JPH07308919A - ワイヤーソーのワイヤー洗浄装置 - Google Patents
ワイヤーソーのワイヤー洗浄装置Info
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- JPH07308919A JPH07308919A JP10118194A JP10118194A JPH07308919A JP H07308919 A JPH07308919 A JP H07308919A JP 10118194 A JP10118194 A JP 10118194A JP 10118194 A JP10118194 A JP 10118194A JP H07308919 A JPH07308919 A JP H07308919A
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- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/0076—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for removing dust, e.g. by spraying liquids; for lubricating, cooling or cleaning tool or work
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- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】ワイヤー洗浄効果を向上させ、かつ洗浄液の外
部飛散を防止することができるワイヤーソーのワイヤー
洗浄装置を提供する。 【構成】洗浄液６２が貯留してある洗浄槽６０内に、ワ
イヤー１４が洗浄液６２中を走行するように案内するガ
イドローラ７２を設けるとともに、ガイドローラ７２の
ワイヤー１４の走行方向上流側と下流側に、それぞれガ
イドローラ７２の回転でワイヤー１４の走行方向と逆方
向に回転する回転ブラシ６４を設置する。これにより、
ワイヤー１４は回転ブラシによりブラッシングされるの
で洗浄効果が向上する。また、回転ブラシ６４の上方に
は、洗浄槽６０内に送り込まれるワイヤー１４と送りだ
されるワイヤー１４に対してエアノズル７４を設ける。
これにより、ワイヤー１４は洗浄終了後に、付着してい
る洗浄液６２をエアで吹き飛ばしてから外部に送りださ
れるので、洗浄液６２が洗浄槽６０外で飛散するのを防
止することができる。
部飛散を防止することができるワイヤーソーのワイヤー
洗浄装置を提供する。 【構成】洗浄液６２が貯留してある洗浄槽６０内に、ワ
イヤー１４が洗浄液６２中を走行するように案内するガ
イドローラ７２を設けるとともに、ガイドローラ７２の
ワイヤー１４の走行方向上流側と下流側に、それぞれガ
イドローラ７２の回転でワイヤー１４の走行方向と逆方
向に回転する回転ブラシ６４を設置する。これにより、
ワイヤー１４は回転ブラシによりブラッシングされるの
で洗浄効果が向上する。また、回転ブラシ６４の上方に
は、洗浄槽６０内に送り込まれるワイヤー１４と送りだ
されるワイヤー１４に対してエアノズル７４を設ける。
これにより、ワイヤー１４は洗浄終了後に、付着してい
る洗浄液６２をエアで吹き飛ばしてから外部に送りださ
れるので、洗浄液６２が洗浄槽６０外で飛散するのを防
止することができる。
Description
【０００１】
【発明の利用分野】本発明はワイヤーソーのワイヤー洗
浄装置に係り、特に、円柱状の半導体インゴット、セラ
ッミク、ガラス等の被加工物を、走行するワイヤーで多
数の薄板状のウェーハに切断するワイヤーソーにおい
て、ワイヤーに付着した加工液を洗浄するワイヤーソー
のワイヤー洗浄装置に関する。
浄装置に係り、特に、円柱状の半導体インゴット、セラ
ッミク、ガラス等の被加工物を、走行するワイヤーで多
数の薄板状のウェーハに切断するワイヤーソーにおい
