TWI746827B - 液體過濾器用基材 - Google Patents

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Abstract

本發明為一種液體過濾器用基材，其係由聚烯烴微多孔膜所構成之液體過濾器用基材，其特徵為在以藉由氣･液相取代之半乾法所測定之前述聚烯烴微多孔膜的孔徑分布，平均流量孔徑dPP 為1nm以上20nm以下，在以藉由液･液相取代之半乾法所測定之前述聚烯烴微多孔膜的平均流量孔徑dLLP 為1nm以上15nm以下，且前述平均流量孔徑dPP 與平均流量孔徑dLLP 的差(dPP -dLLP )為12nm以下，前述聚烯烴微多孔膜的厚度為4～25μm。

Description

液體過濾器用基材
本發明係關於液體過濾器用基材。
近年來，電子設備的小型化和高性能化正在日益發展，尤其是將個人電腦、智慧型手機作為代表之數位機器、移動終端正飛躍性進展。牽引、支持此的各種技術當中，半導體產業的技術革新發揮重大功能，為周知之事實。在近年來之半導體產業，配線圖型尺寸成為於低於20nm的區域之開發競爭，正急著構築各公司最先端生產線。
光微影步驟係在半導體零件製造形成圖型之步驟。不僅近年來之圖型微細化，以及於光微影步驟使用之藥液本身的性狀，以至於對晶圓上進行塗佈為止之藥液的操作，亦逐漸成為要求非常高度之技術。
高度調製之藥液在對晶圓上塗佈之前立即以緻密之過濾器過濾，去除對圖型形成或產率給予重大影響之粒子。在低於最先端之20nm之圖型形成，要求可捕集約未滿10nm之粒子，過濾器廠商各公司正精力旺盛地進行開發。
一般而言，液體過濾器係將由聚乙烯、聚四氟乙烯、尼龍、聚丙烯等之樹脂所構成之多孔質膜作為基材，加工成盒式磁帶形體使用。基材從與藥液之相性或捕集性能、處理能力、壽命等之觀點來看，因應作為目的之用途分開使用。最近，特別重視減低源自基材之溶出物，作為基材逐漸成為大量使用聚乙烯微多孔膜。
作為聚乙烯微多孔膜之代表性製造方法，可列舉相分離法或拉伸法。相分離法係藉由高分子溶液之相分離現象形成細孔之技術，例如有藉由如日本特開平2-251545號公報般之熱誘導相分離之熱誘導相分離法，或利用對於高分子之溶劑之溶解度特性的非溶劑誘導相分離法等。又，亦可組合熱誘導相分離與非溶劑誘導相分離雙方之技術，或進而藉由拉伸調整孔構造的形狀或大小，增大變異。拉伸法例如係如日本特開2010-053245號公報、日本特開2010-202828號公報、日本特開平7-246322號公報及日本特開平10-263374號公報，拉伸成形成薄片狀之聚乙烯原料薄片，調整速度、倍率、溫度等之拉伸條件，拉伸結晶構造中之非晶質部分，邊形成微纖維邊於層狀層之間形成微細孔之方法。
然而，欲有效率地捕集約未滿10nm之微細粒子時，反而有液體透過性惡化的傾向。亦即，捕集性能與液體透過性有權衡的關係。在如日本特開平2-251545號公報、日本特開2010-053245號公報、日本特開2010-202828號公報、日本特開平7-246322號公報及日本特開平10-263374號公報之以往技術，於兼具對於約未滿10nm之微細粒子之捕集性能及液體透過性的點來看，尚不夠充分。
對於如此之課題，於國際公開第2014/181760號小冊，藉由調控聚烯烴微多孔膜之透水性能、泡點及膜厚，實現兼具對於約未滿10nm之微細粒子之捕集性能及液體透過性。
[發明欲解決之課題]
於此，在液體過濾器之使用時，有因微小粒子之堵塞或過濾條件導致對聚烯烴微多孔膜施加高度壓力，多孔質構造變化的情況。如此的情況下，有產生降低所期望尺寸之粒子的捕集性能之問題的可能性。
在如上述之國際公開第2014/181760號小冊之以往技術，在低壓力下雖得到優異之捕集性能，但在高壓力下有多孔質構造變化降低捕集性能的情況。
以防止此多孔構造變化的觀點，認為藉由增厚形成微多孔膜，即使高壓力下亦難以崩塌多孔質構造。惟，微多孔膜越厚，液體透過性越惡化，以及導致縮小對一定大小之過濾器盒式磁帶當中所放入之微多孔膜的面積，過濾面積縮小，過濾器之壓力損失亦提高。尤其是在有更小孔徑化之動向的過濾器用基材，企圖小孔化時，進而提高過濾器壓力損失。其結果，亦有將過濾器增加對處理步驟之負擔之懸念。因此，期望微多孔膜儘可能薄膜化，且即使於高壓力下亦難以崩塌多孔質構造。
因此，於本發明，為了解決上述之課題，以提供一種即使是薄膜在高壓力下，亦具有高液體透過性與高微小粒子捕集性雙方之液體過濾器用基材作為目的。 [用以解決課題之手段]
本發明，為了解決上述課題，採用以下之構成。
[1] 一種液體過濾器用基材，其係由聚烯烴微多孔膜所構成之液體過濾器用基材，其特徵為在以藉由氣･液相取代之半乾法所測定之前述聚烯烴微多孔膜的孔徑分布，平均流量孔徑dPP 為1nm以上20nm以下，在以藉由液･液相取代之半乾法所測定之前述聚烯烴微多孔膜的孔徑分布，平均流量孔徑dLLP 為1nm以上15nm以下，且前述平均流量孔徑dPP 與平均流量孔徑dLLP 的差(dPP -dLLP )為12nm以下，前述聚烯烴微多孔膜的厚度為4～25μm。 　　[2] 如[1]所記載之液體過濾器用基材，其中，前述dLLP 及dPP 在各自的孔徑分布之平均流量孔徑的標準偏差為1nm以上5nm以下。 　　[3] 如[1]或[2]所記載之液體過濾器用基材，其中，在前述聚烯烴微多孔膜之孔徑分布的最大孔徑為15nm以上25nm以下。 　　[4] 如[1]～[3]中任一項之液體過濾器用基材，其中，前述聚烯烴係以質量比為50：50～80：20的比例混合重量平均分子量為400萬以上600萬以下之高分子量聚乙烯、與重量平均分子量為20萬～80萬之低分子量聚乙烯的聚乙烯組成物。 　　[5] 如[1]～[4]中任一項之液體過濾器用基材，其中，前述聚烯烴微多孔膜的透水性能於90kPa的減壓下為0.10～0.40ml/min/cm2 。 　　[6] 如[1]～[5]中任一項之液體過濾器用基材，其中，前述聚烯烴微多孔膜的空孔率為39～70%。 [發明的效果]
