CN107883008B - 旋塞阀、液体供给方法、液体供给装置以及涂布装置 - Google Patents

Abstract

在通过安装于阀主体的旋塞部件的转动动作对液体的供给路径进行封闭的旋塞阀中，旋塞部件包括形成于外表面的旋塞侧槽部，阀主体包括：液体流入口，使所述液体流入至内部；液体流出口，使所述液体流出至外部；主体侧槽部，与所述旋塞部件的所述外表面对置，所述旋塞阀构成为根据所述旋塞部件的所述转动动作切换第1状态以及第2状态，所述第1状态是所述液体流入口以及所述液体流出口与所述主体侧槽部之间通过所述旋塞侧槽部旁通的状态，所述第2状态是所述液体流入口以及所述液体流出口与所述主体侧槽部之间未通过所述旋塞侧槽部旁通的状态，在旋塞侧槽部设置有整流部，在第1状态下对从所述液体流入口流入的所述液体进行整流而使其不会停滞。

Description

旋塞阀、液体供给方法、液体供给装置以及涂布装置

技术领域

本发明涉及旋塞阀、液体供给方法、液体供给装置以及涂布装置。

背景技术

以往公知有通过安装于阀主体的旋塞部件的转动动作而能够封闭液体的供给路径的旋塞阀(例如参照专利文献1)。该旋塞阀在旋塞部件的外表面形成有旋塞侧槽部，并且在阀主体中形成有：液体流入口，使液体流入至内部；液体流出口，使液体流出至外部；主体侧槽部，与旋塞部件的外表面对置。而且，旋塞阀构成为根据旋塞部件的转动动作来切换第1状态与第2状态，所述第1状态是液体流入口以及液体流出口与主体侧槽部之间通过旋塞侧槽部而旁通的状态；所述第2状态是液体流入口以及液体流出口与主体侧槽部之间未通过旋塞侧槽部旁通的状态。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015-206431号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

但是，因为在第1状态下，从液体流入口流入的液体经由主体侧槽部以及旋塞侧槽部流入至液体流出口时，会暂时撞击旋塞侧槽部，所以液体在旋塞侧槽部停滞，可能会在液体中产生气泡。

本发明是鉴于以上那样的技术问题而提出的，目的在于提供能够抑制气泡产生的旋塞阀、液体供给方法、液体供给装置以及涂布装置。

用于解决上述技术问题的方案

本发明的第1方案的旋塞阀，能够通过安装于阀主体的旋塞部件的转动动作对液体的供给路径进行封闭，所述旋塞部件包括形成于外表面的旋塞侧槽部，所述阀主体包括：液体流入口，使所述液体流入至内部；液体流出口，使所述液体流出至外部；主体侧槽部，与所述旋塞部件的所述外表面对置，所述旋塞阀构成为根据所述旋塞部件的所述转动动作切换第1状态以及第2状态，所述第1状态是所述液体流入口以及所述液体流出口与所述主体侧槽部之间通过所述旋塞侧槽部旁通的状态，所述第2状态是所述液体流入口以及所述液体流出口与所述主体侧槽部之间未通过所述旋塞侧槽部旁通的状态，在所述旋塞侧槽部设置有整流部，在所述第1状态下对从所述液体流入口流入的所述液体进行整流，使其不会停滞。

根据该构成，在旋塞侧槽部设置有整流部，在第1状态下对从液体流入口流入的液体进行整流以使其不会停滞，由此在第1状态下从液体流入口流入的液体经由主体侧槽部以及旋塞侧槽部流入至液体流出口时，即便暂时撞击旋塞侧槽部，也能够通过整流部对液体进行整流使其不会停滞。因此，能够抑制气泡的产生。

也可以是，在上述的旋塞阀中，所述整流部在所述第1状态下与所述液体流入口对置。

根据该构成，与整流部在第1状态下与液体流入口不对置的情况(即，整流部被配置在避开液体流入口的位置的情况)相比较，在第1状态下，从液体流入口流入的液体变得容易朝向整流部流动，因此能够更有效地发挥整流部的整流效果。因此，能够更可靠地抑制气泡的产生。

也可以是，在上述的旋塞阀中，所述整流部包括形成于所述旋塞部件的贯通孔。

根据该构成，因为在第1状态下从液体流入口流入的液体通过贯通孔，所以能够避免液体在旋塞侧槽部的停滞。因此能够更可靠地抑制气泡的产生。此外，因为从液体流入口流入的液体，不仅经由主体侧槽部以及旋塞侧槽部流入至液体流出口，而且通过贯通孔流入至液体流出口，所以能够使液体的流量增大。

也可以是，在上述的旋塞阀中，在所述第1状态下与所述液体流入口对置的位置仅配置有1个所述贯通孔。

根据该构成，与在第1状态下贯通孔未被配置于与液体流入口对置的位置的情况(即，贯通孔被配置于避开液体流入口的位置的情况)相比较，在第1状态下从液体流入口流入的液体变得容易通过贯通孔，因此能够更有效地发挥贯通孔的整流效果。因此能够更可靠地抑制气泡的产生。此外，因为只需在旋塞部件形成1个贯通孔即可，所以与在旋塞部件形成多个贯通孔的情况相比较，能够较低地控制旋塞部件的加工成本。

也可以是，在上述的旋塞阀中，在所述第1状态下与所述液体流入口对置的位置配置有多个所述贯通孔。

根据该构成，与仅配置了1个贯通孔的情况相比较，因为在第1状态下从液体流入口流入的液体变得容易通过多个贯通孔，所以能够更有效地发挥多个贯通孔的整流效果。因此，能够更可靠地抑制气泡的产生。此外，因为从液体流入口流入的液体，不仅经由主体侧槽部以及旋塞侧槽部流入至液体流出口，而且通过多个贯通孔流入至液体流出口，所以能够使液体的流量增大。

也可以是，在上述的旋塞阀中，多个所述贯通孔包括：第1贯通孔，在所述第1状态下配置于与所述液体流入口对置的位置；第2贯通孔，在所述旋塞部件的圆周方向上配置于与所述第1贯通孔相邻的位置。

根据该构成，与多个贯通孔随机地配置于旋塞部件的情况相比较，因为在第1状态下从液体流入口流入的液体变得容易均等地通过第1贯通孔与第2贯通孔，所以能够更有效地发挥多个贯通孔的整流效果。因此，能够更可靠地抑制气泡的产生。

也可以是，在上述的旋塞阀中，所述整流部还包括在所述第1状态下配置于与所述液体流入口对置的位置的分隔部。

根据该构成，因为在第1状态下从液体流入口流入的液体以分隔部为起点向旋塞部件的圆周方向分流，分流后的液体变得容易均等地向旋塞部件的圆周方向流动，所以能够更有效地发挥整流效果。因此，能够更可靠地抑制气泡的产生。

也可以是，在上述的旋塞阀中，多个所述贯通孔包括：第3贯通孔，在所述旋塞部件的圆周方向上配置于与所述分隔部相邻的位置；第4贯通孔，在所述旋塞部件的圆周方向上隔着所述分隔部配置于所述第3贯通孔的相反侧。

根据该构成，因为在第1状态下从液体流入口流入的液体以分隔部为起点向旋塞部件的圆周方向分流，分流后的液体变得容易均等地通过第3贯通孔与第4贯通孔，所以能够更有效地发挥多个贯通孔的整流效果。因此，能够更可靠地抑制气泡的产生。