て、ワイヤーに付着した加工液を洗浄するワイヤーソー
のワイヤー洗浄装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体インゴット、セラミック、ガラス
等の被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断する切断
装置の一つにワイヤーソーがある。このワイヤーソー
は、ワイヤーが複数の溝付きローラ間に巻掛けられて、
ワイヤー列が形成されると共に、ワイヤーの一方端は一
方のリールに巻回され、他方端は他方のリールに巻回さ
れる。そして、ワイヤーが一方のリールと他方のリール
との間を高速で往復走行する際に、前記ワイヤー列に被
加工物を押し当てると共に、ワイヤー列に砥粒を含む加
工液を供給して砥粒のラッピング作用により被加工物を
多数の薄板状のウェーハに切断するものである。そし
て、ワイヤー走行路には、ワイヤー洗浄装置が設けら
れ、被加工物に押し当てられたワイヤーは、付着した加
工液を洗浄装置で洗浄してからリールに巻き取るように
なっている。
等の被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断する切断
装置の一つにワイヤーソーがある。このワイヤーソー
は、ワイヤーが複数の溝付きローラ間に巻掛けられて、
ワイヤー列が形成されると共に、ワイヤーの一方端は一
方のリールに巻回され、他方端は他方のリールに巻回さ
れる。そして、ワイヤーが一方のリールと他方のリール
との間を高速で往復走行する際に、前記ワイヤー列に被
加工物を押し当てると共に、ワイヤー列に砥粒を含む加
工液を供給して砥粒のラッピング作用により被加工物を
多数の薄板状のウェーハに切断するものである。そし
て、ワイヤー走行路には、ワイヤー洗浄装置が設けら
れ、被加工物に押し当てられたワイヤーは、付着した加
工液を洗浄装置で洗浄してからリールに巻き取るように
なっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ワイヤーソーのワイヤー洗浄装置は、加工液の付着した
ワイヤーを、洗浄槽内に貯留された洗浄液中にワイヤー
を走行させて加工液を洗浄するか、もしくは走行してい
るワイヤーに洗浄液を噴射して加工液を洗浄しており、
いずれの洗浄方法によってもワイヤーの洗浄は十分に行
われないという欠点があった。また、ワイヤー洗浄時に
ワイヤーに付着した洗浄液が洗浄槽外で飛散してしま
い、ワイヤーソー装置が汚れるという欠点があった。
ワイヤーソーのワイヤー洗浄装置は、加工液の付着した
ワイヤーを、洗浄槽内に貯留された洗浄液中にワイヤー
を走行させて加工液を洗浄するか、もしくは走行してい
るワイヤーに洗浄液を噴射して加工液を洗浄しており、
いずれの洗浄方法によってもワイヤーの洗浄は十分に行
われないという欠点があった。また、ワイヤー洗浄時に
ワイヤーに付着した洗浄液が洗浄槽外で飛散してしま
い、ワイヤーソー装置が汚れるという欠点があった。
【０００４】本発明は、このような事情を鑑みてなされ
たもので、ワイヤー洗浄効果を向上させ、かつ洗浄液の
外部飛散を防止することのできる、ワイヤーソーのワイ
ヤー洗浄装置を提供することを目的とする。
たもので、ワイヤー洗浄効果を向上させ、かつ洗浄液の
外部飛散を防止することのできる、ワイヤーソーのワイ
ヤー洗浄装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
するために、一方のリールと他方のリールの間を走行す
るワイヤーに被加工物を押し当てると共に、前記ワイヤ
ーに砥粒を含む加工液を供給して被加工物を多数の薄板
状のウェーハに切断するワイヤーソーであって、前記ワ
イヤー走行路に設けられ、前記ワイヤーに付着した前記
加工液を洗浄するワイヤーソーのワイヤー洗浄装置にお
いて、前記ワイヤー洗浄装置は、前記ワイヤーを洗浄す
る洗浄液を貯留する洗浄槽と、前記洗浄槽内に回動自在
