TWI687379B - 玻璃處理設備與處理玻璃的方法 - Google Patents

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TWI687379B TW104106089A TW104106089A TWI687379B TW I687379 B TWI687379 B TW I687379B TW 104106089 A TW104106089 A TW 104106089A TW 104106089 A TW104106089 A TW 104106089A TW I687379 B TWI687379 B TW I687379B
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Abstract

一種玻璃處理設備包含至少一個上游加工裝置，該至少一個上游加工裝置包括加工輪，該加工輪係配置來旋轉以使得該加工輪之加工表面機械加工玻璃片之表面部分。該玻璃處理設備進一步包括下游加工裝置，該下游加工裝置包括加工輪，該加工輪包含清潔輪。在其他實例中，處理玻璃之方法包含以下步驟：用第一旋轉加工輪之加工表面機械加工玻璃片之表面部分，以及以下步驟：用包含清潔輪之第二旋轉加工輪之加工表面機械加工該玻璃片之表面部分。

Description

玻璃處理設備與處理玻璃的方法
本申請案根據專利法主張2014年2月28日申請的美國臨時申請案序列號第61/946,224號之優先權權益，該臨時申請案之內容為本文之基礎且係以全文引用方式併入本文中。
本揭示內容總體上係關於玻璃處理設備及方法，且更特定而言係關於用於機械加工玻璃片之表面同時維持該玻璃片之初始表面的玻璃處理設備及方法。
自熔融拉製機熔融拉製玻璃帶係已知的。帶材典型地進一步處理成玻璃片，該等玻璃片可用於產生各種液晶顯示器配置。在處理期間，常常需要精整玻璃片或玻璃帶之邊緣以移除尖銳邊緣及/或其他缺陷。對進行此等精整技術同時維持玻璃片之初始表面存在需要。片材邊緣精整對改良操縱所需之邊緣輪廓及強度並改良客戶面板製造製程為關鍵的。
以下提出本揭示內容之簡化概述，以便提供對在實 施方式中描述的一些示例性態樣之基本理解。
在本揭示內容之第一示例性態樣中，玻璃處理設備包含至少一個上游加工裝置，該至少一個上游加工裝置包括加工輪，該加工輪配置來旋轉以使得加工輪之加工表面機械加工玻璃片之表面部分。至少一個上游加工裝置進一步包括護罩，該護罩實質上外接加工輪。玻璃處理設備進一步包括下游加工裝置，該下游加工裝置定位於至少一個上游加工裝置下游。下游加工裝置包括加工輪，該加工輪包含清潔輪。清潔輪係配置來旋轉以使得清潔輪之加工表面藉由以下方式機械加工玻璃片之表面部分：清潔玻璃片之表面部分以移除藉由利用至少一個上游加工裝置機械加工玻璃片之表面部分所產生的碎屑。
在第一態樣之一個實例中，護罩包括狹槽，該狹槽配置來接收玻璃片之表面部分。
在第一態樣之另一實例中，下游加工裝置進一步包括護罩，該護罩實質上外接清潔輪。例如，護罩包括狹槽，該狹槽配置來接收玻璃片之表面部分。
在第一態樣之又一實例中，至少一個上游加工裝置之加工輪包含研磨輪。
在第一態樣之另一實例中，至少一個上游加工裝置之加工輪包含拋光輪。
在第一態樣之另一實例中，至少一個上游加工裝置包含第一上游加工裝置及第二上游加工裝置。第一上游加工裝置之加工輪包含研磨輪，且第二上游加工裝置之加工輪包 含拋光輪。第二上游加工裝置定位於第一上游加工裝置與下游加工裝置之間的中游。
在第一態樣之另一實例中，設備包括流體分配裝置，該流體分配裝置配置來沿玻璃片之主表面導向層狀流體薄膜。另外，玻璃處理設備可視需要包括另一流體分配裝置，該流體分配裝置配置來沿玻璃片之另一主表面導向流體。
在第一態樣之另一實例中，加工輪及清潔輪之至少一者之加工表面包含該輪之外周邊表面。
第一態樣可單獨進行，或與以上論述的第一態樣之實例之一或多者組合進行。
在本揭示內容之第二示例性態樣中，玻璃處理設備包含至少一個上游加工裝置，該至少一個上游加工裝置包括加工輪，該加工輪配置來旋轉以使得加工輪之加工表面機械加工玻璃片之表面部分。至少一個上游加工裝置進一步包括流體分配裝置，該流體分配裝置配置來沿玻璃片之主表面導向層狀流體薄膜。玻璃處理設備進一步包括下游加工裝置，該下游加工裝置定位於至少一個上游加工裝置下游。下游加工裝置包括加工輪，該加工輪包含清潔輪。清潔輪係配置來旋轉以使得清潔輪之加工表面藉由以下方式機械加工玻璃片之表面部分：清潔玻璃片之表面部分以移除藉由利用至少一個上游加工裝置機械加工玻璃片之表面所產生的碎屑。
在第二態樣之一個實例中，至少一個上游加工裝置進一步包含另一流體分配裝置，該流體分配裝置配置來沿玻璃片之另一主表面導向流體。
在第二態樣之另一實例中，下游加工裝置包括流體分配裝置，該流體分配裝置配置來沿玻璃片之主表面導向層狀流體薄膜。在另一實例中，下游加工裝置包括另一流體分配裝置，該流體分配裝置配置來沿玻璃片之另一主表面導向流體。
在第二態樣之又一實例中，至少一個上游加工裝置包含第一上游加工裝置及第二上游加工裝置。第一上游加工裝置之加工輪包含研磨輪，且第二上游加工裝置之加工輪包含拋光輪。第二上游加工裝置定位於第一上游加工裝置與下游加工裝置之間的中游。
在第二態樣之另一實例中，加工輪及清潔輪之至少一者之加工表面包含該輪之外周邊表面。
第二態樣可單獨進行，或與以上論述的第二態樣之實例之一或多者組合進行。
在本揭示內容之第三示例性態樣中，處理玻璃之方法包含以下步驟(I)：用第一旋轉加工輪之加工表面機械加工玻璃片之表面部分，同時沿第一流體平面分配第一流體薄膜之實質上層流，該第一流體薄膜之實質上層流降落於玻璃片之第一主表面上。來自機械加工表面部分之碎屑夾帶於沿玻璃片之第一主表面行進的第一流體薄膜中，且自玻璃片帶走。該方法隨後包括以下步驟(II)：用包含清潔輪之第二旋轉加工輪之加工表面機械加工玻璃片之表面部分，該清潔輪藉由以下方式機械加工玻璃片之表面部分：清潔玻璃片之表面部分以移除在步驟(I)期間所產生的其他碎屑。
在第三態樣之一個實例中，步驟(I)及步驟(II)各自機械加工玻璃片之表面部分，該表面部分包含玻璃片之邊緣部分。
在第三態樣之另一實例中，步驟(I)包含：藉由利用包含旋轉拋光輪之第一旋轉加工輪拋光玻璃片之表面部分來機械加工玻璃片之表面部分。
在第三態樣之又一實例中，在步驟(I)之前，該方法進一步包括以下步驟：藉由利用包含旋轉研磨輪之第一旋轉加工輪研磨玻璃片之表面部分來機械加工玻璃片之表面部分。
在第三態樣之另一實例中，在步驟(I)期間，第一流體薄膜在護罩外部之位置處降落於玻璃片之第一主表面上，且來自機械加工表面部分之碎屑在護罩內部夾帶於第一流體薄膜中。在另一實例中，在步驟(I)期間，第一流體薄膜行進穿過護罩中之狹槽。在又一實例中，步驟(I)包括使帶有夾帶碎屑之第一流體薄膜穿過護罩中之出口埠。
在第三態樣之另一實例中，步驟(I)進一步包含：沿第二流體平面分配第二流體薄膜之實質上層流，該第二流體薄膜之實質上層流降落於玻璃片之第二主表面上。來自機械加工表面部分之碎屑夾帶於沿玻璃片之第二主表面行進的第二流體薄膜中，且自玻璃片帶走。在一個實例中，在步驟(I)期間，第二流體薄膜在護罩外部之位置處降落於玻璃片之第二主表面上，且來自機械加工表面部分之碎屑在護罩內部夾帶於第二流體薄膜中。例如，在步驟(I)期間，第二流體薄膜 行進穿過護罩中之狹槽。在另一實例中，步驟(I)包括使帶有夾帶碎屑之第二流體薄膜穿過護罩中之出口埠。
