CN103029042A - 玻璃板研磨装置的监控方法及监控系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够降低玻璃板的损坏发生率的玻璃板研磨装置的监控方法及监控系统。为了使搬出部（36）中的玻璃板（G）的损坏降低，在实施方式中，通过甘油控制部（42）控制液体涂敷部（14）上的甘油的涂敷量，使得由图像处理部（34）算出的实际面积成为基准面积。即，在液体涂敷部（14）中由涂敷的甘油形成的吸附部分通过甘油控制部（42）控制甘油的涂敷量，使得在通过剥离部（22）剥离时和基准面积大致相等。例如，并不使全部的玻璃板（G）的非研磨面吸附于吸附片（12），而是包括吸附部分和非吸附部分，并且，通过甘油控制部（42）控制甘油的涂敷量，从而将所述吸附部分划分到规定的区域。

Description

玻璃板研磨装置的监控方法及监控系统

技术领域

本发明涉及一种玻璃板研磨装置的监控方法及监控系统。

背景技术

液晶显示器、等离子显示器等所使用的FPD（Flat Panel Display：加工台显示器）用的玻璃板如下加工而成，将熔融玻璃成形为板状，然后，在通过切断装置切成规定的矩形尺寸后，通过倒角装置的倒角用砂轮对该端面进行倒角加工。然后，通过利用研磨装置研磨去除表面的微小凹凸或波纹，所述玻璃板被制造成满足FPD用玻璃板所要求的平面度的薄板状的玻璃板。作为所述玻璃板的尺寸，以横竖尺寸超过1000mm为主流，其厚度在0.7mm以下。

在专利文献1中所公开的研磨装置中，自转及公转的多台研磨工具沿玻璃板的移动方向配置，一边使玻璃板移动一边通过所述多台研磨工具连续地研磨玻璃板的研磨面。所述玻璃板吸附保持于安装在加工台的上表面的吸附片，所述加工台加工台通过驱动装置沿所述移动方向移动。

所述加工台加工台在环状的搬运路径上移动，在环状的搬运路径上依次设置有吸附部、研磨部、剥离部及清洗部。研磨前的玻璃板其非研磨面吸附保持于位于所述吸附部的加工台的吸附片，然后，通过加工台的移动而向所述研磨部移动，并通过所述多台研磨工具研磨玻璃板的研磨面。而且，研磨后的玻璃板通过加工台而向所述剥离部移动。在剥离部，通过朝向玻璃板和吸附片的边界部从喷嘴喷射空气和水的混合流体，从吸附片剥离玻璃板的一部分。然后，通过移载机吸附玻璃板的研磨面，移载机离开吸附片，使得全部的玻璃板从吸附片剥离。从吸附片剥离的玻璃板通过移载机移动到搬出部。剥离玻璃板的加工台在通过所述清洗部时清洗该吸附片，作为用于使下一玻璃板移动的加工台而准备。

所述吸附片由具有自身吸附性的多孔质部件构成，为了防止吸附于吸附片的玻璃板的非研磨面的干燥或提高吸附片的自身吸附性，玻璃板经由液体而吸附于吸附片。在专利文献2所公开的晶片的研磨方法中，通过使甘油等的液体介于晶片的非研磨面和晶片载置用板之间，可以提高晶片的非研磨面和所述载置用板的吸附性。

专利文献1：日本特开2007-190657号公报

专利文献2：日本特开平6-61203号公报

发明内容

但是，在所述以往的研磨装置中，存在通过所述移载机从吸附片剥离的玻璃板会发生裂纹、缺口等损坏，且未必能降低该损坏发生率的问题。

本发明鉴于以上情况而作出的，其目的在于提供一种能够降低玻璃板的损坏发生率的玻璃板研磨装置的监控方法及监控系统。

本发明为了实现所述目的，提供一种玻璃板研磨装置的监控方法，包括：液体涂敷工序，向吸附玻璃板的吸附片涂敷液体；吸附工序，使玻璃板的非研磨面吸附于涂敷有所述液体的所述吸附片；研磨工序，研磨吸附于所述吸附片上的所述玻璃板的研磨面；剥离工序，向所述研磨面被研磨的所述玻璃板和所述吸附片的边界部喷射流体，使所述玻璃板的一部分从所述吸附片剥离；拍摄工序，对从所述吸附片剥离了一部分的所述玻璃板进行拍摄；及图像处理工序，对被所述拍摄到的所述玻璃板的图像信息进行图像处理，并计算相对于所述吸附片的所述玻璃板的吸附部分的面积。

