TWI778183B - 吐出系統 - Google Patents

Abstract

本發明之目的在於提供一種減少流體吐出量之微小變動的效果高，且具有優異響應性的吐出系統；吐出系統(1)具備：輸送流體的泵(10)；設置於相較泵(10)更靠近流體之輸送方向下游側的位置處，且具有吐出流體的吐出口(62)的噴嘴(60)；形成為從泵(10)之第一開口部(14a)延伸至噴嘴(60)之吐出口(62)的主流道(72)；以從主流道(72)分叉之方式形成的分支流道(74)；與分支流道(74)連結，且經由受壓部(82b)進行壓力之蓄積和釋放的蓄壓裝置(82)；設置於分支流道(74)中相較蓄壓裝置(82)更靠近主流道(72)側之位置處的開關閥(84)；以及控制泵(10)和開關閥(84)的控制裝置(90)。

Description

吐出系統

本發明係有關於一種吐出系統。

隨著近年來電子設備等之性能提高，其製造過程中用於供給材料之裝置亦被要求提高材料供給穩定性等性能。尤其在需要將吐出至工件上之流體均勻地塗敷成薄膜狀之用途中，即使因為極其微小的壓力變動而使吐出量產生微小變動，亦可能對塗敷品質產生影響。因此，為了提高電子設備等之性能，對於用於吐出流體之吐出系統而言，亦期望更進一步提高減少流體吐出量之微小變動的效果。

因此，為了滿足上述期望，在電子設備等之製造中需要將流體呈薄膜狀地塗敷至工件上等用途中，作為構成吐出系統之部件而適於利用下述專利文獻1所示那般單軸偏心螺桿泵。

(先前技術文獻)

(專利文獻)

專利文獻1：日本專利特開2012-154215號公報

如上所述，在吐出系統中使用單軸偏心螺桿泵之情況下，能夠得到大幅減少因為極其微小的壓力變動而引起的吐出量之微小變動這一效果。然而，為了進一步提高電子設備等之性能以及生產效率，要求提供一種不僅能夠充分確保流體吐出量之微小變動的減少效果，且亦能夠得到高響應性之吐出系統。具體而言，要求提供一種在向工件吐出流體期間自不用說，在例如開始向工件吐出流體之時刻、以及吐出結束之時刻等時亦能夠快速響應，從而能夠吐出流體且不會發生吐出量之微小變動等問題的吐出系統。

因此，本發明之目的在於提供一種減少流體吐出量之微小變動的效果高，且具有優異響應性的吐出系統。

為了解決上述問題，本發明所提供之吐出系統用於向工件吐出流體，其特徵在於，具備：泵，其具有流入口和流出口，且用於輸送所述流體；噴嘴，其設置於相較所述泵更靠近所述流體之輸送方向下游側的位置處，且具有吐出所述流體的吐出口；主流道，其被形成為從所述泵之流出口延伸至所述噴嘴之吐出口；分支流道，其以從所述主流道分叉之方式形成；蓄壓裝置，其具有受壓部，並與所述分支流道連結，而且經由所述受壓部進行壓力之蓄積和釋放；開關閥，其設置於所述分支流道中相較所述蓄壓裝置更靠近所述主流道側之位置處；以及控制裝置，其控制所述泵和所述開關閥。

本發明之吐出系統構成為：在從泵之流出口至噴嘴之吐出口為止的主流道分叉之分支流道中連結有蓄壓裝置，並能夠經由蓄壓裝置之受壓部進行壓力之蓄積和釋放。因此，本發明之吐出系統能夠在蓄壓裝置中緩和流經主流道之流體的壓力變動，從而能夠減少流體吐出量之微小變動。

在本發明之吐出系統中，在分支流道中相較蓄壓裝置更靠近主流道側之位置處設置有開關閥。進而，本發明之吐出系統能夠透過控制裝置控制泵和開關閥。因此，根據本發明之吐出系統，能夠根據泵之動作狀況控制開關閥，從而調整蓄壓裝置中之壓力之蓄積狀態。因此，根據本發明之吐出系統，在向工件吐出流體期間自不用說，在例如開始向工件吐出流體之時刻、以及吐出結束之時刻等時亦能夠快速且準確地響應，從而能夠吐出流體且不會發生吐出量之微小變動等問題。

上述本發明之吐出系統之特徵還在於：所述控制裝置以正在透過所述泵輸送所述流體為條件將所述開關閥保持為打開狀態，並以停止輸送所述流體之時刻為基準使所述開關閥變為關閉狀態。

在本發明之吐出系統中，能夠以正在透過泵輸送流體為條件將開關閥保持為打開狀態，從而使主流道與蓄壓裝置連通。藉此，能夠在蓄壓裝置中緩和向工件吐出流體期間之流體之壓力變動，從而能夠減少流體吐出量之微小變動。

此外，在本發明之吐出系統中，能夠以停止輸送流體之時刻為基準使開關閥變為關閉狀態，從而使主流道與蓄壓裝置斷開。藉此，能夠有效利用透過泵輸送流體期間蓄積至蓄壓裝置中的壓力，來彌補下一次開始吐出流體時之壓力不足。此外，透過以停止輸送流體之時刻為基準使開關閥變為關閉狀態，即使隨著停止輸送流體而在主流道中產生壓降，亦能夠抑制壓力從蓄壓裝置向主流道漏洩。藉此，能夠抑制在停止輸送流體後，主流道內之流體出乎意料地從噴嘴吐出。因此，根據本發明，能夠提供一種在開始向工件吐出流體之 時刻、以及吐出結束之時刻等時亦能夠快速且準確地響應，從而能夠吐出流體且不會發生吐出量之微小變動等問題的吐出裝置。

