TWI720232B - 旋塞閥、液體供給方法、液體供給裝置以及塗佈裝置 - Google Patents

Abstract

在藉由安裝於閥主體的旋塞部件的轉動動作對液體的供給路徑進行封閉的旋塞閥中，旋塞部件包括形成於外表面的旋塞側槽部，閥主體包括：液體流入口，使前述液體流入至內部；液體流出口，使前述液體流出至外部；主體側槽部，與前述旋塞部件的前述外表面對置，前述旋塞閥構成為根據前述旋塞部件的前述轉動動作切換第1狀態以及第2狀態，前述第1狀態是前述液體流入口以及前述液體流出口與前述主體側槽部之間藉由前述旋塞側槽部旁通的狀態，前述第2狀態是前述液體流入口以及前述液體流出口與前述主體側槽部之間未藉由前述旋塞側槽部旁通的狀態，在旋塞側槽部設置有整流部，在第1狀態下對從前述液體流入口流入的前述液體進行整流而使其不會停滯。

Description

旋塞閥、液體供給方法、液體供給裝置以及塗佈裝置

本發明涉及旋塞閥、液體供給方法、液體供給裝置以及塗佈裝置。

以往公知有藉由安裝於閥主體的旋塞部件的轉動動作而能夠封閉液體的供給路徑的旋塞閥（例如參照專利文獻1）。該旋塞閥在旋塞部件的外表面形成有旋塞側槽部，並且在閥主體中形成有：液體流入口，使液體流入至內部；液體流出口，使液體流出至外部；主體側槽部，與旋塞部件的外表面對置。而且，旋塞閥構成為根據旋塞部件的轉動動作來切換第1狀態與第2狀態，前述第1狀態是液體流入口以及液體流出口與主體側槽部之間藉由旋塞側槽部而旁通的狀態；前述第2狀態是液體流入口以及液體流出口與主體側槽部之間未藉由旋塞側槽部旁通的狀態。 現有技術文獻 專利文獻 　　專利文獻1：日本特開2015-206431號公報

發明要解決的問題 　　但是，因為在第1狀態下，從液體流入口流入的液體經由主體側槽部以及旋塞側槽部流入至液體流出口時，會暫時撞擊旋塞側槽部，所以液體在旋塞側槽部停滯，可能會在液體中產生氣泡。 　　本發明是鑒於以上那樣的問題而提出的，目的在於提供能夠抑制氣泡產生的旋塞閥、液體供給方法、液體供給裝置以及塗佈裝置。 用於解決上述問題的方案 　　本發明的第1方案的旋塞閥，能夠藉由安裝於閥主體的旋塞部件的轉動動作對液體的供給路徑進行封閉，前述旋塞部件包括形成於外表面的旋塞側槽部，前述閥主體包括：液體流入口，使前述液體流入至內部；液體流出口，使前述液體流出至外部；主體側槽部，與前述旋塞部件的前述外表面對置，前述旋塞閥構成為根據前述旋塞部件的前述轉動動作切換第1狀態以及第2狀態，前述第1狀態是前述液體流入口以及前述液體流出口與前述主體側槽部之間藉由前述旋塞側槽部旁通的狀態，前述第2狀態是前述液體流入口以及前述液體流出口與前述主體側槽部之間未藉由前述旋塞側槽部旁通的狀態，在前述旋塞側槽部設置有整流部，在前述第1狀態下對從前述液體流入口流入的前述液體進行整流，使其不會停滯。 　　根據該構造，在旋塞側槽部設置有整流部，在第1狀態下對從液體流入口流入的液體進行整流以使其不會停滯，由此在第1狀態下從液體流入口流入的液體經由主體側槽部以及旋塞側槽部流入至液體流出口時，即便暫時撞擊旋塞側槽部，也能夠藉由整流部對液體進行整流使其不會停滯。因此，能夠抑制氣泡的產生。 　　也可以是，在上述的旋塞閥中，前述整流部在前述第1狀態下與前述液體流入口對置。 　　根據該構造，與整流部在第1狀態下與液體流入口不對置的情況（即，整流部被配置在避開液體流入口的位置的情況）相比較，在第1狀態下，從液體流入口流入的液體變得容易朝向整流部流動，因此能夠更有效地發揮整流部的整流效果。因此，能夠更可靠地抑制氣泡的產生。 　　也可以是，在上述的旋塞閥中，前述整流部包括形成於前述旋塞部件的貫通孔。 　　根據該構造，因為在第1狀態下從液體流入口流入的液體通過貫通孔，所以能夠避免液體在旋塞側槽部的停滯。因此能夠更可靠地抑制氣泡的產生。此外，因為從液體流入口流入的液體，不僅經由主體側槽部以及旋塞側槽部流入至液體流出口，而且通過貫通孔流入至液體流出口，所以能夠使液體的流量增大。 　　也可以是，在上述的旋塞閥中，在前述第1狀態下與前述液體流入口對置的位置僅配置有1個前述貫通孔。 　　根據該構造，與在第1狀態下貫通孔未被配置於與液體流入口對置的位置的情況（即，貫通孔被配置於避開液體流入口的位置的情況）相比較，在第1狀態下從液體流入口流入的液體變得容易通過貫通孔，因此能夠更有效地發揮貫通孔的整流效果。因此能夠更可靠地抑制氣泡的產生。此外，因為只需在旋塞部件形成1個貫通孔即可，所以與在旋塞部件形成多個貫通孔的情況相比較，能夠較低地控制旋塞部件的加工成本。 　　也可以是，在上述的旋塞閥中，在前述第1狀態下與前述液體流入口對置的位置配置有多個前述貫通孔。 　　根據該構造，與僅配置了1個貫通孔的情況相比較，因為在第1狀態下從液體流入口流入的液體變得容易通過多個貫通孔，所以能夠更有效地發揮多個貫通孔的整流效果。因此，能夠更可靠地抑制氣泡的產生。此外，因為從液體流入口流入的液體，不僅經由主體側槽部以及旋塞側槽部流入至液體流出口，而且通過多個貫通孔流入至液體流出口，所以能夠使液體的流量增大。 　　也可以是，在上述的旋塞閥中，多個前述貫通孔包括：第1貫通孔，在前述第1狀態下配置於與前述液體流入口對置的位置；第2貫通孔，在前述旋塞部件的圓周方向上配置於與前述第1貫通孔相鄰的位置。 　　根據該構造，與多個貫通孔隨機地配置於旋塞部件的情況相比較，因為在第1狀態下從液體流入口流入的液體變得容易均等地通過第1貫通孔與第2貫通孔，所以能夠更有效地發揮多個貫通孔的整流效果。因此，能夠更可靠地抑制氣泡的產生。 　　也可以是，在上述的旋塞閥中，前述整流部還包括在前述第1狀態下配置於與前述液體流入口對置的位置的分隔部。 　　根據該構造，因為在第1狀態下從液體流入口流入的液體以分隔部為起點向旋塞部件的圓周方向分流，分流後的液體變得容易均等地向旋塞部件的圓周方向流動，所以能夠更有效地發揮整流效果。因此，能夠更可靠地抑制氣泡的產生。 　　也可以是，在上述的旋塞閥中，多個前述貫通孔包括：第3貫通孔，在前述旋塞部件的圓周方向上配置於與前述分隔部相鄰的位置；第4貫通孔，在前述旋塞部件的圓周方向上隔著前述分隔部配置於前述第3貫通孔的相反側。 　　根據該構造，因為在第1狀態下使從液體流入口流入的液體以分隔部為起點向旋塞部件的圓周方向分流，分流後的液體變得容易均等地通過第3貫通孔與第4貫通孔，所以能夠更有效地發揮多個貫通孔的整流效果。因此，能夠更可靠地抑制氣泡的產生。 　　也可以是，在上述的旋塞閥中，前述整流部包括形成於前述旋塞部件的凹部。 　　根據該構造，因為在第1狀態下從液體流入口流入的液體進入凹部，所以能夠避免液體在旋塞側槽部的停滯。因此，能夠更可靠地抑制氣泡的產生。 　　也可以是，在上述的旋塞閥中，前述凹部包括第1凹部與第2凹部，前述第1凹部與第2凹部以在前述第1狀態下與前述液體流入口對置的位置形成有邊界部的方式、在前述旋塞部件的圓周方向上相互鄰接地配置。 　　根據該構造，因為在第1狀態下使從液體流入口流入的液體以邊界部為起點向旋塞部件的圓周方向分流，分流後的液體變得容易均等地進入第1凹部與第2凹部，所以能夠更有效地發揮凹部的整流效果。因此，能夠更可靠地抑制氣泡的產生。 　　也可以是，在上述的旋塞閥中，在前述第1狀態下，前述主體側槽部以及前述旋塞側槽部相互交叉地配置，在前述第2狀態下，前述主體側槽部以及前述旋塞側槽部相互平行地配置。 　　根據該構造，藉由使旋塞部件轉動90度能夠切換第1狀態以及第2狀態。 　　也可以是，在上述的旋塞閥中，前述閥主體的至少前述液體流入口以及前述液體流出口的附近由樹脂構成。 　　根據該構造，能夠使用例如螺母等容易地按壓液體流入口以及液體流出口的附近而使其變形。 　　也可以是，在上述的旋塞閥中，前述閥主體的前述液體流入口以及前述液體流出口附近按壓前述旋塞部件的外表面。 　　根據該構造，藉由按壓液體流入口以及液體流出口的附近而使其變形，能夠容易地調整閥主體與旋塞部件的接觸狀態。 　　也可以是，在上述的旋塞閥中，前述旋塞部件呈形成有前述旋塞側槽部的圓柱狀，前述閥主體的前述主體側槽部的截面具有曲面，前述旋塞部件的外周面的曲率半徑比前述主體側槽部的曲率半徑大。 　　根據該構造，因為在第1狀態下，旋塞部件的外周面與旋塞側槽部之間產生間隙，所以能夠將旋塞側槽部作為液體的流路起作用。 　　本發明的第2方案的液體供給方法是藉由使設置於液體供給通路的閥開閉而將液體從液體供給源供給至液體供給對象，使用第1方案的旋塞閥作為前述閥。 　　根據該方法，因為使用第1方案的旋塞閥來開閉液體供給通路，所以能夠抑制氣泡的產生。因此，能夠提供抑制氣泡向液體供給對象流入的情況之可靠性高的液體供給方法。 　　本發明的第3方案的液體供給裝置是藉由使設置於液體供給通路的閥開閉而將液體從液體供給源供給至液體供給對象，具備第1方案的旋塞閥作為前述閥。 　　根據該構造，因為使用第1方案的旋塞閥來開閉液體供給通路，所以能夠抑制氣泡的產生。因此，能夠提供抑制氣泡向液體供給對象流入的情況之可靠性高的液體供給裝置。 　　本發明的第4方案的塗佈裝置，具備：將液體塗佈於被塗佈物的塗佈部；將前述液體供給至前述塗佈部的液體供給通路；設置於前述液體供給通路的閥，具備第1方案的旋塞閥作為前述閥。 　　根據該構造，因為使用第1方案的旋塞閥來開閉液體供給通路，所以能夠抑制氣泡的產生。因此，能夠提供可靠性高的塗佈裝置，能夠抑制氣泡產生的不良狀況，且能夠相對於被塗佈物良好地塗佈液體。 發明效果 　　根據本發明，能夠提供一種旋塞閥、液體供給方法、液體供給裝置以及塗佈裝置，能夠抑制氣泡的產生。

