KR20090075629A - 유리 기판의 끝면 연삭 장치 및 그 끝면 연삭 방법 - Google Patents

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KR20090075629A
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나오키 니시무라
쥬우고우 타나카
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니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤
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Abstract

유리 기판(3)에 대하여 상대 이동하면서 유리 기판(3)의 끝면을 연삭하는 회전 숫돌(4)과, 유리 기판(3)의 연삭부 주변에 연삭액(7)을 공급하는 연삭액 공급 수단(6)을 구비한 유리 기판의 끝면 연마 장치(1)로서, 회전 숫돌(4)에 의해 유리 기판(3)의 끝면을 연삭할 때에 비산하는 연삭액(7)에 포함되는 연삭 먼지의 유리 기판(3)의 표면에 걸친 흐름을 차단하는 워터 커튼(9)을 형성하는 물 분출 수단(8)을 설치한다.
유리 기판, 끝면 연삭 장치, 끝면 연삭 방법

Description

유리 기판의 끝면 연삭 장치 및 그 끝면 연삭 방법{END FACE GRINDING APPARATUS, AND METHOD OF GRINDING END FACE, FOR GLASS SUBSTRATE}
본 발명은 유리 기판의 끝면 연삭 장치 및 그 끝면 연삭 방법에 관한 것으로서, 상세하게는 유리 기판의 연삭부에 연삭액을 공급하면서 유리 기판의 끝면을 연삭하는 기술의 개량에 관한 것이다.
주지한 바와 같이, 액정 디스플레이, 플라즈마 디스플레이, 일렉트로루미네선스 디스플레이, 필드에미션 디스플레이 등의 각종 화상 표시 기기용 유리 기판의 제작시에는 복수매의 유리 기판이 1매의 베이스 플레이트 유리(base plate glass)로부터 제조되는 방법이 채용됨에 이르고 있다. 그리고, 이에 따라서 유리 제조 업체 등에서 제조되는 베이스 플레이트 유리는 대형화가 추진되고 있는 것이 현재의 상태이다.
이들 베이스 플레이트 유리는 제조 공정의 종반에 있어서, 유리 기판을 직사각형상이고 또한 소정 크기로 절단한 후에 그 절단 끝면을 연삭하는 처리 등을 행함으로써 최종 제품으로서 얻어진다.
이런 종류의 유리 기판의 끝면을 연삭하는 방법으로서는, 유리 기판의 끝면에 회전 숫돌을 접촉시킨 상태에서 이러한 회전 숫돌을 유리 기판에 대하여 상대 이동시킴으로써 행하여지는 것이 통례이다. 이때, 유리 기판의 연삭부의 과열을 방지하거나, 마찰을 저감시키기 위해서 유리 기판의 연삭부 주변에는 연삭액이 공급되는 것이 통례로 되어 있다. 그러나, 유리 기판의 연삭부 주변에 공급된 연삭액은 연삭액의 공급 방향이나, 회전 숫돌의 회전 방향 등에 기인해서 유리 기판의 표면에도 비산하고, 이 비산한 연삭액에 포함되어 있는 연삭 먼지가 유리 기판의 표면에 부착되어서 유리 기판의 표면이 오염된다고 하는 사태가 발생할 수 있다. 그래서, 이런 종류의 유리 기판의 끝면 연삭 장치에 있어서는 이하에 나타내는 바와 같은 여러 가지 대책이 강구되고 있는 것이 실정이다.
예를 들면, 하기의 특허문헌 1에는 유리 기판의 표면에 하방이 개구된 커버(방진 커버)를 덮어씌워서 그 개방측 끝부를 밀착시킴과 아울러 이 커버를 유리 기판의 표면에 진공 흡착시키고, 이 상태에서 유리 기판의 끝면을 연삭하는 방법이 개시되어 있다. 또한, 동 문헌에는 별도의 구성으로서, 유리 기판의 표면으로부터 이간된 상태에서 유리 기판의 표면을 덮도록 커버(실드팬)를 설치하고, 커버 내부에 공급한 물을 커버와 유리 기판의 간극으로부터 외측으로 유출시키는 방법이 개시되어 있다. 또한, 하기의 특허문헌 2에도 마찬가지의 구성이 개시되어 있고, 커버(후드)와 유리 기판의 간극으로부터 유출된 물을 유리 기판의 끝면을 향해서 흘려보냄으로써 이 유출된 물을 연삭액으로서 이용하는 방법이 제안되어 있다.
그러나, 상기 특허문헌 1이나 특허문헌 2에 개시되는 방법에서는 유리 기판의 표면에 연삭 먼지가 부착되는 것을 방지하기 위해서 커버를 설치할 필요가 있기 때문에 커버를 설치할 공간의 확보나, 커버를 유지할 기구 등이 별도로 필요해진다 는 점에서 장치의 부당한 대형화나 복잡화를 초래함과 아울러 이에 따른 장치 비용의 고등도 초래하게 된다. 또한, 최근 액정 디스플레이용의 유리 기판으로 대표되는 바와 같이, 각종 유리 기판에는 대형화가 추진되고 있다는 점에서도 유리 기판의 표면을 덮는 커버를 보다 대형화할 필요가 있어져 상기 문제는 보다 현저한 것이 되어서 나타난다. 따라서, 이러한 방법은 실용적인 대책으로는 될 수 없다.
