JP3071107B2 - ワイヤソーにおけるワイヤ洗浄装置 - Google Patents
ワイヤソーにおけるワイヤ洗浄装置Info
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- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、例えば半導体材料、
磁性材料、セラミック等の脆性材料をワイヤにより切断
するワイヤソーにおけるワイヤ洗浄装置に関するもので
ある。
磁性材料、セラミック等の脆性材料をワイヤにより切断
するワイヤソーにおけるワイヤ洗浄装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】この種のワイヤソー装置においては、複
数の溝ローラ間にワイヤが所定ピッチで螺旋状に巻き付
けられ、このワイヤが往復しながら走行し、そのワイヤ
上に砥粒を含むスラリが供給される。そして、この状態
でワイヤに対してワークが押し付けられて、ワークが切
断されるようになっている。
数の溝ローラ間にワイヤが所定ピッチで螺旋状に巻き付
けられ、このワイヤが往復しながら走行し、そのワイヤ
上に砥粒を含むスラリが供給される。そして、この状態
でワイヤに対してワークが押し付けられて、ワークが切
断されるようになっている。
【０００３】ところで、このワイヤソー装置では、ワー
クの切断後においても、ワイヤの外周面に砥粒を含むス
ラリが付着している。このため、ワイヤが溝ローラ上か
ら複数のガイドローラを介して走行されてリールに巻き
取られる際に、それらのガイドローラが摩耗し易いとと
もに、装置フレームの上面等がスラリの飛び散りによっ
て汚損されるというおそれがあった。また、スラリが付
着した状態のままワイヤがリールに巻き取られると、巻
取り長さに対する巻取り径が変動して、ワイヤの繰出し
時において繰出し速度に誤差が生じて、ワイヤが緩んだ
りするおそれもあった。
クの切断後においても、ワイヤの外周面に砥粒を含むス
ラリが付着している。このため、ワイヤが溝ローラ上か
ら複数のガイドローラを介して走行されてリールに巻き
取られる際に、それらのガイドローラが摩耗し易いとと
もに、装置フレームの上面等がスラリの飛び散りによっ
て汚損されるというおそれがあった。また、スラリが付
着した状態のままワイヤがリールに巻き取られると、巻
取り長さに対する巻取り径が変動して、ワイヤの繰出し
時において繰出し速度に誤差が生じて、ワイヤが緩んだ
りするおそれもあった。
【０００４】このような問題点を解消するために、例え
ば特開昭６１−９２５４８号（特公平４−４５８０６
号）公報、及び特開平１−１３２３４９号公報に示すよ
うなワイヤ洗浄装置を備えたワイヤソー装置が従来から
提案されている。前者のワイヤ洗浄装置においては、洗
浄槽内に貯留された洗浄液中にワイヤを通過させて、ワ
イヤに付着したスラリを洗浄するようになっている。ま
た、後者のワイヤ洗浄装置においては、吹き付けノズル
からワイヤの外周面に洗浄液を吹き付けて、ワイヤに付
着したスラリを洗浄するようになっている。
ば特開昭６１−９２５４８号（特公平４−４５８０６
号）公報、及び特開平１−１３２３４９号公報に示すよ
うなワイヤ洗浄装置を備えたワイヤソー装置が従来から
提案されている。前者のワイヤ洗浄装置においては、洗
浄槽内に貯留された洗浄液中にワイヤを通過させて、ワ
イヤに付着したスラリを洗浄するようになっている。ま
た、後者のワイヤ洗浄装置においては、吹き付けノズル
からワイヤの外周面に洗浄液を吹き付けて、ワイヤに付
着したスラリを洗浄するようになっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、これらの従
来のワイヤ洗浄装置においては、洗浄液を貯留するタン
ク等、洗浄液の循環経路を含めて、装置全体の構成が複
雑で大型になるばかりでなく、汚れた洗浄液の交換が必
要であるというメンテナンス上の問題もあった。また、
洗浄効果の高い洗浄液を使用すると、スラリへの混入に
より、切断能力が低下するという問題があった。しか
も、洗浄液が一定以上に汚れると、その洗浄液を交換す
る必要があり、ランニングコストがアップする要因にな
った。
来のワイヤ洗浄装置においては、洗浄液を貯留するタン
ク等、洗浄液の循環経路を含めて、装置全体の構成が複
雑で大型になるばかりでなく、汚れた洗浄液の交換が必
要であるというメンテナンス上の問題もあった。また、
洗浄効果の高い洗浄液を使用すると、スラリへの混入に
より、切断能力が低下するという問題があった。しか
も、洗浄液が一定以上に汚れると、その洗浄液を交換す
る必要があり、ランニングコストがアップする要因にな
った。
【０００６】さらに、ワイヤの走行経路にフェルト等よ
りなる洗浄材を配設して、この洗浄材によりワイヤに付
着したスラリを拭い取るようにしたワイヤ洗浄装置も従
来から提案されている。しかしながら、この従来装置に