在第三態樣之又一實例中，步驟(II)包括：沿第一清潔流體平面分配第一清潔流體薄膜之實質上層流，該第一清潔流體薄膜之實質上層流降落於玻璃片之第一主表面上。其他碎屑之至少部分夾帶於沿玻璃片之第一主表面行進的第一清潔流體中，且自玻璃片帶走。在一個實例中，步驟(II)進一步包括沿第二清潔流體平面分配第二清潔流體薄膜之實質上層流，該第二清潔流體薄膜之實質上層流降落於玻璃片之第二主表面上。其他碎屑之至少部分夾帶於沿玻璃片之第二主表面行進的第二清潔流體中，且自玻璃片帶走。
第三態樣可單獨進行，或與以上論述的第三態樣之實例之一或多者組合進行。
101:玻璃處理設備
101a:上游加工裝置/加工裝置/第一上游加工裝置
101b:上游加工裝置/加工裝置/第二上游加工裝置
101c:下游加工裝置/加工裝置
103:流體分配裝置
105a:第一流動擴展器
105b:第二流動擴展器
106a:擴展表面
106b:擴展表面
107:層流
109:流體薄膜/層狀流體薄膜
111:玻璃片
113:外周邊緣
115:邊緣部分
117:第一主表面/主表面/初始表面
119:第二表面/主表面/初始表面
401:分配表面/第一分配表面
403:第一伸長腔室
405:第一腔室軸
407:可選第二伸長腔室/第二伸長腔室
409:第二腔室軸
411:第二部分
413:第一部分
415:緊固件
417:可選擋門
501:分配方向
503:伸長開口
601:伸長中心部分
603a:第一反向末端部分
603b:第二反向末端部分
605:伸長軸
701:孔口
703:伸長分隔壁
705:流體源
707:第一埠/第一流體埠
709:開口
711:軸/伸長軸
713:第二埠
715:開口
717:軸
719:泵
721:歧管
723:電腦
901:流體分配裝置
901a:第一分配裝置/流體分配裝置
901b:第一分配裝置/流體分配裝置
903a:層流
903b:層流
905a:流體薄膜/第二流體薄膜
905b:流體薄膜/第二流體薄膜
1001:加工輪
1003:外周邊表面
1005:護罩
1007:流體噴頭
1008:冷卻流體
1009:內表面
1011:流體源
1013:流體流
1015:加工介面
1017:氣體噴嘴
1019:方向
1021:方向
1102:旋轉軸
1103:分配表面
1104:方向/順時針方向
1105:分配方向
1107:伸長開口
1201:第一伸長腔室
1203:第一腔室軸
1205:第二腔室
1207:第二腔室軸
1301a:孔口
1301b:孔口
1301c:孔口
1401:狹槽
1403:第一節段
1405:可選第二部分/擴大區段
1406:平面部分
1407:外圓柱形周邊壁
1501:中心軸
1503:頂部壁
1505:內表面
1507:圍封區域
1509a:托架
1509b:托架
1511:氣埠
1513:輪清潔埠
1515a:第一出口埠
1515b:第二出口埠
1517a:第一襟翼
1517b:第二襟翼
1519a:第一開口
1519b:第二開口
1521:外壁部分
1521a:箭頭
1521b:箭頭
1523:下部開口
1525:第一軸
1527:第二軸
1529:衝擊點
1601:流體流動導件
1603a:第一向下傾斜導壁
1603b:第二向下傾斜導壁
1605:下頂點部分
1701:流程圖
1703:步驟
1704a:箭頭
1704b:箭頭
1705:步驟
1706a:箭頭
1706b:箭頭
1707:步驟
1708a:箭頭
1708b:箭頭
1709:步驟
1710:箭頭
1711:步驟/可選洗滌步驟
1712:箭頭
1713
12-12:線
13-13:線
A:角度
A1:角度
A2:接觸角/角度
A3:角度
A4:銳角/角度
G:間隙
T:厚度
T1:厚度
T2:厚度
T3:厚度
t:厚度
W:寬度
Z:方向
當參考隨附圖式閱讀以下實施方式時，此等及其他態樣得以更好地理解，圖中：第1圖為根據本揭示內容之一個實例的包括至少一個上游加工裝置及下游加工裝置之玻璃處理設備之透視圖；第2圖為第1圖之玻璃處理設備的示例性流體分配裝置之俯視圖；第3圖為沿第2圖之線3-3的流體分配裝置之端視圖；第4圖為沿第2圖之線4-4的流體分配裝置之橫截面視圖； 第5圖為第4圖之流體分配裝置的部分之放大圖；第6圖為沿第2圖之線6-6的流體分配裝置之正視圖；第7圖為沿第2圖之線7-7的流體分配裝置之橫截面視圖；第8圖為第1圖之流體分配設備的說明性加工裝置之俯視圖；第9圖為第1圖之流體分配設備的說明性加工裝置之正視圖；第10圖為第1圖之流體分配設備的說明性加工裝置之仰視圖；第11圖為第1圖之玻璃處理設備的另一流體分配裝置之透視圖；第12圖為沿第11圖之線12-12的流體分配裝置之橫截面視圖；第13圖為沿第11圖之線13-13的流體分配裝置之橫截面視圖；第14圖為第1圖之玻璃處理設備的示例性護罩之正視圖；第15圖為第14圖之護罩之下部透視圖；第16圖為第14圖之護罩之另一個下部透視圖；以及第17圖為例示根據本揭示內容之實例的處理玻璃之方法之示例性步驟的示例性流程圖。
現將於下文參考展示示例性實施例之隨附圖式更全面地描述實例。在任何可能的情況下，整個圖式中使用相同元件符號來指代相同或相似部件。然而，各態樣可以許多不同形式來具體化且不應解釋為限於本文闡述之實施例。
現參考第1圖，示例性玻璃處理設備101具備各種示例性特徵，該等特徵可單獨使用或組合使用來幫助防止粒子污染玻璃片111之初始表面。玻璃處理設備及處理玻璃之方法的特徵可與美國專利申請公開案第2013/0130597號中揭示的玻璃處理設備及方法之特徵類似或相同，該案以全文引用方式併入本文中。
在一個實例中，玻璃片111可包含玻璃帶，其中玻璃帶之表面部分可利用玻璃處理設備101在產生(例如，自下拉玻璃熔融裝置熔融拉製)玻璃帶時進行加工。在其他實例中，玻璃片111可包含分離玻璃帶。例如，玻璃片可包含自玻璃帶之捲存物(storage roll)展開的玻璃帶。在其他實例中，玻璃片111可包含玻璃帶之分離部分。玻璃片111(例如，分離玻璃片)可併入液晶顯示器中，其中需要機械加工表面部分，諸如邊緣部分115(例如，先前分離的邊緣部分)，以改良玻璃片111之邊緣品質。如圖所示，表面可包含玻璃片111之外周邊緣113，其介於玻璃片111之厚度「T」之間，該厚度「T」係自玻璃片111之第一主表面117及第二表面119。另外或替代地，玻璃處理設備101可設計來機械加工邊緣部分115中包含第一主表面117及/或第二主表面119之表面， 而不機械加工玻璃片111之外周邊緣113。在其他實例中，第一主表面117及/或第二主表面119之一者或兩者可連同玻璃片111之外周邊緣113一起機械加工。例如，玻璃處理設備101可設計來提供第一主表面117及/或第二主表面119與外周邊緣113之間的斜角或磨圓轉變。玻璃片111之邊緣部分115之表面的機械加工可減小應力破裂形成及傳播至玻璃片之內部部分的機率，及/或可另外提高玻璃片111之品質。
玻璃處理設備101可包括下游加工裝置101c及至少一個上游加工裝置101a、101b。本揭示內容全文中，上游、下游及中游指示相對於彼此的製程位置。例如，包括上游加工裝置及下游加工裝置之玻璃處理設備將配置來利用上游加工裝置機械加工玻璃片之表面部分，之後利用下游加工裝置機械加工玻璃片之同一表面部分。若玻璃處理設備亦包括中游加工裝置，則玻璃處理設備將配置來利用上游加工裝置、隨後中游加工裝置、再隨後下游加工裝置順序地機械加工表面部分。