也可以是，在上述的旋塞阀中，所述整流部包括形成于所述旋塞部件的凹部。

根据该构成，因为在第1状态下从液体流入口流入的液体进入凹部，所以能够避免液体在旋塞侧槽部的停滞。因此，能够更可靠地抑制气泡的产生。

也可以是，在上述的旋塞阀中，所述凹部包括第1凹部与第2凹部，所述第1凹部与第2凹部以在所述第1状态下与所述液体流入口对置的位置形成有边界部的方式、在所述旋塞部件的圆周方向上相互邻接地配置。

根据该构成，因为在第1状态下从液体流入口流入的液体以边界部为起点向旋塞部件的圆周方向分流，分流后的液体变得容易均等地进入第1凹部与第2凹部，所以能够更有效地发挥凹部的整流效果。因此，能够更可靠地抑制气泡的产生。

也可以是，在上述的旋塞阀中，在所述第1状态下，所述主体侧槽部以及所述旋塞侧槽部相互交叉地配置，在所述第2状态下，所述主体侧槽部以及所述旋塞侧槽部相互平行地配置。

根据该构成，通过使旋塞部件转动90度能够切换第1状态以及第2状态。

也可以是，在上述的旋塞阀中，所述阀主体的至少所述液体流入口以及所述液体流出口的附近由树脂构成。

根据该构成，能够使用例如螺母等容易地按压液体流入口以及液体流出口的附近而使其变形。

也可以是，在上述的旋塞阀中，所述阀主体的所述液体流入口以及液体流出口附近按压所述旋塞部件的外表面。

根据该构成，通过按压液体流入口以及液体流出口的附近而使其变形，能够容易地调整阀主体与旋塞部件的接触状态。

也可以是，在上述的旋塞阀中，所述旋塞部件呈形成有所述旋塞侧槽部的圆柱状，所述阀主体的所述主体侧槽部的截面具有曲面，所述旋塞部件的外周面的曲率半径比所述主体侧槽部的曲率半径大。

根据该构成，因为在第1状态下，旋塞部件的外周面与旋塞侧槽部之间产生间隙，所以能够将旋塞侧槽部作为液体的流路起作用。

本发明的第2方案的液体供给方法是通过使设置于液体供给通路的阀开闭而将液体从液体供给源供给至液体供给对象，使用第1方案的旋塞阀作为所述阀。

根据该方法，因为使用第1方案的旋塞阀能够开闭液体供给通路，所以能够抑制气泡的产生。因此，能够提供抑制气泡向液体供给对象流入的、可靠性高的液体供给方法。

本发明的第3方案的液体供给装置是通过使设置于液体供给通路的阀开闭而将液体从液体供给源供给至液体供给对象，具备第1方案的旋塞阀作为所述阀。

根据该构成，因为使用第1方案的旋塞阀能够开闭液体供给通路，所以能够抑制气泡的产生。因此，能够提供抑制气泡向液体供给对象流入的、可靠性高的液体供给装置。

本发明的第4方案的涂布装置，具备：将液体涂布于被涂布物的涂布部；将所述液体供给至所述涂布部的液体供给通路；设置于所述液体供给通路的阀，具备第1方案的旋塞阀作为所述阀。

根据该构成，因为使用第1方案的旋塞阀能够开闭液体供给通路，所以能够抑制气泡的产生。因此，能够提供可靠性高的涂布装置，能够抑制气泡产生的不良状况，且能够相对于被涂布物良好地涂布液体。

发明效果

根据本发明，能够提供一种旋塞阀、液体供给方法、液体供给装置以及涂布装置，能够抑制气泡的产生。

附图说明

图1是第1实施方式的涂布装置的示意图。

图2是第1实施方式的阀的剖视图。

图3是第1实施方式的旋塞部件的立体图。

图4是示出第1实施方式的流路的非连接状态的剖视图。

图5是示出第1实施方式的流路的连接状态的剖视图。

图6是第1实施方式的整流部的立体图。

图7是示出第1实施方式的旋塞部件的第1变形例的立体图。

图8是示出第1实施方式的旋塞部件的第2变形例的立体图。

图9是示出第1实施方式的旋塞部件的第3变形例的立体图。

图10是第2实施方式的整流部的立体图。

图11是示出第2实施方式的整流部的第1状态的剖视图。

图12是第3实施方式的整流部的立体图。

图13是示出第3实施方式的整流部的第1状态的剖视图。

图14是示出第3实施方式的整流部的第1变形例的立体图。

图15是示出第3实施方式的第1变形例的整流部的第1状态的剖视图。

图16是示出第3实施方式的整流部的第2变形例的立体图。

图17是第4实施方式的整流部的立体图。

图18是示出第4实施方式的整流部的第1状态的剖视图。

图19是示出实施方式的旋塞侧槽部的其他变形例的图。

图20是示出实施方式的旋塞侧槽部的其他变形例的图。

图21是示出实施方式的旋塞侧槽部的其他变形例的图。

图22是示出实施方式的阀的第1变形例的图。

图23是示出实施方式的阀的第2变形例的图。

图24是示出实施方式的阀的第3变形例的图。

具体实施方式

(第1实施方式)

以下，使用图1～图6对本发明的第1实施方式进行说明。在本实施方式中，举出在液体供给路径中具备旋塞阀的涂布装置为例进行说明。本实施方式的涂布装置用于将粘性比较高且可能产生异物的光致抗蚀剂等药液(液体)涂布于半导体基板(被涂布物)上。

另外，为了容易理解特征，在以下说明中使用的附图有时为了方便而放大示出成为特征的部分，各构成要素的尺寸比例等并不限于与实际相同。

<涂布装置>

如图1所示，本实施方式的涂布装置100具备：液体供给源10；液体供给通路11；能够封闭(能够开闭)液体供给通路11的阀20(旋塞阀)；相对于半导体基板1能够涂布液体的涂布部40；保持半导体基板1的工作台50。

液体供给源10具备储存液体的储存容器和从该储存容器移送液体的移送泵(均未图示)。

液体供给通路11是连接液体供给源10与涂布部40之间的流路。从液体供给源10经由液体供给通路11朝向涂布部40供给液体。液体供给通路11具备：上游供给通路11a，将阀20与液体供给源10之间连接起来；下游供给通路11b，将阀20与涂布部40之间连接起来。

阀20设置在液体供给通路11的中途。

作为涂布部40，能够使用例如喷墨头或狭缝喷嘴等。

<阀>

如图2所示，阀20是旋塞阀方式的阀。阀20具备：柱状的旋塞部件21，在沿着轴线C1的方向(以下称为“轴线方向”)上延伸；筒状的旋塞阀主体22，以包围旋塞部件21的外周的方式与旋塞部件21同轴地延伸。

在旋塞部件21上安装有能够相对于阀主体22转动旋塞部件21的驱动装置30。作为驱动装置30，能够使用例如致动器或电机等。驱动装置30具备以轴线C1为中心旋转的旋转轴31。旋转轴31被固定于旋塞部件21的一端部。

<旋塞部件>

如图3所示，旋塞部件21呈圆柱状。旋塞部件21例如由金属部件形成。在旋塞部件21的一端部形成有用于安装驱动装置30的旋转轴31的安装孔19。与旋塞部件21的一端面21A一侧的外径相比，另一端侧面21B一侧的外径较小。

在旋塞部件21的外周面21a上形成有一对旋塞侧槽部24、25。一对旋塞侧槽部24、25配置于相对于外周面21a彼此错开180度的位置。一对旋塞侧槽部24、25具有分别相同的形状。