おいては、洗浄材がワイヤとの接触によって摩耗しやす
いため、洗浄材を頻繁に交換する必要があるというメン
テナンス上の問題があった。
りなる洗浄材を配設して、この洗浄材によりワイヤに付
着したスラリを拭い取るようにしたワイヤ洗浄装置も従
来から提案されている。しかしながら、この従来装置に
おいては、洗浄材がワイヤとの接触によって摩耗しやす
いため、洗浄材を頻繁に交換する必要があるというメン
テナンス上の問題があった。
【０００７】この発明は、このような従来の技術に存在
する問題点に着目してなされたものである。その目的と
するところは、ワイヤ洗浄装置の構成を簡素化して小型
にすることができるとともに、メンテナンスが容易であ
り、ワイヤに付着したスラリを確実に洗浄除去すること
ができるワイヤソーにおけるワイヤ洗浄装置を提供する
ことにある。
する問題点に着目してなされたものである。その目的と
するところは、ワイヤ洗浄装置の構成を簡素化して小型
にすることができるとともに、メンテナンスが容易であ
り、ワイヤに付着したスラリを確実に洗浄除去すること
ができるワイヤソーにおけるワイヤ洗浄装置を提供する
ことにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１に記載のワイヤソーにおけるワイヤ洗浄
装置の発明では、複数の溝ローラ間において螺旋状に巻
き付けられたワイヤを、進退動作を繰り返しながら一方
向に走行させ、そのワイヤに対して砥粒を含むスラリを
供給しながらワークを押し付けて、そのワークを切断す
るようにしたワイヤソー装置において、前記ワイヤの走
行方向に沿って洗浄空気流を発生させて、該ワイヤの外
周面に付着したスラリを洗浄除去するためのワイヤ洗浄
装置を配設したものである。
めに、請求項１に記載のワイヤソーにおけるワイヤ洗浄
装置の発明では、複数の溝ローラ間において螺旋状に巻
き付けられたワイヤを、進退動作を繰り返しながら一方
向に走行させ、そのワイヤに対して砥粒を含むスラリを
供給しながらワークを押し付けて、そのワークを切断す
るようにしたワイヤソー装置において、前記ワイヤの走
行方向に沿って洗浄空気流を発生させて、該ワイヤの外
周面に付着したスラリを洗浄除去するためのワイヤ洗浄
装置を配設したものである。
【０００９】請求項２に記載の発明においては、請求項
１に記載の発明において、前記ワイヤ洗浄装置はワイヤ
が通過する透孔を備えたノズルを含み、洗浄空気流は透
孔内を流れるものである。
１に記載の発明において、前記ワイヤ洗浄装置はワイヤ
が通過する透孔を備えたノズルを含み、洗浄空気流は透
孔内を流れるものである。
【００１０】請求項３の発明では、請求項２に記載の発
明において、前記ワイヤ洗浄装置は、ワイヤ通過用の透
孔を備えた固定ノズルと、同じくワイヤ通過用の透孔を
備え、固定ノズルに対して噴流用の間隙を介して対向す
る可動ノズルとを有し、可動ノズルの移動により前記間
隙が拡縮されるものである。請求項４の発明では、請求
項２又は３に記載の発明において、前記ワイヤ洗浄装置
は、ワイヤ通過用の透孔を備えた固定ノズルと、同じく
ワイヤ通過用の透孔を備え、固定ノズルに対して噴流用
の間隙を介して対向する可動ノズルとを有し、前記洗浄
空気流は、前記間隙を介して固定ノズルのワイヤ通過用
の透孔から噴出されるとともに、前記可動ノズルの前記
固定ノズルと反対側の開口部から透孔内に洗浄空気流が
吸引されるものである。
明において、前記ワイヤ洗浄装置は、ワイヤ通過用の透
孔を備えた固定ノズルと、同じくワイヤ通過用の透孔を
備え、固定ノズルに対して噴流用の間隙を介して対向す
る可動ノズルとを有し、可動ノズルの移動により前記間
隙が拡縮されるものである。請求項４の発明では、請求
項２又は３に記載の発明において、前記ワイヤ洗浄装置
は、ワイヤ通過用の透孔を備えた固定ノズルと、同じく
ワイヤ通過用の透孔を備え、固定ノズルに対して噴流用
の間隙を介して対向する可動ノズルとを有し、前記洗浄
空気流は、前記間隙を介して固定ノズルのワイヤ通過用
の透孔から噴出されるとともに、前記可動ノズルの前記
固定ノズルと反対側の開口部から透孔内に洗浄空気流が
吸引されるものである。
【００１１】請求項５の発明では、前記ワイヤ洗浄装置
は、カバーによって被覆され、該カバーの下部にはスラ
リ回収口が形成されているものである。請求項６の発明
では、複数の溝ローラ間に螺旋状に巻き付けられたワイ
ヤを走行させ、そのワイヤに対して砥粒を含むスラリを
供給しながらワークを押し付けて、そのワークを切断す
るようにしたワイヤソー装置において、前記ワイヤの外
周面に付着したスラリを洗浄除去するためのワイヤ洗浄
装置を配設し、該ワイヤ洗浄装置は前記ワイヤが通過す
る透孔を備えたチューブを含むとともに該チューブ内を
洗浄空気流が流れるものである。
は、カバーによって被覆され、該カバーの下部にはスラ
リ回収口が形成されているものである。請求項６の発明
では、複数の溝ローラ間に螺旋状に巻き付けられたワイ