（第1實施方式） 　　以下，使用圖1～圖6對本發明的第1實施方式進行說明。在本實施方式中，舉出在液體供給路徑中具備旋塞閥的塗佈裝置為例進行說明。本實施方式的塗佈裝置用於將黏性比較高且可能產生異物的光阻劑等藥液（液體）塗佈於半導體基板（被塗佈物）上。 　　另外，為了容易理解特徵，在以下說明中使用的附圖有時為了方便而放大示出成為特徵的部分，各構成要素的尺寸比例等並不一定與實際相同。 ＜塗佈裝置＞ 　　如圖1所示，本實施方式的塗佈裝置100具備：液體供給源10；液體供給通路11；能夠封閉（能夠開閉）液體供給通路11的閥20（旋塞閥）；相對於半導體基板1能夠塗佈液體的塗佈部40；保持半導體基板1的工作臺50。 　　液體供給源10具備儲存液體的儲存容器和從該儲存容器移送液體的移送泵（均未圖示）。 　　液體供給通路11是連接液體供給源10與塗佈部40之間的流路。從液體供給源10經由液體供給通路11朝向塗佈部40供給液體。液體供給通路11具備：上游供給通路11a，將閥20與液體供給源10之間連接起來；下游供給通路11b，將閥20與塗佈部40之間連接起來。 　　閥20設置在液體供給通路11的中途。 　　作為塗佈部40，能夠使用例如噴墨頭或狹縫噴嘴等。 ＜閥＞ 　　如圖2所示，閥20是旋塞閥方式的閥。閥20具備：柱狀的旋塞部件21，在沿著軸線C1的方向（以下稱為“軸線方向”）上延伸；筒狀的旋塞閥主體22，以包圍旋塞部件21的外周的方式與旋塞部件21同軸地延伸。 　　在旋塞部件21上安裝有能夠相對於閥主體22轉動旋塞部件21的驅動裝置30。作為驅動裝置30，能夠使用例如致動器或馬達等。驅動裝置30具備以軸線C1為中心旋轉的旋轉軸31。旋轉軸31被固定於旋塞部件21的一端部。 ＜旋塞部件＞ 　　如圖3所示，旋塞部件21呈圓柱狀。旋塞部件21例如由金屬部件形成。在旋塞部件21的一端部形成有用於安裝驅動裝置30的旋轉軸31的安裝孔19。與旋塞部件21的一端面21A一側的外徑相比，另一端面21B一側的外徑較小。 　　在旋塞部件21的外周面21a上形成有一對旋塞側槽部24、25。一對旋塞側槽部24、25配置於相對於外周面21a彼此錯開180度的位置。一對旋塞側槽部24、25分別具有相同的形狀。 　　一對旋塞側槽部24、25沿著與軸線C1交叉的直線平行的方向（例如在本實施方式中是與軸線C1正交的直線平行的方向）形成。即，一對旋塞側槽部24、25沿著與外周面21a的切線平行的方向形成。 　　具體而言，一對旋塞側槽部24、25具備：底面24a、25a，呈沿著與外周面21a的切線平行的方向延伸的長方形形狀；一端面24b、25b，與底面24a、25a的一端側相連；另一端面24c、25c，與底面24a、25a的另一端側相連。底面24a、25a、一端面24b、25b以及另一端面24c、25c分別平坦地形成。 　　在底面24a、25a與一端面24b、25b之間以及底面24a、25a與另一端面24c、25c之間，分別形成有呈圓弧形狀的連結部24d、25d。連結部24d、25d彎曲成使得底面24a、25a與一端面24b、25b之間以及底面24a、25a與另一端面24c、25c之間分別平滑地相連。 　　另外，能夠根據閥20的設計要求（液體的供給能力）而適當設定一對旋塞側槽部24、25的深度（即從外周面21a到底面24a、25a的距離）。 ＜閥主體＞ 　　如圖2所示，閥主體22呈與旋塞部件21同軸並且在軸線方向上延伸的圓筒狀。閥主體22例如能夠由聚甲醛或超高分子量聚乙烯（UPE；ultra-high molecular weight polyethylene）等的樹脂材料形成。 　　在閥主體22上形成有：插入孔32，用於插入旋塞部件21；液體流入通路36，使液體流入至內部；液體流出通路37，使液體流出至外部。液體流入通路36以及液體流出通路37沿著與軸線方向正交的方向（以下稱為“徑向”）排列成一直線，以使閥主體22的外周面22a與插入孔32連通。 　　液體流入通路36被連接於上游供給通路11a（參照圖1）。由此，液體從液體供給源10經由上游供給通路11a以及液體流入通路36被供給至閥20的內部。 　　液體流出通路37被連接於下游供給通路11b（參照圖1）。由此，液體從閥20的內部經由液體流出通路37以及下游供給通路11b被供給至塗佈部40。 　　如圖5所示，液體流入通路36之中連通於插入孔32的開口部構成液體流入口36a。液體流出通路37之中連通於插入孔32的開口部構成液體流出口37a。 　　在閥主體22的外周面22a形成有一對平坦的抵接面22b、22c。抵接面22b被配置於外周面22a之中位於液體流入通路36的一側。抵接面22c被配置於外周面22a之中位於液體流出通路37的一側。一對抵接面22b、22c分別具有相同的形狀。 　　如圖2所示，在閥主體22的插入孔32的內壁面，設置有在軸線方向上遠離（分離）的一對軸承33a、33b。軸承33a被配置在旋塞部件21的一端面21A一側。軸承33b被配置在旋塞部件21的另一端面21B一側。閥主體22經由軸承33a、33b保持旋塞部件21。由此，藉由驅動裝置30能夠相對於閥主體22容易地轉動旋塞部件21。 　　在閥主體22的插入孔32的內壁面，設置有隔著液體流入通路36以及液體流出通路37而在軸線方向上遠離的一對密封部件26、27。一對密封部件26、27被配置於閥主體22的插入孔32的內壁面與旋塞部件21的外周面21a之間。例如能夠使用O型環等作為密封部件26、27。 　　在閥主體22的插入孔32的內壁面形成有與旋塞側槽部24、25相對應的一對主體側槽部34、35。一對主體側槽部34、35形成為具有與插入至插入孔32的旋塞部件21的旋塞側槽部24、25大致相同的高度。即，主體側槽部34、35以及旋塞側槽部24、25的至少一部分在徑向上重合。因此，藉由旋塞部件21的轉動動作，主體側槽部34、35以及旋塞側槽部24、25能夠相互地連通。 　　旋塞側槽部24、25以及主體側槽部34、35的形成區域被一對密封部件26、27密封。由此，即便液體流入至旋塞側槽部24、25以及主體側槽部34、35之間，也能夠避免流入的液體向外側（即，比一對密封部件26、27更靠近軸線方向的外側）洩漏。 　　在閥主體22的外周面22a安裝有一對筒狀的螺紋管38、39。螺紋管38的內表面構成液體流入通路36的一部分。螺紋管39的內表面構成液體流出通路37的一部分。 　　在螺紋管38、39的基部（閥主體22的外周面22a一側的部分）分別形成有螺紋部38a、39a。螺紋部38a、39a分別安裝有螺母28、29。螺母28、29分別抵接於抵接面22b、22c。藉由調整螺母28、29向螺紋部38a、39a的擰入量，能夠調整螺母28、29對抵接面22b、22c的按壓力。 　　如上所述，因為閥主體22由聚甲醛或UPE等的樹脂材料形成，所以若將螺母28、29擰入至螺紋部38a、39a，則抵接面22b、22c被螺母28、29按壓從而向徑向內側位移。 　　另一方面，若放鬆螺母28、29，則抵接面22b、22c向徑向內側的位移變小。即，若放鬆螺母28、29，則抵接面22b、22c恢復至螺母28、29擰入前的位置。 　　例如，藉由調整螺母28、29的擰入量，按壓抵接面22b、22c而使其向徑向內側位移既定量，由此能夠容易地調整旋塞部件21的外周面21a與液體流入口36a以及液體流出口37a的接觸狀態（密閉狀態）。 　　此外，因為閥主體22是樹脂制的，所以即便使抵接面22b、22c向徑向內側位移的情況下，也能夠抑制相對於金屬製的旋塞部件21（插入孔32）的接觸阻力的增加。因此，能夠順暢地轉動插入至插入孔32的旋塞部件21。 ＜流路的非接觸狀態（第2狀態）＞ 　　如圖4所示，藉由旋塞部件21的轉動動作，旋塞側槽部24、25以及主體側槽部34、35相互平行地配置。此時，液體流入口36a以及液體流出口37a藉由旋塞部件21的外周面21a被封閉。因此液體流入口36a以及液體流出口37a與主體側槽部34、35之間成為未藉由旋塞側槽部24、25旁通（連接）的狀態（以下稱為“第2狀態”）。 　　