TWI628463B - 混合表面離軸三反光學系統 - Google Patents

混合表面離軸三反光學系統 Download PDF

Info

Publication number
TWI628463B
TWI628463B TW106105233A TW106105233A TWI628463B TW I628463 B TWI628463 B TW I628463B TW 106105233 A TW106105233 A TW 106105233A TW 106105233 A TW106105233 A TW 106105233A TW I628463 B TWI628463 B TW I628463B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
coordinate system
axis
rectangular coordinate
dimensional rectangular
dimensional
Prior art date
Application number
TW106105233A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201827886A (zh
Inventor
朱鈞
龔桐桐
金國藩
范守善
Original Assignee
鴻海精密工業股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 鴻海精密工業股份有限公司 filed Critical 鴻海精密工業股份有限公司
Application granted granted Critical
Publication of TWI628463B publication Critical patent/TWI628463B/zh
Publication of TW201827886A publication Critical patent/TW201827886A/zh

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B17/00Systems with reflecting surfaces, with or without refracting elements
    • G02B17/02Catoptric systems, e.g. image erecting and reversing system
    • G02B17/06Catoptric systems, e.g. image erecting and reversing system using mirrors only, i.e. having only one curved mirror
    • G02B17/0626Catoptric systems, e.g. image erecting and reversing system using mirrors only, i.e. having only one curved mirror using three curved mirrors
    • G02B17/0636Catoptric systems, e.g. image erecting and reversing system using mirrors only, i.e. having only one curved mirror using three curved mirrors off-axis or unobscured systems in which all of the mirrors share a common axis of rotational symmetry
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B17/00Systems with reflecting surfaces, with or without refracting elements
    • G02B17/02Catoptric systems, e.g. image erecting and reversing system
    • G02B17/06Catoptric systems, e.g. image erecting and reversing system using mirrors only, i.e. having only one curved mirror
    • G02B17/0626Catoptric systems, e.g. image erecting and reversing system using mirrors only, i.e. having only one curved mirror using three curved mirrors
    • G02B17/0642Catoptric systems, e.g. image erecting and reversing system using mirrors only, i.e. having only one curved mirror using three curved mirrors off-axis or unobscured systems in which not all of the mirrors share a common axis of rotational symmetry, e.g. at least one of the mirrors is warped, tilted or decentered with respect to the other elements
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B17/00Systems with reflecting surfaces, with or without refracting elements
    • G02B17/02Catoptric systems, e.g. image erecting and reversing system
    • G02B17/06Catoptric systems, e.g. image erecting and reversing system using mirrors only, i.e. having only one curved mirror
    • G02B17/0605Catoptric systems, e.g. image erecting and reversing system using mirrors only, i.e. having only one curved mirror using two curved mirrors
    • G02B17/0621Catoptric systems, e.g. image erecting and reversing system using mirrors only, i.e. having only one curved mirror using two curved mirrors off-axis or unobscured systems in which not all of the mirrors share a common axis of rotational symmetry, e.g. at least one of the mirrors is warped, tilted or decentered with respect to the other elements
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/0012Optical design, e.g. procedures, algorithms, optimisation routines

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Lenses (AREA)

Abstract

本發明涉及一種混合表面離軸三反光學系統,包括:主鏡,次鏡,三鏡,以及圖像感測器,在空間中定義一第一三維直角坐標系,在空間中相對於第一三維直角坐標系,以所述主鏡所在的空間定義一第二三維直角坐標系;以所述次鏡所在的空間定義一第三三維直角坐標系;以所述三鏡所在的空間定義一第四三維直角坐標系;在所述第二三維直角坐標系中,所述主鏡的反射面為一6次的xy多項式自由曲面;在所述第三三維直角坐標系中,所述次鏡的反射面為一6次的xy非球面;在所述第四三維直角坐標系中,所述三鏡的反射面為一xy球面。

