JPH1177537A

JPH1177537A - ワイヤソー

Info

Publication number: JPH1177537A
Application number: JP9236175A
Authority: JP
Inventors: Toshihide Tachibana; 利英橘
Original assignee: Nippei Toyama Corp
Current assignee: Nippei Toyama Corp
Priority date: 1997-09-01
Filing date: 1997-09-01
Publication date: 1999-03-23

Abstract

(57)【要約】【課題】スラリ除去装置の構造が簡単であるととも
に、洗浄液等の消耗品を必要としないで、ワイヤに付着
しているスラリを確実に清掃除去することができるワイ
ヤソーを提供する。【解決手段】加工用ローラ１５，１６，１７から巻取
りリール２６に至るワイヤ１８の走行経路に、小径のス
ラリ分離ローラ３７を回転自在に配設する。スラリ分離
ローラ３７の外周にワイヤ１８を巻回し、ワイヤ１８の
走行時に、スラリ分離ローラ３７の回転に伴う遠心力に
より、ワイヤ１８上からスラリを飛散分離させる。スラ
リ分離ローラ３７の外側にスラリ回収用カバー３８を配
設し、ワイヤ１８上から飛散分離したスラリを周囲への
飛散を遮断して回収する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ワイヤを用い
て、半導体材料、磁性材料、セラミック等の硬脆材料よ
りなるワークに対し、切断等の加工を施すワイヤソーに
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、この種のワイヤソーにおいて
は、複数の加工用ローラが所定間隔おきに配設され、そ
れらのローラの外周には複数の環状溝が所定ピッチで形
成されている。また、各加工用ローラ間において、環状
溝には１本のワイヤが順に巻回されている。そして、ワ
イヤが走行されながら、そのワイヤ上に遊離砥粒を含む
スラリが供給され、この状態でワイヤに対しワークが押
し付け接触されて、ワークに切断等の加工が施されるよ
うになっている。

【０００３】この種のワイヤソーでは、ワークの加工時
に、加工用ローラ間においてワイヤに付着したスラリ
が、ワイヤの走行経路中で周囲に飛び散り、装置内部を
汚すという問題があった。

【０００４】このような問題点に対処するため、ワイヤ
の走行経路中に、ワイヤ清掃機構を設けたワイヤソーも
従来から提案されている。このワイヤ清掃機構では、ワ
イヤにエアを吹き付け、または、ワイヤをゴム等の清掃
部材で挟み着け、あるいは、ワイヤを洗浄液に漬けるこ
とにより、ワイヤ上からスラリを清掃除去するように構
成されていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、この従来の
ワイヤソーのワイヤ清掃機構においては、エアを吹き付
ける構成では圧縮エアの供給源や配管が必要になって構
成が複雑になるとともに、洗浄効果もあまり高くなく、
スラリを確実に清掃除去することができなかった。ワイ
ヤをゴム等の清掃部材で挟み着ける構成では、清掃部材
がスラリにより早期に磨耗する欠点があった。さらに、
ワイヤを洗浄液に浸ける構成では、浄液等の消耗品を必
要として、ランニングコストが高くなるという問題があ
った。

【０００６】この発明は、このような従来の技術に存在
する問題点に着目してなされたものである。その目的と
するところは、スラリ除去装置の構成が簡単であるとと
もに、耐久性に優れ、しかも、洗浄液等の消耗品を必要
とすることなく、ワイヤに付着しているスラリを確実に
清掃除去することができるワイヤソーを提供することに
ある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１に記載の発明では、複数の加工用ローラ
間にワイヤを所定ピッチで巻回し、そのワイヤを走行さ
せながら、ワイヤ上に遊離砥粒を含むスラリを供給し、
ワイヤに対しワークを接触させて、加工を施すようにし
たワイヤソーにおいて、前記ワイヤの走行経路には小径
のスラリ分離ローラと、スラリ分離ローラを取り囲むカ
バーとよりなるスラリ除去装置を配設し、スラリ分離ロ
ーラの外周にワイヤが巻回されるようにしたことを要旨
とする。

【０００８】請求項２に記載の発明では、請求項１に記
載のワイヤソーにおいて、前記スラリ分離ローラは、加
工用ローラから巻取りリールに至るワイヤの走行経路に
おいて、加工用ローラの近傍に配設したことを要旨とす
る。