に設けられ、前記ワイヤーが洗浄液内を走行するように
案内するとともに、走行するワイヤーに係合して回転す
るガイドローラと、前記洗浄槽内に回動自在に設けら
れ、前記ワイヤーをブラッシングする回転ブラシと、前
記ガイドローラの回転力を前記回転ブラシの回転動力と
して伝達する動力伝達機構と、前記洗浄槽内に設けら
れ、洗浄の終了したワイヤーにエアを吹きつけるエアノ
ズルと、を備えていることを特徴とする。
するために、一方のリールと他方のリールの間を走行す
るワイヤーに被加工物を押し当てると共に、前記ワイヤ
ーに砥粒を含む加工液を供給して被加工物を多数の薄板
状のウェーハに切断するワイヤーソーであって、前記ワ
イヤー走行路に設けられ、前記ワイヤーに付着した前記
加工液を洗浄するワイヤーソーのワイヤー洗浄装置にお
いて、前記ワイヤー洗浄装置は、前記ワイヤーを洗浄す
る洗浄液を貯留する洗浄槽と、前記洗浄槽内に回動自在
に設けられ、前記ワイヤーが洗浄液内を走行するように
案内するとともに、走行するワイヤーに係合して回転す
るガイドローラと、前記洗浄槽内に回動自在に設けら
れ、前記ワイヤーをブラッシングする回転ブラシと、前
記ガイドローラの回転力を前記回転ブラシの回転動力と
して伝達する動力伝達機構と、前記洗浄槽内に設けら
れ、洗浄の終了したワイヤーにエアを吹きつけるエアノ
ズルと、を備えていることを特徴とする。
【０００６】
【作用】本発明によれば、ワイヤーを洗浄槽内に貯留し
てある洗浄液中に走行させるとともに、ワイヤーの走行
方向と逆方向に回転する回転ブラシでブラッシングす
る。これにより、ワイヤーの洗浄効果を向上することが
できる。また、ワイヤーが洗浄液中を走行する際に付着
する洗浄液を、エアノズルでエアを吹きつけて除去す
る。これにより、洗浄時にワイヤーに付着した洗浄液が
洗浄槽外で飛散するのを防止することができる。
てある洗浄液中に走行させるとともに、ワイヤーの走行
方向と逆方向に回転する回転ブラシでブラッシングす
る。これにより、ワイヤーの洗浄効果を向上することが
できる。また、ワイヤーが洗浄液中を走行する際に付着
する洗浄液を、エアノズルでエアを吹きつけて除去す
る。これにより、洗浄時にワイヤーに付着した洗浄液が
洗浄槽外で飛散するのを防止することができる。
【０００７】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係るワイヤー
ソーのワイヤー洗浄装置の好ましい実施例について詳説
する。本発明のワイヤーソーのワイヤー洗浄装置の実施
例を説明する前に、先ずワイヤーソー１０の全体構成を
図１にしたがって説明する。図１に示すように、一方の
リール１２に巻回されたワイヤー1 ４は、ワイヤー案内
装置１６、複数の固定ガイドローラ１８、１８、ダンサ
ローラ２０を経由して３本の溝付きローラ２２、２２、
２２に順次巻き掛けられてワイヤー列２４を形成した
後、複数のガイドローラ１８、１８、ダンサローラ２
０、ワイヤー案内装置１６を経て他方のリール２６に巻
き取られるワイヤー走行路を形成する。また、ダンサロ
ール２０には、所定重量の錘４４が吊設され、錘４４の
荷重によりワイヤー走行路を走行するワイヤー１４に常
に所要の張力が付与される。また、ワイヤー走行路の途
中にはワイヤー洗浄装置４６が設けられ、ワイヤーに付
着した加工液４０をワイヤー１４から除去する。また、
夫々のリール１２、２６は正逆回転可能な駆動モータ２
８、３０に連結されると共に、３本のうちの１本の溝付
きローラ２２は正逆回転可能な駆動モータ３２に連結さ
れる。これにより、一方のリール１２から繰り出された
ワイヤー１４は、図中実線矢印３４方向に高速走行（６
００ｍ／分以上）しながら他方のリール２６に巻き取ら
れる。また、他方のリール２６に巻き取られたワイヤー
１４は図中破線矢印３６方向に逆走行して一方のリール
１２に巻き取られる。即ち、ワイヤー１４は一方のリー
ル１２と他方のリール２６の間を往復走行する。また、
ワイヤー列２４には、砥液貯留タンク３８に貯留された
