TWI701109B - 手動工具、使用在其之起子頭及力矩感測器 - Google Patents

Abstract

[課題]提供一種手動工具，其係作業性、操作性優異，而且可以精密的鎖緊力矩管理。 [解決手段]具有：手柄(10)，該手柄具備起子頭保持部(12)，該起子頭保持部係保持起子頭成可以自由裝卸；以及磁應變式的力矩感測器(30)，係被設在手柄(10)且可以自由裝卸，具備容納保持在起子頭保持部(12)的起子頭(20)且包圍該起子頭(20)的外周圍之檢測部(33)，可以用非接觸方式檢測作用在起子頭(20)的力矩。力矩感測器(30)，係可以構成：形成在起子頭(20)被安裝到了手柄(10)的起子頭保持部(12)的狀態下而可以安裝到手柄(10)。

Description

手動工具、使用在其之起子頭及力矩感測器

本發明有關附力矩感測器的手動工具、使用在其之起子頭及力矩感測器。

半導體製造程序等的各種製造程序中，為了把正確計量出的製程氣體供給到製程腔室，使用有把開關閥、調整器、質量流控制器等的各種的流體機器予以積體化的流體控制裝置(例如，參閱專利文獻1)。 上述般的流體控制裝置的組裝工序中，大量的六角承窩螺栓等的螺栓的鎖緊作業為必要，另一方面，要求高組裝品質。 [先前技術文獻] [專利文獻]

專利文獻1：日本特開2016-050635號專利公報 專利文獻2：日本特開2012-86284號專利公報

[本發明所欲解決之課題]

鎖緊作業中的力矩管理乃是在維持管理組裝品質上為不可缺，電動式或流體驅動式的自動工具中可以精密的力矩管理之工具被多次提案(例如，參閱專利文獻2)。 但是，習知中，適用於使用了螺絲起子或板手等的人工作業所致之螺栓的鎖緊作業等，可以精密的力矩管理，作業性、操作性優異的手動工具並不存在。

本發明的一個目的是提供一種手動工具，其係作業性、操作性優異，而且可以精密的鎖緊力矩管理。 本發明的另一個目的是提供一種起子頭及力矩感測器，其係適用在上述的手動工具。 [用以解決課題之手段]

有關本發明的手動工具，具有： 手柄，其係具備把起子頭保持成自由裝卸的起子頭保持部；以及 磁應變式的力矩感測器，其係設在前述手柄且可以自由裝卸，具備容納被保持在前述起子頭保持部的起子頭且包圍該起子頭的外周圍之檢測部，可以用非接觸方式檢測作用在前述起子頭的力矩。

可以適合地採用以下的構成：前述力矩感測器，係被形成在前述起子頭已被安裝到了前述手柄的起子頭保持部的狀態下可以安裝到前述手柄。

可以採用以下的構成：如請求項1或是2的手動工具，其中， 前述起子頭，具有：可以與緊固構件卡合的末端部、被安裝到前述起子頭保持部的基端部、以及延伸在前述末端部與基端部之間的軸部； 前述力矩感測器的感測部，係前述起子頭的軸部的一部分作為被檢測部，以非接觸方式檢測作用在該起子頭的力矩。 可以更適合地採用以下的構成：前述起子頭，係形成前述軸部的被檢測部的剖面為多角形狀。 可以更適合地採用以下的構成：前述被檢測部，係形成具有除了該被檢測部的前述軸部的剖面積還大的剖面積。 該情況下，前述起子頭，係內接到前述被檢測部的剖面的圓的直徑為10mm以下。

本發明係可以以可以鎖緊前述緊固構件的最大鎖緊力矩為10N・m以下之手動工具為對象。

本發明的起子頭，係被使用在上述構成的手動工具，該起子頭具有：其中一部分用磁應變材料來形成，可以與緊固構件卡合的末端部；被安裝到前述起子頭保持部的基端部；以及延伸在前述末端部與基端部之間的軸部。