本发明为了实现上述目的，提供一种玻璃板研磨装置的监控系统，包括：液体涂敷单元，向吸附玻璃板的吸附片涂敷液体；吸附单元，使玻璃板的非研磨面吸附于涂敷有所述液体的所述吸附片；研磨单元，研磨吸附于所述吸附片的所述玻璃板的研磨面；流体喷射单元，向被所述研磨单元研磨了的所述玻璃板和所述吸附片的边界部喷射流体；拍摄单元，对从所述吸附片剥离了一部分的所述玻璃板进行拍摄；及图像处理单元，对由所述拍摄单元拍摄到的所述玻璃板的图像信息进行图像处理，并计算相对于所述吸附片的所述玻璃板的吸附部分的面积。

本申请发明人专心研究了移载机移动带来的玻璃板的损坏原因，结果查明了以下原因。

首先，第一损坏原因是由于在剥离工序中从流体喷射单元喷射的流体的喷射量过多，使得玻璃板从吸附片上完全剥离。即，当玻璃板从吸附片完全剥离时，在玻璃板从流体喷射单元的位置移动到移载机时，由于处于玻璃板和吸附片之间的液体，玻璃板在液体的液面上滑动，使得玻璃板相对于吸附片错位。已查明由于该错位，玻璃板与在移至移载机的移动途中所存在的装置发生碰撞，或由于玻璃板相对于移载机的位置不在规定位置而使玻璃板和移载机发生碰撞，而使玻璃板发生损坏。其次，第二损坏原因是由于从所述流体喷射单元喷射的所述流体的喷射量过少，玻璃板牢固地吸附于吸附片。已查明在这样的吸附状态下，由于由所述移载机进行从吸附片剥离玻璃板，而使玻璃板发生损坏。

因此，在实施方式中，基于所述第一、第二损坏原因，算出用于防止玻璃板G的损坏的面积，即，算出玻璃板相对于通过流体喷射单元后的吸附片的吸附部分的面积（以下称为实际面积），基于该实际面积，通过实验取得了基准面积比率。

所述基准面积比率是指在从流体喷射单元的位置到移载机的位置的移动时用于使玻璃板不发生损害而进行移动的、所述实际面积相对于玻璃板的非研磨面的面积的比率。在本发明中，规定基准面积比率为5~12%。

图像处理单元基于来自拍摄单元的图像信息，取得在流体喷射工序喷射流体后的玻璃板的非研磨面的面积和所述实际面积，并且，算出所述实际面积相对于所述玻璃板的非研磨面的面积的面积比率。而且，进行如下监控，当所述面积比率在所述基准面积比率的范围内时，执行移载机进行的玻璃板的剥离，当所述面积比率在所述基准面积比率的范围外时，使所述剥离停止。由此，根据本发明，能够降低玻璃板的损坏发生率。另外，对于前面讲述的所述面积比率和所述基准面积比率的比较操作，操作人可以通过目测进行实施，也可以通过集中控制监控系统的控制部进行实施。

本发明的玻璃板研磨装置的监控方法优选还包括为使由所述图像处理工序算出的所述吸附部分的面积成为规定的面积而控制所述液体涂敷工序中的所述液体的涂敷量的液体控制工序。

本发明的玻璃板研磨装置的监控系统优选还包括为使由所述图像处理单元算出的所述吸附部分的面积成为规定的面积而控制由所述液体涂敷单元涂敷的所述液体的涂敷量的液体控制单元。

本发明通过液体控制单元控制液体的涂敷量，使得在液体涂敷工序中的由液体形成的吸附部分处于良好的位置。

本发明的玻璃板研磨装置的监控系统优选还包括为使由所述图像处理工序算出的所述吸附部分的面积成为规定的面积而控制所述剥离工序中的所述流体的喷射量的流体控制工序。

本发明的玻璃板研磨装置的监控系统优选还包括为使由所述图像处理单元算出的所述吸附部分的面积成为规定的面积而控制由所述流体喷射单元喷射的所述流体的喷射量的流体控制单元。

