KR20130035943A - 유리판 연마 장치의 감시 방법 및 감시 시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은 유리판의 파손 발생률을 저감시킬 수 있는 유리판 연마 장치의 감시 방법 및 감시 시스템을 제공한다. 반출부(36)에 있어서의 유리판(G)의 파손을 저감시키기 위해서, 실시 형태에서는, 화상 처리부(34)에서 산출된 실면적이 기준 면적이 되도록 액체 도포부(14)에서의 글리세린의 도포량을 글리세린 제어부(42)에 의해 제어한다. 즉, 액체 도포부(14)에 있어서 도포된 글리세린에 의한 흡착 부분이 박리부(22)에 의해 박리되었을 때에 기준 면적과 대략 동등해지도록 글리세린의 도포량을 글리세린 제어부(42)에 의해 제어한다. 예를 들어, 유리판(G)의 비연마면의 모두를 흡착 시트(12)에 흡착시키는 것이 아니라, 흡착 부분과 비흡착 부분을 구비함과 함께, 상기 흡착 부분을 소정의 에리어로 분할하도록 글리세린 제어부(42)에 의해 글리세린의 도포량을 제어한다.

Description

유리판 연마 장치의 감시 방법 및 감시 시스템{MONITORING METHOD AND MONITORING SYSTEM FOR GLASS PLATE POLISHING APPARATUS}

본 발명은 유리판 연마 장치의 감시 방법 및 감시 시스템에 관한 것이다.

액정 디스플레이, 플라즈마 디스플레이 등에 사용되는 FPD(Flat Panel Display)용의 유리판은 용융 유리를 판형으로 성형하고, 그 후, 절단 장치에 의해 소정 직사각형 크기의 유리판으로 절단된 후, 모따기 장치의 모따기용 지석에 의해 그의 단부면이 모따기 가공된다. 이 후, 상기 유리판은 연마 장치에 의해 표면의 미소한 요철이나 굴곡이 연마 제거됨으로써, FPD용 유리판에서 요구되는 평탄도를 만족시킨 박판 형상의 유리판으로 제조된다. 상기 유리판의 크기로서는 종횡 치수가 1000 mm를 초과하는 것이 주류이며, 그의 두께는 0.7 mm 이하이다.

특허문헌 1에 개시된 연마 장치는 자전 및 공전하는 복수대의 연마구가 유리판의 이동 방향을 따라서 배치되고, 유리판을 이동시키면서 유리판의 연마면을 상기 복수대의 연마구에 의해 연속적으로 연마한다. 상기 유리판은 정반의 상면에 설치된 흡착 시트에 흡착 유지되고, 상기 정반이 구동 장치에 의해 상기 이동 방향으로 이동되는 구성으로 되어 있다.

상기 정반은 루프 형상의 반송로 상을 이동하고, 루프 형상의 반송로에는 흡착부, 연마부, 박리부 및 세정부가 순서대로 설치되어 있다. 연마 전의 유리판은 상기 흡착부에 위치한 정반의 흡착 시트에 그의 비연마면이 흡착 유지되고, 이 후, 정반의 이동에 의해 상기 연마부로 이동되어서 유리판의 연마면이 상기 복수대의 연마구에 의해 연마된다. 그리고, 연마 후의 유리판은 정반에 의해 상기 박리부로 이동된다. 박리부에서는, 유리판과 흡착 시트의 경계부를 향하여 공기와 물의 혼합 유체가 노즐로부터 분사됨으로써 흡착 시트로부터 유리판의 일부가 박리된다. 이 후, 이동 탑재기에 의해 유리판의 연마면이 흡착되어서, 유리판의 모두가 흡착 시트로부터 박리되도록 이동 탑재기가 흡착 시트로부터 이격된다. 흡착 시트로부터 박리된 유리판은 이동 탑재기에 의해 반출부로 이동된다. 유리판이 박리된 정반은 상기 세정부를 통과하는 중에 그 흡착 시트가 세정되고, 다음 유리판을 이동시키기 위한 정반으로서 준비된다.

상기 흡착 시트는 자기 흡착성이 있는 다공질 부재에 의해 구성되어 있는데, 흡착 시트에 흡착되는 유리판의 비연마면의 건조를 방지하거나, 흡착 시트의 자기 흡착성을 높이거나 하기 위해서, 유리판이 액체를 개재하여 흡착 시트에 흡착되어 있다. 특허문헌 2에 개시된 웨이퍼의 연마 방법에서는, 웨이퍼의 비연마면과 웨이퍼 적재용 플레이트 사이에 글리세린 등의 액체를 개재시킴으로써 웨이퍼의 비연마면과 상기 플레이트의 흡착성을 높이고 있다.

일본 특허 공개 제2007-190657호 공보 일본 특허 공개 평6-61203호 공보

그러나, 상기 종래의 연마 장치에서는, 상기 이동 탑재기에 의해 흡착 시트로부터 박리된 유리판에 깨짐, 절결 등의 파손이 발생하고, 그 파손 발생률은 반드시 낮지는 않다는 문제가 있었다.