如第1圖所示，至少一個上游加工裝置可包含第一上游加工裝置101a及第二上游加工裝置101b，儘管可在替代實例中提供一個或任何複數個上游加工裝置。不同於加工輪及/或除非另外指示，否則上游加工裝置及下游加工裝置可實質上類似或相同，儘管加工裝置可為不同大小，或在其他實例中具有不同的替代配置。出於說明目的，第一上游加工裝置101a之特徵將相對於第1-16圖來詳細地描述，同時應理解的是，除非另外指示，否則類似或相同特徵可提供用於下 游加工裝置101c及/或任何剩餘上游加工裝置(例如，101b)。
每一加工裝置101a、101b、101c包括第10圖中示意例示的加工輪1001。在一個實例中，第一上游加工裝置101a之加工輪1001可包含研磨輪，而第二上游加工裝置101b之加工輪可包含拋光輪。儘管例示單一研磨輪及單一拋光輪，但可在其他實例中提供兩個或兩個以上研磨輪及/或兩個或兩個以上拋光輪。例如，兩個或兩個以上研磨輪可相對於彼此佈置在上游、下游及/或中游。另外或替代地，兩個或兩個以上拋光輪可相對於彼此佈置在上游、下游及/或中游。
至少一個上游加工裝置可包括具有單一拋光輪之單一加工裝置。例如，可不進行研磨程序，以使得表面部分簡單地利用單一加工裝置來拋光。或者，研磨程序可在不同位置進行，其中玻璃處理設備101僅配置來拋光且清潔玻璃片，該玻璃片具有在遠端位置處已受研磨的表面部分。
在另一實例中，至少一個上游加工裝置可包括具有單一研磨輪之單一加工裝置。例如，可完全避免拋光程序，以使得研磨表面部分且隨後予以清潔。視需要，可隨後在遠端位置處進行另一拋光程序。
在另一實例中，至少一個上游加工裝置可包括單一加工裝置，該單一加工裝置可包括複數個加工輪，諸如一或多個研磨輪及/或一或多個拋光輪。因而，不同於相對於彼此佈置在上游、中游及下游之多個獨立加工裝置，可提供單一加工裝置(例如，具有藉由單一護罩外接的輪)，該單一加工裝置包括一或多個研磨輪及/或一或多個拋光輪，且亦可在其他 實例中包括一或多個清潔輪。
在另一實例中，至少一個上游加工裝置可包括單一加工裝置，該單一加工裝置具有同時用作研磨輪及拋光輪之單一加工輪。亦即，可提供單一加工輪來機械加工玻璃片之表面部分以完成成形，從而自表面部分移除假影等等，之後進一步機械加工以利用清潔輪進一步加工玻璃片之表面部分，以便清潔玻璃片之表面部分。
本揭示內容全文中，研磨輪不同於拋光輪，原因在於：相較於拋光輪而言，研磨輪係配置來移除玻璃片之顯著較大量之表面部分(例如，邊緣部分)，以移除表面部分中之缺陷，諸如可在其他情況下弱化玻璃片之表面部分的微裂紋。另外或替代地，研磨輪可使玻璃片之表面部分再成形(例如，斜切)。在一個示例性研磨程序中，若表面部分包含玻璃片之邊緣部分，則研磨輪可移除玻璃片之外邊緣部分，以移除將在其他情況下弱化玻璃片之微裂紋或其他邊緣缺陷。此外，邊緣部分可視需要經斜切以移除可存在於玻璃片之外周邊緣113與主表面117、119之間的尖銳轉角(例如，90°角)。藉由移除相對尖銳轉角，外周邊緣113處之其他應力集中可得以避免，以便進一步強化玻璃片之邊緣部分。
當與研磨輪相比時，拋光輪係配置來移除顯著較小量之表面部分(例如，邊緣部分)。事實上，拋光輪可設計來移除藉由研磨輪留下的假影。因而，雖然研磨輪可移除主表面缺陷且可甚至使外周邊緣113再成形(例如，斜切)，所以拋光輪可移除假影，諸如藉由研磨輪產生的次表面缺陷。藉由移 除此等假影，可能甚至進一步精製玻璃片之表面部分(例如，邊緣部分)之表面品質，且因此甚至進一步強化玻璃片之邊緣部分。因而，不同於研磨輪，拋光輪可配置來移除極小量之表面部分，且使玻璃片之表面部分之總體形狀保持完整。
可根據本揭示內容之態樣提供各種研磨輪及/或拋光輪。在一個實例中，研磨輪及/或拋光輪包括金剛石粒子(例如，400目金剛石粒子)，該等金剛石粒子具有設計來進行研磨或拋光程序之所要結構特性。在其他實例中，研磨輪之直徑可與拋光輪之直徑不同或相同。例如，研磨輪可視需要包括比拋光輪更大的直徑。此外，在操作中，拋光輪可具有比研磨輪更高的旋轉速度，儘管在其他實例中，拋光輪可具有實質上與研磨輪相同的旋轉速度或甚至比其更低的旋轉速度。
如先前所提及且進一步於第10圖中示意地例示，下游加工裝置101c之加工輪1001包含清潔輪。儘管例示單一清潔輪，但兩個或兩個以上清潔輪可相對於彼此佈置在上游、中游及/或下游。本揭示內容全文中，清潔輪可區別於研磨輪及拋光輪，原因在於：相較於研磨輪及拋光輪而言，清潔輪係設計來清潔表面部分除去在先前研磨及/或拋光程序期間產生的粒子，而不自玻璃片之表面部分顯著(或任何)進一步移除玻璃。
可根據本揭示內容之態樣提供各種清潔輪。在一個實例中，清潔輪包含SiC介質(例如，400目SiC介質)。在另一實例中，清潔輪可包含聚合物或橡膠結合輪。在其他實例 中，清潔輪可包含毛氈、布及/或其他織物類型材料。
因而，儘管寬範圍的配置為可能的，但是所例示玻璃處理設備101可包括：第一上游加工裝置101a，其包括配置來研磨表面部分113之研磨輪；以及第二上游加工裝置101b，其定位於第一上游加工裝置101a下游。第二上游加工裝置101b包括拋光輪，該拋光輪配置來拋光表面部分113。所例示的示例性玻璃處理設備101進一步包括定位於第二上游加工裝置101b下游的下游加工裝置101c，以使得第二上游加工裝置101b定位於第一上游加工裝置101a與下游加工裝置101c之間的中游。
在操作中，至少一個上游加工裝置101a、101b之加工輪(例如，研磨輪、拋光輪)係配置來旋轉，以使得加工輪之加工表面機械加工玻璃片之表面部分。例如，在第1圖展示的所例示實施例中，第一上游加工裝置101a包括研磨輪，該研磨輪係配置來旋轉，以使得研磨輪之研磨加工表面機械加工(亦即，研磨)玻璃片之表面部分。如第1圖進一步所例示，第二上游加工裝置101b包括拋光輪，該拋光輪係配置來旋轉，以使得拋光輪之拋光加工表面機械加工(亦即，拋光)玻璃片之表面部分。如圖所示，研磨/拋光輪之研磨/拋光表面可包含研磨/拋光輪之外周邊表面，儘管可在其他實例中提供研磨/拋光輪之其他表面。
另外，在操作中，下游加工裝置101c之加工輪(亦即，清潔輪)係配置來旋轉，以使得清潔輪之加工表面(亦即，清潔表面)機械加工(亦即，清潔)玻璃片之表面部分，以移除 藉由利用至少一個上游加工裝置101a、101b機械加工玻璃片之表面部分產生的碎屑。如圖所示，加工輪之清潔表面可包含清潔輪之外周邊表面，儘管可在其他實例中提供清潔輪之其他表面。
上游加工裝置及/或下游加工裝置中之任何裝置可包括所例示護罩1005，其在以下更完全地論述。例如，視需要，第一上游加工裝置101a及第二上游加工裝置101b兩者可包括外接加工輪之護罩1005。視需要，下游加工裝置101c亦可包括外接加工輪之護罩1005。如以下更完全地論述，護罩可包括狹槽1401，該狹槽1401配置來接收玻璃片之表面部分(例如，邊緣部分)。該狹槽可視需要包括可調整狹槽，以適應具有不同厚度之玻璃片，且微調狹槽大小以使得流體薄膜109、905b可穿過狹槽，同時最小化流體薄膜109上方及流體薄膜905b下方之空間。