例如，藉由調整螺母28、29的擰入量，按壓抵接面22b、22c而使其向徑向內側位移既定量，由此，因為在第2狀態下，外周面21a緊貼液體流入口36a以及液體流出口37a，所以能夠可靠地密閉由旋塞側槽部24、25以及主體側槽部34、35圍成的空間S。即，空間S所保持的液體不會流入至液體流出通路37。此外，液體也不會從液體流入通路36流入至空間S。 　　由此，在第2狀態下，能夠封閉液體供給通路11（參照圖1）。因此，在第2狀態下，能夠切斷液體從圖1所示的上游供給通路11a一側向下游供給通路11b一側的流動。 ＜流路的連接狀態（第1狀態）＞ 　　圖5是示出將第2狀態下的旋塞部件21以軸線C1為中心轉動90度後的狀態的圖。在圖5中，示出使第2狀態下的旋塞部件21逆時針轉動90度，由此使旋塞側槽部24與液體流入口36a對置，並且使旋塞側槽部25對置於液體流出口37a的情況。 　　如圖5所示，藉由旋塞部件21的轉動動作，旋塞側槽部24、25以及主體側槽部34、35相互交叉地配置。此時，旋塞側槽部24、25分別對置於液體流入口36a以及液體流出口37a。由此，解除了旋塞部件21的外周面21a對液體流入口36a以及液體流出口37a的封閉狀態。因此，液體流入口36a以及液體流出口37a與主體側槽部34、35之間成為藉由旋塞側槽部24、25旁通（連接）的狀態（以下稱為“第1狀態”）。 　　主體側槽部34、35的截面具有曲面。旋塞部件21的外周面21a的曲率半徑比主體側槽部34、35的曲率半徑大。由此，在第1狀態下，旋塞側部件21的外周面21a與主體側槽部34、35之間產生間隙，因此能夠將主體側槽部34、35作為液體的流路起作用。 ＜整流部＞ 　　如圖5所示，在旋塞側槽部24、25中，設置有整流部60，在第1狀態下對從液體流入口36a流入的液體進行整流使其不會停滯。整流部60在第1狀態下與液體流入口36a對置。即，整流部60在第1狀態下，配置在與液體流入口36a在徑向上重合的位置。 　　整流部60具備形成於旋塞部件21的貫通孔61。在第1狀態下，在與液體流入口36a對置的位置僅配置1個貫通孔61。如圖6所示，從徑向觀察，貫通孔61呈圓形形狀。另外，在圖6中，圖示出旋塞部件21中的旋塞側槽部24的周邊部，省略了一端面21A以及另一端面21B一側的圖示。 　　如圖5所示，貫通孔61在與軸線C1重合的位置直線狀地貫通旋塞部件21。即，貫通孔61在旋塞部件21的徑向上開口。在第1狀態下，貫通孔61與液體流入通路36以及液體流出通路37一起沿徑向排列成一直線。貫通孔61的內徑與液體流入通路36以及液體流出通路37的內徑實質上為相同的大小。 　　在第1狀態下，從上游供給通路11a（參照圖1）供給的液體經由液體流入通路36的液體流入口36a流入至旋塞側槽部24。流入至旋塞側槽部24的液體經由主體側槽部34、35流入至旋塞側槽部25。此外，流入至旋塞側槽部24的液體經由貫通孔60流入至旋塞側槽部25。流入至旋塞側槽部25的液體從液體流出口37a向液體流出通路37流入。流入至液體流出通路37的液體經由下游供給通路11b向塗佈部40（參照圖1）供給。 　　由此使在第2狀態下被保持於由旋塞側槽部24、25以及主體側槽部34、35圍成的空間S中的液體，在第1狀態下經由主體側槽部34、35以及旋塞側槽部24、25流入至液體流出口37a。即，能夠將在第2狀態下形成了液體的保持空間（空間S）的主體側槽部34、35以及旋塞側槽部24、25，在第1狀態下作為使液體流入通路36以及液體流出通路37旁通的流路起作用。 　　因此，能夠抑制在第2狀態下液體長時間地殘留在旋塞部件21與閥主體22的間隙（空間S）。由此能夠抑制由間隙的殘留液體所導致的異物產生，能夠抑制異物隨著閥20的開閉從液體流出口37a向塗佈部40一側（參照圖1）流出之類的不良狀況的產生。 　　如上所述，本實施方式的閥20，在能夠藉由安裝於閥主體22的旋塞部件21的轉動動作對液體供給通路11進行封閉的旋塞閥中，旋塞部件21包括形成於外表面的旋塞側槽部24、25，閥主體22包括：液體流入口36a，使液體流入至內部；液體流出口37a，使液體流出至外部；主體側槽部34、35，與旋塞部件21的外表面對置，閥20構成為根據旋塞部件21的轉動動作切換第1狀態以及第2狀態，前述第1狀態是液體流入口36a以及液體流出口37a與主體側槽部34、35之間藉由旋塞側槽部24、25旁通的狀態，前述第2狀態是液體流入口36a以及液體流出口37a與主體側槽部34、35之間未藉由旋塞側槽部24、25旁通的狀態，在旋塞側槽部24、25設置有整流部60，在第1狀態下對從液體流入口36a流入的液體進行整流，使其不會停滯。 　　根據該構造，在旋塞側槽部24、25設置有整流部60，在第1狀態下對從液體流入口36a流入的液體進行整流，使其不會停滯，由此在第1狀態下從液體流入口36a流入的液體，經由主體側槽部34、35以及旋塞側槽部24、25流入至液體流出口37a時，即便暫時撞擊旋塞側槽部24，也能夠藉由整流部60對液體進行整流使其不會停滯。因此，能夠抑制氣泡的產生。 　　此外，使整流部60在第1狀態下與液體流入口36a對置，藉此與整流部在第1狀態下與液體流入口36a不對置的情況（即，整流部60被配置在避開液體流入口36a的位置的情況）相比較，在第1狀態下，從液體流入口36a流入的液體變得容易朝向整流部60流動，因此能夠更有效地發揮整流部60的整流效果。因此，能夠更可靠地抑制氣泡的產生。 　　此外，使整流部60包括形成於旋塞部件21的貫通孔61，藉此在第1狀態下使從液體流入口36a流入的液體通過貫通孔61，故能夠避免液體在旋塞側槽部24的停滯。因此能夠更可靠地抑制氣泡的產生。此外，從液體流入口36a流入的液體，不僅經由主體側槽部34、35以及旋塞側槽部24、25流入至液體流出口37a，而且通過貫通孔61流入至液體流出口37a，能夠使液體的流量增大。 　　此外，在第1狀態下，在與液體流入口36a對置的位置僅配置1個貫通孔61，藉此與貫通孔61在第1狀態下未被配置在與液體流入口36a對置的位置的情況（即，貫通孔61被配置於避開液體流入口36a的位置的情況）相比較，在第1狀態下從液體流入口36a流入的液體變得容易通過貫通孔61，因此能夠更有效地發揮貫通孔61的整流效果。因此能夠更可靠地抑制氣泡的產生。此外，因為只需在旋塞部件21形成1個貫通孔61即可，所以與在旋塞部件21形成多個貫通孔的情況相比較，能夠較低地控制旋塞部件21的加工成本。 　　此外，本實施方式的塗佈裝置100具備：將液體塗佈於半導體基板（被塗佈物）的塗佈部40；將液體供給至塗佈部40的液體供給通路11；設置於液體供給通路11的旋塞閥，因為具備上述閥20作為前述旋塞閥，藉此能夠使用閥20開閉液體供給通路11，所以能夠抑制氣泡的產生。因此，提供可靠性高的塗佈裝置100，能夠抑制氣泡產生的不良狀況，且能夠相對於被塗佈物良好地塗佈液體。 （第1實施方式的旋塞部件的變形例） 　　接著使用圖7～圖9對第1實施方式的旋塞部件21的變形例進行說明。 　　圖7是示出第1實施方式的旋塞部件21的第1變形例之與圖6相對應的立體圖。 　　如圖7所示，在本變形例中，相對於第1實施方式的旋塞部件21，旋塞側槽部124的方案特別地不同。在圖7中，對與第1實施方式相同的構造賦予相同的附圖標記，省略其詳細說明。另外，一對旋塞側槽部124、125分別具有相同的形狀，因此對一側的旋塞側槽部124進行說明，而省略另一側的旋塞側槽部125（參照圖11）的說明。 　　旋塞側槽部124具備：底面24a，呈沿著與外周面21a的切線平行的方向延伸的長方形形狀；一端面24b，與底面24a的一端側相連；另一端面24c，與底面24a的另一端側相連。底面24a、一端面24b以及另一端面24c分別平坦地形成。 　　在底面24a與一端面24b之間以及底面24a與另一端面24c之間，分別形成有呈直角形狀的連結部124d。