【０００９】請求項３に記載の発明では、請求項１また
は２に記載のワイヤソーにおいて、スラリ除去装置は加
工室に設けられていることを要旨とする。請求項４に記
載の発明では、請求項１〜３のうち何れか一項に記載の
ワイヤソーにおいて、スラリ分離ローラは加工用ローラ
よりも小径であることを要旨とする。

【００１０】請求項５に記載の発明では、請求項１〜４
のうち何れか一項に記載のワイヤソーにおいて、ワイヤ
の両端部を一対のリールにそれぞれ巻き取り、スラリ除
去装置は両リールと加工用ローラとの間にそれぞれ設け
たことを要旨とする。

【００１１】請求項６に記載の発明では、請求項１〜５
のうち何れか一項に記載のワイヤソーにおいて、カバー
は着脱可能であることを要旨とする。請求項７に記載の
発明では、請求項１〜６のうち何れか一項に記載のワイ
ヤソーにおいて、スラリ分離ローラはその軸線が鉛直方
向に沿って配置され、ワイヤはスラリ分離ローラの外周
に下部から上部にかけて巻回されていることを要旨とす
る。

【００１２】請求項８に記載の発明では、請求項１〜７
のうち何れか一項に記載のワイヤソーにおいて、スラリ
分離ローラを取り囲むカバー内部において加工用ローラ
側とは反対側の出口側ワイヤに対しスラリが飛散付着す
るのを防止する遮蔽部材が設けられていることを要旨と
する。

【００１３】

【発明の実施の形態】

（第１実施形態）以下に、この発明の第１実施形態を、
図面に基づいて詳細に説明する。

【００１４】図１及び図２に示すように、装置基台１１
上にはコラム１２が立設され、そのコラム１２は前方に
加工室３３が形成されている。シャッタ３５は加工室３
３の周囲を開閉する。加工室３３内には切断機構１３が
ブラケット１４を介して装設されている。この切断機構
１３は所定間隔をおいて平行に延びる複数の加工用ロー
ラ１５，１６，１７を備え、それらの外周には環状溝１
５ａ，１６ａ，１７ａが所定ピッチで形成されている。
なお、図面においては理解を容易にするために、環状溝
１５ａ，１６ａ，１７ａの数を実際よりも少なく描いて
ある。

【００１５】前記加工用ローラ１５，１６，１７の各環
状溝１５ａ，１６ａ，１７ａには、１本の線材よりなる
ワイヤ１８が連続的に巻回されている。ブラケット１４
には回転方向及び回転速度を変更可能なサーボモータよ
りなるワイヤ走行用モータ１９が配設され、このモータ
１９により図示しない伝達機構を介して加工用ローラ１
５，１６，１７が回転される。そして、これらの加工用
ローラ１５，１６，１７の回転によって、ワイヤ１８が
所定の走行速度で走行される。このワイヤ１８の走行
は、一定量前進（例えば１０ｍ）及び一定量後退（例え
ば９ｍ）を繰り返し、全体として歩進的に前進するよう
に行われる。

【００１６】前記切断機構１３の上方に位置するよう
に、ブラケット１４上にはスラリ供給機構２０が配設さ
れ、このスラリ供給機構２０から加工用ローラ１５，１
６，１７間のワイヤ１８上に、遊離砥粒を含む水性また
は油性のスラリが供給される。スラリ供給機構２０の上
方において、コラム１２にはワーク支持機構２１が上下
動可能に支持され、その下部には硬脆材料よりなるワー
ク２２が着脱自在にセットされる。コラム１２上にはワ
ーク昇降用モータ２３が配設され、このモータ２３によ
り図示しないボールスクリュー等を介してワーク支持機
構２１が上下動される。

【００１７】そして、このワイヤソーの運転時には、ワ
イヤ１８が切断機構１３の加工用ローラ１５，１６，１
７間で走行されながら、ワーク支持機構２１が切断機構
１３に向かって下降される。このとき、スラリ供給機構
２０からワイヤ１８上へ遊離砥粒を含むスラリが供給さ
れるとともに、そのワイヤ１８に対しワーク２２が押し
付け接触され、ラッピング作用によってワーク２２がス
ライス状に切断加工される。

