CN111278605B - 手动工具、用于该手动工具的刀头以及扭矩传感器 - Google Patents

Abstract

提供一种作业性、操作性优异并且能够进行精密的紧固扭矩管理的手动工具。该手动工具具有：手柄(10)，其具有装卸自如地保持刀头的刀头保持部(12)；以及磁致伸缩式的扭矩传感器(30)，其具有接收保持到刀头保持部(12)的刀头(20)并且将该刀头(20)的外周包围的检测部(33)，该磁致伸缩式的扭矩传感器能够以非接触的方式对作用于刀头(20)的扭矩进行检测并且装卸自如地设于手柄(10)。扭矩传感器(30)能够构成为，形成为在刀头(20)安装到手柄(10)的刀头保持部(12)的状态下能够安装于手柄(10)。

Description

手动工具、用于该手动工具的刀头以及扭矩传感器

技术领域

本发明涉及一种带有扭矩传感器的手动工具、用于该手动工具的刀头以及扭矩传感器。

背景技术

在半导体制造工艺等各种制造工艺中，为了将准确计量后的工艺气体向工艺腔室供给，使用了将开闭阀、调节器、质量流量控制器等各种流体设备集成化而成的流体控制装置(例如，参照专利文献1)。

在上述那样的流体控制装置的组装工序中，需要对大量的内六角螺栓等螺栓进行紧固作业，另一方面，也要求较高的组装质量。

专利文献1：日本特开2016-050635号公报

专利文献2：日本特开2012-86284号公报

发明内容

发明要解决的问题

对于紧固作业中的扭矩管理在对组装质量进行维持管理的方面上是不可缺的，并且对于电动式、流体驱动式的自动工具，提出了许多能够进行精密的扭矩管理的工具(例如，参照专利文献2)。

然而，以往并不存在适用于由使用了螺丝刀、扳手等的手工作业进行的螺栓的紧固作业等并能够进行精密的扭矩管理而作业性、操作性优异的手动工具。

本发明的一个目的在于提供一种作业性、操作性优异并且能够进行精密的紧固扭矩管理的手动工具。

本发明的其他目的在于提供一种适用于上述手动工具的刀头以及扭矩传感器。

用于解决问题的方案

本发明的手动工具的特征在于，

该手动工具具有：

手柄，其具有装卸自如地保持刀头的刀头保持部；以及

磁致伸缩式的扭矩传感器，其具有用于接收保持到所述刀头保持部的刀头并且将该刀头的外周包围的检测部，该磁致伸缩式的扭矩传感器能够以非接触的方式检测作用于所述刀头的扭矩并且装卸自如地设于所述手柄。