그래서, 상기와 같은 커버를 사용하지 않고 연삭 먼지에 의한 유리 기판의 표면 오염을 방지하는 대책이 제안되어 있다.
예를 들면, 하기 특허문헌 3에는 유리 기판의 끝면의 연삭이 실행되는 유리 기판의 연삭부보다 유리 기판의 반송 방향 하류측에 유리 기판의 표면에 걸쳐 유리 기판의 내측으로부터 외측을 향해서 흐르는 수류를 생성하는 물 노즐과, 동 방향으로 흐르는 공기류를 생성하는 공기 노즐을 반송 방향으로 간격을 두고서 설치함으로써, 유리 기판의 끝부에 부착된 연삭 먼지를 수류에 의해 세정한 후에 그 세정수를 공기류에 의해 유리 기판 외측으로 배출하는 방법이 개시되어 있다. 또한, 별도 공기 노즐을 설치하여 유리 기판의 표면에 걸쳐 유리 기판의 내측으로부터 연삭부를 향해서 흐르는 공기류를 생성하는 방법도 개시되어 있다.
또한, 하기 특허문헌 4는 유리 기판의 절삭 장치에 관한 것이지만, 유리 기판의 절삭이 실행되는 절삭부로부터 떨어진 위치에 형성된 워터 커튼에 의해 유리 기판의 표면에 걸쳐 유리 기판의 끝부측(절삭부측)으로 흐르는 수류를 형성하고, 이 수류에 의해 유리 기판의 표면에 대략 직교하도록 분출된 절삭수를 유리 기판의 끝부 바깥쪽으로 배출함으로써 절삭수에 포함되는 연삭 먼지의 유리 기판의 표면으 로의 부착을 방지하는 것이 개시되어 있다.
특허문헌 1 : 일본 특허공개 평10-6195호 공보
특허문헌 2 : 일본 특허공개 평10-58293호 공보
특허문헌 3 : 일본 특허공개 2006-26766호 공보
특허문헌 4 : 일본 특허공개 평11-267940호 공보
그런데, 회전 숫돌 등의 연삭 수단에 의해 유리 기판의 끝면을 연삭할 때에 비산하는 연삭액에 포함되는 연삭 먼지는 유리 기판의 표면에 걸쳐 고속으로 비산하는 경우가 많고, 이러한 경우에는 연삭 먼지가 유리 기판의 표면에 강력하게 접촉해서 유리 기판의 표면에 미소한 흠집이 다수 생길 수 있다. 그리고, 유리 기판의 표면에 부착된 연삭 먼지 자체는 사후적으로 유리 기판을 세정함으로써 제거할 수는 있지만, 연삭 먼지에 의해 유리 기판의 표면에 흠집이 생겼을 경우에는 그 흠집을 제거하는 것은 실질적으로는 불가능하게 된다. 특히, 액정 디스플레이용 유리 기판으로 대표되는 바와 같이, 표면에 높은 평활도가 요구되는 유리 기판에 있어서는 이러한 흠집은 치명적인 결함이 되기 쉽고, 제품 가치의 저하를 초래할 뿐만 아니라 나아가서는 불량품으로서 취급된다고 하는 사태도 초래하게 된다.
따라서, 유리 기판의 끝면을 연삭할 경우에는 연삭 먼지에 의해 유리 기판의 표면에 흠집이 생긴다는 사태를 어떻게 하여 억제할 것인가라고 하는 것이 중요해지지만, 이러한 관점에서 아무런 대책이 강구되고 있지 않은 것이 실정이다. 즉, 상기 특허문헌 3, 4 모두가 연삭 먼지에 의한 유리 기판의 표면의 오염을 방지하는 것을 목적으로 하는 것으로서, 이러한 연삭 먼지에 의해 유리 기판의 표면에 흠집이 생긴다는 사태에 대해서는 조금도 고려되어 있지 않다. 상술하면, 상기 특허문헌 3에 개시된 방법은 유리 기판의 연삭부보다 유리 기판의 반송 방향 하류측에 유리 기판의 표면에 걸치도록 형성된 수류와 공기류에 의해서 유리 기판의 표면에 부착된 연삭 먼지를 유리 기판의 끝부 바깥쪽으로 배출하도록 하고 있기 때문에 유리 기판의 연삭부로부터 비산하는 연삭액에 포함되는 연삭 먼지가 유리 기판의 표면에 걸친 방향으로 강력하게 흐르면서 유리 기판의 표면에 부착되었을 경우에는 부착된 연삭 먼지가 수류와 공기류에 의해 배출되는 단계에서는 이미 유리 기판의 표면에 흠집이 생겨 있을 우려가 있다. 또한, 동 문헌에 개시되어 있는 바와 같이, 유리 기판의 연삭부를 향해서 별도 공기류를 형성했다고 하여도 연삭액에 포함되는 연삭 먼지의 유리 기판에 걸친 흐름을 적확하게 차단하는 것은 곤란하여 여전히 연삭 먼지에 의해 유리 기판의 표면에 흠집이 생길 우려가 있다.
