JP6277051B2

JP6277051B2 - プラグバルブ、液体供給方法、液体供給装置、および塗布装置

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Publication number: JP6277051B2
Application number: JP2014088191A
Authority: JP
Inventors: 士朗近藤
Original assignee: Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd
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Filing date: 2014-04-22
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Description

本発明は、プラグバルブ、液体供給方法、液体供給装置、および塗布装置に関する。

薬液等の高粘度液体は吐出時に高い圧力が必要とされる。そこで、従来、このような高粘度液体の供給用バルブとして耐圧性に優れたプラグバルブが知られている（例えば、特許文献１参照）。このプラグバルブは、バルブ本体と、バルブ本体に対して回動可能に取り付けられたプラグ部材とを備えている。そして、プラグバルブは、プラグ部材を回動させることで該プラグ部材に形成された貫通孔とバルブ本体に設けられた液体供給路とを連通させ、液体を供給可能としている。

特開２００４−１３２４６９号公報

しかしながら、従来のプラグバルブは、プラグ部材とバルブ本体との隙間に異物（液体の沈降物等）が溜まり易い構造のため、プラグ部材の回動によって液体供給路が開通した際、異物がバルブの下流側に流れてしまうおそれがあった。

本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、異物の流れ込みを抑制できるプラグバルブ、液体供給方法、液体供給装置、および塗布装置を提供することを目的とする。

本発明の第１態様に従えば、バルブ本体に取り付けられたプラグ部材の回動動作により液体の供給経路を閉塞可能なプラグバルブにおいて、前記プラグ部材は、外面に対して互いに１８０度位置を違えるように形成された一対のプラグ側溝部を含み、前記バルブ本体は、前記液体を内部に流入させる液体流入口と、前記液体を外部に流出させる液体流出口と、前記プラグ部材の前記外面に対向する一対の本体側溝部と、を含み、前記プラグ部材の前記回動動作に応じて、前記液体流入口および前記液体流出口と前記一対の本体側溝部との間が前記一対のプラグ側溝部によりバイパスされた第１状態と、前記液体流入口および前記液体流出口と前記一対の本体側溝部との間が前記一対のプラグ側溝部によりバイパスされない第２状態とが切り替わるプラグバルブプラグが提供される。

第１態様に係るプラグバルブによれば、第２状態において本体側溝部およびプラグ側溝部間に保持されていた液体が、第１状態において本体側溝部およびプラグ側溝部を介して液体流出口に流入される。よって、プラグ部材とバルブ本体との隙間に液体が残留することが防止されるため、隙間に溜まった異物が液体流出口から流れ出すといった不具合の発生を抑制することができる。

上記第１態様において、前記第１状態において、前記本体側溝部および前記プラグ側溝部は互いが交差するように配置され、前記第２状態において、前記本体側溝部および前記プラグ側溝部は互いが平行に配置される構成としてもよい。
この構成によれば、プラグ部材を９０度回動させることで第１状態及び第２状態を切り替えることが可能となる。

上記第１態様において、前記バルブ本体は、少なくとも前記液体流入口および前記液体流出口の近傍が樹脂から構成される構成としてもよい。
この構成によれば、液体流入口および液体流出口の近傍を例えばナット等を用いて容易に押圧して変形させることが可能となる。

上記第１態様において、前記バルブ本体は、前記液体流入口および前記液体流出口の近傍が前記プラグ部材の外面に対して押圧されている構成としてもよい。
この構成によれば、液体流入口および液体流出口の近傍を押圧して変形させる押圧して変形させることでバルブ本体とプラグ部材との接触状態を容易に調整することができる。

上記第１態様において、前記プラグ部材は、前記プラグ側溝部が形成された円柱部材を含み、前記バルブ本体は、前記本体側溝部の断面が曲面を有し、前記円柱部材の外周面は、前記本体側溝部よりも曲率半径が大きい構成としてもよい。
この構成によれば、第１状態において、円柱部材の外周面とプラグ側溝部との間に隙間側が生じるので、プラグ側溝部を液体の流路として機能させることができる。

本発明の第２態様に従えば、液体供給路に設けられたバルブを開閉させることで液体供給源から液体供給先に液体を供給する方法において、前記バルブとして、第１態様に係るプラグバルブを用いた液体供給方法が提供される。