优选的是，能够采用这样的结构：所述扭矩传感器形成为在所述刀头安装到所述手柄的刀头保持部的状态下能够安装于所述手柄。

技术方案1或2所记载的手动工具的特征在于，

所述手动工具能够采用这样的结构：

所述刀头具有能够与紧固构件卡合的顶端部、安装于所述刀头保持部的基端部、以及在所述顶端部与基端部之间延伸的轴部，

所述扭矩传感器的传感器部将所述刀头的轴部的局部作为被检测部来以非接触的方式检测作用于该刀头的扭矩。

更加优选的是，能够采用这样的结构：所述刀头的所述轴部的被检测部的截面形成为多边形形状。

更加优选的是，能够采用这样的结构：所述被检测部形成为具有所述轴部的除了该被检测部以外的部分的截面积以上的截面积。

在该情况下，能够设为，对于所述刀头，与所述被检测部的截面内切的圆的直径为10mm以下。

本发明能够将能够紧固所述紧固构件的最大紧固扭矩为10N·m以下的手动工具作为对象。

本发明的刀头是用于具有上述结构的手动工具的刀头，其特征在于，

该刀头具有：顶端部，其局部由磁致伸缩材料形成并且能够与紧固构件卡合；基端部，其安装于所述刀头保持部；以及轴部，其在所述顶端部与基端部之间延伸。

本发明的扭矩传感器是用于具有上述结构的手动工具的扭矩传感器，其特征在于，

该扭矩传感器具有：

检测部，其形成为能够供所述刀头贯通；以及

安装部，其装卸自如地安装于所述手柄。

发明的效果

根据本发明，得到一种作业性、操作性优异并且能够进行精密的紧固扭矩管理的手动工具。

附图说明

图1是本发明的一实施方式的手动工具的外观立体图。

图2是手柄的立体图。

图3是刀头的立体图。

图4是扭矩传感器的立体图。

图5是在图1的手动工具的局部包含截面的主视图。

图6是表示扭矩传感器的电气系统的结构例的功能框图。

图7是表示手柄的变形例的图。

图8A是表示本发明的一实施方式的手动工具的使用例的立体图。

图8B是图8A的流体控制装置和手动工具的主视图。

图9A是表示刀头的其他例子(圆形)的图。

图9B是表示刀头的其他例子(六边形)的图。

图9C是表示刀头的其他例子(四边形)的图。

图9D是表示刀头的其他例子(三角形)的图。

图9E是表示刀头的其他例子(两面切割形)的图。

图9F是表示刀头的其他例子(两面切割形)的图。

图9G是表示刀头的其他例子(星形)的图。

图10是表示在向六边形的刀头施加了扭矩时产生的应变的模拟结果的图。

图11是表示在向圆形的刀头施加了扭矩时产生的应变的模拟结果的图。

图12是表示本实施方式的扭矩传感器的扭矩与检测电压之间的关系的一个例子的图表。

图13是扭矩传感器的工作原理的说明图。

图14是说明磁各向异性对磁致伸缩膜的磁化带来的影响的图。

图15是电压与扭矩的关系图。

图16是另一实施方式的在手动工具的局部包含截面的主视图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。此外，在本说明书以及附图中，通过对功能实质上相同的构成要素使用相同的附图标记来省略重复的说明。

第1实施方式

图1～图5表示作为第1实施方式的手动工具的螺丝刀1的构造。

螺丝刀1具有手柄10、刀头20、以及扭矩传感器30。螺丝刀1用于内六角螺栓(紧固构件)的紧固，在最大紧固扭矩为10N·m以下的范围内使用，但是并不限定于此。

紧固构件使用内六角螺栓、六角螺栓、以及十字槽螺钉等，但是并不限定于此。

如图2所示，手柄10是由树脂等材料构成的圆柱状的构件，该手柄10具有：主体部11，在其外周面形成有防滑用的多条槽；圆筒状的刀头保持部12，其形成于该手柄10的顶端部；以及传感器安装部13，其形成于主体部11与刀头保持部12之间，用于装卸自如地安装扭矩传感器30。在刀头保持部12形成有由截面为正六边形形状的盲孔构成的保持孔12a，在该保持孔12a插入并保持刀头20。

如图3所示，刀头20具有插入并保持在上述手柄10的刀头保持部12的截面为正六边形形状的基端部22、位于与基端部22相反的一侧的顶端部21、以及在基端部22与顶端部21之间延伸的轴部23。顶端部21和轴部23的六边形形状的截面形成为同一尺寸。顶端部21和轴部23的截面积为小于基端部22的截面积。顶端部21与内六角螺栓的内六角卡合。如后所述，轴部23的靠近基端部22的局部成为由扭矩传感器30进行检测的被检测部24。

刀头20具体而言由碳钢、镍铬钼钢、以及铬钒钢等合金钢形成。

在被检测部24形成有磁致伸缩材料，并且为了提高检测灵敏度，例如实施有Ni(40％)-Fe(60％)的镀覆。

对于刀头20的尺寸，例如，与基端部22的截面内切的圆的直径为10mm以下，并且与轴部23的截面内切的圆的直径为4mm左右，刀头20的全长为200mm左右，但是并不限定于此，能够考虑作业性、操作性而适当地进行选择。

对于刀头20，轴部23与被检测部24既可以一体地形成，也可以成为能够分割。

如图4以及图5所示，扭矩传感器30具有壳体部31、安装部32、检测部33、以及电路收纳部35。

在检测部33的中心部形成有贯通孔33a，在该贯通孔33a内贯通刀头20。在检测部33的内部以划定贯通孔33a的局部的方式形成有圆筒状的线圈保持部33b，在圆筒状的线圈保持部33b的外周面设有励磁、检测用线圈36。刀头20的贯通检测部33的被检测部24的外周被线圈36包围。