連結部124d彎曲成使得底面24a與一端面24b之間以及底面24a與另一端面24c之間分別以直角地相連。 　　圖8是示出第1實施方式的旋塞部件21的第2變形例之與圖6相對應的立體圖。 　　如圖8所示，在本變形例中，相對於第1變形例的整流部60，貫通孔161的方案特別地不同。在圖8中，對與第1變形例相同的構造賦予相同的附圖標記，省略其詳細說明。 　　從徑向觀察，貫通孔161呈在底面24a的長度方向上延伸的橢圓形狀。底面24a的大部分成為貫通孔161的開口區域。即，貫通孔161的開口面積比上述貫通孔61的開口面積大。 　　根據本變形例，貫通孔161的開口面積變大，在第1狀態下從液體流入口36a流入的液體變得容易通過貫通孔161，因此能夠更有效地發揮貫通孔161的整流效果。因此，能夠更可靠地抑制氣泡的產生。此外，因為從液體流入口36a流入的液體通過貫通孔161流入至液體流出口37a，所以能夠使液體的流量增大。 　　圖9是示出第1實施方式的旋塞部件21的第3變形例之與圖6相對應的立體圖。 　　如圖9所示，在本變形例中，相對於第1實施方式的旋塞部件21，旋塞側槽部224的方案特別地不同。在圖9中，對與第1實施方式相同的構造賦予相同的附圖標記，省略其詳細說明。另外，一對旋塞側槽部分別具有相同的形狀，因此對一側的旋塞側槽部224進行說明，而省略另一側的旋塞側槽部（未圖示）的說明。 　　旋塞側槽部224具備：底面224a，呈沿著與外周面21a的切線平行的方向延伸的梯形形狀；一端面224b，與底面224a的一端側相連；另一端面224c，與底面224a的另一端側相連。另一端面224c呈使底面224a在軸線方向上翻轉的梯形形狀。另一端面224c以越向徑向外側越遠離一端面224b的方式傾斜。底面224a、一端面224b以及另一端面224c分別平坦地形成。 　　在底面224a與另一端面224c之間形成有呈直角形狀的連結部224d。連結部224d彎曲成使得底面224a與另一端面224c之間直角地相連。在連結部224d的中途形成有貫通孔61。即，連結部224d經由貫通孔61被分割。 （第2實施方式） 　　以下，使用圖10、圖11對本發明的第2實施方式進行說明。 　　圖10是示出第2實施方式的旋塞部件21之與圖6相對應的立體圖。 　　如圖10所示，在本實施方式中，相對於第1實施方式，整流部260的方案特別地不同。在圖10中，對與第1實施方式相同的構造賦予相同的附圖標記，省略其詳細說明。 　　如圖11所示，在旋塞側槽部124設置有整流部260，在第1狀態下對從液體流入口36a流入的液體進行整流使其不會停滯。整流部260具備形成於旋塞部件21的多個（例如在本實施方式中為3個）貫通孔261、262（1個貫通孔261以及2個貫通孔262）。多個貫通孔261、262被配置於在第1狀態下與液體流入口36a對置的位置。 　　多個貫通孔261、262具備：1個第1貫通孔261，在第1狀態下配置於與液體流入口36a對置的位置；2個第2貫通孔262，在旋塞部件21的圓周方向上配置於與第1貫通孔261相鄰的位置。如圖10所示，從徑向觀察，各貫通孔261、262呈圓形形狀。各貫通孔261、262的開口面積相互地為實質相同的大小。 　　如圖11所示，第1貫通孔261在與軸線C1重合的位置直線狀地貫通旋塞部件21。即，第1貫通孔261在旋塞部件21的徑向上開口。在第1狀態下，第1貫通孔261與液體流入通路36以及液體流出通路37一起沿徑向排列成一直線。第1貫通孔261的內徑比液體流入通路36以及液體流出通路37的內徑稍小。 　　各第2貫通孔262在避開軸線C1的位置上直線狀地貫通旋塞部件21。即，各第2貫通孔262在與第1貫通孔261相鄰的位置，往與第1貫通孔261平行的方向開口。第2貫通孔262的內徑與第1貫通孔261的內徑為實質上相同的大小。 　　在第1狀態下，經由液體流入通路36的液體流入口36a流入至旋塞側槽部124的液體經由主體側槽部34、35流入至旋塞側槽部125。此外，流入至旋塞側槽部124的液體經由多個貫通孔261、262流入至旋塞側槽部125。流入至旋塞側槽部125的液體從液體流出口37a向液體流出通路37流入，而向塗佈部40（參照圖1）供給。 　　如上所述，根據本實施方式，藉由在第1狀態下在與液體流入口36a對置的位置配置有多個貫通孔261、262，與僅配置了1個貫通孔的情況相比較，在第1狀態下從液體流入口36a流入的液體變得容易通過多個貫通孔261、262，所以能夠更有效地發揮多個貫通孔261、262的整流效果。因此，能夠更可靠地抑制氣泡的產生。此外，因為從液體流入口36a流入的液體，不僅經由主體側槽部34、34以及旋塞側槽部124、125流入至液體流出口37a，而且通過多個貫通孔261、262流入至液體流出口37a，所以能夠使液體的流量增大。 　　此外，多個貫通孔261、262包括：第1貫通孔261，在第1狀態下配置於與液體流入口36a對置的位置；第2貫通孔262，在旋塞部件21的圓周方向上配置於與第1貫通孔261相鄰的位置，由此與多個貫通孔261、262隨機地配置於旋塞部件21的情況相比較，因為在第1狀態下從液體流入口36a流入的液體變得容易均等地通過第1貫通孔261與第2貫通孔262，所以能夠更有效地發揮多個貫通孔261、262的整流效果。因此，能夠更可靠地抑制氣泡的產生。 　　另外，雖然在本實施方式中，列舉了整流部260具備3個貫通孔261、262（1個貫通孔261以及2個貫通孔262）的例子，但是本發明並不限定於此。例如，整流部可以具備2個或者4個以上的多個貫通孔。 （第3實施方式） 　　以下，使用圖12、圖13對本發明的第3實施方式進行說明。 　　圖12是示出第3實施方式的旋塞部件21之與圖6相對應的立體圖。 　　如圖12所示，在本實施方式中，相對於第1實施方式，整流部360的方案特別地不同。在圖12中，對與第1實施方式相同的構造賦予相同的附圖標記，省略其詳細說明。 　　如圖13所示，在旋塞側槽部124設置有整流部360，在第1狀態下對從液體流入口36a流入的液體進行整流使其不會停滯。整流部360具備：分隔部361，在第1狀態下配置於與液體流入口36a對置的位置；形成於旋塞部件21的多個（例如在本實施方式中為2個）貫通孔362、363。多個貫通孔362、363具備：第3插通孔362，在旋塞部件21的圓周方向上配置於與分隔部361相鄰的位置；第4貫通孔363，在旋塞部件21的圓周方向上隔著分隔部361配置在第3貫通孔362的相反側。 　　如圖12所示，從徑向觀察，各貫通孔362、363呈圓形形狀。各貫通孔362、363的開口面積相互地為實質上相同的大小。底面24a的大部分成為貫通孔362、363的開口區域。即，貫通孔362、363的開口面積比上述多個貫通孔261、262的開口面積大。 　　如圖13所示，分隔部361在與軸線C1重合的位置上，在旋塞部件21的徑向上直線狀地延伸。即，分隔部361在旋塞部件21中形成劃分第3貫通孔362以及第4貫通孔363的分隔壁。分隔部361的厚度與第3貫通孔362以及第4貫通孔363的內徑相比足夠小。 　　各貫通孔362、363在避開了軸線C1的位置直線狀地貫通旋塞部件21。即，各貫通孔362、363在與分隔部361相鄰的位置，往與分隔部361平行的方向開口。第3貫通孔362的內徑與第4貫通孔363的內徑為實質上相同的大小。 　　在第1狀態下，經由液體流入通路36的液體流入口36a流入至旋塞側槽部124的液體經由主體側槽部34、35流入至旋塞側槽部125。此外，流入至旋塞側槽部124的液體經由多個貫通孔362、363流入至旋塞側槽部125。流入至旋塞側槽部125的液體從液體流出口37a向液體流出通路37流入，而向塗佈部40（參照圖1）供給。 　　如上所述，根據本實施方式，整流部360進而包括在第1狀態下配置於與液體流入口36a對置的位置的分隔部361，藉此在第1狀態下使從液體流入口36a流入的液體以分隔部361為起點在旋塞部件21的圓周方向上分流，分流後的液體變得容易均等地在旋塞部件21的圓周方向上流動，能夠更有效地發揮整流效果。