Description

混合表面離軸三反光學系統
本發明涉及光學領域,尤其涉及一種具有大視場,小F數的混合表面離軸三反光學系統。
在滿足光學系統性能指標要求的情況下,使用簡單的曲面如球面和非球面代替複雜的曲面如自由曲面來設計光學系統,可以減小成本和降低加工檢測的難度。混合表面光學系統的每個表面可以有不同的選擇,例如:球面、非球面和自由曲面,因此,混合表面光學系統相對於自由曲面光學系統成本較低且加工檢測的難度小。
然而,先前的混合表面光學系統種類較少,且主要適用於小視場角,大F數的視場,對於具有大視場角,小F數視場的應用範圍受限。因此如果可以提供一種可以實現大視場,小F數的混合表面光學系統,將非常有意義。
有鑑於此,確有必要提供一種具有大視場,小F數的混合表面光學系統。
一種混合表面離軸三反光學系統,包括:一主鏡,該主鏡設置在光線的出射光路上;一次鏡,該次鏡設置在所述主鏡的反射光路上;一三鏡,該三鏡設置在所述次鏡的反射光路上;以及一圖像感測器,該圖像感測器位於所述三鏡的反射光路上,在空間中定義一第一三維直角坐標系(x1,y1,z1),在空間中相對於第一三維直角坐標系(x1,y1,z1),以所述主鏡所在的空間定義一第二三維直角坐標系(x2,y2,z2);以所述次鏡所在的空間定義一第三三維 直角坐標系(x3,y3,z3);以所述三鏡所在的空間定義一第四三維直角坐標系(x4,y5,z4);在所述第二三維直角坐標系(x2,y2,z2)中,所述主鏡的反射面為一6次的x2y2多項式自由曲面;在所述第三三維直角坐標系(x3,y3,z3)中,所述次鏡的反射面為一6次的x3y3非球面;在所述第四三維直角坐標系(x4,y4,z4)中,所述三鏡的反射面為一x4y4球面。
與先前技術相比,本發明提供的混合表面光學系統可以實現較小F數、較大視場的成像,且成像品質良好,其中,F數可達2.2,視場角可達到3°×6°;且該非球面的反射鏡,自由曲面的反射鏡使用的運算式的次數較低,比較容易加工,易於批量生產。
第7圖
100‧‧‧混合表面離軸三反光學系統
120‧‧‧主鏡
140‧‧‧次鏡
160‧‧‧三鏡
180‧‧‧圖像感測器
圖1為本發明實施例提供的求解特徵數據點時特徵光線起點與終點示意圖。
圖2為本發明實施例提供的全域坐標系與第一局部坐標系的位置關係圖。
圖3為本發明實施例提供的求解中間點Gm的示意圖。
圖4為本發明實施例提供的求解第m+1個第一特徵數據點Pm+1的示意圖。
圖5為本發明實施例求解球面三反光學系統的示意圖。
圖6為本發明實施例提供的確定第一局部坐標系參數取值的示意圖。
圖7為本發明實施例提供的混合表面離軸三反光學系統的示意圖。
圖8為本發明實施例提供的的混合表面離軸三反光學系統的各鏡面之間的位置關係。
圖9為本發明實施例提供的混合表面離軸三反光學系統的RMS彌散斑直徑示意圖。
圖10為本發明實施例提供的優化後的混合表面離軸三反光學系統的光路示意圖。
圖11為本發明實施例提供的優化後的混合表面離軸三反光學系統的MTF曲線。
圖12為本發明實施例提供的優化後的混合表面離軸三反光學系統的RMS波前誤差示意圖。
下麵將結合附圖及具體實施例,對本發明作進一步的詳細說明。
一種混合表面光學系統的設計方法,其包括以下步驟:S1:建立一第一初始系統,該第一初始系統包括多個初始曲面,且該第一初始系統中的一個初始曲面對應待設計混合表面光學系統中一個曲面,選取來自不同視場不同孔徑的K條特徵光線;S2:在所述第一初始系統的基礎上求解一球面光學系統,具體地,將該球面光學系統中的一個待求球面定義為球面a,保持該多個初始曲面不變,逐點求解K條特徵光線中的m條特徵光線與球面a的m個交點,得到m個第一特徵數據點,m<K,將m個第一特徵數據點擬合得到初始球面Am;根據初始球面Am得到第m+1個第一特徵數據點Pm+1,將m+1個第一特徵數據點擬合得到球面Am+1;以此類推,重複求特徵數據點-球面擬合的過程,直到求解得到第K個第一特徵數據點PK,將K個第一特徵數據點擬合得到球面AK,該球面AK為球面a;以此類推,直到獲得該球面光學系統中的所有球面;S3:將待設計混合表面光學系統中的一個待求非球面定義為非球面b,以所述球面光學系統作為第二初始系統,保持球面光學系統中的多個球面不變,將K條特徵光線與所述球面a的K個交點作為K個第二特徵數據點;將該K個第二特徵數據點進行曲面擬合,得到非球面b;以此類推,直到獲得待設計混合表面光學系統中所有的待求非球面,進而得到一擁有球面和非球面的第一混合表面光學系統;S4:將待設計混合表面光學系統中的一個待求自由曲面定義為自由曲面c,以所述第一混合表面光學系統作為第三初始系統,保持該第一混合表面光學系統中的非球面不變,將K條特徵光線與非球面b的K個交點作為K個第三特徵數據點;將該K第三特徵數據點進行曲面擬合,得到待求自由曲面c;以此 類推,直到獲得待設計混合表面學系統中所有的待求自由曲面,進而得到待設計的混合表面學系統。
步驟S1中,所述初始系統的建立以消除遮攔為前提。所述多個初始曲面可以為平面、球面等。本實施例中,所述初始系統包括三個初始平面,該三個初始平面分別是主鏡初始平面、次鏡初始平面以及三鏡初始平面,所述主鏡初始平面,次鏡初始平面以及三鏡初始平面均為具有偏心和傾斜的平面。
所述選取來自不同視場不同孔徑的K條特徵光線Ri(i=1,2...K)可通過以下方法進行:根據需求選取M個視場,將每個視場的孔徑分成N等份,並從每一等份中選取不同孔徑位置的P條特徵光線,這樣一共選取了K=M×N×P條對應不同視場不同孔徑位置的特徵光線。所述孔徑可以為圓形、長方形、正方形、橢圓形或其它規則或不規則的形狀。優選的,所述視場孔徑為圓形孔徑,將每個視場的圓形孔徑等分成N個角度,間隔為φ,因此有N=2π/φ,沿著每個角度的半徑方向取P個不同的孔徑位置,那麼一共選取K=M×N×P條對應不同視場不同孔徑位置的特徵光線。本實施例中,共選取14個離軸視場,該14個離軸視場分別為(0°,-16°)、(0°,-15°)、(0°,-14°)、(0°,-13°)、(0°,-12°)、(0°,-11°)、(0°,-10°)、(1.5°,-16°)、(1.5°,-15°)、(1.5°,-14°)、(1.5°,-13°)、(1.5°,-12°)、(1.5°,-11°)、(1.5°,-10°),每個離軸視場取112條特徵光線,因此共選取了1568條對應不同視場不同孔徑位置的特徵光線。