본 발명은 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것으로서, 유리판의 파손 발생률을 저감시킬 수 있는 유리판 연마 장치의 감시 방법 및 감시 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 상기 목적을 달성하기 위해서, 유리판을 흡착하는 흡착 시트에 액체를 도포하는 액체 도포 공정과, 상기 액체가 도포된 상기 흡착 시트에 유리판의 비연마면을 흡착시키는 흡착 공정과, 상기 흡착 시트에 흡착된 상기 유리판의 연마면을 연마하는 연마 공정과, 상기 연마면이 연마된 상기 유리판과 상기 흡착 시트의 경계부에 유체를 분사하여, 상기 유리판의 일부를 상기 흡착 시트로부터 박리시키는 박리 공정과, 상기 흡착 시트로부터 일부가 박리된 상기 유리판을 촬상하는 촬상 공정과, 상기 촬상된 상기 유리판의 화상 정보를 화상 처리하여 상기 흡착 시트에 대한 상기 유리판의 흡착 부분의 면적을 연산하는 화상 처리 공정을 구비하는 유리판 연마 장치의 감시 방법을 제공한다.

본 발명은 상기 목적을 달성하기 위해서, 유리판을 흡착하는 흡착 시트에 액체를 도포하는 액체 도포 수단과, 상기 액체가 도포된 상기 흡착 시트에 유리판의 비연마면을 흡착시키는 흡착 수단과, 상기 흡착 시트에 흡착된 상기 유리판의 연마면을 연마하는 연마 수단과, 상기 연마 수단에 의해 연마된 상기 유리판과 상기 흡착 시트의 경계부에 유체를 분사하는 유체 분사 수단과, 상기 흡착 시트로부터 일부가 박리된 상기 유리판을 촬상하는 촬상 수단과, 상기 촬상 수단에 의해 촬상된 상기 유리판의 화상 정보를 화상 처리하여 상기 흡착 시트에 대한 상기 유리판의 흡착 부분의 면적을 연산하는 화상 처리 수단을 구비하는 유리판 연마 장치의 감시 시스템을 제공한다.

본원 발명자는 이동 탑재기로 이동되어 온 유리판의 파손 원인을 예의 검토한 결과, 이하의 원인을 밝혀냈다.

우선, 제1 파손 원인은 박리 공정에 있어서 유체 분사 수단으로부터 분사되는 유체의 분사량 과다에 의해, 유리판이 흡착 시트로부터 완전히 박리되는 데에 있다. 즉, 흡착 시트로부터 유리판이 완전히 박리되면, 유체 분사 수단의 위치로부터 이동 탑재기까지의 유리판의 이동 시에, 유리판과 흡착 시트 사이에 있는 액체에 의해 유리판이 액체의 액면 상을 미끄럼 이동하여, 유리판이 흡착 시트에 대하여 위치가 어긋나게 된다. 이 위치 어긋남에 의해 유리판이 이동 탑재기까지의 이동 도중에 존재하는 장치에 충돌하거나, 또는, 이동 탑재기에 대한 유리판의 위치가 소정의 위치로부터 벗어나기 때문에, 유리판과 이동 탑재기가 충돌하여, 유리판이 파손되는 것을 밝혀냈다. 이어서, 제2 파손 원인은 상기 유체 분사 수단으로부터 분사되는 상기 유체의 분사량 과소에 의해, 유리판이 흡착 시트에 견고하게 흡착되어 있는 것에 있다. 이러한 흡착 형태에서 상기 이동 탑재기에 의한 유리판의 흡착 시트로부터의 박리를 행함으로써, 유리판이 파손되는 것을 밝혀냈다.

따라서, 실시 형태에서는, 상기 제1, 제2 파손 원인에 기초하여, 유리판(G)의 파손을 방지하기 위한 면적, 즉, 유체 분사 수단을 통과한 후의 흡착 시트에 대한 유리판의 흡착 부분의 면적(이하, 실면적이라고 함)을 산출하고, 이 실면적에 기초하여, 기준 면적 비율을 실험에 의해 취득하였다.

상기 기준 면적 비율이란 유체 분사 수단의 위치로부터 이동 탑재기의 위치까지의 이동 시에 유리판이 파손되지 않고 이동되기 위한, 유리판의 비연마면의 면적에 대한 상기 실면적의 비율이며, 이동 탑재기에 의해 유리판이 파손되지 않고 흡착 시트로부터 박리되기 위한, 유리판의 비연마면의 면적에 대한 상기 실면적의 비율이다. 본 발명에서는, 기준 면적 비율을 5 내지 12％로 규정한다.

화상 처리 수단은 촬상 수단으로부터의 화상 정보에 기초하여, 유체 분사 공정에서 유체가 분사된 후의, 유리판의 비연마면의 면적과 상기 실면적을 취득함과 함께, 상기 유리판의 비연마면의 면적에 대한 상기 실면적의 면적 비율을 산출한다. 그리고, 상기 면적 비율이 상기 기준 면적 비율의 범위 내인 경우에는, 이동 탑재기에 의한 유리판의 박리를 실행시키고, 상기 면적 비율이 상기 기준 면적 비율의 범위 외인 경우에는 상기 박리를 정지시키도록 감시한다. 이에 의해, 본 발명에 따르면, 유리판의 파손 발생률을 저감시킬 수 있다. 또한, 전술한 상기 면적 비율과 상기 기준 면적 비율의 비교 작업은, 작업자가 육안에 의해 실시해도 되고, 감시 시스템을 통괄 제어하는 제어부에 의해 실시해도 된다.

본 발명의 유리판 연마 장치의 감시 방법은 상기 화상 처리 공정에서 산출된 상기 흡착 부분의 면적이 소정의 면적이 되도록 상기 액체 도포 공정에서의 상기 액체의 도포량을 제어하는 액체 제어 공정을 더 구비하는 것이 바람직하다.