根據本發明，可提供一種即使是薄膜在高壓力下，亦具有高液體透過性與高微小粒子捕集性雙方之液體過濾器用基材。
以下，雖針對本發明之實施形態依順序說明，但此等之說明及實施例為例示本發明者，並非限制本發明之範圍者。尚，在本說明書全體，於數值範圍使用「～」時，成為各數值範圍中包含其上限值與下限值者。又，關於聚烯烴微多孔膜，所謂「縱向方向」，係意指製造成長尺狀之聚烯烴微多孔膜的長尺方向，所謂「寬度方向」，係意指與聚烯烴微多孔膜之縱向方向垂直之方向。以下，亦將「寬度方向」稱為「TD」，亦將「縱向方向」稱為「MD」。
[液體過濾器用基材] 　　本發明之液體過濾器用基材，其係由聚烯烴微多孔膜所構成之液體過濾器用基材，其特徵為在以藉由氣･液相取代之半乾法所測定之前述聚烯烴微多孔膜的孔徑分布，平均流量孔徑dPP 為1nm以上20nm以下，在以藉由液･液相取代之半乾法所測定之前述聚烯烴微多孔膜的平均流量孔徑dLLP 為1nm以上15nm以下，且前述平均流量孔徑dPP 與平均流量孔徑dLLP 的差(dPP -dLLP )為12nm以下，前述聚烯烴微多孔膜的厚度為4～25μm。
根據如此之本發明，可提供一種即使是薄膜在高壓力下，亦具有高液體透過性與高微小粒子捕集性雙方之液體過濾器用聚烯烴基材。以下，針對各構成之細節進行說明。
(聚烯烴微多孔膜) 　　本發明之液體過濾器用基材即聚烯烴微多孔膜係包含聚烯烴而構成之微多孔膜。於此，所謂微多孔膜係指於內部具有多數微細孔，成為連結此等微細孔之構造，可從一側的面對另一側的面通過氣體或液體之膜。尚，在聚烯烴微多孔膜，聚烯烴較佳為包含90重量份以上，作為殘餘，在不對本發明的效果給予影響的範圍可包含有機或無機之填料或界面活性劑等之添加劑。
(平均流量孔徑dPP ) 　　本發明之液體過濾器用基材即聚烯烴微多孔膜係將即使是薄膜在高壓力下，藉由具有安定之多孔構造，則亦具有高微小粒子捕集性作為特徵。藉由以該聚烯烴微多孔膜之氣･液相取代之半乾法所測定之前述聚烯烴微多孔膜的平均流量孔徑dPP 必須為1nm以上，作為上限值，必須為20nm。在本發明，聚烯烴微多孔膜的平均流量孔徑dPP 未滿1nm時，變成難以得到充分之液體透過性。從如此之觀點來看，dPP 較佳為5nm以上，更佳為8nm以上，再更佳為10nm以上。另一方面，聚烯烴微多孔膜的平均流量孔徑dPP 超過20nm時，例如變成無法非常高度捕集未滿10nm之微小粒子。從如此之觀點來看，dPP 較佳為18nm以下，更佳為16nm以下。
(平均流量孔徑dLLP ) 　　在本發明，以藉由聚烯烴微多孔膜之液･液相取代之半乾法所測定之平均流量孔徑dLLP 必須為1nm以上，作為上限值，必須為15nm以下。在本發明，聚烯烴微多孔膜的平均流量孔徑dLLP 未滿1nm時，變成難以得到充分之液體透過性。從如此之觀點來看，dLLP 較佳為3nm以上，更佳為5nm以上。另一方面，聚烯烴微多孔膜的平均流量孔徑dLLP 超過15nm時，例如變成無法非常高度捕集未滿10nm之微小粒子。從如此之觀點來看，dLLP 較佳為12nm以下，更佳為10nm以下。
(平均流量孔徑dLLP 與平均流量孔徑dPP 的差) 　　在本發明，聚烯烴微多孔膜的平均流量孔徑dPP 與平均流量孔徑dLLP 的差(dPP -dLLP )必須為12nm以下。在本發明，聚烯烴微多孔膜的平均流量孔徑dPP 與平均流量孔徑dLLP 的差(dPP -dLLP )為12nm以下時，由於於高壓力下可具有安定之多孔構造，故即使於因微小粒子的堵塞或過濾條件等導致之高壓力下，亦可保有安定之捕集性能。從如此之觀點來看，平均流量孔徑dLLP 與平均流量孔徑dPP 的差(dPP -dLLP )更佳為7nm以下，特佳為5nm以下。
尚，在本發明，如上述，聚烯烴微多孔膜的平均流量孔徑dPP 為1～20nm，平均流量孔徑dLLP 為1～15nm，且dPP -dLLP 為12nm以下重要。以藉由氣･液相取代之半乾法所測定之平均流量孔徑dPP ，反映於微多孔膜之高壓流入液體時之孔徑。以藉由液･液相取代之半乾法所測定之平均流量孔徑dLLP ，反映於微多孔膜之低壓流入液體時之孔徑。而且，平均流量孔徑dPP 與平均流量孔徑dLLP 的差(dPP -dLLP )係意指高壓狀態與低壓狀態之孔徑的差，亦即對於孔之壓力變形的難度。亦即，在本發明之聚烯烴微多孔膜，由於具有大量非常細小的空孔以均勻的大小排列之多孔質構造，無法聚烯烴微多孔膜的厚度是否薄，成為在液體過濾器之使用時於低壓力下，當然即使在高壓力下，亦難以引起孔變形之多孔質構造。
如此之多孔質構造之調控方法雖並非被特別限制者，但例如可藉由聚烯烴樹脂之組成、原料中之聚烯烴樹脂濃度、原料中混合複數種溶劑使用時該混合比率、用以壓出擠出薄片狀物內部之溶劑之加熱溫度、按壓力、加熱時間、拉伸倍率或拉伸後之熱處理(熱固定)溫度、對萃取溶劑之浸漬時間、退火處理溫度或處理時間等調控。
(厚度) 　　本發明之液體過濾器用基材即聚烯烴微多孔膜，其厚度為4～25μm為重要。聚烯烴微多孔膜的膜厚為4μm以上時，由於變容易得到充分之力學強度，容易得到在聚烯烴微多孔膜之加工時等之操作性或在過濾器盒式磁帶之長期使用之耐久性故較佳。從如此之觀點來看，聚烯烴微多孔膜的膜厚更佳為5μm以上，再更佳為6μm以上。另一方面，厚度為25μm以下時，由於不僅於該微多孔膜單膜變易得到充分之透水性能，在指定大小之過濾器盒式磁帶，易得到更多之過濾面積，容易進行聚烯烴微多孔膜之加工時之過濾器的流量設計或構造設計故較佳。從如此之觀點來看，聚烯烴微多孔膜的膜厚更佳為20μm以下，再更佳為16μm以下，特佳為13μm以下。