砥粒（通常、ＧＣ♯６００〜♯１０００程度のものが使
用される）を含む加工液４０が砥液供給ノズル４２から
供給される。２本の砥液供給ノズル４２を設けた理由
は、ワイヤー１４の往復走行に対応させるためである。
ソーのワイヤー洗浄装置の好ましい実施例について詳説
する。本発明のワイヤーソーのワイヤー洗浄装置の実施
例を説明する前に、先ずワイヤーソー１０の全体構成を
図１にしたがって説明する。図１に示すように、一方の
リール１２に巻回されたワイヤー1 ４は、ワイヤー案内
装置１６、複数の固定ガイドローラ１８、１８、ダンサ
ローラ２０を経由して３本の溝付きローラ２２、２２、
２２に順次巻き掛けられてワイヤー列２４を形成した
後、複数のガイドローラ１８、１８、ダンサローラ２
０、ワイヤー案内装置１６を経て他方のリール２６に巻
き取られるワイヤー走行路を形成する。また、ダンサロ
ール２０には、所定重量の錘４４が吊設され、錘４４の
荷重によりワイヤー走行路を走行するワイヤー１４に常
に所要の張力が付与される。また、ワイヤー走行路の途
中にはワイヤー洗浄装置４６が設けられ、ワイヤーに付
着した加工液４０をワイヤー１４から除去する。また、
夫々のリール１２、２６は正逆回転可能な駆動モータ２
８、３０に連結されると共に、３本のうちの１本の溝付
きローラ２２は正逆回転可能な駆動モータ３２に連結さ
れる。これにより、一方のリール１２から繰り出された
ワイヤー１４は、図中実線矢印３４方向に高速走行（６
００ｍ／分以上）しながら他方のリール２６に巻き取ら
れる。また、他方のリール２６に巻き取られたワイヤー
１４は図中破線矢印３６方向に逆走行して一方のリール
１２に巻き取られる。即ち、ワイヤー１４は一方のリー
ル１２と他方のリール２６の間を往復走行する。また、
ワイヤー列２４には、砥液貯留タンク３８に貯留された
砥粒（通常、ＧＣ♯６００〜♯１０００程度のものが使
用される）を含む加工液４０が砥液供給ノズル４２から
供給される。２本の砥液供給ノズル４２を設けた理由
は、ワイヤー１４の往復走行に対応させるためである。
【０００８】また、前記ワイヤー列２４の下方には、ワ
ーク送りテーブル４８が設けられ、このワーク送りテー
ブル４８はモータ５０で回動するネジ桿５２により切断
送り方向（図中Ｙ−Ｙ方向）に移動可能に設けられると
共に、ワーク送りテーブル４８のワイヤー列２４側に
は、被加工物である半導体インゴット５４がワークブロ
ック５６とスライスベース５８を介して支持される。こ
れにより、ワーク送りテーブル４８を切断送り方向（ワ
イヤー列２４側）に移動させると、半導体インゴット５
４は高速走行するワイヤー列２４に押し当てられ、ワイ
ヤー列２４に供給される加工液４０の砥粒によるラッピ
ング作用により半導体インゴット５４を多数の薄板状の
ウェーハに切断する。
ーク送りテーブル４８が設けられ、このワーク送りテー
ブル４８はモータ５０で回動するネジ桿５２により切断
送り方向（図中Ｙ−Ｙ方向）に移動可能に設けられると
共に、ワーク送りテーブル４８のワイヤー列２４側に
は、被加工物である半導体インゴット５４がワークブロ
ック５６とスライスベース５８を介して支持される。こ
れにより、ワーク送りテーブル４８を切断送り方向（ワ
イヤー列２４側）に移動させると、半導体インゴット５
４は高速走行するワイヤー列２４に押し当てられ、ワイ
ヤー列２４に供給される加工液４０の砥粒によるラッピ
ング作用により半導体インゴット５４を多数の薄板状の
ウェーハに切断する。
【０００９】ワイヤー洗浄装置４６は、上記したワイヤ
ーソー１０において、ワイヤー１４が被加工物を切断後
に、一方のリール１２又は他方のリール２６に巻き取ら
れる前にそれぞれ設置される。次に、本発明のワイヤー
ソーのワイヤー洗浄装置４６について説明する。図２、
図３、図４に示すように、上部が四角筒状に形成され、
下部が四角錘状になった洗浄槽６０が設けられ、その下
方に沈澱タンク８８（図４参照）が設置される。洗浄槽