본 발명의 유리판 연마 장치의 감시 시스템은 상기 화상 처리 수단에 의해 산출된 상기 흡착 부분의 면적이 소정의 면적이 되도록 상기 액체 도포 수단에 의한 상기 액체의 도포량을 제어하는 액체 제어 수단을 더 구비하는 것이 바람직하다.

본 발명은 액체 도포 공정에서의 액체에 의한 흡착 부분이 양호한 위치로 되도록 액체의 도포량을 액체 제어 수단에 의해 제어한다.

본 발명의 유리판 연마 장치의 감시 방법은 상기 화상 처리 공정에서 산출된 상기 흡착 부분의 면적이 소정의 면적이 되도록 상기 박리 공정에서의 상기 유체의 분사량을 제어하는 유체 제어 공정을 더 구비하는 것이 바람직하다.

본 발명의 유리판 연마 장치의 감시 시스템은 상기 화상 처리 수단에서 산출된 상기 흡착 부분의 면적이 소정의 면적이 되도록 상기 유체 분사 수단에 의한 상기 유체의 분사량을 제어하는 유체 제어 수단을 더 구비하는 것이 바람직하다.

본 발명은 연마 전의 유리판을 촬상 수단에 의해 촬상하고, 화상 처리 수단에 의해 화상 처리함으로써, 상기 실면적을 연산하여 상기 면적 비율을 산출하고, 그 면적 비율이 상기 기준 면적 비율의 범위에 들어가도록, 박리 공정에서의 유체의 분사량을 유체 제어 수단에 의해 제어한다.

본 발명에 따른 유리판 연마 장치의 감시 방법 및 감시 시스템에 따르면, 유리판의 파손 발생률을 저감시킬 수 있다.

도 1은 실시 형태에 따른 감시 시스템이 내장된 유리판의 연마 장치의 전체 구성을 도시하는 평면도.
도 2는 흡착 시트에 대한 2매의 유리판의 흡착 형태를 도시한 평면도.
도 3은 흡착 시트에 대한 유리판의 기준 면적을 구비한 흡착 부분을 도시한 평면도.
도 4는 흡착 시트에 흡착 패턴을 형성하는 액체 도포부의 구조도.

이하, 첨부 도면에 따라서 본 발명에 따른 유리판 연마 장치의 감시 방법 및 감시 시스템의 바람직한 실시 형태를 상세하게 설명한다.

도 1은 실시 형태에 따른 감시 시스템이 내장된 유리판의 연마 장치(10)의 전체 구성을 도시하는 평면도이다.

동도에서는, 유리판(G)의 비연마면을 흡착 유지하는 흡착 시트(12)의 루프 형상의 반송로가 화살표 A로 나타나 있다. 또한, 흡착 시트(12)는 도시하지 않은 정반의 상면(후술하는 연마구(30)에 대향하는 면)에 설치됨과 함께, 직사각 형상의 2매의 유리판(G)을 흡착 유지 가능한 크기로 구성되어 있다.

상기 반송로에는 반송로의 상류측으로부터 하류측을 향하여 액체 도포부(액체 도포 공정: 액체 도포 수단)(14), 흡착부(흡착 공정: 흡착 수단)(16), 카메라(18), 연마부(연마 공정: 연마 수단)(20), 박리부(박리 공정: 유체 분사 수단)(22), 카메라(촬상 공정: 촬상 수단)(24), 이동 탑재기(26), 세정부(28)가 순서대로 배치되어 있다.

연마부(20)에 있어서 유리판(G)은 유리판(G)의 비연마면이 흡착 시트(12)에 흡착 유지된 상태에서 반송로를 따라서 이동되면서, 반송로를 따라서 지그재그 형상(zigzag alignment)으로 배치된 복수대의 연마구(30, 30…)에 의해 연속적으로 연마된다. 연마 시에 유리판(G)은 도시하지 않은 공급 수단에 의해 연마액이 연마면에 공급되면서, 자전 및 공전 중 적어도 하나로 회전하는 연마구(30, 30…)에 의해 연마면이 연마된다. 그리고, 연마부(20)의 출구에 있어서 유리판(G)은 FPD용 유리판에서 요구되는 평탄도를 만족시킨 박판 형상(두께 0.7 mm 이하)의 유리판(G)으로 제조된다. 또한, 연마부(20)에 배치되는 연마구(30)의 대수는 한정되는 것은 아니고, 또한, 연마구(30)의 배치 형태도 지그재그 형상의 형태에 한정되는 것은 아니다. 즉, 연마부(20)의 형태는 유리판(G)의 크기에 따른 1대의 연마구여도 된다.

연마 종료한 유리판(G)은 연마부(20)로부터 반출되어서 박리부(22)로 이동되고, 여기서, 유리판(G)과 흡착 시트(12)의 경계부를 향해서 2대의 노즐(32, 32)로부터 공기와 물의 혼합 유체(유체)가 분사된다. 분사된 공기와 물의 혼합 유체가 유리판(G)과 흡착 시트(12) 사이의 간극에 인입함으로써, 흡착 시트(12)로부터 유리판(G)의 노즐(32)측의 일부가 박리된다. 또한, 유체는 상기 혼합 유체에 한정되는 것은 아니라, 공기만, 또는 물만이어도 된다. 그러나, 흡착 시트(12)에 대한 유리판(G)의 흡착력을 원활하게 해소하기 위해서는, 상기 혼합 유체가 바람직하다.