例如，假定在相同大小之外殼(Housing)收集過濾器盒式磁帶時，由於濾材(包含過濾器用基材之構成材全體)的厚度越薄，可越增大濾材面積，作為液體過濾器較佳之高流量･低過濾壓力的設計變可能。亦即，作為液體過濾器，欲維持相同流量時，過濾壓力變低，欲維持相同過濾壓力時，可以提高流量的方式設計。尤其是藉由降低過濾壓力，一旦所捕集之異物藉由於濾材內部持續曝露於過濾壓力，可期待隨著時間經過一起從濾材內部與過濾液一起擠出而顯著降低漏出機率，或溶存在過濾之液體中的氣體藉由於過濾前後之壓力差(過濾後之壓力降低)而成為微小氣泡出現的機率顯著降低等之較佳效果，可期待提昇藥液等之過濾對象物之過濾產率，或通過長時間依然高度維持該等之品質的效果。
另一方面，雖濾材的厚度越薄，越降低濾材的強度或耐久性能，但例如在過濾器設計，亦變成可邊藉由與粗糙之高強度支持體進行複合化(例如進行疊加折入等之加工)進行補強，邊調整耐久性與流量的設計。
(平均流量孔徑dLLP 及dPP 之標準偏差) 　　本發明之液體過濾器用基材即聚烯烴微多孔膜，較佳為平均流量孔徑dLLP 及dPP 之各自的標準偏差為1nm以上5nm以下。平均流量孔徑dLLP 及dPP 的標準偏差為5nm以下時，由於易捕集粒徑數nm之微小粒子，且於液體過濾器之使用時即使曝露於高壓下時亦難以崩塌多孔質構造故較佳。從如此之觀點來看，平均流量孔徑dLLP 及dPP 之各自的標準偏差特佳為3nm以下。另一方面，聚烯烴微多孔膜的平均流量孔徑dLLP 及dPP 的標準偏差為1nm以上時，由於變容易非常高度捕集粒徑數nm～數十nm左右之微小粒子故較佳。
(最大孔徑) 　　本發明之液體過濾器用基材即聚烯烴微多孔膜，以泡點法所測定之最大孔徑更佳為15nm以上25nm以下，特佳為17nm以上20nm以下。聚烯烴微多孔膜之最大孔徑為25nm以下時，由於變容易高度捕集粒徑數nm之微小粒子故較佳。另一方面，聚烯烴微多孔膜之最大孔徑為15nm以上時，由於不僅變容易非常高度捕集微小粒子，而且易得到充分之透液性能故較佳。
(空孔率) 　　本發明之液體過濾器用基材即聚烯烴微多孔膜之空孔率，較佳為39～70%，更佳為45%～65%。該聚烯烴微多孔膜之空孔率為39%以上時，以透液性能變佳的點來看較佳。另一方面，空孔率為70%以下時，以聚烯烴微多孔膜之力學強度變佳且亦提昇操作性的點來看較佳。於此，聚烯烴微多孔膜之空孔率(ε)係藉由下述式算出。 　　ε(%)={1-Ws/(ds･t)}×100 　　Ws：聚烯烴微多孔膜之單位面積重量(g/m2 ) 　　ds：聚烯烴之真密度(g/cm3 ) 　　t：聚烯烴微多孔膜的膜厚(μm)
(透水性能(水流量)) 　　在本發明，聚烯烴微多孔膜之透水性能較佳為於90kPa之減壓下為0.10～0.40ml/min/cm2 。聚烯烴微多孔膜之透水性能為0.10ml/min/cm2 以上時，由於不僅變容易充分得到作為液體過濾器之透水性能，而且變通過長期易得到透過過濾器之送液的安定性(例如，用以維持一定送液量之動力負荷的安定性或於一定送液壓力(一定動力負荷)下之送液量的安定性)故較佳。從如此之觀點來看，更佳為0.15ml/min/cm2 以上。另一方面，聚烯烴微多孔膜之透水性能為0.40ml/min/cm2 以下時，例如由於變容易高度捕集約10nm或其以下之粒子故較佳。
(聚烯烴) 　　在本發明，作為構成聚烯烴微多孔膜之聚烯烴，例如可使用聚乙烯或聚丙烯、聚丁烯、聚甲基戊烯等之均聚物或共聚物或此等之1種以上的混合體。其中，較佳為聚乙烯。作為聚乙烯，適合高密度聚乙烯或高密度聚乙烯與超高分子量聚乙烯之混合物等。又，可組合聚乙烯與其以外之成分使用。作為聚乙烯以外之成分，例如可列舉聚丙烯、聚丁烯、聚甲基戊烯、聚丙烯與聚乙烯的共聚物等。又，作為聚烯烴，使用性質彼此相異之聚烯烴，亦即彼此缺乏相溶性之聚合度或分支性不同，換言之，可組合結晶性或拉伸性･分子配向性不同之聚烯烴使用。
尤其是作為使用在本發明之聚烯烴，較佳為使用混合重量平均分子量為400萬以上600萬以下之高分子量聚乙烯與重量平均分子量為20萬～80萬之低分子量聚乙烯的聚乙烯組成物。此係藉由適量摻合2種以上之聚乙烯，伴隨拉伸時之原纖維化形成網絡網狀構造，有增加空孔發生率之效用。尤其是高分子量聚乙烯與低分子量聚乙烯的摻合比較佳為以質量比為50：50～80：20。作為低分子量聚乙烯，較佳為密度為0.92～0.96g/cm3 之高密度聚乙烯。
尚，重量平均分子量係藉由將聚烯烴微多孔膜之試料加熱溶解在o-二氯苯中，由GPC(Waters公司製 Alliance GPC 2000型、管柱；GMH6-HT及GMH6-HTL)，在管柱溫度135℃、流速1.0mL/分鐘的條件進行測定而獲得。分子量之校正中可使用分子量單分散聚苯乙烯(東曹公司製)。
[液體過濾器] 　　上述之本發明之液體過濾器用基材除了與藥液之親和性賦予加工適當進行之外，亦可加工成盒式磁帶形體，作為液體過濾器使用。液體過濾器係包含由有機物及/或無機物所構成之粒子，或從有包含可能性之被處理液，用以去除該粒子之器具。粒子在被處理液中以固體狀或凝膠狀存在。本發明適合在去除粒徑為數nm左右之非常微細之粒子的情況。又，液體過濾器不僅半導體的製造步驟，例如亦可使用在顯示器製造或研磨等之其他製造步驟。
