JP7341571B2 - 流体移送装置および同装置を備える塗布装置、並びに、塗布方法 - Google Patents

Description

ステータの内周面に当接する雄ねじ形状のロータを一軸偏心回転させることで流体を送出可能な流体移送装置および同装置を備える塗布装置、並びに、塗布方法に関する。

従来、一軸偏心ねじであるロータと、ロータが挿通されるステータとを備え、液体材料ないしは流動体を搬送する装置が知られており、この種の装置は一軸偏心ねじポンプまたはモーノポンプとも呼称される。当該装置のステータは、ロータの回転により弾性変形する締め代（シメシロ）を有しており、ステータの弾性作用を利用して液体材料ないしは流動体を搬送する。

例えば、特許文献１には、揮発性の高い液体や気体の溶解量が多い液体を吐出する場合に生じる気泡発生の問題を解決するために、吸込口から吐出口に向かう流動方向に向かってステータの貫通孔が構成する搬送空間の容積を小さくした流動体搬送装置が開示されている。

また、特許文献２には、流体搬送路の容積効率が１未満となりかつ吐出圧が高い状況下で使用した際に生じるステータの亀裂や破損の問題を防止するために、吐出口側におけるシメシロを吸込口側におけるシメシロよりも小さくした一軸偏心ねじポンプが開示されている。

特許第５８０２９１４号公報 特開２０１０－２４８９７９号公報

しかしながら、上記各文献の装置には、吐出口から流動体を吐出する際に脈動が生じ、均一な定量吐出を行うことができないという課題があった。
上記各文献の装置を流体循環回路に組み入れて循環ポンプとして使用する場合においては、循環回路の流れに脈動が生じ、一定の流れにならないという課題があった。
上記各文献の装置を用いて液体材料をワーク表面に吐出する場合においては、ワーク表面に線描画を行う際に脈動が生じると、線幅が不均一になるという課題が生じる。

そこで、本発明は、雌ねじ形状の挿通孔を有するステータ内で雄ねじ形状のロータを偏心回転させて流体を送出する際に生じる脈動の課題を解決することのできる流体移送装置および同装置を備える塗布装置、並びに、塗布方法を提供することを目的とする。

本発明の流体移送装置は、外筒と、前記外筒の内周面に設けられた雌ねじ形状の貫通孔である挿通孔を有するステータと、ロータ駆動部に接続され、前記ステータの内周面に当接しながら偏心回転する雄ねじ形状のロータと、を備え、前記挿通孔に挿通された前記ロータを偏心回転させることにより、前記ステータと前記ロータとが構成する搬送路において流体を移送可能な流体移送装置であって、前記ステータが、前記搬送路の流入口から長手方向にわたり一定の範囲をしめる流入口部分と、前記搬送路の流出口から長手方向にわたり一定の範囲をしめる流出口部分と、前記流入口部分および前記流出口部分の間に位置する中央部分と、を備えて構成され、前記ステータの前記流入口部分および前記流出口部分における前記ロータによる密着力が、前記中央部分における前記ロータによる密着力に比べ小さくなるように構成されていることを特徴とする。

上記流体移送装置において、前記ステータの前記流入口部分および前記流出口部分における前記ロータによるシメシロ量を、前記中央部分における前記ロータによるシメシロ量に比べ小さくなるように構成することにより、前記ステータの前記流入口部分および前記流出口部分における前記ロータによる密着力を、前記中央部分における前記ロータによる密着力に比べ小さくしたことを特徴としてもよい。
上記流体移送装置において、前記ロータによるシメシロ量が、前記中央部分から流出口または流入口に向かって徐々に小さくなるように構成されていることを特徴としてもよい。
上記流体移送装置において、前記中央部分は、長手方向にわたり前記ロータによる密着力が均一であることを特徴としてもよい。
上記流体移送装置において、（Ａ）前記搬送路の流入口における前記ロータと前記ステータの密着力がＡ１であり、前記搬送路の流入口から前記ロータの１巻き分の位置における前記ロータと前記ステータの密着力がＡ２であり、前記搬送路の流入口と前記搬送路の流入口から前記ロータの１巻き分の位置との間の位置における前記ロータと前記ステータの密着力がＡ３であり、前記搬送路の長手方向の中央部分における前記ロータと前記ステータの密着力がＡ４である場合に、Ａ４＞Ａ２＞Ａ３＞Ａ１の関係を有すること、（Ｂ）前記搬送路の流出口における前記ロータと前記ステータの密着力がＢ１であり、前記搬送路の流出口から前記ロータの１巻き分の位置における前記ロータと前記ステータの密着力がＢ２であり、前記搬送路の流出口と前記搬送路の流出口から前記ロータの１巻き分の位置との間の位置における前記ロータと前記ステータの密着力がＢ３であり、前記搬送路の長手方向の中央部分における前記ロータと前記ステータの密着力がＢ４である場合に、Ｂ４＞Ｂ２＞Ｂ３＞Ｂ１の関係を有することを特徴としてもよい。
上記流体移送装置において、前記挿通孔の長手方向の中央部分は、長手方向にわたり前記ロータによるシメシロ量が均一であることを特徴としてもよい。

上記流体移送装置において、（Ａ）前記搬送路の流入口における前記ロータと前記ステータのシメシロ量がＡ１であり、前記搬送路の流入口から前記ロータの１巻き分の位置における前記ロータと前記ステータのシメシロ量がＡ２であり、前記搬送路の流入口と前記搬送路の流入口から前記ロータの１巻き分の位置との間の位置における前記ロータと前記ステータのシメシロ量がＡ３であり、前記搬送路の長手方向の中央部分における前記ロータと前記ステータのシメシロ量がＡ４である場合に、Ａ４＞Ａ２＞Ａ３＞Ａ１の関係を有すること、（Ｂ）前記搬送路の流出口における前記ロータと前記ステータのシメシロ量がＢ１であり、前記搬送路の流出口から前記ロータの１巻き分の位置における前記ロータと前記ステータのシメシロ量がＢ２であり、前記搬送路の流出口と前記搬送路の流出口から前記ロータの１巻き分の位置との間の位置における前記ロータと前記ステータのシメシロ量がＢ３であり、前記搬送路の長手方向の中央部分における前記ロータと前記ステータのシメシロ量がＢ４である場合に、Ｂ４＞Ｂ２＞Ｂ３＞Ｂ１の関係を有することを特徴としてもよい。
上記流体移送装置において、前記挿通孔の長手方向の中央部分が、前記ロータの２巻き分以上の範囲にわたることを特徴としてもよい。
上記流体移送装置において、前記流入口部分が、前記搬送路の流入口から前記ロータの１巻き分超の範囲であり、前記流出口部分が、前記搬送路の流出口から前記ロータの１巻き分超の範囲であることを特徴としてもよい。
上記流体移送装置において、前記ステータの前記中央部分の長手方向の範囲が、前記流入口部分および前記流出口部分のそれぞれの長手方向の範囲よりも長いことを特徴としてもよい。
上記流体移送装置において、前記ステータの前記流入口部分および前記流出口部分における前記ロータによるシメシロと前記ステータの前記中央部分における前記ロータによるシメシロとのシメシロ量の比率が０．４～０．７：１であることを特徴としてもよい。

上記流体移送装置において、前記ステータの前記流入口部分および前記流出口部分における前記ロータとの密着力が、前記ステータの前記中央部分における前記ロータとの密着力に比べ小さくなるように、前記流入口部分および前記流出口部分における形状および／または材料特性が、前記中央部分と異なる仕様に設定されていることを特徴としてもよい。
上記流体移送装置において、前記ステータの流入口部分における前記ロータとの密着力が、前記ステータの前記中央部分における前記ロータとの密着力に比べ小さくなるように、前記搬送路の流入口部分において、前記ステータのシメシロ量と共に、前記ステータの材料特性および厚みのうち、いずれか一つの要素が前記挿通孔の中央部分と異なる仕様に設定されており、前記ステータの流出口部分における前記ロータとの密着力が、前記ステータの前記中央部分における前記ロータとの密着力に比べ小さくなるように、前記搬送路の流出口部分において、前記ステータのシメシロ量と共に、前記ステータの材料特性および厚みのうち、いずれか一つの要素が前記挿通孔の中央部分と異なる仕様に設定されていることを特徴としてもよい。
上記流体移送装置において、前記ステータの長手方向の中央部分が、前記ステータの流入口部分および／または流出口部分を構成する材料と比べ、弾性力が強い材料により構成されていることを特徴としてもよい。

上記流体移送装置において、前記外筒の上流端部分および下流端部分における内周面が、前記外筒の長手方向の中央部分と比べ拡径されていることを特徴としてもよい。
上記流体移送装置において、前記外筒の長手方向の中央部分が、同径の内周面を有することを特徴としてもよい。
上記流体移送装置において、前記外筒の長手方向の中央部分が、前記ステータと同ピッチの雌ねじ形状の内周面を有することを特徴としてもよい。
上記流体移送装置において、前記外筒の外周面において、前記雌ねじ形状の内周面と対応する位置に、凹凸形状が施されていることを特徴としてもよい。
上記流体移送装置において、前記外筒の上流端部分における内周面が、前記外筒の上流端に向かって拡径するテーパー面により構成され、前記外筒の下流端部分における内周面が、前記外筒の下流端に向かって拡径するテーパー面により構成されることを特徴としてもよい。
上記流体移送装置において、前記外筒が、同径の内周面を有する上流端部分内周面と、当該上流端部分内周面と前記中央部分を連絡する流入側テーパー面と、同径の内周面を有する下流端部分内周面と、当該下流端部分内周面と前記中央部分を連絡する流出側テーパー面と、を備えることを特徴としてもよい。
上記流体移送装置において、前記外筒の上流端部分における拡径された内周面の範囲が、前記外筒の下流端部分における拡径された内周面の範囲よりも長いことを特徴としてもよい。
上記流体移送装置において、前記ステータの前記流入口部分の範囲と前記ステータの前記中央部分の範囲の比率が３：５～１０であり、かつ、前記ステータの前記流出口部分の範囲と前記ステータの前記中央部分の範囲の比率が２：５～１０であることを特徴してもよい。

上記流体移送装置において、前記ステータが、前記ロータによるシメシロを有する搬送作用領域と、前記搬送作用領域よりも上流側に位置し、前記ロータと当接しない（シメシロを有しない）非搬送作用領域とから構成されていることを特徴としてもよい。
上記流体移送装置において、前記非搬送作用領域を構成する前記挿通孔の内周面が、前記挿通孔の中央部側から流入口側に向かって拡径するテーパー面により構成されていることを特徴としてもよい。
上記流体移送装置において、前記非搬送作用領域の容積が、前記搬送作用領域に位置し、前記ロータの偏心回転により開閉される前記挿通孔内の搬送空間のいずれの容積よりも小さいことを特徴としてもよい。
上記流体移送装置において、前記ステータの流入口部分および／または流出口部分における前記ロータとの密着力が、前記ロータが最上位置および最下位置にある際に最も弱いことを特徴としてもよい。
上記流体移送装置において、前記搬送路の流出口から流出する流体を吐出する吐出口を有するノズル部材をさらに備えた液体材料吐出装置であることを特徴としてもよい。