第２態様に係る液体供給方法によれば、第１態様に係るプラグバルブを用いて液体供給路が開閉されるため、液体供給先への異物の流れ込むことが抑制された信頼性の高い液体供給方法を提供できる。

本発明の第３態様に従えば、液体供給路に設けられたバルブを開閉させることで液体供給源から液体供給先に液体を供給する液体供給装置において、前記バルブとして、第１態様に係るプラグバルブを備えた液体供給装置が提供される。

第３態様に係る液体供給装置によれば、第１態様に係るプラグバルブを用いて液体供給路が開閉されるため、液体供給先への異物の流れ込むことが抑制された信頼性の高い装置を提供できる。

本発明の第４態様に従えば、液体を被塗布物に対して塗布する塗布部と、前記塗布部に前記液体を供給する液体供給路と、前記液体供給路に設けられたバルブと、を備えた塗布装置において、前記バルブとして、第１態様に係るプラグバルブを用いる塗布装置が提供される。

第４態様に係る塗布装置によれば、第１態様に係るプラグバルブを用いて液体供給路が開閉されるため、塗布部への異物の流れ込むことが抑制される。よって、異物の流れ込みによる不良の発生が抑制され、液体を被塗布物に対して良好に塗布できる信頼性の高い塗布装置を提供できる。

本発明によれば、下流側への異物の流れ込みを抑制することができる。

塗布装置の概略構成を示す図。バルブの概略構成を示す側断面図。（ａ）、（ｂ）はバルブの要部断面図および動作を示す図。プラグ部材の概略構成を示す斜視図。（ａ）〜（ｃ）は変形例に係るバルブの構成を示す図。（ａ）〜（ｃ）は変形例に係るプラグ部材の構成を示す図。（ａ）、（ｂ）は変形例に係るバルブの構成及び動作を示す図。

以下、本発明の一実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。本実施形態では、プラグバルブを液体供給経路に備えた塗布装置を例に挙げて説明する。本実施形態の塗布装置は、粘性が比較的高く異物を生じさせるおそれのあるフォトレジスト等の薬液（液体）を半導体基板（ウエハ）上に塗布するためのものである。
なお、以下の説明で用いる図面は、特徴をわかりやすくするために、便宜上特徴となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。

図１は塗布装置の概略構成を示す図である。
図１に示すように、本実施形態の塗布装置１００は、液体供給源１０と、液体供給路１１と、液体供給路１１を閉塞可能（開閉可能）なバルブ２０と、被塗布物としての半導体基板１に対して液体を塗布するための塗布部４０と、半導体基板１を保持するステージ５０とを備えている。

液体供給源１０は、液体を貯留する貯留タンクと、該貯留タンクから液体を移送する移送ポンプとを含む。液体供給路１１は、液体供給源１０と塗布部４０との間を接続し、液体供給源１０側から塗布部４０へと液体を供給する。バルブ２０は、液体供給路１１の途中に設けられている。液体供給路１１は、バルブ２０と液体供給源１０との間を接続する上流供給路１１ａと、液体供給源１０と塗布部４０との間を接続する下流供給路１１ｂとを含む。塗布部４０としては、例えば、インクジェットヘッドやスリットノズル等を例示することができる。

図２はバルブ２０の概略構成を示す側断面図である。図３は、バルブ２０の要部断面図であり、図３（ａ）はバルブ２０が液体供給路を閉じた状態を示し、図３（ｂ）はバルブ２０が液体供給路を開いた状態を示すものである。

図２に示すように、バルブ２０は、所謂プラグバルブ方式のバルブであり、プラグ部材２１と、バルブ本体２２とを備える。プラグ部材２１には、該プラグ部材２１をバルブ本体２２に対して回動させるための駆動装置３０が取り付けられている。駆動装置３０としては、例えば、アクチュエーターやモーター装置等の従来公知のものが採用される。駆動装置３０は、プラグ部材２１を回転させるための回転軸３１を有している。