一对旋塞侧槽部24、25沿着与轴线C1交叉的直线平行的方向(例如在本实施方式中是与轴线C1正交的直线平行的方向)形成。即，一对旋塞侧槽部24、25沿着与外周面21a的切线平行的方向形成。

具体而言，一对旋塞侧槽部24、25具备：底面24a、25a，呈沿着与外周面21a的切线平行的方向延伸的长方形形状；一端面24b、25b，与底面24a、25a的一端侧相连；另一端面24c、25c，与底面24a、25a的另一端侧相连。底面24a、25a、一端面24b、25b以及另一端面24c、25c分别平坦地形成。

在底面24a、25a与一端面24b、25b之间以及底面24a、25a与另一端面24c、25c之间，分别形成有呈圆弧形状的连结部24d、25d。连结部24d、25d弯曲成使得底面24a、25a与一端面24b、25b之间以及底面24a、25a与另一端面24c、25c之间分别平滑地相连。

另外，能够根据阀20的设计要求(液体的供给能力)而适当设定一对旋塞侧槽部24、25的深度(即从外周面21a到底面24a、25a的距离)。

<阀主体>

如图2所示，阀主体22呈与旋塞部件21同轴并且在轴线方向上延伸的圆筒状。阀主体22例如能够由聚甲醛或超高分子量聚乙烯(UPE；ultra-high molecular weightpolyethylene)等的树脂材料形成。

在阀主体22上形成有：插入孔32，用于插入旋塞部件21；液体流入通路36，使液体流入至内部；液体流出通路37，使液体流出至外部。液体流入通路36以及液体流出通路37沿着与轴线方向正交的方向(以下称为“径向”)排列成一直线，以使阀主体22的外周面22a与插入孔32连通。

液体流入通路36被连接于上游供给通路11a(参照图1)。由此，液体从液体供给源10经由上游供给通路11a以及液体流入通路36被供给至阀20的内部。

液体流出通路37被连接于下游供给通路11b(参照图1)。由此，液体从阀20的内部经由液体流出通路37以及下游供给通路11b被供给至涂布部40。

如图5所示，液体流入通路36中的、连通于插入孔32的开口部构成液体流入口36a。液体流出通路37中的、连通于插入孔32的开口部构成液体流出口37a。

在阀主体22的外周面22a形成有一对平坦的抵接面22b、22c。抵接面22b被配置于外周面22a中的、位于液体流入通路36的一侧。抵接面22c被配置于外周面22a中的、位于液体流出通路37的一侧。一对抵接面22b、22c分别具有相同的形状。

如图2所示，在阀主体22的插入孔32的内壁面，设置有在轴线方向上远离(分离)的一对轴承33a、33b。轴承33a被配置在旋塞部件21的一端面21A一侧。轴承33b被配置在旋塞部件21的另一端面21B一侧。阀主体22经由轴承33a、33b保持旋塞部件21。由此，通过驱动装置30能够相对于阀主体22容易地转动旋塞部件21。

在阀主体22的插入孔32的内壁面，设置有隔着液体流入通路36以及液体流出通路37而在轴线方向上远离的一对密封部件26、27。一对密封部件26、27被配置于阀主体22的插入孔32的内壁面与旋塞部件21的外周面21a之间。例如能够使用O型环等作为密封部件26、27。

在阀主体22的插入孔32的内壁面形成有与旋塞侧槽部24、25相对应的一对主体侧槽部34、35。一对主体侧槽部34、35形成为具有与插入至插入孔32的旋塞部件21的旋塞侧槽部24、25大致相同的高度。即，主体侧槽部34、35以及旋塞侧槽部24、25的至少一部分在径向上重合。因此，通过旋塞部件21的转动动作，主体侧槽部34、35以及旋塞侧槽部24、25能够相互地连通。

旋塞侧槽部24、25以及主体侧槽部34、35的形成区域被一对密封部件26、27密封。由此，即便液体流入至旋塞侧槽部24、25以及主体侧槽部34、35之间，也能够避免流入的液体向外侧(即，比一对密封部件26、27更靠近轴线方向的外侧)泄漏。

在阀主体22的外周面22a安装有一对筒状螺纹管38、39。螺纹管38的内表面构成液体流入通路36的一部分。螺纹管39的内表面构成液体流出通路37的一部分。

在螺纹管38、39的基部(阀主体22的外周面22a一侧的部分)分别形成有螺纹部38a、39a。螺纹部38a、39a分别安装有螺母28、29。螺母28、29分别抵接于抵接面22b、22c。通过调整螺母28、29向螺纹部38a、39a的拧入量，能够调整螺母28、29对抵接面22b、22c的按压力。

如上所述，因为阀主体22由聚甲醛或UPE等的树脂材料形成，所以若将螺母28、29拧入至螺纹部38a、39a，则抵接面22b、22c被螺母28、29按压从而向径向内侧位移。

另一方面，若拧松螺母28、29，则抵接面22b、22c向径向内侧的位移变小。即，若拧松螺母28、29，则抵接面22b、22c恢复至螺母28、29拧入前的位置。

例如，通过调整螺母28、29的拧入量，按压抵接面22b、22c而使其向径向内侧位移规定量，由此能够容易地调整旋塞部件21的外周面21a与液体流入口36a以及液体流出口37a的接触状态(密闭状态)。

此外，因为阀主体22是树脂制的，所以即便使抵接面22b、22c向径向内侧位移的情况下，也能够抑制相对于金属制的旋塞部件21(插入孔32)的接触阻力的增加。因此，能够顺畅地转动插入至插入孔32的旋塞部件21。

<流路的非接触状态(第2状态)>

如图4所示，通过旋塞部件21的转动动作，旋塞侧槽部24、25以及主体侧槽部34、35相互平行地配置。此时，液体流入口36a以及液体流出口37a通过旋塞部件21的外周面21a被封闭。因此液体流入口36a以及液体流出口37a与主体侧槽部34、35之间成为未通过旋塞侧槽部24、25旁通(连接)的状态(以下称为“第2状态”)。

例如，通过调整螺母28、29的拧入量，按压抵接面22b、22c而使其向径向内侧位移规定量，由此，因为在第2状态下，外周面21a紧贴液体流入口36a以及液体流出口37a，所以能够可靠地密闭由旋塞侧槽部24、25以及主体侧槽部34、35围成的空间S。即，空间S所保持的液体不会流入至液体流出通路37。此外，液体也不会从液体流入通路36流入至空间S。

由此，在第2状态下，能够封闭液体供给通路11(参照图1)。因此，在第2状态下，能够切断液体从图1所示的上游供给通路11a一侧向下游供给通路11b一侧的流动。

<流路的连接状态(第1状态)>

图5是示出将第2状态下的旋塞部件21以轴线C1为中心转动90度后的状态的图。在图5中，示出使第2状态下的旋塞部件21逆时针转动90度，由此使旋塞侧槽部24与液体流入口36a对置，并且使旋塞侧槽部25对置于液体流出口37a的情况。

如图5所示，通过旋塞部件21的转动动作，旋塞侧槽部24、25以及主体侧槽部34、35相互交叉地配置。此时，旋塞侧槽部24、25分别对置于液体流入口36a以及液体流出口37a。由此，解除了旋塞部件21的外周面21a对液体流入口36a以及液体流出口37a的封闭状态。因此，液体流入口36a以及液体流出口37a与主体侧槽部34、35之间成为通过旋塞侧槽部24、25旁通(连接)的状态(以下称为“第1状态”)。