ヤを走行させ、そのワイヤに対して砥粒を含むスラリを
供給しながらワークを押し付けて、そのワークを切断す
るようにしたワイヤソー装置において、前記ワイヤの外
周面に付着したスラリを洗浄除去するためのワイヤ洗浄
装置を配設し、該ワイヤ洗浄装置は前記ワイヤが通過す
る透孔を備えたチューブを含むとともに該チューブ内を
洗浄空気流が流れるものである。
【００１２】
【作用】請求１〜５記載のワイヤ洗浄装置においては、
ワークの切断後に、ワイヤがワイヤ洗浄装置を通って走
行される際に、ワイヤの走行方向に沿って洗浄空気流が
発生される。そして、この洗浄空気流により、ワイヤの
外周面に付着したスラリが洗浄除去される。
ワークの切断後に、ワイヤがワイヤ洗浄装置を通って走
行される際に、ワイヤの走行方向に沿って洗浄空気流が
発生される。そして、この洗浄空気流により、ワイヤの
外周面に付着したスラリが洗浄除去される。
【００１３】特に、請求項２に記載の発明においては、
洗浄空気流がノズルに設けられた透孔内を流れることか
ら、洗浄空気流が確実にワイヤの全周を洗浄する。
洗浄空気流がノズルに設けられた透孔内を流れることか
ら、洗浄空気流が確実にワイヤの全周を洗浄する。
【００１４】特に、請求項３に記載の発明では、固定ノ
ズルに対する可動ノズルの移動によりそれらの間隙が拡
縮されることにより、スラリの種類に応じて最適な速度
の洗浄空気流を得ることができる。請求項６に記載の発
明においては、洗浄空気流がチューブ内を流れることか
ら、洗浄空気流が確実にワイヤの全周を洗浄する。
ズルに対する可動ノズルの移動によりそれらの間隙が拡
縮されることにより、スラリの種類に応じて最適な速度
の洗浄空気流を得ることができる。請求項６に記載の発
明においては、洗浄空気流がチューブ内を流れることか
ら、洗浄空気流が確実にワイヤの全周を洗浄する。
【００１５】
【実施例】以下、この発明を具体化したワイヤソーにお
けるワイヤ洗浄装置の一実施例を、図１〜図３に基づい
て詳細に説明する。
けるワイヤ洗浄装置の一実施例を、図１〜図３に基づい
て詳細に説明する。
【００１６】図２及び図３に示すように、３個の溝ロー
ラ１，２，３は所定間隔をおいて平行に配設され、それ
らの外周には多数の溝１ａ，２ａ，３ａが所定ピッチで
形成されている。鋼線よりなる切断用ワイヤ４は溝ロー
ラ１，２，３の溝１ａ，２ａ，３ａに連続して螺旋状に
巻き付けられ、溝ローラ１，２，３の回転により溝ロー
ラ１，２，３間において走行される。溝ローラ１，２，
３は図示しないモータにより回転される。
ラ１，２，３は所定間隔をおいて平行に配設され、それ
らの外周には多数の溝１ａ，２ａ，３ａが所定ピッチで
形成されている。鋼線よりなる切断用ワイヤ４は溝ロー
ラ１，２，３の溝１ａ，２ａ，３ａに連続して螺旋状に
巻き付けられ、溝ローラ１，２，３の回転により溝ロー
ラ１，２，３間において走行される。溝ローラ１，２，
３は図示しないモータにより回転される。
【００１７】一対のリール５，６は前記溝ローラ１，
２，３の側方に配設されている。そして、一方のリール
５から複数のガイドローラ７を介して溝ローラ１，２，
３上にワイヤ４が供給されるとともに、溝ローラ１，
２，３上から複数のガイドローラ８を介して他方のリー
ル６にワイヤ４が巻き取られる。また、一方のリール５
から他方のリール６にワイヤ４がすべて巻き取られたと
きには、ワイヤ４の供給及び巻取方向が反転される。な
お、ワイヤ４は一定量進むと少し後退させるという進退
動作走行する。
２，３の側方に配設されている。そして、一方のリール
５から複数のガイドローラ７を介して溝ローラ１，２，
３上にワイヤ４が供給されるとともに、溝ローラ１，
２，３上から複数のガイドローラ８を介して他方のリー
ル６にワイヤ４が巻き取られる。また、一方のリール５
から他方のリール６にワイヤ４がすべて巻き取られたと
きには、ワイヤ４の供給及び巻取方向が反転される。な
お、ワイヤ４は一定量進むと少し後退させるという進退
動作走行する。
【００１８】一対のダンサレバー９，１０は前記溝ロー
ラ１，２，３と各リール５，６との間において、ワイヤ
４の走行経路内に揺動可能に配設され、それらの先端に
はダンサローラ１１，１２及びウエート１３，１４が取
り付けられている。そして、これらのウエート１３，１
４により、溝ローラ１，２，３間のワイヤ４に所定のテ
ンションが付与されている。
ラ１，２，３と各リール５，６との間において、ワイヤ
４の走行経路内に揺動可能に配設され、それらの先端に
はダンサローラ１１，１２及びウエート１３，１４が取
り付けられている。そして、これらのウエート１３，１
４により、溝ローラ１，２，３間のワイヤ４に所定のテ
ンションが付与されている。
【００１９】一対のスラリ供給パイプ１５は前記溝ロー
ラ１，２，３の上方に配設され、このスラリ供給パイプ
１５から溝ローラ１，２，３間のワイヤ４に対して、砥
粒を含むスラリが流下供給される。ワーク１６は溝ロー