図４はプラグ部材２１の概略構成を示す斜視図である。図４に示すように、プラグ部材２１は金属製の円柱部材から構成される。プラグ部材２１は、一端面側に駆動装置３０の回転軸３１を取り付けるための取付穴１９が形成されている。プラグ部材２１は、一端面２１Ａ側よりも他端面２１Ｂ側の外径が小さくなっている。

プラグ部材２１は、外周面２１ａに一対のプラグ側溝部２４、２５が形成されている。一対のプラグ側溝部２４、２５は、外周面２１ａに対して互いが１８０度位置を違えるように形成される。一対のプラグ側溝部２４、２５は、それぞれ同一の形状を有している。一対のプラグ側溝部２４、２５は、プラグ部材２１の軸方向と交差する方向、本実施形態では例えば直交する方向に沿って形成されている。一対のプラグ側溝部２４、２５の深さはバルブ２０の設計要求（液体の供給能力）に応じて適宜設定される。

図２、３に示すように、バルブ本体２２は円柱状の部材から構成される。本実施形態において、バルブ本体２２は例えば、ジュラコンやＵＰＥ（超高分子量ポリエチレン）等の樹脂材料から構成される。

バルブ本体２２には、プラグ部材２１を挿入するための挿入孔３２と、液体流入路３６と、液体流出路３７と、が形成されている。液体流入路３６および液体流出路３７は、且つバルブ本体２２の外周面２２ａと挿入孔３２とを連通させるようにバルブ本体２２の軸方向と直交する方向（断面形状の径方向）に沿って直線上に並んで形成される。

液体流入路３６は、上流供給路１１ａに接続されることで液体供給源１０から液体をバルブ内部へと導くための経路である。液体流出路３７は、下流供給路１１ｂに接続されることでバルブ内部から液体を塗布部４０へと導くための経路である。
液体流入路３６のうち挿入孔３２に連通した開口部が液体流入口３６ａを構成し、液体流出路３７のうち挿入孔３２に連通した開口部が液体流出口３７ａを構成している。

バルブ本体２２は、挿入孔３２の内壁面に設置されたベアリング部材３３を介してプラグ部材２１を保持する。これにより、プラグ部材２１は、駆動装置３０によりバルブ本体２２に対して容易に回動可能とされる。

また、バルブ本体２２の挿入孔３２の内壁面には、一対のシール部材２６、２７が設置されている。一対のシール部材２６、２７は、バルブ本体２２の内壁面とバルブ本体２２の外周面との間に配置され、例えば、Ｏリング等を例示できる。

また、バルブ本体２２の外周面２２ａには、一対のパイプネジ３８、３９が取り付けられている。パイプネジ３８は、その内面が液体流入路３６の一部を構成し、パイプネジ３９は、その内面が液体流出路３７の一部を構成する。

バルブ本体２２の挿入孔３２の内壁面には、プラグ側溝部２４、２５に対応する一対の本体側溝部３４、３５が形成されている。一対の本体側溝部３４、３５は、挿入孔３２に挿入されたプラグ部材２１のプラグ側溝部２４、２５と略同じ高さに形成されている（図２参照）。なお、本体側溝部３４、３５およびプラグ側溝部２４、２５が略同じ高さに形成されるとは、本体側溝部３４、３５およびプラグ側溝部２４、２５が高さ方向において少なくとも一部が重なって互いが連通可能となることを意味する。

プラグ側溝部２４、２５および本体側溝部３４、３５の形成領域は、上記一対のシール部材２６、２７によりシールされている。すなわち、バルブ２０は、プラグ側溝部２４、２５および本体側溝部間に流れ込んだ液体の外への漏れ出しがシール部材２６、２７によって防止されている。

図３（ａ）において、プラグ側溝部２４、２５および本体側溝部３４、３５は、互いが平行に配置される。このとき、液体流入口３６ａおよび液体流出口３７ａは、プラグ部材２１の外周面２１ａにより閉塞されている。そのため、液体流入口３６ａおよび液体流出口３７ａと、本体側溝部３４、３５との間がプラグ側溝部２４、２５によりバイパス（接続）されない状態（第２状態）となっている。

本実施形態において、パイプネジ３８、３９は、各々の基部３８ａ、３９ａに形成されたネジ部にナット２７、２８がそれぞれ取り付けられている。ナット２７、２８は、外周面２２ａに形成された当接面２２ａ１に接している。