本发明通过拍摄单元对研磨前的玻璃板进行拍摄，通过由图像处理单元进行图像处理，计算所述实际面积，并算出所述面积比率，通过流体控制单元控制剥离工序中的流体的喷射量，使得该面积比率处于所述基准面积比率的范围。

发明效果

根据本发明的玻璃板研磨装置的监控方法及监控系统，能够降低玻璃板的损坏发生率。

附图说明

图1是表示装入有实施方式的监控系统的玻璃板的研磨装置的整体结构俯视图。

图2是表示相对于吸附片的两片玻璃板的吸附状态的俯视图。

图3是表示具备玻璃板相对吸附片的基准面积的吸附部分的俯视图。

图4是在吸附片形成有吸附图案的液体涂敷部的结构图。

标号说明

10研磨装置

12吸附片

14液体涂敷部

16吸附部

18相机

20研磨部

22剥离部

24相机

26移载机

28清洗部

30研磨工具

32喷嘴

34图像处理部

36搬出部

38监视器

40控制部

42甘油控制部

44a~44n喷嘴

46甘油供给管

48甘油供给部

50过滤器

52流量计

54泵

56甘油罐

58a~58n电磁阀

60混合流体控制部

具体实施方式

以下，根据附图详细说明本发明所涉及的玻璃板研磨装置的监控方法及监控系统的优选方式。

图1是表示装入有实施方式的监控系统的玻璃板的研磨装置10的整体结构的俯视图。

在该图中，用箭头A表示吸附保持玻璃板G的非研磨面的吸附片12的环状的搬运路径。另外，吸附片12安装于未图示的加工台的上表面（与后述的研磨工具30相对的面），并且，以能够吸附保持矩形形状的两片玻璃板的尺寸构成。

在所述搬运路径上从搬运路径的上游侧朝向下游侧依次配置有：液体涂敷部（液体涂敷工序：液体涂敷单元）14、吸附部（吸附工序：吸附单元）16、相机18、研磨部（研磨工序：研磨单元）20、剥离部（剥离工序：流体喷射单元）22、相机（拍摄工序：拍摄单元）24、移载机26及清洗部28。

在研磨部20，玻璃板G一边以玻璃板G的非研磨面吸附保持于吸附片12的状态沿搬运路径移动，一边由沿搬运路径呈之字形（zigzagalignment）配置的多台研磨工具30、30…连续研磨。在研磨时玻璃板G一边通过未图示的供给单元向研磨面供给研磨液，一边通过以自转及公转的至少之一进行旋转的研磨工具30、30…对研磨面进行研磨。而且，在研磨部20的出口，玻璃板G被制造成满足FPD用玻璃板所要求的平面度的薄板状（厚度为0.7mm以下）的玻璃板G。另外，配置于研磨部20的研磨工具30的台数并不限定，而且，研磨工具的配置形态也并不限定为之字形的形态。即，研磨部20的形态也可以是与玻璃板G的尺寸对应的一台研磨工具。

研磨结束的玻璃板G从研磨部20搬出并移动到剥离部22，在此，朝向玻璃板G和吸附片12的边界部从两台喷嘴32、33喷射空气和水的混合流体（流体）。喷射的空气和水的混合流体进入到玻璃板G和吸附片12之间的间隙，由此从吸附片12剥离玻璃板G的喷嘴32侧的一部分。另外，流体并不限于所述混合流体，也可以仅是空气或仅是水。但是，为了顺利解除相对于吸附片12的玻璃板G的吸附力，优选所述混合流体。

剥离了所述一部分的玻璃板G在从剥离部22朝向移载机26移动的过程中，通过以与搬运路径相向的方式配置的相机24进行拍摄。由相机24拍摄的玻璃板G的图像通过图像处理部（图像处理工序：图形处理单元）34进行白黑的二值化处理，算出相对于吸附片12的玻璃板G的吸附部分的实际面积（图3的区域F的面积），并且，算出所述实际面积对玻璃板G的非研磨面面积的面积比率。在此，所述实际面积是指相对于通过剥离部22后的吸附片12的玻璃板G的吸附部分的实际的面积。而且，玻璃板G的非研磨面的面积也可以与所述实际面积一样，通过图形处理部34进行的二值化处理算出。