ラ１，２，３の上方に上下動可能に配設され、このワー
ク１６が溝ローラ１，２，３間のワイヤ４に押し付けら
れることにより、ラッピング作用にてウエハー状に切断
される。
ラ１，２，３の上方に配設され、このスラリ供給パイプ
１５から溝ローラ１，２，３間のワイヤ４に対して、砥
粒を含むスラリが流下供給される。ワーク１６は溝ロー
ラ１，２，３の上方に上下動可能に配設され、このワー
ク１６が溝ローラ１，２，３間のワイヤ４に押し付けら
れることにより、ラッピング作用にてウエハー状に切断
される。
【００２０】一対のワイヤ洗浄装置１７，１８は前記溝
ローラ１，２，３の近傍に位置するように、溝ローラ
１，２，３と各リール５，６との間において、ワイヤ４
の走行経路内にそれぞれ配設されている。そして、切断
後のワイヤ４が溝ローラ１，２，３上から各リール５，
６に向かって走行されて、このワイヤ洗浄装置１７，１
８内を通過するとき、その外周面に付着したスラリが洗
浄除去される。
ローラ１，２，３の近傍に位置するように、溝ローラ
１，２，３と各リール５，６との間において、ワイヤ４
の走行経路内にそれぞれ配設されている。そして、切断
後のワイヤ４が溝ローラ１，２，３上から各リール５，
６に向かって走行されて、このワイヤ洗浄装置１７，１
８内を通過するとき、その外周面に付着したスラリが洗
浄除去される。
【００２１】そこで、このワイヤ洗浄装置１７，１８の
構成について詳述すると、図１及び図３に示すように、
フレーム２１は前記ダンサレバー９，１０の下方におい
て、一対のガイドローラ７，８間にそれぞれ配設されて
いる。一対の固定ノズル２２は同一軸線上に配置される
とともに、フレーム２１の両側面に固定され、それらの
軸心には小径の透孔２２ａが形成されるとともに、内端
部には円錐状の凹部２２ｂが形成されている。
構成について詳述すると、図１及び図３に示すように、
フレーム２１は前記ダンサレバー９，１０の下方におい
て、一対のガイドローラ７，８間にそれぞれ配設されて
いる。一対の固定ノズル２２は同一軸線上に配置される
とともに、フレーム２１の両側面に固定され、それらの
軸心には小径の透孔２２ａが形成されるとともに、内端
部には円錐状の凹部２２ｂが形成されている。
【００２２】一対の可動ノズル２３は前記固定ノズル２
２と同一軸線上に配置されるように、フレーム２１に対
して移動調整可能に螺合され、それらの軸心には前記小
孔２２ａと同一軸線上に位置する小径の透孔２３ａが形
成されるとともに、一端部には固定ノズル２２の凹部２
２ａに所定間隙をおいて対向する円錐状の凸部２３ｂが
形成されている。そして、前記ワイヤ４がこれらのノズ
ル２２，２３の透孔２２ａ，２３ａに挿通された状態
で、リール５，６から溝ローラ１，２，３側へ、または
溝ローラ１，２，３からリール５，６側へ走行される。
２と同一軸線上に配置されるように、フレーム２１に対
して移動調整可能に螺合され、それらの軸心には前記小
孔２２ａと同一軸線上に位置する小径の透孔２３ａが形
成されるとともに、一端部には固定ノズル２２の凹部２
２ａに所定間隙をおいて対向する円錐状の凸部２３ｂが
形成されている。そして、前記ワイヤ４がこれらのノズ
ル２２，２３の透孔２２ａ，２３ａに挿通された状態
で、リール５，６から溝ローラ１，２，３側へ、または
溝ローラ１，２，３からリール５，６側へ走行される。
【００２３】一対のナット２４は前記各可動ノズル２３
に螺合され、これらのナット２４の締め付けにより、各
可動ノズル２３が所定の位置に固定される。そして、こ
れらのナット２４を緩めた状態で、各可動ノズル２３を
回動することにより、固定ノズル２２の凹部２２ｂと可
動ノズル２３の凸部２３ｂとの間の間隙を拡大又は縮小
して、後述する洗浄空気流の流速を設定変更することが
できる。
に螺合され、これらのナット２４の締め付けにより、各
可動ノズル２３が所定の位置に固定される。そして、こ
れらのナット２４を緩めた状態で、各可動ノズル２３を
回動することにより、固定ノズル２２の凹部２２ｂと可
動ノズル２３の凸部２３ｂとの間の間隙を拡大又は縮小
して、後述する洗浄空気流の流速を設定変更することが
できる。
【００２４】一対の環状をなすエア供給溝２５は前記フ
レーム２１内に形成され、固定ノズル２２の凹部２２ｂ
と可動ノズル２３の凸部２３ｂとの間の間隙にそれぞれ
連通されている。一対のエア供給パイプ２６はフレーム
２１に螺着され、エア供給溝２５にそれぞれ連通されて
いる。そして、切断後のワイヤ４が走行されるワイヤ洗
浄装置１７，１８側において、図示しないエア供給源か
らこれらのエア供給パイプ２６を介して、各エア供給溝
２５内に圧縮エアが供給される。
レーム２１内に形成され、固定ノズル２２の凹部２２ｂ
と可動ノズル２３の凸部２３ｂとの間の間隙にそれぞれ
連通されている。一対のエア供給パイプ２６はフレーム
２１に螺着され、エア供給溝２５にそれぞれ連通されて
いる。そして、切断後のワイヤ４が走行されるワイヤ洗