作為液體過濾器用基材，例如眾所周知為聚四氟乙烯等之多孔質基材。將上述之由本發明之聚烯烴微多孔膜所構成之基材作為液體過濾器用基材使用時，與聚四氟乙烯多孔質基材比較時，由於與藥液之親和性良好，例如與過濾器之藥液的親和性賦予加工變容易，或除了於過濾器外殼內裝填過濾器盒式磁帶，對開始藥液之過濾時之過濾器內的藥液填充之際，於過濾器盒式磁帶內空氣滯溜困難，表現改善藥液之過濾產率等之效果之外，由於聚乙烯樹脂本身未包含鹵素元素，使用完之過濾器盒式磁帶的操作容易，有可減低環境負荷等之效果。
[聚烯烴微多孔膜之製造方法及孔構造之調控方法] 　　本發明之液體過濾器用基材即聚烯烴微多孔膜，可用下述所示之方法較佳製造。即，可藉由依下述順序實施 　　(I)調製包含聚乙烯組成物與溶劑之溶液之步驟、 　　(II)將此進行熔融混練，所得之熔融混練物由模具擠出，進行冷卻固化而得到凝膠狀成形物之步驟、 　　(III)從凝膠狀成形物預先壓出一部分溶劑之步驟、 　　(IV)將凝膠狀成形物至少往一定方向拉伸之步驟、 　　(V)從經拉伸之中間成形物的內部萃取洗淨溶劑之步驟、 ，可較佳製造。
於步驟(I)，雖調製包含聚烯烴組成物與溶劑之溶液，但亦調製包含至少在大氣壓之沸點未滿210℃之揮發性溶劑的溶液。於此，溶液較佳為熱可逆的溶膠･凝膠溶液，亦即，藉由將該聚烯烴加熱溶解在該溶劑，進行溶膠化，來調製熱可逆的溶膠･凝膠溶液。作為在步驟(I)之大氣壓之沸點未滿210℃之揮發性的溶劑，若為可充分膨潤聚烯烴者，或可溶解者，雖並未特別限定，但較佳可列舉四氫萘、乙二醇、十氫萘、甲苯、二甲苯、二乙基三胺、乙烯二胺、二甲基亞碸、己烷等之液體溶劑，此等可單獨亦可組合2種以上使用。其中，較佳為十氫萘、二甲苯。又，在本溶液之調製，除了在上述之大氣壓之沸點未滿210℃之揮發性的溶劑之外，亦可包含流動石蠟、石蠟油、礦物油、蓖麻油等之沸點為210℃以上之不揮發性的溶劑。
在步驟(I)之溶液，從調控聚烯烴微多孔膜之液體透過性能與作為濾材之去除性能的觀點來看，較佳為將聚烯烴組成物的濃度定為15～45重量%，更佳為定為20～40重量%。降低聚烯烴組成物的濃度時，由於有降低力學強度的傾向故使操作性惡化，進而在聚烯烴微多孔膜的製膜有增加切斷之發生頻度的傾向。又，提高聚烯烴組成物的濃度時，有形成空孔變困難的傾向。
步驟(II)係熔融混練於步驟(I)調製之溶液，將所得之熔融混練物由模具擠出，進行冷卻固化而得到凝膠狀成形物。較佳為在聚烯烴組成物的熔點至熔點+65℃的溫度範圍由模具擠出而得到擠出物，接著，前述冷卻擠出物，而得到凝膠狀成形物。作為成形物，較佳為賦形成薄片狀。冷卻雖可為對水溶液或有機溶劑之淬火，亦可為對經冷卻之金屬輥之澆鑄的任一種，但一般而言，使用藉由對水或溶膠･凝膠溶液時所使用之揮發性溶劑之淬火之方法。冷卻溫度較佳為10～40℃。尚，較佳為於水浴的表層提供水流，從於水浴中凝膠化之薄片當中釋放，邊以漂浮在水面之混合溶劑不再附著在薄片的方式進行，邊製作凝膠狀薄片。
步驟(III)係將凝膠狀成形物至少往一定方向拉伸之前，預先壓出凝膠狀成形物內之溶劑的一部分之步驟。於步驟(III)之步驟，例如藉由通過上下2個皮帶或滾筒之間隙等之方法，藉由於凝膠狀成形物的面施加壓力，可適當實施。壓出溶劑的量，雖依聚烯烴微多孔膜所要求之液體透過性能或過濾對象物的去除性能，有必要調整，但該調整可藉由上下之皮帶或滾筒間之按壓力或壓出步驟的溫度、按次數調整成適正的範圍。尚，較佳為將凝膠狀成形物所受到的壓力使用滾筒等，於0.01～0.5MPa的範圍實施。更佳為0.05～0.2MPa的範圍。壓出溫度較佳為40～100℃。又，按次數由於受限於設備的容許空間，故可不特別限制來實施。尚，如有必要，可於溶劑之壓出前進行一段或複數段之預備加熱，將一部分之揮發性溶劑從薄片內去除。該情況下，預備加熱溫度較佳為50～100℃。又，進行此預備加熱時，時間較佳為每1段為5～9分鐘。此情況下，以加熱之距離及搬送速度進行調節。
步驟(IV)係將凝膠狀成形物至少往一定方向拉伸之步驟。於此，步驟(IV)之拉伸較佳為二軸拉伸，分別實施縱拉伸、橫拉伸之依次二軸拉伸、同時實施縱拉伸、橫拉伸之同時二軸拉伸之任一方法皆可適合使用。又，往縱方向複數次拉伸之後往橫方向拉伸之方法、往縱方向拉伸往橫方向複數次拉伸之方法、依次二軸拉伸後，進而往縱方向及/或橫方向進行1次或複數次拉伸之方法亦佳。
拉伸倍率(縱拉伸倍率與橫拉伸倍率之乘積)，從調控聚烯烴微多孔膜的液體透過性能與過濾對象物的去除性能的觀點來看，較佳為40～120倍，更佳為50～100倍。增大拉伸倍率時，有在聚烯烴微多孔膜之製膜增加切斷之發生頻度的傾向。又，降低拉伸倍率時，有增大厚度斑的傾向。拉伸較佳為以將溶劑殘存在適合的狀態之狀態進行。拉伸溫度較佳為80～125℃。特佳為100～110℃。
又(IV)之拉伸步驟可接著進行熱固定處理。熱固定溫度從調控聚烯烴微多孔膜的液體透過性能與過濾對象物之去除性能的觀點來看，較佳為110～143℃。更佳為125～138℃。提高熱固定溫度時，有聚烯烴微多孔膜之過濾對象物的去除性能顯著惡化的傾向，降低熱固定溫度時，有液體透過性能顯著縮小的傾向。
步驟(V)係從經拉伸之中間成形物的內部萃取洗淨溶劑之步驟。於此，步驟(V)為了從經拉伸之中間成形物(拉伸薄膜)的內部萃取溶劑，較佳為以二氯甲烷等之鹵素化烴或己烷等之烴的溶劑洗淨。浸漬在滯留溶劑之槽內進行洗淨時，由於耗費20～150秒之時間，得到溶出分較少之聚烯烴微多孔膜故較佳，更佳為30～150秒，特佳為30～120秒。進而，為了更加提高洗淨的效果，較佳為將槽分成數段，從聚烯烴微多孔膜之搬送步驟的下流側，注入洗淨溶劑，面向步驟搬送的上流側流動洗淨溶劑，將在下流槽之洗淨溶劑的純度提高至較上流層者更高。又，藉由對聚烯烴微多孔膜之要求性能，可藉由退火處理進行熱定型(Heat set)。尚，退火處理從於步驟之搬送性等之觀點來看，較佳為以50～150℃實施，更佳為50～140℃。