移动到移载机26的位置的玻璃板G在保持于移载机26的吸附垫（未图示）后，从吸附片12剥离并移动到搬出部36。

通过移载机26剥离了玻璃板G的吸附片12在通过清洗部28时由清洗液清洗，为了吸附保持下一玻璃板G，移动到液体涂敷部14。在此，从液体涂敷部14的多个喷嘴（后述）向吸附保持吸附片12的玻璃板G的面涂敷甘油（液体）。对于液体涂敷部14后述。

对在吸附片12涂敷甘油的理由进行说明。吸附片12的吸附面具备自身吸附性，但当吸附面干燥时，自身吸附性减弱，有可能在玻璃板G的研磨过程中使玻璃板G产生裂纹。因此，为了防止吸附固定于所述吸附面的玻璃板G的非研磨面的干燥或提高吸附面的自身吸附性，需要经由干燥防止用液体将玻璃板G吸附固定于吸附面。

另外，作为液体例举甘油，但可以是水，也可以是聚乙二醇。但是，甘油与水相比不易干燥，因此优选甘油。而且，甘油作为防止由所述研磨液造成玻璃板G的缘部污染的污染防止液也是优选的。

涂敷有甘油的吸附片12通过安装有该吸附片12的加工台被搬运到吸附部16，在此研磨前的两片玻璃板G的非研磨面吸附保持于吸附片12。而且，所述两片玻璃板G通过安装有吸附片12的加工台朝向研磨部20的入口移动，在进入该入口之前，通过配置于搬运路径的上方的相机18进行拍摄。由相机18拍摄的玻璃板G的图像通过图像处理部34进行白黑的二值化处理，相对于吸附片12的玻璃板G的吸附形态在监视器38中显示。具体而言，如图2所示的两片玻璃板G相对吸附片12的吸附形态那样，玻璃板G吸附保持于吸附片12的部分即吸附部分（第一区域A，第二区域B，第三区域C）是白色的，玻璃板G未吸附保持于吸附片12的部分即非吸附部分（第四区域D，第五区域E）是黑色的，在图1的监视器38中显示。

如上所述，所述搬运路径呈环状结构，使得吸附片12依次通过液体涂敷部14、吸附部16、研磨部20、剥离部22及清洗部28。

另外，实施方式的吸附片12在搬运路径上配置有多片，但配置于搬运路径上的吸附片12的片数并不限定。而且，吸附保持于一片吸附片12的玻璃板G的片数也并不限定是两片，根据玻璃板G的尺寸及吸附片12的尺寸，可以是一片，也可以是三片以上。

可是，在上述结构的研磨装置10中，本申请发明人专心研究了通过移载机26移动到搬出部36带来的玻璃板的损坏原因，结果查明了以下原因。

第一损坏原因是由于在剥离部22从喷嘴32、32喷射的混合流体的喷射量过多，使得玻璃板G从吸附片12完全剥离。即，玻璃板G从吸附片12完全剥离时，在玻璃板G从喷嘴32的位置到移载机26的位置的移动时，由于玻璃板G和吸附片12之间的液体，玻璃板G在液体的液面上滑动，使得玻璃板G相对于吸附片12错位。已查明由于该错位，玻璃板G与在到移载机26的移动途中所存在的装置发生碰撞，或由于相对于移载机26的玻璃板G的位置不在规定位置而使玻璃板G和移载机26发生碰撞，从而玻璃板G发生损坏。

第二损坏原因是由于从喷嘴32、32喷射的混合流体的喷射量过少，使得玻璃板G牢固地吸附于吸附片12。已查明在这样的吸附状态下，由于由所述移载机26进行玻璃板G从吸附片12上的剥离，从而玻璃板G发生损坏。

因此，在实施方式中，基于所述第一、第二损坏原因，算出用于防止玻璃板G的损坏的实际面积，基于该实际面积，通过实验取得了基准面积比率。

所述基准面积比率是指在从喷嘴32的位置到移载机26的位置的移动时用于使玻璃板G不发生损害而进行移动的、实际面积（图3的区域F的面积）相对于玻璃板G的非研磨面面积的比率，是指用于通过移载机26使玻璃板G不发生损害而从吸附片12剥离的、实际面积（图3的区域F的面积）相对于玻璃板G的非研磨面面积的比率。在实施方式中，规定基准面积比率为5~12%。