主体侧槽部34、35的截面具有曲面。旋塞部件21的外周面21a的曲率半径比主体侧槽部34、35的曲率半径大。由此，在第1状态下，旋塞侧部件21的外周面21a与主体侧槽部34、35之间产生间隙，因此能够将主体侧槽部34、35作为液体的流路起作用。

<整流部>

如图5所示，在旋塞侧槽部24、25中，设置有整流部60，在第1状态下对从液体流入口36a流入的液体进行整流使其不会停滞。整流部60在第1状态下与液体流入口36a对置。即，整流部60在第1状态下，配置在与液体流入口36a在径向上重合的位置。

整流部60具备形成于旋塞部件21的贯通孔61。在第1状态下，在与液体流入口36a对置的位置仅配置1个贯通孔61。如图6所示，从径向观察，贯通孔61呈圆形形状。另外，在图6中，图示出旋塞部件21中的旋塞侧槽部24的周边部，省略了一端面21A以及另一端面21B一侧的图示。

如图5所示，贯通孔61在与轴线C1重合的位置直线状地贯通旋塞部件21。即，贯通孔61在旋塞部件21的径向上开口。在第1状态下，贯通孔61与液体流入通路36以及液体流出通路37一起沿径向排列成一直线。贯通孔61的内径与液体流入通路36以及液体流出通路37的内径实质上为相同的大小。

在第1状态下，从上游供给通路11a(参照图1)供给的液体经由液体流入通路36的液体流入口36a流入至旋塞侧槽部24。流入至旋塞侧槽部24的液体经由主体侧槽部34、35流入至旋塞侧槽部25。此外，流入至旋塞侧槽部24的液体经由贯通孔60流入至旋塞侧槽部25。流入至旋塞侧槽部25的液体从液体流出口37a向液体流出通路37流入。流入至液体流出通路37的液体经由下游供给通路11b向涂布部40(参照图1)供给。

由此使在第2状态下被保持于由旋塞侧槽部24、25以及主体侧槽部34、35围成的空间S中的液体，在第1状态下经由主体侧槽部34、35以及旋塞侧槽部24、25流入至液体流出口37a。即，能够将在第2状态下形成了液体的保持空间(空间S)的主体侧槽部34、35以及旋塞侧槽部24、25，在第1状态下作为使液体流入通路36以及液体流出通路37旁通的流路起作用。

因此，能够抑制在第2状态下液体长时间地残留在旋塞部件21与阀主体22的间隙(空间S)。由此能够抑制由间隙的残留液体所导致的异物产生，能够抑制异物随着阀20的开闭从液体流出口37a向涂布部40一侧(参照图1)流出之类的不良状况的产生。

如上所述，本实施方式的阀20，在能够通过安装于阀主体22的旋塞部件21的转动动作对液体供给通路11进行封闭的旋塞阀中，旋塞部件21包括形成于外表面的旋塞侧槽部24、25，阀主体22包括：液体流入口36a，使液体流入至内部；液体流出口37a，使液体流出至外部；主体侧槽部34、35，与旋塞部件21的外表面对置，阀20构成为根据旋塞部件21的转动动作切换第1状态以及第2状态，所述第1状态是液体流入口36a以及液体流出口37a与主体侧槽部34、35之间通过旋塞侧槽部24、25旁通的状态，所述第2状态是液体流入口36a以及液体流出口37a与主体侧槽部34、35之间未通过旋塞侧槽部24、25旁通的状态，在旋塞侧槽部24、25设置有整流部60，在第1状态下对从液体流入口36a流入的液体进行整流，使其不会停滞。

根据该构成，在旋塞侧槽部24、25设置有整流部60，在第1状态下对从液体流入口36a流入的液体进行整流，使其不会停滞，由此在第1状态下从液体流入口36a流入的液体，经由主体侧槽部34、35以及旋塞侧槽部24、25流入至液体流出口37a时，即便暂时撞击旋塞侧槽部24，也能够通过整流部60对液体进行整流使其不会停滞。因此，能够抑制气泡的产生。

此外，通过使整流部60在第1状态下与液体流入口36a对置，与整流部在第1状态下与液体流入口36a不对置的情况(即，整流部60被配置在避开液体流入口36a的位置的情况)相比较，在第1状态下，从液体流入口36a流入的液体变得容易朝向整流部60流动，因此能够更有效地发挥整流部60的整流效果。因此，能够更可靠地抑制气泡的产生。

此外，通过使整流部60包括形成于旋塞部件21的贯通孔61，因为在第1状态下从液体流入口36a流入的液体通过贯通孔61，所以能够避免液体在旋塞侧槽部24的停滞。因此能够更可靠地抑制气泡的产生。此外，从液体流入口36a流入的液体，不仅经由主体侧槽部34、35以及旋塞侧槽部24、25流入至液体流出口37a，而且通过贯通孔61流入至液体流出口37a，能够使液体的流量增大。

此外，通过在第1状态下，在与液体流入口36a对置的位置仅配置1个贯通孔61，与贯通孔61在第1状态下未被配置在与液体流入口36a对置的位置的情况(即，贯通孔61被配置于避开液体流入口36a的位置的情况)相比较，在第1状态下从液体流入口36a流入的液体变得容易通过贯通孔61，因此能够更有效地发挥贯通孔61的整流效果。因此能够更可靠地抑制气泡的产生。此外，因为只需在旋塞部件形成1个贯通孔61即可，所以与在旋塞部件21形成多个贯通孔的情况相比较，能够较低地控制旋塞部件21的加工成本。

此外，本实施方式的涂布装置100具备：将液体涂布于半导体基板(被涂布物)的涂布部40；将液体供给至涂布部40的液体供给通路11；设置于液体供给通路11的旋塞阀，因为通过具备上述阀20作为所述旋塞阀，能够使用阀20开闭液体供给通路11，所以能够抑制气泡的产生。因此，提供可靠性高的涂布装置100，能够抑制气泡产生的不良状况，且能够相对于被涂布物良好地涂布液体。

(第1实施方式的旋塞部件的变形例)

接着使用图7～图9对第1实施方式的旋塞部件21的变形例进行说明。

图7是示出第1实施方式的旋塞部件21的第1变形例的、与图6相对应的立体图。

如图7所示，在本变形例中，相对于第1实施方式的旋塞部件21，旋塞侧槽部124的方案特别地不同。在图7中，对与第1实施方式相同的构成赋予相同的附图标记，省略其详细说明。另外，一对旋塞侧槽部124、125分别具有相同的形状，因此对一侧的旋塞侧槽部124进行说明，而省略另一侧的旋塞侧槽部125(参照图11)的说明。

旋塞侧槽部124具备：底面24a，呈沿着与外周面21a的切线平行的方向延伸的长方形形状；一端面24b，与底面24a的一端侧相连；另一端面24c，与底面24a的另一端侧相连。底面24a、一端面24b以及另一端面24c分别平坦地形成。

在底面24a与一端面24b之间以及底面24a与另一端面24c之间，分别形成有呈直角形状的连结部124d。连结部124d弯曲成使得底面24a与一端面24b之间以及底面24a与另一端面24c之间分别以直角地相连。