本実施形態において、バルブ本体２２は上述のようにジュラコンやＵＰＥ等の樹脂材料から構成されるため、ナット２７、２８がネジ部（基部３８ａ、３９ａ）に締め込まれると該ナット２７、２８により当接面２２ａ１が押圧されることで内側に変位する。一方、ナット２７、２８による締め込みを緩めると当接面２２ａ１の内側への変位が少なくなる。

本実施形態においては、ナット２７、２８の締め込み量を調整することで当接面２２ａ１を押圧して内側に所定量だけ変位させている。これにより、プラグ部材２１の外周面２１ａと、液体流入口３６ａおよび液体流出口３７ａとの接触状態（密閉状態）を容易に調整することが可能である。さらに、バルブ本体２２は樹脂製であるため、当接面２２ａ１を内側に変位させた場合でも、金属製のプラグ部材２１（挿入孔３２）に対する接触抵抗の増加が抑制されている。

このような構成に基づき、バルブ２０は、挿入孔３２（図２参照）に挿入されたプラグ部材２１をスムーズに回動させることができる。また、外周面２１ａと液体流入口３６ａおよび液体流出口３７ａとが密着するので、プラグ側溝部２４、２５および本体側溝部３４、３５で構成された空間Ｓを確実に密閉することができる。よって、上記空間Ｓに保持された液体が液体流出路３７に流れ込むことが無い。また、液体流入路３６から空間Ｓに液体が流れ込むことも無い。

このようにバルブ２０は、上記第２状態を実現すべく、プラグ部材２１を図３（ａ）に示したように回動させることで液体供給路１１を閉塞することができる。よって、上流供給路１１ａ側から下流供給路１１ｂ側への液体の流れを遮断することが可能である。

ここで、図３（ｂ）に戻り説明する。図３（ｂ）は、図３（ａ）に示したプラグ部材２１の位置を９０度回動させた状態を示すものである。なお、図３（ｂ）では、プラグ部材２１を半時計回りに９０度回動させることで、プラグ側溝部２４を液体流入口３６ａに対向させ、プラグ側溝部２５を液体流出口３７ａに対向させる場合を図示している。

図３（ｂ）に示すように、プラグ部材２１の位置を反時計回りに９０度回動させると、プラグ側溝部２４、２５および本体側溝部３４、３５は、互いが交差するように配置され、プラグ側溝部２４、２５は液体流入口３６ａおよび液体流出口３７ａにそれぞれ対向する位置に移動し、プラグ部材２１の外周面２１ａによる液体流入口３６ａおよび液体流出口３７ａの閉塞状態が解除される。そのため、液体流入口３６ａおよび液体流出口３７ａと、本体側溝部３４、３５との間がプラグ側溝部２４、２５によりバイパス（接続）された状態（第１状態）となる。

本体側溝部３４、３５はその断面形状が曲面となっている。本実施形態において、円柱部材からなるプラグ部材２１の外周面２１ａは、本体側溝部３４、３５よりも曲面半径が大きくなっている。これにより、上記第１状態において、プラグ部材２１の外周面２１ａとプラグ側溝部２４、２５との間に隙間が生じるので、プラグ側溝部２４、２５を液体の流路として機能させることができる。

よって、上流供給路１１ａから供給された液体は、液体流入路３６の液体流入口３６ａを経由してプラグ側溝部２４に流れ込む。プラグ側溝部２４に流れ込んだ液体は、本体側溝部３４、３５を経由してプラグ側溝部２５に流れ込む。プラグ側溝部２５に流れ込んだ液体は、液体流出口３７ａから液体流出路３７へと流れ込む。液体流出路３７に流れ込んだ液体は、下流供給路１１ｂを介して塗布部４０へと供給される。

このように本実施形態のバルブ２０およびバルブ２０を用いた液体供給方法によれば、第２状態においてプラグ側溝部２４、２５および本体側溝部３４、３５で構成された空間Ｓに保持されていた液体を、第１状態において本体側溝部３４、３５およびプラグ側溝部２４、２５を介して液体流出口３７ａに流入させることができる。