상기 일부가 박리된 유리판(G)은 박리부(22)로부터 이동 탑재기(26)를 향해서의 이동 중에, 반송로에 대향하도록 배치된 카메라(24)에 의해 촬상된다. 카메라(24)에 의해 촬상된 유리판(G)의 화상은 화상 처리부(화상 처리 공정: 화상 처리 수단)(34)에 의해 흑백의 2치화 처리가 이루어지고, 흡착 시트(12)에 대한 유리판(G)의 흡착 부분의 실면적(도 3의 에리어 F의 면적)이 산출됨과 함께, 유리판(G)의 비연마면의 면적에 대한 상기 실면적의 면적 비율이 산출된다. 여기서, 상기 실면적이란 박리부(22)를 통과한 후의 흡착 시트(12)에 대한 유리판(G)의 흡착 부분의 실제의 면적이다. 또한, 유리판(G)의 비연마면의 면적도 상기 실면적과 마찬가지로, 화상 처리부(34)에 의한 2치화 처리에 의해 산출할 수 있다.

이동 탑재기(26)의 위치까지 이동된 유리판(G)은 이동 탑재기(26)의 흡착 패드(도시하지 않음)에 유지된 후, 흡착 시트(12)로부터 박리되어서 반출부(36)로 이동된다.

이동 탑재기(26)에 의해 유리판(G)이 박리된 흡착 시트(12)는 세정부(28)를 통과하는 중에 세정액에 의해 세정되고, 다음 유리판(G)을 흡착 유지하기 위해서, 액체 도포부(14)로 이동된다. 여기서 흡착 시트(12)의 유리판(G)을 흡착 유지하는 면은 액체 도포부(14)의 복수의 노즐(후술함)로부터 글리세린(액체)이 도포된다. 액체 도포부(14)에 대해서는 후술한다.

흡착 시트(12)에 글리세린을 도포하는 이유에 대하여 설명한다. 흡착 시트(12)의 흡착면은 자기 흡착성을 구비하고 있지만, 흡착면이 건조되면 자기 흡착성이 약해져서, 유리판(G)의 연마 중에 유리판(G)이 깨질 우려가 있다. 따라서, 상기 흡착면에 흡착 고정되는 유리판(G)의 비연마면의 건조를 방지하거나, 흡착면의 자기 흡착성을 높이거나 하기 위해서는, 건조 방지용 액을 개재하여 유리판(G)을 흡착면에 흡착 고정할 필요가 있기 때문이다.

또한, 액체로서 글리세린을 예시하는데, 물일 수도 있고, 폴리에틸렌글리콜이어도 된다. 그러나, 글리세린은 물보다도 건조되기 어렵기 때문에, 글리세린이 적합하다. 또한, 글리세린은 상기 연마액에 의한 유리판(G)의 테두리부의 오염 방지액으로서도 적합하다.

글리세린이 도포된 흡착 시트(12)는 그 흡착 시트(12)가 설치된 정반에 의해 흡착부(16)에 반송되고, 여기에서 연마 전의 2매의 유리판(G)의 비연마면이 흡착 시트(12)에 흡착되어서 유지된다. 그리고, 상기 2매의 유리판(G)은 흡착 시트(12)가 설치된 정반에 의해 연마부(20)의 입구를 향하여 이동되고, 그 입구에 들어가기 직전에, 반송로의 상방에 배치된 카메라(18)에 의해 촬상된다. 카메라(18)에 의해 촬상된 유리판(G)의 화상은 화상 처리부(34)에 의해 흑백의 2치화 처리가 이루어지고, 흡착 시트(12)에 대한 유리판(G)의 흡착 형태가 모니터(38)에 표시된다. 구체적으로는, 도 2에 도시하는 흡착 시트(12)에 대한 2매의 유리판(G)의 흡착 형태와 같이, 유리판(G)이 흡착 시트(12)에 흡착 유지되어 있는 부분인 흡착 부분(제1 에리어 A, 제2 에리어 B, 제3 에리어 C)이 백색으로, 유리판(G)이 흡착 시트(12)에 흡착 유지되어 있지 않은 부분인 비흡착 부분(제4 에리어 D, 제5 에리어 E)이 흑색으로 도 1의 모니터(38)에 표시된다.

이상과 같이 상기 반송로는 흡착 시트(12)가 액체 도포부(14), 흡착부(16), 연마부(20), 박리부(22) 및 세정부(28)를 순서대로 통과하도록 루프 형상으로 구성되어 있다.

또한, 실시 형태의 흡착 시트(12)는 반송로 상에 복수매 배치되어 있지만, 반송로 상에 배치되는 흡착 시트(12)의 매수는 한정되는 것은 아니다. 또한, 1매의 흡착 시트(12)에 흡착 유지되는 유리판(G)의 매수도 2장에 한정되는 것은 아니라, 유리판(G)의 크기 및 흡착 시트(12)의 크기에 따라서 1장이거나 3장 이상이어도 된다.

그런데, 상기 구성의 연마 장치(10)에 있어서, 본원 발명자들은 이동 탑재기(26)에 의해 반출부(36)로 이동되어 온 유리판(G)의 파손 원인을 예의 검토한 결과, 이하의 원인을 밝혀냈다.