上述本發明之吐出系統較佳為：所述控制裝置在所述泵停止運轉之前使所述開關閥變為關閉狀態。

透過如本發明那般在泵停止運轉之前使開關閥變為關閉狀態，能夠不受伴隨泵停止而產生之主流道之壓降影響地將蓄壓裝置與主流道斷開。藉此，即使隨著停止輸送流體而在主流道中產生壓降，亦能夠抑制蓄壓裝置內蓄積的壓力漏洩。藉此，能夠抑制在泵停止運轉後出乎意料地從噴嘴吐出流體。此外，根據上述構成，能夠在下一次開始吐出流體時可靠有效地利用透過泵輸送流體期間蓄積至蓄壓裝置中的壓力。

上述本發明之吐出裝置較佳為：所述蓄壓裝置之所述受壓部與所述主流道之間具有工作流體封裝空間；封裝在所述工作流體封裝空間中的工作流體與從所述泵輸送來的所述流體相聯動地進行工作，從而經由所述受壓部進行壓力之蓄積和釋放。

根據上述構成，能夠將作為向工件吐出之對象的流體導入蓄壓裝置內的量、以及供作為吐出對象之流體流入的空間之大小抑制至最小限度。藉此，在吐出系統之分解清洗等時，能夠將未被吐出至工件上而被廢棄之流體的量抑制至最小限度。此外，在例如作為向工件吐出之對象即流體而使用固化性流體等不易處理之流體之情況下，透過將此類液體向蓄壓裝置之導入抑制至最小限度，有望實現減輕蓄壓裝置之維護作業等的效果。

上述本發明之吐出系統較佳為：所述工作流體封裝空間形成於從與所述蓄壓裝置之受壓部相接之位置至相較所述開關閥更靠近所述主流道側之位置之間。

根據上述構成，能夠更為可靠地將作為向工件吐出之對象的流體導入蓄壓裝置內的量、以及供作為吐出對象之流體流入的空間之大小抑制至最小限度。

上述本發明之吐出系統較佳為：所述蓄壓裝置、所述開關閥以及所述工作流體封裝空間設置於單一的殼體中。

根據上述構成，能夠將蓄壓裝置、開關閥以及工作流體封裝空間一體化。藉此，組裝、維護等作業變得容易，而且能夠使構成變得緊湊。

上述本發明之吐出系統用於向工件吐出流體，其具備：泵，其具有流入口和流出口，且用於輸送所述流體；噴嘴，其具有吐出口，且從所述吐出口吐出從所述泵輸送來的所述流體；蓄壓裝置，其設置於所述泵與所述噴嘴之間，且進行壓力之蓄積和釋放；開關閥，其用於切換所述蓄壓裝置與所述泵及所述噴嘴之連通和斷開；以及控制裝置，其進行如下控制，即：以正在透過所述泵輸送所述流體為條件將所述開關閥保持為打開狀態，並以停止輸送所述流體之時刻為基準使所述開關閥變為關閉狀態。

本發明之吐出系統能夠透過設置於泵與噴嘴之間的蓄壓裝置進行壓力之蓄積和釋放。此外，在本發明之吐出系統中，能夠以正在透過泵輸送流體為條件將開關閥保持為打開狀態，從而使蓄壓裝置進行工作。因此，本發明之吐出系統能夠在蓄壓裝置中緩和透過泵輸送之流體之壓力變動，從而能夠減少流體吐出量之微小變動。

此外，在本發明之吐出系統中，透過控制裝置進行以停止輸送流體之時刻為基準使開關閥變為關閉狀態的控制，從而能夠斷開蓄壓裝置。藉此，能夠有效利用透過泵輸送流體期間蓄積至蓄壓裝置中的壓力，來彌補下一次開始吐出流體時之壓力不足。此外，透過以停止輸送流體之時刻為基準使開關閥變為關閉狀態，即使隨著停止輸送流體而在泵與噴嘴之間產生壓降，亦能夠不受此影響地保持蓄壓裝置內蓄積的壓力。藉此，能夠抑制在停止輸送流體後，隨著壓力從蓄壓裝置漏洩而使流體出乎意料地從噴嘴吐出等不良情況。因此，根據本發明，能夠提供一種在開始向工件吐出流體之時刻、以及吐出結束之時刻等時亦能夠快速且準確地響應，從而能夠吐出流體且不會發生吐出量之微小變動等問題的吐出裝置。

上述本發明之吐出系統較佳為：所述控制裝置在所述泵停止運轉之前使所述開關閥變為關閉狀態。

透過如本發明那般在泵停止運轉之前使開關閥變為關閉狀態，能夠使蓄壓裝置與連結泵和噴嘴之路徑斷開。藉此，能夠抑制因為隨著泵停止而產生之壓降之影響，導致蓄壓裝置內蓄積的壓力漏洩，從而亦能夠抑制在泵停止運轉後出乎意料地從噴嘴吐出流體等不良情況。此外，根據上述構成，能夠將透過泵輸送流體期間蓄積至蓄壓裝置中的壓力保持在蓄壓裝置中，以在下一次開始吐出流體時有效利用。