６０と沈澱タンク８８は、パイプ８６でつながれてお
り、パイプ８６は沈澱タンク８８とナット８７により締
結されているが、洗浄槽６０とはカップリング８４によ
る結合を行い、容易に取り外しできるようになってい
る。洗浄槽６０内には、洗浄槽内の１／３程度まで洗浄
液６２が貯留されるとともに、ワイヤー１４を洗浄液６
２内に走行させるためのガイドローラ７２が洗浄槽６０
の背板に回動自在に支持される。また、このガイドロー
ラ７２のワイヤー１４の走行方向上流側と下流側には、
それぞれ回転ブラシ６４、６４が洗浄槽６０の前記背板
に回動自在に支持されるとともに、回転ブラシ６４、６
４は、ワイヤー１４に接触するように配置される。ま
た、ガイドローラ７２と回転ブラシ６４を支持する洗浄
槽６０の背板外側面には、ガイドローラ７２の回転を回
転ブラシ６４、６４に伝達させるギヤ列がギヤボックス
７７内に収納されている。このギヤ列は、ガイドローラ
７２の軸端に嵌装されたギヤ７８と回転ブラシ６４、６
４の軸端に嵌装されたギヤ８２、８２と、ギヤ７８とギ
ヤ８２、８２の間にそれぞれ設けられた減速ギヤ８０、
８０とで構成される。これにより、ガイドローラ７２の
回転を利用して回転ブラシ６４、６４をワイヤー１４の
走行方向と逆方向に回転させることができる。
ーソー１０において、ワイヤー１４が被加工物を切断後
に、一方のリール１２又は他方のリール２６に巻き取ら
れる前にそれぞれ設置される。次に、本発明のワイヤー
ソーのワイヤー洗浄装置４６について説明する。図２、
図３、図４に示すように、上部が四角筒状に形成され、
下部が四角錘状になった洗浄槽６０が設けられ、その下
方に沈澱タンク８８（図４参照）が設置される。洗浄槽
６０と沈澱タンク８８は、パイプ８６でつながれてお
り、パイプ８６は沈澱タンク８８とナット８７により締
結されているが、洗浄槽６０とはカップリング８４によ
る結合を行い、容易に取り外しできるようになってい
る。洗浄槽６０内には、洗浄槽内の１／３程度まで洗浄
液６２が貯留されるとともに、ワイヤー１４を洗浄液６
２内に走行させるためのガイドローラ７２が洗浄槽６０
の背板に回動自在に支持される。また、このガイドロー
ラ７２のワイヤー１４の走行方向上流側と下流側には、
それぞれ回転ブラシ６４、６４が洗浄槽６０の前記背板
に回動自在に支持されるとともに、回転ブラシ６４、６
４は、ワイヤー１４に接触するように配置される。ま
た、ガイドローラ７２と回転ブラシ６４を支持する洗浄
槽６０の背板外側面には、ガイドローラ７２の回転を回
転ブラシ６４、６４に伝達させるギヤ列がギヤボックス
７７内に収納されている。このギヤ列は、ガイドローラ
７２の軸端に嵌装されたギヤ７８と回転ブラシ６４、６
４の軸端に嵌装されたギヤ８２、８２と、ギヤ７８とギ
ヤ８２、８２の間にそれぞれ設けられた減速ギヤ８０、
８０とで構成される。これにより、ガイドローラ７２の
回転を利用して回転ブラシ６４、６４をワイヤー１４の
走行方向と逆方向に回転させることができる。
【００１０】また、回転ブラシ６４、６４の上方には、
洗浄槽６０を横断方向に仕切る仕切り板７０が、洗浄槽
６０内の壁面に取り付けられた逆Ｌ字状の支持部材７１
により支持されるとともに、仕切り板７０にはワイヤー
１４が走行する開口６５が形成される。これにより、回
転ブラシ６４、６４の回転による洗浄液６２の上方への
飛散を防止することができる。また、仕切板７０の上方
には、洗浄槽６０内に送り込まれるワイヤー１４と、送
りだされるワイヤー１４に対して、エアを吹き付けるエ
アノズル７４、７４が設けられる。また、エアノズル７
４、７４の向かい側にはそれぞれ、スポンジ状の干渉体
６６、６６が設けられ、吹き飛ばされた洗浄液６２を吸
収し、洗浄液６２のミスト化を防止するようになってい
る。また、エアノズル７４、７４の上方にも、洗浄槽６
０内の壁面に取り付けられた逆Ｌ字状の支持部材６９に
より支持されるとともに、ワイヤー１４が走行する開口
６３が形成された仕切板６８が設けられ、エア吹き付け
