CN1626310A - 玻璃基板边缘研磨系统及其方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种玻璃基板边缘研磨系统。本发明的玻璃基板边缘研磨系统，具有：用于研磨由第1及第2搬运装置搬运的玻璃基板的侧面边缘的第1及第2研磨装置，以及从供给输送装置向第1搬运装置上传送玻璃基板的第1转送单元。此外，具有在将玻璃基板传送到第1搬运装置上之前预先调整玻璃基板的预调整装置。另外，还设有在第1研磨装置的上游侧切削玻璃基板的角部的角切削用装置。

Description

玻璃基板边缘研磨系统及其方法

技术领域

本发明涉及一种玻璃基板边缘研磨系统及其方法，更具体地涉及能够稳定输送大型玻璃基板并精密研磨玻璃基板边缘的玻璃基板边缘研磨系统及其方法。

背景技术

通常，液晶显示装置用的玻璃基板的加工过程是，在从熔化炉中将熔化的玻璃水供给熔融成型机，通过温度调节将经过熔化成型器均匀流动的玻璃制造成玻璃基板后，按初级规格切断后，在其表面上涂敷保护膜，搬运到玻璃基板加工线上，进行加工。在玻璃基板加工线上，再次将玻璃基板切断成符合液晶显示装置的规格的尺寸，研磨切断时形成的锐利的玻璃基板的4个边，在4个角上分别进行倒角加工和方位表示(Orientation Mark)后，用于制造薄膜晶体管(Thin FilmTransistor)。

以往技术的液晶显示装置用的玻璃基板边缘研磨系统，具有：通过操作者手动作业搬入已搭载的玻璃基板的栓柱型输送机(PegConveyor)、传送由栓柱型输送机搬入的玻璃基板的供给用辊式输送机、与供给用辊式输送机连接并传送玻璃基板的第1夹送带式输送机、研磨由第1夹送带式输送机传送来的玻璃基板2个边的第1研磨装置。此外，还具有将由第1研磨装置研磨了的玻璃基板旋转90度的旋转装置、从旋转装置接受玻璃基板后传送的第2夹送带式输送机、研磨由第2夹送带式输送机传送来的玻璃基板其余2个边的第2研磨装置、进行倒角和方角表示加工的倒角装置、搬出玻璃基板的排出用辊式输送机。

在如此构成的以往技术的液晶显示装置用的玻璃基板边缘研磨系统中，由于第1及第2研磨装置对利用第1及第2夹送带式输送机上下夹紧传送方向的两侧端而传送来的玻璃基板的4个边进行研磨，因此出现玻璃基板的传送误差，频繁发生倒角不良。不仅如此，由于玻璃基板的直线性及垂角度的维持困难，所以不能够满足质量要求，存在大大降低生产率的问题。特别是，在利用第1及第2夹送带式输送机传送大型玻璃基板的情况下，由于在玻璃基板的中央，发生因重量造成的应变变形，因此不适合大型玻璃基板的传送。因此，当务之急，是开发能够稳定供给最近急速大型化的玻璃基板的、能够精密研磨的玻璃基板边缘研磨系统。此外，以往技术的液晶显示装置用的玻璃基板边缘研磨系统的构成复杂，并且配置成一列的总长非常长，存在需要大的设置空间的问题。