한편, 상기 특허문헌 4에 개시된 방법으로서는 유리 기판의 표면에 대하여 대략 직교하게 분출된 절삭수에 대하여, 워터 커튼에 의해 형성된 유리 기판의 표면에 걸친 수류를 접촉시키고 있기 때문에 절삭수가 유리 기판의 표면에 걸친 방향으로 가속되면서 흐를 우려가 있다. 그리고, 이러한 사태가 발생했을 경우에는 절삭수에 포함되는 연삭 먼지가 유리 기판의 표면에 스치면서 강력하게 접촉하여 유리 기판의 표면에 흠집이 생길 우려가 있다.
본 발명은 연삭시에 비산하는 연삭액에 포함되는 연삭 먼지에 의해 유리 기판의 표면에 흠집이 생긴다고 하는 사태를 확실하게 억제하는 것을 기술적 과제로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해서 창안된 본 발명에 따른 제 1 장치는 유리 기판에 대하여 상대 이동하면서 유리 기판의 끝면을 연삭하는 연삭 수단과, 유리 기판의 연삭부 주변에 연삭액을 공급하는 연삭액 공급 수단을 구비한 유리 기판의 끝면 연삭 장치에 있어서, 상기 연삭 수단에 의해 유리 기판의 끝면을 연삭할 때에 비산하는 연삭액에 포함되는 연삭 먼지의 유리 기판의 표면에 걸친 흐름을 차단하도록 물을 분출하는 물 분출 수단을 구비하고 있는 것에 특징이 있다.
이러한 장치에 의하면, 연삭시에 비산하는 연삭액에 포함되는 연삭 먼지는 물 분출 수단으로부터 분출된 물에 의해 유리 기판의 표면에 걸친 흐름이 차단된다. 즉, 연삭 먼지의 유리 기판의 표면에 걸친 이동 속도는 물 분사 수단으로부터 분출된 물과 접촉한 후에 저하하게 된다. 따라서, 가령 연삭액에 포함되는 연삭 먼지가 유리 기판의 표면에 도달했다고 하여도 그 연삭 먼지가 강력하게 유리 기판의 표면에 접촉하는 일이 없어지므로 유리 기판의 표면에 흠집이 생긴다는 사태를 확실하게 억제할 수 있게 된다. 또한, 비산하는 연삭 먼지를 포함한 연삭액은 물 분출 수단으로부터 분출된 물과 접촉함으로써 희석화되고, 그 결과로서 연삭 먼지와 유리 기판의 표면 사이에 액체가 충분히 개재되게 되므로 연삭 먼지가 유리 기판의 표면과 접촉할 확률 자체를 저감시킬 수도 있게 된다.
또한, 상기 과제를 해결하기 위해서 창안된 본 발명에 따른 제 2 장치는 유리 기판에 대하여 상대 이동하면서 유리 기판의 끝면을 연삭하는 연삭 수단과, 유리 기판의 연삭부 주변에 연삭액을 공급하는 연삭액 공급 수단을 구비한 유리 기판의 끝면 연삭 장치에 있어서, 상기 연삭 수단에 의해 유리 기판의 끝면을 연삭할 때에 연삭 먼지를 포함한 상태에서 비산하는 연삭액에 대하여 물을 분출하고, 상기 분출한 물과 접촉한 후의 연삭 먼지의 유리 기판의 표면에 걸친 이동 속도를 저하시키는 물 분출 수단을 구비하고 있는 것에 특징이 있다.
이러한 장치에 의하면, 연삭시에 비산하는 연삭액에 포함되는 연삭 먼지는 물 분출 수단에 의해 분출된 물과 접촉한 후에 그 유리 기판의 표면에 걸친 이동 속도가 저하된다. 따라서, 가령 연삭 먼지가 유리 기판의 표면에 도달했다고 하여도 그 연삭 먼지가 강력하게 유리 기판의 표면에 접촉하는 일이 없어지므로 유리 기판의 표면에 흠집이 생긴다고 하는 사태를 확실하게 억제할 수 있게 된다. 또한, 비산하는 연삭 먼지를 포함한 연삭액은 물 분출 수단으로부터 분출된 물과 접촉함으로써 희석화되고, 그 결과로서 연삭 먼지와 유리 기판의 표면 사이에 액체가 충분히 개재되게 되므로 연삭 먼지가 유리 기판의 표면과 접촉할 확률 자체를 저감시킬 수도 있게 된다.
상기 장치에 있어서, 상기 물 분출 수단은 유리 기판의 내측으로부터 유리 기판의 끝부를 향해서 물을 경사지게 한 상태에서 분출하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
이와 같이 하면, 물 분출 수단으로부터 분출된 물에 의해 이동 속도가 저하된 연삭 먼지(연삭 먼지를 포함하는 연삭액)를 유리 기판의 끝부 바깥쪽으로 원활하게 배출할 수 있고, 유리 기판의 표면을 청정한 상태로 유지할 수 있게 된다.