時にワイヤー１４に付着した洗浄液６２が洗浄槽６０外
で飛散するのを防止している。また、洗浄槽６０の正面
下部には洗浄液補充口７６を設け、洗浄液７２を容易に
補充できるようにしている。
洗浄槽６０を横断方向に仕切る仕切り板７０が、洗浄槽
６０内の壁面に取り付けられた逆Ｌ字状の支持部材７１
により支持されるとともに、仕切り板７０にはワイヤー
１４が走行する開口６５が形成される。これにより、回
転ブラシ６４、６４の回転による洗浄液６２の上方への
飛散を防止することができる。また、仕切板７０の上方
には、洗浄槽６０内に送り込まれるワイヤー１４と、送
りだされるワイヤー１４に対して、エアを吹き付けるエ
アノズル７４、７４が設けられる。また、エアノズル７
４、７４の向かい側にはそれぞれ、スポンジ状の干渉体
６６、６６が設けられ、吹き飛ばされた洗浄液６２を吸
収し、洗浄液６２のミスト化を防止するようになってい
る。また、エアノズル７４、７４の上方にも、洗浄槽６
０内の壁面に取り付けられた逆Ｌ字状の支持部材６９に
より支持されるとともに、ワイヤー１４が走行する開口
６３が形成された仕切板６８が設けられ、エア吹き付け
時にワイヤー１４に付着した洗浄液６２が洗浄槽６０外
で飛散するのを防止している。また、洗浄槽６０の正面
下部には洗浄液補充口７６を設け、洗浄液７２を容易に
補充できるようにしている。
【００１１】次に、上記の様に構成されたワイヤーソー
のワイヤー洗浄装置４６の作用を説明する。加工液４０
が付着したワイヤー１４は、ガイドローラ７２により洗
浄槽６０内に案内される。ワイヤー１４は、ガイドロー
ラ７２を通過する際に洗浄液６２中を走行し、ここでワ
イヤー１４に付着した加工液４０は洗い落とされる。こ
れだけではまだ洗浄が十分に行われないので、さらにワ
イヤー１４の走行方向とは逆方向に回転する回転ブラシ
６４でワイヤー１４をブラッシングして、まだ落としき
れていない加工液４０を除去する。しかしながら、上記
の様にワイヤー１４を洗浄した場合ワイヤー１４に付着
した洗浄液６２が、ワイヤー１４とともに洗浄槽６０外
に同伴されてワイヤーソー装置１０を汚してしまう。そ
こで、ワイヤー１４を回転ブラシ６４で洗浄した後、エ
アノズル７４でワイヤー１４にエアを吹き付け、ワイヤ
ー１４に付着している洗浄液６２を吹き飛ばして除去す
る。この時、吹き飛ばされた洗浄液６２は、干渉体６６
に吸収されるので、吹き飛ばされた洗浄液６２がミスト
化して、洗浄槽６０外に飛散するのを防止することがで
きる。また、洗浄された加工液４０中の砥粒は、洗浄槽
６０の下部が傾斜しているので下に落ち、パイプ８６を
通り沈澱タンク８６で沈澱する。
のワイヤー洗浄装置４６の作用を説明する。加工液４０
が付着したワイヤー１４は、ガイドローラ７２により洗
浄槽６０内に案内される。ワイヤー１４は、ガイドロー
ラ７２を通過する際に洗浄液６２中を走行し、ここでワ
イヤー１４に付着した加工液４０は洗い落とされる。こ
れだけではまだ洗浄が十分に行われないので、さらにワ
イヤー１４の走行方向とは逆方向に回転する回転ブラシ
６４でワイヤー１４をブラッシングして、まだ落としき
れていない加工液４０を除去する。しかしながら、上記
の様にワイヤー１４を洗浄した場合ワイヤー１４に付着
した洗浄液６２が、ワイヤー１４とともに洗浄槽６０外
に同伴されてワイヤーソー装置１０を汚してしまう。そ
こで、ワイヤー１４を回転ブラシ６４で洗浄した後、エ
アノズル７４でワイヤー１４にエアを吹き付け、ワイヤ
ー１４に付着している洗浄液６２を吹き飛ばして除去す
る。この時、吹き飛ばされた洗浄液６２は、干渉体６６
に吸収されるので、吹き飛ばされた洗浄液６２がミスト
化して、洗浄槽６０外に飛散するのを防止することがで
きる。また、洗浄された加工液４０中の砥粒は、洗浄槽
６０の下部が傾斜しているので下に落ち、パイプ８６を
通り沈澱タンク８６で沈澱する。
【００１２】これにより、本発明のワイヤー洗浄装置４
６は、従来のワイヤー洗浄装置より洗浄力が増し、また