发明内容

因此，本发明是为解决如此的以往的问题而提出的，目的是提供一种能够稳定地输送大型玻璃基板并精密研磨玻璃基板边缘的玻璃基板边缘研磨系统及其方法。

为达到上述的目的，本发明的一种玻璃基板边缘研磨系统，包括：供给输送装置，搬入被切断成大致四角形的规定尺寸的玻璃基板；系统主体，与上述供给输送装置串联配置，在顶端部和后端部分别提供玻璃基板的搬入位置和搬出位置、第1研磨位置和第2研磨位置，在上述第1研磨位置和第2研磨位置之间，提供转动玻璃基板的转动位置；第1搬运装置，在上述搬入位置和转动位置之间运动；第2搬运装置，在上述转动位置和搬出位置之间运动；第1转送单元，向上述第1搬运装置传送上述供给输送装置上的玻璃基板；第1研磨装置，在上述第1研磨位置研磨由上述第1搬运装置搬运的玻璃基板的侧面边缘；旋转装置，在上述旋转位置将上述第1搬运装置上的玻璃基板旋转大致90度，放置在上述第2搬运装置上；第2研磨装置，在上述第2研磨位置研磨由上述第2搬运装置搬运的玻璃基板的侧面边缘。

此外，本发明的研磨玻璃基板的边缘的方法，包括：搬入并供给玻璃基板的步骤；调整被供给的玻璃基板的第1调整步骤；搬运由上述第1调整步骤调整过的玻璃基板的第1搬运步骤；研磨通过上述第1搬运步骤搬运的玻璃基板的侧面边缘的第1研磨步骤；将经过上述第1研磨步骤的玻璃基板旋转大致90度的旋转步骤；搬运在上述旋转步骤大致90度旋转的玻璃基板的第2搬运步骤；研磨通过上述第2搬运步骤搬运的玻璃基板的侧面边缘的第2研磨步骤。

如果根据本发明，液晶显示装置用的玻璃基板边缘研磨系统及其方法，除了能够稳定且准确进行玻璃基板的传送和研磨、能够制造出高质量的玻璃基板之外，还能够得到提高生产率的效果。此外，能够与玻璃基板的尺寸对应，在广范围内使用，不仅能够研磨大型玻璃基板，还具有结构及配置简单、缩小设置空间的效果。

附图说明

图1a及图1b是表示利用本发明的玻璃基板边缘研磨系统研磨的玻璃基板的主视图及剖视图。

图2是表示本发明的玻璃基板边缘研磨系统研磨的主视图。

图3是表示从本发明的玻璃基板边缘研磨系统中卸除第1及第2研磨装置和旋转装置后的俯视图。

图4是表示本发明的玻璃基板边缘研磨系统中的供给输送装置及第1转送单元的主视图。

图5是表示第1转送单元的夹紧部件的俯视图。

图6是图4的主视图。

图7是供给输送装置的俯视图。

图8是本发明的供给输送装置的制动器的剖视图。

图9是表示本发明的玻璃基板边缘研磨系统中的系统主体和第1及第2搬运装置、第1及第2研磨装置、以及旋转装置的配置的主视图。

图10是表示本发明的玻璃基板边缘研磨系统中的系统主体的俯视图。

图11是图13的主视图。

图12是表示本发明的第1搬运装置的俯视图。

图13是表示本发明的玻璃基板边缘研磨系统中的系统主体和第1搬运装置、第1定心装置、第1研磨装置的配置的主视图。

图14是表示第1研磨装置的横断传送台的主视图。

图15是图14的俯视图。

图16示表示第1研磨装置的第1及第2研磨单元的主视图。

图17是图16的俯视图。

图18是局部放大表示第1研磨装置中的冷却单元和校正组件的工作的剖视图。

具体实施方式

以下，参照附图详细说明本发明的优选的实施例。

图1a及图1b～图18，是表示用于说明本发明的玻璃基板边缘研磨系统及其方法的图。

首先，参照图1a及图1b说明，在利用本发明的玻璃基板边缘研磨系统研磨的玻璃基板10上，具有2个短边11和2个长边12。另外，在研磨过的玻璃基板10的角部，形成3个倒角部13和1个方位表示部14。此外，在利用本发明的玻璃基板边缘研磨系统研磨的玻璃基板10的上面，涂敷保护用薄膜15。如此的玻璃基板10，能够用作例如液晶显示装置。