請參閱圖1,將特徵光線Ri(i=1,2...K)與待求球面Ω的交點定義為第一特徵數據點Pi(i=1,2,......K)。為了得到一個待求球面Ω上的所有第一特徵數據點,將借助特徵光線Ri(i=1,2…K)與待求球面Ω的前一個曲面Ω'及後一個曲面Ω"的交點。在求解每條特徵光線Ri(i=1,2…K)對應的待求球面Ω上的第一特徵數據點時,將該特徵光線Ri與前一個曲面Ω'的交點定義為該特徵光線的起點Si,特徵光線Ri與後一個曲面Ω"的交點定義為該特徵光線的終點Ei。當待設計的系統與特徵光線確定後,該特徵光線Ri的起點Si是確定的,且易於通過光線追跡即物像關係得到,特徵光線的終點Ei可通過物像關係求解。在理想狀態下,特徵光線Ri從Ω'上的Si射出後,經過Ω上的Pi,交於Ω"上的Ei,並最終匯聚於理想像點Ii。本實施例中,當待求球面Ω為三鏡時,特徵光線與次鏡和像面的交點分別定義為特徵光線的起點Si和終點Ei,Ei即為理想像點Ii。當待求球面Ω為次鏡時,特徵光線與主鏡和三鏡的交點分別為特徵光線 的起點Si和終點Ei,根據費馬原理可以得到Ei為三鏡上使Pi-Ei-像點Ii之間光程最短的點。當待求球面為主鏡時,根據費馬原理可以得到Ei為次鏡上使Pi-Ei-Fi-Ii之間光程最短的點。
步驟S2中,m的取值可以由設計者決定,選取原則是能夠保證球面擬合的準確性。優選的,m的值可以大於K/3小於2K/3。如果m的值太小,擬合誤差會比較大;如果m值太大,則後續的特徵數據點比較少,不利於誤差的進一步減小。更優選的,m的值越靠近K/2越好。本實施例中,所述m的取值為K/2=784。
所述球面a上的m個第一特徵數據點(P1,P2,......Pm)的計算方法包括以下步驟:步驟a,取定一第一條特徵光線R1與所述球面a對應的初始曲面的第一交點為第一特徵數據點P1;步驟b,在得到第i(1≦i≦m-1)個第一特徵數據點Pi後,根據斯涅爾定律 的向量形式求解第i個第一特徵數據點Pi處的單位法向量,進而求得Pi 處的單位切向量; 步驟c,僅過所述第i(1≦i≦m-1)個第一特徵數據點Pi做一第一切平面並與其餘m-i條特徵光線相交,得到m-i個第二交點,從該m-i個第二交點中選取出與所述第i個第一特徵數據點Pi距離最短的第二交點Qi+1,並將其對應的特徵光線及與所述第i個第一特徵數據點Pi的最短距離分別定義為Ri+1和D;步驟d,過第一特徵數據點Pi(1≦i≦m-1)之前已求得的i-1個第一特徵數據點分別做一第二切平面,得到i-1個第二切平面,該i-1個第二切平面與所述特徵光線Ri+1相交得到i-1個第三交點,在每一第二切平面上每一第三交點與其所對應的第一特徵數據點Pi形成一交點對,在所述交點對中,選出交點對中距離最短的一對,並將距離最短的交點對的第三交點和最短距離分別定義為Q(i+1)'和Di';步驟e,比較Di與Di',如果Di≦Di',則把Qi+1取為下一個第一特徵數據點Pi+1,反之,則把Q(i+1)'取為下一個第一特徵數據點Pi+1;以及 步驟f,重複步驟b到e,直到計算得到球面a上的m個第一特徵數據點Pi(i=1,2…m)。
步驟b中,每個第一特徵數據點Pi(P1,P2,……Pm)處的單位法 向量可以根據斯涅爾(Snell)定律的向量形式求解。當待求球面Ω為折 射面時,則每個第一特徵數據點Pi(i=1,2…m)處的單位法向量滿足: 其中,分別是沿著光線入射與出射方向的單位向量,n,n'分別為待求球面Ω前後兩種介質的折射率。
類似的,當待求球面Ω為反射面時,則每個第一特徵數據點Pi (i=1,2…m)處的單位法向量滿足:
請參閱圖2,將所述第一初始系統所在的空間定義一全域坐標系。其中,將光束傳播方向定義為z軸,垂直於z軸方向的平面為xy平面。
所述第一特徵數據點Pm+1的求解包括以下步驟:首先,請參閱圖3,計算一中間點Gm。具體地,請參閱圖3,求解第一特徵數據點Pm處的切平面Tm,該切平面Tm與初始球面Am相交得到相貫線Lm;在全域坐標系中,在所述相貫線Lm上,與所述第一特徵數據點Pm的x坐標相同的點即為中間點Gm
其次,求解第一特徵數據點Pm+1,特徵數據點Pm+1為其對應的特徵光線和距離最近的已知的m個第一特徵數據點(P1,P2,……Pm)的切平面的交點。 請參閱圖4,具體包括以下步驟:第一步,找到第一特徵數據點Pm+1對應的特徵光線,即,在剩餘的K-m條特徵光線中找到距離中間點Gm最近的特徵光線。具體地,中間點Gm位於初始球面Am上,所以根據球面運算式,可以求得中間點Gm在初始球面Am處的法向nm,進而得到中間點Gm在初始球面Am處的切平面;將中間點Gm的切平面與剩餘K-m條特徵光線相交,得到K-m個交點,從該K-m個交點中,找到與中間點Gm距離最近的交點Pm ',該交點Pm'所在的光線即為第一特徵數據點Pm+1對應的特徵光線Rm+1;第二步,特徵光線Rm+1與已經求得的m個第一特徵數據點Pi(1≦i≦m)和中間點Gm的切平面相交,對應得到m+1個交點P'i(1≦i≦m)和G'm。從m+1個第一特徵數據點/中間點-交點對中找到距離最短的一對(F-F'),其中的第一特徵數據點/中間點F為距離第一特徵數據點Pm+1最近的點,交點F'即為下一個第一特徵數據點Pm+1
所述第一特徵數據點PK的求解方法與所述特徵數據點Pm+1的求解方法相同。在此不再一一贅述。
所述將m個第一特徵數據點擬合得到初始球面Am;將m+1個第一特徵數據點擬合得到球面Am+1;以及將K個第一特徵數據點擬合得到球面AK均採用最小二乘法來進行擬合。
所述第一特徵數據點的坐標為(xi,yi,zi),對應的法向量為(ui,vi,-1)。設球心為(A,B,C),半徑為r,球面的方程為:(x i -A)2+(y i -B)2+(z i -C)2=r 2(1)。
將球面的方程(1)分別對x和y進行求導得到x軸和y軸方向的法向向量ui和vi運算式,
將式(1)、(2)、(3)改寫成矩陣的形式,並進行矩陣的行列變換,分別對應得到通過坐標值和法向值求解圓心坐標的運算式(4)、(5)、(6),