本發明的力矩感測器，係被使用在上述構成的手動工具，該力矩感測器具有：形成前述起子頭可以貫通的檢測部；以及安裝到前述手柄且可以自由裝卸的安裝部。 [發明效果]

根據本發明，可以得到一種手動工具，其係作業性、操作性優異，而且可以精密的鎖緊力矩管理。

以下，關於本發明之實施方式，參閱圖面說明之。尚且，本說明書及圖面中，對於功能為實質上同樣的構成要件，使用相同元件符號，經此，省略重複的說明。 第1實施方式 在圖1～圖5表示作為有關第1實施方式的手動工具的螺絲起子1的構造。 螺絲起子1，具有：手柄10、起子頭20、力矩感測器30。螺絲起子1係用於六角承窩的螺栓(緊固構件)的緊固，使用在最大鎖緊力矩為10N・m以下的範圍，但是，並不被限定於此。 緊固構件係使用有六角承窩螺栓、六角螺栓、十字槽螺絲等，但是，不限於這些。 手柄10係如圖2表示，乃是利用樹脂等的材料所製成的圓柱狀的構件，具有：在外周圍面形成了止滑用的複數條的溝之主體部11；形成在末端部之圓桶狀的起子頭保持部12；以及形成在主體部11與起子頭保持部12之間，安裝有可以自由裝卸的力矩感測器30之感測器安裝部13。在起子頭保持部12，形成利用剖面為正六角形狀的盲孔所構成保持孔12a，在此插入並保持起子頭20。

起子頭20係如圖3表示，具有：可以插入並保持在上述的手柄10的起子頭保持部12之剖面為正六角形狀的基端部22；與基端部22為相反側的末端部21；以及在基端部22與末端部21之間延伸的軸部23。末端部21及軸部23的六角形狀的剖面係形成為相同尺寸。末端部21及軸部23的剖面積，係比起基端部22還小。末端部21係卡合到六角承窩螺栓的六角孔。如後述，靠軸部23的基端部22之一部分，係成為利用力矩感測器30而被檢測之被檢測部24。 起子頭20，係具體方面，用碳鋼、鎳鉻鉬鋼、鉻釩鋼等的合金鋼來形成。 在被檢測部24，形成有磁應變材料，為了提高檢測靈敏度，例如，施以Ni(40%)-Fe(60%)的鍍覆。 起子頭20的尺寸，係例如，內接到基端部22的剖面之圓的直徑為10mm以下，內接到軸部23的剖面之圓的直徑為4mm左右，全長為200mm左右，但也並非一定被限定於此，可以考慮作業性、操作性而適宜選擇。 起子頭20，係軸部23與被檢測部24是可以形成為一體，也可以分開。

力矩感測器30，係如圖4及圖5表示，具有：殼部31、安裝部32、檢測部33、電路收容部35。 檢測部33，係在其中心部形成貫通孔33a，起子頭20貫通過該貫通孔33a內。在檢測部33的內部，形成圓桶狀的線圈保持部33b而劃定出貫通孔33a的一部分，在外周圍面設有激磁、檢測用的線圈36。貫通檢測部33的起子頭20的被檢測部24，係藉由線圈36，外周圍被包圍。 殼部31、安裝部32、檢測部33係利用樹脂材料來整體地形成，在殼部31的內部形成空洞39。空洞39，係通過安裝部32而可以收容手柄10的起子頭保持部12。 形成圓桶狀的安裝部32，係手柄10的感測器安裝部13嵌合到內周，利用未圖示的螺絲構件，被固定到感測器安裝部13。 電路收容部35，係收容有利用微處理器、記憶體、電池、外部輸出入電路、通訊電路、力矩檢測用的各種電路等所構成的硬體，利用儲存到記憶體之所需的軟體來動作。

螺絲起子1，係如圖5所示，可以在把起子頭20安裝到了手柄10的狀態下之後再安裝力矩感測器30。為此，手柄10及起子頭20為習知所使用的通用的工具的話，以附加力矩感測器30的方式，可以無損於工具的作業性、操作性而檢測作用在起子頭20的力矩。 尚且，在本實施方式中，例示出可以附加力矩感測器30的情況，但是，也可以採用預先安裝力矩感測器30到手柄10，之後，把起子頭20安裝到手柄10之構成。