如以下所論述，上游加工裝置及/或下游加工裝置中之任何裝置可包括流體分配裝置103，該流體分配裝置103係配置來沿玻璃片之第一主表面117導向諸如層狀流體薄膜之流體薄膜。另外或替代地，上游加工裝置及/或下游加工裝置中之任何裝置可包括另一流體分配裝置901，該另一流體分配裝置901係配置來沿玻璃片之第二主表面119導向諸如流體薄膜(例如，層狀流體薄膜)之流體。
儘管並非所需，但如第1圖所示，玻璃處理設備101之所例示實例係展示為機械加工呈實質上水平定向之玻璃片111，其中玻璃片111實質上沿所例示X-Y平面延伸，而重力 作用於Z方向。在其他實例中，玻璃片可相對於X-Y定向以斜面來定向，且在一些實例中，可沿X-Z平面及/或Y-Z平面定向。不管定向如何，許多流體分配裝置之一可用於沿玻璃片之第一主表面117及/或第二主表面119分配流體薄膜之實質上層流，以便幫助防止粒子污染玻璃片111之初始主表面117、119。本揭示內容之態樣可適用於移除各種粒子物種，諸如具有大於3微米之最大尺寸的相對大的粒子物種，及具有小於約3微米(諸如約1微米至約3微米)之最大尺寸的相對小的粒子物質。
流體薄膜之實質上層流可包括不呈層流的小部分，但包括呈層流的實質部分之流動。例如，實質上層流可包括：流體薄膜中可包括渦流或其他流動擾動之一或多個相對小的區域而流體薄膜之剩餘部分呈實質上層流。提供呈層流的流體薄膜可用於克服典型地在機械加工製程期間觀察到的粒子源及粒子動力學。事實上，流體薄膜可提供保護流體障壁，以用於使第一主表面117及或第二主表面119隔離在機械加工製程期間產生的粒子(例如，相對大的粒子物種及/或相對小的粒子物種)。
在水平定向中，可能為第一主表面117及/或第二主表面119之一或兩者提供一或多個流體分配裝置。例如，如第1圖所示，上游加工裝置101a、101b及下游加工裝置101c中之任何裝置可包括流體分配裝置103，該流體分配裝置103可用於產生覆於第一表面117之流體薄膜109之層流107，在第1圖所示的定向中，該第一表面117可包含玻璃片之上表 面。流體薄膜可分配為流體薄膜109之平面片，該流體薄膜109係設計來覆於玻璃片111之第一表面117。
第2-8圖例示一個流體分配裝置103之示例性特徵，該流體分配裝置103可視需要用以保護玻璃片111之第一表面117，儘管可在其他實例中使用類似或相同構造來保護玻璃片之第二表面119。第2圖例示分配流體薄膜109之流體分配裝置103之俯視圖以達說明目的。如圖所示，流體薄膜109可具有橫向於層流107之寬度「W」，該寬度「W」在第一流動擴展器105a及第二流動擴展器105b之間延伸。如圖所示，第一流動擴展器105a及第二流動擴展器105b可各自包括彼此面對的相應擴展表面106a、106b。如圖所示，擴展表面106a、106b可為實質上平面的，且亦可實質上彼此平行延伸。利用此配置，流動擴展器105a、105b可在流體薄膜沉積來覆於玻璃片111之第一表面117時，幫助維持具有實質上恆定寬度「W」之流體薄膜109。儘管為展示，但擴展表面106a、106b可在其他實例中會聚或彼此發散，以控制正沉積於玻璃片111之第一表面上的流體薄膜109之最終寬度。
若提供流動擴展器105a、105b，則其可操作來擴展正沉積來覆於第一表面117之流體薄膜109之寬度。事實上，不利用流動擴展器的情況下，諸如水之流體之表面張力將自然地趨向於在流體薄膜遠離流體分配裝置103之伸長開口行進時引起流體薄膜109之會聚流動。藉由使流體薄膜109之外邊緣接觸擴展表面106a、106b，流體薄膜自流體薄膜之自然趨勢擴展來在其遠離伸長開口行進時會聚。若允許流體薄 膜不受控制地會聚，則當引入流體薄膜來覆於玻璃片之表面117時可最終產生實質上紊流。因而，可提供流動擴展器105a、105b來幫助在流體薄膜109置放於玻璃片之表面117上時，維持該流體薄膜109之層流107。
如第2-4圖所示，第一流動擴展器105a及第二流動擴展器105b可實質上彼此相同或類似。在所例示實例中，第一流動擴展器105a可比第二流動擴展器105b更長，儘管流動擴展器可在其他實例具有實質上相同長度。如第4及5圖進一步所示，流體分配裝置103包括面向分配方向501之分配表面401。如第6圖所示，第一分配表面401界定伸長開口503，該伸長開口503經伸長以界定流體薄膜109之寬度「W」。儘管未必符合比例，但如第5圖所示，伸長開口503可包括厚度「t」，該厚度「t」在約50微米至約1mm範圍內，例如，約100微米至約500微米，例如，約200微米至約300微米，例如，約250微米。
如第5圖中進一步所示，在一個實例中，流體分配裝置103可配置來分配層狀流體薄膜109，以使得分配方向501處於角度「A」，該角度「A」可相對於分配表面401為實質上90°。在相對於分配表面401實質上垂直定向中提供流體薄膜109之分配方向501可幫助防止離開伸長開口503之流體薄膜109向後包繞且進而產生紊流。因而，分配層狀流體薄膜109以使得處於實質上垂直於分配表面401之角度「A」的分配方向可幫助維持流體薄膜109之層流107。
如第6圖所示，分配表面401界定具有伸長中心部 分601之伸長開口503，該伸長中心部分601沿第一反向末端部分603a與第二反向末端部分603b之間的伸長軸605延伸。第一反向末端部分603a可具備在分配方向501上自分配表面401延伸的第一流動擴展器105a，且第二反向末端部分603b可具備在分配方向501上自分配表面401延伸的第二流動擴展器105b。如先前所論述，流體薄膜109之寬度「W」可進而藉由具有可選流動擴展器105a、105b之伸長開口503來界定。
各種結構可設計來經由伸長開口503遞送諸如水之流體，以達成呈層流107之流體薄膜109。例如，流體分配裝置103可包括第一伸長腔室403，該第一伸長腔室403具有沿伸長開口503之伸長軸605延伸的第一腔室軸405，其中第一伸長腔室403與伸長開口503流體連通。若提供第一伸長腔室403，則其可藉由單一部分形成，或藉由緊固在一起的複數個部分界定。例如，如第4圖所示，第一伸長腔室403可藉由利用緊固件415將第二部分411緊固至第一部分413來形成。在其他實例中，流體分配裝置103可包括可選第二伸長腔室407，該可選第二伸長腔室407包括實質上平行於第一腔室軸405之第二腔室軸409。在此等實例中，第二伸長腔室407可置放成與第一伸長腔室403流體連通，且第一伸長腔室403可沿伸長開口503與第二伸長腔室407之間的流動路徑定位。因而，第一伸長腔室403可定位於第二伸長腔室407下游，且伸長開口503可定位於第一伸長腔室403及第二伸長腔室407下游。在一個實例中，如第6圖所示，第一伸長腔 室403與第二伸長腔室407之間的流體連通可藉由複數個孔口701提供，該複數個孔口701延伸穿過在伸長腔室之間延伸的伸長分隔壁703。
如圖所示，第一腔室軸405可實質上平行於伸長開口503定向，且第二腔室軸409可實質上平行於第一腔室軸405及伸長開口503延伸。沿第一伸長腔室405提供第二伸長腔室407可進一步有助於控制沿伸長開口503之長度的壓力分佈及流體流動，進而進一步幫助提供均勻流動，該均勻流動有助於維持穿過伸長開口503之流體薄膜109之均勻及層流107。