因此，能夠更可靠地抑制氣泡的產生。 　　此外，多個貫通孔362、363包括：第3貫通孔362，在旋塞部件21的圓周方向上配置於與分隔部361相鄰的位置；第4貫通孔363，在旋塞部件21的圓周方向上隔著前述分隔部361配置於第3貫通孔362的相反側，由此在第1狀態下使從液體流入口36a流入的液體以分隔部361為起點在旋塞部件21的圓周方向上分流，分流後的液體變得容易均等地通過第3貫通孔362與第4貫通孔363，能夠更有效地發揮多個貫通孔362、363的整流效果。因此，能夠更可靠地抑制氣泡的產生。 　　此外，貫通孔362、363的開口面積比上述多個貫通孔261、262的開口面積大，在第1狀態下從液體流入口36a流入的液體變得容易通過貫通孔362、363，故能夠更可靠地發揮貫通孔362、363的整流效果。因此能夠更可靠地抑制氣泡的產生。此外，從液體流入口36a流入的液體通過貫通孔362、363而流入至液體流出口37a，能夠使液體的流量增大。 （第3實施方式的旋塞部件的變形例） 　　接著，使用圖14～圖16對第3實施方式的旋塞部件21的變形例進行說明。 　　圖14是示出第3實施方式的旋塞部件21的第1變形例之與圖6相對應的立體圖。 　　如圖14所示，在本變形例中，相對於第3實施方式的旋塞部件21，旋塞側槽部324以及分隔部365的方案特別地不同。在圖14中，對與第3實施方式相同的構造賦予相同的附圖標記，省略其詳細說明。另外，因為一對旋塞側槽部324、325分別具有相同的形狀，所以對一側的旋塞側槽部324進行說明，而省略另一側的旋塞側槽部325（參照圖15）的說明。 　　旋塞側槽部324具備：底面324a，在與外周面21a的切線平行的方向上的中途彎曲地延伸；一端面324b，與底面324a的一端側相連；另一端面324c，與底面324a的另一端側相連。 　　如圖15所示，底面324a具備第1底面324e與第2底面324f，前述第1底面324e與第2底面324f以在與液體流入口36a對置的位置形成有邊界部365a的方式在旋塞部件21的圓周方向上相互鄰接地配置。邊界部365a在與軸線C1平行的方向上直線狀地延伸。第1底面324e以及第2底面324f緩慢地彎曲地延伸，形成越遠離邊界部365a越向徑向內側凹陷的凹部。 　　如圖14所示，第1底面324e以及第2底面324f形成為在徑向內側呈凹狀的曲面狀。一端面324b以及另一端面324c分別平坦地形成。 　　在底面324a與一端面324b之間以及底面324a與另一端面324c之間分別形成有呈直角形狀的連結部324d。連結部324d彎曲成使得底面324a與一端面324b之間以及底面324a與另一端面324c之間分別直角地相連。此外，連結部324d在與邊界部365a交叉的部分中彎曲，並且沿著第1底面324e以及第2底面324f的端緣以向徑向內側凸出的方式緩慢地彎曲。 　　在分隔部365形成有邊界部365a。在圖15的剖視狀態下，分隔部365呈將邊界部365a作為前端的尖銳形狀。邊界部365a以與液體流入口36a的中心位置在徑向上重合的方式進行配置。 　　根據本變形例，在第1狀態下使從液體流入口36a流入的液體以邊界部365a為起點在旋塞部件21的圓周方向上分流，分流後的液體變得容易均等地藉由第3貫通孔362與第4貫通孔363，因此能夠更有效地發揮多個貫通孔362、363的整流效果。因此，能夠更可靠地抑制氣泡的產生。 　　圖16是示出第3實施方式的旋塞部件21的第2變形例之與圖6相對應的立體圖。 　　如圖16所示，在本變形例中，相對於第3實施方式的第1變形例的旋塞部件21，貫通孔366的方案特別地不同。在圖16中，對與第3實施方式的第1變形例相同的構造賦予相同的附圖標記，省略其詳細說明。 　　從徑向觀察，在與分隔部365重合的位置僅配置有1個貫通孔366。從徑向觀察，貫通孔366具有沿著第1底面324e以及第2底面324f的曲面的輪廓。貫通孔366形成於邊界部365a的中途。即，邊界部365a經由貫通孔366被分割。 （第4實施方式） 　　以下，使用圖17、圖18對本發明的第4實施方式進行說明。 　　圖17是示出第4實施方式的旋塞部件21之與圖6相對應的立體圖。 　　如圖17所示，在本實施方式中，相對於第1實施方式，整流部460的方案特別地不同。在圖17、圖18中，對與第1實施方式相同的構造賦予相同的附圖標記，省略其詳細說明。 　　如圖17所示，整流部460具備形成於旋塞部件21的凹部462、463。如圖18所示，凹部462、463具備第1凹部462與第2凹部463，前述第1凹部462與第2凹部463以在第1狀態下與液體流入口36a對置的位置上形成邊界部461的方式在旋塞部件21的圓周方向上相互鄰接地配置。 　　如圖17所示，從徑向觀察，各凹部462、463呈圓形形狀。如圖18所示，第1凹部462以及第2凹部463緩慢地彎曲並延伸，形成越遠離邊界部461越向徑向內側凹陷的凹部。即，第1凹部462以及第2凹部463形成為向徑向內側凸出的曲面狀。在圖18的剖視狀態下，分隔部461呈向徑向外側突出的尖銳形狀。邊界部461以與液體流入口36a的中心位置在徑向上重合的方式進行配置。 　　在第1狀態下，經由液體流入通路36的液體流入口36a流入至各凹部462、463的液體經由主體側槽部34、35流入至旋塞側槽部125。即，各凹部462、463作為旋塞側槽部起作用。此時，流入至各凹部462、463的液體，以邊界部461為起點在旋塞部件21的圓周方向上分流，沿著各凹部462、463的曲面流動，經由主體側槽部34、35流入至旋塞側槽部25。流入至旋塞側槽部25的液體，從液體流出口37a向液體流出通路37流入，而向塗佈部40（參照圖1）供給。 　　如上所述，根據本實施方式，使整流部460包括形成於旋塞部件21的凹部462、463，藉此在第1狀態下使從液體流入口36a流入的液體進入至凹部462、463，故能夠避免液體在旋塞側槽部24中停滯。因此，能夠更可靠地抑制氣泡的產生。 　　此外，使凹部462、463包括第1凹部462與第2凹部463，該第1凹部462與第2凹部463在以在第1狀態下與液體流入口36a對置的位置形成有邊界部461的方式在旋塞部件21的圓周方向上相互鄰接地配置，藉此在第1狀態下使從液體流入口36a流入的液體以邊界部461為起點在旋塞部件21的圓周方向上分流，因為分流後的液體變得容易均等地進入第1凹部462與第2凹部463，所以能夠更有效地發揮凹部462、463的整流效果。因此，能夠更可靠地抑制氣泡的產生。 　　本發明並不限定於上述實施方式，能夠在不違反從申請專利的範圍以及說明書整體能夠讀取的發明的要旨或者思想的範圍內進行適當變更。例如，在上述實施方式中，雖然列舉了閥主體22的整體由樹脂材料構成的情況為例，但是本發明並不限定於此，也可以是只有閥主體22的一部分由樹脂材料構成。例如，也可以是以樹脂材料構成閥主體22中至少需要擠壓而使其變形的部分（液體流入口36a以及液體流出口37a的附近），並以金屬材料構成其他的部分。 　　此外，雖然在上述實施方式中列舉了以將本發明的旋塞閥用於塗佈裝置100的情況的例子，但是本發明並不限定於此，前述塗佈裝置100是將液體從液體供給源10經由液體供給通路11供給至塗佈部40。 　　例如，也可以將本發明的旋塞閥用作對從液體供給源向工廠的生產設備（液體供給對象）供給既定液體的液體供給裝置的液體供給通路進行封閉的閥。由此，因為藉由使用本發明的旋塞閥對液體供給通路進行開閉，能夠將液體供給至液體供給對象，所以能夠抑制氣泡的產生。因此，能夠提供抑制了氣泡向液體供給對象流入的情況之可靠性高的液體供給方法。此外，能夠提供抑制了氣泡向液體供給對象流入的、可靠性高的液體供給裝置。 　　在該情況下，向液體供給對象供給的液體的種類沒有特別限定，只要是黏性比較高且可能產生異物的液體即可，本發明的旋塞閥適合用作對這樣的液體的供給路徑進行開閉的閥。 　　