상기 장치에 있어서, 상기 물 분출 수단으로부터 분출된 물은 워터 커튼을 형성하고 있는 것이 바람직하다.
이와 같이 하면, 비산한 연삭액에 포함되는 연삭 먼지와, 물 분출 수단으로부터 분출된 물(워터 커튼)이 확실하게 접촉하므로 연삭 먼지에 의한 유리 기판 표면으로의 흠집의 발생을 보다 확실하게 억제할 수 있게 된다.
상기 장치에 있어서, 상기 연삭 수단이 유리 기판의 표면과 직교하는 축을 중심으로 해서 회전하는 회전 숫돌로 구성되고, 또한 그 회전 방향이 유리 기판의 연삭부에 있어서 상기 회전 숫돌에 대한 유리 기판의 이동 방향과 역방향이 되는 방향인 것이 바람직하다.
이와 같이 하면, 연삭해야 할 유리 기판의 판두께가 매우 얇은 경우라도 그 끝면에 모따기 등의 연삭을 원활하고 또한 확실하게 실행할 수 있다. 구체적으로는, 예를 들면 회전 숫돌의 연삭면을 단면 원호상의 오목부로 함으로써 단일한 회전 숫돌로 유리 기판 끝면의 R 모따기를 실행할 수 있게 된다.
이 경우, 상기 연삭액 공급 수단은 유리 기판의 연삭 완료 영역측으로부터 유리 기판의 연삭부 주변을 향해서 연삭액을 분출하도록 구성되고, 또한 상기 물 분출 수단은 유리 기판의 미연삭 영역에 중점적으로 물을 분출하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
연삭액은 유리 기판의 과열을 방지하거나, 마찰을 저감시킨다고 하는 기능을 갖기 때문에 유리 기판의 연삭부에 적확하게 공급하는 것이 바람직하고, 상기한 바와 같이 회전 숫돌을 배치했을 경우(특히 회전 숫돌의 연삭면을 단면 원호상의 오목부로 했을 경우)에는 유리 기판의 연삭 완료 영역측으로부터 유리 기판의 연삭부 주변을 향해서 연삭액을 분출함으로써 유리 기판의 연삭부에 적확하게 연삭액을 적확하게 공급할 수 있게 된다. 이때, 공급된 연삭액은 회전 숫돌의 회전 방향(유리 기판의 연삭부에 있어서 회전 숫돌에 대한 유리 기판의 이동 방향과 역방향이 되는 방향)에 기인해서 유리 기판의 미연삭 영역측으로 강력하게 비산한다. 그래서, 물 분출 수단으로부터 이 미연삭 영역에 물을 중점적으로 분출함으로써 연삭액에 포함되는 연삭 먼지에 의한 유리 기판 표면으로의 흠집의 발생을 확실하게 억제할 수 있게 된다.
상기 과제를 해결하기 위해서 창안된 본 발명에 따른 제 1 방법은, 유리 기판의 연삭부 주변에 연삭액을 공급하면서 연삭 수단을 유리 기판에 대하여 상대 이동시켜서 유리 기판의 끝면을 연삭하는 유리 기판의 끝면 연삭 방법에 있어서, 상기 연삭 수단에 의해 유리 기판의 끝면을 연삭할 때에 비산하는 연삭액에 포함되는 연삭 먼지의 유리 기판의 표면에 걸친 흐름을 차단하도록 물을 분출하는 것에 특징이 있다.
이러한 방법에 의하면, 상기 단락 <19>에 기재한 사항과 같은 작용 효과를 향수할 수 있다.
또한, 상기 과제를 해결하기 위해서 창안된 본 발명에 따른 제 2 방법은, 유리 기판의 연삭부 주변에 연삭액을 공급하면서 상기 연삭 수단을 유리 기판에 대하여 상대 이동시켜서 유리 기판의 끝면을 연삭하는 유리 기판의 끝면 연삭 방법에 있어서, 상기 연삭 수단에 의해 유리 기판의 끝면을 연삭할 때에 연삭 먼지를 포함한 상태에서 비산하는 연삭액에 대하여 물을 분출하고, 상기 분출된 물과 접촉한 후의 연삭 먼지의 유리 기판의 표면에 걸친 이동 속도를 저하시키는 것에 특징이 있다.
이러한 방법에 의하면, 상기 단락 <21>에 기재한 사항과 같은 작용 효과를 향수할 수 있다.
(발명의 효과)
이상과 같이 본 발명에 의하면, 물 분출 수단으로부터 분출된 물에 의해 연삭시에 비산하는 연삭액에 포함되는 연삭 먼지의 유리 기판의 표면에 걸친 이동 속도가 저하되므로 가령 연삭 먼지가 유리 기판 표면에 접촉했을 경우라도 유리 기판의 표면에 흠집이 생긴다고 하는 사태를 적확하게 억제할 수 있게 된다.