【００１８】前記装置基台１１上にはリール機構２４が
装設され、ワイヤ１８を繰り出すための繰出しリール２
５と、ワイヤ１８を巻き取るための巻取りリール２６と
を備えている。装置基台１１には回転方向及び回転速度
を変更可能なサーボモータよりなる一対のリール回転用
モータ２７，２８が配設され、それらのモータ軸には図
示しない伝達機構を介してリール２５，２６が連結され
ている。

【００１９】前記装置基台１１上にはリール機構２４に
隣接してトラバース機構２９が装設され、繰出しリール
２５からのワイヤ１８の繰出し及び巻取りリール２６へ
のワイヤ１８の巻取りを、上下にトラバースしながら案
内する。そして、前記リール機構２４の両リール２５，
２６の回転により、繰出しリール２５から切断機構１３
へワイヤ１８が繰り出されるとともに、加工後のワイヤ
１８が巻取りリール２６に巻き取られる。

【００２０】前記リール機構２４と切断機構１３との間
には、張力付与機構３０及びガイド機構３１が配設され
ている。そして、切断機構１３の加工用ローラ１５，１
６，１７間に巻回されたワイヤ１８の両端が、ガイド機
構３１の各ガイドローラ３２を介して張力付与機構３０
に掛装されている。この状態で、張力付与機構３０によ
り、加工用ローラ１５，１６，１７間のワイヤ１８に所
定の張力が付与されるようになっている。

【００２１】そして、図４に示すように、ワーク２２の
切断加工時には、前記シャッタ３５が閉鎖されて、スラ
リ供給機構２０から加工用ローラ１５，１６，１７間の
ワイヤ１８上に供給されるスラリが、装置外に飛散する
のを防止するようになっている。

【００２２】図１及び図３〜図６に示すように、前記加
工室３３内において、加工用ローラ１５，１６，１７か
ら繰り出し及び巻取りリール２５，２６に至るワイヤ１
８の走行経路に位置するとともに、加工用ローラ１５，
１６，１７の近傍に位置するように、前記両ブラケット
１４上にはそれぞれスラリ除去装置３６が配設されてい
る。このスラリ除去装置３６は、ブラケット１４に回転
自在に支持されたスラリ分離ローラ３７と、そのスラリ
分離ローラ３７の外側に配設され、着脱自在なスラリ回
収用カバー３８とから構成されている。スラリ分離ロー
ラ３７は、その軸線が水平方向に沿って配置されてお
り、加工用ローラ１５，１６，１７よりも小径である。

【００２３】そして、ワイヤ１８がスラリ回収用カバー
３８のワイヤ導入口３９ａを介して内部に引き込まれ、
ワイヤ導出口３９ｂを介して外部に引き出されている。
スラリ回収用カバー３８内においてワイヤ１８はスラリ
分離ローラ３７の外周に複数回数巻回されている。この
状態で、ワイヤ１８が走行されることにより、スラリ分
離ローラ３７が回転され、ワイヤ１８に付着しているス
ラリが遠心力により飛散分離されて、スラリ回収用カバ
ー３８により周囲へのスラリ飛散が遮断されて下方へ落
下回収されるようになっている。

【００２４】次に、前記のように構成されたワイヤソー
について動作を説明する。さて、このワイヤソーにおい
ては、ワイヤ１８がリール機構２４の繰出しリール２５
から繰り出され、切断機構１３の加工用ローラ１５，１
６，１７間において歩進的に走行された後、巻取りリー
ル２６に巻き取られる。そして、スラリ供給機構２０に
より、加工用ローラ１５，１６，１７間のワイヤ１８上
に遊離砥粒を含むスラリが供給されながら、ワーク支持
機構２１の下降により、ワイヤ１８に対してワーク２２
が押し付け接触される。これにより、ワーク２２が所定
の厚さに切断加工される。このワーク２２の切断加工時
には、図４に示すように、シャッタ３５が閉鎖されて、
切断機構１３における加工用ローラ１５，１６，１７の
外側が覆われた状態にある。

【００２５】また、ワーク２２の切断加工時には、スラ
リ除去装置３６において、ワイヤ１８の走行に伴い、小
径のスラリ分離ローラ３７が高速度で回転される。これ
により、ワイヤ１８に付着しているスラリが遠心力で飛
散分離されて、スラリ回収用カバー３８の内周面に跳ね
返されて内部または下方に落下回収される。従って、加
工用ローラ１５，１６，１７から巻取りリール２６に至
るワイヤ１８の走行経路において、ワイヤ１８に付着し
たスラリが周囲に飛び散って、装置内部を汚すおそれを
抑制することができる。