图8是示出第1实施方式的旋塞部件21的第2变形例的、与图6相对应的立体图。

如图8所示，在本变形例中，相对于第1变形例的整流部60，贯通孔161的方案特别地不同。在图8中，对与第1变形例相同的构成赋予相同的附图标记，省略其详细说明。

从径向观察，贯通孔161呈在底面24a的长度方向上延伸的椭圆形状。底面24a的大部分成为贯通孔161的开口区域。即，贯通孔161的开口面积比上述贯通孔61的开口面积大。

根据本变形例，贯通孔161的开口面积变大，在第1状态下从液体流入口36a流入的液体变得容易通过贯通孔161，因此能够更有效地发挥贯通孔161的整流效果。因此，能够更可靠地抑制气泡的产生。此外，因为从液体流入口36a流入的液体通过贯通孔161流入至液体流出口37a，所以能够使液体的流量增大。

图9是示出第1实施方式的旋塞部件21的第3变形例的、与图6相对应的立体图。

如图9所示，在本变形例中，相对于第1实施方式的旋塞部件21，旋塞侧槽部224的方案特别地不同。在图9中，对与第1实施方式相同的构成赋予相同的附图标记，省略其详细说明。另外，一对旋塞侧槽部分别具有相同的形状，因此对一侧的旋塞侧槽部224进行说明，而省略另一侧的旋塞侧槽部(未图示)的说明。

旋塞侧槽部224具备：底面224a，呈沿着与外周面21a的切线平行的方向延伸的梯形形状；一端面224b，与底面224a的一端侧相连；另一端面224c，与底面224a的另一端侧相连。另一端面224c呈使底面224a在轴线方向上翻转的梯形形状。另一端面224c以越向径向外侧越远离一端面224b的方式倾斜。底面224a、一端面224b以及另一端面224c分别平坦地形成。

在底面224a与另一端面224c之间形成有呈直角形状的连结部224d。连结部224d弯曲成使得底面224a与另一端面224c之间直角地相连。在连结部224d的中途形成有贯通孔61。即，连结部224d经由贯通孔61被分割。

(第2实施方式)

以下，使用图10、图11对本发明的第2实施方式进行说明。

图10是示出第2实施方式的旋塞部件21的、与图6相对应的立体图。

如图10所示，在本实施方式中，相对于第1实施方式，整流部260的方案特别地不同。在图10中，对与第1实施方式相同的构成赋予相同的附图标记，省略其详细说明。

如图11所示，在旋塞侧槽部124设置有整流部260，在第1状态下对从液体流入口36a流入的液体进行整流使其不会停滞。整流部260具备形成于旋塞部件21的多个(例如在本实施方式中为3个)贯通孔261、262(1个贯通孔261以及2个贯通孔262)。多个贯通孔261、262被配置于在第1状态下与液体流入口36a对置的位置。

多个贯通孔261、262具备：1个第1贯通孔261，在第1状态下配置于与液体流入口36a对置的位置；2个第2贯通孔262，在旋塞部件21的圆周方向上配置于与第1贯通孔261相邻的位置。如图10所示，从径向观察，各贯通孔261、262呈圆形形状。各贯通孔261、262的开口面积相互地为实质相同的大小。

如图11所示，第1贯通孔261在与轴线C1重合的位置直线状地贯通旋塞部件21。即，第1贯通孔261在旋塞部件21的径向上开口。在第1状态下，第1贯通孔261与液体流入通路36以及液体流出通路37一起沿径向排列成一直线。第1贯通孔261的内径比液体流入通路36以及液体流出通路37的内径稍小。

各第2贯通孔262在避开轴线C1的位置上直线状地贯通旋塞部件21。即，各第2贯通孔262在与第1贯通孔261相邻的位置、在与第1贯通孔261平行的方向上开口。第2贯通孔262的内径与第1贯通孔261的内径为实质上相同的大小。

在第1状态下，经由液体流入通路36的液体流入口36a流入至旋塞侧槽部124的液体经由主体侧槽部34、35流入至旋塞侧槽部125。此外，流入至旋塞侧槽部124的液体经由多个贯通孔261、262流入至旋塞侧槽部125。流入至旋塞侧槽部125的液体从液体流出口37a向液体流出通路37流入，向涂布部40(参照图1)供给。

如上所述，根据本实施方式，通过在第1状态下在与液体流入口36a对置的位置配置有多个贯通孔261、262，与仅配置了1个贯通孔的情况相比较，在第1状态下从液体流入口流入36a的液体变得容易通过多个贯通孔261、262，所以能够更有效地发挥多个贯通孔261、262的整流效果。因此，能够更可靠地抑制气泡的产生。此外，因为从液体流入口36a流入的液体，不仅经由主体侧槽部34、34以及旋塞侧槽部124、125流入至液体流出口37a，而且通过多个贯通孔261、262流入至液体流出口37a，所以能够使液体的流量增大。

此外，多个所述贯通孔261、262包括：第1贯通孔261，在所述第1状态下配置于与液体流入口36a对置的位置；第2贯通孔262，在旋塞部件21的圆周方向上配置于与第1贯通孔261相邻的位置，由此与多个贯通孔261、262随机地配置于旋塞部件21的情况相比较，因为在第1状态下从液体流入口36a流入的液体变得容易均等地通过第1贯通孔261与第2贯通孔262，所以能够更有效地发挥多个贯通孔261、262的整流效果。因此，能够更可靠地抑制气泡的产生。

另外，虽然在本实施方式中，列举了整流部260具备3个贯通孔261、262(1个贯通孔261以及2个贯通孔262)的例子，但是本发明并不限定于此。例如，整流部可以具备2个或者4个以上的多个贯通孔。

(第3实施方式)

以下，使用图12、图13对本发明的第3实施方式进行说明。

图12是示出第3实施方式的旋塞部件21的、与图6相对应的立体图。

如图12所示，在本实施方式中，相对于第1实施方式，整流部360的方案特别地不同。在图12中，对与第1实施方式相同的构成赋予相同的附图标记，省略其详细说明。

如图13所示，在旋塞侧槽部124设置有整流部360，在第1状态下对从液体流入口36a流入的液体进行整流使其不会停滞。整流部360具备：分隔部361，在第1状态下配置于与液体流入口36a对置的位置；形成于旋塞部件21的多个贯通孔362、363(例如在本实施方式中为2个)。多个贯通孔362、363具备：第3插通孔362，在旋塞部件21的圆周方向上配置于与分隔部361相邻的位置；第4贯通孔363，在旋塞部件21的圆周方向上隔着分隔部361配置在第3贯通孔362的相反侧。

如图12所示，从径向观察，各贯通孔362、363呈圆形形状。各贯通孔362、363的开口面积相互地为实质上相同的大小。底面24a的大部分成为贯通孔362、363的开口区域。即，贯通孔362、363的开口面积比上述多个贯通孔261、262的开口面积大。

如图13所示，分隔部361在与轴线C1重合的位置上，在旋塞部件21的径向上直线状地延伸。即，分隔部361在旋塞部件21中形成划分第3贯通孔362以及第4贯通孔363的分隔壁。分隔部361的厚度与第3贯通孔362以及第4贯通孔363的内径相比足够小。

各贯通孔362、363在避开了轴线C1的位置直线状地贯通旋塞部件21。即，各贯通孔362、363在与分隔部361相邻的位置，在与分隔部361平行的方向上开口。第3贯通孔362的内径与第4贯通孔363的内径为实质上相同的大小。

在第1状态下，经由液体流入通路36的液体流入口36a流入至旋塞侧槽部124的液体经由主体侧槽部34、35流入至旋塞侧槽部125。此外，流入至旋塞侧槽部124的液体经由多个贯通孔362、363流入至旋塞侧槽部125。流入至旋塞侧槽部125的液体从液体流出口37a向液体流出通路37流入，向涂布部40(参照图1)供给。