洗浄槽内でワイヤーに付着した洗浄液を取り去ってから
ワイヤーを外部に送り出すため、洗浄槽６０外で洗浄液
が飛散することがない。さらに、ガイドローラの回転を
利用して、回転ブラシを回転させたので、新たに回転ブ
ラシを回転させる動力を必要としないので省エネを図る
ことができるとともに、装置を簡略化することができ
る。
６は、従来のワイヤー洗浄装置より洗浄力が増し、また
洗浄槽内でワイヤーに付着した洗浄液を取り去ってから
ワイヤーを外部に送り出すため、洗浄槽６０外で洗浄液
が飛散することがない。さらに、ガイドローラの回転を
利用して、回転ブラシを回転させたので、新たに回転ブ
ラシを回転させる動力を必要としないので省エネを図る
ことができるとともに、装置を簡略化することができ
る。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るワイ
ヤーソーのワイヤー洗浄装置によれば、加工液が付着し
たワイヤーを洗浄槽内に貯留された洗浄液中を走行させ
るとともに、ワイヤーの走行方向と逆方向に回転する回
転ブラシでブラッシングするので、ワイヤーの洗浄効果
を向上させることができる。また洗浄後に、ワイヤーに
付着している洗浄液を、ワイヤーにエアを吹き付けて除
去するようにしたので、洗浄槽外で洗浄液が飛散するこ
とを防止できる。
ヤーソーのワイヤー洗浄装置によれば、加工液が付着し
たワイヤーを洗浄槽内に貯留された洗浄液中を走行させ
るとともに、ワイヤーの走行方向と逆方向に回転する回
転ブラシでブラッシングするので、ワイヤーの洗浄効果
を向上させることができる。また洗浄後に、ワイヤーに
付着している洗浄液を、ワイヤーにエアを吹き付けて除
去するようにしたので、洗浄槽外で洗浄液が飛散するこ
とを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、ワイヤーソーの全体構成を説明する説
明図
明図
【図２】図２は、本発明のワイヤーソーのワイヤー洗浄
装置の実施例を説明する正面図
装置の実施例を説明する正面図
【図３】図３は、本発明のワイヤーソーのワイヤー洗浄
装置の実施例を説明する側面図
装置の実施例を説明する側面図
【図４】図４は、本発明のワイヤーソーのワイヤー洗浄
装置の実施例を説明する背面図
装置の実施例を説明する背面図
１０…ワイヤーソー １２、２６…リール １４…ワイヤー １６…ワイヤー案内装置 １８、７２…ガイドローラ ２２…溝付きローラ ４０…加工液 ４２…砥液供給ノズル ４８…ワーク送りテーブル ５４…半導体インゴット ６０…洗浄槽 ６２…洗浄液 ６４…回転ブラシ ６６…干渉体 ６８、７０…仕切板 ７４…エアノズル ７６…洗浄液補充口 ７７…ギヤボックス ７８、８０、８２…ギヤ ８４…カップリング ８６…パイプ ８８…沈澱タンク
Claims (3)
- 【請求項１】一方のリールと他方のリールの間を走行す
るワイヤーに被加工物を押し当てると共に、前記ワイヤ
ーに砥粒を含む加工液を供給して被加工物を多数の薄板
状のウェーハに切断するワイヤーソーであって、前記ワ
イヤー走行路に設けられ、前記ワイヤーに付着した前記
加工液を洗浄するワイヤーソーのワイヤー洗浄装置にお
いて、 前記ワイヤー洗浄装置は、 前記ワイヤーを洗浄する洗浄液を貯留する洗浄槽と、 前記洗浄槽内に回動自在に設けられ、前記ワイヤーが洗
浄液内を走行するように案内するとともに、走行するワ
イヤーに係合して回転するガイドローラと、 前記洗浄槽内に回動自在に設けられ、前記ワイヤーをブ
ラッシングする回転ブラシと、 前記ガイドローラの回転力を前記回転ブラシの回転動力
として伝達する動力伝達機構と、 前記洗浄槽内に設けられ、洗浄の終了したワイヤーにエ
アを吹きつけるエアノズルと、を備えていることを特徴
とするワイヤーソーのワイヤー洗浄装置。 - 【請求項２】前記動力伝達装置は、前記回転ブラシが、
ワイヤー走行方向に対して逆方向に回転するように動力
を伝達することを特徴とする請求項１のワイヤーソーの