제1 파손 원인은 박리부(22)에 있어서 노즐(32, 32)로부터 분사되는 혼합 유체의 분사량 과다에 의해, 유리판(G)이 흡착 시트(12)로부터 완전히 박리되는 데에 있다. 즉, 흡착 시트(12)로부터 유리판(G)이 완전히 박리되면, 노즐(32)의 위치로부터 이동 탑재기(26)의 위치까지의 유리판(G)의 이동 시에, 유리판(G)과 흡착 시트(12) 사이에 있는 액체에 의해 유리판(G)이 액체의 액면 상에서 미끄럼 이동하여 유리판(G)이 흡착 시트(12)에 대하여 위치가 어긋나게 된다. 이 위치 어긋남에 의해, 유리판(G)이 이동 탑재기(26)까지의 이동 도중에 존재하는 장치에 충돌하거나, 또는, 이동 탑재기(26)에 대한 유리판(G)의 위치가 소정의 위치로부터 벗어나기 때문에, 유리판(G)과 이동 탑재기(26)가 충돌하여 유리판(G)이 파손되는 것을 밝혀냈다.

제2 파손 원인은 노즐(32, 32)로부터 분사되는 혼합 유체의 분사량 과소에 의해, 유리판(G)이 흡착 시트(12)에 견고하게 흡착되어 있는 것에 있다. 이러한 흡착 형태에서 이동 탑재기(26)에 의한 유리판(G)의 흡착 시트(12)로부터의 박리를 행함으로써, 유리판(G)이 파손되는 것을 밝혀냈다.

따라서, 실시 형태에서는, 상기 제1, 제2 파손 원인에 기초하여 유리판(G)의 파손을 방지하기 위한 실면적을 산출하고, 이 실면적에 기초하여 기준 면적 비율을 실험에 의해 취득하였다.

상기 기준 면적 비율이란 노즐(32)의 위치로부터 이동 탑재기(26)의 위치까지의 이동 시에 유리판(G)이 파손되지 않고 이동되기 위한, 유리판(G)의 비연마면의 면적에 대한 실면적(도 3의 에리어 F의 면적)의 비율이며, 이동 탑재기(26)에 의해 유리판(G)이 파손되지 않고 흡착 시트(12)로부터 박리되기 위한, 유리판(G)의 비연마면의 면적에 대한 실면적(도 3의 에리어 F의 면적)의 비율이다. 실시 형태에서는, 기준 면적 비율을 5 내지 12％로 규정한다.

도 3은 박리부(22)를 통과한 흡착 시트(12)에 대한 유리판(G)의, 흡착 부분인 에리어 F가 도시되어 있다. 도 3은 일례로서, 에리어 F는 유리판(G)의 비연마면의 대략 중앙부에 존재하고, 대략 원 형상을 나타내고 있다. 또한, 에리어 F의 면적은 유리판(G)의 크기에 따라 상이하다. 이로 인해, 감시를 행하는 경우에는, 에리어 F의 면적만으로 판단해도 되지만, 유리판(G)의 비연마면의 면적에 대한 에리어 F의 실면적의 면적 비율을 산출하고, 이 면적 비율을 전술한 기준 면적 비율과 비교하여 판단하는 것이 바람직하다.

도 1에 도시한 바와 같이, 실시 형태의 감시 시스템은 유리판(G)의 비연마면의 면적과 실면적을 취득하기 위해서, 카메라(24) 및 화상 처리부(34)를 구비하고 있다. 즉, 유리판(G)과 흡착 시트(12)의 경계부를 향하여 노즐(32, 32)로부터 혼합 유체가 분사되어, 흡착 시트(12)로부터 일부 박리된 후의 유리판(G)은 반송로의 상방에 배치된 카메라(24)에 의해 촬상된다. 촬상된 유리판(G)의 화상 정보는, 화상 처리부(34)에 의해 흑백의 2치화 처리된다. 또한, 화상 처리부(34)는 흡착 부분을 나타내는 백색 화상을 전체 화상으로부터 추출하고, 추출한 백색 화상의 화소수를 카운트함으로써 백색 화상의 면적, 즉, 상기 실면적을 산출한다. 화상 처리부(34)에 의해 2치화 처리된 화상 정보, 상기 백색 화상의 면적, 및 상기 기준 면적은 모니터(38)에 표시되고 있다.

연마 장치(10)를 감시하고 있는 오퍼레이터에 의해 유리판(G)의 파손을 미연에 방지하는 경우에는, 오퍼레이터가 모니터(38)에 표시된 상기 실면적의 면적 비율과 상기 기준 면적 비율을 비교하고, 실면적의 면적 비율이 기준 면적 비율의 범위 내인 경우에는, 이동 탑재기(26)에 의한 유리판(G)의 박리를 실행시키고, 실면적의 면적 비율이 기준 면적 비율의 범위 외인 경우에는, 연마 장치(10) 또는 이동 탑재기(26)를 정지시켜서 이동 탑재기(26)에 의한 유리판(G)의 취출을 정지시킨다. 이에 의해, 실시 형태의 감시 시스템에 의하면, 유리판(G)의 파손 발생률을 저감시킬 수 있다.

한편, 전술한 실면적의 면적 비율과 기준 면적 비율의 비교 작업을, 상기 감시 시스템을 통괄 제어하는 제어부(40)에 의해 실시하는 경우에 대하여 설명하면, 제어부(40)의 기억부에는, 상기 기준 면적 비율(5 내지 12％)이 기재되어 있다. 그리고, 제어부(40)는 상기 실면적의 면적 비율과 기억되어 있는 기준 면적 비율을 비교하고, 실면적의 면적 비율이 기준 면적 비율의 범위 내인 경우에는 이동 탑재기(26)에 의한 유리판(G)의 취출을 실행시키고, 실면적의 면적 비율이 기준 면적 비율의 범위 외인 경우에는 연마 장치(10) 또는 이동 탑재기(26)를 정지시켜서 이동 탑재기(26)에 의한 유리판(G)의 취출을 정지시킨다. 이에 의해, 제어부(40)에 의해서도 유리판(G)의 파손 발생률을 저감시킬 수 있다.