藉由此製法，可提供一種即使是薄膜在高壓力下，亦兼具優異液體透過性與優異過濾對象物之去除性能的由聚烯烴微多孔膜所構成之液體過濾器用基材。
[實施例] 　　以下，雖針對本發明之實施例、比較例及各種測定方法進行說明，但本發明並非被限定於此等之實施例。
[測定方法] (平均流量孔徑dPP ) 　　藉由氣･液相取代之平均流量孔徑dPP 及孔徑分布σdPP ，係藉由使用PMI公司製之彼爾姆氣孔計(Palm porometer)多孔質材料自動細孔徑分布測定系統[Capillary Flow Porometer]，適用細孔徑分布測定試驗法[半乾法(ASTM E1294-89)]來測定。尚，使用之試液為全氟聚酯(商品名Galwick)(界面張力值：15.9dyne/cm)，測定溫度為25℃，測定壓力於50～500psi的範圍變化。
(平均流量孔徑dLLP ) 　　藉由液･液相取代之平均流量孔徑dLLP 及孔徑分布σdLLP ，係藉由使用PMI公司製之液體液體壓力計LLP-1500A(超低壓･細孔徑分布･透過性能測定裝置)，適用細孔徑分布測定試驗法[半乾法(ASTM E1294-89)]來測定。尚，使用之試液為全氟聚酯(商品名Galwick)與異丙基醇(界面張力值：4.6dyne/cm)。膜之空孔填充異丙基醇，將膜的上部以Galwick充滿，從其上擠出經壓縮之空氣，階段性提昇壓力。測定溫度為25℃，測定壓力於50～500psi的範圍變化。
(最大孔徑) 　　藉由泡點法之最大孔徑，係藉由使用藉氣-液取代之PMI公司製之彼爾姆氣孔計(Palm porometer)多孔質材料自動細孔徑分布測定系統[Capillary Flow Porometer]，適用細孔徑分布測定試驗法[半乾法(ASTM E1294-89)]來測定。將由測定中之流量所發生之最小壓力所求得之孔徑定為最大孔徑。尚，使用之試液為全氟聚酯(商品名Galwick) (界面張力值：15.9dyne/cm)，測定溫度為25℃，測定壓力於50～500psi的範圍變化。
(厚度) 　　藉由在接觸式的膜厚計(三豐公司製)測定20點聚烯烴微多孔膜的膜厚，平均此等而求得。於此接觸端子係使用底面為直徑0.5cm之圓柱狀者。測定壓定為0.1N。
(空孔率) 　　聚烯烴微多孔膜之空孔率(ε)藉由下述式算出。 　　ε(%)={1-Ws/(ds･t)}×100 　　Ws：聚烯烴微多孔膜之單位面積重量(g/m2 ) 　　ds：聚烯烴之真密度(g/cm3 ) 　　t：聚烯烴微多孔膜的膜厚(μm) 　　尚，聚烯烴微多孔膜之單位面積重量係藉由將樣品切出10cm×10cm，測定其質量，將質量除以面積而求出單位面積重量。
(聚烯烴之重量平均分子量) 　　重量平均分子量係藉由將聚烯烴微多孔膜之試料加熱溶解在o-二氯苯中，藉由GPC(Waters公司製 Alliance GPC 2000型、管柱；GMH6-HT及GMH6-HTL)，在管柱溫度135℃、流速1.0mL/分鐘的條件進行測定而獲得。分子量之校正中使用分子量單分散聚苯乙烯(東曹公司製)。
(透水性能(水流量)) 　　預先將聚烯烴微多孔膜浸漬在乙醇，於室溫下乾燥。將此聚烯烴微多孔膜設定在直徑47mm之不銹鋼製之透液槽(permeation cell)(透液面積Scm2 )。將透液槽上之該聚烯烴微多孔膜以少量(0.5ml)之乙醇使其濕潤後，使以90kPa的差壓預先計量之純水V(100ml)透過，計測透過純水全量所需要的時間Tl(min)。從該純水的液量與純水的透過所須需要的時間，將在90kPa差壓下之每一單位時間(min)･單位面積(cm2 )的透水量Vs由以下之式計算，將此作為透水性能(ml/min･cm2 )。測定係於室溫24℃之溫度環境下進行。 　　Vs=V/(Tl×S)
(在低壓條件下及高壓條件下之捕集率) 　　將含有下述粒子(1)之水溶液30ml以於高壓條件為1.0MPa，低壓條件為0.1MPa的差壓，透過聚烯烴微多孔膜進行過濾。從過濾前之混合溶液的鉑濃度(M1)與通過聚烯烴微多孔膜之濾液的鉑濃度(M2)，藉由下述(式1)求出粒子之捕集率。尚，將捕集率為70%以上時判定為最佳(A)，將50%以上未滿70%時判定為佳(B)，將20%以上未滿50%時判定為稍微不佳(C)，將未滿20%時判定為不佳(D)。溶液的鉑濃度係使用ICP-AES，稀釋ICP-AES用鉑標準試藥，於0～100ppb濃度範圍具有取出5點以上之檢量線，來決定鉑濃度。
粒子(1)：鉑膠體(田中貴金屬製)、平均粒子徑2nm、粒子濃度40ppb 　　捕集率(%)=((M1-M2)/(M1))×100 …(式1)
[實施例1] 　　使用混合重量平均分子量為460萬之高分子量聚乙烯(PE1)15質量份、與重量平均分子量為56萬之低分子量聚乙烯(PE2)15質量份的聚乙烯組成物。以聚乙烯樹脂總量的濃度成為30質量%的方式進行，混合已預先準備之流動石蠟67.5質量份與十氫萘(Decahydronaphthalene)2.5質量份之混合溶劑，調製聚乙烯溶液。
將此聚乙烯溶液於溫度155℃由模具擠出成薄片狀，接著，將前述擠出物於水浴中以20℃冷卻，以及於水浴的表層提供水流，從於水浴中凝膠化之薄片當中釋放，邊以漂浮在水面之混合溶劑不再附著在薄片的方式進行，邊製作凝膠狀薄片(基本帶)。將該基本帶於60℃乾燥7分鐘，進而於95℃乾燥7分鐘，將十氫萘從基本帶內去除後，接著，邊將加熱至90℃之滾筒上施加0.05MPa之按壓邊進行搬送，從基本帶內去除流動石蠟的一部分。然後，將該基本帶往縱向方向在溫度90℃以倍率5.9倍拉伸(縱拉伸)，接著，往寬度方向在溫度105℃以倍率13倍拉伸(橫拉伸)，然後立即以130℃進行熱處理(熱固定)。