图3是表示相对于通过剥离部22后的吸附片12的玻璃板G的吸附部分即区域F。图3是一个例子，区域F存在于玻璃板G的非研磨面的大致中央部，大致呈椭圆形状。另外，区域F的面积根据玻璃板G的尺寸而不同。因此，在进行监控时，可以仅凭区域F的面积来判断，但优选算出区域F的实际面积相对于玻璃板G的非研磨面面积的面积比率，比较该面积比率与前述的基准面积比率来判断。

如图1所示，实施方式的监控系统为了取得玻璃板G的非研磨面的面积和实际面积而包括相机24及图像处理部34。即，朝向玻璃板G和吸附片12的边界部从喷嘴32、32喷射混合流体，从吸附片12剥离了一部分的玻璃板G通过配置于搬运路径的上方的相机24进行拍摄。拍摄的玻璃板G的图像信息通过图形处理部34进行白黑的二值化处理。而且，图像处理部34从整个图像中抽出表示吸附部分的白色图像，通过计算抽出的白色图像的像素数，算出白色图像的面积即所述实际面积。通过图像处理部34进行了二值化处理的图像信息、所述白色图像的面积及所述基准面积在监视器38中显示。

在通过监控研磨装置10的操作员来预防玻璃板G的损坏时，操作员比较在监视器38中显示的所述实际面积的面积比率和所述基准面积比率，当实际面积的面积比率在基准面积比率的范围内时，执行移载机26进行的玻璃板G的剥离，当实际面积的面积比率在基准面积比率的范围外时，使研磨装置10或移载机26停止，使移载机26进行的玻璃板G的取出停止。由此，根据实施方式的监控系统，能够降低玻璃板G的损坏发生率。

另一方面，对通过集中控制所述监控系统的控制部40来实施前述的实际面积的面积比率和基准面积比率的比较作业的情况作说明，在控制部40的存储部中记载所述基准面积比率（5~12%）。而且，控制部40比较所述实际面积的面积比率和存储的基准面积比率，当实际面积的面积比率在基准面积比率的范围内时，执行移载机26进行的玻璃板G的取出，当实际面积的面积比率在基准面积比率的范围外时，使研磨装置10或移载机26停止，使移载机26进行的玻璃板G的取出停止。由此，通过控制部40，也能够降低玻璃板G的损坏发生率。

但是，为了在不降低玻璃板G的生产性的情况下使在搬出部36的玻璃板G的损坏更进一步降低，优选通过甘油控制部（液体控制单元）42来控制液体涂敷部14的甘油的涂敷量，使得由图像处理部34算出的所述实际面积的面积比率在所述基准面积比率的范围内。

即，为使在液体涂敷部14涂敷的甘油形成的吸附部分在通过剥离部22剥离时处于基准面积比率的范围内而通过甘油控制部42来控制甘油的涂敷量。即，优选控制从喷嘴32、32喷射的混合流体的喷射量和甘油的涂敷量。而且，每当研磨装置10的线速度变更时，所述混合流体的喷射量也改变。

例如，通过甘油控制部42来控制在吸附片12涂敷的甘油的涂敷量，使得并非使玻璃板G的全部非研磨面吸附于吸附片12，而是包括吸附部分和非吸附部分，并且将所述吸附部分划分为规定的区域。

具体而言，如图2所示，将吸附部分划分为从玻璃板G相向的缘部向玻璃板G内侧规定量的第一区域A、第二区域B及玻璃板G的中央部的第三区域C，将第一区域A和第三区域C之间的第四区域D及第二区域B和第三区域C之间的第五区域E设为非吸附部分。

非吸附部分的形成方法可以是在第四区域D、第五区域E未涂敷甘油的手法，但也可以进行控制以使得相对于第四区域D、第五区域E的甘油的涂敷量比第一~第三区域A~C的涂敷量多，使第四区域D、第五区域E的吸附力比第一~第三区域A~C的吸附力降低的手法。这是因为，由吸附片12形成的玻璃板G的吸附力在规定的涂敷量范围内随着甘油的涂敷量增多而增强，但当超过规定的涂敷量时吸附力有降低的趋势。

在第一~第三区域A~C的吸附形态中，当来自剥离部22的喷嘴32、32的混合流体向玻璃板G和吸附片12的边界部喷射时，该流体进入到玻璃板G和吸附片12之间的间隙，解除第一区域A、第二区域B的吸附力，即与玻璃板G的第一区域A及第二区域B相对应的部分从吸附片12剥离，并且，所述混合流体经由第四区域D、第五区域E浸入到第三区域C的一部分，由此解除第三区域C的一部分的吸附力。