【００２６】スラリ回収用カバー３８の内周面に付着さ
れたスラリは、スラリ回収用カバー３８を汚れていない
ものと脱着交換することにより、スラリ回収用カバー３
８とともにワイヤソーの外部に取り出される。そして、
ワイヤソーの外部において、スラリ回収用カバー３８の
内周面に付着しているスラリが清掃除去される。

【００２７】前記の第１実施形態によって期待できる効
果について、以下に記載する。・この第１実施形態の
ワイヤソーにおいては、ワイヤ１８の走行経路に小径の
スラリ分離ローラ３７が回転自在に配設され、その外周
にワイヤ１８が巻回されている。また、スラリ分離ロー
ラ３７の外側にはスラリ回収用カバー３８が配設されて
いる。そして、ワイヤ１８の走行時に、スラリ分離ロー
ラ３７の回転に伴う遠心力により、ワイヤ１８上からス
ラリが飛散分離されるとともに、そのスラリがスラリ回
収用カバー３８により周囲へのスラリの飛散を遮断して
下方へ落下回収されるようになっている。

【００２８】このため、前述の従来構成とは異なり、エ
ア供給源等が不要で構成が簡単になり、磨耗による耐久
性低下のおそれがない。また、従来のワイヤ清掃機構と
異なり、洗浄液等の消耗品を必要としないので、ランニ
ングコストが高くなるのを抑制することができる。

【００２９】・また、スラリ分離ローラ３７が、加工
室３３内において加工用ローラ１５，１６，１７から巻
取りリール２６に至るワイヤ１８の走行経路における加
工用ローラ１５，１６，１７の近傍に配設されている。
このため、加工用ローラ１５，１６，１７間においてワ
イヤ１８に付着したスラリを、その加工用ローラ１５，
１６，１７の近傍において、素早く清掃除去することが
できて、張力付与機構３０やトラバース機構２９等の位
置するワイヤ１８の走行経路に生じる汚れを低減させる
ことができる。また、スラリ分離ローラ３７が加工室３
３内に位置するため、スラリ回収用カバー３８を下方開
放型にする等、形状を簡略化できる。これにより、スラ
リ回収用カバー３８の交換や洗浄の回数が減る。

【００３０】・さらに、スラリ分離ローラ３７は加工
用ローラ１５よりも小径であるため、同ローラ３７は加
工用ローラ１５よりも高速で回転する。従って、加工用
ローラ１５の回転で飛散しなかったスラリはスラリ分離
ローラ３７の部分で確実に飛散される。しかも、ワイヤ
１８はスラリ分離ローラ３７に複数回巻回されているた
め、スラリの飛散をいっそう確実に行うことができ、効
果的にワイヤ洗浄を行うことができる。

【００３１】・加えて、スラリ除去装置３６が切断機
構１３と両リール２５，２６との間の走行経路中にそれ
ぞれ設けられているため、ワイヤ１８が往復走行するタ
イプのワイヤソーであっても、スラリの飛散回収を確実
に行うことができる。

【００３２】・また、スラリ回収用カバー３８が着脱
可能であるため、スラリ回収用カバー３８内にスラリが
付着或いは蓄積された場合には、スラリ回収用カバー３
８を交換することにより、スラリ除去を継続でき、ワイ
ヤ１８の走行経路の汚れを低減できる。

【００３３】なお、第１実施形態は、次のように変更し
て具体化することも可能である。・スラリ除去装置３
６におけるスラリ分離ローラ３７にモータを連結し、こ
のモータによりスラリ分離ローラ３７をワイヤ１８の走
行速度に合わせて、積極的に回転させるように構成する
こと。

【００３４】このように構成した場合には、ワイヤ１８
の走行時に、スラリ分離ローラ３７にスリップが生じる
のを防止することができて、ワイヤ１８上からのスラリ
の分離効果を高めることができる。

【００３５】・小径のスラリ分離ローラ３７を切断機
構１３と両リール２５，２６との間のワイヤ走行経路中
にそれぞれ複数個配設し、それらのスラリ分離ローラ３
７により、ワイヤ１８上に付着しているスラリを段階的
に清掃除去するように構成すること。このように構成し
た場合には、ワイヤ１８上からスラリをいっそう効果的
に清掃除去することができる。