其次，分別於將此分成2槽之二氯甲烷浴，一邊持續每30秒浸漬基本帶，一邊萃取流動石蠟。尚，將開始浸漬側作為第1槽，將結束浸漬側作為第2槽時之洗淨溶劑的純度為(低)第1層＜第2槽(高)。然後，藉由於40℃乾燥去除二氯甲烷，邊搬運加熱至120℃之滾筒上邊進行退火處理，而得到由本發明之聚烯烴微多孔膜所構成之液體過濾器用基材。
將上述之製造條件示於表1，將所得之液體過濾器用基材的物性示於表2。尚，針對以下之實施例及比較例同樣亦集中示於表1～2。
[實施例2] 　　使用混合重量平均分子量為460萬之高分子量聚乙烯(PE1)18質量份、與重量平均分子量為56萬之低分子量聚乙烯(PE2)5質量份的聚乙烯組成物。以聚乙烯樹脂總量的濃度成為23質量%的方式進行，混合已預先準備之流動石蠟75.9質量份與十氫萘(Decahydronaphthalene)1.1質量份之混合溶劑，調製聚乙烯溶液。
將此聚乙烯溶液於溫度158℃由模具擠出成薄片狀，接著，將前述擠出物於水浴中以18℃進行冷卻，以及於水浴的表層提供水流，從於水浴中凝膠化之薄片當中釋放，邊以漂浮在水面之混合溶劑不再附著在薄片的方式進行，邊製作凝膠狀薄片(基本帶)。將該基本帶於60℃乾燥7分鐘，進而於95℃乾燥7分鐘，將十氫萘從基本帶內去除後，接著，邊將加熱至90℃之滾筒上施加0.05MPa之按壓邊進行搬送，從基本帶內去除流動石蠟的一部分。然後，將該基本帶往縱向方向在溫度90℃以倍率7.0倍拉伸(縱拉伸)，接著，往寬度方向在溫度105℃以倍率13倍拉伸(橫拉伸)，然後立即以130℃進行熱處理(熱固定)。
其次，分別於將此分成2槽之二氯甲烷浴，一邊持續每30秒浸漬基本帶，一邊萃取流動石蠟。尚，將開始浸漬側作為第1槽，將結束浸漬側作為第2槽時之洗淨溶劑的純度為(低)第1層＜第2槽(高)。然後，藉由於40℃乾燥去除二氯甲烷，邊搬運加熱至100℃之滾筒上邊進行退火處理，而得到由本發明之聚烯烴微多孔膜所構成之液體過濾器用基材。
[實施例3] 　　使用混合重量平均分子量為460萬之高分子量聚乙烯(PE1)18質量份、與重量平均分子量為56萬之低分子量聚乙烯(PE2)5質量份的聚乙烯組成物。以聚乙烯樹脂總量的濃度成為23質量%的方式進行，混合已預先準備之流動石蠟75.9質量份與十氫萘(Decahydronaphthalene)1.1質量份之混合溶劑，調製聚乙烯溶液。
將此聚乙烯溶液於溫度156℃由模具擠出成薄片狀，接著，將前述擠出物於水浴中以18℃進行冷卻，以及於水浴的表層提供水流，從於水浴中凝膠化之薄片當中釋放，邊以漂浮在水面之混合溶劑不再附著在薄片的方式進行，邊製作凝膠狀薄片(基本帶)。將該基本帶於60℃乾燥7分鐘，進而於95℃乾燥7分鐘，將十氫萘從基本帶內去除後，接著，邊將加熱至110℃之滾筒上施加0.05MPa之按壓邊進行搬送，從基本帶內去除流動石蠟的一部分。然後，將該基本帶往縱向方向在溫度105℃以倍率6.5倍拉伸(縱拉伸)，接著，往寬度方向在溫度115℃以倍率13倍拉伸(橫拉伸)，然後立即以130℃進行熱處理(熱固定)。
其次，分別於將此分成2槽之二氯甲烷浴，一邊持續每30秒浸漬基本帶，一邊萃取流動石蠟。尚，將開始浸漬側作為第1槽，將結束浸漬側作為第2槽時之洗淨溶劑的純度為(低)第1層＜第2槽(高)。然後，藉由於40℃乾燥去除二氯甲烷，邊搬運加熱至100℃之滾筒上邊進行退火處理，而得到由本發明之聚烯烴微多孔膜所構成之液體過濾器用基材。
[實施例4] 　　使用混合重量平均分子量為460萬之高分子量聚乙烯(PE1)15質量份、與重量平均分子量為56萬之低分子量聚乙烯(PE2)15質量份的聚乙烯組成物。以聚乙烯樹脂總量的濃度成為30質量%的方式進行，混合已預先準備之流動石蠟67.5質量份與十氫萘(Decahydronaphthalene)2.5質量份之混合溶劑，調製聚乙烯溶液。
將此聚乙烯溶液於溫度164℃由模具擠出成薄片狀，接著，將前述擠出物於水浴中以16℃進行冷卻，以及於水浴的表層提供水流，從於水浴中凝膠化之薄片當中釋放，邊以漂浮在水面之混合溶劑不再附著在薄片的方式進行，邊製作凝膠狀薄片(基本帶)。將該基本帶於60℃乾燥7分鐘，進而於95℃乾燥7分鐘，將十氫萘從基本帶內去除後，接著，邊將加熱至30℃之滾筒上施加0.05MPa之按壓邊進行搬送，從基本帶內去除流動石蠟的一部分。然後，將該基本帶往縱向方向在溫度90℃以倍率5.9倍拉伸(縱拉伸)，接著，往寬度方向在溫度105℃以倍率13倍拉伸(橫拉伸)，然後立即以120℃進行熱處理(熱固定)。
其次，分別於將此分成2槽之二氯甲烷浴，一邊持續每30秒浸漬基本帶，一邊萃取流動石蠟。尚，將開始浸漬側作為第1槽，將結束浸漬側作為第2槽時之洗淨溶劑的純度為(低)第1層＜第2槽(高)。然後，藉由於40℃乾燥去除二氯甲烷，邊搬運加熱至120℃之滾筒上邊進行退火處理，而得到由本發明之聚烯烴微多孔膜所構成之液體過濾器用基材。
[比較例1] 　　使用混合重量平均分子量為460萬之高分子量聚乙烯(PE1)6質量份、與重量平均分子量為56萬之低分子量聚乙烯(PE2)24質量份的聚乙烯組成物。以聚乙烯樹脂總量的濃度成為30質量%的方式進行，混合已預先準備之流動石蠟67.5質量份與十氫萘(Decahydronaphthalene)2.5質量份之混合溶劑，調製聚乙烯溶液。