도 1은 본 발명의 실시형태에 따른 유리 기판의 끝면 연삭 장치의 전체 구성을 나타내는 개략 평면도이다.
도 2는 상기 끝면 연삭 장치의 요부를 나타내는 개략 사시도이다.
도 3은 상기 끝면 연삭 장치의 변형예를 나타내는 개략 사시도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1 : 끝면 연삭 장치 3 : 유리 기판
4 : 회전 숫돌 5 : 연삭부
6 : 연삭액 공급 수단 7 : 연삭액
8 : 물 분출 수단 9 : 워터 커튼
이하, 본 발명의 실시형태를 첨부 도면을 참조해서 설명한다.
우선, 도 1에 나타내는 개략 평면도에 의거하여 본 발명의 일실시형태에 따른 유리 기판의 끝면 연삭 장치의 전체 구성을 설명한다. 또한, 본 실시형태에서는 유리 기판은 액정 디스플레이용 유리 기판으로 한다.
동 도면에 나타내는 바와 같이, 이 끝면 연삭 장치(1)는 상류측 반송 수단(2A)에 의해 유리 기판(3)을 수평 자세로 수평 방향(동 도면의 우측 방향)으로 반송함과 아울러 그 하류측에 인접하는 선회 수단(2X)에 의해 유리 기판(3)을 90°수평 선회시키며, 또한 그 하류측에 인접하는 하류측 반송 수단(2B)에 의해 수평 선회 후의 유리 기판(3)을 같은 방향으로 반송하는 구성으로 되어 있다. 또한, 상류측 반송 수단(2A)과 하류측 반송 수단(2B)은 실질적으로 동일한 구성을 구비하고 있으므로 하기에서는 상류측 반송 수단(2A)에 대해서 구체적으로 설명하고, 하류측 반송 수단(2B)에 대해서는 구체적인 설명을 생략한다.
상류측 반송 수단(2A)은 유리 기판(3)을 예를 들면 진공 흡착 등에 의해 위치 결정된 상태에서 반송할 수 있도록 구성되어 있다. 또한, 이 상류측 반송 수단(2A) 상에 위치 결정된 상태에서 반송되는 유리 기판(3)의 좌우 양 측방(반송 방향과 직교하는 방향의 양 측방)에는 연삭 수단으로서의 1쌍의 회전 숫돌(4)이 설치되어 있다. 그리고, 각 회전 숫돌(4)에 의해 연삭되는 유리 기판(3)의 연삭부(5) 주변에는 연삭액 공급 수단(6)으로부터 연삭액(예를 들면 순수)(7)이 공급되도록 되어 있다.
상술하면, 상기 회전 숫돌(4)은 유리 기판(3)의 표면에 대하여 직교하는 축 을 중심으로 해서 회전하도록 구성되어 있고, 그 회전 방향은 유리 기판(3)의 연삭부(5)에 있어서 유리 기판(3)의 반송 방향과 역방향이 되는 방향(반송 방향의 하류측으로부터 상류측을 향하는 방향)으로 되어 있다. 또한, 도면에 나타내지 않았지만 회전 숫돌(4)의 외주면(연삭면)은 본 실시형태에서는 단면 대략 원호상의 오목부를 나타내고, 유리 기판(3)의 끝면을 한번에 R 모따기하도록 구성되어 있다.
또한, 상기 연삭액 공급 수단(6)은 유리 기판(3)의 반송 방향에 있어서의 회전 숫돌(4)보다 하류측(유리 기판(3)의 연삭 완료 영역측)으로부터 유리 기판(3)의 연삭부(5)와 접촉하기 직전의 회전 숫돌(4)의 연삭면을 향해서 유리 기판의 표면과 대략 평행하게 연삭액(7)을 분출하도록 구성되어 있다. 이렇게 하면, 유리 기판(3)의 연삭부(5)에 원활하게 연삭액(7)을 공급할 수 있게 되어 유리 기판의 끝면 연삭을 안정되게 행할 수 있다.