如上所述，根据本实施方式，整流部360进而包括在第1状态下配置于与液体流入口36a对置的位置的分隔部361，在第1状态下从液体流入口36a流入的液体以分隔部361为起点在旋塞部件21的圆周方向上分流，分流后的液体变得容易均等地在旋塞部件21的圆周方向上流动，能够更有效地发挥整流效果。因此，能够更可靠地抑制气泡的产生。

此外，多个贯通孔362、363包括：第3贯通孔362，在旋塞部件21的圆周方向上配置于与分隔部361相邻的位置；第4贯通孔363，在旋塞部件21的圆周方向上隔着所述分隔部361配置于第3贯通孔362的相反侧，由此在第1状态下从液体流入口36a流入的液体以分隔部361为起点在旋塞部件21的圆周方向上分流，分流后的液体变得容易均等地通过第3贯通孔362与第4贯通孔363，能够更有效地发挥多个贯通孔362、363的整流效果。因此，能够更可靠地抑制气泡的产生。

此外，贯通孔362、363的开口面积比上述多个贯通孔261、262的开口面积大，在第1状态下从液体流入口36a流入的液体变得容易通过贯通孔362、363，因此能够更可靠第发挥贯通孔362、363的整流效果。因此能够更可靠地抑制气泡的产生。此外，从液体流入口36a流入的液体通过贯通孔362、363而流入至液体流出口37a，能够使液体的流量增大。

(第3实施方式的旋塞部件的变形例)

接着，使用图14～图16对第3实施方式的旋塞部件21的变形例进行说明。

图14是示出第3实施方式的旋塞部件21的第1变形例的、与图6相对应的立体图。

如图14所示，在本变形例中，相对于第3实施方式的旋塞部件21，旋塞侧槽部324以及分隔部365的方案特别地不同。在图14中，对与第3实施方式相同的构成赋予相同的附图标记，省略其详细说明。另外，因为一对旋塞侧槽部324、325分别具有相同的形状，所以对一侧的旋塞侧槽部324进行说明，而省略另一侧的旋塞侧槽部325(参照图15)的说明。

旋塞侧槽部324具备：底面324a，在与外周面21a的切线平行的方向上的中途弯曲地延伸；一端面324b，与底面324a的一端侧相连；另一端面324c，与底面324a的另一端侧相连。

如图15所示，底面324a具备第1底面324e与第2底面324f，所述第1底面324e与第2底面324f以在与液体流入口36a对置的位置形成有边界部365a的方式、在旋塞部件21的圆周方向上相互邻接地配置。边界部365a在与轴线C1平行的方向上直线状地延伸。第1底面324e以及第2底面324f缓慢地弯曲地延伸，形成越远离边界部365a越向径向内侧凹陷的凹部。

如图14所示，第1底面324e以及第2底面324f形成为在径向内侧呈凹状的曲面状。一端面324b以及另一端面324c分别平坦地形成。

在底面324a与一端面324b之间以及底面324a与另一端面324c之间分别形成有呈直角形状的连结部324d。连结部324d弯曲成使得底面324a与一端面324b之间以及底面324a与另一端面324c之间分别直角地相连。此外，连结部324d在与边界部365a交叉的部分中弯曲，并且沿着第1底面324e以及第2底面324f的端缘以向径向内侧凸出的方式缓慢地弯曲。

在分隔部365形成有边界部365a。在图15的剖视状态下，分隔部365呈将边界部365a作为前端的尖锐形状。边界部365a以与液体流入口36a的中心位置在径向上重合的方式进行配置。

根据本变形例，在第1状态下从液体流入口36a流入的液体以边界部365a为起点在旋塞部件21的圆周方向上分流，分流后的液体变得容易均等地通过第3贯通孔362与第4贯通孔363，因此能够更有效地发挥多个贯通孔362、363的整流效果。因此，能够更可靠地抑制气泡的产生。

图16是示出第3实施方式的旋塞部件21的第2变形例的、与图6相对应的立体图。

如图16所示，在本变形例中，相对于第3实施方式的第1变形例的旋塞部件21，贯通孔366的方案特别地不同。在图16中，对与第3实施方式的第1变形例相同的构成赋予相同的附图标记，省略其详细说明。

从径向观察，在与分隔部365重合的位置仅配置有1个贯通孔366。从径向观察，贯通孔366具有沿着第1底面324e以及第2底面324f的曲面的轮廓。贯通孔366形成于边界部365a的中途。即，边界部365a经由贯通孔366被分割。

(第4实施方式)

以下，使用图17、图18对本发明的第4实施方式进行说明。

图17是示出第4实施方式的旋塞部件21的、与图6相对应的立体图。

如图17所示，在本实施方式中，相对于第1实施方式整流部460的方案特别地不同。在图17、图18中，对与第1实施方式相同的构成赋予相同的附图标记，省略其详细说明。

如图17所示，整流部460具备形成于旋塞部件21的凹部462、463。如图18所示，凹部462、463具备第1凹部462与第2凹部463，所述第1凹部462与第2凹部463以在第1状态下与液体流入口36a对置的位置上形成边界部461的方式、在旋塞部件21的圆周方向上相互邻接地配置。

如图17所示，从径向观察，各凹部462、463呈圆形形状。如图18所示，第1凹部462以及第2凹部463缓慢地弯曲并延伸，形成越远离边界部461越向径向内侧凹陷的凹部。即，第1凹部462以及第2凹部463形成为向径向内侧凸出的曲面状。在图18的剖视状态下，分隔部461呈向径向外侧突出的尖锐形状。边界部461以与液体流入口36a的中心位置在径向上重合的方式进行配置。

在第1状态下，经由液体流入通路36的液体流入口36a流入至各凹部462、463的液体经由主体侧槽部34、35流入至旋塞侧槽部125。即，各凹部462、463作为旋塞侧槽部起作用。此时，流入至各凹部462、463的液体，以边界部461为起点在旋塞部件21的圆周方向上分流，沿着各凹部462、463的曲面流动，经由主体侧槽部34、35流入至旋塞侧槽部25。流入至旋塞侧槽部25的液体，从液体流出口37a向液体流出通路37流入，向涂布部40(参照图1)供给。

如上所述，根据本实施方式，通过使整流部460包括形成于旋塞部件21的凹部462、463，在第1状态下从液体流入口36a流入的液体进入至凹部462、463，因此能够避免液体在旋塞侧槽部24中停滞。因此，能够更可靠地抑制气泡的产生。

此外，通过使凹部462、463包括第1凹部462与第2凹部463，在以在第1状态下与液体流入口36a对置的位置形成有边界部461的方式、在旋塞部件21的圆周方向上相互邻接地配置，在第1状态下从液体流入口36a流入的液体以边界部461为起点在旋塞部件21的圆周方向上分流，因为分流后的液体变得容易均等地进入第1凹部462与第2凹部463，所以能够更有效地发挥凹部462、463的整流效果。因此，能够更可靠地抑制气泡的产生。

本发明并不限定于上述实施方式，能够在不违反从权利要求的范围以及说明书整体能够读取的发明的要旨或者思想的范围内进行适当变更。例如，在本实施方式中，虽然列举了阀主体22的整体由树脂材料构成的情况为例，但是本发明并不限定于此，也可以是仅阀主体22的一部分由树脂材料构成。例如，也可以是以树脂材料构成阀主体22的、至少需要挤压而使其变形的部分(液体流入口36a以及液体流出口37a的附近)，以金属材料构成其他的部分。