如果参照图2、图3、图7及图8，本发明的玻璃基板边缘研磨系统，具有搬入玻璃基板10的供给输送装置20。在供给输送装置20上设置宽度较窄、长度较长的框架21及传送玻璃基板10的带式输送装置60。带式输送装置60由配置在驱动轴61中央的中心带式输送装置62和配置在该中心带式输送装置62两侧的第1侧带式输送装置63和第2侧带式输送装置64构成。

在供给输送装置20的玻璃基板传送方向的后端部，设置有调整由带式输送装置60传送来的玻璃基板10的预调整装置。预调整装置具有在玻璃基板10的传送方向的前方侧配置的一对第1制动器71、在玻璃基板10的传送方向的一侧配置的一对第2制动器72、在玻璃基板10的传送方向的另一侧配置的推压构件73。由供给输送装置20传送来的玻璃基板10被第1制动器71停止，通过推压构件73抵抗着第2制动器72推压玻璃基板10，调整玻璃基板10。如此，通过在用后述的第1转送单元1100将玻璃基板10传送到第1搬运装置200上之前预调整玻璃基板10，在将玻璃基板10放置在第1搬运装置上时，能够防止因玻璃基板的错误对准而损伤的可能性，此外，能够更容易进行在第1搬运装置上的玻璃基板10的调整作业。如图8所示，第1制动器71、第2制动器72及推压构件73的接触玻璃基板10的部分，最好是具有断面形状为在上方被锥形化的形状。从而，在利用第1转送单元1100的夹紧部件1120提起玻璃基板的时候，能够防止与第1制动器71、第2制动器72及推压构件73接触。

在供给输送装置20上由预调整装置调整的玻璃基板10，被第1转送单元1100传送到位于后述的系统主体150的搬入位置的第1搬运装置200上。

如果参照图2及图4～图6，第1转送单元1100具有附在垂直的2个柱1101上端的纵向传送台1110，在纵向传送台1110上设置沿着通过传送电机1111的驱动而转动的传送螺旋轴1112直线运动的滑架1113。在滑架1113的一侧安装着升降气缸1114，在升降气缸1114上可动作地连结着夹紧玻璃基板10的夹紧部件1120。夹紧部件1120的夹紧用板1121的上面中央被固定在升降气缸1114的活塞杆1114a上，在夹紧用板1121的四周延长形成具有槽1122a的一对支架1122。另外，在支架1122的槽1122a上，分别安装着可移动的真空垫片1123。在纵向的传送台1110的顶端和后端，分别安装着限制滑架1113运动的第1制动器1130a和第2制动器1130b。

如果参照图2及图3以及图9～图11，在供给输送装置20的下游侧串联排列着系统主体150。以系统主体150的上表面中央为中心，垂直排列着4个柱151，在柱151的上端设置有安装板152。在系统主体150的顶端部(上游侧)分别提供玻璃基板10的搬入位置和第1研磨位置，在后端部(下游侧)分别提供搬出位置和第2研磨位置。另外，在系统主体150的第1研磨位置和第2研磨位置的之间，提供使玻璃基板10旋转90度的旋转位置。

在系统主体150的上面，沿玻璃基板10的传送方向并列附设着一对导轨190，在导轨190上设置有在系统主体150的搬入位置和旋转位置之间运动的第1搬运装置200。第1搬运装置200具有沿着导轨190传送的底板210和工作台220。工作台220包括：沿着玻璃基板10的传送方向相互并列固定在底板210的上表面中央的第1固定台架221和第2固定台架222，以及在第1固定台架221及第2固定台架222的两侧以能够调节横向间隔的方式并列配置的第1活动台架223和第2活动台架224。在第1固定台架221及第2固定台架222和第1活动台架223及第2活动台架224上，形成多个空气孔225及水孔233，通过空气孔225有选择地喷射或者吸入空气，通过水孔233喷射水。即，在进行已放置在工作台220上的玻璃基板10的调整作业时，为了容易进行调整作业，通过空气孔225喷射空气、通过水孔233喷射水，如此能够将玻璃基板10从工作台220仅浮动规定距离。从而，也能够容易地调整尺寸大的大型玻璃基板。另外，为了研磨玻璃基板10的边缘，在第1搬运装置200移动以通过第1研磨装置的时候，通过空气孔225，吸引力作用，玻璃基板10能够被吸附在工作台220上。从而，将玻璃基板10固定在工作台220上。此外，在第1固定台架221及第2固定台架222和第1活动台架223及第2活动台架224的上面，附设着用于防止玻璃基板10的损伤、并辅助真空吸附的海绵垫226。