此外，形成於旋塞部件21的外周面21a的一對旋塞側槽部24、25的形狀並不限定於上述實施方式。圖19～圖21是示出旋塞側槽部24、25的其他的變形例的圖。 　　例如，從徑向觀察，一對旋塞側槽部24、25可以是圖19所示那樣的曲面形狀，可以是圖20所示那樣的三角形形狀，也可以是圖21所示那樣的四邊形形狀。 　　此外，在上述的實施方式中，藉由調整螺母28、29的擰入量而按壓抵接面22b、22c, 調整旋塞部件21的外周面21a與液體流入口36a以及液體流出口37a的接觸狀態，但本發明並不限定於此。 　　此處，作為閥的變形例，對調整旋塞部件21的外周面21a與液體流入口36a以及液體流出口37a的接觸狀態的其他方式進行說明。 　　圖22～圖24是示出閥的第1變形例～第3變形例的圖。另外，在圖22～圖24，對與上述實施方式相同的部件以及構造賦予相同的附圖標記，並省略詳細說明。 　　如圖22所示，第1變形例的閥20A藉由將螺紋管38、39擰入閥主體22而安裝。在本變形例中，閥主體22在與主體側槽部34、35對應的位置安裝有螺栓41、42。螺栓41、42擰入形成於閥主體22的螺紋孔。 　　因為閥主體22如上述那樣由聚甲醛或UPE等的樹脂材料形成，所以若螺栓41、42擰入至螺紋孔，藉由螺栓41、42按壓閥主體22，由此閥主體22向徑向內側位移。另一方面，若放鬆螺栓41、42所進行的擰入，則閥主體22向徑向內側的位移變小。 　　像這樣地根據本變形例，藉由將螺栓41、42擰入至閥主體22的螺紋孔而使閥主體22位移，由此能夠容易地調整旋塞部件21的外周面21a與液體流入口36a以及液體流出口37a的接觸狀態（密閉狀態）。 　　如圖23所示，第2變形例的閥20B藉由將螺紋管38、39擰入閥主體22而安裝。此外，閥20B進而具備以包圍閥主體22的外周的方式配置的環部件43。環部件43是將板狀部件折彎為環狀。環部件43的兩端部在產生間隙的狀態下被螺紋部件44固定。環部件43藉由螺紋部件44的緊固而使環部件43的內徑變小，藉由放鬆螺紋部件44的緊固而使環部件43的內徑變大。 　　閥主體22如上述那樣由聚甲醛或UPE等的樹脂材料形成。因此，藉由螺紋部件44的緊固而使得環部件43的內徑變小，由此閥主體22向徑向內側被按壓而位移。另一方面，藉由放鬆螺紋部件44的緊固而使得環部件43的內徑變大，由此閥主體22的位移變小。 　　像這樣地根據本變形例，藉由擰入環部件43的螺紋部件44而使閥主體22位移，由此，能夠容易地調整旋塞部件21的外周面21a與液體流入口36a以及液體流出口37a的接觸狀態（密閉狀態）。 　　如圖24所示，第3變形例的閥20C藉由將螺紋管38、39擰入閥主體22而安裝。另外，螺母46、47經由O型環45與設置於螺紋管38、39的外表面的螺紋部螺紋接合。 　　若擰入螺母46、47，則O型環45因夾在螺母46、47與閥主體22之間而被按壓。由此，閥主體22是藉由被按壓後的O型環45而向徑向內側按壓而位移。另一方面，藉由放鬆螺母46、47的緊固而使O型環45的按壓量減小，從而閥主體22的位移變小。 　　像這樣地根據本變形例，藉由擰入螺母46、47而使閥主體22位移，由此，能夠容易地調整旋塞部件21的外周面21a與液體流入口36a以及液體流出口37a的接觸狀態（密閉狀態）。 　　另外，作為上述實施方式或者其變形例而記載的各構成要素，在不脫離本發明的主旨的範圍內，能夠進行適當組合，此外，也可以在組合的多個構成要素之中，適當地不使用一部分的構成要素。 [實施例] 　　以下，藉由實施例對本發明更具體地進行說明，但是本發明並不受以下的實施例的限定。 　　本發明人由以下的評價確認了：藉由在旋塞側槽部設置整流部，在第1狀態下對從液體流入口流入的液體進行整流以使其不會停滯，能夠抑制氣泡的產生。 （評價內容） 　　使用以下的比較例以及實施例1～9的閥作為對液體供給裝置的液體供給通路進行封閉的閥，對被供給至液體供給對象的液體中的“有無氣泡”、被供給至液體供給對象的“液體的重量”以及被供給至液體供給對象的液體中的“有無異物”進行了評價，前述液體供給裝置將既定的液體從液體供給源供給至液體供給對象。被供給至液體供給對象的液體的黏度為5Pa·s。施加至閥的壓力為0.4MPa。閥的液體流入通路以及液體流出通路的內徑分別為10mm。 （比較例） 　　比較例的閥是使用未設置有整流部的閥。即，在比較例中，在旋塞側槽部未形成貫通孔或凹部。在比較例中，體積流體為1125μl/sec。此處，“體積流體”是指在第1狀態下流動的流體的體積。 （實施例1） 　　實施例1的閥使用：在第1狀態下在與液體流入口對置的位置僅配置1個貫通孔的閥（圖6所示的第1實施方式）。在實施例1中，體積流體為4500μl/sec。 （實施例2） 　　實施例2的閥使用：在底面與一端面之間以及底面與另一端面之間分別形成有呈直角形狀的連結部的閥（圖7所示的第1實施方式的第1變形例）。在實施例2中，體積流體為4500μl/sec。 （實施例3） 　　實施例3的閥使用：在徑向上觀察時貫通孔呈沿著底面的長度方向延伸的橢圓形狀的閥（圖8所示的第1實施方式的第2變形例）。在實施例3中，體積流體為4500 μl/sec。 （實施例4） 　　實施例4的閥使用如下的閥。旋塞側槽部具備：在與外周面的切線平行的方向上延伸的呈梯形形狀的底面、與底面的一端側相連的一端面、與底面的另一端側相連的另一端面（圖9所示的第1實施方式的第3變形例）。在實施例4中，體積流體為4500μl/sec。 （實施例5） 　　實施例5的閥使用如下的閥。多個貫通孔具備：1個第1貫通孔，在第1狀態下配置於與液體流入口對置的位置；2個第2貫通孔，在旋塞部件的圓周方向上配置於與第1貫通孔相鄰的位置（圖10所示的第2實施方式）。在實施例5中，體積流體為3800μl/sec。 （實施例6） 　　實施例6的閥使用如下的閥。多個貫通孔具備：第3貫通孔，在旋塞部件的圓周方向上配置於與分隔部相鄰的位置；第4貫通孔，與在旋塞部件的圓周方向上隔著分隔部配置於第3貫通孔的相反側（圖12所示的第3實施方式）。在實施例6中，體積流體為4500μl/sec。 （實施例7） 　　實施例7的閥使用：分隔部呈將邊界部作為前端的尖銳形狀的閥（圖14所示的第3實施方式的第1變形例）。在實施例7中，體積流體為4500μl/sec。 （實施例8） 　　實施例8的閥使用：在徑向上觀察時，在與分隔部重合的位置僅配置了1個貫通孔的閥（圖16所示的第3實施方式的第2變形例）。在實施例8中，體積流體為4500 μl/sec。 （實施例9） 　　實施例9的閥使用如下的閥。凹部包括第1凹部與第2凹部，前述第1凹部與第2凹部以在第1狀態下與液體流入口對置的位置形成有邊界部的方式在旋塞部件的圓周方向上相互鄰接地配置（圖17所示的第4實施方式）。在實施例9中，體積流體為2200μl/sec。 （評價結果） 　　關於被供給至液體供給對象的液體中的“有無氣泡”的評價結果（在表1中僅記載為“氣泡”），被供給至液體供給對象的液體中如果沒有產生氣泡則記為“○”，如果雖然能夠觀察到產生了一部分的氣泡，但是與比較例相比氣泡得到了抑制則記為“△”。即，“△”為難以除盡氣泡的狀態。 　　關於被供給至液體供給對象的“液體的重量”的評價結果（在表1中僅記載為“重量”），被供給至液體供給對象的液體的重量如果相對於比較例的值增大了3倍以上則記為“○”，如果相對於比較例的值增大了1.5倍以上且小於3倍則記為“△”。 　　關於被供給至液體供給對象的液體中的“有無異物”的評價結果（在表1中僅記載為“異物”），被供給至液體供給對象的液體中如果沒有產生異物則記為“○”，如果產生異物則記為“×”，如果雖然能觀察到產生了一部分的異物，但是與“×”相比異物得到了抑制則記為“△”。 　　在表1中示出上述的“有無氣泡”、“液體的重量”、“有無異物”的評價結果。另外，藉由目視進行有無氣泡的辨別。用量杯承接1分鐘通過的液體，利用通用電子天秤測量其重量。藉由液體中粒子計數器進行有無異物的判斷。 [表1]