浄装置１７，１８側において、図示しないエア供給源か
らこれらのエア供給パイプ２６を介して、各エア供給溝
２５内に圧縮エアが供給される。
【００２５】これにより、固定ノズル２２の凹部２２ｂ
と可動ノズル２３の凸部２３ｂとの間の間隙を介して、
固定ノズル２２の透孔２２ａ内に圧縮エアが噴出され、
その透孔２２内から外端開口部に向かって、ワイヤ４の
走行方向に沿った洗浄空気流が発生される。これととも
に、噴流効果により可動ノズル２３の固定ノズル２２と
反対側の開口部から透孔２３ａ内にエアが吸引されて、
その透孔２３ａ内にワイヤ４の走行方向に沿った洗浄空
気流が発生される。そして、これらの洗浄空気流によ
り、ワイヤ４の外周面に付着したスラリが洗浄除去され
る。
と可動ノズル２３の凸部２３ｂとの間の間隙を介して、
固定ノズル２２の透孔２２ａ内に圧縮エアが噴出され、
その透孔２２内から外端開口部に向かって、ワイヤ４の
走行方向に沿った洗浄空気流が発生される。これととも
に、噴流効果により可動ノズル２３の固定ノズル２２と
反対側の開口部から透孔２３ａ内にエアが吸引されて、
その透孔２３ａ内にワイヤ４の走行方向に沿った洗浄空
気流が発生される。そして、これらの洗浄空気流によ
り、ワイヤ４の外周面に付着したスラリが洗浄除去され
る。
【００２６】カバー２７は前記各ワイヤ洗浄装置１７，
１８に被覆装着され、その下部にはスラリ回収口２８が
形成されている。そして、ワイヤ４上から洗浄除去され
たスラリが、このカバー２７により収集されて、回収口
２８から図示しないスラリ溜め等に回収される。
１８に被覆装着され、その下部にはスラリ回収口２８が
形成されている。そして、ワイヤ４上から洗浄除去され
たスラリが、このカバー２７により収集されて、回収口
２８から図示しないスラリ溜め等に回収される。
【００２７】次に、前記のように構成されたワイヤソー
装置について動作を説明する。さて、このワイヤソー装
置においてワーク１６を切断する場合には、溝ローラ
１，２，３間においてワイヤ４が進退動作を繰返しなが
ら一方向に走行され、そのワイヤ４上にスラリ供給パイ
プ１５から砥粒を含むスラリが供給される。この状態
で、ワイヤ４に対してワーク１６が押し付けられて、ラ
ッピング作用によりワーク１６が切断される。
装置について動作を説明する。さて、このワイヤソー装
置においてワーク１６を切断する場合には、溝ローラ
１，２，３間においてワイヤ４が進退動作を繰返しなが
ら一方向に走行され、そのワイヤ４上にスラリ供給パイ
プ１５から砥粒を含むスラリが供給される。この状態
で、ワイヤ４に対してワーク１６が押し付けられて、ラ
ッピング作用によりワーク１６が切断される。
【００２８】そして、切断後のワイヤ４がワイヤ洗浄装
置１７，１８内を通過するとき、エア供給パイプ２６か
らフレーム２１内の各エア供給溝２５に圧縮エアが供給
される。これにより、各固定ノズル２２の透孔２２ａ内
に、ワイヤ４の走行方向に沿った洗浄空気流が発生され
るとともに、噴流効果により各可動ノズル２３の透孔２
３ａ内にも、ワイヤ４の走行方向に沿った洗浄空気流が
発生される。そして、これらの洗浄空気流により、ワイ
ヤ４の外周面に付着したスラリが洗浄除去される。この
とき、洗浄空気流はワイヤ４が通過する透孔２２ａ，２
３ａ内を流れるため、ワイヤ４の全周を確実に洗浄でき
る。しかも、洗浄空気流は噴流効果により、その流量が
増大されるため、一層確実にワイヤの洗浄を行うことが
できる。加えて、一方の透孔２２ａよりワイヤ４の走行
方向と対向する方向に流れる洗浄空気流によって、ワイ
ヤ４を効率良く洗浄できる。
置１７，１８内を通過するとき、エア供給パイプ２６か
らフレーム２１内の各エア供給溝２５に圧縮エアが供給
される。これにより、各固定ノズル２２の透孔２２ａ内
に、ワイヤ４の走行方向に沿った洗浄空気流が発生され
るとともに、噴流効果により各可動ノズル２３の透孔２
３ａ内にも、ワイヤ４の走行方向に沿った洗浄空気流が
発生される。そして、これらの洗浄空気流により、ワイ
ヤ４の外周面に付着したスラリが洗浄除去される。この
とき、洗浄空気流はワイヤ４が通過する透孔２２ａ，２
３ａ内を流れるため、ワイヤ４の全周を確実に洗浄でき
る。しかも、洗浄空気流は噴流効果により、その流量が
増大されるため、一層確実にワイヤの洗浄を行うことが
できる。加えて、一方の透孔２２ａよりワイヤ４の走行
方向と対向する方向に流れる洗浄空気流によって、ワイ
ヤ４を効率良く洗浄できる。
【００２９】また、可動ノズル２３を移動調節して、固
定、可動ノズル２２，２３間の間隙の幅を調節すれば、
任意の洗浄空気流の流速や流量を確保でき、スラリの粘
度や砥粒の配合割合に応じた最適な洗浄空気流を得るこ
とができる。
定、可動ノズル２２，２３間の間隙の幅を調節すれば、
任意の洗浄空気流の流速や流量を確保でき、スラリの粘
度や砥粒の配合割合に応じた最適な洗浄空気流を得るこ
とができる。
【００３０】以上のように、この実施例のワイヤ洗浄装