그런데, 유리판(G)의 생산성을 떨어뜨리지 않고, 반출부(36)에 있어서의 유리판(G)의 파손을 보다 한층 저감시키기 위해서는, 화상 처리부(34)에서 산출된 상기 실면적의 면적 비율이 상기 기준 면적 비율의 범위 내로 되도록, 액체 도포부(14)에서의 글리세린의 도포량을 글리세린 제어부(액체 제어 수단)(42)에 의해 제어하는 것이 바람직하다.

즉, 액체 도포부(14)에 있어서 도포된 글리세린에 의한 흡착 부분이 박리부(22)에 의해 박리되었을 때에 기준 면적 비율의 범위 내로 되도록, 글리세린의 도포량을 글리세린 제어부(42)에 의해 제어한다. 즉, 노즐(32, 32)로부터 분사되는 혼합 유체의 분사량과, 글리세린의 도포량을 제어하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 혼합 유체의 분사량은 연마 장치(10)의 라인 스피드가 변경될 때마다 변경된다.

예를 들어, 유리판(G)의 비연마면의 모두를 흡착 시트(12)에 흡착시키는 것이 아니라, 흡착 부분과 비흡착 부분을 구비함과 함께, 상기 흡착 부분을 소정의 에리어로 분할하도록 글리세린 제어부(42)에 의해 흡착 시트(12)에 도포하는 글리세린의 도포량을 제어한다.

구체적으로는, 도 2에 도시한 바와 같이, 유리판(G)이 대향하는 테두리부로부터 유리판(G)의 소정량 내측의 제1 에리어 A, 제2 에리어 B, 및 유리판(G)의 중앙부의 제3 에리어 C로 흡착 부분을 분할하고, 제1 에리어 A와 제3 에리어 C 사이의 제4 에리어 D, 및 제2 에리어 B와 제3 에리어 C 사이의 제5 에리어 E를 비흡착 부분으로 한다.

비흡착 부분의 형성 방법은 제4 에리어 D, 제5 에리어 E에 글리세린을 도포하지 않는 방법도 있지만, 제4 에리어 D, 제5 에리어 E에 대한 글리세린의 도포량을 제1 내지 제3 에리어 A 내지 C의 도포량보다도 많아지도록 제어하여, 제4 에리어 D, 제5 에리어 E의 흡착력을 제1 내지 제3 에리어 A 내지 C의 흡착력보다 저하시키는 방법도 있다. 흡착 시트(12)에 의한 유리판(G)의 흡착력은 소정의 도포량까지는 글리세린의 도포량이 많아짐에 따라서 강해지지만, 소정의 도포량을 초과하면 흡착력은 저하되는 경향이 있기 때문이다.

제1 내지 제3 에리어 A 내지 C의 흡착 형태에 있어서, 박리부(22)의 노즐(32, 32)로부터의 혼합 유체가 유리판(G)과 흡착 시트(12)의 경계부에 분사되면, 그 유체가 유리판(G)과 흡착 시트(12) 사이의 간극에 들어가, 제1 에리어 A, 제2 에리어 B의 흡착력을 해소, 즉 유리판(G)의 제1 에리어 A 및 제2 에리어 B에 대응하는 부분이 흡착 시트(12)로부터 박리함과 함께, 상기 혼합 유체가 제4 에리어 D, 제5 에리어 E를 개재하여 제3 에리어 C의 일부까지 침입함으로써, 제3 에리어 C의 일부분의 흡착력을 해소한다.

이에 의해, 박리부(22)를 통과한 유리판(G)은 유리판(G)의 비연마면의 중앙부에 잔존한 실면적의 흡착 부분에서만 흡착 시트(12)에 흡착 유지된다. 따라서, 도 3에 도시한 흡착 부분의 에리어 F의 실면적의 면적 비율이 상기 기준 면적 비율의 범위 내에 들어가도록 글리세린의 도포량을 제어함으로써, 박리부(22)의 위치로부터 이동 탑재기(26)의 위치까지의 유리판(G)의 이동 시에, 유리판(G)의 위치가 어긋날 일은 없어, 위치 어긋남을 원인으로 하는 유리판(G)의 파손을 방지할 수 있다.

또한, 유리판(G)은 상기 기준 면적 비율의 범위 내의 에리어 F에만 흡착 시트(12)에 흡착되어 있으므로, 이동 탑재기(26)에 의한 유리판의 박리 시에 있어서도, 흡착 시트(12)로부터 원활하게 박리된다. 이에 의해, 이동 탑재기(26)에 의한 박리 시의 유리판(G)의 파손을 방지할 수 있다.

또한, 노즐(32, 32)로부터의 혼합 유체의 분사량은 혼합 유체에 의해 유리판(G)을 파손시키지 않는 최적의 양으로 설정되어 있다. 또한, 글리세린을 개재하여 흡착 시트(12)에 흡착된 유리판(G)은 카메라(18)로 촬상되고 있고, 그 촬상된 화상 정보를 화상 처리부(34)가 2치화 처리함으로써 백색 화상의 면적, 즉, 흡착 부분의 면적이 제어부(40)의 기억부에 기억되어 있다. 제어부(40)는 연마 전의 상기 흡착 부분의 면적과, 박리부(22)를 통과한 상기 에리어 F의 실면적에 기초하여, 에리어 F의 면적 변화를 흡착 시트(12)마다의 데이터로서 기억하고 있다.