第1搬运装置200还具有配置在第1活动台架223及第2活动台架224的下面的两端上、辅助第1活动台架223及第2活动台架224的直线运动的导向部件240。导向部件240包括在底板210的上面固定的导轨241和沿着该导轨241直线运动且固定在第1活动台架223及第2活动台架224的下面的滑子242。第1搬运装置200的第1活动台架223及第2活动台架224，由夹紧部件250限制移动。夹紧部件250包括：固定在第1活动台架223及第2活动台架224的外侧的固定部件251，被横向固定在与该固定部件251相对应的位置的底板210的上面、并形成有槽252a的导向部件252，沿着导向部件252的槽252a移动并以防止从槽252b脱离的方式安装的锁紧螺母253，贯通固定部件251并连结在锁紧螺母253上的夹紧把手254。在固定部件251的附近位置，安装能够测定第1活动台架223及第2活动台架224的位置的定尺255。在图中，表示4个导向部件240和4个夹紧部件250分别设在底板210的角部，但这些设置个数及位置可以根据需要适当变更。

第1搬运装置200通过第1传送装置260沿着导轨190、在系统主体150的搬入位置和旋转位置之间运动。第1传送装置260：从系统主体150的顶端部到中央部、沿着玻璃基板10的传送方向同导轨190并列配置的传送螺旋轴261，以及沿着该传送螺旋轴261运动、被固定在底板210的下面的传送螺母263。

如图10～图12所示，在底板210的后端部设有从玻璃基板10去除异物的喷射部件270，喷射部件270具有在底板210的横向排列的、喷射水的多个喷嘴271。在系统主体150的搬入位置和旋转位置，分别安装着限制第1搬运装置200的传送的第1制动器280a及第2制动器280b、和感知第1搬运装置200的位置并控制传送电机262的驱动的第1传感器281a及第2传感器281b。

如图2、图9及图13所示，本发明的玻璃基板边缘研磨系统中，在系统主体150的第1研磨位置上具有第1研磨装置500，该第1研磨装置500执行由第1搬运装置200传送来的玻璃基板10的传送方向的两侧边部例如2个短边11的研磨工序。

如图9、图13～图17所示，第1研磨装置500具有在安装板152的顶端以在横断方向设置的横断传送台501，在横断传送台501的前面上下方并列设置着导轨502。在横断传送台501的导轨502上，以规定的间隔分隔设置有第1研磨单元510和第2研磨单元550。第1研磨单元510和第2研磨单元550分别包括传送电机511、551，通过传送电机511、551驱动而转动的传送螺旋轴512、522，具有沿着传送螺旋轴512、522运动的传送螺母513a、553a的滑架513、553。在滑架513、553的一侧，垂直安装着导轨514、554，在导轨514、554上安装着直线运动的滑块515、555。滑块515、555通过螺栓515a、555a的连结限制滑架513、553的移动。滑架513、553由接近螺旋轴512、522的两端安装的第1制动器516a、556a和第2制动器516b、556b限制其运动，在第1制动器517a和第2制动器557a的附近位置，分别安装着感知滑架513、553的位置并控制传送电机511、551的驱动的第1传感器517a、557a和第2传感器517b、557b。