壳体部31、安装部32、以及检测部33由树脂材料一体地形成，在壳体部31的内部形成有空腔39。空腔39能够借助安装部32来收纳手柄10的刀头保持部12。

形成为圆筒状的安装部32的内周与手柄10的传感器安装部13嵌合，该安装部32利用未图示的螺纹构件被固定在传感器安装部13。

电路收纳部35收纳由微处理器、存储器、电池、外部输入输出电路、通信电路、以及用于扭矩检测的各种电路等构成的硬件，利用在存储器中存储的所需的软件来进行工作。

如图5所示，对于螺丝刀1，能够在手柄10安装有刀头20的状态下后来安装扭矩传感器30。因此，若手柄10以及刀头20设为以往所使用的通用的工具，则通过后装扭矩传感器30，能够在不损害工具的作业性、操作性的情况下对作用于刀头20的扭矩进行检测。

此外，在本实施方式中，例示了能够后装扭矩传感器30的情况，但是也能够采用这样的结构：在手柄10预先安装扭矩传感器30，之后，在手柄10安装刀头20。

图6是表示扭矩传感器30的电气系统的一个例子的功能框图。

在本发明中，线圈36可以是1个，但是也可以使用励磁线圈36a和检测线圈36b这两个线圈。

在本实施例中，对线圈是励磁线圈和检测线圈这两个线圈的情况进行说明。

扭矩传感器30的电气系统具有振荡电路110、缓冲放大器120、相位调整电路130、V-I转换器140、倒相器160、同步检波电路170、以及反转放大器180。

(励磁侧)

振荡电路110用于生成对励磁线圈36a进行励磁的基准频率信号(100kHz)。

从振荡电路110向励磁侧电路输出作为正弦波的信号，但是为了使振荡电路110稳定地进行工作，经由缓冲放大器120向相位调整电路130输出。

相位调整电路130对波形的相位进行调整，向V-I转换器140输出。

V-I转换器140将输入电压转换为电流，向励磁线圈36输出。

(检测侧)

检测线圈36b将由反磁致伸缩效应产生的感应电压向同步检波电路170输出。

从振荡电路110朝向检测侧输出矩形波作为参照信号。该矩形波的频率与朝向励磁侧输出的正弦波的频率相同。所输出的矩形波分支成两个，一个矩形波直接朝向同步检波电路170输出，而另一个矩形波利用倒相器160反转相位并朝向同步检波电路170输出。

同步检波电路170参照参照信号，对来自检测线圈36b的感应电压进行同步检波，并且朝向反转放大器180输出。

反转放大器180将来自同步检波电路170的输出平均化，并且进行偏移调整、增益调整，作为扭矩信号SG输出。扭矩信号SG存储在未图示的存储器，或者，经由通信电路以无线信号向外部发送。

此外，在本实施方式中，将相位调整电路130设置在缓冲放大器120的下游、V-I转换器140的上游，但是也能够设置在检测线圈36b与同步检波电路170之间。

如上所述，在扭矩传感器30中，利用线圈36检测作用于刀头20的被检测部的扭矩变化作为形成刀头20的磁致伸缩材料的磁导率的变化。

图7是表示手柄10的变形例。

图7所示的螺丝刀1A具有与手柄10正交地设置的辅助杆50。

通过在手柄10设置辅助杆50，能够手动地产生更大的紧固松动扭矩。

在此，参照图8A、图8B对使用了螺丝刀1A的操作例进行说明。

图8A、8B所示的流体控制装置200用于向半导体制造装置等反应器供给各种气体，在基部金属板BS上，由各种流体设备210、220、230、240、280、250构成的流体控制组件并列多列(3列)，各种流体设备210、220、230、240、280、250由分别沿着长度方向配置的自动阀、质量流量控制器构成。

设置在基部金属板BS上的多个接头块260、270具有连接各种流体设备间的流路。流体设备的主体和接头块260、270利用内六角螺栓BT连结。

螺丝刀1A用于内六角螺栓BT的紧固作业。若各种流体设备被集成化，则在对内六角螺栓BT进行紧固时，存在这样的情况：使螺丝刀1A相对于内六角螺栓BT倾斜的同时对该内六角螺栓BT进行紧固，以使流体设备和螺丝刀1A的刀头不产生干涉。不容易以准确的紧固扭矩对许多内六角螺栓BT实施这样的作业。

根据本实施方式，由于在螺丝刀1A上没有连接供电线，并且，最小化的扭矩传感器30后装在刀头的根部部分，因此确保了上述那样的螺栓的紧固作业中的作业性、操作性。此外，由于能够在紧固作业中实时地检测紧固扭矩，因此能够以准确的紧固扭矩进行装置的组装作业。