한편, 이렇게 유리 기판(3)의 연삭부(5) 주변에 공급된 연삭액(7)은 연삭 먼지를 포함한 상태에서 유리 기판(3)의 연삭부(5) 주변으로부터 그 내측의 중앙부를 향해서 대체로 유리 기판(3)의 표면에 걸치도록 강력하게 비산한다. 그래서, 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 유리 기판(3)의 양 끝부에 각각 물 분출 수단(8)을 설치하고, 이 물 분출 수단(8)으로부터 물을 유리 기판(3)의 끝부를 향해서 분출함으로써 물 분출 수단(8)의 선단과 유리 기판(3)의 끝부 사이에 워터 커튼(9)을 형성하고 있다. 상술하면, 이 워터 커튼(9)은 비산하는 연삭액(7)에 포함되는 연삭 먼지의 유리 기판(3)의 표면에 걸친 흐름을 차단하도록 연삭액(7)에 포함되는 연삭 먼지의 유리 기판(3)의 표면에 걸친 흐름 방향과 교차하는 방향(도면의 예에서는 유리 기판(3)의 끝변과 대략 평행한 방향)에 걸쳐 형성되어 있다. 이렇게 하면, 연삭부(5) 주변으로부터 비산하는 연삭액(7)에 포함되는 연삭 먼지의 유리 기판(3)의 표면에 걸친 흐름은 워터 커튼(9)에 의해 차단된다. 즉, 연삭 먼지의 유리 기판(3)의 표면에 걸친 이동 속도는 연삭 먼지(연삭 먼지를 포함한 연삭액(7))가 워터 커튼(9)과 접촉한 후에 저하되게 된다. 따라서, 가령 연삭액(7)에 포함되는 연삭 먼지가 유리 기판(3)의 표면에 도달했다고 하여도 그 연삭 먼지가 강력하게 유리 기판(3)의 표면에 접촉하는 경우가 없어지므로, 유리 기판(3)의 표면에 흠집이 생긴다고 하는 사태를 확실하게 억제할 수 있게 된다. 또한, 비산하는 연삭 먼지를 포함한 연삭액(7)은 워터 커튼(9)(물 분출 수단(8)으로부터 분출된 물)과 접촉함으로 희석화되고, 그 결과로서 연삭 먼지와 유리 기판(3)의 표면 사이에 액체가 충분히 개재되게 되므로 연삭 먼지가 유리 기판(3)의 표면과 접촉할 확률 자체를 저감시킬 수도 있게 된다. 또한, 물 분출 수단(8)으로부터 분출되는 물의 수량은 예를 들면 4∼6ℓ/분으로 설정된다.
또한, 본 실시형태에서는 워터 커튼(9)은 유리 기판(3)의 내측 상방으로부터 유리 기판(3)의 끝부를 향해서 비스듬히 하방으로 물을 분출함으로써 형성되어 있다. 따라서, 워터 커튼(9)에 의해 유리 기판(3)의 표면에 걸친 이동 속도가 저감된 연삭 먼지를 포함하는 연삭액(7)을 유리 기판(3)의 끝부 바깥쪽으로 적절하게 배출할 수 있어 유리 기판(3)의 표면을 청정한 상태로 유지할 수 있게 된다. 보다 구체적으로는, 유리 기판(3)의 끝부를 향해서 워터 커튼(9)을 형성함으로써 액정 디스플레이용 유리 기판의 중앙부에 형성되는 유효면에 흠집이 생기는 것을 적확하게 방지하고, 또한 그 유효면을 청정한 상태로 유지할 수 있다.
또한, 이 실시형태에서는 워터 커튼(9)은 회전 숫돌(4)의 하류측의 영역(유리 기판(3)의 연삭 완료 영역)보다 그 상류측의 영역(유리 기판(3)의 미연삭 영역)쪽이 장척이 되도록 유리 기판(3)의 끝부와 대략 평행하게 형성되어 있다. 이것은 유리 기판(3)의 표면과 직교하는 축을 중심으로 해서 회전하는 상기 회전 숫돌(4)에 의해 연삭액(7)이 유리 기판의 상류측 영역에 많이 비산하기 때문에 이러한 영역(미연삭 영역)에 중점적으로 물을 공급하기 위해서이다.
또한, 본 발명은 이하에 나타내는 바와 같은 여러 가지 변형이 가능하다.
예를 들면, 상기 실시형태에서는 유리 기판(3)의 상면측에만 물 분출 수단(8)을 설치한 것을 설명했지만, 필요에 따라서 유리 기판(3)의 하면측에도 물 분출 수단을 설치해도 좋다.
또한, 상기 실시형태에서는 유리 기판(3)의 끝부와 대략 평행하게 워터 커튼(9)을 형성하는 것을 설명했지만, 예를 들면 도 3에 나타내는 바와 같이 워터 커튼(9a)을 유리 기판(3)의 끝변과 평행한 선과 교차하도록 형성해도 좋다. 이렇게 하면, 워터 커튼(9a)은 유리 기판(3)의 끝부에 대하여 그 폭방향으로 어느 정도의 폭을 가지고서 물을 분출함으로써 형성되게 되므로 유리 기판(3)의 반송 경로 상에 있어서의 요동을 억제하고, 안정된 자세로 유리 기판(3)을 반송할 수 있게 된다.