ワイヤー洗浄装置。 - 【請求項３】前記回転ブラシは、前記ガイドローラのワ
イヤー走行方向上流側と下流側とにそれぞれ設けられる
ことを特徴とする請求項１のワイヤーソーのワイヤー洗
浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10118194A JPH07308919A (ja) | 1994-05-16 | 1994-05-16 | ワイヤーソーのワイヤー洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10118194A JPH07308919A (ja) | 1994-05-16 | 1994-05-16 | ワイヤーソーのワイヤー洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07308919A true JPH07308919A (ja) | 1995-11-28 |
Family
ID=14293827
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10118194A Pending JPH07308919A (ja) | 1994-05-16 | 1994-05-16 | ワイヤーソーのワイヤー洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07308919A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2468874A (en) * | 2009-03-24 | 2010-09-29 | Rec Wafer Norway As | Apparatus for cutting wafers using wires and abrasive slurry |
| CN105734865A (zh) * | 2016-03-31 | 2016-07-06 | 芜湖富春染织有限公司 | 色纱清洗装置 |
| CN107812747A (zh) * | 2017-11-30 | 2018-03-20 | 浙江新瑞欣精密线锯有限公司 | 一种线锯的镀后清洗装置 |
| CN108858838A (zh) * | 2017-05-10 | 2018-11-23 | 松下知识产权经营株式会社 | 锯线及切断装置 |
| WO2019223192A1 (zh) * | 2018-05-21 | 2019-11-28 | 淄博名堂教育科技有限公司 | 一种方便穿线的市政工程用电缆清洗装置 |
-
1994
- 1994-05-16 JP JP10118194A patent/JPH07308919A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2468874A (en) * | 2009-03-24 | 2010-09-29 | Rec Wafer Norway As | Apparatus for cutting wafers using wires and abrasive slurry |
| CN105734865A (zh) * | 2016-03-31 | 2016-07-06 | 芜湖富春染织有限公司 | 色纱清洗装置 |
| CN108858838A (zh) * | 2017-05-10 | 2018-11-23 | 松下知识产权经营株式会社 | 锯线及切断装置 |
| CN107812747A (zh) * | 2017-11-30 | 2018-03-20 | 浙江新瑞欣精密线锯有限公司 | 一种线锯的镀后清洗装置 |
| WO2019223192A1 (zh) * | 2018-05-21 | 2019-11-28 | 淄博名堂教育科技有限公司 | 一种方便穿线的市政工程用电缆清洗装置 |
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