如第7圖所示，諸如水之容器的流體源705可置放成與一或多個第一埠707流體連通，該一或多個第一埠707係配置來沿軸711將流體經由開口709引入第二伸長腔室407中，該軸711可垂直於第二腔室軸409。另外或替代地，流體源705可置放成與一或多個第二埠713流體連通，該一或多個第二埠713係配置來沿軸717將流體經由開口715引入第二伸長腔室407中，該軸717亦可垂直於第二腔室軸409及/或第一流體埠707之每一伸長軸711。提供用於流體的多個進入點可幫助促進維持穿過伸長開口503之流體薄膜109之均勻及層流107。在一個實例中，泵719可將流體提供至歧管721，該歧管721可以在流體薄膜中最佳地達成均勻層流之方式將流體分佈至第一埠707及第二埠713。電腦723可藉由操作歧管中之閥及/或控制泵719之操作來控制穿過埠之流體流動。
第9-13圖揭示另一示例性流體分配裝置901，其可併入玻璃處理設備101之上游加工裝置101a、101b及/或下游加工裝置101c中之任一者。如第9及10圖所示，流體分配裝置可包括第一分配裝置901a及第二分配裝置901b，儘管可在其他實例中使用單一分配裝置或多於兩個的分配裝置。此外，如圖所示，流體分配裝置901a、901b可彼此相同，儘管可在其他實例中提供替代構造。流體分配裝置901a、901b可配置來自流體分配裝置之分配方向上的伸長開口分配流體薄膜905a、905b之實質上層流903a、903b。
流體分配裝置901a、901b可設計來利用流體薄膜905a、905b之實質上層流903a、903b覆於第二表面119。在所例示定向中，第二表面119可包含玻璃片111之下表面。因而，當與以上論述的流體分配裝置103相關聯的流體薄膜109比較時，流體分配裝置901a、901b可提供相對減小寬度的流體薄膜。因而，流動擴展器可不為第11及12圖例示的流體分配裝置所必需的。
如第11及12圖所示，流體分配裝置901a、901b可包括面向分配方向1105之分配表面1103，其中分配表面1103界定伸長開口1107。如第12圖所示，流體分配裝置901a、901b各自進一步包括與伸長開口1107流體連通的第一伸長腔室1201。第一伸長腔室1201可包括實質上平行於伸長開口1107延伸的第一腔室軸1203。在另一實例中，流體分配裝置901a、901b各自進一步包括與第一伸長腔室1201流體連通的第二腔室1205。儘管並非必需，但如圖所示，第二腔室1205 可沿第二腔室軸1207伸長，該第二腔室軸1207實質上平行於第一腔室軸1203及伸長開口1107延伸。此外，如第13圖所示，複數個孔口1301a、1301b、1301c可提供第一伸長腔室1201與第二腔室1205之間的流體連通。提供具有孔口之獨立腔室可幫助促進維持穿過伸長開口1107之實質上層流的流體薄膜。
返回進一步參考第10圖，如先前所提及，上游加工裝置101a、101b及下游加工裝置101c中之每一者包括加工輪1001，該加工輪1001係配置來在繞旋轉軸1102之方向1104上旋轉，以使得加工輪1001之外周邊表面1003機械加工(亦即，研磨、拋光及/或清潔)玻璃片111之表面，諸如外周邊緣113。玻璃處理設備亦可包括先前提及的護罩1005，該護罩1005實質上外接加工輪1001之外周邊表面1003。在所例示實例中，護罩1005可在第1圖所例示的Z方向上敞開，以使得重力可在Z方向上向下牽引流體、粒子及/或其他污染物。護罩1005可設計來屏蔽玻璃片111之初始表面117、119免於粒子及/或其他污染物，該等粒子及/或其他污染物與上游加工裝置101a、101b相關聯的研磨及/或拋光程序期間的機械加工製程相關聯。如第1圖進一步所例示，下游加工裝置101c亦可包括護罩1005，該護罩1005可設計來屏蔽玻璃片111之初始表面117、119免受自玻璃片111之表面部分清潔的粒子及/或其他污染物的影響。
如第14圖所示，若提供護罩1005，則其可具備狹槽1401，該狹槽1401係配置來接收玻璃片111之邊緣部分 115。狹槽包括具有厚度T1之第一節段1403，該厚度T1足以容納玻璃片之邊緣部分。狹槽1401可進一步包括可選第二部分1405，該可選第二部分1405可具有增大的厚度T2，該厚度T2設計來容納流體噴頭1007(參見第9及10圖)，該流體噴頭1007設計來將冷卻及/或加工流體引入加工輪1001之外周邊表面1003與玻璃片111之表面的加工介面1015。護罩1005可包括凹入內部部分，諸如狹槽1401下方之所例示平面部分1406，其允許用於藉由第一流體分配裝置901a及第二流體分配裝置901b產生的流體薄膜之餘隙。
如第14圖所示，護罩1005可包括外圓柱形周邊壁1407。如第15圖所示，在一些實例中，外圓柱形壁1407可包含繞護罩1005之中心軸1501安置的環狀圓柱形壁。如第10圖所示，護罩1005可相對於加工輪1001來安裝，以使得護罩1005之中心軸1501與加工輪1001之旋轉軸1102重合。如第10圖所示，間隙「G」可進而維持在加工輪1001之外周邊表面1003與護罩1005之內表面1009之間。可提供充分間隙以允許流體沿外圓柱形周邊壁1407之內表面1009之移動，而不實質干擾可在3600-8000rpm範圍內旋轉的加工輪1101之外周邊表面1003。在一個實例中，間隙「G」可在約5mm至約15mm範圍內，儘管間隙可在其他實例中為較小或較大的。
返回第15圖，護罩1005進一步包括具有內表面1505之頂部壁1503，該內表面1505與外圓柱形周邊壁1407之內表面1009配合以界定圍封區域1507。圍封區域1507可包括 開口下部及藉由頂部壁1503封閉的上部。護罩1005可進一步包括一或多個托架1509a、1509b，該一或多個托架1509a、1509b係配置來提供用於流體分配裝置901a、901b之安裝位置。另外，護罩可具備氣埠1511及或輪清潔埠1513。
如第10圖所示，氣埠1511可具備氣體噴嘴1017，該氣體噴嘴1017係配置來自護罩1005之內表面1009之一部分移除液體。氣埠1511可因此提供空氣障壁，以防止液體圍繞護罩1005之內表面1009循環。
如第10圖進一步所示，玻璃處理設備101可包含流體源1011，該流體源1011經由輪清潔埠1513來作用且係配置來導向流體流1013，以便衝擊加工輪1001之外周邊表面1003來清潔加工輪1001除去所產生的或與機械加工玻璃片111之表面相關聯玻璃粒子。
如第15圖進一步所例示，外圓柱形周邊壁1407可具備一或多個出口埠，以允許移除沿內表面1009行進之液體。例如，如第15圖所示，護罩包括第一出口埠1515a及第二出口埠1515b，該等出口埠係藉由使第一襟翼1517a及第二襟翼1517b彎曲打開以形成相應第一開口1519a及第二開口1519b來形成，該等開口諸如延伸穿過外圓柱形周邊壁1407之所例示窗形開口。第一出口埠1515a可允許沿箭頭1521a指示的第一方向行進之流體流沿第一襟翼1517a落下，且落入第一開口1519a中以用於自護罩1005之圍封區域1507的後續移除，如以下更完全地論述。同樣地，第二出口埠1515b可允許在箭頭1521b指示的相反方向上行進之另一流體流沿 第二襟翼1517b落下，且落入第二開口1519b中以用於自護罩1005之圍封區域1507的後續移除，如以下更完全地論述。