本発明の塗布装置は、上記に記載の流体移送装置と、前記流体移送装置と被塗布物とを相対移動させる相対移動装置と、を備える塗布装置である。

本発明の塗布方法は、上記塗布装置を用いて、ワーク表面に均一な線幅の線描画を行う塗布方法である。

本発明によれば、ステータ内でロータを偏心回転させて流体を送出する際に、送出された流体に生じる脈動の課題を解決することが可能となる。

第１実施形態例に係る液体材料吐出装置の要部断面側面図である。 第１実施形態例に係る外筒、ステータおよびロータの説明図であり、（ａ）はロータが最上位置（０°）にある際の側面断面図、（ｂ）は背面図、（ｃ）は（ａ）のＢ－Ｂ断面図、（ｄ）は（ａ）のＣ－Ｃ断面図、（ｅ）は外筒のみの側面断面図、（ｆ）は外筒のみの背面図である。 （ａ）は従来技術に係る外筒、ステータおよびロータの断面図であり、（ｂ）は第１実施形態例に係る外筒、ステータおよびロータの断面図である。 第１実施形態例に係るステータのシメシロを説明する断面図であり、（ａ）はステータの流入口部分の正面断面図、（ｂ）はステータの長手方向の中央部分の正面断面図である。 第１実施形態例に係る外筒、ステータおよびロータの断面図であり、（ａ）はロータが０°の位置にある際の側面断面図および正面断面図、（ｂ）はロータが９０°の位置にある際の側面断面図および正面断面図、（ｃ）はロータが１８０°の位置にある際の側面断面図および正面断面図、（ｄ）はロータが２７０°の位置にある際の側面断面図および正面断面図、（ｅ）はロータが３６０°の位置にある際の側面断面図および正面断面図である。 ステータのシメシロが小さい構成（左図）とシメシロが大きい構成（右図）における、０°から９０°までの搬送空間の形成状況を説明する対比図であり、（ａ）はロータが０°にある場合の正面断面図、（ｂ）は（ａ）からロータが回転した場合の正面断面図、（ｃ）は（ｂ）からロータがさらに回転した場合の正面断面図、（ｄ）はロータが９０°にある場合の正面断面図である。 ステータのシメシロが小さい構成（左図）とシメシロが大きい構成（右図）における、２７０°から３６０°までの搬送空間の形成状況を説明する対比図であり、（ａ）はロータが２７０°にある場合の正面断面図、（ｂ）は（ａ）からロータが回転した場合の正面断面図、（ｃ）は（ｂ）からロータがさらに回転した場合の正面断面図、（ｄ）はロータが３６０°（０°）にある場合の正面断面図である。 第２実施形態例に係る外筒、ステータおよびロータの説明図であり、（ａ）はロータが最上位置（０°）にある際の側面断面図、（ｂ）は背面図、（ｃ）は（ａ）のＢ－Ｂ断面図、（ｄ）は（ａ）のＣ－Ｃ断面図、（ｅ）は外筒のみの側面断面図、（ｆ）は外筒のみの背面図である。 第３実施形態例に係る外筒、ステータおよびロータの説明図であり、（ａ）はロータが最上位置（０°）にある際の側面断面図、（ｂ）は背面図、（ｃ）は（ａ）のＢ－Ｂ断面図、（ｄ）は（ａ）のＣ－Ｃ断面図、（ｅ）は外筒のみの側面断面図、（ｆ）は外筒のみの背面図である。 第４実施形態例に係る外筒、ステータおよびロータの説明図であり、（ａ）はロータが最上位置（０°）にある際の側面断面図、（ｂ）は背面図、（ｃ）は（ａ）のＢ－Ｂ断面図、（ｄ）は（ａ）のＣ－Ｃ断面図、（ｅ）は外筒のみの側面断面図、（ｆ）は外筒のみの背面図である。 第５実施形態例に係る外筒、ステータおよびロータの説明図であり、（ａ）はロータが最上位置（０°）にある際の側面断面図、（ｂ）は背面図、（ｃ）は（ａ）のＢ－Ｂ断面図、（ｄ）は（ａ）のＣ－Ｃ断面図、（ｅ）は外筒のみの側面断面図、（ｆ）は外筒のみの背面図である。 第６実施形態例に係る外筒、ステータおよびロータの説明図であり、（ａ）はロータが最上位置（０°）にある際の側面断面図、（ｂ）は（ａ）のＡ－Ａ断面図、（ｃ）は（ａ）のＢ－Ｂ断面図、（ｄ）は（ａ）のＣ－Ｃ断面図、（ｅ）はロータを図示省略した背面図である。

以下に、本発明の流体移送装置の実施形態例を液体材料吐出装置の例で説明する。ただし、本発明の技術思想は、液体材料吐出装置への適用に限定されるものでなく、例えば、流体循環回路に組み入れた循環ポンプにも適用可能である。また、流体移送装置により移送される流体は、液体材料に限定されず、粉体、ペースト等の流体物にも適用可能である。
＜第１実施形態例＞
図１は、第１実施形態例に係る液体材料吐出装置１の要部断面側面図である。以下では、説明の便宜上、ノズル部材１３側を前側（正面）と呼称し、ノズル部材１３と反対側を後ろ側（背面）と呼称する場合がある。
液体材料吐出装置１は、本体２の後ろ側に設けたロータ駆動装置３と、前側に設けたステータユニット１５とを備えて構成される。

本体２は、中空となっており、内部に連結部材４およびシャフト５が収容されている。シャフト５の後ろ側の端部は、カップリング６を介してロータ駆動装置３と連結されており、ロータ駆動装置３からの駆動力が伝達されるようになっている。ロータ駆動装置３によりシャフト５が回転すると連結部材４を介して接続されたロータ２０が偏心回転する。ロータ駆動装置３は、外部の汎用的な回動装置を組み合わせることができる。また、本体２の上面には供給管７が接続されており、図示しない貯留容器から液体材料が液体材料供給口８に供給される。ここで、貯留容器内の液体材料は、圧縮空気やピストンなどで加圧してもよい。供給管７の天面には、気泡抜き孔１４が設けられている。気泡抜き孔１４を栓で塞いだ状態で使用しても良い。本体２の後端部は、電力供給ケーブル（図示省略）が接続されるコネクタ９となっている。

ステータユニット１５は、ステータ１１と、ステータ１１を固定する外筒１０とから構成される。ステータユニット１５は、ねじ止め、チャック等の公知の手段により、ロータ駆動装置３に着脱自在に固定されており、上述のロータ駆動装置３の駆動によりロータ２０がステータ１１内で回転した際も、ズレやガタつき等は生じない。

外筒１０は、金属、セラミックスなどにより構成した筒体であり、本実施形態例では前端部から後端部まで同じ厚みで構成されている。外筒１０は、ステータ１１をしっかり固定しているので、ロータ駆動装置３の駆動により後述するロータ２０がステータ１１内で回転した際も、ステータ１１が外筒１０内で滑動してしまったり、外筒１０との間に隙間を生じてしまったりすることはない。外筒１０の前側端部は、液体材料出口（吐出口）を有するノズル部材１３と連通する。本実施形態例の液体材料吐出装置１は、塗布対象物であるワークとノズル部材１３とが任意の角度で対向するように保持して使用される。図１では、外筒１０の外周を同径ストレート形状としているが、図示の形状に限定されるものではなく、例えば、段差や湾曲を含む外周形状としてもよい。また、外筒１０の内周面の凹凸に沿った凹凸のある外周形状とすることで、外筒１０の内周面を可視化してもよい。また、外筒１０の外周面に溝、ねじ、フランジなどを設けてもよい。なお、図１では外筒１０とステータ１１を略して描写しているので、これらの詳細な説明は図２以降を参酌しながら行うこととする。

図２は、第１実施形態例に係る外筒１０、ステータ１１およびロータ２０の説明図であり、（ａ）はロータ２０が最上位置（０°）にある際の側面断面図、（ｂ）は背面図、（ｃ）は（ａ）のＢ－Ｂ断面図、（ｄ）は（ａ）のＣ－Ｃ断面図、（ｅ）は外筒１０のみの側面断面図、（ｆ）は外筒１０のみの背面図である。図２（ａ）および（ｅ）においては、左側端面に挿通孔１２の流出口を有し、右側端面に挿通孔１２の流入口を有する。

図２（ａ）に示すように、外筒１０内には、ステータ１１が、外筒１０の内周面に密着した状態で配置されている。ステータ１１は、雌ねじ状の内周面を有する挿通孔１２を有しており、前記挿通孔１２内に配置された雄ねじ状の外周面を有するロータ２０と協働して搬送路を構成する。すなわち、搬送路はステータ１１とロータ２０とで形成される流路であり、ステータ１１にロータ２０が挿通された状態ではじめて発現する流路である。図２（ａ）においては、外筒１０の右側末端が搬送路の開始位置（搬送路の流入口）であり、外筒１０の左側末端が搬送路の終了位置（搬送路の流出口）である。挿通孔１２内において偏心回転するロータ２０と固定されたステータ１１とが密着摺動して、搬送路内の液体材料を移送するよう作用する搬送作用領域を構成する。本実施形態例においては、挿通孔１２の右側末端から左側末端までが搬送作用領域を構成する（なお、後述の図１２に示す挿通孔１２には非搬送作用領域も含まれる。）。

ステータ１１は、ゴムや樹脂等の弾性材料により構成された弾性体である。ステータ１１は、挿通孔１２に挿通されたロータ２０に押圧されて弾性変形するシメシロ（締め代）を有しており、ロータ２０の回転により生じる弾性作用により挿通孔１２内の液体材料を搬送する。ここで、シメシロ（締め代）は「締め付け代」であり、重なり合う厚み（寸法差、シメシロ量）のことである。本実施形態例では、ステータ１１の内周面を２条の雌ねじ形状としており、ロータ２０と当接する範囲においては同ピッチとしている。
なお、ステータ１１の雌ねじ形状は例示の２条に限定されるものでなく、任意の雌ねじ形状とすることが可能である。ステータ１１の条数を変える場合には、ロータ２０の条数ｎより１つ多いｎ＋１条とする。また、ステータ１１の雌ねじの巻き方向は、左巻き（左ねじ）右巻き（右ねじ）のどちらでもよい。本明細書においては、液体材料の進行方向に対し、右巻きとなるステータについて説明する。

ロータ２０は、１条の雄ねじ形状である。ロータ２０は、ステータ１１の挿通孔１２内に配置され、偏心回転することで挿通孔１２内に２系統の搬送路を動的に形成する。より詳細には、前記２系統の搬送路の各々において、ロータ２０の回転周期において１８０°位相がずれたキャビティ（密閉空間）が順次形成され、液体材料で満たされたキャビティが流入口側から流出口側に移動することで液体材料が搬送される。ロータ２０は、後ろ側の端部が連結部材４を介してシャフト５と連結されており、ロータ駆動装置３からの駆動力がシャフト５に伝達されることでロータ２０が偏心回転する。ロータ２０の径は、少なくともステータ１１と当接する範囲においては同径かつ同ピッチである。
なお、ロータ２０の雄ねじ形状は１条に限定されるものでなく、ステータ１１の内周面の形状に合わせて任意の雄ねじ形状とすることが可能である。本実施形態例では、ロータ２０の外周面の雄ネジ形状を、その長手方向において一様に形成されている構成にて説明したが、ロータ２０の外周面の雄ネジ形状は一様でなくともよい。ロータ２０の外周面の雄ネジ形状に応じた雌ネジ形状にステータ１１の内周面をすることにより、搬送路の中央部分のシメシロを厚く、両端部のシメシロを薄く構成することが可能である。

図２（ｂ）に示すように、ロータ２０が最上位置にあるとき、流入口部分において、ロータ２０の下側には開口面積が最大となる第１系統のキャビティを構成する搬送空間２１ａが形成され、供給管７から液体材料が供給される。図示の位置からロータ２０が回転すると、流入口部分において、ロータ２０の上側に第２系統のキャビティを構成する搬送空間２２ａ（後述の図５参照）が動的に形成され、搬送空間２１ａの開口面積が縮小する。
図２（ｃ）に示すように、ロータ２０が最上位置にあるとき、Ｂ－Ｂ線の位置において、ロータ２０の下側には第１系統のキャビティを構成する搬送空間２１ｃが形成される（図５（ａ）参照）。図示の位置からロータ２０が回転すると、ロータ２０の下側の搬送空間２１ｃの断面積が縮小し、ロータ２０の上側に第２系統のキャビティを構成する搬送空間２２ｃを生じ、ロータ２０の回転に伴いさらにその断面積を拡大する（後述の図５（ｂ）参照）。
図２（ｄ）に示すように、ロータ２０が最上位置にあるとき、Ｃ－Ｃ線の位置において、ロータ２０の左右側には搬送空間２３，２４が形成される。ここで、搬送空間２３は、搬送空間２１ｃおよび２２ｂと連通して第１系統のキャビティを構成し、搬送空間２４は、搬送空間２１ｂおよび２２ｃと連通して第２系統のキャビティを構成する（搬送空間２１ｂ，２１ｃ，２２ｂ，２２ｃの位置については、図５を参照）。図示の位置からロータ２０が回転すると、ロータ２０の左右側の搬送空間２３，２４の一方の断面積が縮小し、他方の断面積が拡大する。例えば、ロータ２０が０°から９０°に回転すると、搬送空間２３は閉じ、搬送空間２４は最大断面積となる。