在滑块515、555的一侧设有主轴电机518、558，在主轴电机518、558上可工作地连结有旋转运动的第1研磨轮520及第2研磨轮560。在第1研磨轮520及第2研磨轮560的外周，沿着圆周方向、按相同间隔形成研磨玻璃基板10的5个研磨槽521、561。第1研磨轮520及第2研磨轮560由金刚石制成，通过主轴电机518、558的驱动而旋转，研磨进入研磨槽521、561中的1个槽中的玻璃基板10的短边11。然后，第1研磨轮520及第2研磨轮560的外侧由盖522、562覆盖。

第1研磨单元510及第2研磨单元550的滑块515、555，通过升降调节机构530、570，沿着导轨514、554上下直线运动，从而微调第1研磨轮520及第2研磨轮560对玻璃基板10的研磨位置。升降调节机构530、570包括：微测量头531、571，通过该微测量头531、571的调节而转动的调节螺旋轴532、572，固定在滑块515、555的一侧并沿着调节螺旋轴532、572运动的传送螺母533、573。如果操作者调节升降调节机构530、570的微测量头531、571使调节螺旋轴532、572转动，则传送螺母533、573运动，沿着导轨514、554升降滑块515、555，通过与此并行的第1研磨轮520及第2研磨轮560的升降，微调研磨槽521、561对玻璃基板10的位置。结果，第1研磨轮520及第2研磨轮560的寿命延长。利用度盘指示器534、574测定由微测量头531、571的调节决定的第1研磨轮520及第2研磨轮560的研磨位置。

如图2、图16及图17所示，在覆盖第1研磨单元510及第2研磨单元550的第1研磨轮520及第2研磨轮560的盖520、562的一侧，设置冷却第1研磨轮520及第2研磨轮560的冷却单元540、580。冷却单元540、580的喷嘴541、581以从上方大致45度的角度对第1研磨轮520及第2研磨轮560的研磨槽521、561喷射冷却水。由此，通过经冷却单元540、580的喷嘴541、581的冷却水的喷射，能够防止第1研磨轮520及第2研磨轮560的劣化及玻璃基板10的烧损。另外，在靠近第1研磨轮520及第2研磨轮560一侧的位置设置修整机构545、585的喷嘴546、586，用于周期性地向研磨槽521、561喷射压缩空气。通过修整机构545、585的喷嘴546、586喷射的压缩空气，消除玻璃屑造成的研磨槽521、561的堵塞或不畅。

如图3所示，在第1研磨装置500的上游侧，设置第1角切削用装置500a。该角切削用装置5000a分别与通过第1搬运装置200传送的玻璃基板10的顶端及后端的角部接触，用于在玻璃基板10的角部形成3个倒角部13及方位表示部14，由于其结构与研磨装置500类似，因此对其结构的说明省略，关于其运转情况，见后述。

此外，优选在第1研磨装置500的下游侧设置边缘抛光装置500b，以便更光滑地研磨由第1研磨装置500研磨过的边缘。由于边缘抛光装置500b的结构也与第1研磨装置500的结构相同，因此对其结构的说明省略。但是，边缘抛光装置500b采用精度比研磨装置的研磨轮高的研磨轮。

如果参照图2及图3，本发明的玻璃基板边缘研磨系统具有旋转装置600，其配设在系统主体150的旋转位置，用于使经过第1研磨装置500的研磨工序的玻璃基板10旋转90度。

如果参照图2及图3，在系统主体150的导轨190上，设置在旋转位置和搬出位置的之间运动的第2搬运装置700。由于第2搬运装置700的结构及作用与第1搬运装置200相同，因此对结构及作用与第1搬运装置200相同的第2搬运装置700的详细说明省略。

如果参照图2及图3，本发明的玻璃基板边缘研磨系统在系统主体150的第2研磨位置具有第2研磨装置1000，用于进行由第2搬运装置800传送来的玻璃基板10的传送方向的两侧端例如2个长边12的研磨工序。由于第2研磨装置1000的结构及作用与第1研磨装置500相同，因此对结构及作用与第1研磨装置500相同的第2研磨装置1000的详细说明省略。