此外，虽然在上述实施方式中列举了以将本发明的旋塞阀用于涂布装置100的情况的例子，但是本发明并不限定于此，所述涂布装置100是将液体从液体供给源10经由液体供给通路11供给至涂布部40。

例如，也可以将本发明的旋塞阀用作对从液体供给源向工厂的生产设备(液体供给对象)供给规定液体的液体供给装置的液体供给通路进行封闭的阀。由此，因为通过使用本发明的旋塞阀对液体供给通路进行开闭，能够将液体供给至液体供给对象，所以能够抑制气泡的产生。因此，能够提供抑制了气泡向液体供给对象流入的、可靠性高的液体供给方法。此外，能够提供抑制了气泡向液体供给对象流入的、可靠性高的液体供给装置。

在该情况下，向液体供给对象供给的液体的种类没有特别限定，只要是粘性比较高且可能产生异物的液体即可，本发明的旋塞阀适合用作对这样的液体的供给路径进行开闭的阀。

此外，形成于旋塞部件21的外周面21a的一对旋塞侧槽部24、25的形状并不限定于上述实施方式。图19～图21是示出旋塞侧槽部24、25的其他的变形例的图。

例如，从径向观察，一对旋塞侧槽部24、25可以是图19所示那样的曲面形状，可以是图20所示那样的三角形形状，也可以是图21所示那样的四边形形状。

此外，在上述的实施方式中，通过调整螺母28、29的拧入量而按压抵接面22b、22c,调整旋塞部件21的外周面21a与液体流入口36a以及液体流出口37a的接触状态，但本发明并不限定于此。

此处，作为阀的变形例，对调整旋塞部件21的外周面21a与液体流入口36a以及液体流出口37a的接触状态的其他方式进行说明。

图22～图24是示出阀的第1变形例～第3变形例的图。另外，在图22～图24，对与上述实施方式相同的部件以及构成赋予相同的附图标记，并省略详细说明。

如图22所示，第1变形例的阀20A通过将螺纹管38、39拧入阀主体22而安装。在本变形例中，阀主体22在与主体侧槽部34、35对应的位置安装有螺栓41、42。螺栓41、42拧入形成于阀主体22的螺纹孔。

因为阀主体22如上述那样由聚甲醛或UPE等的树脂材料形成，所以若螺栓41、42拧入至螺纹孔，通过螺栓41、42按压阀主体22，由此阀主体22向径向内侧位移。另一方面，若拧松螺栓41、42所进行的拧入，则阀主体22向径向内侧的位移变小。

像这样地根据本变形例，通过将螺栓41、42拧入至阀主体22的螺纹孔而使阀主体22位移，由此能够容易地调整旋塞部件21的外周面21a与液体流入口36a以及液体流出口37a的接触状态(密闭状态)。

如图23所示，第2变形例的阀20B通过将螺纹管38、39拧入阀主体22而安装。此外，阀20B进而具备以包围阀主体22的外周的方式配置的环部件43。环部件43是将板状部件折弯为环状。环部件43的两端部在产生间隙的状态下被螺纹部件44固定。环部件43通过螺纹部件44的紧固而使环部件43的内径变小，通过拧松螺纹部件44的紧固而使环部件43的内径变大。

阀主体22如上述那样由聚甲醛或UPE等的树脂材料形成。因此，通过螺纹部件44的紧固而使得环部件43的内径变小，由此阀主体22向径向内侧被按压而位移。另一方面，通过拧松螺纹部件44的紧固而使得环部件43的内径变大，由此阀主体22的位移变小。

像这样地根据本变形例，通过拧入环部件43的螺纹部件44而使阀主体22位移，由此，能够容易地调整旋塞部件21的外周面21a与液体流入口36a以及液体流出口37a的接触状态(密闭状态)。

如图24所示，第3变形例的阀20C通过将螺纹管38、39拧入阀主体22而安装。另外，螺母46、47经由O型环45与设置于螺纹管38、39的外表面的螺纹部螺纹接合。

若拧入螺母46、47，则O型环45因夹在螺母46、47与阀主体22之间而被按压。由此，阀主体22被按压后的O型环45向径向内侧按压而位移。另一方面，通过拧松螺母46、47的紧固而使O型环45的按压量减小，从而阀主体22的位移变小。

像这样地根据本变形例，通过拧入螺母46、47而使阀主体22位移，由此，能够容易地调整旋塞部件21的外周面21a与液体流入口36a以及液体流出口37a的接触状态(密闭状态)。

另外，作为上述实施方式或者其变形例而记载的各构成要素，在不脱离本发明的主旨的范围内，能够进行适当组合，此外，也可以在组合的多个构成要素之中，适当地不使用一部分的构成要素。

【实施例】

以下，通过实施例对本发明更具体地进行说明，但是本发明并不受以下的实施例的限定。

本发明人通过以下的评价确认了：通过在旋塞侧槽部设置整流部，在第1状态下对从液体流入口流入的液体进行整流以使其不会停滞，能够抑制气泡的产生。

(评价内容)

使用以下的比较例以及实施例1～9的阀作为对液体供给装置的液体供给通路进行封闭的阀，对被供给至液体供给对象的液体中的“有无气泡”、被供给至液体供给对象的“液体的重量”以及被供给至液体供给对象的液体中的“有无异物”进行了评价，所述液体供给装置将规定的液体从液体供给源供给至液体供给对象。对被供给至液体供给对象的液体的粘度为5Pa·s。施加至阀的压力为0.4MPa。阀的液体流入通路以及液体流出通路的内径分别为10mm。

(比较例)

比较例的阀是使用未设置有整流部的阀。即，在比较例中，在旋塞侧槽部未形成贯通孔或凹部。在比较例中，体积流体为1125μl/sec。此处，“体积流体”是指在第1状态下流动的流体的体积。

(实施例1)

实施例1的阀使用在第1状态下在与液体流入口对置的位置仅配置1个贯通孔的阀(图6所示的第1实施方式)。在实施例1中，体积流体为4500μl/sec。

(实施例2)

实施例2的阀使用在底面与一端面之间以及底面与另一端面之间分别形成有呈直角形状的连结部的阀(图7所示的第1实施方式的第1变形例)。在实施例2中，体积流体为4500μl/sec。

(实施例3)

实施例3的阀使用在径向上观察时贯通孔呈沿着底面的长度方向延伸的椭圆形状的阀(图8所示的第1实施方式的第2变形例)。在实施例3中，体积流体为4500μl/sec。

(实施例4)

实施例4的阀使用如下的阀。旋塞侧槽部具备：在与外周面的切线平行的方向上延伸的呈梯形形状的底面、与底面的一端侧相连的一端面、与底面的另一端侧相连的另一端面(图9所示的第1实施方式的第3变形例)。在实施例4中，体积流体为4500μl/sec。

(实施例5)

实施例5的阀使用如下的阀。多个贯通孔具备：1个第1贯通孔，在第1状态下配置于与液体流入口对置的位置；2个第2贯通孔，在旋塞部件的圆周方向上配置于与第1贯通孔相邻的位置(图10所示的第2实施方式)。在实施例5中，体积流体为3800μl/sec。

(实施例6)