置１７，１８においては、洗浄液を使用してワイヤを洗
浄することなく、ワイヤ４の走行方向に沿って流れる洗
浄空気流により、ワイヤ４に付着したスラリを洗浄除去
するようになっている。このため、洗浄液の循環経路等
の機構を付設する必要がなく、ワイヤ洗浄装置１７，１
８の構成を簡素化して小型にすることができる。また、
洗浄液やフェルト等の洗浄材を使用しないために、洗浄
液や洗浄材の交換というような面倒なメンテナンスが不
要である。さらに、洗浄液の混入によりスラリの切断能
力低下というおそれを防止することができる。
置１７，１８においては、洗浄液を使用してワイヤを洗
浄することなく、ワイヤ４の走行方向に沿って流れる洗
浄空気流により、ワイヤ４に付着したスラリを洗浄除去
するようになっている。このため、洗浄液の循環経路等
の機構を付設する必要がなく、ワイヤ洗浄装置１７，１
８の構成を簡素化して小型にすることができる。また、
洗浄液やフェルト等の洗浄材を使用しないために、洗浄
液や洗浄材の交換というような面倒なメンテナンスが不
要である。さらに、洗浄液の混入によりスラリの切断能
力低下というおそれを防止することができる。
【００３１】
【別の実施例】次に、この発明におけるワイヤ洗浄装置
の別の実施例を、図４及び図５に基づいて説明する。
の別の実施例を、図４及び図５に基づいて説明する。
【００３２】さて、この実施例においては、前記実施例
における固定、可動ノズル２２，２３の代わりにノズル
としてのボルテックスチューブ３１が用いられている。
ボルテックスチューブ３１は円筒状に形成され、その両
端にはワイヤ４を挿通するための大、小の挿通孔３２，
３３が形成されている。エア供給口３４はチューブ３１
の一端外周に、接線方向へ突出するように形成されてい
る。円筒状のガイド壁３５はチューブ３１の他端内周に
配設され、前記挿通孔３３を形成している。
における固定、可動ノズル２２，２３の代わりにノズル
としてのボルテックスチューブ３１が用いられている。
ボルテックスチューブ３１は円筒状に形成され、その両
端にはワイヤ４を挿通するための大、小の挿通孔３２，
３３が形成されている。エア供給口３４はチューブ３１
の一端外周に、接線方向へ突出するように形成されてい
る。円筒状のガイド壁３５はチューブ３１の他端内周に
配設され、前記挿通孔３３を形成している。
【００３３】そして、このエア供給口３４からチューブ
３１内に圧縮エアが供給されたとき、そのチューブ３１
内に一端側から他端側に向かって移動する渦巻き流が発
生される。そして、その渦巻き流のエアはガイド壁３５
により案内されて、ワイヤ４の走行方向に沿ってチュー
ブ３１の軸心上をその他端側から一端側へ直線状に流れ
る洗浄空気流が発生される。加えて、噴流効果により挿
通孔３３から洗浄空気流が吸入される。洗浄空気流は挿
通孔３２から排出される。従って、この洗浄空気流によ
り、ワイヤ４の外周面に付着したスラリを確実に洗浄除
去することができる。
３１内に圧縮エアが供給されたとき、そのチューブ３１
内に一端側から他端側に向かって移動する渦巻き流が発
生される。そして、その渦巻き流のエアはガイド壁３５
により案内されて、ワイヤ４の走行方向に沿ってチュー
ブ３１の軸心上をその他端側から一端側へ直線状に流れ
る洗浄空気流が発生される。加えて、噴流効果により挿
通孔３３から洗浄空気流が吸入される。洗浄空気流は挿
通孔３２から排出される。従って、この洗浄空気流によ
り、ワイヤ４の外周面に付着したスラリを確実に洗浄除
去することができる。
【００３４】なお、この発明では各部の構成を以下のよ
うに変更して具体化してもよい。 （ａ）ワイヤ洗浄装置１７，１８を前記実施例とは別の
位置、例えば溝ローラ１，２，３とガイドローラ７，８
との間の位置に配置すること。 （ｂ）固定ノズル２２と可動ノズル２３とを一体化する
こと。 （ｃ）ノズル２２，２３を、実施例とは逆に互いに向か
い合うように構成すること。
うに変更して具体化してもよい。 （ａ）ワイヤ洗浄装置１７，１８を前記実施例とは別の
位置、例えば溝ローラ１，２，３とガイドローラ７，８
との間の位置に配置すること。 （ｂ）固定ノズル２２と可動ノズル２３とを一体化する
こと。 （ｃ）ノズル２２，２３を、実施例とは逆に互いに向か
い合うように構成すること。
【００３５】また、前記実施例より把握される請求項以
外の技術的思想について、以下にその効果とともに記載
する。 （１）透孔を備えた固定ノズルと同じく透孔を備えた可
動ノズルとをそれぞれ一対設け、各透孔より洗浄空気流
を互いに反対方向へ吹き出すように構成した請求項４に
記載のワイヤソーにおけるワイヤ洗浄装置。このように
構成すれば、いずれかの透孔より吹き出す洗浄空気流を
ワイヤの走行方向と対向させてワイヤの洗浄を効率良く
行うことができる。 （２）複数の溝ローラ間に螺旋状に巻き付けられたワイ
ヤを走行させ、そのワイヤに対して砥粒を含むスラリを
供給しながらワークを押し付けて、そのワークを切断す