此外，优选在第2研磨装置1000的下游侧设置边缘抛光装置500b，以便更光滑地研磨由第2研磨装置1000研磨过的边缘。

另外，如果参照图3，设置判断玻璃基板10的研磨结束后例如在系统主体150的搬出位置的4个角部是否有玻璃基板10的侧面边缘加工的异常的LVDT(linear variable differential transformer)及/或监控装置750。LVDT通过测定玻璃基板10的侧面4个角部的位置来判断是否良好地研磨了玻璃基板10的侧面边缘，监控装置通过观测玻璃基板10的4个角来判断玻璃基板10的4个角的加工状态。

如果参照图2及图3，本发明的玻璃基板边缘研磨系统具有第2输送装置1100，其配置在系统主体150的下游侧，用于从系统主体150的搬出位置搬出经过了第2研磨装置1000的研磨工序的玻璃基板10。由于第2输送装置1100的结构及作用与第1转送单元1100相同，因此附加相同的附图标记，并省略对其的说明。

以下，说明采用本发明的液晶显示装置用的玻璃基板边缘研磨系统及其研磨方法的实施。

如果从供给输送装置20将玻璃基板10传送过来后，利用预调整装置调整玻璃基板10，驱动第1转送单元1100的升降气缸1114使活塞杆1114a前进，夹紧板1121下降使真空垫片1123与玻璃基板10的上表面接触。通过夹紧板1121的真空垫片1123，真空吸附玻璃基板10的上表面。如果在此状态下，驱动升降气缸1114，则活塞杆1114a后退，夹紧板1121上升。然后，如果驱动传送电机111使传送螺旋轴1112转动，滑架1113沿着纵向的传送台1110向后端传送。滑架1113的传送被安装在纵向的传送台1110后端的第2制动器1130b挡住而停止。在滑架1113停止后，通过驱动升降气缸1114活塞杆1114a前进，夹紧板1121下降，直到玻璃基板10抵接在第1搬运装置200的工作台220上。接着，通过去除夹紧板1121的真空垫片1123的真空吸引力，将玻璃基板10传递到第1搬运装置200的工作台220上。然后，通过升降气缸1114的驱动，夹紧板1121上升。

如果参照图12，在将玻璃基板10搭载在第1搬运装置200的工作台220上后，利用第1定心装置300进行调整。此时，通过空气孔225及水孔233分别喷射空气和水，玻璃基板10成为从工作台220稍微浮动的状态。

再参照图12，如果通过定心装置300的动作玻璃基板10被调整，则通过分别形成在第1搬运装置200的第1固定台架221及第2固定台架222和第1活动台架223及第2活动台夹224上的吸气孔225吸入空气，玻璃基板10被真空吸附在海绵垫226上。

如图10及图11所示，如果驱动第1传送装置260的传送电机262使传送螺旋轴261旋转，则传送螺母262沿着传送螺旋轴261运动，将第1搬运装置200从系统主体150的搬入位置移送到第1研磨位置。