將此聚乙烯溶液於溫度158℃由模具擠出成薄片狀，接著，將前述擠出物於水浴中以18℃進行冷卻，以及於水浴的表層提供水流，從於水浴中凝膠化之薄片當中釋放，邊以漂浮在水面之混合溶劑不再附著在薄片的方式進行，邊製作凝膠狀薄片(基本帶)。將該基本帶於60℃乾燥10分鐘，進而於95℃乾燥10分鐘，將十氫萘從基本帶內去除後，接著，邊將加熱至90℃之滾筒上施加0.25MPa之按壓邊進行搬送，從基本帶內去除流動石蠟的一部分。然後，將該基本帶往縱向方向在溫度90℃以倍率5.9倍拉伸(縱拉伸)，接著，往寬度方向在溫度105℃以倍率13倍拉伸(橫拉伸)，然後立即以118℃進行熱處理(熱固定)。
其次，分別於將此分成2槽之二氯甲烷浴，一邊持續每30秒浸漬基本帶，一邊萃取流動石蠟。尚，將開始浸漬側作為第1槽，將結束浸漬側作為第2槽時之洗淨溶劑的純度為(低)第1層＜第2槽(高)。然後，藉由於40℃乾燥去除二氯甲烷，邊搬運加熱至120℃之滾筒上邊進行退火處理，而得到由聚烯烴微多孔膜所構成之液體過濾器用基材。
[比較例2] 　　使用混合重量平均分子量為460萬之高分子量聚乙烯(PE1)5質量份、與重量平均分子量為56萬之低分子量聚乙烯(PE2)18質量份的聚乙烯組成物。以聚乙烯樹脂總量的濃度成為23質量%的方式進行，混合已預先準備之流動石蠟75.9質量份與十氫萘(Decahydronaphthalene)1.1質量份的混合溶劑，調製聚乙烯溶液。
將此聚乙烯溶液於溫度158℃由模具擠出成薄片狀，接著，將前述擠出物於水浴中以16℃進行冷卻，以及於水浴的表層提供水流，從於水浴中凝膠化之薄片當中釋放，邊以漂浮在水面之混合溶劑不再附著在薄片的方式進行，邊製作凝膠狀薄片(基本帶)。將該基本帶於60℃乾燥10分鐘，進而於95℃乾燥10分鐘，將十氫萘從基本帶內去除後，接著，邊將加熱至80℃之滾筒上施加0.35MPa之按壓邊進行搬送，從基本帶內去除流動石蠟的一部分。然後，將該基本帶往縱向方向在溫度90℃以倍率6.5倍拉伸(縱拉伸)，接著，往寬度方向在溫度125℃以倍率13倍拉伸(橫拉伸)，然後立即以130℃進行熱處理(熱固定)。
其次，分別於將此分成2槽之二氯甲烷浴，一邊持續每30秒浸漬基本帶，一邊萃取流動石蠟。尚，將開始浸漬側作為第1槽，將結束浸漬側作為第2槽時之洗淨溶劑的純度為(低)第1層＜第2槽(高)。然後，藉由於40℃乾燥去除二氯甲烷，邊搬運加熱至100℃之滾筒上邊進行退火處理，而得到由聚烯烴微多孔膜所構成之液體過濾器用基材。
[比較例3] 　　使用混合重量平均分子量為460萬之高分子量聚乙烯(PE1)6質量份、與重量平均分子量為56萬之低分子量聚乙烯(PE2)24質量份的聚乙烯組成物。以聚乙烯樹脂總量的濃度成為30質量%的方式進行，混合已預先準備之流動石蠟67.5質量份與十氫萘(Decahydronaphthalene)2.5質量份之混合溶劑，調製聚乙烯溶液。
將此聚乙烯溶液於溫度156℃由模具擠出成薄片狀，接著，將前述擠出物於水浴中以20℃冷卻，以及於水浴的表層提供水流，從於水浴中凝膠化之薄片當中釋放，邊以漂浮在水面之混合溶劑不再附著在薄片的方式進行，邊製作凝膠狀薄片(基本帶)。將該基本帶於60℃乾燥10分鐘，進而於95℃乾燥10分鐘，將十氫萘從基本帶內去除後，接著，邊將加熱至90℃之滾筒上施加0.40MPa之按壓邊進行搬送，從基本帶內去除流動石蠟的一部分。然後，將該基本帶往縱向方向在溫度90℃以倍率4.8倍拉伸(縱拉伸)，接著，往寬度方向在溫度106℃以倍率10倍拉伸(橫拉伸)，然後立即以140℃進行熱處理(熱固定)。
其次，分別於將此分成2槽之二氯甲烷浴，一邊持續每30秒浸漬基本帶，一邊萃取流動石蠟。尚，將開始浸漬側作為第1槽，將結束浸漬側作為第2槽時之洗淨溶劑的純度為(低)第1層＜第2槽(高)。然後，藉由於40℃乾燥去除二氯甲烷，邊搬運加熱至120℃之滾筒上邊進行退火處理，而得到由聚烯烴微多孔膜所構成之液體過濾器用基材。
[比較例4] 　　使用混合重量平均分子量為460萬之高分子量聚乙烯(PE1)15質量份、與重量平均分子量為56萬之低分子量聚乙烯(PE2)15質量份的聚乙烯組成物。以聚乙烯樹脂總量的濃度成為30質量%的方式進行，混合已預先準備之流動石蠟75.9質量份與十氫萘(Decahydronaphthalene)1.1質量份之混合溶劑，調製聚乙烯溶液。
將此聚乙烯溶液於溫度153℃由模具擠出成薄片狀，接著，將前述擠出物於水浴中以14℃冷卻，以及於水浴的表層提供水流，從於水浴中凝膠化之薄片當中釋放，邊以漂浮在水面之混合溶劑不再附著在薄片的方式進行，邊製作凝膠狀薄片(基本帶)。將該基本帶於60℃乾燥10分鐘，進而於95℃乾燥10分鐘，將十氫萘從基本帶內去除後，接著，邊將加熱至90℃之滾筒上施加0.20MPa之按壓邊進行搬送，從基本帶內去除流動石蠟的一部分。然後，將該基本帶往縱向方向在溫度90℃以倍率5.9倍拉伸(縱拉伸)，接著，往寬度方向在溫度105℃以倍率13倍拉伸(橫拉伸)，然後立即以116℃進行熱處理(熱固定)。
其次，分別於將此分成2槽之二氯甲烷浴，一邊持續每30秒浸漬基本帶，一邊萃取流動石蠟。尚，將開始浸漬側作為第1槽，將結束浸漬側作為第2槽時之洗淨溶劑的純度為(低)第1層＜第2槽(高)。然後，藉由於40℃乾燥去除二氯甲烷，邊搬運加熱至120℃之滾筒上邊進行退火處理，而得到由聚烯烴微多孔膜所構成之液體過濾器用基材。
[比較例5] 　　使用混合重量平均分子量為460萬之高分子量聚乙烯(PE1)5質量份、與重量平均分子量為56萬之低分子量聚乙烯(PE2)23質量的聚乙烯組成物。以聚乙烯樹脂總量的濃度成為28質量%的方式進行，混合已預先準備之流動石蠟69質量份與十氫萘(Decahydronaphthalene)3質量份之混合溶劑，調製聚乙烯溶液。