由此，通过了剥离部22的玻璃板G仅通过在玻璃板G的非研磨面的中央部剩余的实际面积的吸附部分而吸附保持于吸附片12。因此，为使图3所示的吸附部分的区域F的实际面积的面积比率处于所述基准面积比率的范围内而控制甘油的涂敷量，由此在玻璃板G从剥离部22的位置到移载机26的位置的移动过程中，玻璃板G不会错位，能够防止由于错位导致的玻璃板G的损坏。

而且，玻璃板G仅通过处于所述基准面积比率的范围内的区域F吸附于吸附片12，因此即使在移载机26进行的玻璃板的剥离时，也能从吸附片12顺利地剥离。由此，能够防止移载机26进行剥离时的玻璃板G的损坏。

另外，来自喷嘴32、32的混合流体的喷射量设定为玻璃板G不会被混合流体损坏的最佳的量。而且，经由甘油吸附于吸附片12的玻璃板G由相机18进行拍摄，对该拍摄的图像信息通过图像处理部34进行二值化处理，而将白色图像的面积即吸附部分的面积存储于控制部40的存储部。控制部40基于研磨前的所述吸附部分的面积和通过了剥离部22的所述区域F的实际面积，将区域F的面积变化作为每个吸附片12的数据而存储。

其次，对由液体涂敷部14进行的所述第一~第五区域A~E的形成方法的一个例子进行说明。

如图4所示的液体涂敷部14包括14个喷嘴44a、44b、44c、44d、44e、44f、44g、44h、44i、44j、44k、44l、44m、44n。这些喷嘴44a~44n在与箭头A所示的吸附片12的相对搬运方向正交的方向上固定于未图示的基座，并且，经由甘油供给管46连接于甘油供给部48。甘油供给部48由过滤器50、流量计52、泵54及甘油罐56构成。所述相对搬运方向包含相对于固定的喷嘴44a~44n的吸附片12的搬运方向和相对于停止的吸附片12的喷嘴44a~44n的移动方向这两者。

而且，喷嘴44a~44n经由各个电磁阀58a~58n连接于甘油供给管46，这些电磁阀58a~58n的开闭及开闭量与吸附片12的搬运速度同步地由甘油控制部42控制。

即，吸附片12的前头缘部12A在通过喷嘴44a~44n的下方的时刻，甘油控制部42打开电磁阀58a~58n，并且，使位于两端的喷嘴44a、44n的电磁阀52a、52n的开度（开放的程度）比其他电磁阀52b、52m的开度大。由此，甘油的涂敷量与吸附相关而形成最适合的第一区域A，在第一区域A的两侧方的区域A’、A’形成甘油量过多的非吸附部分。

其次，在第一区域A在喷嘴44a~44n的下方通过完毕的时刻，甘油控制部42增大电磁阀58b~58m的开度。由此，形成甘油量过多的非吸附部分即第四区域D。

其次，在第四区域D在喷嘴44a~44n的下方通过完毕的时刻，甘油控制部42使电磁阀58b~58m的开度回到第一区域A形成时的开度。由此，形成第三区域C，在第三区域C的两侧方的区域C’、C’形成甘油量过多的非吸附部分。

其次，在第三区域C在喷嘴44a~44n的下方通过完毕的时刻，甘油控制部42增大电磁阀58b~58m的开度。由此，形成甘油量过多的非吸附部分即第五区域E。

而且，在第五区域E在喷嘴44a~44n的下方通过完毕的时刻，甘油控制部42使电磁阀58b~58m的开度回到第一、第三区域A、C形成时的开度。由此，形成第二区域B，在第二区域B的两侧方的区域B’、B’形成甘油量过多的非吸附部分。

而且，在第二区域B在喷嘴44a~44n的下方通过完毕的时刻，甘油控制部42关闭电磁阀58a~58n。

通过以上的控制动作，实现图2所示的期望的吸附形态用的涂敷图案形成于吸附片12。

另外，图2所示的吸附图案是一个例子，并不限定为该吸附图案。而且，图4所示的液体涂敷部14的结构也是一个例子，并不限定为该结构。即。液体涂敷部14只要是能够形成适于防止玻璃板G损坏的吸附图案即可。