参照图13～图18，当第1搬运装置200到达系统主体150的第1研磨位置时，玻璃基板10的传送方向的顶端的角部就与角切削用装置500a的研磨轮(未图示)接触，角切削用装置500a、第1研磨单元及第2研磨单元(未图示)通过传送电机的驱动分别向玻璃基板10的两侧移动，从而在玻璃基板顶端的角部形成倒角部13。然后，玻璃基板10的两侧端部分别与通过第1研磨装置500的主轴电机518、558的驱动而转动的第1研磨轮520及第2研磨轮560的研磨槽521、561接触。此外，如果角切削用装置500a的研磨轮接近玻璃基板10的传送方向的后端，则研磨轮通过传送电机的驱动朝横向的传送台501的中央传送。从而，也在玻璃基板的传送方向的后端的角部形成倒角部13。因此，能够利用角切削用装置500a的研磨轮在玻璃基板10的传送方向的角部形成倒角部13，通过第1研磨轮及第2研磨轮的研磨，能够分别研磨例如2个短边11。冷却单元540、580的喷嘴541、581向第1研磨单元510及第2研磨单元550的研磨槽521、561上喷射冷却水，来防止第1研磨轮520及第2研磨轮560的劣化及玻璃基板10的烧损。修整机构545、585的喷嘴546、586，向第1研磨单元510及第2研磨单元550的研磨槽521、561周期性地喷射压缩空气，消除玻璃屑造成的研磨槽521、561的堵塞或不畅。另外，设在第1搬运装置200的后端的喷射部件270的喷嘴271，向玻璃基板10喷射水，以去除研磨产生的玻璃粉。

在如此的第1角切削用轮的研磨工作中，相对于搭载在第1搬运装置200上传送的玻璃基板10的传送速度，将一对角切削用轮的移送速度调节成互不相同，则如图1a及1b所示，在玻璃基板10的传送方向的顶端的角部形成倒角部13和方角显示部14。玻璃基板10的方角显示部14由包角轮中的移送速度相对慢的一方形成。

再参照图10及图11，当第1搬运装置200通过系统主体150的第1研磨位置后到达旋转位置，则第1搬运装置200的底板210就被第2制动器280b挡住，通过感知第1搬运装置200位置的第2传感器281b的控制，传送电机262的驱动停止。

如图2及图3所示，第1搬运装置200的传送在系统主体150的旋转位置停止后，玻璃基板10通过旋转装置600旋转90度，从而使原来长边12朝传送方向的玻璃基板10的短边11朝传送方向。

如果再参照图10及图11，在通过旋转装置600的驱动使玻璃基板10升高的过程中，第1搬运装置200从系统主体150的旋转位置返回到搬入位置。在第1搬运装置200返回后，利用第2传送装置760的传送电机762的驱动将第2搬运装置700从系统主体150的搬出位置向旋转位置传送。然后，如果利用旋转装置600使玻璃基板10放置在第2搬运装置700上，则将第2搬运装置700从系统主体150的旋转位置向第2研磨位置传送。被传送的玻璃基板10分别与第2研磨装置1000的第1研磨轮及第2研磨轮的研磨槽接触。第2研磨装置1000的第1研磨轮及第2研磨轮，通过与第1研磨装置500的第1研磨单元510及第2研磨单元550同样的动作，研磨玻璃基板10的2个长边12。

如果采用本发明，在玻璃基板10的研磨结束后，例如通过利用在系统主体150的搬出位置的4角部设置的LVDT测定玻璃基板10的尺寸，判断有无加工异常。LVDT通过测定玻璃基板10的4个角部的位置，判断玻璃基板10的侧面边缘是否被良好地研磨。

如图2及图3所示，在第2研磨装置1000被传送到系统主体150的搬出位置后，由第2输送装置1100搬送到搬出装置1200上。

以上的内容只不过是例示本发明的优选实施例的内容，本发明在权利要求书中所公开的本发明的范畴内，能够进行多种变更及修正。

Claims (15)

1.一种玻璃基板边缘研磨系统，其特征在于，包括：

供给输送装置，搬入被切断成大致四角形的规定尺寸的玻璃基板；

系统主体，与上述供给输送装置串联配置，在顶端部和后端部分别提供玻璃基板的搬入位置和搬出位置、第1研磨位置和第2研磨位置，在上述第1研磨位置和第2研磨位置之间，提供转动玻璃基板的转动位置；