すなわち、バルブ２０は、液体供給路１１を閉塞する第２状態において液体の保持空間（上記空間Ｓ）を構成していた本体側溝部３４、３５およびプラグ側溝部２４、２５を、液体供給路１１を開く第１状態において液体流入路３６および液体流出路３７をバイパスさせる液体流路として機能させることができる。

よって、第２状態においてプラグ部材２１とバルブ本体２２との隙間（上記空間Ｓ）に長時間に亘って液体が残留されることが防止される。これにより、隙間の残留液体に起因した異物の発生が抑制され、バルブ２０の開閉に伴って異物が液体流出口３７ａから塗布部４０側（液体供給先）に流れ出してしまうといった不具合の発生を抑制することができる。

本発明は、上記した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨あるいは思想に反しない範囲で適宜変更可能である。例えば、上記実施形態では、バルブ本体２２の全体が樹脂材料から構成される場合を例に挙げたが、本発明はこれに限定されず、バルブ本体２２の一部のみが樹脂材料から構成されていてもよい。例えば、バルブ本体２２は、少なくとも押圧に変形させる必要がある部分（液体流入口および液体流出口の近傍）を樹脂材料で構成し、その他の部分を金属材料で構成するようにしてもよい。

また、上記実施形態では、液体供給源１０から液体供給路１１を経由して液体を塗布部４０に供給する塗布装置１００に本発明のプラグバルブを適用した場合を例に挙げたが、これに限定されることはない。

例えば、工場の生産設備（液体供給先）に対して所定の液体を液体供給源から供給する液体供給装置の液体供給路を閉塞するバルブとして本発明のプラグバルブを適用しても良い。これによれば、本発明のプラグバルブを用いて液体供給路を開閉することで液体供給先に液体を供給することができるので、液体供給先への異物の流れ込むことが抑制された信頼性の高い液体供給方法を提供できる。また、液体供給先への異物の流れ込むことが抑制された信頼性の高い液体供給装置を提供できる。
この場合において、液体供給先に供給する液体の種類は特に限定されず、粘性が比較的高く異物を生じさせるおそれのある液体であれば良く、このような液体の供給経路を開閉するバルブとして本発明のプラグバルブは好適である。

また、上記実施形態においては、ナット２７、２８の締め込み量を調整することで当接面２２ａ１を押圧し、プラグ部材２１の外周面２１ａと、液体流入口３６ａおよび液体流出口３７ａとの接触状態を調整したが、本発明はこれに限定されない。

ここで、バルブの変形例として、プラグ部材２１の外周面２１ａと、液体流入口３６ａおよび液体流出口３７ａとの接触状態を調整する別の形態について説明する。
図５は変形例に係るバルブの概略構成を示す図であり、図５（ａ）は第１変形例に係るバルブであり、図５（ｂ）は第２変形例に係るバルブであり、図５（ｃ）は第３変形例に係るバルブである。なお、図５においては、上記実施形態と同一の部材および構成については同じ符号を付し、詳細な説明については省略する。

図５（ａ）に示すように、第１変形例に係るバルブ２０Ａは、パイプネジ３８、３９がバルブ本体２２にねじ込まれることで取り付けられている。本変形例において、バルブ本体２２は、本体側溝部３４、３５に対応する位置にボルト４１、４２が取り付けられている。ボルト４１、４２は、バルブ本体２２に形成されたネジ穴にねじ込まれている。

バルブ本体２２は上述のようにジュラコンやＵＰＥ等の樹脂材料から構成されるため、ボルト４１、４２がネジ穴（不図示）にねじ込まれると該ボルト４１、４２によりバルブ本体２２が押圧されることで内側に変位する。一方、ボルト４１、４２によるねじ込みを緩めるとバルブ本体２２の内側への変位が少なくなる。

このように本変形例によれば、ボルト４１、４２におけるバルブ本体２２にねじ込むことで該バルブ本体２２を変位させることで、プラグ部材２１の外周面２１ａと、液体流入口３６ａおよび液体流出口３７ａとの接触状態（密閉状態）を容易に調整することができる。