圖6，為表示力矩感測器30的電力系統的其中一例之功能方塊圖。 本發明中，線圈36可以是1個，但是，也可以使用激磁線圈36a與檢測線圈36b之2個。 在本實施例中，說明線圈為激磁線圈與檢測線圈之2個的情況。 力矩感測器30的電力系統，具有：振盪電路110、緩衝放大器120、相位調整電路130、V-I轉換器140、逆變器160、同步檢波電路170、及反相放大器180。 (激磁側) 振盪電路110，係產生對激磁線圈36a激磁之基準頻率訊號(100kHz)。 從振盪電路110輸出作為正弦波的訊號到激磁側電路，但是，為了使振盪電路110安定動作，所以經由緩衝放大器120輸出到相位調整電路130。 相位調整電路130，係調整波形的相位，輸出到V-I轉換器140。 V-I轉換器140，係把輸入電壓轉換成電流，輸出到激磁線圈36。 (檢測側) 檢測線圈36b，係把利用逆磁應變效應所產生出的感應電壓輸出到同步檢波電路170。 從振盪電路110到檢測側，係輸出矩形波作為參考訊號。該矩形波的頻率，係與往激磁側輸出的正弦波相同。已輸出的矩形波被分叉成2個，其中一方係直接往同步檢波電路170輸出，另一方係用逆變器160反轉相位而往同步檢波電路170輸出。 同步檢波電路170，係參閱參考訊號，同步檢波來自檢測線圈36b的感應電壓，往反相放大器180輸出。 反相放大器180，係把來自同步檢波電路170的輸出予以平均化，進行偏移調整、增益調整，輸出作為力矩訊號SG。力矩訊號SG，係被記憶到未圖示的記憶體，或者是，通過通訊電路以無線訊號發送到外部。 尚且，在本實施方式中，把相位調整電路130設置在緩衝放大器120的下游、V-I轉換器140的上游，但是，也可以設置在檢測線圈36b與同步檢波電路170之間。

如上述般，在力矩感測器30中，用線圈36檢測作用在起子頭20的被檢測部的力矩變化，作為形成在起子頭20的磁應變材料的磁導率的變化。

在圖7表示手柄10的變形例。 圖7表示的螺絲起子1A，係具備設成與手柄10正交之輔助條形部50。 在手柄10設有輔助條形部50，藉此，可以用手動產生出更大的緊固力矩。 在此，有關使用了螺絲起子1A的作業例，參閱圖8A、圖8B說明之。 圖8A、8B表示的流體控制裝置200，係被使用在為了朝半導體製造裝置等的反應器供給各種的氣體，在基底鈑金BS上，並聯有複數(3列)個流體控制組件，該流體控制組件係構成如下：分別沿縱長方向配置之利用自動閥或質量流控制器所構成的各種流體機器210、220、230、240、280、250。 設在基底鈑金BS上之複數個接頭塊狀體260、270係具備：連接在各種流體機器之間的流路。流體機器的主體與接頭塊狀體260、270，係被六角承窩螺栓BT連結。 螺絲起子1A，係使用在六角承窩螺栓BT的鎖緊作業。各種流體機器被積體化的話，在鎖緊六角承窩螺栓BT之際，為了不讓流體機器與螺絲起子1A的起子頭干涉，是有相對於六角承窩螺栓BT使螺絲起子1A一邊傾斜一邊進行鎖緊的情況。這樣的作業中，對於多數個六角承窩螺栓BT實施正確的鎖緊力矩是不容易的。 根據本實施方式，在螺絲起子1A沒有連接供電線，而且，已被最小化的力矩感測器30附加到起子頭的根部部分的緣故，可以確保上述般的螺栓的鎖緊作業中的作業性或操作性。再加上，在鎖緊作業中可以即時檢測鎖緊力矩的緣故，可以用正確的鎖緊力矩進行裝置的組裝作業。