球面上光線的偏折方向與其法向量(u,v,-1)密切相關,因此,在擬合過程中應該同時考慮第一特徵數據點坐標誤差和法向誤差的影響。根據以上分析,將坐標計算和法向計算進行線性加權來求解球心(A,B,C)和半徑r,式(4)+ω×式(5)+ω×式(6) (7),式(1)+ω×式(2)+ω×式(3) (8),其中,ω為法向計算的權重值。通過公式(7)可以求得球心(A,B,C)的值,通過公式(8)可以求得球面半徑r的值。
得到所述球面a後,可進一步改變該球面a的半徑得到球面a',進而改變該球面a的光焦度,優選的,ra’a×ra,εa=0.5~1.5,ra為球面a的半徑,ra’為球面a'的半徑。以此類推,所述球面光學系統中的每個球面求解之後,均改變該球面的半徑得到一個新的球面,進而改變該球面的光焦度。請參閱圖5,本實施例中,首先按照所述步驟S2中的計算方法得到球面C,改變球面C的半徑得到球面C';保持主鏡初始平面與球面C'不變,計算得到球面B,改變球面B的半徑得到球面B',保持球面B'與球面C'不變,計算得到球面A,改變球面A的半徑得到球面A',進而得到一球面三反光學系統。
步驟S3中,非球面上特徵光線的偏折方向與其法向N=(U,V,-1)密切相關,如果法向擬合的誤差較大,特徵光線的傳播路徑將偏離預期,成像品質會受到很大的影響。優選的,在將該K個第二特徵數據點進行曲面擬合的過程中同時考慮第二特徵數據點坐標誤差和法向誤差的影響,根據物像關係分別求解K個第二特徵數據點處的單位法向量;將該K第二特徵數據點的坐標和法向進行曲面擬合。
求解K個第二特徵數據點處的單位法向量的方法與步驟S2中求解 每個第一特徵數據點Pi(P1,P2,……Pm)處的單位法向量的方法相同,在 此不再一一贅述。
以非球面b的頂點(0,a',b')為原點,非球面b的對稱軸為z軸建立第一局部坐標系。所述全域坐標系與第一局部坐標系之間的旋轉角度為θ。所述第一局部坐標系的位置由參數a'、b'、θ描述。
將坐標誤差和法向誤差進行線性加權,提出誤差評價函數J:J=Σ(Z-z)2+ω×Σ(U-u)2+ω×Σ(V-v)2=(z-A 1 P) T (z-A 1 P)+ω(u-A 2 P) T (v-A 2 P)+ω(v-A 3 P) T (v-A 3 P) (10),其中,Z為擬合得到的坐標值;(U,V,-1)為擬合得到的法向量;z為第二特徵數據點的坐標值;(u,v,-1)為第二特徵數據點的法向量;ω為法向誤差的權重值;P為待求非球面b的係數矩陣(A,B,C,D);A1為矩陣(r2,r4,r6,r8);A2和A3分別是A1對x和y求偏導數後得到的矩陣。
當誤差評價函數J最小時,待求非球面b的係數矩陣P的求解公式為:P=(A 1 T A 1+ωA 2 T A 2+ωA 3 T A 3)-1(A 1 T z+ωA 2 T u+ωA 3 T v) (11)。
具體地,所述將該K個第二特徵數據點進行擬合得到非球面b包括以下步驟:S31:將所述K個第二特徵數據點在全域坐標系中的坐標(x0,y0,z0)及其對應的法向量(α000)變換為第一局部坐標系中的坐標(x,y,z)及其法向量(α,β,γ);以及S32:在所述第一局部坐標系xyz中,進行最小二乘法擬合。
步驟S31中,所述K個第二特徵數據點在全域坐標系中的坐標(x0,y0,z0)及其對對應的法向量(α000)與在第一局部坐標系中的坐標(x,y,z)及其對應的法向量(α,β,γ)的關係式分別為:
其中,通過在第二特徵數據點附近採用局部搜索演算法得到多個第一局部坐標系位置,從中選擇令擬合誤差最小的一個第一局部坐標系的z軸作為非球面b的對稱軸。
請參閱圖6,當將所述K個第二特徵數據點(P1,P2,……Pk)進行擬合得到非球面b時,需要確定第一局部坐標系的位置。非球面頂點坐標(0,a',b')的值通過在以第二特徵數據點P1和Pk的連線為對角線的矩形內採用局部搜索演算法得到。具體地,在以第二特徵數據點P1和Pk的連線為對角線的矩形內進行網格劃分,網格節點定義為非球面b的頂點坐標(0,a',b')的值,網格大小為(0,a',b')取值的步長。本實施例中,所述網格的步長為0.2mm。對於每個節點坐標(0,a,b),旋轉角θ可以取[-π,π],用這種方法可以得到多組a'、b'、θ的值,對應多個第一局部坐標系位置。
對所述多組a'、b'、θ的值,分別對應不同的第一局部坐標系位置繼續進行最小二乘法擬合計算,可以得到對應的係數矩陣P和誤差評價函數J。找到令J值最小的一組a'、b'、θ即為最佳第一局部坐標系位置參數,採用該最佳第一局部坐標系位置參數建立所述第一局部坐標系xyz。
將對應的係數矩陣P帶入非球面運算式:
得到非球面b。其中,L為r的8次以上的更高次項,由於次數太高在加工中比較困難,所以在實際計算中L項直接省略。
步驟S4中,在將該K個第三特徵數據點進行曲面擬合的過程中優選同時考慮第三特徵數據點坐標誤差和法向誤差的影響,根據物像關係分別求解K個第三特徵數據點處的單位法向量;將該K個第三特徵數據點的坐標和法向進行曲面擬合。
求解K個第三特徵數據點處的單位法向量的方法與步驟S2中求解 每個第一特徵數據點Pi(P1,P2,……Pm)處的單位法向量的方法相同,在 此不再一一贅述。
將所述自由曲面c上的多個第三特徵數據點進行曲面擬合包括以下步驟:S41:將所述多個第三特徵數據點在所述全域坐標系中擬合成一球面,得到該球面的曲率c及其對應的曲率中心(xc,yc,zc),S42:將中心採樣視場主光線對應的第三特徵數據點(xo,yo,zo)定義為球面的頂點,並以該球面的頂點為原點,過曲率中心與球面頂點的直線為z軸,建立一第二局部坐標系;S43:將所述多個第三特徵數據點在全域坐標系中的坐標(xi,yi,zi)及其對應的法向量(αiii)變換為第二局部坐標系中的坐標(x'i,y'i,z'i)及其法向量(α'i,β'i,γ'i);S44:根據所述多個第三特徵數據點在第二局部坐標系中的坐標(x'i,y'i,z'i),以及步驟S42中求得的球面的曲率c,將多個第三特徵數據點在第二局部坐標系中擬合成一個二次曲面,得到二次曲面係數k;以及S45:將所述多個第三特徵數據點在第二局部坐標系中的二次曲面上的坐標與法向量分別從坐標(x'i,y'i,z'i)和法向量(α'i,β'i,γ'i)中排除掉,得到殘餘坐標與殘餘法向量,將該殘餘坐標與殘餘法向量擬合成一個自由曲面,該自由曲面的方程式與所述二次曲面的方程式相加即可得到所述自由曲面c的方程式。