第1搬运装置，在上述搬入位置和转动位置之间运动；

第2搬运装置，在上述转动位置和搬出位置之间运动；

第1转送单元，向上述第1搬运装置传送上述供给输送装置上的玻璃基板；

第1研磨装置，在上述第1研磨位置研磨由上述第1搬运装置搬运的玻璃基板的侧面边缘；

旋转装置，在上述转动位置将上述第1搬运装置上的玻璃基板旋转大致90度，放置在上述第2搬运装置上；

第2研磨装置，在上述第2研磨位置研磨由上述第2搬运装置搬运的玻璃基板的侧面边缘。

2.如权利要求1所述的玻璃基板边缘研磨系统，其特征在于，还具有将用上述第2研磨装置研磨完的玻璃基板从上述第2搬运装置传递到排出装置上的第2转送单元。

3.如权利要求1所述的玻璃基板边缘研磨系统，其特征在于，上述第1转送单元真空吸附上述供给输送装置上的玻璃基板，并传送到上述第1搬运装置上。

4.如权利要求2所述的玻璃基板边缘研磨系统，其特征在于，上述第2转送单元真空吸附上述第2搬运装置上的玻璃基板，并传递到上述传送输送装置上。

5.如权利要求1所述的玻璃基板边缘研磨系统，其特征在于，还具有用于在上述第1研磨位置切削由上述第1搬运装置搬运的玻璃基板的角部的角切削用装置。

6.如权利要求1所述的玻璃基板边缘研磨系统，其特征在于，上述供给输送装置具有在将玻璃基板传送到上述第1搬运装置上之前调整玻璃基板的预调整装置。

7.如权利要求6所述的玻璃基板边缘研磨系统，其特征在于，上述预调整装置具有：在上述供给输送装置的玻璃基板传送方向的后端部及一侧部设置的制动器，和设在另一侧部的推压构件。

8.如权利要求1所述的玻璃基板边缘研磨系统，其特征在于，还具有用于测定已研磨的玻璃基板尺寸的LVDT。

9.如权利要求1所述的玻璃基板边缘研磨系统，其特征在于，还具有用于确认已研磨的玻璃基板的倒角部及方位表示部的监控装置。

10.如权利要求1所述的玻璃基板边缘研磨系统，其特征在于：上述第1及第2搬运装置分别具有在调整玻璃基板时使放置在其上面的玻璃基板浮动的水喷射机构。

11.如权利要求1所述的玻璃基板边缘研磨系统，其特征在于：

上述第1及第2研磨装置分别具有：

横向的传送台；

第1及第2研磨单元，按规定间隔分离地设置在上述横向的传送台上，分别具有沿着通过传送电机的驱动而转动的传送螺旋轴直线运动的滑架、和设在上述滑架的一侧且通过主轴电机的驱动而转动的第1及第2研磨轮；以及

升降调节机构，使上述第1及第2研磨轮升降。

12.一种玻璃基板边缘研磨方法，用于研磨玻璃基板的边缘，其特征在于，包括：

搬入并供给玻璃基板的步骤；

调整被供给的玻璃基板的第1调整步骤；

搬运由上述第1调整步骤调整过的玻璃基板的第1搬运步骤；

研磨通过上述第1搬运步骤搬运的玻璃基板的侧面边缘的第1研磨步骤；

将经过上述第1研磨步骤的玻璃基板旋转大致90度的旋转步骤；

搬运在上述旋转步骤大致90度旋转的玻璃基板的第2搬运步骤；

研磨通过上述第2搬运步骤搬运的玻璃基板的侧面边缘的第2研磨步骤。

13.如权利要求12所述的玻璃基板边缘研磨方法，其特征在于，还具有在供给上述玻璃基板之前预先调整玻璃基板的预调整步骤。

14.如权利要求12所述的玻璃基板边缘研磨方法，其特征在于：上述玻璃基板的供给是通过真空吸附玻璃基板进行的。

15.如权利要求12所述的玻璃基板边缘研磨方法，其特征在于，还具有在上述玻璃基板的第2研磨步骤后测定被研磨的玻璃基板的尺寸的尺寸测定步骤。

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