第2實施方式 圖9A～圖9G，為表示起子頭的另一實施方式之圖。 圖9A～圖9G表示的起子頭20A～20G，係關於末端部21A，剖面形成正六角形狀，內接圓的直徑為3mm。 軸部23A為直徑4mm的圓棒。位置在軸部23A的根部部分之被檢測部24A～24G的剖面形狀，係分別與軸部23A相異。重點是，(1)被檢測部24A～24G的剖面積比起軸部23A的剖面積還要擴大這一點、以及(2)起子頭20B～20G的被檢測部24B～24G的剖面形狀為非圓形形狀這一點。 圖9A的被檢測部24A為比起軸部23A還要大口徑(10mm)的圓型。 圖9B的被檢測部24B為正六角形型(內接圓為10mm)。 圖9C的被檢測部24C為四角形(正方形)型。 圖9D的被檢測部24D為正三角形型。 圖9E的被檢測部24E為雙面分體型(外徑為7mm)。 圖9F的被檢測部24F為雙面分體型(外徑為8mm)。六角形型， 圖9G的被檢測部24G為星形。

在起子頭，關於測定鎖緊緊固構件的力矩方面，只要是可以檢測到作用在起子頭的力矩即可。 關於檢測作用在起子頭的力矩方面，利用有逆磁應變效應，但是，有必要把施加力矩所致之軸(被檢測部)表面的磁導率變化，換算成圍繞軸(被檢測部)的螺線管線圈的阻抗變化，並檢測作為橋式電路的非平衡電壓。 作用在軸(被檢測部)的表面的應力(應變)、與軸(被檢測部)的直徑之關係，用以下的式子表示。 σ=16T/(πD³ ) 在此，σ為軸(被檢測部)表面的應力(應變)，T為作用在軸(被檢測部)的力矩，D為軸(被檢測部)的直徑。 亦即，在對軸(被檢測部)的口徑為相異的起子頭施加了相同的力矩的情況下，軸(被檢測部)的口徑為較小的起子頭這一方，軸(被檢測部)表面的應力(應變)顯著變大。 軸(被檢測部)表面的應力(應變)，係使軸(被檢測部)表面的磁導率變化。 磁導率的變化，係相應於來自外部的力，構成原子尺度之微小磁體的方向發生變化，但是，在微小磁體的方向完全整齊化之下是不會變化的(飽和狀態)。 在精密檢測施加到起子頭(軸)的力矩方面，期望在所施加的力矩的範圍下，磁導率的變化為線性。 軸(被檢測部)表層的微小磁體的方向完全整齊化之應力(應變)為恆定的緣故，在施加相同力矩的情況下，軸(被檢測部)的口徑越小，在達到欲施加的力矩之前，會沒有磁導率的變化(飽和)。 在通常使用的φ4的起子頭之下，與磁應變力矩感測器的力矩相應的電壓變化馬上就飽和。例如，使用通常使用的φ4的起子頭(被檢測部的直徑：4mm)，用3N・m的力矩鎖緊緊固構件的話，在力矩達到3N・m之前，來自力矩感測器的輸出(電壓)變成恆定。

為此，把被檢測部24A～24G的剖面積擴大到比軸部23A還大。 在施加相同力矩的情況下，軸(被檢測部)的口徑越大，軸表面的應力(應變)越小。為此，也在力矩的施加已完畢的狀態下，是可以為軸(被檢測部)表層的微小磁體的方向尚未完全整齊化的狀態。若在這樣的狀態下，在所施加的力矩的範圍下，磁導率的變化為線性。

但是，從圖8A、圖8B了解到，流體控制裝置200上的各種流體機器的間隔不大的緣故，擴大起子頭(被檢測部)的外徑是有其界限。 為此，圖9B～圖9G表示的起子頭20B～20G的被檢測部24B～24G的剖面形狀做成非圓形形狀。經由該構成，可以更進一步遲緩來自力矩感測器的輸出的飽和。軸表面的應力(應變)的大小，係相依於直徑的緣故，即便是相同剖面積但做成非圓形形狀，經此，可以分布應力(應變)。