이어서, 액체 도포부(14)에 의한 상기 제1 내지 제5 에리어 A 내지 E의 형성 방법의 일례를 설명한다.

도 4와 같이 액체 도포부(14)는 14개의 노즐(44a, 44b, 44c, 44d, 44e, 44f, 44g, 44h, 44i, 44j, 44k, 44l, 44m, 44n)을 구비하고 있다. 이들 노즐(44a 내지 44n)은 화살표 A로 나타내는 흡착 시트(12)의 상대적인 반송 방향과 직교하는 방향으로, 도시하지 않은 가대에 고정됨과 함께, 글리세린 공급관(46)을 통하여 글리세린 공급부(48)에 연결되어 있다. 글리세린 공급부(48)는 필터(50), 유량계(52), 펌프(54) 및 글리세린 탱크(56)로 구성되어 있다. 상기 상대적인 반송 방향은 고정된 노즐(44a 내지 44n)에 대한 흡착 시트(12)의 반송 방향과, 정지된 흡착 시트(12)에 대한 노즐(44a 내지 44n)의 이동 방향의 양쪽을 포함한다.

또한, 노즐(44a 내지 44n)은 각각 전자기 밸브(58a 내지 58n)를 통하여 글리세린 공급관(46)에 연결되어 있고, 이들 전자기 밸브(58a 내지 58n)의 개폐, 및 개폐량이 흡착 시트(12)의 반송 속도에 동기하여 글리세린 제어부(42)에 의해 제어된다.

즉, 흡착 시트(12)의 선두 테두리부(12A)가 노즐(44a 내지 44n)의 하방을 통과하는 타이밍에서 글리세린 제어부(42)가 전자기 밸브(58a 내지 58n)를 개방함과 동시에, 양단부에 위치하는 노즐(44a, 44n)의 전자기 밸브(52a, 52n)의 개방도(개방의 정도)를 다른 전자기 밸브(52b, 52m)의 개방도보다 크게 한다. 이에 의해, 글리세린의 도포량이 흡착에 대하여 최적인 제1 에리어 A가 형성되어 가고, 제1 에리어 A의 양측쪽의 에리어 A', A'에는 글리세린량 과다의 비흡착 부분이 형성되어 간다.

이어서, 제1 에리어 A가 노즐(44a 내지 44n)의 하방을 다 통과한 타이밍에서 글리세린 제어부(42)가 전자기 밸브(58b 내지 58m)의 개방도를 크게 한다. 이에 의해, 글리세린량 과다의 비흡착 부분인 제4 에리어 D가 형성되어 간다.

이어서, 제4 에리어 D가 노즐(44a 내지 44n)의 하방을 다 통과한 타이밍에서 글리세린 제어부(42)가 전자기 밸브(58b 내지 58m)의 개방도를 제1 에리어 A의 형성 시의 개방도로 복귀시킨다. 이에 의해, 제3 에리어 C가 형성되어 가고, 제3 에리어 C의 양측의 에리어 C', C'에는 글리세린량 과다의 비흡착 부분이 형성되어 간다.

이어서, 제3 에리어 C가 노즐(44a 내지 44n)의 하방을 다 통과한 타이밍에서 글리세린 제어부(42)가 전자기 밸브(58b 내지 58m)의 개방도를 크게 한다. 이에 의해, 글리세린량 과다의 비흡착 부분인 제5 에리어 E가 형성되어 간다.

그리고, 제5 에리어 E가 노즐(44a 내지 44n)의 하방을 다 통과한 타이밍에서 글리세린 제어부(42)가 전자기 밸브(58b 내지 58m)의 개방도를 제1, 제3 에리어 A, C의 형성 시의 개방도로 복귀시킨다. 이에 의해, 제2 에리어 B가 형성되어 가고, 제2 에리어 B의 양측의 에리어 D', D'에는 글리세린량 과다의 비흡착 부분이 형성되어 간다.

그리고, 제2 에리어 B가 노즐(44a 내지 44n)의 하방을 다 통과한 타이밍에서 글리세린 제어부(42)가 전자기 밸브(58a 내지 58n)를 폐쇄한다.

이상의 제어 동작에 의해, 도 2에 도시한 원하는 흡착 형태를 실현하기 위한 도포 패턴이 흡착 시트(12)에 형성된다.

또한, 도 2에 도시한 흡착 패턴은 일례로서, 이 흡착 패턴에 한정되는 것은 아니다. 또한, 도 4에 도시한 액체 도포부(14)의 구성도 일례로서, 이 구성에 한정되는 것은 아니다. 즉, 액체 도포부(14)는 유리판(G)의 파손 방지에 적합한 흡착 패턴을 형성할 수 있는 구성이면 된다.

한편, 실시 형태의 감시 시스템에 있어서, 도 1의 화상 처리부(34)에서 산출된 흡착 부분의 실면적의 면적 비율이 기준 면적 비율의 범위 내에 들어가도록 노즐(32, 32)에 의한 혼합 유체의 분사량을 제어하는 혼합 유체 제어부(유체 제어 수단)(60)를 구비하는 것이 바람직하다.

이 경우, 연마 전의 유리판(G)을 카메라(18)에 의해 촬상하고, 화상 처리부(34)에 의해 화상 처리함으로써 실면적을 연산하여 면적 비율을 산출한다. 그리고, 그 유리판(G)이 흡착 시트(12)와 함께 박리부(22)로 이동된 때에, 상기 면적 비율이 기준 면적 비율의 범위 내에 들어가도록 노즐(32, 32)의 분사량을 혼합 유체 제어부(60)에 의해 제어한다. 이 경우의 혼합 유체의 분사량은 공기의 분사량을 제어하는 것이 바람직하다.