【００３６】（第２実施形態）次に、第２実施形態につ
いて説明する。但し、前記第１実施形態と同一構成なる
ものについては、その説明を省略する。

【００３７】図７〜図１０，図１２に示すように、この
実施形態における各スラリ除去装置３６は、取付部材４
１を介して各ブラケット１４上にはそれぞれ配設されて
いる。スラリ除去装置３６のスラリ分離ローラ３７は、
その軸線が鉛直方向に沿って配置され、ワイヤ１８が同
スラリ分離ローラ３７の外周に下部から上部にかけて巻
回されている。又、スラリ除去装置３６のスラリ回収用
カバー３８の開口部内側には、スラリ分離ローラ３７と
対向する閉鎖側板４０が設けられ、この閉鎖側板４０に
よりスラリ飛散が遮断されるようになっている。

【００３８】スラリ回収用カバー３８の内部において、
加工用ローラ１５側とは反対側の出口側であるワイヤ導
出口３９ｂの近傍には、同スラリ回収用カバー３８の内
側面に沿って延びる遮蔽部材としての飛散防止鍔４２が
スラリ回収用カバー３８の内壁より突設されている。そ
して、この飛散防止鍔４２により、下方のワイヤ１８か
ら分離飛散されたスラリが、洗浄後の出口側ワイヤ１８
に付着するのが防止される。

【００３９】図１１に示すように、前記スラリ回収用カ
バー３８の両側には図示しないエア供給装置に接続され
たエア吹き出し口４３がそれぞれ固定されている。この
エア吹き出し口４３の先端はスラリ回収用カバー３８の
内側面に沿うように指向されている。又、スラリ回収用
カバー３８の内側面には、スラリが付着しにくいコート
材４４が塗布されている。そして、エア吹き出し口４３
からエアが噴き出されることにより、そのエア圧及びス
ラリ分離ローラ３７の回転による旋回流でもってスラリ
回収用カバーに付着しているスラリが吹き飛ばされる。

【００４０】前記の第２実施形態によって期待できる効
果について、以下に記載する。・ワイヤ１８をスラリ分
離ローラ３７の外周に下部から上部にかけて巻回したた
め、スラリ分離ローラ３７の下部から上部にかけて徐々
にスラリの汚れを落とすことができる。そのため、スラ
リ分離ローラ３７の上部においてスラリによる汚れを低
減できる。

【００４１】・スラリ回収用カバー３８の上部に飛散防
止鍔４２を設けたため、この飛散防止鍔４２により下方
におけるスラリ分離ローラ３７上のワイヤ１８から飛散
するスラリが上方の出口側ワイヤ１８に付着するのを防
止できる。そのため、スラリ分離ローラ３７からスラリ
がきれいに洗浄除去されたワイヤ１８が導出される。

【００４２】なお、第２実施形態は、次のように変更し
て具体化することも可能である。・図１３に示すよう
に、スラリ回収用カバー３８のワイヤ導出口３９ｂにス
ラリ分離ローラ３７の半径方向に延びる３８の飛散防止
管４５を設けること。この構成にすればワイヤ導出口３
９ｂを介してスラリ回収用カバー３８の外部にスラリが
飛散するのを防止できる。

【００４３】・ワイヤ１８をスラリ分離ローラ３７の外
周に上部から下部にかけて巻回すること。

【００４４】

【発明の効果】この発明は、以上のように構成されてい
るため、次のような効果を奏する。請求項１に記載の発
明によれば、スラリ除去装置の構造が簡単であるととも
に、耐久性に優れ、しかも、洗浄液等の消耗品を必要と
しないで、ワイヤに付着しているスラリを確実に清掃除
去することができ、ワイヤの洗浄効果が高められる。

【００４５】請求項２に記載の発明によれば、加工用ロ
ーラ間においてワイヤに付着したスラリを、その加工用
ローラの近傍において、素早く清掃除去することができ
て、ワイヤの走行経路に生じる汚れを低減させることが
できる。

【００４６】請求項３に記載の発明によれば、スラリ除
去装置を加工室内に設けたことにより、スラリ除去が加
工室内で行われるため、スラリ除去装置によるスラリが
加工室外の他の走行路や機構を汚すことがない。また、
特別に設置スペースを確保することなく、スラリ除去装
置を空スペースを利用して容易に設置することができ
る。