模擬 在此，在圖10表示在施加了力矩到起子頭時所產生的變形的模擬結果。 圖10，為表示在六角形型的起子頭所產生的變形之圖。而且，作為比較例，在圖11表示產生在圓型的起子頭之變形。圖11的圓型的起子頭的剖面積，係與圖10的六角形型的起子頭的剖面積為相同。 模擬的條件，係如以下。

從圖10了解到，在六角形型的起子頭的表面，從平面部的邊緣部分朝向中央部，變形量徐徐地變大，在平面部內形成應力分布。 另一方面，如圖11表示，在圓型的起子頭的表面，形成應力為均一，了解到變形量比起六角形型的起子頭的邊緣部分還大。

在圖12，表示有關本實施方式的力矩感測器的力矩與檢測電壓之關係的其中一例。 尚且，起子頭的被檢測部，係平行的2面的間隔為6.35mm(1/4英吋)的六角形。

在此，進行補充有關力矩感測器的動作原理。 例如圖13，乃是在施以65%Ni35%Fe組成的坡莫(Permalloy)磁應變膜鍍覆的軸，配置了螺線管線圈把該軸包圍之情況。螺線管線圈係例如，為直徑0.2～0.3mm的銅線，捲繞數為140匝。從交流激磁電源透過電阻R供給電流i。在線圈的電感為L的情況下，在線圈兩端產生與線圈阻抗成比例之電壓i×(R+jωL)。 在此，ω為交流激磁電流的角頻率，j為虛數單位。如圖13，施加軸力矩(扭轉力)T的話，在軸的表面，成對在相對於軸方向為45度方向產生主應力σ以及在-45度方向產生-σ。接著，該應力傳遞到鍍覆在軸的磁應變膜。 軸的外徑為D[m]、力矩T[N・m]的話，主應力σ[N/m² ]係由下式所得。在此，磁應變膜的厚度係與D相比為充分小，對扭轉的反作用力可以忽略。

【數學式1】

藉此，在磁應變膜感應到磁向異性(為Ku)。磁應變膜的飽和磁應變常數決定為λs的話(為了簡化，暫定為λs＞0)，Ku係如圖14般出現在正的主應力方向。該大小，係由以下式子

【數學式2】

來決定。 式子(2)中，軸材與磁應變膜的彈性係數暫定為相同，但是，在考慮到2個彈性係數的差異的情況下，可以把用(磁應變膜的寬彈性係數)/(軸材的寬彈性係數)表示的比乘到式子(2)。

磁向異性Ku及於磁應變膜的磁化J的影響，係把J的方向限制在Ku的方向。另一方面，激磁磁場H，係把磁化J導到其方向。對Jcosθ的時間變化乘上磁應變膜剖面積及線圈的捲繞數，決定出線圈的感應電壓。(H為交變的磁場的緣故，θ係以其頻率變動大小)Ku變大的話圖14的θ的振幅變小，另一方面，Ku變小的話其振幅變大。亦即，力矩T變大的話θ的振幅變小，線圈的感應電壓減少，力矩T變小的話就相反。 配合必要放大感應電壓，同步檢波所得到的輸出電壓v，係相對於力矩T，如圖15般單調遞減。 從這些電壓v的變化可以檢測力矩T。此時，軸的外徑D為大的話，該曲線更為直線，可以得到動態範圍大的力矩感測器。 在圖13中，是使用1個線圈，但是，把第2線圈施作成與第1線圈相同，也可以從第2線圈得到輸出電壓。如此，可以排除與產生在第1線圈的電阻份的力矩為無關係的電壓下降，可以做精度更高的檢測。而且，以調整第1線圈的捲繞數的方式可以調整必要的激磁電流i，更容易達成減輕電力損失的設計。

第三實施方式 在圖16表示起子頭的另一實施方式。尚且，在圖16中與圖5相同的零件，係賦予相同編號省略了說明。 起子頭40，係組合延伸桿41與交換用起子頭42而構成。延伸桿41係在末端側具有第2起子頭保持部43，藉由第2起子頭保持部43保持成可以交換交換用起子頭42。第2起子頭保持部43也與起子頭保持部12同樣，剖面為正六角形狀的插座構造。 延伸桿41的軸部23的一部分，係作為藉由力矩感測器30進行力矩檢測之被檢測部24。