このように、ロータ２０が回転すると、ステータ１１の流路方向に垂直な方向（Ｂ－Ｂ断面、Ｃ－Ｃ断面を含む）の各断面においてロータ２０を挟んで対向する位置に搬送空間が２系統ずつ形成および閉鎖する動作が繰り返されることで、液体材料で満たされたキャビティが流出口側へ移動する。挿通孔１２内の２系統の搬送路を通過した搬送された液体材料は合流し、ノズル部材１３から吐出される。２系統の搬送路で搬送される液体材料の脈動を防ぐためには、各搬送路の各キャビティが充分に満たされる量の液体材料が供給されることと、２系統の搬送路を搬送される液体材料の合流を円滑にする必要がある。これら条件を実現するためには、挿通孔１２の流入口部分および流出口部分におけるロータ２０とステータ１１の密着力を調整することが重要である。

（ステータの密着力の調整）
本発明は、ロータとステータが接触する部分において、ステータの締め付け力を、その中央部分よりも両端部で小さくすることにより、脈動の課題を解決している。言い換えれば、ロータおよびステータの長手方向における密着力の分布を、ステータの中央部分よりも両端部で小さくすることで、脈動の課題を解決している。ステータ１１は、ロータ２０との密着力により３つの領域に分けられる。すなわち、ステータ１１は、ロータ２０との密着力が一定の中央部分と、ロータ２０との密着力が中央部分よりも小さい流入口部分（中央部分より流入口側の領域）と、ロータ２０との密着力が中央部分よりも小さい流出口部分（中央部分より流出口側の領域）と、に分けられる。図３（ｂ）の例では、Ｂ_１３とＢ_２３の間の部分が中央部分、Ｂ_１３とＢ_１１の間の部分が入口部分、Ｂ_２３とＢ_２１の間の部分が出口部分である。
ステータの密着力の調整は、ステータの形状（例えば、シメシロ量、厚み）および／またはステータの材料特性（例えば、反発力（反発弾性率）、硬度）の調整により行うことができる。第１実施形態例では、上記の３つの領域からなるステータ１１の密着力をシメシロ量を調整することで実現している。すなわち、ステータ１１の長手方向においてシメシロ量が一定の中央部分と比べ、両端部のシメシロ量を小さくすることで密着力を調整し、脈動の課題を解決している。以下では、図２ないし図４を参照しながら、第１実施形態例におけるステータ１１の密着力の調整方法を詳細に説明する。

ステータ１１のロータ２０が当接する部分は、ロータ２０により押圧されてシメシロＳ_１１，Ｓ_１２を構成する。図２（ａ）において黒塗りで描画されたシメシロＳ_１１，Ｓ_１２を見ると分かるように、第１実施形態例では、外筒１０の内周面に密接するように配置されたステータ１１は、両端部付近のシメシロＳ_１１，Ｓ_１２が長手方向の中央部分と比べて小さくなるように構成されている。ここで、ステータ１１の長手方向とは、流入口から流出口に向かう方向または流出口から流入口に向かう方向と同義であり、径方向と直交する方向である。ステータ１１は、シメシロ量が一定の中央部分１１ｃと、その中央部分１１ｃから流入口（上流）に向かって徐々に（段階的に）シメシロ量が小さくなる流入口部分１１ａと、同じく中央部分１１ｃから流出口（下流）に向かって徐々に（段階的に）シメシロ量が小さくなる流出口部分１１ｂと、を備えている。ステータ１１の流入口部分１１ａおよび流出口部分１１ｂのステータ厚は、中央部分１１ｃと比べ薄肉に構成することでシメシロ量を小さくしているので、ロータ２０とステータ１１の密着力は中央部分１１ｃと比べ弱くなっている。第１実施形態例におけるステータ１１の両端部と長手方向の中央部分のシメシロの量的比率は、例えば、両端部：中央部分＝０．４～０．７：１である。なお、長手方向におけるステータ１１の流入口部分１１ａおよび流出口部分１１ｂの範囲（長手方向の長さ）と、挿通孔１２の流入口部分および流出口部分の範囲（長手方向の長さ）は同一である。

図３（ａ）は、従来技術に係る外筒１１０、ステータ１１１およびロータ１２０の側面断面図であり、（ｂ）は、第１実施形態例に係る外筒１０、ステータ１１およびロータ２０の側面断面図である。図３（ａ）において黒塗りで描画されたシメシロＳ_２１，Ｓ_２２を見ると分かるように、従来技術においては、外筒１１０の長手方向における内周面の径が一定であるとともに、その内側に配置されるステータ１１１の内周面（雌ネジ形状）もその長手方向において一様に形成されており、また、ロータ１２０外周面の雄ネジ形状について、その長手方向において一様に形成されている。よって、ロータ１２０とステータ１１とが協働して形成されるシメシロも一定である。すなわち、外筒１１０の長手方向の全体にわたってシメシロＳ_２１，Ｓ_２２の量は一定である。このため、従来技術においては、２系統の搬送路を通過した液体材料が合流する際に脈動が生じやすいという課題が存在する。
また、従来技術においては、ステータ１１１の流入口に充分な液体材料の供給が行われないことから、脈動が生じやすいという課題も存在する。具体的には、シメシロの範囲内をロータ１２０が動く時間においては、液体材料の搬送空間への供給が行われない時間が発生する。例えば、ロータが３５５°の位置でシメシロによりステータ１１１の流入口の開口が閉じる装置では、３５５°から３６０°まで（および０°～５°まで）の回転の間、液体材料が供給されない状態となる。３５５°から３６０°まで（および０°～５°まで）の回転の分だけ液体材料の供給量が減少することは、減少した液体材料が搬送されることによる吐出量の減少につながり、脈動の原因となる。

一方、第１実施形態例は、図３（ｂ）において黒塗りで描画されたシメシロＳ_１１，Ｓ_１２を見ると分かるように、外筒１０の両端付近のシメシロＳ_１１，Ｓ_１２の範囲が中央部分と比べて小さくなるように構成されている。より詳細には、外筒１０の内径の大きさは長手方向にわたって一定であるが、その内側に配置されるステータ１１の内周面（雌ネジ形状）は挿通孔１２の中央部右側のＢ_１３の位置から流入口の位置Ｂ_１１に向かって段階的に拡径するよう構成されている。よって、ロータ２０とステータ１１とが協働して形成されるシメシロ量が流入口に向かって少なくなるよう構成されている（Ｂ_１３＞Ｂ_１２＞Ｂ_１１）。流出口部分も同様に、ステータ１１の内周面（雌ネジ形状）は、挿通孔１２の中央部左側のＢ_２３の位置から流出口の位置Ｂ_２１に向かって同じく段階的に拡径するよう構成されている。よって、ロータ２０と協働して形成されるシメシロ量が流出口に向かって少なくなるように構成されている（Ｂ_２３＞Ｂ_２２＞Ｂ_２１）。このため、第１実施形態例は、２系統の搬送路を通過した液体材料が合流する際に脈動が生じやすいという課題やステータの流入口に充分な液体材料の供給が行われないことから脈動が生じやすいという課題を解決することが可能である。例えば、本発明では、ロータが３６０°の位置で最上位置に位置する場合、３５８°に達するまで（好ましくは３５９°に達するまで、より好ましくは３６０°に達する直前まで）流入口側端部の搬送空間（搬送路の流入口）に液体材料が供給される状態となる。同様に１７８°に達するまで（好ましくは１７９°に達するまで、より好ましくは１８０°に達する直前まで）流入口側端部の他の系統の搬送空間（搬送路の流入口）に液体材料が供給される状態となる。

図４（ａ）は挿通孔１２の流入口部分においてロータ２０が最上位置（０°）にある場合の断面図であり、図４（ｂ）は挿通孔１２の長手方向の中央部分においてロータ２０が最上位置（０°）にある場合の断面図である。図４（ａ）に示す挿通孔１２の流入口部分の開口に必要な移動長（Ｓ_１から開口位置Ｈ_１まで）は、図４（ｂ）に示す挿通孔１２の長手方向の中央部分の開口に必要な移動長（Ｓ_２から開口位置Ｈ_２まで）と比べ短いが、ロータ２０の上端の位置は同じである。すなわち、挿通孔１２の流入口部分のシメシロＳ_１（図４（ａ））は、中央部分のシメシロＳ_２（図４（ｂ））と比べてＰ_１だけ小さくなっているので、搬送路の流入口へ液体材料が供給されやすい。
多くの液体材料をキャビティへ速やかに受け入れるとの観点からは、搬送路の流入口を早く開口すること（閉口されている時間を短くすること）が重要である。

（液体材料の搬送作用）
図５を参照しながら、ロータ２０の回転動作により生じる液体材料の搬送作用を説明する。
図５（ａ）に示すように、ロータ２０が０°の位置（最上位置）にあるとき、ロータ２０の下側の最上流にキャビティを構成する搬送空間２１ａが表れ、搬送空間２１ａは供給管７から供給された液体材料で満たされる。ロータ２０が０°の位置では、ロータ２０の上側の搬送空間は閉じている。
図５（ｂ）に示すように、ロータ２０が回転して９０°の位置になると、ロータ２０の上側の最上流にキャビティを構成する搬送空間２２ａが表れる。ここでも、最上流の搬送空間２２ａは、供給管７から供給された液体材料で満たされる。搬送空間２２ｂは同図の紙面奥行き方向手前側（流入口側から見て左側）において、ロータ２０の下側の搬送空間２１ａと繋がってキャビティを構成しており（図２（ｄ）の搬送空間２４参照）、ロータ２０の下側の搬送空間２１ａの断面領域が減少することに伴い、搬送空間２１ａに存在していた液体材料が搬送空間２２ｂ方向に移動する。なお、説明上、一のキャビティを形成する搬送空間２１ａと搬送空間２２ｂに、それぞれ異なる番号を付している。以下同様である。
図５（ｃ）に示すように、ロータ２０が回転して１８０°の位置（最下位置）になると、正面断面図からわかるようにロータ２０の上側の搬送空間２２ａは最大開口となる。他方で、ロータ２０の下側の搬送空間２１ａは閉鎖され、搬送空間２１ａに存在していた液体材料は搬送空間２２ｂ方向に移動する。最大開口となった搬送空間２２ａ内は、供給管７から供給された液体材料で満たされている。