1‧‧‧半導體基板（被塗佈物）10‧‧‧液體供給源11‧‧‧液體供給通路20、20A、20B、20C‧‧‧閥（旋塞閥）21‧‧‧旋塞部件21a‧‧‧外周面22‧‧‧閥主體24、25、124、125、224、324、325‧‧‧旋塞側槽部34、35‧‧‧主體側槽部36‧‧‧液體流入通路36a‧‧‧液體流入口37‧‧‧液體流出通路37a‧‧‧液體流出口40‧‧‧塗佈部60、260、360、460‧‧‧整流部61、166、366‧‧‧貫通孔100‧‧‧塗佈裝置261‧‧‧第1貫通孔262‧‧‧第2貫通孔361、365‧‧‧分隔部362‧‧‧第3貫通孔363‧‧‧第4貫通孔461‧‧‧邊界部462‧‧‧第1凹部463‧‧‧第2凹部

圖1是第1實施方式的塗佈裝置的示意圖。 　　圖2是第1實施方式的閥的剖視圖。 　　圖3是第1實施方式的旋塞部件的立體圖。 　　圖4是示出第1實施方式的流路的非連接狀態的剖視圖。 　　圖5是示出第1實施方式的流路的連接狀態的剖視圖。 　　圖6是第1實施方式的整流部的立體圖。 　　圖7是示出第1實施方式的旋塞部件的第1變形例的立體圖。 　　圖8是示出第1實施方式的旋塞部件的第2變形例的立體圖。 　　圖9是示出第1實施方式的旋塞部件的第3變形例的立體圖。 　　圖10是第2實施方式的整流部的立體圖。 　　圖11是示出第2實施方式的整流部的第1狀態的剖視圖。 　　圖12是第3實施方式的整流部的立體圖。 　　圖13是示出第3實施方式的整流部的第1狀態的剖視圖。 　　圖14是示出第3實施方式的整流部的第1變形例的立體圖。 　　圖15是示出第3實施方式的第1變形例的整流部的第1狀態的剖視圖。 　　圖16是示出第3實施方式的整流部的第2變形例的立體圖。 　　圖17是第4實施方式的整流部的立體圖。 　　圖18是示出第4實施方式的整流部的第1狀態的剖視圖。 　　圖19是示出實施方式的旋塞側槽部的其他變形例的圖。 　　圖20是示出實施方式的旋塞側槽部的其他變形例的圖。 　　圖21是示出實施方式的旋塞側槽部的其他變形例的圖。 　　圖22是示出實施方式的閥的第1變形例的圖。 　　圖23是示出實施方式的閥的第2變形例的圖。 　　圖24是示出實施方式的閥的第3變形例的圖。