藉由力矩感測器30檢測出的值，係因鍍覆的種類或厚度等的表面處理狀態而受到影響的緣故，在因起子頭的交換等，被檢測部24的構造發生了變化的情況下，期望重新做力矩值的校正。 以延伸桿41與交換用起子頭42所致之可以分開的構造，對被檢測部24不會有影響而可以僅交換交換用起子頭42，可以短時間進行起子頭交換。而且，在作為交換用起子頭42所使用的起子頭方面，原材料或表面處理的限制是沒有的緣故，可以使用通用的起子頭，可以減低起子頭的交換費用，或是可以容易對應到六角以外的末端形狀為必要的特殊螺絲。

1、1A‧‧‧螺絲起子 10‧‧‧手柄 11‧‧‧主體部 12‧‧‧起子頭保持部 12a‧‧‧保持孔 13‧‧‧感測器安裝部 20、20A～20G‧‧‧起子頭 21、21A‧‧‧末端部 22‧‧‧基端部 23、23A‧‧‧軸部 24、24A～24G‧‧‧被檢測部 30‧‧‧力矩感測器 31‧‧‧殼部 32‧‧‧安裝部 33‧‧‧檢測部 33a‧‧‧貫通孔 33b‧‧‧線圈保持部 35‧‧‧電路收容部 36‧‧‧線圈 36a‧‧‧激磁線圈 36b‧‧‧檢測線圈 39‧‧‧空洞 40‧‧‧起子頭 41‧‧‧延伸桿 42‧‧‧交換用起子頭 43‧‧‧第2起子頭保持部 50‧‧‧輔助條形部 110‧‧‧振盪電路 120‧‧‧緩衝放大器 130‧‧‧相位調整電路 140‧‧‧V-I轉換器 160‧‧‧逆變器 170‧‧‧同步檢波電路 180‧‧‧反相放大器 200‧‧‧流體控制裝置 210～250、280‧‧‧流體機器 260、270‧‧‧接頭塊狀體 BS‧‧‧基底鈑金 BT‧‧‧六角承窩螺栓 D‧‧‧外徑 H‧‧‧其中一方激磁磁場 J‧‧‧磁化 Ku‧‧‧磁向異性 R‧‧‧電阻 SG‧‧‧力矩訊號 T‧‧‧力矩 i‧‧‧電流 v‧‧‧電壓 σ‧‧‧主應力

[圖1]有關本發明的一實施方式的手動工具的外觀立體圖。 [圖2]手柄的立體圖。 [圖3]起子頭的立體圖。 [圖4]力矩感測器的立體圖。 [圖5]圖1的手動工具的一部分含有剖面的前視圖。 [圖6]表示力矩感測器的電力系統的構成例的功能方塊圖。 [圖7]表示手柄的變形例之圖。 [圖8A]表示有關本發明的一實施方式的手動工具的使用例之立體圖。 [圖8B]圖8A的流體控制裝置及手動工具的前視圖。 [圖9A]表示起子頭的另一例(圓型)之圖。 [圖9B]表示起子頭的另一例(六角型)之圖。 [圖9C]表示起子頭的另一例(四角型)之圖。 [圖9D]表示起子頭的另一例(三角型)之圖。 [圖9E]表示起子頭的另一例(雙面分體型)之圖。 [圖9F]表示起子頭的另一例(雙面分體型)之圖。 [圖9G]表示起子頭的另一例(星形狀型)之圖。 [圖10]表示施加力矩到六角型的起子頭時產生的變形的模擬結果之圖。 [圖11]表示施加力矩到圓型的起子頭時產生的變形的模擬結果之圖。 [圖12]表示有關本實施方式的力矩感測器的力矩與檢測電壓之關係的其中一例之圖表。 [圖13]力矩感測器的動作原理的說明圖。 [圖14]說明影響到磁應變膜的磁化之磁向異性的影響之圖。 [圖15]電壓與力矩的關係圖。 [圖16]有關另一實施方式的手動工具的一部分含有剖面的前視圖。