또한, 실시 형태의 유리판 연마 장치에서는, 카메라(18)로부터의 화상 정보에 기초하여, 유리판(G)의 연마 깨짐을 사전에 방지하는 대책도 실시하고 있다. 즉, 상기 화상에 기초하여, 유리판(G)과 흡착 시트(12) 사이에 들어간 컬릿 등의 이물질을 검출한 경우에는, 연마 장치를 정지하여 유리판(G)의 깨짐을 사전에 방지하고 있다. 또한, 상기 화상에 기초하여, 구체적으로는 상기 화상에 있어서의 인접하는 유리판(G, G) 사이의 복수 지점의 거리를 계측하여, 흡착 시트(12)에 유리판(G)이 굽어진 자세로 흡착되어 있는 것, 및 인접하는 유리판(G, G)이 겹친 상태에서 흡착되어 있는 것을 검출한 경우에는, 연마 장치를 정지하고 및/또는 경보를 울려서 유리판(G)의 깨짐을 사전에 방지하고 있다. 또한, 상기 컬릿 등의 이물질의 혼입 원인은 유리판 연마 장치 투입 전의 유리 기판(G)에 컬릿 등이 부착되어 있었기 때문, 또는 세정부에서 세정된 흡착 시트에 컬릿 등이 부착되어 있었기 때문이다.

본 발명을 특정한 형태를 참조하여 상세하게 설명했지만, 본 발명의 정신과 범위를 벗어나지 않고 여러 변형 및 수정이 가능한 것은 당업자에 있어서 명확하다.

10: 연마 장치
12: 흡착 시트
14: 액체 도포부
16: 흡착부
18: 카메라
20: 연마부
22: 박리부
24: 카메라
26: 이동 탑재기
28: 세정부
30: 연마구
32: 노즐
34: 화상 처리부
36: 반출부
38: 모니터
40: 제어부
42: 글리세린 제어부
44a 내지 44n: 노즐
46: 글리세린 공급관
48: 글리세린 공급부
50: 필터
52: 유량계
54: 펌프
56: 글리세린 탱크
58a 내지 58n: 전자기 밸브
60: 혼합 유체 제어부

Claims (6)

1. 유리판을 흡착하는 흡착 시트에 액체를 도포하는 액체 도포 공정과,
   상기 액체가 도포된 상기 흡착 시트에 유리판의 비연마면을 흡착시키는 흡착 공정과,
   상기 흡착 시트에 흡착된 상기 유리판의 연마면을 연마하는 연마 공정과,
   상기 연마면이 연마된 상기 유리판과 상기 흡착 시트의 경계부에 유체를 분사하여, 상기 유리판의 일부를 상기 흡착 시트로부터 박리시키는 박리 공정과,
   상기 흡착 시트로부터 일부가 박리된 상기 유리판을 촬상하는 촬상 공정과,
   상기 촬상된 상기 유리판의 화상 정보를 화상 처리하여 상기 흡착 시트에 대한 상기 유리판의 흡착 부분의 면적을 연산하는 화상 처리 공정
   을 구비하는 유리판 연마 장치의 감시 방법.
2. 제1항에 있어서, 상기 화상 처리 공정에서 산출된 상기 흡착 부분의 면적이 소정의 면적이 되도록 상기 액체 도포 공정에서의 상기 액체의 도포량을 제어하는 액체 제어 공정을 더 구비하는 유리판 연마 장치의 감시 방법.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 화상 처리 공정에서 산출된 상기 흡착 부분의 면적이 소정의 면적이 되도록 상기 박리 공정에서의 상기 유체의 분사량을 제어하는 유체 제어 공정을 더 구비하는 유리판 연마 장치의 감시 방법.
4. 유리판을 흡착하는 흡착 시트에 액체를 도포하는 액체 도포 수단과,
   상기 액체가 도포된 상기 흡착 시트에 유리판의 비연마면을 흡착시키는 흡착 수단과,
   상기 흡착 시트에 흡착된 상기 유리판의 연마면을 연마하는 연마 수단과,
   상기 연마 수단에 의해 연마된 상기 유리판과 상기 흡착 시트의 경계부에 유체를 분사하는 유체 분사 수단과,
   상기 흡착 시트로부터 일부가 박리된 상기 유리판을 촬상하는 촬상 수단과,
   상기 촬상 수단에 의해 촬상된 상기 유리판의 화상 정보를 화상 처리하여 상기 흡착 시트에 대한 상기 유리판의 흡착 부분의 면적을 연산하는 화상 처리 수단
   을 구비하는 유리판 연마 장치의 감시 시스템.
5. 제4항에 있어서, 상기 화상 처리 수단에 의해 산출된 상기 흡착 부분의 면적이 소정의 면적이 되도록 상기 액체 도포 수단에 의한 상기 액체의 도포량을 제어하는 액체 제어 수단을 더 구비하는 유리판 연마 장치의 감시 시스템.
6. 제4항 또는 제5항에 있어서, 상기 화상 처리 수단에서 산출된 상기 흡착 부분의 면적이 소정의 면적이 되도록 상기 유체 분사 수단에 의한 상기 유체의 분사량을 제어하는 유체 제어 수단을 더 구비하는 유리판 연마 장치의 감시 시스템.

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