通常的,光學系統關於三維直角坐標系的yoz面對稱,因此,步驟S41中,所述球面在第二局部坐標系yoz面內相對於在全域坐標系yoz面內的傾斜角θ為:
所述多個第三特徵數據點在第二局部坐標系中的坐標(x'i,y'i,z'i)與法向量(α'i,β'i,γ'i)與在全域坐標系中的坐標(xi,yi,zi)和法向量(αiii)的關係式分別為:
在第二局部坐標系中,將在二次曲面上的第三特徵數據點的坐標與法向量分別定義為(x'i,y'i,z'is)和(α'is,β'is,γ'is)。將法向的z'分量歸一化為-1,將在二次曲面上的第三特徵數據點坐標(x'i,y'i,z'is)與法向量(α'is,β'is,γ'is)分別從坐標(x'i,y'i,z'i)和法向量(α'i,β'i,γ'i)排除掉之後,得到殘餘坐標(x"i,y"i,z"i)與殘餘法向量(α"s,β"s,-1)分別為:(x i ",y i ",z i ")=(x i ',y i ',z i '-z is ')和
步驟S45中,所述將殘餘坐標與殘餘法向量擬合得到自由曲面c的步驟包括:S451:在所述第二局部坐標系中,用排除掉二次曲面項的多項式曲面作為待構建自由曲面的面形描述,即 其中,gj(x,y)為多項式的某一項,P=(p 1,p 2,L,p J )T為係數集合;S452:獲得殘餘坐標擬合誤差d1(P),即所述殘餘坐標值(x"i,y"i,z"i)(i=1,2,...,n)與所述自由曲面在z'軸方向殘餘坐標差值的平方和;以及殘餘法向向量擬合誤差d2(P),即所述殘餘法向量N i=(α"i,β"i,-1)(i=1,2,...,n)與所述自由曲面法向量的向量差的模值的平方和, 其中,,,, S453:獲得評價函數, 其中,w為權重且大於0;S454:選擇不同的權重w,並令所述評價函數f(P)的梯度▽f(P)=0,從而獲得多組不同的P及其對應的多個自由曲面面形z=f(x,y;P);以及S455:獲得具有最佳的成像品質的最終自由曲面面形。
所述混合表面光學系統的設計方法可進一步包括一對步驟S4中得到的混合表面光學系統進行優化的步驟。具體地,將步驟S4中得到的混合表面光學系統作為後續優化的初始系統。可以理解,該對步驟S4中得到的混合表面光學系統進行優化的步驟並不是必需的,可以根據實際需要設計。
請參閱圖7,本發明實施例採用上述混合表面光學系統的設計方法設計得到一混合表面離軸三反光學系統100。其中,該混合表面離軸三反光學系統100包括相鄰且間隔設置的一主鏡120、一次鏡140、一三鏡160以及一圖像感測器180,該次鏡140為光闌面。所述主鏡120的面形為自由曲面,次鏡140的面形為非球面,三鏡160的面形為球面。從光源出射的特徵光線依次經 過所述主鏡120、次鏡140、以及三鏡160的反射後,在圖像感測器180上成像。所述混合表面離軸三反光學系統100的參數請參見表1,
在設計該混合表面離軸三反光學系統100時,共選取14個離軸視場進行設計,該14個離軸視場分別為(0°,-16°)、(0°,-15°)、(0°,-14°)、(0°,-13°)、(0°,-12°)、(0°,-11°)、(0°,-10°)、(1.5°,-16°)、(1.5°,-15°)、(1.5°,-14°)、(1.5°,-13°)、(1.5°,-12°)、(1.5°,-11°)、(1.5°,-10°),每個離軸視場取112條特徵光線,因此共選取了1568條對應不同視場不同孔徑位置的特徵光線。
請參閱圖8,在空間中定義一第一三維直角坐標系(x1,y1,z1),水準方向的z1軸向左為負向右為正,y1軸垂直於z1軸向上為正向下為負,x1軸垂直於y1z1平面,垂直y1z1平面向裡為正向外為負。
在空間中相對於第一三維直角坐標系(x1,y1,z1),以所述主鏡120所在的空間定義一第二三維直角坐標系(x2,y2,z2)。所述第二三維直角坐標系(x2,y2,z2)的原點在所述第一三維直角坐標系(x1,y1,z1)的(0,244.51,193.62)位置(單位:mm),z2軸正方向相對於第一三維直角坐標系(x1,y1,z1)的z1軸正方向逆時針旋轉13.39度。
在空間中相對於第一三維直角坐標系(x1,y1,z1),以所述次鏡140所在的空間定義一第三三維直角坐標系(x3,y3,z3)。所述第三三維直角坐標系(x3,y3,z3)的原點在所述第一三維直角坐標系(x1,y1,z1)的(0,0,-100)位置(單位:mm),z3軸正方向相對於第一三維直角坐標系(x1,y1,z1)的z1軸正方向逆時針旋轉15度。
在空間中相對於第一三維直角坐標系(x1,y1,z1),以所述三鏡160所在的空間定義一第四三維直角坐標系(x4,y4,z4)。所述第四三維直角坐標系(x4,y4,z4)的原點在所述第一三維直角坐標系(x1,y1,z1)的(0,-160.83,209.49)位置(單位:mm),z4軸正方向相對於第一三維直角坐標系(x1,y1,z1)的z1軸正方向逆時針旋轉0度。
在空間中相對於第一三維直角坐標系(x1,y1,z1),以所述圖像感測器180所在的空間定義一第五三維直角坐標系(x5,y5,z5)。所述第五三維直角坐標系(x5,y5,z5)的原點在所述第一三維直角坐標系(x1,y1,z1)的(0,-145.13,-174.41)位置(單位:mm),z5軸正方向相對於第一三維直角坐標系(x1,y1,z1)的z1軸正方向逆時針旋轉10度。
所述混合表面離軸三反光學系統100在y1軸方向上的長度為430mm,在z1軸方向上的長度為400mm。
在所述第二三維直角坐標系(x2,y2,z2)中,所述主鏡120的反射面為一6次的x2y2多項式自由曲面,該6次的x2y2多項式自由曲面的運算式為:
其中,z為曲面向量高,c為曲面曲率,k為二次曲面係數,bi是多項式中第i項的係數。本實施例中,c=4.57e-04,k=0.048,b1=0.0951,b2=5.26e-06,b3=7.90e-05,b4=3.41e-07,b5=3.97e-07,b6=5.54e-10,b7=1.29e-09,b8=6.84e-10,b9=0,b10=0,b12=0。
在所述第三三維直角坐標系(x3,y3,z3)中,所述次鏡140的反射面為一6次的x3y3非球面,該6次的x3y3非球面的運算式為:
其中,z為曲面向量高,c為曲面曲率,k為二次曲面係數,a1,a2是多項式中的係數。本實施例中,c=5.73e-04,k=0,a1=1.21e-12,a2=-8.85e-16。
在所述第四三維直角坐標系(x4,y4,z4)中,所述三鏡160的反射面為一x4y4球面,該x4y4球面的運算式為:(x-A)2+(y-B)2+(z-C)2=r 2,本實施例中,A=0,B=-160.83,C=209.49,r=-988.48。
可以理解,主鏡以及次鏡的運算式中的曲率c、二次曲面係數k以及各項係數的值,以及三鏡的運算式中的A,B,C,r並不限定於本實施例中,本領域具有通常知識者可以根據實際需要調整。
請參閱圖9,為所述混合表面離軸三反光學系統100的RMS光斑直徑,從圖中可以看出,所述離軸非球面三反光學系統100的RMS光斑直徑平均值為0.296mm,RMS光斑直徑比較小,說明該混合表面離軸三反光學系統100可作為良好的初始結構進行後續優化。
為了進一步提高混合表面離軸三反光學系統100的成像品質,減小相對畸變。將所述混合表面離軸三反光學系統100作為後續優化的初始結構,使用CODEV軟體對該混合表面離軸三反光學系統100進行優化。優化後,所述6次的x2y2多項式自由曲面的運算式中,c=5.54e-04,k=90.31,b1=0,b2=0.0003,b3=0.0005,b4=9.07e-07,b5=1.03e-06,b6=-2.37e-10,b7=9.88e-10,b8=1.31e-09,b9=-4.64e-14,b10=-1.91e-13,b11=-2.05e-13,b12=-7.56e-14。所述6次的x3y3非球面的運算式中,c=9.19e-04,k=0,a1=-4.49e-11,a2=-1.35e-15。所述x4y4球面的運算式中,A=0,B=-266.75,C=313.84,r=-996.65。
優化後,所述第二三維直角坐標系(x2,y2,z2)的原點在所述第一三維直角坐標系(x1,y1,z1)的(0,18.57,274.09)位置(單位:mm),z2軸正方向相對於第一三維直角坐標系(x1,y1,z1)的z1軸正方向逆時針旋轉7.63度;所述第三三維直角坐標系(x3,y3,z3)的原點在所述第一三維直角坐標系(x1,y1,z1)的(0,-227.00,-48.81)位置(單位:mm),z3軸正方向相對於第一三維直角坐標系(x1,y1,z1)的z1軸正方向逆時針旋轉18.03度;所述第四三維直角坐標系(x4,y4,z4)的原點在所述第一三維直角坐標系(x1,y1,z1)的(0,-266.75,313.84)位置(單位:mm),z4軸正方向相對於第一三維直角坐標系(x1,y1,z1)的z1軸正方向逆時針旋轉10.77度;所述第五三維直角坐標系(x5,y5,z5)的原點在所述第一三維直角坐標系(x1,y1,z1)的(0,-365.47,-27.10)位置(單位:mm),z5軸正方向相對於第一三維直角坐標系(x1,y1,z1)的z1軸正方向逆時針旋轉9.74度。
請參閱圖10,為優化後,混合表面離軸三反光學系統100的光路圖,從圖中可以看出,來自不同視場不同孔徑的特徵光線通過主鏡120、次鏡140和三鏡160的反射基本匯聚到了理想像點,成像品質較好。
請參閱圖11,為優化後,混合表面離軸三反光學系統100為在可見光波段部分視場角的調製傳遞函數MTF,從圖中可以看出,各視場MTF曲線都基本達到了衍射極限,表明該優化後,離軸非球面三反光學系統100具有很高的成像品質。
請參閱圖12,為優化後,混合表面離軸三反光學系統100的RMS波前誤差,從圖中可以看出,所述離軸非球面三反光學系統100的RMS波前誤差平均值為0.042λ,其中λ=10000nm。RMS波前誤差比較小。
所述混合表面離軸三反光學系統100的入瞳直徑D為100毫米。
所述混合表面離軸三反光學系統100系統在垂直方向上採用了離軸視場。所述混合表面離軸三反光學系統100的視場角為3°×6°,其中,在水準方向的角度為-1.5°至1.5°,在垂直方向的角度為-16°至-10°。
所述混合表面離軸三反光學系統100的工作波長範圍為8微米到12微米。當然,所述混合表面離軸三反光學系統100的工作波長並不限於本實施例,本領域具有通常知識者可以根據實際需要調整。
所述混合表面離軸三反光學系統100的焦距f為220mm。
所述混合表面離軸三反光學系統100的相對孔徑大小D/f為0.45,F數為所述相對孔徑大小D/f的倒數,即F數為2.2。
本發明提供的混合表面光學系統的設計方法具有以下優點:其一,混合表面光學系統的設計方法直接在離軸狀態下,基於逐點構建的方法求解未知曲面上的特徵數據點,並將特徵數據點擬合得到混合表面光學系統中的曲面,避免了現有技術在計算過程中將混合表面光學系統從同軸轉化為離軸產生的誤差,進而使得到的混合表面光學系統與理想系統的誤差較小。其二,該方法在求解所述球面光學系統時將擬合過程與數據點求解過程相結合,通過不斷重複求數據點-球面擬合的過程來求解未知曲面,不同於以往的逐點設計方法將數據點全部求解結束之後再進行擬合,提高了設計的準確性;其三,提出了逐點計算過程中的光焦度分配方法,計算得到一個球面,通過改變該球面的半徑來改變其擁有的光焦度,然後依次計算其餘球面來補償改變的光焦度。進而使計算得到的球面光學系統的光焦度分配更加均勻,可以作為更好的初始結構進行後續的計算。其四,通過建立全域坐標系和局部坐標系,將K個第二特徵數據點在全域坐標系中的坐標(x0,y0,z0)及其對應的法向量(α000)變換為在局部坐標系中的坐標(x,y,z)及其法向量(α,β,γ),在局部坐標系中進行擬合得到非球面,該擬合方法比較精確;其五,在將第二特徵數據點和第三特徵數據點進行曲面擬合時,同時考慮了第二特徵數據點和第三特徵數據點的坐標和法向量,使得到的非球面的面形,使得到的非球面的面形以及自由曲面的面形更加準確,且提 高了混合表面光學系統的光學性能;其六,該逐點設計方法可用來設計不同組合形式的混合表面系統,增加了光學設計的多樣性。
綜上所述,本發明確已符合發明專利之要件,遂依法提出專利申請。惟,以上所述者僅為本發明之較佳實施例,自不能以此限制本案之申請專利範圍。舉凡習知本案技藝之人士援依本發明之精神所作之等效修飾或變化,皆應涵蓋於以下申請專利範圍內。

Claims (10)

  1. 一種混合表面離軸三反光學系統,包括:一主鏡,該主鏡設置在光線的出射光路上;一次鏡,該次鏡設置在所述主鏡的反射光路上;一三鏡,該三鏡設置在所述次鏡的反射光路上;以及一圖像感測器,該圖像感測器位於所述三鏡的反射光路上,其改良在於,在空間中,定義一第一三維直角坐標系(x1,y1,z1),相對於第一三維直角坐標系(x1,y1,z1),以所述主鏡所在的空間定義一第二三維直角坐標系(x2,y2,z2);以所述次鏡所在的空間定義一第三三維直角坐標系(x3,y3,z3);以所述三鏡所在的空間定義一第四三維直角坐標系(x4,y4,z4);在所述第二三維直角坐標系(x2,y2,z2)中,所述主鏡的反射面為一6次的x2y2多項式自由曲面;在所述第三三維直角坐標系(x3,y3,z3)中,所述次鏡的反射面為一6次的x3y3非球面;在所述第四三維直角坐標系(x4,y4,z4)中,所述三鏡的反射面為一x4y4球面。
  2. 如請求項第1項所述之混合表面離軸三反光學系統,其中,所述第二三維直角坐標系(x2,y2,z2)的原點在所述第一三維直角坐標系(x1,y1,z1)的(0mm,244.51mm,193.62mm)位置,z2軸正方向相對於第一三維直角坐標系(x1,y1,z1)的z1軸正方向逆時針旋轉13.39度;所述第三三維直角坐標系(x3,y3,z3)的原點在所述第一三維直角坐標系(x1,y1,z1)的(0mm,0mm,-100mm)位置,z3軸正方向相對於第一三維直角坐標系(x1,y1,z1)的z1軸正方向逆時針旋轉15度;所述第四三維直角坐標系(x4,y4,z4)的原點在所述第一三維直角坐標系(x1,y1,z1)的(0mm,-160.83mm,209.49mm)位置,z4軸正方向相對於第一三維直角坐標系(x1,y1,z1)的z1軸正方向逆時針旋轉0度。
  3. 如請求項第1項所述之混合表面離軸三反光學系統,其中,所述6次的x2y2多項式自由曲面的運算式為:
    Figure TWI628463B_C0001
    其中,z為曲面向量高,c為曲面曲率,k為二次曲面係數,bi是多項式中第i項的係數,所述6次的x2y2多項式自由曲面的運算式中c=5.54e-04,k=90.31,b1=0,b2=0.0003,b3=0.0005,b4=9.07e-07,b5=1.03e-06,b6=-2.37e-10,b7=9.88e-10,b8=1.31e-09,b9=-4.64e-14,b10=-1.91e-13,b11=-2.05e-13,b12=-7.56e-14。
  4. 如請求項第1項所述之混合表面離軸三反光學系統,其中,所述6次的x3y3非球面的運算式為:
    Figure TWI628463B_C0002
    其中,z為曲面向量高,c為曲面曲率,k為二次曲面係數,a1,a2是多項式中的係數,所述6次的x3y3非球面的運算式中c=9.19e-04,k=0,a1=-4.49e-11,a2=-1.35e-15。
  5. 如請求項第1項所述之混合表面離軸三反光學系統,其中,所述x4y4球面的運算式為:(x4-A)2+(y4-B)2+(z4-C)2=r2,其中,A=0,B=-266.75,C=313.84,r=-996.65。
  6. 如請求項第1項所述之混合表面離軸三反光學系統,其中,所述第二三維直角坐標系(x2,y2,z2)的原點在所述第一三維直角坐標系(x1,y1,z1)的(0mm,18.57mm,274.09mm)位置,z2軸正方向相對於第一三維直角坐標系(x1,y1,z1)的z1軸正方向逆時針旋轉7.63度;所述第三三維直角坐標系(x3,y3,z3)的原點在所述第一三維直角坐標系(x1,y1,z1)的(0mm,-227.00mm,-48.81mm)位置,z3軸正方向相對於第一三維直角坐標系(x1,y1,z1)的z1軸正方向逆時針旋轉18.03度;所述第四三維直角坐標系(x4,y4,z4)的原點在所述第一三維直角坐標系(x1,y1,z1)的(0mm,-266.75mm,313.84mm)位置,z4軸正方向相對於第一三維直角坐標系(x1,y1,z1)的z1軸正方向逆時針旋轉10.77度。
  7. 如請求項第6項所述之混合表面離軸三反光學系統,其中,在空間中相對於第一三維直角坐標系(x1,y1,z1),以所述圖像感測器所在的空間定義一第五三維直角坐標系(x5,y5,z5),所述第五三維直角坐標系(x5,y5,z5)的原點在所述第一三維直角坐標系(x1,y1,z1)的(0mm,-365.47mm,-27.10mm)位置,z5軸正方向相對於第一三維直角坐標系(x1,y1,z1)的z1軸正方向逆時針旋轉9.74度。
  8. 如請求項第1項所述之混合表面離軸三反光學系統,其中,所述混合表面離軸三反光學系統的視場角為3°×6°。
  9. 如請求項第1項所述之混合表面離軸三反光學系統,其中,所述視場角在水準方向的角度為-1.5°至1.5°,在垂直方向的角度為-16°至-10°。
  10. 如請求項第1項所述之混合表面離軸三反光學系統,其中,該混合表面離軸三反光學系統的F數為2.2。
TW106105233A 2017-01-24 2017-02-17 混合表面離軸三反光學系統 TWI628463B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710059417.9A CN108345094B (zh) 2017-01-24 2017-01-24 混合表面离轴三反光学系统
??201710059417.9 2017-01-24

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TWI628463B true TWI628463B (zh) 2018-07-01
TW201827886A TW201827886A (zh) 2018-08-01

Family

ID=62905784

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW106105233A TWI628463B (zh) 2017-01-24 2017-02-17 混合表面離軸三反光學系統

Country Status (3)

Country Link
US (1) US10642010B2 (zh)
CN (1) CN108345094B (zh)
TW (1) TWI628463B (zh)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109188665B (zh) * 2018-08-14 2020-08-11 北京理工大学 基于平板相位元件的离轴三反成像系统
CN111487753B (zh) * 2019-01-25 2021-06-01 清华大学 自由曲面离轴三反成像系统
CN111487766B (zh) * 2019-01-25 2021-06-25 清华大学 自由曲面离轴三反成像系统的设计方法
CN111487754B (zh) * 2019-01-25 2021-04-23 清华大学 自由曲面离轴三反成像系统
CN111929892B (zh) * 2020-08-25 2021-07-13 东北大学 一种基于空间坐标传递矩阵的离轴多反光学系统设计方法
CN114859548B (zh) * 2021-02-05 2023-05-16 清华大学 无对称自由曲面光学系统的设计方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20120038812A1 (en) * 2010-08-11 2012-02-16 Media Lario S.R.L Three-mirror anastigmat with at least one non-rotationally symmetric mirror
TW201418789A (zh) * 2012-11-06 2014-05-16 Hon Hai Prec Ind Co Ltd 離軸三反鏡
US20140240820A1 (en) * 2013-02-27 2014-08-28 Raytheon Company Afocal telescope for back-scanned imagery
US20160341948A1 (en) * 2015-05-22 2016-11-24 Thales Korsch-type compact three-mirror anastigmat telescope

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103246053A (zh) * 2013-04-09 2013-08-14 长春理工大学 使用自由曲面的宽幅离轴三反光学系统
CN104898261B (zh) * 2014-03-05 2017-10-24 清华大学 自由曲面离轴三反光学系统

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20120038812A1 (en) * 2010-08-11 2012-02-16 Media Lario S.R.L Three-mirror anastigmat with at least one non-rotationally symmetric mirror
TW201418789A (zh) * 2012-11-06 2014-05-16 Hon Hai Prec Ind Co Ltd 離軸三反鏡
US20140240820A1 (en) * 2013-02-27 2014-08-28 Raytheon Company Afocal telescope for back-scanned imagery
US20160341948A1 (en) * 2015-05-22 2016-11-24 Thales Korsch-type compact three-mirror anastigmat telescope

Also Published As

Publication number Publication date
CN108345094B (zh) 2020-02-07
CN108345094A (zh) 2018-07-31
US20180210180A1 (en) 2018-07-26
US10642010B2 (en) 2020-05-05
TW201827886A (zh) 2018-08-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI628463B (zh) 混合表面離軸三反光學系統
TWI622813B (zh) 離軸非球面光學系統的設計方法
TWI639930B (zh) 混合表面光學系統的設計方法
TWI724275B (zh) 自由曲面離軸三反成像系統
TWI557433B (zh) 具有實出瞳的自由曲面離軸成像系統的設計方法
TWI677728B (zh) 自由曲面離軸成像系統的設計方法
TWI557436B (zh) 自由曲面離軸光學系統的設計方法
TWI652509B (zh) 用作斜視相機鏡頭的光學系統的設計方法
TWI735849B (zh) 自由曲面離軸三反成像系統的設計方法
TWI622800B (zh) 離軸非球面三反光學系統
US10210289B2 (en) Method for designing three-dimensional freeform surface to be used in design of the reflective mirrors
TWI652506B (zh) 用作斜視相機鏡頭的光學系統
TW201824039A (zh) 自由曲面成像光學系統的設計方法
TW201534974A (zh) 應用於光學系統的自由曲面的設計方法
TWI748237B (zh) 自由曲面反射式紅外成像系統的設計方法
TWI691737B (zh) 具有色散器件的自由曲面光學系統的設計方法
TWI734389B (zh) 自由曲面離軸三反成像系統