또한, 상기 실시형태에서는 유리 기판(3)을 반송하면서 그 반송 경로의 측방에 고정 설치된 연삭 수단(회전 숫돌(4))으로 유리 기판(3)의 끝면을 연삭하는 것을 설명했지만, 예를 들면 유리 기판을 고정한 상태에서 연삭 수단을 유리 기판의 연삭해야 할 끝부에 걸쳐서 이동시켜도 좋고, 또는 유리 기판과 연삭 수단 쌍방을 상대 이동시키도록 해도 좋다. 이렇게, 연삭 수단을 이동시키는 경우에는 연삭액 공급 수단과, 물 공급 수단 쌍방을 연삭 수단과 함께 이동할 수 있게 구성하는 것이 바람직하다. 또한, 회전 숫돌을 연삭해야 할 유리 기판의 끝부에 걸쳐서 복수개 인접시켜서 연삭 수단을 구성해도 좋다. 이 경우, 각 회전 숫돌에 대응하는 위치에 연삭액 공급 수단과, 물 공급 수단을 각각 설치하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 실시형태에서는 액정용 디스플레이용 유리 기판의 끝면을 연삭하는 경우를 예로 들어서 설명했지만, 본 발명에 따른 유리 기판의 끝면 연삭 장치 및 그 방법은 액정 디스플레이용 유리 기판 이외에 플라즈마 디스플레이, 일렉트로루미네선스 디스플레이, 필드에미션 디스플레이 등의 각종 화상 표시 기기용 유리 기판이나, 각종 전자 표시 기능 소자나 박막을 형성하기 위한 기재로서 사용되는 유리 기판과 같이, 표면에 높은 평활도가 요구되는 유리 기판의 끝면 연삭시에도 적합하게 이용할 수 있다.

Claims (8)

  1. 유리 기판에 대하여 상대 이동하면서 유리 기판의 끝면을 연삭하는 연삭 수단과, 유리 기판의 연삭부 주변에 연삭액을 공급하는 연삭액 공급 수단을 구비한 유리 기판의 끝면 연삭 장치에 있어서:
    상기 연삭 수단에 의해 유리 기판의 끝면을 연삭할 때에 비산하는 연삭액에 포함되는 연삭 먼지의 유리 기판의 표면에 걸친 흐름을 차단하도록 물을 분출하는 물 분출 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 끝면 연삭 장치.
  2. 유리 기판에 대하여 상대 이동하면서 유리 기판의 끝면을 연삭하는 연삭 수단과, 유리 기판의 연삭부 주변에 연삭액을 공급하는 연삭액 공급 수단을 구비한 유리 기판의 끝면 연삭 장치에 있어서:
    상기 연삭 수단에 의해 유리 기판의 끝면을 연삭할 때에 연삭 먼지를 포함한 상태에서 비산하는 연삭액에 대하여 물을 분출하여, 그 분출된 물과 접촉한 후의 연삭 먼지의 유리 기판의 표면에 걸친 이동 속도를 저하시키는 물 분출 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 끝면 연삭 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 물 분출 수단은 유리 기판의 내측으로부터 유리 기판의 끝부를 향해서 물을 경사지게 한 상태에서 분출하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 끝면 연삭 장치.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 물 분출 수단으로부터 분출된 물은 워터 커튼을 형성하고 있는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 끝면 연삭 장치.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 연삭 수단은 유리 기판의 표면과 직교하는 축을 중심으로 해서 회전하는 회전 숫돌로 구성되고, 또한 그 회전 방향은 유리 기판의 연삭부에 있어서 상기 회전 숫돌에 대한 유리 기판의 이동 방향과 역방향이 되는 방향인 것을 특징으로 하는 유리 기판의 끝면 연삭 장치.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 연삭액 공급 수단은 유리 기판의 연삭 완료 영역측으로부터 유리 기판의 연삭부 주변을 향해서 연삭액을 분출하도록 구성되고, 또한 상기 물 분출 수단은 유리 기판의 미연삭 영역에 중점적으로 물을 분출하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 끝면 연삭 장치.
  7. 유리 기판의 연삭부 주변에 연삭액을 공급하면서 연삭 수단을 유리 기판에 대하여 상대 이동시켜서 유리 기판의 끝면을 연삭하는 유리 기판의 끝면 연삭 방법에 있어서:
    상기 연삭 수단에 의해 유리 기판의 끝면을 연삭할 때에 비산하는 연삭액에 포함되는 연삭 먼지의 유리 기판의 표면에 걸친 흐름을 차단하도록 물을 분출하는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 끝면 연삭 방법.