また、第２変形例に係るバルブ２０Ｂは、図５（ｂ）に示すように、パイプネジ３８、３９がバルブ本体２２にねじ込まれることで取り付けられている。また、バルブ２０Ｂは、バルブ本体２２の外周を囲むように配置されたリング部材４３をさらに備えている。リング部材４３は、板状部材をリング状に折り曲げることで構成されたものであり、両端部が隙間を生じた状態でネジ部材４４により固定されている。リング部材４３は、ネジ部材４４の締め付けることでリング部材４３の内径を小さくし、ネジ部材４４の締め付けを緩めることでリング部材４３の内径を大きくする。

バルブ本体２２は、上述のようにジュラコンやＵＰＥ等の樹脂材料から構成されている。そのため、バルブ本体２２は、ネジ部材４４の締め付けによりリング部材４３の内径が小さくなることによって内側に押圧されて変位する。一方、バルブ本体２２は、ネジ部材４４の締め付けを緩めることによりリング部材４３の内径が大きくなることによって変位が小さくなる。

このように本変形例によれば、リング部材４３のネジ部材４４をねじ込むことでバルブ本体２２を変位させることで、プラグ部材２１の外周面２１ａと、液体流入口３６ａおよび液体流出口３７ａとの接触状態（密閉状態）を容易に調整することができる。

また、第３変形例に係るバルブ２０Ｃは、図５（ｃ）に示すように、パイプネジ３８、３９がバルブ本体２２にねじ込まれることで取り付けられている。また、バルブ本体２２は、Оリング４５を介してナット４６、４７がパイプネジ３８、３９の外面に設けられたネジ部（不図示）に螺合されている。

ナット４６、４７がねじ込まれると、ナット４６、４７とバルブ本体２２とに挟まれることでОリング４５が押圧される。これにより、バルブ本体２２は、押圧されたОリング４５によって内側に押圧されることで変位する。一方、バルブ本体２２は、ナット４６、４７の締め付けを緩めることによりОリング４５の押圧量が減少して変位が小さくなる。

このように本変形例によれば、ナット４６、４７をねじ込むことでバルブ本体２２を変位させることで、プラグ部材２１の外周面２１ａと、液体流入口３６ａおよび液体流出口３７ａとの接触状態（密閉状態）を容易に調整することができる。

また、プラグ部材２１の外周面２１ａに形成された一対のプラグ側溝部２４、２５の形状は図４に示した形態に限られない。図６（ａ）〜（ｃ）はプラグ側溝部の変形例に係る断面構成を示す図である。

例えば、一対のプラグ側溝部２４、２５は、プラグ部材２１の軸方向断面において、図６（ａ）に示すような曲面形状であっても良いし、図６（ｂ）に示すような三角形状であっても良いし、図６（ｃ）に示すような四角形状であっても良い。

また、上記実施形態においては、一対のプラグ側溝部２４、２５がプラグ部材２１の外周面２１ａに形成される場合を例に挙げたが、プラグ側溝部の数はこれに限定されず、例えば１個でもよい。

図７は、変形例に係るバルブ１２０の要部断面図であり、図７（ａ）はバルブ１２０が液体供給路を閉じた状態を示し、図７（ｂ）はバルブ１２０が液体供給路を開いた状態を示すものである。

本変形例に係るバルブ１２０は、プラグ部材１２１の外周面１２１ａにプラグ側溝部１２４（プラグ側溝部２４に対応）のみが形成されている。
図７（ａ）において、プラグ側溝部２４および本体側溝部３４、３５は、互いが所定角度だけ交差した状態に配置される。このとき、液体流出口３７ａはプラグ側溝部１２４を介して本体側溝部３４と連通されるものの、液体流入口３６ａはプラグ部材１２１の外周面１２１ａにより閉塞されている。そのため、液体流入口３６ａおよび液体流出口３７ａと、本体側溝部３４との間がプラグ側溝部１２４によりバイパス（接続）されない状態（第２状態）となっている。

一方、プラグ部材１２１を所定角度回転させることで、液体流入口３６ａおよび液体流出口３７ａと、本体側溝部３４との間がプラグ側溝部１２４によりバイパス（接続）された状態（第１状態）とすることが可能である。