図５（ｄ）に示すように、ロータ２０が回転して２７０°の位置になると、ロータ２０の上側のキャビティを構成する搬送空間２２ａの断面領域は小さくなる。搬送空間２２ａは同図の紙面奥行き方向奥側（流入口側から見て右側）において、ロータ２０の下側の搬送空間２１ｂと繋がってキャビティを構成しており（図２（ｄ）の搬送空間２３参照）、搬送空間２２ａの断面領域が減少することに伴い、搬送空間２２ａに存在していた液体材料は搬送空間２１ｂ方向に移動する。また、搬送空間２２ｂの断面領域が減少することに伴い、搬送空間２２ｂに存在していた液体材料は搬送空間２１ｃの方向に移動する。ロータ２０の下側の最上流に搬送空間２１ａが再び表れると、この搬送空間２１ａは供給管７から供給された液体材料で満たされる。
図５（ｅ）に示すように、ロータ２０が回転して３６０°の位置になると、ロータ２０の上側のキャビティを構成する搬送空間２２ａは閉鎖される。この過程で、搬送空間２２ｂに存在していた液体材料は搬送空間２１ｃ方向に移動し、搬送空間２２ａに存在していた液体材料は搬送空間２１ｂ方向に移動する。ロータ２０の下側の最上流に搬送空間２１ａが再び表れると、この搬送空間２１ａは供給管７から供給された液体材料で満たされる。ここで、ロータ２０の下側に表れた各搬送空間２１ａ，２１ｂ，２１ｃ・・・は、ロータ２０とステータ１１の密着により、それぞれが分断されたキャビティを構成している。
以上のように、ロータ２０が０°から３６０°まで回転する動作を繰り返すことにより、挿通孔１２内を流入口側から流出口側に向かって液体材料が搬送される。ロータ２０を回転させて液体材料を搬送する際には、充分な量の液体材料でキャビティを満たすことが脈動を防止するためには重要である。特に、ロータ２０が最上位置（０°）および最下位置（１８０°）にある際のステータ１１との密着力を小さくすることが好ましい。

（シメシロ量と搬送空間の関係）
シメシロが小さい構成と大きい構成における搬送空間の形成状況について、図６～７を参酌しながら補足説明をする。
図６は、ステータ１１のシメシロが小さい構成（左図）とシメシロが大きい構成（右図）における、０°から９０°までの搬送空間の形成状況を説明する対比図である。
図６（ａ）に示すように、ロータ２０が最上位置（０°）にあるときは、シメシロが小さい構成（左図）とシメシロが大きい構成（右図）のいずれにおいても、ロータ２０の上側に搬送空間は形成されていない。
図６（ｂ）に示すように、ロータ２０が回転して最上位置から幾分下がると、シメシロが小さい構成（左図）ではロータ２０の上側に搬送空間２２が形成される。一方、シメシロが大きい構成（右図）においては、ロータ２０の上側に搬送空間２２は形成されていない。
図６（ｃ）に示すように、ロータ２０がさらに回転すると、シメシロが大きい構成（右図）においても、ロータ２０の上側に搬送空間２２が形成される。一方、シメシロが小さい構成（左図）ではロータ２０の上側にシメシロが大きい構成（右図）よりも断面が大きな搬送空間２２が形成される。
図６（ｄ）に示すように、ロータ２０が９０°回転すると、シメシロが小さい構成（左図）とシメシロが大きい構成（右図）のいずれにおいても、ロータ２０の上側および下側に断面が同じ大きさの搬送空間２１，２２が形成される。
図６から分かるように、ステータ１１のシメシロが小さいとロータ２０とステータ１１との密着が早くに解ける。特に、ステータ１１の流出口部分にシメシロが小さい構成を採用すると、ロータ２０とステータ１１との密着が早くに解け、搬送路内に形成されたキャビティ内の液体材料を速やかに流出させることができるので好ましい。

図７は、ステータ１１のシメシロが小さい構成（左図）とシメシロが大きい構成（右図）における、２７０°から３６０°までの搬送空間の形成状況を説明する対比図である。
図７（ａ）に示すように、ロータ２０が２７０°回転すると、シメシロが小さい構成（左図）とシメシロが大きい構成（右図）のいずれにおいても、ロータ２０の上側および下側に断面が同じ大きさの搬送空間２１，２２が形成される。
図７（ｂ）に示すように、ロータ２０が２７０°から少し回転した状態では、シメシロが大きい構成（右図）においても、ロータ２０の上側の搬送空間２２の断面領域が小さくなっている。一方、シメシロが小さい構成（左図）ではロータ２０の上側にシメシロが大きい構成（右図）よりも断面領域が大きな搬送空間２２が維持される。
図７（ｃ）に示すように、ロータ２０がさらに回転して最上位置に幾分近づくと、シメシロが小さい構成（左図）ではロータ２０の上側の搬送空間２２の断面領域は小さくなるが、閉じられない。一方、シメシロが大きい構成（右図）においては、ロータ２０の上側の搬送空間２２は閉じられる。
図７（ｄ）に示すように、ロータ２０が最上位置（３６０°（０°））にあるときは、シメシロが小さい構成（左図）とシメシロが大きい構成（右図）のいずれにおいても、ロータ２０の上側の搬送空間は閉じられる。

図７から分かるように、シメシロが大きい場合は、ロータ２０が回転してステータ１１と接触し始めるのが早くなる（図７（ｃ）参照）。ロータ２０とステータ１１が接触した部分では、搬送空間が閉じてステータ１１に流入口から液体材料の充填がされなくなるが、ロータ２０は最大密着位置（図７（ｄ））までの間も回転し、既に閉じられたキャビティの容積を拡大させ続けるため、液体材料が充分に満たされていないキャビティを形成することがある。ステータ１１の流出口部分で液体材料で充分に満たされないキャビティがノズル部材１３へ開口したときに、液体材料をノズル部材１３の吐出口から吸い込むことがあり、これが脈動の原因となる。つまり、シメシロを小さくし、液体材料が完全に充填されたキャビティを常に形成することで、脈動を解消する効果を得ることができる。

（シメシロを相対的に小さくする範囲）
ステータ１１においてシメシロを相対的に小さくする範囲について補足説明をする。以下で説明する「範囲」は、特に断りがない限り、ステータ１１の長手方向の長さの範囲である。
第１実施形態例では、ステータ１１の長手方向の全体にわたってシメシロが設けられており、ステータ１１の長手方向における中央部分のシメシロの範囲が、ステータ１１の長手方向における流入口部分および流出口部分の各シメシロの範囲と比べて長く構成されている。図３（ｂ）の例では、Ｂ_１３～Ｂ_２３の部分が挿通孔１２に形成される搬送路の長手方向における中央部分であり、Ｂ_１１～Ｂ_１３の部分が挿通孔１２に形成される搬送路の流入口部分であり、Ｂ_２１～Ｂ_２３の部分が挿通孔１２に形成される搬送路の流出口部分である。

上述の２系統の搬送路内のキャビティはロータ２０の回転に対して１８０°位相がずれて進むため、２系統の搬送路のうち、いずれかでシメシロを小さくした効果を常時得ようとする場合は、ステータ１１内の搬送路の両端部からロータ２０の１巻き分の範囲のシメシロを小さくすればよい。２系統の搬送路の両方でシメシロを小さくした効果を常時得ようとする場合は、ステータ１１内の搬送路の両端部からロータ２０の１巻きから２巻き分の範囲のシメシロを小さくする必要がある。
ステータ１１の流入口部分のシメシロを小さくすることは、搬送路の流入口へ液体材料が十分に供給されることが目的である。この目的を達成するためには、ステータ１１の流入口側の端部からロータ２０の１巻き分以上の範囲のシメシロを小さくするのがよく、好ましくは流入口側の端部よりロータ２０の１．２巻き分以上、より好ましくは流入口側の端部よりロータ２０の１．５巻き分以上とする。

一方、ステータ１１の流出口部分のシメシロを小さくすることは、キャビティ内の液体材料がノズル部材１３へ、円滑に移動できるようにすることが目的である。この目的を達成するためには、２系統の搬送路のうちいずれかでシメシロを小さくした効果を常時得られればよいため、ステータ１１の流出口側の端部からロータ２０の１巻き分の範囲のシメシロを小さくすればよい。このような範囲でシメシロを小さく構成すれば、脈動を防ぐことが可能である。
シメシロを小さく構成することによる作用効果は、ロータ２０とステータ１１とが密着する範囲内において有効であり、例えば、部品の面取りなどにより、挿通孔１２内にロータ２０とステータ１１とが常時当接しないしない範囲（非搬送作用領域）がある場合は、これを除いた中央寄りの範囲（搬送作用領域）を対象とする。

本装置におけるロータ２０の最小長さは、２巻きである。ここで、搬送路の中央部分において液体材料の搬送を確実に行うために、ステータ１１の長手方向の中央部分の範囲をロータ２巻き以上とすることが好ましい。また、ステータ１１およびロータ２０の全長は４巻き以上とすることが好ましく、弾性体の製造公差を考慮すると４．５巻き以上とすることがより好ましい。別の観点からは、ステータ１１の長手方向の中央部分の範囲を、ステータ１１の流入口部分および流出口部分の範囲のいずれよりも長くすることが好ましい。そうすると、本発明の効果を得るためには、ステータ１１の中央部分の長さ（範囲）を最も短くした場合の流入口部分：中央部分：流出口部分の比率は１：２：１であり、中央部分の比率は２以上であってもよい。流入口部分の範囲が流出口部分の範囲よりも長い方が好ましいとの観点からは、ステータ１１の中央部分の長さを最も短くした場合の比率は、流入口部分：中央部分：流出口部分＝３：５：２であり、中央部分の比率は５以上であってもよい。

別の観点からは、ステータ１１の長手方向の流入口部分の範囲と長手方向の中央部分の範囲の比率を３：５～１０とし、かつ、ステータ１１の長手方向の流出口部分と中央部分の範囲の比率を、２：２～１０とすることが開示される。ここでも、ステータ１の長手方向の流入口部分の範囲を、ステータ１の長手方向の流出口部分の範囲と比べて長く構成することが好ましい。
また、第１実施形態例においては、ステータ１１の両端部付近のシメシロ量が両端部に向けて段階的に（言い換えれば徐々に）小さくなるように構成されている。図３（ｂ）の例で説明すると、ステータ１１の流入口部分（または流出口部分）を長手方向に沿って３区分した場合、流入口の位置Ｂ_１１（または流出口の位置Ｂ_２１）のシメシロ量が最も小さく、次いで流入口部分の中間点の位置Ｂ_１２（または流出口部分の中間点の位置Ｂ_２２）のシメシロ量が小さい。このようなシメシロ量の変化が見られればシメシロ量が段階的に小さくなっているということができる。しかしながら、本発明のシメシロ量を段階的に（言い換えれば徐々に）小さくする概念には、例示された態様に限定されず、ステータ１１の流入口部分および流出口部分においてシメシロ量が無段階に小さくなる態様や非均等に段階的に小さくなる態様も含まれる。

以上に説明した、第１実施形態例においては、ステータ１１の両端部付近のシメシロＳ_１１，Ｓ_１２が中央部分と比べて小さくなるように構成されており、ステータ１１の中央部分と比べ両端部付近の密着力を小さくすることができるので、脈動の問題を解決することが可能である。したがって、本実施形態例の液体材料吐出装置１を相対移動装置を備える塗布装置に搭載することで、ワーク表面に線幅が均一な線描画を行うことが可能である。相対移動装置は、例えば、公知のＸＹＺ軸サーボモータとボールネジとを備えて構成され、液体材料吐出装置１の吐出口をワークの任意の位置に、任意の速度で移動させることが可能である。

＜第２実施形態例＞
図８は、第２実施形態例に係る外筒２１０、ステータ２１１およびロータ２２０の説明図であり、（ａ）はロータ２２０が最上位置（０°）にある際の側面断面図、（ｂ）は背面図、（ｃ）は（ａ）のＢ－Ｂ断面図、（ｄ）は（ａ）のＣ－Ｃ断面図、（ｅ）は外筒２１０のみの側面断面図、（ｆ）は外筒２１０の背面図である。なお、第２実施形態例は、外筒２１０およびステータ２１１以外の構成については、第１実施形態例と同様であるので、説明を省略する。

図８（ａ）および（ｅ）に示すように、本実施形態例の外筒２１０は、中央部分と比べ両端部付近で内径が徐々に拡大するように構成されている。外筒２１０は、流入口に向かってテーパー状に拡径する流入口側内周面２１０ａと、流出口に向かってテーパー状に拡径する流出口側内周面２１０ｂと、長手方向にわたって同径の円柱状空間を構成する中央部分内周面２１０ｃと、を備えている。このように、外筒２１０は、中央部分から流入口および流出口に向かって拡径するように内周面に勾配が設けられており、上流端部分および下流端部分に円錐台形状の空間が形成されている。すなわち、第２実施形態例の外筒２１０は、挿通孔２１２の流入口部分および流出口部分と対応する位置において、段階的に（言い換えれば徐々に）拡径している。ここにいう、段階的に（言い換えれば徐々に）拡径する概念には、図８に例示された無段階に拡径する態様に限定されず、非均等に段階的に小さくなる態様も含まれる。

図８（ｃ）に示すように、ロータ２２０が最上位置にあるとき、Ｂ－Ｂ線の位置において、ロータ２２０の下側には搬送空間２２１ｃが形成される。図示の位置からロータ２２０が回転すると、ロータ２２０の下側の搬送空間２２１ｃの断面積が縮小し、ロータ２２０の上側に搬送空間２２２ｃ（不図示）を生じ、ロータ２２０が回転に伴いさらにその断面積を拡大する。図８（ａ）に示すように、ロータ２２０が最上位置にあるとき、ロータ２２０の下側の最上流には開口面積が最大となる搬送空間２２１ａが形成される。図示の位置からロータ２２０が回転すると、ロータ２２０の上側に搬送路の流入口として機能する搬送空間２２２ａ（不図示）が動的に形成され、搬送空間２２１ａの開口面積が縮小する。
図８（ｄ）に示すように、Ｃ－Ｃ線の位置において、ロータ２２０の左右側には搬送空間２２３，２２４が形成される。ここで、搬送空間２２３は、搬送空間２２１ｃと連通してキャビティを構成し、搬送空間２２４は、搬送空間２２２ｃと連通してキャビティを構成する。図示の位置からロータ２２０が回転すると、ロータ２２０の左右側の搬送空間２２３，２２４の一方の断面積が縮小し、他方の断面積が拡大する。例えば、ロータ２２０が０°から９０°まで回転すると、搬送空間２２３は閉じ、搬送空間２２４は最大断面積となる。
このように、ロータ２２０が回転すると、ステータ２１１の流路方向に垂直な方向（Ｂ－Ｂ断面、Ｃ－Ｃ断面を含む）の各断面において、ロータ２２０を挟んで対向する位置に搬送空間が２系統ずつ形成および閉鎖する動作が繰り返され、挿通孔２１２内を液体材料が搬送される。

弾性材料からなるステータ２１１は、外筒２１０の内周面（２１０ａ，２１０ｂ，２１０ｃ）に密着した状態で配置されている。ステータ２１１は、ロータ２２０の回転動作によって外筒２１０に対しステータ２１１が回転移動してしまい、外筒２１０とステータ２１１との相対位置がズレてしまうことがないようにステータ２１１に固定される。例えば、外筒２１０とステータ２１１とは接着固定される。図８（ａ）において黒塗りで描画されたシメシロＳ_２１１，Ｓ_２１２を見ると分かるように、シメシロＳ_２１１，Ｓ_２１２の量が一定のステータ１の長手方向の中央部分２１１ｃと比べ、流入口部分２１１ａおよび流出口部分２１１ｂのシメシロＳ_２１１，Ｓ_２１２のシメシロ量は徐々に小さくなっている。加えて、ステータ２１１の流入口部分２１１ａおよび流出口部分２１１ｂは、長手方向の中央部分２１１ｃと比べ肉厚に構成されているので、流入口部分および流入口部分におけるロータ２２０とステータ２１１の密着力は中央部分と比べ一段と弱くなっている。すなわち、第２実施形態例では、ステータ２１１の長手方向の中央部分と流入口部分および流出口部分の密着力の差は、第１実施形態例よりも大きくなっている。
本実施形態例では、端部に向かって徐々に（段階的に）径方向の厚みが厚くなるステータ２１１の流入口部分２１１ａおよび流出口部分２１１ｂを備えているので、ロータ２２０とステータ２１１の密着力は端部に向かって徐々に（段階的に）弱くなる。ただし、外筒２１０の両端部における径方向の厚みを中央部分よりも薄く構成する態様は、第２実施形態例の態様に限られない。例えば、外筒２１０の中央部分から上流端部分および下流端部分に向けて放物線を描くように丸みを付けて径方向の厚みが薄くなるように構成したり、階段状に径方向の厚みが薄くなるように構成したりしてもよい。

以上に説明した第２実施形態例においては、ステータ２１１の両端部付近（流入口部分および流出口部分）のシメシロＳ_２１１，Ｓ_２１２が中央部分と比べて小さくなるように構成されており、挿通孔２１２の流入口部分および流出口部分におけるロータ２２０とステータ２１１の密着力が中央部分よりも弱くなっているので、脈動の問題を解決することが可能である。したがって、本実施形態例の液体材料吐出装置１を相対移動装置を備える塗布装置に搭載することで、ワーク表面に線幅が均一な線描画を行うことが可能である。
また、外筒２１０の両端部における内径を中央部分よりも拡大することにより、ステータ２１１の流入口部分２１１ａおよび流出口部分２１１ｂが滑らかに拡径することで端部に向かって徐々に（段階的に）径方向の厚みが厚くなっているので、ステータ２１１の流入口への液体材料の受け入れ、および流出口からの液体材料の排出を円滑に行うことが可能である。

＜第３実施形態例＞
図９は、第３実施形態例に係る外筒３１０、ステータ３１１およびロータ３２０の説明図であり、（ａ）はロータ３２０が最上位置（０°）にある際の側面断面図、（ｂ）は背面図、（ｃ）は（ａ）のＢ－Ｂ断面図、（ｄ）は（ａ）のＣ－Ｃ断面図、（ｅ）は外筒３１０のみの側面断面図、（ｆ）は外筒３１０の背面図である。なお、第３実施形態例は、外筒３１０およびステータ３１１以外の構成については、第１実施形態例と同様であるので、説明を省略する。

図９（ａ）および（ｅ）に示すように、本実施形態例の外筒３１０は、流入口に向かってテーパー状に拡径する流入口側内周面３１０ａと、流出口に向かってテーパー状に拡径する流出口側内周面３１０ｂと、ステータ３１１の内周面の雌ねじ形状と同ピッチの雌ねじ形状の内周面を有する中央部分内周面３１０ｃと、を備えている。外筒３１０は、上流端部分および下流端部分に円錐台形状の空間が形成されている点は第２実施形態例と同じであるが、中央部分内周面３１０ｃが雌ねじ形状である点で相違している。
ステータ３１１の中央部分内周面は、ロータ３２０と同ピッチの雌ねじ形状であり、ステータ３１１の中央部分外周面は内周面と同ピッチの雄ねじ形状である。弾性材料からなるステータ３１１は、外筒３１０の内周面（３１０ａ，３１０ｂ，３１０ｃ）に密着した状態で配置されている。
第３実施形態例では、外筒の中央部分内周面３１０ｃがステータ３１１の中央部分内周面の雌ねじ形状と同ピッチの雌ねじ形状に構成されていることから、ステータ３１１の長手方向の中央部分の厚みを均一とすることができるので、当該中央部分におけるロータ３２０との密着力を均一にすることが可能である。ステータ３１１とロータ３２０が協働して搬送路を構成する際、ロータ３２０が動作する軌道はステータ３１１が弾性変形した際に生じる反発力により影響を受けるが、この反発力が中央部分内周面３１０ｃの範囲においてはロータ３２０と当接面全周において一定となるため、第３実施形態例ではロータ３２０が動作する軌道が一定となり、搬送路の構築が安定する。換言すれば、第３実施形態例ではロータ３２０の姿勢が全周で安定するため、キャビティの形状が一定となる。

図９（ｂ） に示すように、ロータ３２０が最上位置にあるとき、ロータ３２０の下側の最上流には開口面積が最大となる搬送空間３２１ａが形成される。図示の位置からロータ３２０が回転すると、ロータ３２０の上側の最上流に搬送空間３２２ａ（不図示）が動的に形成され、搬送空間３２１ａの開口面積が縮小する。
図９（ｃ）に示すように、Ｂ－Ｂ線の位置において、ロータ３２０の下側には搬送空間３２１ｃが形成される。図示の位置からロータ３２０が回転すると、ロータ３２０の下側の搬送空間３２１ｃの断面積が縮小し、ロータ３２０の上側に搬送空間３２２ｃ（不図示）を生じ、ロータ３２０が回転に伴いさらにその断面積を拡大する。
図９（ｄ）に示すように、Ｃ－Ｃ線の位置において、ロータ３２０の左右側には搬送空間３２３，３２４が形成される。ここで、搬送空間３２３は、搬送空間３２１ｃと連通してキャビティを構成し、搬送空間３２４は、搬送空間３２２ｃと連通してキャビティを構成する。図示の位置からロータ３２０が回転すると、ロータ３２０の左右側の搬送空間３２３，３２４の一方の断面積が縮小し、他方の断面積が拡大する。例えば、ロータ３２０が０°から９０°まで回転すると、搬送空間３２３は閉じ、搬送空間３２４は最大断面積となる。
このように、ロータ３２０が回転すると、ステータ３１１の流路方向に垂直な方向（Ｂ－Ｂ断面、Ｃ－Ｃ断面を含む）の各断面において、ロータ３２０を挟んで対向する位置に搬送空間が２系統ずつ形成および閉鎖する動作が繰り返され、挿通孔３１２内を液体材料が搬送される。

また、図９（ａ）において黒塗りで描画されたシメシロＳ_３１１，Ｓ_３１２の量を見ると分かるように、ステータ３１１の中央部分３１１ｃと比べ流入口部分３１１ａおよび流出口部分３１１ｂのシメシロＳ_３１１，Ｓ_３１２のシメシロ量は小さくなっている。したがって、ステータ３１１の流入口部分および流出口部分におけるロータ３２０との密着力は、シメシロ量の調整によっても中央部分と比べ小さくなっている。
また、図９（ｃ）および（ｄ）に示すように、ステータ３１１の中央部分３１１ｃは、第２実施形態例のステータ２１１の中央部分２１１ｃと比べ径方向の厚みが薄くなっている。そのため、第３実施形態例では、ステータ３１１の長手方向の中央部分と流入口部分および流出口部分におけるロータ３２０との密着力の差は、第２実施形態例よりも大きくなっている。

以上に説明した第３実施形態例においても、ステータ３１１の流入口部分および流出口部分におけるロータ３２０との密着力が長手方向の中央部分よりも弱くなっているので、脈動の問題を解決することが可能である。したがって、本実施形態例の液体材料吐出装置１を相対移動装置を備える塗布装置に搭載することで、ワーク表面に線幅が均一な線描画を行うことが可能である。また、第２実施形態例と比べ、ステータ３１１の長手方向の中央部分と流入口部分および流出口部分の密着力の差を大きく構成することが可能である。

＜第４実施形態例＞
図１０は、第４実施形態例に係る外筒４１０、ステータ４１１およびロータ４２０の説明図であり、（ａ）はロータ４２０が最上位置（０°）にある際の側面断面図、（ｂ）は背面図、（ｃ）は（ａ）のＢ－Ｂ断面図、（ｄ）は（ａ）のＣ－Ｃ断面図、（ｅ）は外筒４１０のみの側面断面図、（ｆ）は外筒４１０の背面図である。なお、第４実施形態例は、外筒４１０およびステータ４１１以外の構成については、第１実施形態例と同様であるので、説明を省略する。
図１０（ａ）および（ｅ）に示すように、本実施形態例の外筒４１０は、流入口に向かってテーパー状に拡径する流入口側内周面４１０ａと、流出口に向かってテーパー状に拡径する流出口側内周面４１０ｂと、ステータ４１１の内周面の雌ねじ形状と実質同ピッチの雌ねじ形状の内周面を有する中央部分内周面４１０ｃと、を備えている。外筒４１０は、中央部分内周面４１０ｃの雌ねじ形状がエッジを有する点で、エッジのない滑らかな雌ねじ形状が形成された第３実施形態例の外筒３１０と相違する。

ステータ４１１の中央部分内周面は、ロータ４２０と同ピッチの雌ねじ形状であり、ステータ４１１の中央部分外周面は内周面と実質同ピッチのエッジを有する雄ねじ形状である。弾性材料からなるステータ４１１は、外筒４１０の内周面（４１０ａ，４１０ｂ，４１０ｃ）に密着した状態で配置されている。図１０（ａ）において黒塗りで描画されたシメシロＳ_４１１，Ｓ_４１２を見ると分かるように、シメシロＳ_４１１，Ｓ_４１２の量が一定のステータ４１１の中央部分４１１ｃと比べ、流入口部分４１１ａおよび流出口部分４１１ｂのシメシロＳ_４１１，Ｓ_４１２のシメシロ量は徐々に小さくなっている。したがって、ステータ４１１の流入口部分および流出口部分におけるロータ４２０との密着力は、シメシロ量の調整によっても中央部分と比べ小さくなっている。

図１０（ｂ）に示すように、ロータ４２０が最上位置にあるとき、ロータ４２０の下側の最上流には開口面積が最大となる搬送空間４２１ａが形成される。
また、図１０（ｃ）および（ｄ）に示すように、ステータ４１１の中央部分４１１ｃは、第２実施形態例のステータ２１１の中央部分２１１ｃと比べ径方向の厚みが薄くなっている。そのため、ステータ４１１の長手方向の中央部分と流入口部分および流出口部分におけるロータ４２０との密着力の差は、第２実施形態例よりも大きくなっている。

以上に説明した第４実施形態例においても、ステータ４１１の流入口部分および流出口部分におけるロータ４２０との密着力が中央部分よりも弱くなっているので、脈動の問題を解決することが可能である。したがって、本実施形態例の液体材料吐出装置１を相対移動装置を備える塗布装置に搭載することで、ワーク表面に線幅が均一な線描画を行うことが可能である。第４実施形態例は、第３実施形態例の外筒３１０と比べ、外筒４１０の形状を切削加工により形成する際の制約が少ないため、製造コストを削減することができる。

＜第５実施形態例＞
図１１は、第５実施形態例に係る外筒５１０、ステータ５１１およびロータ５２０の説明図であり、（ａ）はロータ５２０が最上位置（０°）にある際の側面断面図、（ｂ）は背面図、（ｃ）は（ａ）のＢ－Ｂ断面図、（ｄ）は（ａ）のＣ－Ｃ断面図、（ｅ）は外筒５１０のみの側面断面図、（ｆ）は外筒５１０の背面図である。なお、第５実施形態例は、外筒５１０およびステータ５１１以外の構成については、第１実施形態例と同様であるので、説明を省略する。

図１１（ａ）および（ｄ）に示すように、本実施形態例の外筒５１０は、長手方向にわたって同径の円柱状空間を構成する上流端部分内周面５１０ａと、長手方向にわたって同径の円柱状空間を構成する下流端部分内周面５１０ｂと、長手方向にわたって同径の円柱状空間を構成する中央部分内周面５１０ｃと、流入側テーパー面５１０ｄと、流出側テーパー面５１０ｅと、を備えている。ステータ５１１の内周面は、ロータ５２０と同ピッチの雌ねじ形状であり、ステータ５１１の外周面は外筒５１０の内周面と同じ形状である。弾性材料からなるステータ５１１は、外筒５１０の内周面（５１０ａ～５１０ｅ）に密着した状態で配置されている。

図１１（ｂ）に示すように、ロータ５２０が最上位置にあるとき、ロータ５２０の下側の最上流には開口面積が最大となる搬送空間５２１ａが形成される。
本実施形態例の外筒５１０は、上流端部分内周面５１０ａおよび下流端部分内周面５１０ｂを中央部分内周面５１０ｃよりも大径の円筒状に形成していることから、ステータ５１１の流入口および流出口から一定の範囲にわたり、ロータ５２０との密着力を相対的に弱くすることが可能である。ここで、外筒の上流端部分内周面５１０ａはステータ５１１の流入口側の端部からロータ５２０の１巻き分から２巻き、下流端部分内周面５１０ｂはステータ５１１の流出口側の端部からロータ５２０の１巻き分の長さにわたって形成されていることが好ましい。

また、本実施形態例の外筒５１０は、上流端部分内周面５１０ａの長手方向の範囲（長さ）を、下流端部分内周面５１０ｂの長手方向の範囲（長さ）と比べ長く構成することにより、挿通孔５１２内に形成される搬送路への液体材料の受け入れを円滑に行うことを可能としている。より詳細には、外筒の上流端部分内周面５１０ａの長さは、流入口側の端部よりロータ５２０の１巻き分以上であることが好ましく、製造公差などの影響を受けずに十分に密着力を弱くできるよう、ロータ５２０の１．５巻き分の範囲について密着力を弱くすることができるように構成することがより好ましい。挿通孔５１２内に形成される搬送路の流入口部分を相対的に長く構成することは、液体材料の受け入れを充分に行い、脈動を防ぐために効果的である。
本実施形態例の外筒５１０では、流入口に向かって拡径する流入側テーパー面５１０ｄおよび流出口に向かって拡径する流出側テーパー面５１０ｅにより、ステータ５１１の径方向の厚みが両端部に向かって徐々に厚くなっているので、そのことによっても、ロータ５２０とステータ５１１の密着力は両端部に向かって徐々に（段階的に）弱くなっている。第５実施形態例におけるステータ５１１の流入口部分５１１ａは、外筒の上流端部分内周面５１０ａおよび流入側テーパー面５１０ｄに対応する範囲である。第５実施形態例におけるステータ５１１の流出口部分５１１ｂは、外筒の下流端部分内周面５１０ｂおよび流出側テーパー面５１０ｅに対応する範囲であり、ステータ５１１の流入口部分５１１ａよりも短く構成されている。第５実施形態のように、ステータ５１１の中央部分と流入口部分（または流出口部分）の境界においてロータ５２０による密着力を徐々に（段階的に）弱め、境界よりも流入口（または流出口）に近い位置においてはロータ５２０による密着力を一定とする態様においても、脈動を防ぐことは可能である。すなわち、ロータ５２０による密着力を、ステータ５１１の長手方向の中央部分から流出口および流入口に向かって徐々に（段階的に）小さくするという技術思想には、第５実施形態のように、流出口および流入口に隣接しないテーパー面を外筒５１０の内周面に設ける態様も含まれる。

図１１（ａ）において黒塗りで描画されたシメシロＳ_５１１，Ｓ_５１２を見ると分かるように、シメシロＳ_５１１，Ｓ_５１２の量が一定のステータ５１１の中央部分５１１ｃと比べ、流入口部分５１１ａおよび流出口部分５１１ｂのシメシロＳ_５１１，Ｓ_５１２のシメシロ量は小さくなっている。したがって、ステータ５１１の流入口部分および流出口部分におけるロータ５２０との密着力は、シメシロ量の調整によっても小さくなっている。

以上に説明した第５実施形態例においても、ステータ５１１の流入口部分および流出口部分におけるロータ５２０との密着力が長手方向の中央部分よりも弱くなっているので、脈動の問題を解決することが可能である。したがって、本実施形態例の液体材料吐出装置１を相対移動装置を備える塗布装置に搭載することで、ワーク表面に線幅が均一な線描画を行うことが可能である。また、外筒５１０のうち流入口部分の内周面拡径の範囲が、第２～第４実施形態例と比べて長いため、挿通孔５１２の流入口部分における密着力は長い範囲で弱まり、挿通孔５１２内に形成される搬送路への液体材料の受け入れをさらに円滑に行うことが可能である。このように、内周面が拡径されたステータ５１１の流入口部分の範囲を流出口部分よりも長くすることは、第３および第４実施形態例においても、組み合わせて適用することが可能である。

＜第６実施形態例＞
図１２は、第６実施形態例に係る外筒６１０、ステータ６１１およびロータ６２０の説明図であり、（ａ）はロータ６２０が最上位置（０°）にある際の側面断面図、（ｂ）は（ａ）のＡ－Ａ断面図、（ｃ）は（ａ）のＢ－Ｂ断面図、（ｄ）は（ａ）のＣ－Ｃ断面図、（ｅ）はロータ６２０を図示省略した背面図である。なお、第６実施形態例は、外筒６１０およびステータ６１１以外の構成については、第１実施形態例と同様であるので、説明を省略する。

図１２（ａ）に示すように、本実施形態例の外筒６１０は、長手方向にわたって同径の円柱状空間を構成する上流端部分内周面６１０ａと、長手方向にわたって同径の円柱状空間を構成する下流端部分内周面６１０ｂと、長手方向にわたって同径の円柱状空間を構成する中央部分内周面６１０ｃと、流入側テーパー面６１０ｄと、流出側テーパー面６１０ｅと、を備えている。ステータ６１１の内周面は、ロータ６２０と同ピッチの雌ねじ形状であり、ステータ６１１の外周面は外筒６１０の内周面と同じ形状である。弾性材料からなるステータ６１１は、外筒６１０の内周面（６１０ａ～６１０ｅ）に密着した状態で配置されている。
本実施形態例の外筒６１０は、上流端部分内周面６１０ａおよび下流端部分内周面６１０ｂを中央部分内周面６１０ｃよりも大径の円筒状に形成していることから、ステータ６１１の流入口および流出口から一定の範囲にわたり、ロータ６２０との密着力を相対的に弱くすることが可能である。

また、本実施形態例の外筒６１０は、第５実施形態例と同様、外筒の上流端部分内周面６１０ａの長手方向の範囲（長さ）を、下流端部分内周面６１０ｂの範囲（長さ）と比べ長く構成することにより、挿通孔６１２内に形成される搬送路への液体材料の受け入れを円滑に行うことを可能とすることで脈動を効果的に防いでいる。
本実施形態例では、ステータ６１１の流入口部分に隣接して受入空間６２１ａが設けられている。受入空間６２１ａの内径は、受入空間６２１ａで回転するロータ６２０と当接することがない大きさになっている。受入空間６２１ａにおいては、ステータ６１１の内周面はロータ６２０に常時当接しないので、受入空間６２１ａは液体材料を移送する作用を奏しない非搬送作用領域である。すなわち、本実施形態例のステータ６１１の挿通孔６１２は、搬送作用領域と非搬送作用領域とに区分される。挿通孔６１２における搬送作用領域と非搬送作用領域との境界は、ロータ６２０がステータ６１１と当接する最上流位置であり、図１２（ａ）においては符号６１２ａで図示している。符号６１２ａで図示する場所が搬送路の開始位置となり、ここが搬送路の流入口となる。符号６１２ａより下流側が液体材料の搬送作用を奏する搬送路を構成する。この搬送路は、挿通孔６１２内に雄ねじ状の外周面を有するロータ６２０を挿入することで発現する流路であり、挿通孔６１２内においてロータ６２０を偏心回転することで、搬送路内に順次形成されるキャビティの移動と共にキャビティを満たす液体材料が移送される。受入空間６２１ａは、搬送路の流入口に隣接する空間であって、搬送路の流入口から上流側に向かって拡径している。

図１２（ｃ）に示すように、受入空間６２１ａを構成するステータ６１１の内周面とロータ６２０の外周面との間には隙間がある。別の観点からは、ステータ６１１の挿通孔６１２の内径は、最上流側の端部において最も大きくなるように構成されている。また、受入空間６２１ａは、受入空間６２１ａの下流に形成される挿通孔６１２内のキャビティのいずれよりも、容積が小さい。

本実施形態例では、流入口に向かって拡径する外筒の流入側テーパー面６１０ｄおよび流出口に向かって拡径する流出側テーパー面６１０ｅにより、ステータ６１１の径方向の厚みが端部に向かって徐々に厚くなっているので、そのことによっても、ロータ６２０とステータ６１１の密着力は端部に向かって徐々に（段階的に）弱くなっている。さらに、本実施形態例では、搬送路の流入口より上流側において、ステータ６１１とロータ６２０の密着力がゼロになっている。
本実施形態例におけるステータ６１１の流入口部分６１１ａは、搬送作用領域の外筒６１０の上流端部分内周面６１０ａおよび流入側テーパー面６１０ｄに対応する範囲であり、非搬送作用領域を含まない。
本実施形態例におけるステータ６１１の流出口部分６１１ｂは、外筒６１０の下流端部分内周面６１０ｂおよび流出側テーパー面６１０ｅに対応する範囲であり、ステータ６１１の流入口部分６１１ａよりも短く構成されている。本実施形態例におけるステータ６１１の流出口部分６１１ｂは、非搬送領域を有していないが、非搬送領域を含むようにステータを構成する場合は、流出口部分はこの非搬送領域を含まない。
本実施形態例におけるステータ６１１の長手方向の中央部分６１１ｃの長さは、ステータ６１１の流入口部分の長さの２倍以上である。

本実施形態例のステータ６１１は、長手方向の中央部分ではシメシロ量が一定であるが、当該中央部分との境界から受入空間との境界６１２ａに向かって徐々に（段階的に）シメシロ量が小さくなっている。また、ステータ６１１は、長手方向の中央部分との境界から流出口に向かって徐々に（段階的に）シメシロ量が小さくなっている。外筒６１０の上流端部分内周面６１０ａおよび下流端部分内周面６１０ｂの内径が拡径されていることによっても、ステータ６１１の流入口部分６１１ａおよび流出口部分６１１ｂの径方向の厚みが厚くなっているので、挿通孔６１２の流入口部分および流出口部分における密着力は徐々に（段階的に）弱くなっている。また、挿通孔６１２の流入口付近において、ステータ６１１の内周面に上流側に向かって拡径するテーパー面を設けて受入空間６２１ａを構成しているので、挿通孔６１２内に形成されるキャビティが常に満たされる量の液体材料が供給される。

以上に説明した第６実施形態例においては、挿通孔６１２の流入口部分および流出口部分におけるロータ５２０とステータ５１１の密着力が中央部分よりも弱くなっており、さらに液体材料を円滑に流入させる拡径された受入空間６２１ａが流入口付近に設けられているので、脈動の問題を解決することが可能である。したがって、本実施形態例の液体材料吐出装置１を相対移動装置を備える塗布装置に搭載することで、ワーク表面に線幅が均一な線描画を行うことが可能である。なお、本実施形態例では、挿通孔６１２の流入口部分にのみ非搬送作用領域を設けたが、挿通孔６１２の流出口部分にも非搬送作用領域を設けてもよい。

以上、本発明の好ましい実施形態例について説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施形態例の記載に限定されるものではない。本発明の技術的思想を逸脱しない範囲で様々な変更、改良を加えることが可能であり、そのような変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
例えば、上記実施形態例１～６の各図では、外筒の上流端部分と下流端部分の内周面の径をいずれも同じ大きさとして描画したが、外筒の上流端部分と下流端部分の内周面の径の大きさが異なる態様や、テーパーの角度が異なる様態も本発明の技術的範囲に含まれる。
また、上記実施形態例１～６において、例えば、挿通孔（１２，２１２，３１２，４１２，５１２）の流入口部分および／または流出口部分の搬送空間の容積を、挿通孔（１２，２１２，３１２，４１２，５１２）の長手方向の中央部分における搬送空間の容積と比べ、大きく構成してもよい。このような構成によれば、挿通孔内の搬送空間を移動した液体材料を、より脈動の無い流れとして排出することが可能である。

さらに、上記実施形態例１～６において、例えば、ロータ（２０，２２０，３２０，４２０，５２０，６２０）の長手方向の中央部分を、流入口部分および流出口部分よりも太く構成してもよい。このような構成によれば、ステータの挿通孔の内径を流入口から流出口まで同径としても、挿通孔の流入口部分および流出口部分におけるロータとステータの密着力を、挿通孔の長手方向の中央部分におけるロータとステータの密着力に比べ小さくすることが可能である。
さらにまた、上記実施形態例１～６において、例えば、ステータの長手方向の中央部分の単位体積当たりの弾性力が、流入口部分および／または流出口部分の単位体積当たりの弾性力より大きくなるように構成してもよい。具体例としては、ステータの長手方向の中央部分における弾性体を、流入口部分および／または流出口部分における弾性体よりも高密度の弾性体（例えばゴム）により構成することが開示される。
さらにまた、上記実施形態例１～６の液体材料吐出装置は、液体材料を塗布する用途に限らず、循環回路の液送ポンプなどにも使用することもできる。上記実施形態例１～６とロータを逆回転することにより、吸引ポンプとして使用することもできる。

上記実施形態例１～６を組み合わせて、本発明が解決しようとする課題を解決することも可能である。すなわち、挿通孔（１２，２１２，３１２，４１２，５１２，６１２）の流入口部分において、上記実施形態例１～６のいずれかの解決手段を採用し、挿通孔（１２，２１２，３１２，４１２，５１２，６１２）の流出口部分において、流入口部分とは異なる上記実施形態例１～５のいずれかの解決手段を採用することも可能である。例えば、次のような組み合わせも可能である。
（Ａ）挿通孔の流入口部分（または流出口部分）において外筒の内径を段階的に拡径することでシメシロの径方向の厚みを段階的に厚くすると共に、挿通孔の流出口部分（または流入口部分）において外筒の内径を一定としながらシメシロ量を段階的に小さくすることで、挿通孔の流入口部分および流出口部分におけるロータとステータの密着力が、挿通孔の長手方向の中央部分におけるロータとステータの密着力に比べ小さくなるように構成すること。
（Ｂ）挿通孔の流入口部分（または流出口部分）において外筒の内径を段階的に拡径することでシメシロの径方向の厚みを段階的に厚くすると共に、挿通孔の流出口部分（または流入口部分）において外筒の内径を一定としながら、中央部分と比べて弾性力が弱い材料でステータを構成すること
（Ｃ）外筒の内径を全長にわたり一定としながら、挿通孔の流出口部分（または流入口部分）においてシメシロ量を段階的に小さくすることで、挿通孔の流入口部分および流出口部分におけるロータとステータの密着力が、挿通孔の長手方向の中央部分におけるロータとステータの密着力に比べ小さくなるように構成すると共に、挿通孔の流入口部分（または流出口部分）において中央部分と比べて弾性力が弱い材料でステータを構成すること。
（Ｄ）上記（Ａ）～（Ｃ）において、挿通孔の流入口付近に位置するロータの外周面とステータの内周面が当接しない空間であって、挿通孔の流入側口端部に向かって拡径する受入空間を設けること。

１：液体材料吐出装置
２：本体
３：ロータ駆動装置
１０，１１０，２１０，３１０，４１０，５１０：外筒
１１，１１１，２１１，３１１，４１１，５１１：ステータ
１２，１１２，２１２，３１２，４１２，５１２：挿通孔
１３：ノズル部材
１４：気泡抜き孔
１５：ステータユニット
２０，１２０，２２０，３２０，４２０，５２０：ロータ
２１，１２１，２２１，３２１，４２１，５２１：（ロータ下）搬送空間
２２，１２２，２２２，３２２，４２２，５２２：（ロータ上）搬送空間
２３，１２３，２２３，３２３，４２３，５２３：（ロータ右）搬送空間
２４，１２４，２２４，３２４，４２４，５２４：（ロータ左）搬送空間

Claims (29)