20‧‧‧閥(旋塞閥)

21‧‧‧旋塞部件

21a‧‧‧外周面

22‧‧‧閥主體

22a‧‧‧外周面

22b、22c‧‧‧對抵接面

24、25‧‧‧旋塞側槽部

28、29‧‧‧螺母

34、35‧‧‧主體側槽部

36‧‧‧液體流入通路

36a‧‧‧液體流入口

37‧‧‧液體流出通路

37a‧‧‧液體流出口

38‧‧‧螺紋管

38a‧‧‧螺紋部

39‧‧‧螺紋管

39a‧‧‧螺紋部

60‧‧‧整流部

61‧‧‧貫通孔

C1‧‧‧軸線

Claims (14)

1. 一種旋塞閥，能夠藉由安裝於閥主體的旋塞部件的轉動動作對液體的供給路徑進行封閉，前述旋塞部件包括形成於外表面的旋塞側槽部，前述閥主體包括：液體流入口，使前述液體流入至內部；液體流出口，使前述液體流出至外部；主體側槽部，與前述旋塞部件的前述外表面對置，前述旋塞閥構成為根據前述旋塞部件的前述轉動動作切換第1狀態以及第2狀態，前述第1狀態是前述液體流入口以及前述液體流出口與前述主體側槽部之間藉由前述旋塞側槽部連接的狀態，前述第2狀態是前述液體流入口以及前述液體流出口與前述主體側槽部之間未藉由前述旋塞側槽部連接的狀態，在前述旋塞側槽部設置有整流部，在前述第1狀態下對從前述液體流入口流入的前述液體進行整流，使其不會停滯，前述整流部包括形成於前述旋塞部件的貫通孔，在前述第1狀態下與前述液體流入口對置的位置配置有多個前述貫通孔。
2. 如請求項1所述的旋塞閥，其中，前述整流部在前述第1狀態下與前述液體流入口對置。
3. 如請求項1或2所述的旋塞閥，其中，多個前述貫通孔包括：第1貫通孔，在前述第1狀態下配置於與前述液體流入口對置的位置；第2貫通孔，在前述旋塞部件的圓周方向上配置於與前述第1貫通孔相鄰的位置。
4. 如請求項1或2所述的旋塞閥，其中，前述整流部還包括：在前述第1狀態下配置於與前述液體流入口對置的位置的分隔部。
5. 如請求項4所述的旋塞閥，其中，多個前述貫通孔包括：第3貫通孔，在前述旋塞部件的圓周方向上配置於與前述分隔部相鄰的位置；第4貫通孔，在前述旋塞部件的圓周方向上隔著前述分隔部配置於前述第3貫通孔的相反側。
6. 如請求項1或2所述的旋塞閥，其中，前述整流部包括形成於前述旋塞部件的凹部。
7. 如請求項6所述的旋塞閥，其中，前述凹部包括第1凹部與第2凹部，前述第1凹部與第2凹部以在前述第1狀態下與前述液體流入口對置的位置形成有邊界部的方式在前述旋塞部件的圓周方向上相互鄰接地配置。
8. 如請求項1或2所述的旋塞閥，其中，在前述第1狀態下，前述主體側槽部以及前述旋塞側槽部相互交叉地配置，在前述第2狀態下，前述主體側槽部以及前述旋塞側槽部相互平行地配置。
9. 如請求項1或2所述的旋塞閥，其中，前述閥主體的至少前述液體流入口以及前述液體流出口的附近由樹脂構成。
10. 如請求項9所述的旋塞閥，其中，前述閥主體的前述液體流入口以及液體流出口附近按壓前述旋塞部件的外表面。
11. 如請求項1或2所述的旋塞閥，其中，前述旋塞部件呈形成有前述旋塞側槽部的圓柱狀，前述閥主體的前述主體側槽部的截面具有曲面，前述旋塞部件的外周面的曲率半徑比前述主體側槽部的曲率半徑大。
12. 一種液體供給方法，藉由使設置於液體供給通路的閥開閉而將液體從液體供給源供給至液體供給對象，其特徵在於，使用如請求項1~11中的任一項所述的旋塞閥作為前述閥。
13. 一種液體供給裝置，藉由使設置於液體供給通路的閥開閉而將液體從液體供給源供給至液體供給對象，其特徵在於，具備如請求項1~11中的任一項所述的旋塞閥作為前述閥。
14. 一種塗佈裝置，具備：將液體塗佈於被塗佈物的塗佈部；將前述液體供給至前述塗佈部的液體供給通路；設置於前述液體供給通路的閥，其特徵在於，具備如請求項1~11中的任一項所述的旋塞閥作為前述閥。

Images