【００４７】請求項４に記載の発明によれば、スラリ分
離ローラが加工用ローラよりも小径であるため、スラリ
分離ローラの回転速度を速めて、遠心力によりスラリを
確実に分離飛散させることができる。

【００４８】請求項５に記載の発明によれば、スラリ除
去装置を切断機構の両側に設けたため、ワイヤが往復走
行されるタイプのワイヤソーであっても、切断機構の両
側において、スラリによる汚れを低減できる。

【００４９】請求項６に記載の発明によれば、スラリ回
収用カバーが着脱可能であるため、そのカバーを交換す
ることにより、スラリの汚れ防止を継続して行うことが
できる。

【００５０】請求項７に記載の発明によれば、ワイヤを
スラリ分離ローラの外周に下部から上部にかけて巻回し
たため、スラリ分離ローラの上部においてスラリによる
汚れを低減できる。

【００５１】請求項８に記載の発明によれば、スラリ回
収用カバー内部の加工用ローラ側とは反対側の出口側に
遮蔽部材を設けたため、スラリ分離ローラ上のワイヤか
ら分離飛散されたスラリが、スラリ分離ローラので出口
側における洗浄後のワイヤに付着するのを防止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明のワイヤソーの第１実施形態を示す要
部正面図。

【図２】そのワイヤソーの要部平面図。

【図３】切断機構のシャッタを開放して示すワイヤソー
の斜視図。

【図４】切断機構のシャッタを閉鎖して示すワイヤソー
の斜視図。

【図５】ワイヤ清浄機構を拡大して示す要部横断面図。

【図６】ワイヤ清浄機構の要部縦断面図。

【図７】第２実施形態を示す要部正面図。

【図８】そのワイヤソーの要部平面図。

【図９】切断機構のシャッタを開放して示すワイヤソー
の斜視図。

【図１０】ワイヤ清浄機構を拡大して示す要部横断面
図。

【図１１】ワイヤ清浄機構の要部縦断面図。

【図１２】スラリ回収用カバーを拡大して示す平面図。

【図１３】第２実施形態における別形態を示すスラリ回
収用カバーの平面図。

【符号の説明】

１３…切断機構、１５，１６，１７…加工用ローラ、１
５ａ，１６ａ，１７ａ…環状溝、１８…ワイヤ、２０…
スラリ供給機構、２１…ワーク支持機構、２２…ワー
ク、２４…リール機構、２６…巻取りリール、３６…ス
ラリ除去装置、３７…スラリ分離ローラ、３８…スラリ
回収用カバー、４２…飛散防止鍔（遮蔽部材）。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の加工用ローラ間にワイヤを所定ピ
ッチで巻回し、そのワイヤを走行させながら、ワイヤ上
に遊離砥粒を含むスラリを供給し、ワイヤに対しワーク
を接触させて、加工を施すようにしたワイヤソーにおい
て、前記ワイヤの走行経路には小径のスラリ分離ローラと、
スラリ分離ローラを取り囲むカバーとよりなるスラリ除
去装置を配設し、スラリ分離ローラの外周にワイヤが巻
回されるようにしたワイヤソー。
【請求項２】前記スラリ分離ローラは、加工用ローラ
から巻取りリールに至るワイヤの走行経路において、加
工用ローラの近傍に配設した請求項１に記載のワイヤソ
ー。
【請求項３】スラリ除去装置は加工室に設けられてい
る請求項１または２に記載のワイヤソー。
【請求項４】スラリ分離ローラは加工用ローラよりも
小径である請求項１〜３のうち何れか一項に記載のワイ
ヤソー。
【請求項５】ワイヤの両端部を一対のリールにそれぞ
れ巻き取り、スラリ除去装置は両リールと加工用ローラ
との間にそれぞれ設けた請求項１〜４のうち何れか一項
に記載のワイヤソー。
【請求項６】カバーは着脱可能である請求項１〜５の
うち何れか一項に記載のワイヤソー。
【請求項７】スラリ分離ローラはその軸線が鉛直方向
に沿って配置され、ワイヤはスラリ分離ローラの外周に
下部から上部にかけて巻回されている請求項１〜６のう
ち何れか一項に記載のワイヤソー。
【請求項８】スラリ分離ローラを取り囲むカバー内部
において加工用ローラ側とは反対側の出口側ワイヤに対
しスラリが飛散付着するのを防止する遮蔽部材が設けら
れている請求項１〜７のうち何れか一項に記載のワイヤ
ソー。