るようにしたワイヤソー装置に、ワイヤの走行方向に洗
浄空気流を発生させて、ワイヤの外周面に付着したスラ
リを洗浄除去するためのワイヤ洗浄装置を備え、ワイヤ
でワークを切断後、洗浄装置にてワイヤの外周面に洗浄
空気流を吹き付けて、付着したスラリを洗浄除去するワ
イヤソーにおけるワイヤ洗浄方法。この方法によれば、
ワーク切断後のワイヤに付着したスラリを確実に洗浄除
去することができる。
外の技術的思想について、以下にその効果とともに記載
する。 （１）透孔を備えた固定ノズルと同じく透孔を備えた可
動ノズルとをそれぞれ一対設け、各透孔より洗浄空気流
を互いに反対方向へ吹き出すように構成した請求項４に
記載のワイヤソーにおけるワイヤ洗浄装置。このように
構成すれば、いずれかの透孔より吹き出す洗浄空気流を
ワイヤの走行方向と対向させてワイヤの洗浄を効率良く
行うことができる。 （２）複数の溝ローラ間に螺旋状に巻き付けられたワイ
ヤを走行させ、そのワイヤに対して砥粒を含むスラリを
供給しながらワークを押し付けて、そのワークを切断す
るようにしたワイヤソー装置に、ワイヤの走行方向に洗
浄空気流を発生させて、ワイヤの外周面に付着したスラ
リを洗浄除去するためのワイヤ洗浄装置を備え、ワイヤ
でワークを切断後、洗浄装置にてワイヤの外周面に洗浄
空気流を吹き付けて、付着したスラリを洗浄除去するワ
イヤソーにおけるワイヤ洗浄方法。この方法によれば、
ワーク切断後のワイヤに付着したスラリを確実に洗浄除
去することができる。
【００３６】
【発明の効果】この発明は、以上説明したように構成さ
れているため、各請求項に記載の発明によれば、ワイヤ
洗浄装置の構成を簡素化して小型にすることができると
ともに、洗浄液がスラリ中に混入するおそれもなく、ワ
イヤに付着したスラリを確実に洗浄除去することができ
る。
れているため、各請求項に記載の発明によれば、ワイヤ
洗浄装置の構成を簡素化して小型にすることができると
ともに、洗浄液がスラリ中に混入するおそれもなく、ワ
イヤに付着したスラリを確実に洗浄除去することができ
る。
【００３７】特に、請求項２及び請求項６に記載の発明
によれば、洗浄空気流によりワイヤの全周を効果的に洗
浄することができる。
によれば、洗浄空気流によりワイヤの全周を効果的に洗
浄することができる。
【００３８】特に、請求項３に記載の発明によれば、ス
ラリの種類に対応して最適速度の洗浄空気流を得ること
ができる。
ラリの種類に対応して最適速度の洗浄空気流を得ること
ができる。
【図１】 実施例のワイヤ洗浄装置を示す部分断面図。
【図２】 そのワイヤ洗浄装置の全体構成を示す概略斜
視図。
視図。
【図３】 ワイヤ洗浄装置とその近傍の構成を拡大して
示す部分正面図。
示す部分正面図。
【図４】 ワイヤ洗浄装置の別の実施例を示す部分断面
図。
図。
【図５】 図４のＶ−Ｖ線における部分拡大断面図。
１，２，３…溝ローラ、４…切断用ワイヤ、５，６…リ
ール、１５…スラリ供給パイプ、１６…ワーク、１７，
１８…ワイヤ洗浄装置、２１…フレーム、２２…固定ノ
ズル、２２ａ…透孔、２３…可動ノズル、２３ａ…透
孔、２６…エア供給パイプ。
ール、１５…スラリ供給パイプ、１６…ワーク、１７，
１８…ワイヤ洗浄装置、２１…フレーム、２２…固定ノ
ズル、２２ａ…透孔、２３…可動ノズル、２３ａ…透
孔、２６…エア供給パイプ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭56−102458（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−111881（ＪＰ，Ａ) 実開 平４−19755（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B24B 27/06 B28D 5/04
Claims (6)
- 【請求項１】 複数の溝ローラ間において螺旋状に巻き
付けられたワイヤを、進退動作を繰り返しながら一方向
に走行させ、そのワイヤに対して砥粒を含むスラリを供
給しながらワークを押し付けて、そのワークを切断する
ようにしたワイヤソー装置において、前記 ワイヤの走行方向に沿って洗浄空気流を発生させ
て、該ワイヤの外周面に付着したスラリを洗浄除去する
ためのワイヤ洗浄装置を配設したワイヤソーにおけるワ
イヤ洗浄装置。 - 【請求項２】 前記ワイヤ洗浄装置はワイヤが通過する
透孔を備えたノズルを含み、洗浄空気流は透孔内を流れ
る請求項１に記載のワイヤソーにおけるワイヤ洗浄装
置。 - 【請求項３】 前記ワイヤ洗浄装置は、ワイヤ通過用の
透孔を備えた固定ノズルと、同じくワイヤ通過用の透孔
を備え、固定ノズルに対して噴流用の間隙を介して対向
する可動ノズルとを有し、可動ノズルの移動により前記
間隙が拡縮される請求項２に記載のワイヤソーにおける
ワイヤ洗浄装置。 - 【請求項４】 前記ワイヤ洗浄装置は、ワイヤ通過用の