如第10及15圖所示，護罩1005亦可包括外壁部分1521，該外壁部分1521係配置來促進離開第一開口1519a及第二開口1519b之液體及粒子之分配，以沿護罩之外表面部分向下行進且行進至護罩1005之外壁部分1521與外表面部分之間界定的下部開口1523外。第16圖例示護罩1005之另一透視圖，其中為達清晰性而移除外壁部分1521。如圖所示，護罩1005可包括流體流動導件1601，該流體流動導件1601可包括第一向下傾斜導壁1603a，該第一向下傾斜導壁1603a係配置來在向下方向上偏轉離開第一開口1519a之流體。同樣地，流體流動導件1601可包括第二向下傾斜導壁1603b，該第二向下傾斜導壁1603b係配置來在向下方向上偏轉離開第二開口1519b之流體。儘管並非必需，但導壁可藉由下頂點部分1605連接在一起，以促進流體穿過下部開口1523之最終離開及/或促進製造製程。
返回第1圖，處理玻璃之方法可包括沿流體平面分配流體薄膜109之實質上層流107，以隨後降落於玻璃片111之第一側面117，如第4圖所示。在一個實例中，該方法可包括以下步驟：利用安置於流體薄膜109之每一側上的一對流動擴展器105a、105b擴展流體薄膜109。在此等實例中，流動擴展器可幫助擴展流體薄膜109，以在薄膜行進來降落於玻璃片111之第一表面117時維持層流。另外，該方法可包括以下步驟：藉由控制跨於伸長開口503之壓力特徵分佈(profile) 及行進穿過伸長開口503之流體之速度特徵分佈來控制流體薄膜沿流體薄膜之寬度「W」的流體流動特徵。例如，壓力特徵分佈及/或速度特徵分佈可藉由提供第一伸長腔室403、第二伸長腔室407、孔口701及/或埠707、713之至少一者來控制。
亦可需要在流體薄膜109接觸玻璃片111之第一側面117且此後沿該第一側面行進時，維持流體薄膜之層流。如第4圖所示，完成平滑連續轉變之一種方式為減小流體平面與玻璃片111之間的角度。如圖所示，流體分配裝置103可經佈置以使得流體平面相對於玻璃片111之平面表面117的角度「A1」在0°至約30°範圍內，諸如約5°至約30°，諸如約10°至約30°。
如第9及10圖所示，處理玻璃之方法亦可包括以下步驟：沿第二流體平面分配第二流體薄膜905a、905b之實質上層流903a、903b以隨後接觸玻璃片111之第二表面119。接觸角「A2」可在0°至約30°範圍內，諸如約5°至約30°，諸如約10°至約30°。雖然可在其他實例中使用其他角度，但提供在以上提及範圍內之角度「A1」及/或角度「A2」可幫助在流體薄膜降落於玻璃片之各別表面上時維持玻璃-水轉變處之有組織流體流動。
處理玻璃之方法亦可包括機械加工玻璃片111之邊緣，諸如外周邊緣113，其中玻璃之機械加工粒子夾帶於流體薄膜中且自玻璃片帶走。例如，如第10圖所示，加工輪1001可在繞旋轉軸1102之方向1104上旋轉，以使得外周邊表面 1003接觸玻璃片111之邊緣部分115。在一個實例中，玻璃片111可沿方向1019相對於加工輪1001移動，而輪沿第10圖所示的順時針方向1104旋轉。因而，外周邊表面1003之加工區域在與玻璃相對於加工輪1001移動的方向1019相對的方向1021上行進。玻璃片111與玻璃處理設備101之間的相對移動可藉由將玻璃處理設備101相對於玻璃片111移動及/或將玻璃片111相對於玻璃處理設備101移動來提供。加工輪1001可包含研磨輪，該研磨輪帶有金剛石粒子或足以加工(諸如研磨、拋光、清潔或以其他方式精整)玻璃片之邊緣的其他材料。
流體噴頭1007可在加工介面1015處提供冷卻流體1008。在一個實例中，流體噴頭1007延伸穿過狹槽1401之擴大區段1405(參見第14圖)。冷卻流體1008可隨後導向至加工介面1015，以減少可在其他情況下破壞玻璃片111之熱。冷卻劑流體可通常導向於加工輪1001之工作部分之方向1021上。過量冷卻流體1008及夾帶於其中之任何粒子可隨後例如藉由來自流體分配裝置103、901之流體薄膜109、905b之層流而移動除去。冷卻流體1008可最終例如藉由向下穿過護罩之底部及/或穿過外圓柱形周邊壁1407中之出口埠之一而離開。
可在研磨製程期間釋放玻璃之粒子及/或研磨輪之粒子。各種示例性技術係設計來保護玻璃片111之初始表面117、119免受此等粒子之影響。如第1及4圖所示，流體薄膜109之層流107可在朝向研磨區之方向上沿第一表面117 行進。如第4圖所示，流體薄膜109可自由地行進穿過狹槽1401的具有厚度「T3」之上部區域，該厚度「T3」足以允許層狀流體薄膜不中斷地通過而進入圍封區域1507中。在一個實例中，「T3」可為約350微米，儘管可在其他實例中使用其他厚度。此外，玻璃片之下的狹槽餘隙可為充分的，諸如與用於流體薄膜905b之T3”類似或相等。如圖所示，總體狹槽厚度「T1」可藉由可選擋門417取決於特定應用之處理參數來調整。在一些實例中，「T1」可提供或調整為約1mm至約3mm，儘管可在其他實例中使用其他厚度。
如第8圖所示，虛線處於說明目的展示為平行於伸長開口503且延伸穿過流體薄膜109之層流107之流體平面的線。虛線亦定位成在一點處與玻璃片111之邊緣113相交，在該點處，如在第8圖中自頂部檢視，流體薄膜109之右側越過玻璃片111之邊緣113。因而，將理解的是，第8圖所示的層流線107垂直於虛線及流體分配裝置103之伸長開口503兩者。如由第8圖中之虛線所表示，可需要定向流體分配裝置103以使得流體平面相對於流體平面與外周邊緣113之相交部的角度「A3」在約10°至約30°範圍內，諸如約20°。提供此斜角定向可當在機械加工程序期間將玻璃片及玻璃處理設備相對於彼此移動時，幫助有效地保護玻璃片之初始表面。
層狀流體薄膜109隨後自由地覆於玻璃片111之第一表面117，且行進至玻璃片111之第一表面117內的加工區域附近且進一步覆於該加工區域上。圍封區域1507內之粒子進而得以防止接觸第一表面117，因為將在其他情況下降落於 第一表面117上之任何粒子係夾帶於流體薄膜109中，且在粒子有機會與玻璃片111之第一表面117相互作用之前被帶走。一旦獲夾帶，流體薄膜隨即離開玻璃片111之表面117，且可隨後向下行進穿過圍封區域1507之底部開口端。或者，流體沿外圓柱形周邊壁1407之內表面1009傳遞至第二出口埠1515b外，且向下穿過下部開口1523。因而，液體亦防止粒子沉降於護罩1005之內表面1009上，進而防止可在其他情況下導致玻璃片之初始表面之最終污染的粒子累積。
在其他實例中，諸如第一流體分配裝置901a及/或第二流體分配裝置901b之另一分配裝置可用於幫助保護玻璃片111之第二表面119。例如，流體分配裝置901a、901b之流體薄膜905a、905b可覆於第二表面119，以使得在流體薄膜如第10圖所示在實質上平行於外周邊緣113之方向上行進時，層流903a、903b得以維持。流體薄膜905b之層流之部分可穿過狹槽1401並進入圍封區域1507中。因而，可另外接觸第二表面119之機械加工粒子夾帶於流體薄膜905b中，且自玻璃片帶走而不破壞玻璃片111之第二表面119。在一個實例中，流體可行進離開玻璃片且向下穿過圍封區域1507之底部開口端。或者，流體可沿外圓柱形周邊壁1407之內表面1009傳遞至第二出口埠1515b外，且向下穿過下部開口1523。另外，若任何流體穿過狹槽1401回傳，則來自第二流體分配裝置901a之薄膜層流可進一步促進流體自玻璃片之下表面之移除。