  8. 유리 기판의 연삭부 주변에 연삭액을 공급하면서 연삭 수단을 유리 기판에 대하여 상대 이동시켜서 유리 기판의 끝면을 연삭하는 유리 기판의 끝면 연삭 방법에 있어서:
    상기 연삭 수단에 의해 유리 기판의 끝면을 연삭할 때에 연삭 먼지를 포함한 상태에서 비산하는 연삭액에 대하여 물을 분출하여, 그 분출된 물과 접촉한 후의 연삭 먼지의 유리 기판의 표면에 걸친 이동 속도를 저하시키는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 끝면 연삭 방법.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101311922B1 (ko) * 2011-07-19 2013-09-26 (주)미래컴퍼니 글래스 패널 에지 연마장치
KR101963718B1 (ko) * 2019-01-14 2019-03-29 박선욱 곡면 유리 제조 장치
KR20190132333A (ko) * 2019-11-21 2019-11-27 주식회사 케이엔제이 오염물질의 비산이 방지되는 기판 연마장치

Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5142297B2 (ja) * 2009-06-19 2013-02-13 信越化学工業株式会社 ペリクル
JP5678959B2 (ja) * 2010-08-03 2015-03-04 坂東機工株式会社 ガラス板加工装置
CN102672569A (zh) * 2011-03-07 2012-09-19 吴江市中信科技有限公司 一种抛光机
CN102350661A (zh) * 2011-06-30 2012-02-15 浙江星星瑞金科技股份有限公司 一种超薄玻璃边角加工方法及专用cnc刀具
US9573239B2 (en) * 2011-08-29 2017-02-21 First Solar, Inc. Apparatus and method employing a grinder wheel coolant guard
CN103813995B (zh) * 2011-09-22 2016-11-09 电化株式会社 硬质基板层叠体的加工方法及板状制品的制造方法
US20130130597A1 (en) * 2011-11-21 2013-05-23 James William Brown Glass treatment apparatus and methods of treating glass
JP6014443B2 (ja) * 2012-09-27 2016-10-25 中村留精密工業株式会社 板材辺縁の研削加工装置
US20140099866A1 (en) * 2012-10-09 2014-04-10 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. Dust protection method for glass substrate edge polishing machine
CN102873609B (zh) * 2012-10-09 2015-03-11 深圳市华星光电技术有限公司 玻璃基板磨边机的防尘方法
JP2016083738A (ja) * 2014-10-28 2016-05-19 日本電気硝子株式会社 板ガラスの研削方法
CN104589178A (zh) * 2014-12-24 2015-05-06 常熟市梅李镇亚贸玻璃配件厂 玻璃磨边方法
CN104526496A (zh) * 2014-12-24 2015-04-22 常熟市梅李镇亚贸玻璃配件厂 新型玻璃磨边工艺
CN104450144A (zh) * 2014-12-24 2015-03-25 常熟市梅李镇亚贸玻璃配件厂 玻璃磨边工艺
CN104647160A (zh) * 2015-01-16 2015-05-27 苏州市智诚光学科技有限公司 一种手机玻璃盖板棱抛专用工具
WO2016152932A1 (ja) 2015-03-24 2016-09-29 ＡｖａｎＳｔｒａｔｅ株式会社 ガラス基板の製造方法
JP6510866B2 (ja) * 2015-04-13 2019-05-08 ＡｖａｎＳｔｒａｔｅ株式会社 ガラス基板の製造方法
CN107160265A (zh) * 2016-03-07 2017-09-15 蓝思科技（长沙）有限公司 一种显示面板的连续外弧面的成型方法
JP6687892B2 (ja) * 2016-05-16 2020-04-28 日本電気硝子株式会社 板ガラスの製造方法
CN106736956A (zh) * 2016-12-07 2017-05-31 重庆景登科技有限公司 切割同时打磨边缘的标牌切割打磨一体机
CN107322406B (zh) * 2017-08-04 2019-11-19 京东方科技集团股份有限公司 一种基板防污罩及基板磨边设备
CN107855928B (zh) * 2017-12-13 2020-09-22 无锡威克莱科技有限公司 一种玉石加工用切面平滑的多层磨盘装置
KR20190124545A (ko) * 2018-04-26 2019-11-05 주식회사 케이엔제이 오염물질의 비산이 방지되는 기판 연마장치

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0569318A (ja) * 1991-09-09 1993-03-23 Asahi Glass Co Ltd 板状材の面取り方法及びその装置
JP3534201B2 (ja) * 1994-11-25 2004-06-07 旭硝子株式会社 ガラス板の周縁研削装置
JPH1144877A (ja) * 1997-07-24 1999-02-16 Nec Kagoshima Ltd 基板洗浄装置
JP2001087998A (ja) * 1999-09-16 2001-04-03 Nippon Electric Glass Co Ltd 板ガラスの研削方法及び研削装置
JP4507365B2 (ja) * 2000-08-07 2010-07-21 凸版印刷株式会社 基板端面洗浄装置
JP3953915B2 (ja) * 2002-08-22 2007-08-08 日本板硝子株式会社 ガラス板端面の研削条件決定方法及びガラス板端面の加工方法
JP2005153059A (ja) * 2003-11-25 2005-06-16 Sharp Corp 板研磨装置及びアクティブマトリクス基板の製造方法
CN1626310A (zh) * 2003-12-09 2005-06-15 三星康宁精密琉璃株式会社 玻璃基板边缘研磨系统及其方法
JP2006026766A (ja) * 2004-07-13 2006-02-02 Nakamura Tome Precision Ind Co Ltd 硬質脆性板の側辺加工装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101311922B1 (ko) * 2011-07-19 2013-09-26 (주)미래컴퍼니 글래스 패널 에지 연마장치
KR101963718B1 (ko) * 2019-01-14 2019-03-29 박선욱 곡면 유리 제조 장치
KR20190132333A (ko) * 2019-11-21 2019-11-27 주식회사 케이엔제이 오염물질의 비산이 방지되는 기판 연마장치

Also Published As

Publication number Publication date
JP2008087135A (ja) 2008-04-17
CN101500749A (zh) 2009-08-05
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TW200817134A (en) 2008-04-16
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