1. 外筒と、
   前記外筒の内周面に設けられた雌ねじ形状の貫通孔である挿通孔を有するステータと、
   ロータ駆動部に接続され、前記ステータの内周面に当接しながら偏心回転する雄ねじ形状のロータと、を備え、
   前記挿通孔に挿通された前記ロータを偏心回転させることにより、前記ステータと前記ロータとが構成する搬送路において流体を移送可能な流体移送装置であって、
   前記ステータが、前記搬送路の流入口から長手方向にわたり一定の範囲をしめる流入口部分と、前記搬送路の流出口から長手方向にわたり一定の範囲をしめる流出口部分と、前記流入口部分および前記流出口部分の間に位置する中央部分と、を備えて構成され、
   前記流入口部分および前記流出口部分の一方における前記外筒の内周面を前記外筒の長手方向の中央部分と比べ拡径し、前記流入口部分および前記流出口部分の他方における前記ロータによるシメシロ量を前記中央部分における前記ロータによるシメシロ量に比べ小さくなるように構成することにより、前記ステータの前記流入口部分および前記流出口部分における前記ロータによる密着力が、前記中央部分における前記ロータによる密着力に比べ小さくなるように構成されていることを特徴とする流体移送装置。
2. 外筒と、
   前記外筒の内周面に設けられた雌ねじ形状の貫通孔である挿通孔を有するステータと、
   ロータ駆動部に接続され、前記ステータの内周面に当接しながら偏心回転する雄ねじ形状のロータと、を備え、
   前記挿通孔に挿通された前記ロータを偏心回転させることにより、前記ステータと前記ロータとが構成する搬送路において流体を移送可能な流体移送装置であって、
   前記ステータが、前記搬送路の流入口から長手方向にわたり一定の範囲をしめる流入口部分と、前記搬送路の流出口から長手方向にわたり一定の範囲をしめる流出口部分と、前記流入口部分および前記流出口部分の間に位置する中央部分と、を備えて構成され、
   前記ステータの前記流入口部分および前記流出口部分における前記ロータによる密着力が、前記中央部分における前記ロータによる密着力に比べ小さくなるように構成されていること、
   前記ステータの前記流入口部分および前記流出口部分における前記ロータによるシメシロ量を、前記中央部分における前記ロータによるシメシロ量に比べ小さくなるように構成することにより、前記ステータの前記流入口部分および前記流出口部分における前記ロータによる密着力を、前記中央部分における前記ロータによる密着力に比べ小さくしたことを特徴とする流体移送装置。
3. 前記ロータによるシメシロ量が、前記中央部分から流出口または流入口に向かって徐々に小さくなるように構成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の流体移送装置。
4. 前記中央部分は、長手方向にわたり前記ロータによる密着力が均一であることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の流体移送装置。
5. （Ａ）前記搬送路の流入口における前記ロータと前記ステータの密着力がＡ１であり、前記搬送路の流入口から前記ロータの１巻き分の位置における前記ロータと前記ステータの密着力がＡ２であり、前記搬送路の流入口と前記搬送路の流入口から前記ロータの１巻き分の位置との間の位置における前記ロータと前記ステータの密着力がＡ３であり、前記搬送路の長手方向の中央部分における前記ロータと前記ステータの密着力がＡ４である場合に、Ａ４＞Ａ２＞Ａ３＞Ａ１の関係を有すること、
   （Ｂ）前記搬送路の流出口における前記ロータと前記ステータの密着力がＢ１であり、前記搬送路の流出口から前記ロータの１巻き分の位置における前記ロータと前記ステータの密着力がＢ２であり、前記搬送路の流出口と前記搬送路の流出口から前記ロータの１巻き分の位置との間の位置における前記ロータと前記ステータの密着力がＢ３であり、前記搬送路の長手方向の中央部分における前記ロータと前記ステータの密着力がＢ４である場合に、Ｂ４＞Ｂ２＞Ｂ３＞Ｂ１の関係を有することを特徴とする請求項４に記載の流体移送装置。
6. 前記挿通孔の長手方向の中央部分は、長手方向にわたり前記ロータによるシメシロ量が均一であることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の流体移送装置。
7. 外筒と、
   前記外筒の内周面に設けられた雌ねじ形状の貫通孔である挿通孔を有するステータと、
   ロータ駆動部に接続され、前記ステータの内周面に当接しながら偏心回転する雄ねじ形状のロータと、を備え、
   前記挿通孔に挿通された前記ロータを偏心回転させることにより、前記ステータと前記ロータとが構成する搬送路において流体を移送可能な流体移送装置であって、
   前記ステータが、前記搬送路の流入口から長手方向にわたり一定の範囲をしめる流入口部分と、前記搬送路の流出口から長手方向にわたり一定の範囲をしめる流出口部分と、前記流入口部分および前記流出口部分の間に位置する中央部分と、を備えて構成され、
   前記ステータの前記流入口部分および前記流出口部分における前記ロータによる密着力が、前記中央部分における前記ロータによる密着力に比べ小さくなるように構成されていること、
   （Ａ）前記搬送路の流入口における前記ロータと前記ステータのシメシロ量がＡ１であり、前記搬送路の流入口から前記ロータの１巻き分の位置における前記ロータと前記ステータのシメシロ量がＡ２であり、前記搬送路の流入口と前記搬送路の流入口から前記ロータの１巻き分の位置との間の位置における前記ロータと前記ステータのシメシロ量がＡ３であり、前記搬送路の長手方向の中央部分における前記ロータと前記ステータのシメシロ量がＡ４である場合に、Ａ４＞Ａ２＞Ａ３＞Ａ１の関係を有すること、
   （Ｂ）前記搬送路の流出口における前記ロータと前記ステータのシメシロ量がＢ１であり、前記搬送路の流出口から前記ロータの１巻き分の位置における前記ロータと前記ステータのシメシロ量がＢ２であり、前記搬送路の流出口と前記搬送路の流出口から前記ロータの１巻き分の位置との間の位置における前記ロータと前記ステータのシメシロ量がＢ３であり、前記搬送路の長手方向の中央部分における前記ロータと前記ステータのシメシロ量がＢ４である場合に、Ｂ４＞Ｂ２＞Ｂ３＞Ｂ１の関係を有することを特徴とする流体移送装置。
8. 前記挿通孔の長手方向の中央部分が、前記ロータの２巻き分以上の範囲にわたることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の流体移送装置。
9. 前記流入口部分が、前記搬送路の流入口から前記ロータの１巻き分超の範囲であり、
   前記流出口部分が、前記搬送路の流出口から前記ロータの１巻き分超の範囲であることを特徴とする請求項１ないし８のいずれかに記載の流体移送装置。
10. 前記ステータの前記中央部分の長手方向の範囲が、前記流入口部分および前記流出口部分のそれぞれの長手方向の範囲よりも長いことを特徴とする請求項１ないし９のいずれかに記載の流体移送装置。
11. 外筒と、
    前記外筒の内周面に設けられた雌ねじ形状の貫通孔である挿通孔を有するステータと、
    ロータ駆動部に接続され、前記ステータの内周面に当接しながら偏心回転する雄ねじ形状のロータと、を備え、
    前記挿通孔に挿通された前記ロータを偏心回転させることにより、前記ステータと前記ロータとが構成する搬送路において流体を移送可能な流体移送装置であって、
    前記ステータが、前記搬送路の流入口から長手方向にわたり一定の範囲をしめる流入口部分と、前記搬送路の流出口から長手方向にわたり一定の範囲をしめる流出口部分と、前記流入口部分および前記流出口部分の間に位置する中央部分と、を備えて構成され、
    前記ステータの前記流入口部分および前記流出口部分における前記ロータによる密着力が、前記中央部分における前記ロータによる密着力に比べ小さくなるように構成されていること、
    前記ステータの前記流入口部分および前記流出口部分における前記ロータによるシメシロと前記ステータの前記中央部分における前記ロータによるシメシロとのシメシロ量の比率が０．４～０．７：１であることを特徴とする流体移送装置。
12. 外筒と、
    前記外筒の内周面に設けられた雌ねじ形状の貫通孔である挿通孔を有するステータと、
    ロータ駆動部に接続され、前記ステータの内周面に当接しながら偏心回転する雄ねじ形状のロータと、を備え、
    前記挿通孔に挿通された前記ロータを偏心回転させることにより、前記ステータと前記ロータとが構成する搬送路において流体を移送可能な流体移送装置であって、
    前記ステータが、前記搬送路の流入口から長手方向にわたり一定の範囲をしめる流入口部分と、前記搬送路の流出口から長手方向にわたり一定の範囲をしめる流出口部分と、前記流入口部分および前記流出口部分の間に位置する中央部分と、を備えて構成され、
    前記ステータの前記流入口部分および前記流出口部分における前記ロータによる密着力が、前記中央部分における前記ロータによる密着力に比べ小さくなるように構成されていること、
    前記ステータの前記流入口部分および前記流出口部分における前記ロータとの密着力が、前記ステータの前記中央部分における前記ロータとの密着力に比べ小さくなるように、前記流入口部分および前記流出口部分における前記ステータの形状および／または前記ステータの材料特性が、前記中央部分と異なる仕様に設定され、
    前記ステータの形状が、前記ステータのシメシロ量または厚みであり、前記ステータの材料特性が、前記ステータの反発力または硬度であることを特徴とする流体移送装置。
13. 外筒と、
    前記外筒の内周面に設けられた雌ねじ形状の貫通孔である挿通孔を有するステータと、
    ロータ駆動部に接続され、前記ステータの内周面に当接しながら偏心回転する雄ねじ形状のロータと、を備え、
    前記挿通孔に挿通された前記ロータを偏心回転させることにより、前記ステータと前記ロータとが構成する搬送路において流体を移送可能な流体移送装置であって、
    前記ステータが、前記搬送路の流入口から長手方向にわたり一定の範囲をしめる流入口部分と、前記搬送路の流出口から長手方向にわたり一定の範囲をしめる流出口部分と、前記流入口部分および前記流出口部分の間に位置する中央部分と、を備えて構成され、
    前記ステータの前記流入口部分および前記流出口部分における前記ロータによる密着力が、前記中央部分における前記ロータによる密着力に比べ小さくなるように構成されていること、
    前記ステータの流入口部分における前記ロータとの密着力が、前記ステータの前記中央部分における前記ロータとの密着力に比べ小さくなるように、前記搬送路の流入口部分において、前記ステータのシメシロ量と共に、前記ステータの材料特性および厚みのうち、いずれか一つの要素が前記挿通孔の中央部分と異なる仕様に設定されており、
    前記ステータの流出口部分における前記ロータとの密着力が、前記ステータの前記中央部分における前記ロータとの密着力に比べ小さくなるように、前記搬送路の流出口部分において、前記ステータのシメシロ量と共に、前記ステータの材料特性および厚みのうち、いずれか一つの要素が前記挿通孔の中央部分と異なる仕様に設定されていることを特徴とする流体移送装置。
14. 外筒と、
    前記外筒の内周面に設けられた雌ねじ形状の貫通孔である挿通孔を有するステータと、
    ロータ駆動部に接続され、前記ステータの内周面に当接しながら偏心回転する雄ねじ形状のロータと、を備え、
    前記挿通孔に挿通された前記ロータを偏心回転させることにより、前記ステータと前記ロータとが構成する搬送路において流体を移送可能な流体移送装置であって、
    前記ステータが、前記搬送路の流入口から長手方向にわたり一定の範囲をしめる流入口部分と、前記搬送路の流出口から長手方向にわたり一定の範囲をしめる流出口部分と、前記流入口部分および前記流出口部分の間に位置する中央部分と、を備えて構成され、
    前記ステータの前記流入口部分および前記流出口部分における前記ロータによる密着力が、前記中央部分における前記ロータによる密着力に比べ小さくなるように構成されていること、
    前記ステータの長手方向の中央部分が、前記ステータの流入口部分および／または流出口部分を構成する材料と比べ、弾性力が強い材料により構成されていることを特徴とする流体移送装置。
15. 外筒と、
    前記外筒の内周面に設けられた雌ねじ形状の貫通孔である挿通孔を有するステータと、
    ロータ駆動部に接続され、前記ステータの内周面に当接しながら偏心回転する雄ねじ形状のロータと、を備え、
    前記挿通孔に挿通された前記ロータを偏心回転させることにより、前記ステータと前記ロータとが構成する搬送路において流体を移送可能な流体移送装置であって、
    前記ステータが、前記搬送路の流入口から長手方向にわたり一定の範囲をしめる流入口部分と、前記搬送路の流出口から長手方向にわたり一定の範囲をしめる流出口部分と、前記流入口部分および前記流出口部分の間に位置する中央部分と、を備えて構成され、
    前記ステータの前記流入口部分および前記流出口部分における前記ロータによる密着力が、前記中央部分における前記ロータによる密着力に比べ小さくなるように構成されていること、
    前記外筒の上流端部分および下流端部分における内周面が、前記外筒の長手方向の中央部分と比べ拡径されていることを特徴とする流体移送装置。
16. 前記外筒の長手方向の中央部分が、同径の内周面を有することを特徴とする請求項１５に記載の流体移送装置。
17. 前記外筒の長手方向の中央部分が、前記ステータと同ピッチの雌ねじ形状の内周面を有することを特徴とする請求項１５または１６に記載の流体移送装置。
18. 前記外筒の外周面において、前記雌ねじ形状の内周面と対応する位置に、凹凸形状が施されていることを特徴とする請求項１７に記載の流体移送装置。
19. 前記外筒の上流端部分における内周面が、前記外筒の上流端に向かって拡径するテーパー面により構成され、前記外筒の下流端部分における内周面が、前記外筒の下流端に向かって拡径するテーパー面により構成されることを特徴とする請求項１５ないし１８のいずれかに記載の流体移送装置。
20. 前記外筒が、同径の内周面を有する上流端部分内周面と、当該上流端部分内周面と前記中央部分を連絡する流入側テーパー面と、同径の内周面を有する下流端部分内周面と、当該下流端部分内周面と前記中央部分を連絡する流出側テーパー面と、を備えることを特徴とする請求項１５ないし１９のいずれかに記載の流体移送装置。
21. 前記外筒の上流端部分における拡径された内周面の範囲が、前記外筒の下流端部分における拡径された内周面の範囲よりも長いことを特徴とする請求項１５ないし２０のいずれかに記載の流体移送装置。
22. 前記ステータの前記流入口部分の長手方向の範囲と前記ステータの前記中央部分の長手方向の範囲の比率が３：５～１０であり、かつ、前記ステータの前記流出口部分の長手方向の範囲と前記ステータの前記中央部分の長手方向の範囲の比率が２：５～１０であることを特徴とする請求項４ないし２１のいずれかに記載の流体移送装置。
23. 前記ステータが、前記ロータによるシメシロを有する搬送作用領域と、前記搬送作用領域よりも上流側に位置し、前記ロータと当接しない（シメシロを有さない）非搬送作用領域とから構成されていることを特徴とする請求項１ないし２２のいずれかに記載の流体移送装置。
24. 前記非搬送作用領域を構成する前記挿通孔の内周面が、前記挿通孔の中央部側から流入口側に向かって拡径するテーパー面により構成されていることを特徴とする請求項２３に記載の流体移送装置。
25. 前記非搬送作用領域の容積が、前記搬送作用領域に位置し、前記ロータの偏心回転により開閉される前記挿通孔内の搬送空間のいずれの容積よりも小さいことを特徴とする請求項２３または２４に記載の流体移送装置。
26. 前記ステータの流入口部分および／または流出口部分における前記ロータとの密着力が、前記ロータが最上位置および最下位置にある際に最も弱いことを特徴とする請求項１ないし２５のいずれかに記載の流体移送装置。
27. 前記搬送路の流出口から流出する流体を吐出する吐出口を有するノズル部材をさらに備えた液体材料吐出装置である請求項１ないし２６のいずれかに記載の流体移送装置。
28. 請求項１ないし２７のいずれかに記載の流体移送装置と、
    前記流体移送装置と被塗布物とを相対移動させる相対移動装置と、を備える塗布装置。
29. 請求項２８に記載の塗布装置を用いて、ワーク表面に均一な線幅の線描画を行う塗布方法。