如第10圖所示，本揭示內容之方法可包括以下步 驟：為上游加工裝置101a、101b及下游加工裝置101c中之每一者提供加工輪1001，該加工輪1001具有外周邊表面1003及實質上外接外周邊表面1003之護罩1005。該方法包括以下步驟：在繞旋轉軸1102之方向1104上旋轉加工輪1001且使玻璃片111相對於玻璃處理設備101移動，以使得玻璃片111之邊緣部分115穿過狹槽1401，其中玻璃片111之外周邊緣113藉由旋轉加工輪1001來機械加工。該方法可進一步包括以下步驟：在護罩1005之內表面1009上傳遞流體，以自玻璃片111帶走在機械加工玻璃片111之外周邊緣113時產生的機械加工粒子。
在一個實例中，來自流體分配裝置103、901之一的流體可最終越過護罩1005之內表面1009，且此後帶走機械加工粒子。因而，來自流體分配裝置103、901的穿過狹槽1401之流體可最終覆於內表面1009之一部分，以防止粒子累積於內表面上。實情為，任何此等粒子將遇到越過內表面之流體且最終向下穿過圍封區域1507之開口底部及/或穿過下部開口1523。
因此，在一個實例中，該方法可包括以下步驟：沿流體平面分配流體薄膜109之實質上層流107，以隨後在護罩1005外部的位置處降落於玻璃片111之第一側面117上。該方法可隨後包括以下步驟：使流體薄膜109沿玻璃片111之第一側面117傳遞且穿過護罩1005之狹槽1401，如第4圖所示。玻璃之機械加工粒子(亦即，在研磨/拋光期間產生的及/或隨後清潔的粒子)可隨後在流體薄膜之一部分越過護罩之內 表面以自玻璃片帶走機械加工粒子之前或之後夾帶於流體薄膜中。在一個實例中，該方法可進一步包括以下步驟：使具有玻璃之經夾帶機械加工粒子的流體穿過護罩1005中之出口埠1515a、1515b之一。
在另一實例中，該方法可包括以下步驟：沿流體平面分配流體薄膜905b之實質上層流903b，以隨後在護罩1005外部的位置處降落於玻璃片111之第二側面119上。該方法可隨後包括以下步驟：使流體薄膜905b沿玻璃片111之第二側面119傳遞且穿過護罩1005之狹槽1401，如第4及10圖所示。玻璃之機械加工粒子可隨後在流體薄膜之一部分越過護罩之內表面以自玻璃片帶走機械加工粒子之前或之後夾帶於流體薄膜中。在一個實例中，該方法可進一步包括以下步驟：使具有玻璃之經夾帶機械加工粒子的流體穿過護罩1005中之出口埠1515a、1515b之一。
本揭示內容之其他態樣可包括清潔加工輪除去在機械加工(亦即，研磨/拋光或清潔)玻璃片之邊緣時累積的玻璃粒子。清潔加工輪可幫助管控玻璃粒子累積，以減少大的粒子塊體自輪甩出之機率，該等大的粒子塊體可在其他情況下污染玻璃片之初始表面。如第10圖所示，此等方法可包括以下步驟：利用流體流1013衝擊加工輪1001之外周邊表面1003，以清潔加工輪1001除去在機械加工玻璃片之邊緣時累積的玻璃粒子。
如第10圖所示，流體流1013以相對於第一軸1525之銳角「A4」衝擊加工輪1001之外周邊表面1003，該第一 軸1525垂直於與衝擊點1529相切的第二軸1527。如圖所示，角度「A4」可為正值，其中其在加工輪1001之旋轉方向上傾斜；或為負值，其中其傾斜遠離加工輪1001之旋轉方向。在一個實例中，在如第10圖所示的正方向或負方向上，「A4」可為30°。可在其他實例中提供其他角度。另外，流體流1013可在其他實例中處於第一軸1525之方向上。
如第10及15圖所示，以正30°定向來定向物流可幫助將流體朝向與第一襟翼1517a相關聯的第一出口埠1515a導向。因而，其中包括粒子之流體可經導向以退出第一出口埠1515a及或向下穿過圍封區域1507之底部開口。
在其他實例中，該方法可包括以下步驟：提供具有氣體噴嘴1017之空氣障壁。因而，內表面1009之一部分可設計來實質上不含流動流體。例如，參考第10圖，自氣體噴嘴1017順時針至流體噴頭1007之內表面1009可設計來實質上不含液體。另一方面，液體可沿自流體噴頭1007及流體源1011順時針之內表面1009來維持。因而，可促使流體藉由出口埠1515a、1515b之一來移除，且防止流體圍繞內周邊壁循環以進一步暴露於機械加工位置處之其他粒子。
以上論述的本揭示內容之各種態樣可促進涉及機械加工玻璃同時維持玻璃片之初始表面的精整技術。本揭示內容之態樣針對各種粒子源問題諸如：(1)在機械加工期間於玻璃之邊緣產生的玻璃粒子；(2)包括研磨及拋光冷卻劑之粒子；(3)空氣中之飛行粒子；以及(4)在維持玻璃片之初始表面 的同時，在機械加工製程期間此等精整技術釋放出的加工輪粒子。
本揭示內容之某些態樣產生流體薄膜，諸如水薄膜，其可藉由流體分配裝置103、901引入來提供玻璃片兩側上之片狀水(sheet water)管控。流體分配裝置可藉由產生水或其他流體之不中斷層流薄膜而幫助維持玻璃片之初始表面，以克服粒子源及來自各種粒子源之粒子動力學。在一些實例中，粒子可設計來在小於2.2秒內得以移除，以避免粒子於玻璃表面上之沉積。層狀流體薄膜(例如，水薄膜)設計來向玻璃片中暴露於各種粒子源之所有表面區域提供不中斷的層狀流體薄膜及流體流動速率。
在第1圖所示的定向中，重力趨向於促進使粒子偏移以接合玻璃片之上側，同時重力趨向於促進粒子遠離玻璃片之底部側面之移除。流體分配裝置103設計來在流體薄膜降落於玻璃片之上表面上之前及之後提供不中斷的層狀水薄膜及水流動速率。同樣地，流體分配裝置901亦在流體薄膜降落於玻璃片之下表面上之前及之後提供不中斷的層狀水薄膜及水流動速率。不中斷的層狀水薄膜可幫助防止粒子穿透及/或黏附於玻璃表面，且可幫助維持玻璃片之清潔度及初始表面。
本揭示內容之其他態樣提供自清潔護罩，該自清潔護罩有效包含飛行粒子且防止粒子累積於護罩內部。例如，護罩可幫助控制飛行粒子及/或防止加工輪殘餘粒子累積於護罩內部。可在自清潔護罩內產生水壁以沖洗護罩之表面，進 而沖洗掉可在其他情況下引起玻璃污染問題的粒子。因而，自清潔護罩不僅設計來包含在機械加工製程期間產生的飛行粒子，而且及時地移除玻璃片附近的粒子以避免在護罩內之累積，該累積可在其他情況下成為累積粒子之污染源。
本揭示內容之其他態樣提供一或多個流體(例如，水)清潔射流，其設計來自加工輪剝除粒子，以便粒子不累積且此後不會在稍後時間再沉積於玻璃表面上。水射流可促進自加工輪剝除粒子，以防止飛行粒子及粒子於護罩內之累積。在一些實例中，輪清潔射流可定向在約-30°至約+30°範圍內，以促進粒子自旋轉加工輪之最大剝除。可取決於輪定向、玻璃邊緣配置等等在其他實例中提供其他角度。
本揭示內容之其他態樣提供在外圓柱形周邊壁中具有一或多個出口埠之護罩，該護罩設計來幫助減小水及夾帶粒子於護罩之圍封區域內的滯留時間。
就第17圖所示的流程圖1701來論述處理玻璃之方法。方法在步驟1703處開始。如由箭頭1704a所指示，方法可視需要利用以下步驟1705開始：藉由利用第一上游加工裝置101a之第一旋轉研磨輪研磨玻璃片之表面部分(例如，邊緣部分)來機械加工玻璃片之表面部分。可進行研磨玻璃片之表面部分，同時沿第一流體平面分配第一流體薄膜109之實質上層流，該第一流體薄膜109之實質上層流降落於玻璃片119之第一主表面117上。來自研磨表面部分之碎屑夾帶於沿玻璃片之第一主表面117行進的第一流體薄膜109中，且自玻璃片111帶走。