上述本發明之吐出系統較佳為：所述蓄壓裝置隔著工作流體封裝空間而設置；封裝在所述工作流體封裝空間中的工作流體與從所述泵輸送來的所述流體相聯動地進行工作，從而於所述蓄壓裝置中進行壓力之蓄積和釋放。

根據上述構成，設置了工作流體封裝空間，與此對應地能夠將作為向工件吐出之對象的流體導入蓄壓裝置內的量、以及供作為吐出對象之流體流入的空間之大小抑制至最小限度。藉此，能夠將導入蓄壓裝置內之未被吐出至工件上而被廢棄之流體的量抑制至最小限度。此外，在例如作為向工件吐出之對象即流體而使用固化性流體等不易處理之流體之情況下，透過將此類液體向蓄壓裝置之導入抑制至最小限度，有望實現減輕蓄壓裝置之維護作業等效果。

上述本發明之吐出系統較佳為：所述蓄壓裝置具有受壓部，並經由所述受壓部進行壓力之蓄積和釋放；所述工作流體封裝空間形成於從與所述受壓部相接之位置至超過所述開關閥之位置之間。

根據上述構成，能夠更為可靠地將作為向工件吐出之對象的流體導入蓄壓裝置內的量、以及供作為吐出對象之流體流入的空間之大小抑制至最小限度。

上述本發明之吐出系統較佳為：所述蓄壓裝置、所述開關閥以及所述工作流體封裝空間設置於單一的殼體中。

根據上述構成，能夠將蓄壓裝置、開關閥以及工作流體封裝空間一體化。藉此，組裝、維護等作業變得容易，而且能夠使構成變得緊湊。

根據本發明能夠提供一種減少流體吐出量之微小變動的效果高，且具有優異響應性的吐出系統。

1:吐出系統

10:泵

14a:第一開口部(流出口)

14b:第二開口部(流入口)

60:噴嘴

62:吐出口

70:流道

72:主流道

74:分支流道

80:蓄壓部

82:蓄壓裝置

82b:受壓部

84:開關閥

90:控制裝置

180:蓄壓部

182:蓄壓裝置

182b:工作流體封裝部

182d:受壓部

182e:輸入部

184:開關閥

186b:工作流體封裝空間

188:殼體

280:蓄壓裝置

296:受壓部

W:工件

圖1係本發明之一實施方式之吐出系統的示意圖。

圖2係本發明之一實施方式之吐出系統的示意圖。

圖3係顯示圖1之吐出系統中所採用之單軸偏心螺桿泵的剖面圖。

圖4係顯示圖1之吐出系統中所進行之基本控制的流程圖。

圖5係顯示蓄壓製程中所進行之控制之流程的流程圖。

圖6係顯示塗敷製程中所進行之控制之流程的流程圖。

圖7係顯示圖1之吐出系統之動作的時序圖。

圖8之(a)至(d)係按照順序顯示蓄壓製程之各個階段中吐出系統之動作狀況的示意圖。

圖9之(a)至(c)係按照順序顯示塗敷製程之各個階段中吐出系統之動作狀況的示意圖。

圖10係顯示蓄壓部之變形例的剖面圖，其中，(a)係顯示通常時之狀態，(b)係顯示蓄壓時之狀態。

圖11係具備圖10所示之蓄壓部的吐出系統的示意圖。

圖12係具備變形例之蓄壓裝置的吐出系統的示意圖。

圖13係顯示變形例之蓄壓裝置的剖面圖。

以下，參照附圖對本發明之一實施方式之吐出系統1詳細進行說明。此外，在以下說明中，首先對吐出系統1之構成進行說明，然後對吐出系統1中所進行之控制詳細進行說明。

《吐出系統1之構成》

吐出系統1用於吐出向工件W塗敷之流體。吐出系統1適用於例如向工件W塗敷電池材料、或者塗敷用於黏合顯示器的樹脂材料等必須呈薄膜狀地塗敷液體之用途中。吐出系統1呈以下詳述之構成，以抑制因為流體吐出量之微小變動而引起膜厚變動。

如圖1和圖2所示，吐出系統1具備泵10、噴嘴60、流道70、蓄壓部80以及控制裝置90。吐出系統1在設置於泵10與噴嘴60之間的流道70上設置有蓄壓部80，並且能夠透過控制裝置90控制泵10和蓄壓部80之動作。

泵10用於從供給源向噴嘴60輸送流體。泵10只要能夠輸送流體便可為任意的泵，但較佳為能夠以規定單位時間內之輸送對象(輸送液)之吐出量和吸入量固定之方式輸送輸送液的所謂容積式泵。

在此，“容積式泵”係指透過活塞、柱塞或者旋轉體(轉子)之推動作用來輸送輸送對象(輸送液)的泵。更為具體而言，容積式泵係指：泵室之內部具有一定的容積，能夠透過往復運動或旋轉運動調整流量並輸送輸送液，並且能夠以規定單位時間內之吐出量(吸入量)固定之方式輸送輸送液的泵。容積式泵中基於旋轉運動之旋轉容積式泵，透過轉子等旋轉體之推動作用來輸送輸送液，包括齒輪泵(gear pump)、葉片泵、旋轉泵、螺桿泵等。此外，螺桿泵包括單軸偏心螺桿泵、雙軸螺桿泵等。在本實施方式中，泵10採用單軸偏心螺桿泵。

具體而言，如圖3所示，泵10在泵殼16和定子殼體18之內部收納有定子20、轉子30以及動力傳遞機構50等。更為具體而言，泵10在泵殼16之內部收納有動力傳遞機構50等，在定子殼體18之內部收納有定子20、轉子30等。

泵殼16係由金屬製成且呈筒狀的部件，並在長度方向一端側設置有定子安裝部16a。此外，定子殼體18在長度方向一端側設置有第一開口部14a(流出口)。此外，泵殼16之外周部分上設置有第二開口部14b(流入口)。第二開口部14b在泵殼16之長度方向中間部分處與泵殼16之內部空間連通。

第一開口部14a和第二開口部14b係分別作為泵10之流出口和吸入口發揮作用的部分。泵10透過使轉子30朝向正向旋轉，能夠使第一開口部14a作為流出口、第二開口部14b作為吸入口(流入口)發揮作用。此外，透過為了維護等而使轉子30朝向反方向旋轉，能夠使第一開口部14a作為吸入口、第二開口部14b作為流出口發揮作用，從而能夠進行泵殼16之內部空間等的清洗等。

定子20以一端朝向第一開口部14a側，另一端嵌入泵殼16之定子安裝部16a之狀態被收納在定子殼體18內。

定子20係具有大致圓筒形的外觀形狀的部件。定子20中形成有n條單級或多級的陰螺紋形狀的插通孔22。在本實施方式中，插通孔22為2條多級的陰螺紋形狀。

轉子30係由金屬製成的軸體，且形成為n-1條單級或多級的陽螺紋形狀。在本實施方式中，轉子30為1條多級的陽螺紋形狀。轉子30之長度方向任意位置處之剖面形狀均呈大致正圓形。轉子30插通於上述定子20之插通孔22中，且能夠在插通孔22之內部自由地偏心旋轉。

在將轉子30插通於定子20中時，成為轉子30之外周面30a與定子20之內周面20a在兩者之切線處緊密接觸的狀態，並且在兩者之間形成流體 輸送通道32(空腔)。流體輸送通道32沿著定子20或轉子30之長度方向呈螺旋狀地延伸。

當使轉子30在定子20之插通孔22內旋轉時，流體輸送通道32一邊在定子20內旋轉，一邊沿定子20之長度方向前進。因此，當使轉子30旋轉時，能夠從定子20之一端側將流體吸入流體輸送通道32內，並且將該流體以封閉在流體輸送通道32內之狀態朝向定子20之另一端側輸送，並在定子20之另一端側吐出。

動力傳遞機構50用於從驅動源40向上述轉子30傳遞動力。動力傳遞機構50具有偏心旋轉部52和動力傳遞部54。偏心旋轉部52是以能夠傳遞動力之方式連結動力傳遞部54與轉子30的部分。偏心旋轉部52具備現有公知之萬向接頭等。因此，偏心旋轉部52能夠將透過使驅動源40進行工作而產生之旋轉動力傳遞至轉子30，從而使轉子30偏心旋轉。

如圖1所示，噴嘴60將經由流道70從泵10輸送來的流體朝向工件W吐出。噴嘴60設置於相較泵10更靠近流體之輸送方向下游側的位置處，並具有吐出流體的吐出口62。噴嘴60只要能夠吐出流體便可為任意的噴嘴，但在本實施方式中，採用能夠以規定的吐出寬度吐出流體的噴嘴。

流道70具有主流道72和分支流道74。主流道72係形成為從形成泵10之流出口的第一開口部14a延伸至噴嘴60之吐出口62的流道。即，在本實施方式中，主流道72構成包含連結泵10之第一開口部14a與噴嘴60的管道、和在噴嘴60內形成為到達吐出口62的流道在內的一連串輸送路徑。

分支流道74係以從主流道72分叉之方式形成的流道。分支流道74可透過管道等構成。在本實施方式中，分支流道74透過後述之蓄壓部80之連結管86構成。

主流道72與分支流道74之分叉點可形成於主流道72之任意位置處。具體而言，在圖示之例子中，採用將主流道72與分支流道74之分叉點設置於連結第一開口部14a與噴嘴60的管道上的構成，但亦可將分叉點設置於噴嘴60內設有的流道等上。在本實施方式中，主流道72與分支流道74之分叉點設置於連結第一開口部14a與噴嘴60的管道中途。

蓄壓部80具備蓄壓裝置82和開關閥84。蓄壓裝置82由蓄能器(蓄壓器)構成。具體而言，如圖2等所示，蓄壓裝置82在容器82a之內部具有受壓部82b。受壓部82b係由橡膠、彈簧、海綿等發泡體等彈性體構成的部件，在受到壓力後會彈性變形。在本實施方式中，作為受壓部82b，使用能夠將容器82a之內部空間分離為第一區域82c和第二區域82d之分割壁狀的部件。此外，蓄壓裝置82形成為：流體能夠流入第一區域82c中、或者從第一區域82c中流出。此外，第二區域82d中填充有例如空氣或氮氣等蓄壓氣體。

開關閥84設置於與第一區域82c連通的連結管86上。連結管86係構成上述分支流道74的管道，且與形成主流道72的管道連結。蓄壓部80能夠透過開關閥84之開關來調整流體相對於蓄壓裝置82之第一區域82c的流入和流出。

蓄壓部80可透過在向第一區域82c中導入流體至蓄壓裝置82之受壓部82b朝向第二區域82d側變形程度之狀態下，使開關閥84變為關閉狀態，從而向蓄壓裝置82內蓄積壓力。反之，透過在蓄壓裝置82內蓄積有壓力之狀態 下使開關閥84變為打開狀態，從而能夠從蓄壓裝置82釋放壓力。因此，蓄壓部80可透過開關閥84之開關控制而控制對於蓄壓裝置82的壓力之蓄積和釋放。

控制裝置90用於控制泵10和開關閥84。如之後詳述，控制裝置90可進行如下控制，即：以正在透過泵10輸送流體為條件將開關閥84保持為打開狀態，且以停止輸送流體之時刻為基準使開關閥84變為關閉狀態。在本實施方式中，控制裝置90進行如下控制，即：在停止輸送流體時，在泵10停止運轉之前使開關閥84變為關閉狀態。

《吐出系統1之動作控制》

以下，參照附圖對透過控制裝置90所進行之吐出系統1之動作控制詳細進行說明。

[關於基本控制]

如圖4所示，控制裝置90首先在步驟1-1之蓄壓製程中向蓄壓裝置82蓄積壓力。如之後詳述，蓄壓製程按照圖5所示之控制流程進行。在蓄壓製程完成後，控制裝置90使流程進入步驟1-2。

在步驟1-2之塗敷製程中，控制裝置90進行從吐出系統1向工件W吐出流體並進行塗敷的動作。如之後詳述，塗敷製程按照圖6所示之控制流程進行。在塗敷製程完成後，一系列的控制流程結束。

[關於蓄壓製程]

接下來，對上述步驟1-1中所進行之蓄壓製程進行說明。如圖5所示，在蓄壓製程中，首先如步驟2-1所示，使開關閥84處於打開狀態，並使泵10進行運轉(參照圖7)。藉此，透過泵10輸送來的流體從主流道72經過分支流道74流入蓄壓裝置82之第一區域82c中。在蓄壓裝置82中，在向第一區域82c導入 流體之前未變形的受壓部82b(參照圖8之(a))，逐漸朝向第二區域82d側鼓出變形(參照圖8之(b))。如此，不斷向蓄壓裝置82中蓄積壓力。

在如上所述開始向蓄壓裝置82導入流體後，控制流程進入步驟2-2。在步驟2-2中，確認是否成為蓄壓裝置82中蓄積有足夠壓力的狀態。蓄壓裝置82之蓄壓狀態可透過適當方法進行判斷，例如實際測量蓄壓裝置82之內部壓力的方法、確認從噴嘴60吐出規定量流體的方法等。在本實施方式中，由控制裝置90以蓄壓開始後之時間作為指標進行判斷。因此，在步驟2-2中，控制裝置90確認開始向蓄壓裝置82中導入流體後是否經過了規定的時間t1。當透過控制裝置90確認到已經過了規定的時間t1時，視為蓄壓裝置82中已蓄積有足夠的壓力，透過控制裝置90使控制流程進入步驟2-3。

在步驟2-3中，控制裝置90使開關閥84關閉(參照圖7、圖8之(c))。藉此，從主流道72經過分支流道74到達蓄壓裝置82之流體的流動被阻斷。考慮到開關閥84之響應延遲等，在步驟2-3中，以在步驟2-1中開始運轉的泵10繼續運轉之狀態關閉開關閥84，以便可靠地向蓄壓裝置82進行蓄壓。然後，控制流程進入步驟2-4。

在步驟2-4中，控制裝置90確認開關閥84關閉後是否經過了規定的時間t2。在此，上述時間t1和時間t2可適當地進行設定，例如可按如下基準進行設定。具體而言，可將使開關閥84變為打開狀態並使泵10進行運轉，從而向蓄壓部80中填充足夠的液體所需的時間設定為時間t1。在此，在經過時間t1之前，透過泵10輸送的液體相較於主流道72中位於與分支流道74之分叉點下游的部分而優先流入分支流道74。因此，在已經過了時間t1，並使開關閥84變為關閉狀態之後，使主流道72中位於與分支流道74之分叉點下游的部分充滿 液體需要時間。在想到上述情況之基礎上，將時間t2設定為在經過時間t1之後，使上述位於分叉點下游的部分充滿液體所需之預計時間。雖然亦取決於裝置之構成，但預計多數情況下時間t2為極短的時間。因此，在經過時間t1並關閉開關閥84之後，不久便會經過時間t2。在步驟2-4中確認已經過了時間t2後，控制流程進入步驟2-5。

在步驟2-5中，控制裝置90使泵10停止運轉(參照圖7、圖8之(d))。藉此，向蓄壓裝置82蓄積壓力的蓄壓製程結束。

[關於塗敷製程]

接下來，對上述步驟1-2中所進行之塗敷製程進行說明。如圖6所示，在塗敷製程中，首先在步驟3-1中使開關閥84變為打開狀態，並且使泵10進行運轉(參照圖9之(a))。透過使開關閥84變為打開狀態，在蓄壓製程中蓄積至蓄壓裝置82中的壓力之作用下，能夠無響應延遲地從噴嘴60吐出流體。在步驟3-1結束後，控制流程進入步驟3-2。

在步驟3-2中，控制裝置90確認是否需要停止吐出流體。關於是否需要停止吐出流體，可透過利用適當的方法進行檢測或判定來確認，例如根據有無從與控制裝置90連結的上位控制裝置(未圖示)收到停止指令來判斷有無停止請求的方法、根據檢測工件W上的流體之塗敷狀態的檢測裝置之輸出信號等來判斷有無停止請求的方法、根據從開始吐出流體起的時間來判斷是否需要停止的方法等。在步驟3-2中確認應該停止吐出流體後，控制流程進入步驟3-3。

在步驟3-3中，控制裝置90使開關閥84關閉(圖9之(b))。然後，在步驟3-4中確認是否經過了規定的時間t2。在步驟3-4中確認已經過了 時間t2後，控制流程進入步驟3-5，控制裝置90使泵10停止(圖9之(c))。在此，在本實施方式中，如圖7所示，與上述步驟2-4同樣地使泵10之停止相較開關閥84之關閉延遲至經過時間t2後，但亦可使泵10之停止相對於開關閥84之關閉的延遲時間與步驟2-4中的延遲時間不同。

在如上所述於步驟3-5中使泵10停止後，控制流程進入步驟3-6。在步驟3-6中，透過控制裝置90確認當前正在處理的工件W中應塗敷流體的所有部位上是否都已完成塗敷。在確認還存在未完成流體塗敷之部位時，控制流程返回步驟3-1。另一方面，在確認正在處理的工件W中應塗敷流體的所有部位上都已完成流體塗敷時，控制流程進入步驟3-7。

在步驟3-7中，控制裝置90確認作為流體塗敷對象所準備之全部工件W是否都已完成塗敷。在此，在存在未完成塗敷之工件W時，控制流程返回步驟3-1。另一方面，在所有工件W之塗敷都已完成時，塗敷製程結束。

如上所述，本實施方式之吐出系統1在從主流道72分叉出的分支流道74中具有蓄壓裝置82，且能夠在蓄壓裝置82中進行壓力之蓄積和釋放。因此，吐出系統1能夠在蓄壓裝置82中緩和流經主流道72的流體之壓力變動，從而能夠減少流體吐出量之微小變動。因此，根據吐出系統1，能夠將塗敷在工件W上的流體之膜厚變動抑制至最小限度。

此外，如上所述，在吐出系統1中，在分支流道74中相較蓄壓裝置82更靠近主流道72側之位置上設置有開關閥84。因此，根據吐出系統1，可根據泵10之動作狀況控制開關閥84，從而調整蓄壓裝置82中的壓力之蓄積狀態。具體而言，吐出系統1在向工件W吐出流體期間自不用說，在開始向工件 W吐出流體之時刻、以及吐出結束之時刻等時亦能夠快速且準確地響應，從而能夠吐出流體且不會發生吐出量之微小變動等問題。

如上所述，在吐出系統1中，能夠以正在透過泵10輸送流體為條件將開關閥84保持為打開狀態，從而使主流道72與蓄壓裝置82連通。藉此，能夠在蓄壓裝置82中緩和向工件W吐出流體期間的流體之壓力變動，從而能夠減少流體吐出量之微小變動。此外，在吐出系統1中，作為使開關閥84變為打開狀態之控制條件，不僅可為正在透過泵10輸送流體這一情況，亦可加入其他條件。

此外，在吐出系統1中，由於具備開關閥84，故亦可以停止透過泵10輸送流體之時刻為基準，在規定時刻使開關閥84變為關閉狀態，從而使蓄壓裝置82與主流道72斷開。具體而言，吐出系統1可在泵10停止運轉之前使開關閥84變為關閉狀態。藉此，能夠避免透過泵10輸送流體期間蓄積至蓄壓裝置82中的壓力隨著泵10之停止而漏洩，從而能夠在下一次開始吐出時有效利用該壓力。此外，透過在泵10停止運轉之前使開關閥84變為關閉狀態，亦可抑制因為從蓄壓裝置82漏洩至主流道72的壓力之影響而出乎意料地從噴嘴60吐出流體這一不良情況。此外，在本實施方式中，示出了在泵10停止運轉之前使開關閥84變為關閉狀態之例子，但本發明並不限定於此。即，吐出系統1亦可以停止透過泵10輸送流體之時刻為基準，在其他時刻使開關閥84變為關閉狀態。具體而言，亦可在停止透過泵10輸送流體之同時使開關閥84變為關閉狀態，等等。

在本實施方式中，作為蓄壓部80，示出了設置有蓄壓裝置82和開關閥84之例子，但本發明並不限定於此。例如，亦可將蓄壓裝置82和開關閥 84一體化、或者除了蓄壓裝置82和開關閥84之外亦將其他構成一體化，等等。以下，參照附圖對可取代蓄壓部80而採用的蓄壓部180詳細進行說明。

《蓄壓部之變形例》

如圖10所示，蓄壓部180係將蓄壓裝置182、開關閥184以及工作流體封裝空間186設置在單一的殼體188中的單元。殼體188中大致設有三個內部空間，即構成蓄壓裝置182的蓄壓裝置構成部182a、構成工作流體封裝空間186的工作流體封裝部182b、以及構成與主流道72連通的空間的連通部182c。此外，工作流體封裝部182b和連通部182c作為構成上述分支流道74之一部分或者全部(本變形例中為一部分)的部分發揮作用。

蓄壓裝置構成部182a與工作流體封裝部182b之邊界部、以及工作流體封裝部182b與連通部182c之邊界部中，分別設置有受壓部182d和輸入部182e。受壓部182d和輸入部182e均與壓力變動相聯動地變形或位移，從而能夠蓄積能量。在本實施方式中，受壓部182d和輸入部182e由橡膠等可彈性變形之片材構成。

此外，受壓部182d和輸入部182e分別構成蓄壓裝置構成部182a與工作流體封裝部182b之分割壁、和工作流體封裝部182b與連通部182c之分割壁。因此，當如圖10之(b)所示對受壓部182d和輸入部182e施加壓力而使其變形時，成為該能量被蓄積至受壓部182d和輸入部182e中的狀態。

此外，蓄壓裝置構成部182a中填充有由可彈性變形之材料構成的填充物。在本實施方式中，在蓄壓裝置構成部182a中，作為填充物而填充有空氣等氣體、或者橡膠、彈簧、海綿等彈性體。此外，蓄壓裝置構成部182a中所 收納之填充物與受壓部182d接觸。因此，當如圖10之(b)所示變為受壓部182d在壓力之作用下發生變形之狀態時，填充物亦伴隨於此發生變形。

工作流體封裝部182b形成為被受壓部182d和輸入部182e隔離的封閉空間(工作流體封裝空間186)。工作流體封裝部182b(工作流體封裝空間186)中封裝有工作流體。工作流體係能夠從受壓部182d和輸入部182e之一方向另一方傳遞壓力變動的流體。工作流體可由任意的流體構成，但較佳為由不可壓縮性流體構成。在本實施方式中，在工作流體封裝部182b中封裝有呈不可壓縮性流體的油作為工作流體。

在工作流體封裝部182b中，工作流體封裝空間186透過開關閥184被分離成初級側空間186a和次級側空間186b這兩個空間。初級側空間186a相對於開關閥184設置於主流道72側。此外，次級側空間186b設置於初級側空間186a之相反側。

開關閥184如上所述設置於工作流體封裝部182b之初級側空間186a與次級側空間186b之邊界處。此外，工作流體封裝部182b和連通部182c構成分支流道74。因此，開關閥184位於分支流道74中相較蓄壓裝置182更靠近主流道72側之位置處。

開關閥184係能夠切換構成工作流體封裝空間186的初級側空間186a和次級側空間186b之連通狀態的閥門。開關閥184具備例如伺服電動機等驅動源184a，並能夠透過控制驅動源184a來控制開關。開關閥184可透過變為打開狀態而使初級側空間186a與次級側空間186b連通，並且透過變為關閉狀態而使初級側空間186a與次級側空間186b斷開。

此外，在使初級側空間186a與次級側空間186b連通之情況下，能夠透過工作流體、受壓部182d以及輸入部182e對蓄壓裝置182進行壓力之蓄積和釋放。另一方面，在使初級側空間186a與次級側空間186b斷開之情況下，無法對蓄壓裝置182進行壓力之蓄積和釋放。此外，開關閥184能夠在控制裝置90之控制下進行動作。因此，透過利用控制裝置90實施開關閥184之開關，能夠控制對於蓄壓裝置182的壓力之蓄積和釋放。

如圖11所示，上述蓄壓部180以連通部182c與分支流道74連通之方式安裝於分支流道74上。如此，在使用蓄壓部180構成吐出系統1之情況下，如圖10之(b)所示封裝在工作流體封裝空間186中的工作流體與從泵10輸送來的流體相聯動地進行工作。因此，在上述實施方式之吐出系統1中，即使在設置蓄壓部180取代蓄壓部80之情況下，亦能夠透過受壓部182d和輸入部182e對蓄壓裝置182進行壓力之蓄積和釋放，從而將流體吐出量之微小變動抑制至最小限度。

此外，在形成為蓄壓部180那般構成之情況下，能夠將作為向工件W吐出之對象的流體朝向蓄壓部180的導入量、和供作為吐出對象之流體流入的空間之大小抑制至最小限度。即，在採用蓄壓部180之情況下，蓄壓部180之工作所需之流體只要為與連通部182c之容積對應的量即可。因此，透過採用蓄壓部180，能夠將未被吐出至工件W上而被廢棄之流體的量抑制至最小限度。此外，在例如作為向工件W吐出之對象即流體而使用固化性流體等不易處理的流體之情況下，透過將此類液體朝向蓄壓部180的導入抑制至最小限度，有望實現減輕蓄壓部180之維護作業等效果。

此外，在上述蓄壓部180中，工作流體封裝空間186形成於從與蓄壓裝置182之受壓部182d相接的位置至相較開關閥184更靠近主流道72側之位置為止的區域內。透過如此構成，能夠更為可靠地將作為向工件W吐出之對象的流體導入蓄壓裝置182內的量、以及供作為吐出對象之流體流入的空間之大小抑制至最小限度。

進而，蓄壓部180呈將蓄壓裝置182、開關閥184以及工作流體封裝空間186組裝至單一的殼體188中形成為一體之構成。藉此，在吐出系統1中，能夠將蓄壓部180作為整體呈一體地進行蓄壓部180之組裝、維護等作業，而且能夠使構成變得緊湊。

此外，即使在吐出系統1中採用蓄壓部180取代蓄壓部80之情況下，亦能夠透過與上述吐出系統1之動作控制相同的控制來控制吐出量。

此外，上述蓄壓部180或蓄壓裝置182僅為本發明之一實施方式，亦可為例如圖12所示之蓄壓裝置280等其他的構成。以下，參照附圖對蓄壓裝置280詳細進行說明。

《蓄壓裝置之變形例》

如圖12所示，蓄壓裝置280與分支流道74連結。如圖13所示，蓄壓裝置280具備與形成分支流道74的管道連結的主殼體282、和將主殼體282之另一端開口部封閉的支撐殼體284。由這兩個殼體282、284所形成之內周部中設置有彈性部290。彈性部290具有沿內周部設置的受壓部296、和設置於內周部與受壓部296之間的空間294。受壓部296由例如橡膠管等可彈性變形之材料形成。此外，空間294中填充有空氣等可壓縮性流體、或者可彈性變形之彈簧或橡膠樹脂等彈性體。

在上述蓄壓裝置280中，根據流體之流量變動，空間294和受壓部296會朝向徑向外側彈性變形。藉此，能夠利用蓄壓裝置280吸收流體吐出量之微小變動，從而能夠使從該蓄壓裝置280通過後的流動體之流動狀態穩定。

此外，上述蓄壓裝置82、182、280分別具備受壓部82b、182d、296，但本發明並不限定於此。蓄壓裝置82、182、280亦可不具有如受壓部82b、182d、296此類隔膜(分割壁)，而採用輸送液與空氣等氣體直接接觸之方式等。在如此使輸送液與氣體直接接觸之方式中，透過將氣體與輸送液之界面視為受壓部，能夠得到與上述各實施方式中示出之吐出系統1相同的作用效果。

(工業上的可利用性)

本發明能夠適用於所有從噴嘴吐出透過泵輸送的流體之吐出系統中。本發明之吐出系統尤其適用於例如向工件塗敷電池材料、或者塗敷用於黏合顯示器的樹脂材料等必須呈薄膜狀地塗敷液體的用途中。

1:吐出系統

10:泵

60:噴嘴

62:吐出口

70:流道

72:主流道

74:分支流道

80:蓄壓部

82:蓄壓裝置

86:連結管

84:開關閥

90:控制裝置

W:工件

Claims (9)

1. 一種吐出系統，其用於向工件吐出流體，所述吐出系統之特徵在於，具備：泵，其具有流入口和流出口，且用於輸送所述流體；噴嘴，其設置於相較所述泵更靠近所述流體之輸送方向下游側的位置處，且具有吐出所述流體的吐出口；主流道，其被形成為從所述泵之流出口延伸至所述噴嘴之吐出口；分支流道，其以從所述主流道分叉之方式形成；蓄壓裝置，其具有受壓部，並與所述分支流道連結，而且經由所述受壓部進行壓力之蓄積和釋放；開關閥，其設置於所述分支流道中相較所述蓄壓裝置更靠近所述主流道側之位置處；以及控制裝置，其控制所述泵和所述開關閥，所述控制裝置在所述泵停止運轉之前使所述開關閥變為關閉狀態。
2. 如申請專利範圍第1項所述之吐出系統，其中，所述控制裝置以正在透過所述泵輸送所述流體為條件將所述開關閥保持為打開狀態，並以停止輸送所述流體之時刻為基準使所述開關閥變為關閉狀態。
3. 如申請專利範圍第1或2項所述之吐出系統，其中，所述蓄壓裝置之所述受壓部與所述主流道之間具有工作流體封裝空間；封裝在所述工作流體封裝空間中的工作流體與從所述泵輸送來的所述流體相聯動地進行工作，從而經由所述受壓部進行壓力之蓄積和釋放。
4. 如申請專利範圍第3項所述之吐出系統，其中， 所述工作流體封裝空間形成於從與所述蓄壓裝置之受壓部相接之位置至相較所述開關閥更靠近所述主流道側之位置之間。
5. 如申請專利範圍第3項所述之吐出系統，其中，所述蓄壓裝置、所述開關閥以及所述工作流體封裝空間設置於單一的殼體中。
6. 一種吐出系統，其用於向工件吐出流體，所述吐出系統之特徵在於，具備：泵，其具有流入口和流出口，且用於輸送所述流體；噴嘴，其具有吐出口，且從所述吐出口吐出從所述泵輸送來的所述流體；蓄壓裝置，其設置於所述泵與所述噴嘴之間，且進行壓力之蓄積和釋放；開關閥，其用於切換所述蓄壓裝置與所述泵及所述噴嘴之連通和斷開；以及控制裝置，其進行如下控制，即：以正在透過所述泵輸送所述流體為條件將所述開關閥保持為打開狀態，並以停止輸送所述流體之時刻為基準使所述開關閥變為關閉狀態，所述控制裝置在所述泵停止運轉之前使所述開關閥變為關閉狀態。
7. 如申請專利範圍第6項所述之吐出系統，其中，所述蓄壓裝置隔著工作流體封裝空間而設置；封裝在所述工作流體封裝空間中的工作流體與從所述泵輸送來的所述流體相聯動地進行工作，從而在所述蓄壓裝置中進行壓力之蓄積和釋放。
8. 如申請專利範圍第7項所述之吐出系統，其中，所述蓄壓裝置具有受壓部，並經由所述受壓部進行壓力之蓄積和釋放； 所述工作流體封裝空間形成於從與所述受壓部相接之位置至超過所述開關閥之位置之間。
9. 如申請專利範圍第7項所述之吐出系統，其中，所述蓄壓裝置、所述開關閥以及所述工作流體封裝空間設置於單一的殼體中。

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