另一方面，在实施方式的监控系统中，优选包括控制喷嘴32、32的混合流体的喷射量的混合流体控制部（流体控制单元）60，使得由图1的图像处理部34算出的吸附部分的实际面积的面积比率处于基准面积比率的范围内。

在此情况下，通过相机18对研磨前的玻璃板G进行拍摄，由图像处理部34进行图形处理，由此计算实际面积，算出面积比率。而且，在该玻璃板G与吸附片12一起向剥离部22移动时，通过混合流体控制部60控制喷嘴32、32的喷射量，使得所述面积比率处于基准面积比率的范围内。就此时的混合流体的喷射量而言，优选控制空气的喷射量。

另外，在实施方式的玻璃板研磨装置中，基于来自相机18的图像信息，还实施事先防止玻璃板G的研磨裂纹的对策。即，基于所述图像，当检测出进入到玻璃板G和吸附片12之间的碎玻璃等异物时，停止研磨装置而事先防止玻璃板G产生裂纹。而且，基于所述图像，具体而言，测量所述图像中的相邻的玻璃板G、G间的多处的距离，当检测出玻璃板G以弯曲的姿态吸附于吸附片12、以及相邻的玻璃板G、G以重叠的状态吸附于吸附片12时，停止研磨装置及/或鸣警报，事先防止玻璃板G发生裂纹。另外，所述碎玻璃等异物的混入原因是由于在玻璃板研磨装置投入前的玻璃基板G上附着有碎玻璃等，或由于在由清洗部清洗的吸附片上附着有碎玻璃等。

参照特定的方式对本发明进行了详细的说明，但在不脱离本发明的精神和范围的情况下能够进行各种变更和修正，这对技术人员来说是显而易见的。

Claims (6)

1.一种玻璃板研磨装置的监控方法，其特征在于，包括：

液体涂敷工序，向吸附玻璃板的吸附片涂敷液体；

吸附工序，使玻璃板的非研磨面吸附于涂敷有所述液体的所述吸附片；

研磨工序，研磨吸附于所述吸附片的所述玻璃板的研磨面；

剥离工序，向所述研磨面被研磨了的所述玻璃板和所述吸附片的边界部喷射流体，使所述玻璃板的一部分从所述吸附片剥离；

拍摄工序，对从所述吸附片剥离了一部分的所述玻璃板进行拍摄；及

图像处理工序，对所述拍摄到的所述玻璃板的图像信息进行图像处理，计算相对于所述吸附片的所述玻璃板的吸附部分的面积。

2.根据权利要求1所述的玻璃板研磨装置的监控方法，

还包括为使由所述图像处理工序算出的所述吸附部分的面积成为规定的面积而控制所述液体涂敷工序中的所述液体的涂敷量的液体控制工序。

3.根据权利要求1或2所述的玻璃板研磨装置的监控方法，

还包括为使由所述图像处理工序算出的所述吸附部分的面积成为规定的面积而控制所述剥离工序中的所述流体的喷射量的流体控制工序。

4.一种玻璃板研磨装置的监控系统，其特征在于，包括：

液体涂敷单元，向吸附玻璃板的吸附片涂敷液体；

吸附单元，使玻璃板的非研磨面吸附于涂敷有所述液体的所述吸附片；

研磨单元，研磨吸附于所述吸附片的所述玻璃板的研磨面；

流体喷射单元，向被所述研磨单元研磨了的所述玻璃板和所述吸附片的边界部喷射流体；

拍摄单元，对从所述吸附片剥离了一部分的所述玻璃板进行拍摄；及

图像处理单元，对由所述拍摄单元拍摄到的所述玻璃板的图像信息进行图像处理，计算相对于所述吸附片的所述玻璃板的吸附部分的面积。

5.根据权利要求4所述的玻璃板研磨装置的监控系统，

还包括为使由所述图像处理单元算出的所述吸附部分的面积成为规定的面积而控制由所述液体涂敷单元涂敷的所述液体的涂敷量的液体控制单元。

6.根据权利要求4或5所述的玻璃板研磨装置的监控系统，

还包括为使由所述图像处理单元算出的所述吸附部分的面积成为规定的面积而控制由所述流体喷射单元喷射的所述流体的喷射量的流体控制单元。

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