在步驟1705之後，如箭頭1706a所指示，方法可隨後進行至以下步驟1707：拋光玻璃片之表面部分。或者，如由箭頭1704b所指示，方法可視需要利用以下步驟1707開始：藉由利用第二上游加工裝置101b之第一旋轉研磨輪拋光玻璃片之表面部分(例如，邊緣部分)來機械加工玻璃片之表面部分。可進行拋光玻璃片之表面部分，同時沿第一流體平面分配第一流體薄膜109之實質上層流，該第一流體薄膜109之實質上層流降落於玻璃片119之第一主表面117上。來自拋光表面部分之碎屑夾帶於沿玻璃片之第一主表面117行進的第一流體薄膜109中，且自玻璃片111帶走。
在步驟1707之後，如箭頭1708a所指示，方法可隨後進行至以下步驟1709：清潔玻璃片之表面部分。或者，如箭頭1706b所指示，方法可直接自研磨之步驟1705進行至清潔之步驟1709。在清潔之步驟1709期間，下游加工裝置101c利用清潔輪之加工表面機械加工玻璃片之表面部分。事實上，在步驟1709期間，下游加工裝置101c藉由清潔玻璃片之表面部分來機械加工玻璃片之表面部分，以移除在步驟1705及/或步驟1707期間產生的其他碎屑。
如箭頭1708b所指示，方法可在清潔之步驟1709之後於1713處結束。或者，如箭頭1710所指示，方法可隨後自清潔之步驟1709進行至以下步驟1711：洗滌玻璃片(例如，表面部分)。在玻璃片已於步驟1709期間清潔時，可需要洗滌之步驟來移除比不使用清潔步驟1709的情況下所需更小的粒子。因而，在步驟1711期間使用的洗滌器之洗滌效率增加， 且對洗滌裝置之過濾系統施加的負擔更小。另外，清潔之步驟1709及洗滌之步驟1711之組合可自玻璃片之附近移除比省略任一步驟情況下更多的粒子。
如箭頭1712所指示，方法可隨後在1713處結束，其中玻璃片可隨後乾燥，其中留下來自機械加工程序之極少(若存在)殘餘粒子。
與僅依賴於上游加工裝置101a、101b之護罩及/或流體流來移除粒子的情況相比，提供下游加工裝置101c以在利用上游加工裝置101a、101b機械加工之後清潔玻璃片之表面部分提供粒子移除之顯著及意外的改良。事實上，已判定的是，先前以全文引用方式併入之美國專利申請公開案第2013/0130597號(下文為‘597公開案)中所揭示的上游加工裝置尤其有效地移除機械加工粒子。事實上，‘597公開案之揭示內容允許在研磨/拋光期間產生的粒子藉由夾帶於流體薄膜中且包含於護罩內而有效地移除。然而，據發現，利用下游加工裝置101c之另一機械加工程序(清潔)顯著地改良在機械加工程序期間自玻璃片之附近的粒子移除。
因而，當與藉由‘597公開案闡述的單一加工裝置比較時，如本文揭示的下游清潔裝置提供粒子密度顯著降低的更進一步益處。因而，留下更少的可在其他情況下影響玻璃片之表面品質的粒子。此外，在後續可選洗滌步驟1711期間，進入洗滌器之玻璃粒子之量可得以減少，從而使得洗滌器更有效且對洗滌器過濾系統施加更小負擔。
熟習此項技術者將明白的是，可在不脫離所主張發明之精神及範疇的情況下做出各種修改及變化。
101‧‧‧玻璃處理設備
101a‧‧‧上游加工裝置/加工裝置/第一上游加工裝置
101b‧‧‧上游加工裝置/加工裝置/第二上游加工裝置
101c‧‧‧下游加工裝置/加工裝置
103‧‧‧流體分配裝置
105a‧‧‧第一流動擴展器
107‧‧‧層流
109‧‧‧流體薄膜/層狀流體薄膜
111‧‧‧玻璃片
113‧‧‧外周邊緣
115‧‧‧邊緣部分
117‧‧‧第一主表面/主表面/初始表面
119‧‧‧第二表面/主表面/初始表面
1005‧‧‧護罩
1401‧‧‧狹槽
1517b‧‧‧第二襟翼
1521‧‧‧外壁部分
T‧‧‧厚度
Z‧‧‧方向

Claims (14)

  1. 一種處理玻璃之方法，該方法包含以下步驟：(I)利用一第一旋轉加工輪之一加工表面機械加工一玻璃片之一外周邊緣，同時沿一第一流體平面分配一第一流體薄膜之一實質上層流，該第一流體薄膜之該實質上層流降落於一玻璃片之一第一初始主表面上，其中來自機械加工該外周邊緣之碎屑夾帶於沿該玻璃片之該第一初始主表面行進的該第一流體薄膜中，且自該玻璃片帶走，以保護該第一初始主表面免受在機械加工該玻璃片之該外周邊緣期間產生的粒子之影響；以及隨後(II)利用包含一清潔輪之一第二旋轉加工輪之一加工表面機械加工該玻璃片之該外周邊緣，該清潔輪藉由以下方式機械加工該玻璃片之該外周邊緣：在沒有從該玻璃片之一表面部分進一步移除玻璃之下清潔該玻璃片之該外周邊緣，以移除在步驟(I)期間所產生的其他碎屑，其中藉加工輪對該玻璃片的機械加工是在步驟(II)後完成。
  2. 如請求項1所述之方法，其中步驟(I)包含以下步驟：藉由利用包含一旋轉拋光輪之該第一旋轉加工輪拋光該玻璃片之該外周邊緣來機械加工該玻璃片之該外周邊緣。
  3. 如請求項1所述之方法，其中在步驟(I)之前，進一步包含以下步驟：藉由利用包含一旋轉研磨輪之該第一旋轉加工輪研磨該玻璃片之該外周邊緣來機械加工該玻璃片之該外周 邊緣。
  4. 如請求項1所述之方法，其中在步驟(I)期間，該第一流體薄膜在一護罩外部之一位置處降落於該玻璃片之該第一初始主表面上，且來自機械加工該外周邊緣之碎屑在該護罩之內部夾帶於該第一流體薄膜中。
  5. 如請求項4所述之方法，其中在步驟(I)期間，該第一流體薄膜行進穿過該護罩中之一狹槽。
  6. 如請求項5所述之方法，其中步驟(I)包括以下步驟：使帶有被夾帶的碎屑之該第一流體薄膜穿過該護罩中之一出口埠。
  7. 如請求項1所述之方法，其中步驟(I)進一步包含以下步驟：沿一第二流體平面分配一第二流體薄膜之一實質上層流，該第二流體薄膜之該實質上層流降落於該玻璃片之一第二主表面上，其中來自機械加工該外周邊緣之碎屑夾帶於沿該玻璃片之該第二主表面行進的該第二流體薄膜中，且自該玻璃片被帶走。
  8. 如請求項7所述之方法，其中在步驟(I)期間，該第二流體薄膜在一護罩外部之一位置處降落於該玻璃片之該第二主表面上，且來自機械加工該外周邊緣之該碎屑在該護罩之內 部夾帶於該第二流體薄膜中。
  9. 如請求項8所述之方法，其中在步驟(I)期間，該第二流體薄膜行進穿過該護罩中之一狹槽。
  10. 如請求項8所述之方法，其中步驟(I)包括以下步驟：使帶有該夾帶碎屑之該第二流體薄膜穿過該護罩中之一出口埠。
  11. 如請求項1所述之方法，其中步驟(II)包括以下步驟：沿一第一清潔流體平面分配一第一清潔流體薄膜之一實質上層流，該第一清潔流體薄膜之該實質上層流降落於該玻璃片之該第一初始主表面上，其中該其他碎屑之至少部分夾帶於沿該玻璃片之該第一初始主表面行進的該第一清潔流體薄膜中，且自該玻璃片被帶走。
  12. 如請求項11所述之方法，其中步驟(II)進一步包括以下步驟：沿一第二清潔流體平面分配一第二清潔流體薄膜之一實質上層流，該第二清潔流體薄膜之該實質上層流降落於該玻璃片之該第二主表面上，其中該其他碎屑之至少部分夾帶於沿該玻璃片之該第二主表面行進的該第二清潔流體薄膜中，且自該玻璃片被帶走。
  13. 如請求項1所述之方法，其中，在步驟(I)期間，該第一 流體薄膜沿一流體平面行進，該流體平面相對於該玻璃片的該第一初始主表面成一角度「A1」，以及該第一流體薄膜隨後於一護罩之外部的一位置處降落於該玻璃片之該第一初始主表面上，且來自機械加工該外周邊緣之碎屑在該護罩之內部夾帶於該第一流體薄膜中。
  14. 如請求項13所述之方法，其中該角度「A1」在從0°至30°的範圍內且該第一流體薄膜在步驟(I)期間行進穿過該護罩中的一狹槽。
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