第2实施方式

图9A～图9G是表示刀头的其他实施方式的图。

图9A～图9G所示的刀头20A～20G的顶端部21A的截面形成为正六边形形状，并且内切圆的直径为3mm。

轴部23A是直径为4mm的圆棒。位于轴部23A的根部部分的被检测部24A～24G的截面形状分别与轴部23A的截面形状不同。重要的点是：(1)被检测部24A～24G的截面积相比轴部23A的截面积扩大这一点，以及(2)刀头20B～20G的被检测部24B～24G的截面形状为非圆形形状这一点。

图9A的被检测部24A是相比轴部23A大径(10mm)的圆形。

图9B的被检测部24B是正六边形(内切圆为10mm)。

图9C的被检测部24C是四边形(正方形)。

图9D的被检测部24D是正三角形。

图9E的被检测部24E是两面切割形(外径为7mm)。

图9F的被检测部24F是两面切割形(外径为8mm)。

图9G的被检测部24G是星形。

对于测定利用刀头对紧固构件进行紧固的扭矩，只要检测作用于刀头的扭矩即可。

对于检测作用于刀头的扭矩，利用反磁致伸缩效应，但是需要将由施加扭矩导致的轴(被检测部)表面的磁导率变化换算为卷绕轴(被检测部)的螺线管线圈的阻抗变化，作为电桥电路的非平衡电压来进行检测。

作用于轴(被检测部)的表面的应力(应变)与轴(被检测部)的直径之间的关系由下式表示。

σ＝16T/(πD³)

在此，σ为轴(被检测部)表面的应力(应变)，T为作用于轴(被检测部)的扭矩，D为轴(被检测部)的直径。

即，在向轴(被检测部)的径不同的刀头施加了相同的扭矩的情况下，轴(被检测部)的径较小的刀头的轴(被检测部)表面的应力(应变)显著增大。

轴(被检测部)表面的应力(应变)使轴(被检测部)表面的磁导率发生变化。

磁导率的变化是通过以原子尺寸构成的微小磁体的朝向与来自外部的力对应地发生变化而引起的，但是若微小磁体的朝向完全一致，则磁导率不会进一步发生变化(饱和状态)。

对于精密地检测施加于刀头(轴)的扭矩，优选的是在施加的扭矩的范围内，磁导率的变化是线性的。

由于轴(被检测部)表层的微小磁体的朝向完全一致的应力(应变)是一定的，因此在欲施加相同扭矩的情况下，轴(被检测部)的径越小，越会在达到欲施加的扭矩之前，磁导率的变化消失(饱和)。

在通常所使用的

的刀头中，与磁致伸缩扭矩传感器的扭矩对应的电压变化很快饱和。例如，若使用通常所使用的

的刀头(被检测部的直径：4mm)，欲以3N·m的扭矩对紧固构件进行紧固，则在扭矩达到3N·m之前，来自扭矩传感器的输出(电压)变为一定。

因此，相比轴部23A扩大被检测部24A～24G的截面积。

在欲施加相同扭矩的情况下，轴(被检测部)的径设得越大，轴表面的应力(应变)变得越小。因此，即使在扭矩的施加完成了的状态下，也可能设为轴(被检测部)表层的微小磁体的朝向不完全一致的状态。若是这样的状态，则在施加的扭矩的范围内，磁导率的变化是线性的。

然而，由图8A、图8B可知，由于流体控制装置200上的各种流体设备的间隔不宽，因此在扩大刀头(被检测部)的外径的方面存在极限。

因此，图9B～图9G所示的刀头20B～20G的被检测部24B～24G的截面形状为非圆形形状。根据该结构，能够进一步使来自扭矩传感器的输出的饱和延迟。这是因为由于轴表面的应力(应变)的大小取决于直径，因此即使是相同的截面积，通过设为非圆形形状，也能够实现应力(应变)的分布。