10‧‧‧手柄

11‧‧‧主體部

12‧‧‧起子頭保持部

12a‧‧‧保持孔

13‧‧‧感測器安裝部

20‧‧‧起子頭

22‧‧‧基端部

24‧‧‧被檢測部

30‧‧‧力矩感測器

32‧‧‧安裝部

33‧‧‧檢測部

33a‧‧‧貫通孔

33b‧‧‧線圈保持部

35‧‧‧電路收容部

36‧‧‧線圈

39‧‧‧空洞

Claims (12)

1. 一種手動工具，具有：起子頭，其係具有基端部、可以與緊固構件卡合的末端部、以及延伸在前述基端部與前述末端部之間的實心的軸部，而且，具有在前述軸部的一部分的一整圈鍍覆有磁應變材料之被檢測部；手柄，其係具備把前述起子頭的基端部保持成自由裝卸的起子頭保持部；以及磁應變式的力矩感測器，其係設在前述手柄且可以自由裝卸，可以用非接觸方式檢測作用在前述起子頭的力矩，具備：容納被保持在前述起子頭保持部的起子頭且介隔著間隙包圍該起子頭的前述被檢測部的外周圍面之檢測部、以及被安裝到前述手柄之安裝部；前述起子頭的被檢測部，係在應形成分布在發生在該被檢測部的外周圍面的應力的大小之前述外周圍面，具有平面部，而且，形成剖面形狀為非圓形形狀。
2. 如請求項1的手動工具，其中，前述力矩感測器，係與前述起子頭沒有接觸關係。
3. 如請求項2的手動工具，其中，前述力矩感測器，係被設置在前述手柄，而得以在被安裝到了前述手柄的狀態下包覆前述起子頭保持部的外周 圍；被安裝到前述起子頭保持部的起子頭，係貫通在前述力矩感測器內及前述檢測部且延伸在前述力矩感測器的外部。
4. 如請求項1的手動工具，其中，前述力矩感測器，係被形成為在前述起子頭已被安裝到了前述起子頭保持部的狀態下可以安裝到前述手柄。
5. 如請求項1的手動工具，其中，前述起子頭，係前述被檢測部的剖面形成為多角形狀，而且，具有由複數個平面部所構成的外周圍面。
6. 如請求項1的手動工具，其中，前述被檢測部，係形成具有除了該被檢測部的前述軸部的剖面積以上的剖面積。
7. 如請求項1的手動工具，其中，前述起子頭，係內接到前述被檢測部的剖面的圓的直徑為10mm以下。
8. 如請求項1的手動工具，其中，前述起子頭係利用延伸桿與交換用起子頭所構成，前述延伸桿係具有前述基端部與前述軸部，交換用起子頭係 具有前述末端部。
9. 如請求項1的手動工具，其中，可以鎖緊前述緊固構件的最大鎖緊力矩為10N‧m以下。
10. 如請求項1的手動工具，其中，前述力矩感測器，具有：處理用前述檢測部檢測出的檢測訊號之處理電路。
11. 一種起子頭，係被使用在如請求項1至10中任一項的手動工具，該起子頭具有：末端部，其係可以與緊固構件卡合；基端部，其係被安裝到前述起子頭保持部；以及實心的軸部，其係延伸在前述末端部與前述基端部之間；具有在前述軸部的一部分鍍覆了磁應變材料之被檢測部；前述被檢測部，係在應使前述力矩感測器的輸出的飽和遲緩且使動態範圍放大之外周圍面的至少一部分，具有平面部，而且，形成剖面為非圓形形狀。
12. 一種力矩感測器，係被使用在如請求項1至10中任一項的手動工具，該力矩感測器具有： 檢測部，其係利用形成前述起子頭隔著間隙可以貫通的螺線管線圈所構成；以及安裝部，其係安裝到前述手柄且可以自由裝卸。

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