図７（ｂ）に示すように、プラグ部材１２１の位置を反時計回りに所定角度回動させると、プラグ側溝部２４、２５および本体側溝部３４、３５が互いに平行に配置され、プラグ部材１２１の外周面１２１ａによる液体流出口３７ａの閉塞状態が解除されて、プラグ側溝部１２４により液体流入口３６ａおよび液体流出口３７ａが連通される。そのため、液体流入口３６ａおよび液体流出口３７ａと、本体側溝部３４との間がプラグ側溝部１２４によりバイパス（接続）された状態（第１状態）となる。

図７（ａ）、（ｂ）に示した本変形例によれば、外周面１２１ａにプラグ側溝部１２４のみが形成されたプラグ部材１２１を用いることができる。よって、プラグ部材１２１の加工が容易なものとなるので、バルブ１２０のコスト低減を図ることができる。

なお、本変形例においては、バルブ本体２２に一対の本体側溝部３４、３５が形成される場合を例に挙げたが、本体側溝部３４、３５のいずれか一方のみを形成するようにしても良い。この場合において、例えば、本体側溝部３５のみを形成する場合、プラグ部材２１の回転動作を図７（ａ）、（ｂ）に示した位置から１８０度回転させた位置で行うようにすればよい。

１…半導体基板（被塗布物）、１０…液体供給源、１１…液体供給路、２０、２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ、１２０…バルブ（プラグバルブ）、２１、１２１…プラグ部材、２１ａ、１２１ａ…外周面、２２…バルブ本体、２４、２５、１２４…プラグ側溝部、２６…シール部材、３４、３５、１３４…本体側溝部、３６…液体流入路、３６ａ…液体流入口、３７…液体流出路、３７ａ…液体流出口、４０…塗布部、１００…塗布装置。

Claims

バルブ本体に取り付けられたプラグ部材の回動動作により液体の供給経路を閉塞可能なプラグバルブにおいて、
前記プラグ部材は、外面に対して互いに１８０度位置を違えるように形成された一対のプラグ側溝部を含み、
前記バルブ本体は、前記液体を内部に流入させる液体流入口と、前記液体を外部に流出させる液体流出口と、前記プラグ部材の前記外面に対向する一対の本体側溝部と、を含み、
前記プラグ部材の前記回動動作に応じて、
前記液体流入口および前記液体流出口と前記一対の本体側溝部との間が前記一対のプラグ側溝部によりバイパスされた第１状態と、
前記液体流入口および前記液体流出口と前記一対の本体側溝部との間が前記一対のプラグ側溝部によりバイパスされない第２状態とが切り替わる
プラグバルブ。
前記第１状態において、前記一対の本体側溝部および前記一対のプラグ側溝部は互いが交差するように配置され、
前記第２状態において、前記一対の本体側溝部および前記一対のプラグ側溝部は互いが平行に配置される
請求項１に記載のプラグバルブ。
前記バルブ本体は、少なくとも前記液体流入口および前記液体流出口の近傍が樹脂材料から構成される
請求項１に記載のプラグバルブ。
前記バルブ本体は、前記液体流入口および前記液体流出口の近傍が前記プラグ部材の外面に対して押圧可能な
請求項３に記載のプラグバルブ。
前記プラグ部材は、前記一対のプラグ側溝部が形成された円柱部材を含み、
前記バルブ本体は、前記一対の本体側溝部の断面が曲面を有し、
前記円柱部材の外周面は、前記一対の本体側溝部よりも曲率半径が大きい
請求項１〜４のいずれか一項に記載のプラグバルブ。
液体供給路に設けられたバルブを開閉させることで液体供給源から液体供給先に液体を供給する方法において、
前記バルブとして、請求項１〜５のいずれか一項に記載のプラグバルブを用いた液体供給方法。
液体供給路に設けられたバルブを開閉させることで液体供給源から液体供給先に液体を供給する液体供給装置において、
前記バルブとして、請求項１〜５のいずれか一項に記載のプラグバルブを備えた液体供給装置。
液体を被塗布物に対して塗布する塗布部と、前記塗布部に前記液体を供給する液体供給路と、前記液体供給路に設けられたバルブと、を備えた塗布装置において、
前記バルブとして、請求項１〜５のいずれか一項に記載のプラグバルブを用いる塗布装置。