模拟

在此，图10表示在向刀头施加了扭矩时产生的应变的模拟结果。

图10是表示产生于六边形的刀头的应变的图。另外，作为比较例，图11表示产生于圆形的刀头的应变。图11的圆形的刀头的截面积与图10的六边形的刀头的截面积设为相同。

模拟的条件如下所述。

·边界条件

紧固扭矩 3N·m

·材料特性

SNCM439

纵弹性系数 207GPa

泊松比 0.3

0.2％屈服强度 980MPa

拉伸强度 1720MPa

最大伸长 0.6

密度(t/mm³) 7.89×10^-9

适用部位 主体

·约束条件 刚性接触面、内六角插入部

·摩擦系数 SUS/SUS面μ＝0.3

由图10可知，在六边形的刀头的表面，从平面部的边缘部分朝向中央部，应变量逐渐变大，在平面部内形成应力分布。

另一方面，如图11所示，可知在圆形的刀头的表面，应力均匀地形成，应变量比六边形的刀头的边缘部分的应变量大。

图12是表示本实施方式的扭矩传感器的扭矩与检测电压之间的关系的一个例子。

此外，刀头的被检测部是平行的两个面的间隔为6.35mm(1/4英寸)的六边形。

在此，对扭矩传感器的工作原理进行补充。

例如图13为如下情况：在实施了由65％Ni、35％Fe组成的坡莫合金磁致伸缩膜镀覆的轴以将该轴包围的方式配置有螺线管线圈。螺线管线圈例如为直径0.2mm～0.3mm的铜线，匝数为140匝。从交流励磁电源经由电阻R供给电流i。在将线圈的电感设为L的情况下，在线圈两端产生了与线圈阻抗成比例的电压i×(R+jωL)。在此，ω是交流励磁电流的角频率，j是虚数单位。如图13那样当施加轴扭矩(扭转力)T时，在轴的表面上，相对于轴向45度方向上的主应力σ和相对于轴向-45度方向上的主应力-σ成对产生。然后，该应力向镀覆于轴的磁致伸缩膜传递。

若将轴的外径设为D[m]，并将扭矩设为T[N·m]，则主应力σ[N/m²]由下式给出。在此，磁致伸缩膜的厚度与D相比充分小，能够忽略相对于扭转的反作用力。

[式1]

由此，在磁致伸缩膜感应到磁各向异性(设为Ku)。若将磁致伸缩膜的饱和磁致伸缩常数设为λs(为了方便假定λs>0)，则Ku如图14那样出现在正的主应力方向上。其大小由下式给出。

[式2]

在式(2)中，假定了轴件的弹性系数和磁致伸缩膜的弹性系数相同，但是在考虑两个弹性系数的差异的情况下，只要在式(2)乘上由(磁致伸缩膜的横弹性系数)/(轴件的横弹性系数)表示的比值即可。

磁各向异性Ku对磁致伸缩膜的磁化J带来的影响是欲将J的方向保持在Ku的方向上。一方励磁磁场H欲将磁化J向其方向吸引。在Jcosθ的时间变化乘上磁致伸缩膜截面积以及线圈的匝数而得到的值为线圈的感应电压。(由于H是交变的磁场，因此θ随其频率而大小发生变动)若Ku变大，则图14中的θ的振幅变小，另一方面，若Ku变小则其振幅变大。即，若扭矩T变大则θ的振幅变小，线圈的感应电压减小，若扭矩T变小则与之相反。

对于根据需要放大感应电压并同步检波后得到的输出电压v，如图15那样相对于扭矩T单调递减。

由此能够根据电压v的变化来检测扭矩T。此时，若轴的外径D变大，则该曲线变得更加直线，能够得到动态范围较大的扭矩传感器。

在图13中，使用了1个线圈，但是也能够与第1线圈同样地施加第2线圈，从第2线圈得到输出电压。如此，能够排除与第1线圈的电阻相应产生的与扭矩无关的电压下降，能够进行更高精度的检测。另外，通过调整第1线圈的匝数，能够调整所需的励磁电流i，使减小电力损失这样的设计变得容易。

第三实施方式

图16示出了刀头的另一实施方式。此外，在图16中，对与图5中的部件相同的部件标注相同的附图标记并且省略了说明。

刀头40是由延长杆41和更换用刀头42组合而构成的。延长杆41在其顶端侧具有第2刀头保持部43，利用第2刀头保持部43将更换用刀头42保持为能够更换。第2刀头保持部43也与刀头保持部12同样是截面为正六边形形状的插座构造。

延长杆41的轴部23的局部成为利用扭矩传感器30进行扭矩检测的被检测部24。

由扭矩传感器30检测的值由于镀覆的种类、厚度等表面处理状态而受到影响，因此在被检测部24的构造因刀头的更换等而发生变化的情况下，优选的是重新进行扭矩值的校正。

通过设为由延长杆41和更换用刀头42形成的能够分割的构造，能够在不对被检测部24产生影响的情况下仅对更换用刀头42进行更换，从而能够在短时间内进行刀头更换。另外，由于对作为更换用刀头42使用的刀头没有材料、表面处理的限制，因此能够使用通用的刀头，有助于降低刀头的更换费用，容易应对需要六角以外的顶端形状的特殊螺钉。