將此聚乙烯溶液於溫度160℃由模具擠出成薄片狀，接著，將前述擠出物於水浴中以25℃冷卻，以及於水浴的表層提供水流，從於水浴中凝膠化之薄片當中釋放，邊以漂浮在水面之混合溶劑不再附著在薄片的方式進行，邊製作凝膠狀薄片(基本帶)。將該基本帶於55℃乾燥10分鐘，進而於95℃乾燥10分鐘，將十氫萘從基本帶內去除後，接著，邊將加熱至40℃之滾筒上施加0.40MPa之按壓邊進行搬送，從基本帶內去除流動石蠟的一部分。然後，將該基本帶往縱向方向在溫度90℃以倍率5.8倍拉伸(縱拉伸)，接著，往寬度方向在溫度90℃以倍率14倍拉伸(橫拉伸)，然後立即以124℃進行熱處理(熱固定)。
其次，分別於將此分成2槽之二氯甲烷浴，一邊持續每30秒浸漬基本帶，一邊萃取流動石蠟。尚，將開始浸漬側作為第1槽，將結束浸漬側作為第2槽時之洗淨溶劑的純度為(低)第1層＜第2槽(高)。然後，藉由於45℃乾燥去除二氯甲烷，邊搬運加熱至110℃之滾筒上邊進行退火處理，而得到由聚烯烴微多孔膜所構成之液體過濾器用基材。
[比較例6] 　　使用混合重量平均分子量為460萬之高分子量聚乙烯(PE1)8質量份、與重量平均分子量為56萬之低分子量聚乙烯(PE2)24質量份的聚乙烯組成物。以聚乙烯樹脂總量的濃度成為32質量%的方式進行，混合已預先準備之流動石蠟53質量份與十氫萘(Decahydronaphthalene)15質量份之混合溶劑，調製聚乙烯溶液。
將此聚乙烯溶液於溫度160℃由模具擠出成薄片狀，接著，將前述擠出物於水浴中以25℃冷卻，以及於水浴的表層提供水流，從於水浴中凝膠化之薄片當中釋放，邊以漂浮在水面之混合溶劑不再附著在薄片的方式進行，邊製作凝膠狀薄片(基本帶)。將該基本帶於55℃乾燥10分鐘，進而於95℃乾燥10分鐘，將十氫萘從基本帶內去除後，接著，邊將加熱至85℃之滾筒上施加0.20MPa之按壓邊進行搬送，從基本帶內去除流動石蠟的一部分。然後，將該基本帶往縱向方向在溫度100℃以倍率4.0倍拉伸(縱拉伸)，接著，往寬度方向在溫度100℃以倍率15倍拉伸(橫拉伸)，然後立即以118℃進行熱處理(熱固定)。
其次，分別於將此分成2槽之二氯甲烷浴，一邊持續每30秒浸漬基本帶，一邊萃取流動石蠟。尚，將開始浸漬側作為第1槽，將結束浸漬側作為第2槽時之洗淨溶劑的純度為(低)第1層＜第2槽(高)。然後，藉由於45℃乾燥去除二氯甲烷，邊搬運加熱至110℃之滾筒上邊進行退火處理，而得到由聚烯烴微多孔膜所構成之液體過濾器用基材。
[比較例7] 　　使用混合重量平均分子量為460萬之高分子量聚乙烯(PE1)32質量份、與重量平均分子量為56萬之低分子量聚乙烯(PE2)8質量份的聚乙烯組成物。以聚乙烯樹脂總量的濃度成為40質量%的方式進行，與流動石蠟60質量份混合，調製聚乙烯溶液。
將此聚乙烯溶液於溫度160℃由模具擠出成薄片狀，接著，將前述擠出物於水浴中以25℃冷卻，以及於水浴的表層提供水流，從於水浴中凝膠化之薄片當中釋放，邊以漂浮在水面之混合溶劑不再附著在薄片的方式進行，邊製作凝膠狀薄片(基本帶)。將該基本帶於55℃乾燥10分鐘，進而於95℃乾燥10分鐘，將十氫萘從基本帶內去除後，接著，邊將加熱至85℃之滾筒上施加0.20MPa之按壓邊進行搬送，從基本帶內去除流動石蠟的一部分。然後，將該基本帶往縱向方向在溫度100℃以倍率5.8倍拉伸(縱拉伸)，接著，往寬度方向在溫度100℃以倍率14倍拉伸(橫拉伸)，然後立即以105℃進行熱處理(熱固定)。
其次，分別於將此分成2槽之二氯甲烷浴，一邊持續每30秒浸漬基本帶，一邊萃取流動石蠟。尚，將開始浸漬側作為第1槽，將結束浸漬側作為第2槽時之洗淨溶劑的純度為(低)第1層＜第2槽(高)。然後，藉由於45℃乾燥去除二氯甲烷，邊搬運加熱至110℃之滾筒上邊進行退火處理，而得到由聚烯烴微多孔膜所構成之液體過濾器用基材。
Figure 02_image001
Figure 02_image003

Claims (6)

  1. 一種液體過濾器用基材，其係由聚烯烴微多孔膜所構成之液體過濾器用基材，其特徵為在以藉由氣･液相取代之半乾法所測定之前述聚烯烴微多孔膜的孔徑分布，平均流量孔徑dPP 為1nm以上20nm以下，在以藉由液･液相取代之半乾法所測定之前述聚烯烴微多孔膜的孔徑分布，平均流量孔徑dLLP 為1nm以上15nm以下，且前述平均流量孔徑dPP 與平均流量孔徑dLLP 的差(dPP -dLLP )為12nm以下， 　　前述聚烯烴微多孔膜的厚度為4～25μm。
  2. 如請求項1之液體過濾器用基材，其中，前述dLLP 及dPP 在各自的孔徑分布之平均流量孔徑的標準偏差為1nm以上5nm以下。
  3. 如請求項1或請求項2之液體過濾器用基材，其中，在前述聚烯烴微多孔膜之孔徑分布的最大孔徑為15nm以上25nm以下。
  4. 如請求項1或請求項2之液體過濾器用基材，其中，前述聚烯烴係以質量比為50：50～80：20的比例混合重量平均分子量為400萬以上600萬以下之高分子量聚乙烯、與重量平均分子量為20萬～80萬之低分子量聚乙烯的聚乙烯組成物。
  5. 如請求項1或請求項2之液體過濾器用基材，其中，前述聚烯烴微多孔膜的透水性能於90kPa的減壓下為0.10～0.40ml/min/cm2 。
  6. 如請求項1或請求項2之液體過濾器用基材，其中，前述聚烯烴微多孔膜的空孔率為39～70%。
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