장치
10A 왜곡량산출부
10B 화상데이터취득부
10C 원화상데이터생성부
10D 왜곡보정처리부
10E 기억부
11 입력장치
20 묘화처리부
21 왜곡계측부
22 기대
23 지지부재
24 이동기구
24X X방향이동기구
24Y Y방향이동기구
25 가동테이블
30 잉크토출유닛
31 잉크젯헤드
32 노즐
33 경화용 광원
40 촬상장치
50 제어장치
80 기판
81 얼라인먼트마크
82 묘화영역
82A 기준상태에 있어서의 묘화영역
82B 왜곡상태에 있어서의 묘화영역
83 단위영역
83A 기준상태에 있어서의 단위영역
83B 왜곡상태에 있어서의 단위영역
84A 기준상태에 있어서의 왜곡보정대상영역
84B 왜곡상태에 있어서의 왜곡보정대상영역
85 잉크도포대상영역
90 원화상데이터
91 왜곡보정완료된 묘화용 화상데이터
92, 93 묘화용 부분화상데이터

Claims (5)

  1. 묘화영역에 형성하는 패턴을 정의하는 원화상데이터에 대하여, 묘화대상물의 왜곡량에 근거하여 왜곡보정을 행하고, 보정완료된 화상데이터를 생성하여 묘화처리부에 전달하는 왜곡보정처리장치로서,
    상기 묘화영역의 일부의 영역에 대하여 상기 원화상데이터에 대하여 왜곡보정을 행할 때마다, 보정완료된 묘화용 부분화상데이터를 상기 묘화처리부에 전달하는 왜곡보정처리장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 묘화처리부는, 묘화영역을 구성하는 복수의 잉크도포대상영역마다 묘화처리를 행하고,
    1개의 묘화용 부분화상데이터로 정의되는 영역은, 1개의 잉크도포대상영역을 포함하고 있는 왜곡보정처리장치.
  3. 제2항에 있어서,
    1개의 묘화용 부분화상데이터로 정의되는 영역은, 1개의 잉크도포대상영역과, 그것에 인접하는 다른 잉크도포대상영역의 일부의 영역까지 확산되어 있는 왜곡보정처리장치.
  4. 묘화대상물의 묘화영역에 형성하는 패턴을 정의하는 원화상데이터를 취득하고,
    상기 묘화대상물의 왜곡량을 계측하며,
    계측된 왜곡량에 근거하여, 상기 묘화대상물의 묘화영역의 일부의 영역에 대하여 상기 원화상데이터에 대하여 왜곡보정을 행함으로써, 보정완료된 묘화용 부분화상데이터를 생성하고,
    생성한 묘화용 부분화상데이터에 근거하여 상기 묘화대상물의 묘화영역에 묘화하며,
    1개의 묘화용 부분화상데이터에 근거하여 묘화를 행하고 있는 기간에, 아직 왜곡보정이 행해지고 있지 않은 영역의 적어도 일부의 영역에 대하여 상기 원화상데이터에 대하여 왜곡보정을 행함으로써, 다른 묘화용 부분화상데이터를 생성하는 묘화방법.
  5. 표면에 묘화영역이 획정된 묘화대상물의 왜곡량을 계측하는 왜곡계측부를 제어하여 묘화대상물의 왜곡량을 산출하는 수순과,
    묘화영역에 형성하는 패턴을 정의하는 원화상데이터에 대하여, 계측된 왜곡량에 근거하여 상기 묘화대상물의 묘화영역의 일부의 영역에 대하여 왜곡보정을 행할 때마다, 보정완료된 묘화용 부분화상데이터를 묘화처리부에 전달하는 수순을 실행시키는, 프로그램을 기록한 컴퓨터로 판독 가능한 기록매체.
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