附图标记说明

1、1A、螺丝刀；10、手柄；11、主体部；12、刀头保持部；12a、保持孔；13、传感器安装部；20、20A～20G、刀头；21、21A、顶端部；22、基端部；23、23A、轴部；24、24A～24G、被检测部；30、扭矩传感器；31、壳体部；32、安装部；33、检测部；33a、贯通孔；33b、线圈保持部；35、电路收纳部；36、线圈；36a、励磁线圈；36b、检测线圈；39、空腔；40、刀头；41、延长杆；42、更换用刀头；43、第2刀头保持部；50、辅助杆；110、振荡电路；120、缓冲放大器；130、相位调整电路；140、V-I转换器；160、倒相器；170、同步检波电路；180、反转放大器；200、流体控制装置；210～250、280、流体设备；260、270、接头块；BS、基部金属板；BT、内六角螺栓；D、外径；H、一方励磁磁场；J、磁化；Ku、磁各向异性；R、电阻；SG、扭矩信号；T、扭矩；i、电流；v、电压；σ、主应力。

Claims (12)

1.一种手动工具，其中，

该手动工具具有：

刀头，其具有基端部、能够与紧固构件卡合的顶端部、以及在所述基端部与所述顶端部之间延伸的实心的轴部，并且，具有将磁致伸缩材料镀覆于所述轴部的局部的整个周围而成的被检测部，

手柄，其具有装卸自如地保持所述刀头的基端部的刀头保持部；以及

磁致伸缩式的扭矩传感器，其具有接收保持到所述刀头保持部的刀头并且隔着间隙将该刀头的所述被检测部的外周包围的检测部、和安装于所述手柄的安装部，该磁致伸缩式的扭矩传感器能够以非接触的方式检测作用于所述刀头的扭矩并且装卸自如地设于所述手柄，

所述刀头的被检测部在外周面的局部具有平面部并且截面形状形成为非圆形形状，以使在该被检测部的表面产生的应力的大小形成分布。

2.根据权利要求1所述的手动工具，其中，

所述扭矩传感器不与所述刀头接触。

3.根据权利要求2所述的手动工具，其中，

所述扭矩传感器以覆盖所述刀头保持部的外周的方式设于所述手柄，

安装于所述刀头保持部的刀头贯通所述扭矩传感器内和所述检测部并向所述扭矩传感器的外部延伸。

4.根据权利要求1所述的手动工具，其中，

所述扭矩传感器形成为在所述刀头安装到所述刀头保持部的状态下能够安装于所述手柄。

5.根据权利要求3所述的手动工具，其中，

所述刀头的所述被检测部的截面形成为多边形形状且该检测部具有由多个平面部形成的外周面。

6.根据权利要求1所述的手动工具，其中，

所述被检测部形成为具有所述轴部的除了该被检测部以外的部分的截面积以上的截面积。

7.根据权利要求1所述的手动工具，其中，

对于所述刀头，与所述被检测部的截面内切的圆的直径为10mm以下。

8.根据权利要求1所述的手动工具，其中，

所述刀头由延长杆和更换用刀头构成，所述延长杆具有所述基端部和所述轴部，更换用刀头具有所述顶端部。

9.根据权利要求1所述的手动工具，其中，

能够紧固所述紧固构件的最大紧固扭矩为10N·m以下。

10.根据权利要求1所述的手动工具，其中，

所述扭矩传感器具有对由所述检测部检测到的检测信号进行处理的处理电路。

11.一种刀头，其用于权利要求1～10中任一项所述的手动工具，其中，

该刀头具有：

顶端部，其能够与紧固构件卡合；

基端部，其安装于所述刀头保持部；以及

实心的轴部，其在所述顶端部与所述基端部之间延伸，

该刀头具有将磁致伸缩材料镀覆于所述轴部的局部而成的被检测部，

所述被检测部在外周面的至少局部具有平面部并且截面形成为非圆形形状，以使所述扭矩传感器的输出的饱和延迟并扩大动态范围。

12.一种扭矩传感器，其用于权利要求1～10中任一项所述的手动工具，

其中，

该扭矩传感器具有：

检测部，其形成为能够供所述刀头带有间隙地贯通并包含螺线管线圈；以及

安装部，其装卸自如地安装于所述手柄。

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