实施例6的阀使用如下的阀。多个贯通孔具备：第3贯通孔，在旋塞部件的圆周方向上配置于与分隔部相邻的位置；第4贯通孔，与在旋塞部件的圆周方向上隔着分隔部配置于第3贯通孔的相反侧(图12所示的第3实施方式)。在实施例6中，体积流体为4500μl/sec。

(实施例7)

实施例7的阀使用分隔部呈将边界部作为前端的尖锐形状的阀(图14所示的第3实施方式的第1变形例)。在实施例7中，体积流体为4500μl/sec。

(实施例8)

实施例8的阀使用在径向上观察时，在与分隔部重合的位置仅配置了1个贯通孔的阀(图16所示的第3实施方式的第2变形例)。在实施例8中，体积流体为4500μl/sec。

(实施例9)

实施例9的阀使用如下的阀。凹部包括第1凹部与第2凹部，所述第1凹部与第2凹部以在第1状态下与液体流入口对置的位置形成有边界部的方式、在旋塞部件的圆周方向上相互邻接地配置(图17所示的第4实施方式)。在实施例9中，体积流体为2200μl/sec。

(评价结果)

关于被供给至液体供给对象的液体中的“有无气泡”的评价结果(在表1中仅记载为“气泡”)，被供给至液体供给对象的液体中如果没有产生气泡则记为“○”，如果虽然能够观察到产生了一部分的气泡，但是与比较例相比气泡得到了抑制则记为“△”。即，“△”为难以除尽气泡的状态。

关于被供给至液体供给对象的“液体的重量”的评价结果(在表1中仅记载为“重量”)，被供给至液体供给对象的液体的重量如果相对于比较例的值增大了3倍以上则记为“○”，如果相对于比较例的值增大了1.5倍以上且小于3倍则记为“△”。

关于被供给至液体供给对象的液体中的“有无异物”的评价结果(在表1中仅记载为“异物”)，被供给至液体供给对象的液体中如果没有产生异物则记为“○”，如果产生异物则记为“×”，如果虽然能观察到产生了一部分的异物，但是与“×”相比异物得到了抑制则记为“△”。

在表1中示出上述的“有无气泡”、“液体的重量”、“有无异物”的评价结果。另外，通过目视进行有无气泡的辨别。用量杯承接1分钟通过的液体，利用通用电子天秤测量其重量。通过液体中粒子计数器进行有无异物的判断。

【表1】

	气泡	重量	异物
				实施例1	○	○	○
实施例2	○	○	×
				实施例3	△	○	×
实施例4	○	○	○
				实施例5	△	○	×
实施例6	○	○	○
				实施例7	○	○	△
实施例8	○	○	△
				实施例9	○	△	○

附图标记说明

1 半导体基板(被涂布物)

10 液体供给源

11 液体供给通路

20、20A、20B、20C 阀(旋塞阀)

21 旋塞部件

21a 外周面

22 阀主体

24、25、124、125、224、324、325 旋塞侧槽部

34、35 主体侧槽部

36 液体流入通路

36a 液体流入口

37 液体流出通路

37a 液体流出口

40 涂布部

60、260、360、460 整流部

61、166、366 贯通孔

100 涂布装置

261 第1贯通孔

262 第2贯通孔

361、365 分隔部

362 第3贯通孔

363 第4贯通孔

461 边界部

462 第1凹部

463 第2凹部

Claims (17)

1.一种旋塞阀，能够通过安装于阀主体的旋塞部件的转动动作对液体的供给路径进行封闭，

所述旋塞部件包括形成于外表面的旋塞侧槽部，

所述阀主体包括：液体流入口，使所述液体流入至内部；液体流出口，使所述液体流出至外部；主体侧槽部，与所述旋塞部件的所述外表面对置，

所述旋塞阀构成为根据所述旋塞部件的所述转动动作切换第1状态以及第2状态，

所述第1状态是所述液体流入口以及所述液体流出口与所述主体侧槽部之间通过所述旋塞侧槽部旁通的状态，

所述第2状态是所述液体流入口以及所述液体流出口与所述主体侧槽部之间未通过所述旋塞侧槽部旁通的状态，

在所述旋塞侧槽部设置有整流部，在所述第1状态下对从所述液体流入口流入的所述液体进行整流，使其不会停滞。

2.如权利要求1所述的旋塞阀，其特征在于，所述整流部在所述第1状态下与所述液体流入口对置。

3.如权利要求1或2所述的旋塞阀，其特征在于，所述整流部包括形成于所述旋塞部件的贯通孔。

4.如权利要求3所述的旋塞阀，其特征在于，在所述第1状态下与所述液体流入口对置的位置仅配置有1个所述贯通孔。

5.如权利要求3所述的旋塞阀，其特征在于，在所述第1状态下与所述液体流入口对置的位置配置有多个所述贯通孔。

6.如权利要求5所述的旋塞阀，其特征在于，多个所述贯通孔包括：第1贯通孔，在所述第1状态下配置于与所述液体流入口对置的位置；第2贯通孔，在所述旋塞部件的圆周方向上配置于与所述第1贯通孔相邻的位置。

7.如权利要求5所述的旋塞阀，其特征在于，所述整流部还包括在所述第1状态下配置于与所述液体流入口对置的位置的分隔部。

8.如权利要求7所述的旋塞阀，其特征在于，多个所述贯通孔包括：第3贯通孔，在所述旋塞部件的圆周方向上配置于与所述分隔部相邻的位置；第4贯通孔，在所述旋塞部件的圆周方向上隔着所述分隔部配置于所述第3贯通孔的相反侧。

9.如权利要求1、2、4～8中的任一项所述的旋塞阀，其特征在于，所述整流部包括形成于所述旋塞部件的凹部。

10.如权利要求9所述的旋塞阀，其特征在于，所述凹部包括第1凹部与第2凹部，所述第1凹部与第2凹部以在所述第1状态下与所述液体流入口对置的位置形成有边界部的方式、在所述旋塞部件的圆周方向上相互邻接地配置。

11.如权利要求1或2所述的旋塞阀，其特征在于，在所述第1状态下，所述主体侧槽部以及所述旋塞侧槽部相互交叉地配置，在所述第2状态下，所述主体侧槽部以及所述旋塞侧槽部相互平行地配置。

12.如权利要求1或2所述的旋塞阀，其特征在于，所述阀主体的至少所述液体流入口以及所述液体流出口的附近由树脂构成。

13.如权利要求12所述的旋塞阀，其特征在于，所述阀主体的所述液体流入口以及液体流出口附近按压所述旋塞部件的外表面。

14.如权利要求1或2所述的旋塞阀，其特征在于，所述旋塞部件呈形成有所述旋塞侧槽部的圆柱状，

所述阀主体的所述主体侧槽部的截面具有曲面，

所述旋塞部件的外周面的曲率半径比所述主体侧槽部的曲率半径大。

15.一种液体供给方法，通过使设置于液体供给通路的阀开闭而将液体从液体供给源供给至液体供给对象，其特征在于，使用如权利要求1～14中的任一项所述的旋塞阀作为所述阀。

16.一种液体供给装置，通过使设置于液体供给通路的阀开闭而将液体从液体供给源供给至液体供给对象，其特征在于，具备如权利要求1～14中的任一项所述的旋塞阀作为所述阀。

17.一种涂布装置，具备：将液体涂布于被涂布物的涂布部；将所述液体供给至所述涂布部的液体供给通路；设置于所述液体供给通路的阀，其特征在于，具备如权利要求1～14中的任一项所述的旋塞阀作为所述阀。

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