透孔を備えた固定ノズルと、同じくワイヤ通過用の透孔
を備え、固定ノズルに対して噴流用の間隙を介して対向
する可動ノズルとを有し、前記洗浄空気流は、前記間隙
を介して固定ノズルのワイヤ通過用の透孔から噴出され
るとともに、前記可動ノズルの前記固定ノズルと反対側
の開口部から透孔内に洗浄空気流が吸引される請求項２
又は３に記載のワイヤソーにおけるワイヤ洗浄装置。 - 【請求項５】 前記ワイヤ洗浄装置は、カバーによって
被覆され、該カバーの下部にはスラリ回収口が形成され
ている請求項４に記載のワイヤソーにおけるワイヤ洗浄
装置。 - 【請求項６】 複数の溝ローラ間に螺旋状に巻き付けら
れたワイヤを走行させ、そのワイヤに対して砥粒を含む
スラリを供給しながらワークを押し付けて、そのワーク
を切断するようにしたワイヤソー装置において、 前記ワイヤの外周面に付着したスラリを洗浄除去するた
めのワイヤ洗浄装置を配設し、該ワイヤ洗浄装置は前記
ワイヤが通過する透孔を備えたチューブを含む とともに
該チューブ内を洗浄空気流が流れる ワイヤソーにおける
ワイヤ洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23323594A JP3071107B2 (ja) | 1994-09-28 | 1994-09-28 | ワイヤソーにおけるワイヤ洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23323594A JP3071107B2 (ja) | 1994-09-28 | 1994-09-28 | ワイヤソーにおけるワイヤ洗浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0890405A JPH0890405A (ja) | 1996-04-09 |
| JP3071107B2 true JP3071107B2 (ja) | 2000-07-31 |
Family
ID=16951884
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23323594A Expired - Fee Related JP3071107B2 (ja) | 1994-09-28 | 1994-09-28 | ワイヤソーにおけるワイヤ洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3071107B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100995381B1 (ko) | 2008-09-01 | 2010-11-19 | 안병준 | 선상물품 세척용 공기노즐 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5406089B2 (ja) * | 2010-03-23 | 2014-02-05 | 株式会社ジェイテック | 地山切削装置 |
| SG186510A1 (en) * | 2011-06-23 | 2013-01-30 | Systems Automation S Pte Ltd Fa | Cutting machine and method of cutting |
| EP2759386A1 (en) * | 2013-01-29 | 2014-07-30 | Applied Materials Switzerland Sàrl | Device and method for cleaning the wire of a wire saw |
| JP6815770B2 (ja) * | 2016-07-13 | 2021-01-20 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
| CN114434664B (zh) * | 2022-03-07 | 2024-10-15 | 高景太阳能股份有限公司 | 一种降低硅棒切割跳线率的装置及切割方法 |
-
1994
- 1994-09-28 JP JP23323594A patent/JP3071107B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100995381B1 (ko) | 2008-09-01 | 2010-11-19 | 안병준 | 선상물품 세척용 공기노즐 |
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| Publication number | Publication date |
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| JPH0890405A (ja) | 1996-04-09 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |