TWI624784B - Display device and method - Google Patents

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Abstract

本發明涉及顯示裝置及方法,在顯示裝置中改善對於操作者而言的便利性。顯示裝置具備:迴路資訊顯示控制部(10),其使在作為控制物件的裝置中與作為顯示物件的控制迴路相關的顯示物件的資訊顯示在顯示元件(14)上;時間測量部(11),其在僅放大顯示1個迴路的資訊時,測量顯示同一控制迴路的資訊的持續時間;顯示資訊取得部(12),其從資訊輸出裝置定期地取得全部控制迴路的資訊;以及顯示變更部(13),其在時間測量部(11)測量的持續時間達到規定持續時間時,從顯示資訊取得部(12)取得接下來應該顯示的控制迴路的最新的資訊並轉送給迴路資訊顯示控制部(10),並且切換顯示元件的畫面,以便僅放大顯示該控制迴路的資訊。

Description

顯示裝置及方法
本發明涉及從控制具備有多個控制迴路之裝置的通用調節器接收與顯示物件之控制迴路相關的資訊並予以顯示的顯示裝置。
為了操縱具備多個控制迴路之裝置(多迴路系統),有時會使用通用調節器(溫度調節器)(參照專利文獻1)。圖14、圖15示出多迴路系統之調節器(溫度調節器)作為物件的加熱裝置的例子。
在圖14的例子中,加熱裝置由如下構件構成:加熱處理爐100,用於對被加熱物進行加熱;多個加熱器H1~H4,設置於加熱處理爐100之內部;多個溫度感測器S1~S4,測定分別被加熱器H1~H4加熱的加熱處理爐100內之溫度控制區Z1~Z4的溫度;調節器101,計算輸出到加熱器H1~H4的操作量MV1~MV4;以及電力調整器102-1~102-4,將與從調節器101輸出的操作量MV1~MV4相應的電力供應給加熱器H1~H4。調節器101以溫度感測器S1~S4測定出的溫度PV1~PV4與溫度設定值SP1~SP4一致之方式算出操作量MV1~MV4。在該圖14所示的加熱裝置中,形成有4個控制溫度PV1~PV4的控制迴路。
又,在圖15所示的加熱裝置的例子中,將矽晶圓204搬入至氧化擴散爐200內的石英管203內部。溫度感測器S1~S4測定分別被加熱器H1~H4加熱的溫度控制區Z1~Z4的溫度PV1~PV4。調節器201以溫 度感測器S1~S4測定出的溫度PV1~PV4與溫度設定值SP1~SP4一致之方式算出操作量MV1~MV4並輸出到加熱器電源202。加熱器電源202將與操作量MV1~MV4相應的電力供應給加熱器H1~H4。據此,藉由加熱被導入到氧化擴散爐200內的石英管203內的氧和矽晶圓204,在矽晶圓204的表面形成氧化膜。在該圖15所示的加熱裝置中,亦形成有4個控制溫度PV1~PV4的控制迴路。
在調節器101、201,或使用調節器101、201進行例如半導體之製造的製造裝置中,為了向操作者傳送資訊,使用液晶顯示器等顯示裝置(參照專利文獻2)。
【專利文獻】
專利文獻1:日本特開2012-048370號公報
專利文獻2:日本特開2001-154786號公報
在小型的製造裝置中安裝顯示裝置的情形下,使用小型的顯示裝置。然而,在操縱如圖14、圖15中說明般的多迴路系統的情形時,在小型的顯示裝置中,畫面的大小不一定足夠,存在有難以觀察顯示、妨礙便利性的問題。
尤其是,如圖16所示,在與通用調節器300一體化、並按照通用目的設計畫面之規格的小型的顯示裝置301中,高效地進行反映各個控制物件(按圖16的No.1~No.4的迴路編號區分的控制物件)固有的性 質的顯示是有極限的。在如上述用於多迴路系統之資訊顯示的小型顯示裝置,被要求改善便利性。
本發明是為了解決上述課題而完成,目的在於在以通用形式使用於多迴路系統中的顯示裝置中,改善對操作者而言的便利性。
本發明的顯示裝置的特徵在於,具備:顯示元件,用於圖像顯示;迴路資訊顯示控制單元,使與控制物件之裝置中的多個控制迴路中的、顯示物件之控制迴路相關的顯示物件之資訊顯示在該顯示元件上;時間測量單元,在僅放大顯示1個迴路之資訊時,測量顯示同一控制迴路之資訊的持續時間;顯示資訊取得單元,從資訊輸出裝置定期地取得全部的控制迴路之資訊;以及顯示變更單元,在該時間測量單元測量的持續時間達到規定持續時間時,從該顯示資訊取得單元取得接下來應顯示的控制迴路之最新資訊並轉送給該迴路資訊顯示控制單元,並切換該顯示元件之畫面,以僅放大顯示該控制迴路之資訊。
又,本發明的顯示裝置的一個構成例,進一步具備:顯示資訊儲存單元,儲存在僅放大顯示1個迴路之資訊時該迴路資訊顯示控制單元使該顯示元件顯示之資訊;以及指示單元,在該時間測量單元測量的持續時間達到該規定持續時間時,從該顯示資訊取得單元取得接下來應顯示的控制迴路之最新資訊,針對每個相同種類的物理量,對所取得的控制迴路之資訊中所包含的與控制動作相關之物理量和該顯示資訊儲存單元中儲存的該控制迴路之當前的資訊中所包含之物理量進行比較,在針對至少1個物理量、接下來應顯示的物理量之值相對於當前的物理量之值產生規定量以上之變 化的情形時,使顯示變更,以使接下來應顯示的控制迴路之資訊醒目。
又,本發明的顯示裝置的一個構成例中,該指示單元,在該時間測量單元測量的持續時間達到該規定持續時間時,從該顯示資訊取得單元取得接下來應顯示的控制迴路之最新資訊,針對每個相同種類的物理量,對所取得的控制迴路之資訊中所包含的與控制動作相關之物理量和該顯示資訊儲存單元中儲存的該控制迴路之當前的資訊中所包含之物理量進行比較,在針對至少1個物理量、接下來應顯示的物理量之值相對於當前的物理量之值產生規定量以上之變化的情形時,指示該迴路資訊顯示控制單元變更該物理量之顯示形式。
此外,在本發明的顯示裝置的一個構成例中,該指示單元,在該時間測量單元測量的持續時間達到該規定持續時間時,從該顯示資訊取得單元取得接下來應顯示的控制迴路之最新資訊,針對每個相同種類的物理量,對所取得的控制迴路之資訊中所包含括的與控制動作相關之物理量和該顯示資訊儲存單元中儲存的該控制迴路之當前的資訊中所包含之物理量進行比較,在針對至少1個物理量、接下來應顯示的物理量之值相對於當前的物理量之值產生規定量以上之變化的情形時,指示該顯示變更單元將接下來應顯示的控制迴路之該規定持續時間延長既定時間。
又,在本發明的顯示裝置的一個構成例中,該指示單元,在該時間測量單元測量的持續時間達到該規定持續時間時,從該顯示資訊取得單元取得接下來應顯示的控制迴路之最新資訊,針對每個相同種類的物理量,對所取得的控制迴路之資訊中所包含的與控制動作相關之物理量和該顯示資訊儲存單元中儲存的該控制迴路之當前的資訊中所包含之物理量 進行比較,在針對至少1個物理量、接下來應顯示的物理量之值相對於當前的物理量之值產生規定量以上之變化的情形時,暫時性地變更該顯示變更單元中登錄的輪動順序,以使接下來應顯示的控制迴路之顯示頻度增加。
此外,本發明的顯示裝置的一個構成例,進一步具備:顯示資訊儲存單元,儲存在僅放大顯示1個迴路之資訊時該迴路資訊顯示控制單元使該顯示元件顯示之資訊;以及指示單元,在該時間測量單元測量的持續時間達到該規定持續時間時,從該顯示資訊取得單元取得接下來應顯示的控制迴路之最新資訊,針對每個相同種類的物理量,對所取得的控制迴路之資訊中所包含的與控制動作相關之物理量和該顯示資訊儲存單元中儲存的該控制迴路之當前的資訊中所包含之物理量進行比較,在針對全部的物理量、接下來應顯示的物理量之值相對於當前的物理量之值未產生規定量以上之變化的情形時,指示該顯示變更單元將接下來應顯示的控制迴路之該規定持續時間縮短既定時間。
又,本發明涉及一種顯示方法,其特徵在於,包含:迴路資訊顯示控制步驟,使與控制物件之裝置中的多個控制迴路的、顯示物件之控制迴路相關的顯示物件之資訊顯示在顯示元件上;時間測量步驟,在僅放大顯示1個迴路之資訊時,測量顯示同一控制迴路之資訊的持續時間;顯示資訊取得步驟,從資訊輸出裝置定期地取得全部的控制迴路之資訊;以及顯示變更步驟,在該時間測量步驟中測量出的持續時間達到規定持續時間時,取得接下來應顯示的控制迴路之最新資訊,並切換該顯示元件之畫面,以僅放大顯示所取得的控制迴路之資訊。
根據本發明,藉由設置時間測量單元、顯示資訊取得單元和顯示變更單元,操作者即使在遠離顯示裝置的位置,也能夠監視多個控制迴路,因此在按照通用目的設計畫面之規格的、在多迴路系統中使用的小型顯示裝置中,能夠改善對操作者而言的便利性。
10、10a‧‧‧迴路資訊顯示控制部
11‧‧‧時間測量部
12‧‧‧顯示資訊取得部
13‧‧‧顯示變更部
14‧‧‧顯示元件
15‧‧‧顯示資訊儲存部
16、16a‧‧‧形式指示部
17‧‧‧時間指示部
圖1為表示在顯示裝置的畫面中顯示4個控制迴路之資訊的例子的圖。
圖2為表示在顯示裝置的畫面中放大顯示1個控制迴路之資訊的例子的圖。
圖3為表示本發明的第1實施形態所涉及的顯示裝置之構成的方塊圖。
圖4為說明本發明的第1實施形態所涉及的顯示裝置之動作的流程圖。
圖5為表示本發明的第1實施形態中的顯示例的圖。
圖6為表示本發明的第2實施形態所涉及的顯示裝置之構成的方塊圖。
圖7為說明本發明的第2實施形態所涉及的顯示裝置之動作的流程圖。
圖8為表示本發明的第2實施形態中的顯示例的圖。
圖9為表示本發明的第3實施形態所涉及的顯示裝置之構成的方塊圖。
圖10為說明本發明的第3實施形態所涉及的顯示裝置之動作的流程圖。
圖11為說明本發明的第4實施形態所涉及的顯示裝置之動作的流程圖。
圖12為表示本發明的第5實施形態所涉及的顯示裝置之構成的方塊圖。
圖13為說明本發明的第5實施形態所涉及的顯示裝置之動作的流程圖。
圖14為表示具備有多個控制迴路的加熱裝置之構成例的圖。
圖15為表示具備有多個控制迴路的加熱裝置之另一構成例的圖。
圖16為表示與通用調節器一體化而成的顯示裝置之例子的圖。
[發明原理1]
例如,若同時顯示作為通用數量的4個迴路之資訊(圖1),則在全部的控制迴路之資訊監視的這一方面是合適的。在圖1的例子中,在畫面1上的對應的分區1-1~1-4中以各顯示1個迴路的方式,顯示按No.1~No.4的迴路編號區分的各控制迴路之溫度設定值SP和溫度測量值PV。但是,在小型的顯示裝置的情形,在如圖1之顯示形態中,不得不使各個數值等稍微變小,而在想要從離開一定程度距離的位置監視數值時並不合適。
另一方面,作為在小型顯示裝置中設想的操作,存在有僅放大顯示1個迴路之資訊的狀態(圖2)。假設限定於最重要的1個迴路而將小型顯示裝置的畫面完全分配給1個迴路,則能夠稍大地顯示數值等。但是,不被顯示的剩餘3個迴路被排除於監視的物件之外。
本發明者發現如上述的顯示多個迴路的問題和放大顯示1個迴路的問題,是妨礙對操作者而言的便利性的要因。而且,想到了追加如下之模式:以僅放大顯示1個迴路之資訊的顯示狀態為基礎,每隔特定時間自動地對多個迴路之資訊進行輪動顯示。藉此,即使從遠離的位置(難 以看到較小的顯示、且進行顯示之切換操作的手也搆不到的位置),也能夠監視多個迴路。
例如,考慮到即使按每個迴路10秒的顯示時間對4個迴路的資訊進行輪動顯示,也被認為對於監視而言能夠充分識別控制狀態,且如果是如一般而言回應慢的溫度般的控制物件,則即使以輪動方式進行監視,耽誤到掌握超越量(Overshoot)等現象的機率也很低。
[發明原理2]
在相對於前次輪動顯示時之數值產生了變化的情形時,藉由變更顯示形式(例如顯示顏色),而容易識別變化。例如在控制量PV不變化而穩定的情形時,以白色顯示數值,在控制量PV產生了變化的情形時,以粉紅色或黃色顯示數值。
[發明原理3]
在相對於前次輪動顯示時之數值產生了變化的情形時,藉由使顯示時間變長,而容易掌握變化的持續情形。相反地,在沒有變化的情形時,也可以使顯示時間變短。例如,在控制量PV不變化而穩定的情形時,顯示5秒鐘,在控制量PV產生了變化的情形時,顯示15秒鐘。
[第1實施形態]
以下,參照圖式,說明本發明的實施形態。圖3為表示本發明的第1實施形態所涉及的顯示裝置之構成的方塊圖。本實施形態是與上述發明原 理1對應的例子。在本實施形態中,如圖14、圖15所示,係以利用通用調節器控制4個控制迴路(作為裝置,有4個控制區)的製造裝置為實例。但是,即使是較4個控制迴路少的3個控制迴路、較4個控制迴路多的5個控制迴路、6個控制迴路,也能夠適用本發明之本質部分的輪動顯示。
本實施形態的顯示裝置,包括:迴路資訊顯示控制部10,使控制物件之裝置中的與顯示物件之控制迴路相關的顯示物件之資訊顯示在後述的顯示元件上;時間測量部11,在僅放大顯示1個迴路之資訊時,測量顯示同一控制迴路之資訊的持續時間;顯示資訊取得部12,從資訊輸出裝置(例如通用調節器)定期地取得全部的控制迴路之資訊;顯示變更部13,在時間測量部11測量的持續時間達到規定持續時間時,從顯示資訊取得部12取得接下來應顯示的控制迴路之最新資訊並轉送給迴路資訊顯示控制部10,並切換顯示元件之畫面,以僅放大顯示該控制迴路之資訊;以及用於圖像顯示之液晶面板等的顯示元件14。
圖4為說明本實施形態的顯示裝置之動作的流程圖。迴路資訊顯示控制部10,使顯示元件14依照預先決定的規則顯示從未圖示的資訊輸出裝置(例如通用調節器)轉送的應顯示的資訊(圖4步驟S100)。通用調節器,將依照預先決定的規則自動地選擇出的應顯示的資訊、或者根據操作者的操作而選擇出的應顯示的資訊,轉送給迴路資訊顯示控制部10。
在例如進行4個迴路之顯示的情形時,通用調節器將與控制物件之裝置(例如加熱裝置)中的各控制迴路對應的控制資訊或操作資訊、以及特定各控制迴路的迴路編號轉送給迴路資訊顯示控制部10。迴路資訊顯示控制部10,依照預先決定的規則,如圖1所示,使顯示元件14顯示按 縱2×橫2的矩陣狀地配置有與各控制迴路對應的資訊(在圖1的例子中,為溫度設定值SP和溫度測量值PV)和迴路編號(No.1~No.4)的圖像。
又,在進行1個迴路之顯示的情形,通用調節器將與成為物件之控制迴路對應的控制資訊或操作資訊、以及特定該控制迴路的迴路編號轉送給迴路資訊顯示控制部10。迴路資訊顯示控制部10依照預先決定的規則,如圖2所示,使顯示元件14顯示在1個畫面中放大地配置有與控制迴路對應的資訊(在圖2的例子中,為溫度設定值SP和溫度測量值PV)和迴路編號(No.3)的圖像。
以上的步驟S100的處理與以往利用通用調節器進行的處理相同。而且,在本實施形態中,如上所述,以僅放大顯示1個迴路之資訊的狀態為基礎進行說明。
時間測量部11,在僅放大顯示1個迴路之資訊時(圖4步驟S101中的“是”),測量顯示同一控制迴路之資訊的持續時間(圖4步驟S102)。
顯示資訊取得部12,從資訊輸出裝置(例如通用調節器)每隔一定週期取得全部的控制迴路的資訊(圖4步驟S103)。取得資訊的週期,較佳為比後述的規定持續時間短。此外,顯示資訊取得部12,只要取得與目前顯示的顯示項目相同種類的顯示項目之資訊作為全部的控制迴路之資訊即可。如果目前顯示例如迴路編號No.3的控制迴路之溫度設定值SP和溫度測量值PV,則只要取得迴路編號No.1~No.4的控制迴路之溫度設定值SP和溫度測量值PV即可。
顯示變更部13,在時間測量部11測量的持續時間達到預先決定的規定持續時間(例如5秒)時(圖4步驟S104中的“是”),從顯示 資訊取得部12取得接下來應顯示的控制迴路之最新資訊並轉送給迴路資訊顯示控制部10,並切換顯示元件14之畫面以僅放大顯示該控制迴路之資訊(圖4步驟S105)。
在顯示變更部13中,預先設定表示控制迴路之顯示順序的輪動順序(例如No.1→No.2→No.3→No.4的順序)。顯示變更部13,從顯示資訊取得部12取得依照該輪動順序而接下來應顯示的控制迴路之資訊。如果目前顯示迴路編號No.1的控制迴路之資訊,則接下來應顯示的控制迴路的資訊是迴路編號No.2的控制迴路的資訊,如果目前顯示迴路編號No.2的控制迴路的資訊,則接下來應顯示的控制迴路的資訊是迴路編號No.3的控制迴路的資訊。
重覆執行如上述的步驟S101~S105的處理,直至僅放大顯示1個迴路之資訊的動作結束為止(圖4步驟S106中的“是”)。另外,當在步驟S105的處理中進行畫面的切換時,將由時間測量部11測量的持續時間重置為0,再次開始時間測量。
圖5的(A)~圖5的(D)為表示本實施形態之顯示例的圖。圖5的(A)~圖5的(D)的例子,是按照僅放大顯示迴路編號No.1的控制迴路的資訊→僅放大顯示迴路編號No.2的控制迴路的資訊→僅放大顯示迴路編號No.3的控制迴路的資訊→僅放大顯示迴路編號No.4的控制迴路的資訊→僅放大顯示迴路編號No.1的控制迴路的資訊→僅放大顯示迴路編號No.2的控制迴路的資訊→....這樣的順序在畫面1中進行輪動顯示的例子。
通過如上述的輪動顯示,在本實施形態中,操作者即使在遠 離顯示裝置(或者安裝有顯示裝置的製造裝置)的位置(難以看到較小的顯示、且進行顯示之切換操作的手也搆不到的位置),也能夠監視多個控制迴路。
[第2實施形態]
接下來,針對本發明的第2實施形態進行說明。本實施形態是與上述發明原理2對應的例子。圖6為表示本實施形態所涉及的顯示裝置之構成的方塊圖,對與圖3相同之構成標記相同符號。本實施形態的顯示裝置,包括:迴路資訊顯示控制部10a、時間測量部11、顯示資訊取得部12、顯示變更部13、顯示元件14、顯示資訊儲存部15、及形式指示部16(指示單元);該顯示資訊儲存部15,儲存在僅放大顯示1個迴路量之資訊時迴路資訊顯示控制部10a使顯示元件14顯示之資訊;該形式指示部16(指示單元),在時間測量部11測量的持續時間達到規定持續時間時,從顯示資訊取得部12取得接下來應顯示的控制迴路之最新資訊,針對每個相同種類的物理量,對所取得的控制迴路之資訊中所包含的與控制動作相關之物理量和顯示資訊儲存部15中儲存的該控制迴路之當前的資訊中所包含之物理量進行比較,在針對至少1個物理量、接下來應顯示的物理量之值相對於當前的物理量之值產生規定量以上之變化的情形時,指示迴路資訊顯示控制部10a變更該物理量之顯示形式。
圖7為說明本實施形態的顯示裝置之動作的流程圖。迴路資訊顯示控制部10a的步驟S100之動作與第1實施形態的迴路資訊顯示控制部10之動作相同。
顯示資訊儲存部15,在僅放大顯示1個迴路之資訊時(圖7步驟S101中的“是”),儲存迴路資訊顯示控制部10a使顯示元件14顯示之資訊(圖7步驟S107)。顯示資訊儲存部15,按控制迴路分別進行該資訊之儲存。
時間測量部11的步驟S102之動作和顯示資訊取得部12的步驟S103之動作,如在第1實施形態中已說明。
在時間測量部11測量的持續時間達到規定持續時間時(圖7步驟S104中的“是”),形式指示部16從顯示資訊取得部12取得接下來應顯示的控制迴路之最新資訊,針對每個相同種類的物理量,對所取得的控制迴路之資訊中所包含的與控制動作相關之物理量(例如控制量PV)和顯示資訊儲存部15中儲存的該控制迴路之當前的資訊中所包含之物理量進行比較,在針對至少1個物理量、接下來應顯示的物理量之值相對於當前的物理量之值產生規定量以上(變化量的絕對值為規定量以上)之變化的情形時(圖7步驟S108中的“是”),指示迴路資訊顯示控制部10a變更該物理量之顯示形式(例如顯示顏色)(圖7步驟S109)。在形式指示部16中,設定有與在顯示變更部13中設定的輪動順序相同的輪動順序。
沒有來自形式指示部16之指示的情形下的顯示變更部13和迴路資訊顯示控制部10a的動作(圖7步驟S105),與第1實施形態的顯示變更部13和迴路資訊顯示控制部10的動作相同。
另一方面,迴路資訊顯示控制部10a,在有來自形式指示部16之指示的情形時,與步驟S105同樣地,對顯示元件14的畫面進行切換,以放大顯示從顯示資訊取得部12經由顯示變更部13而接收到的控制迴路之資訊,但在該放大顯示的控制迴路之資訊中所包含的物理量中,變更已從 形式指示部16指示的物理量之顯示形式並加以顯示(圖7步驟S110)。
重覆執行如以上之步驟S101、S107、S102~S104、S108、S105、S109、S110的處理,直至僅放大顯示1個迴路之資訊的動作結束為止(圖7步驟S106中的“是”)。與第1實施形態同樣地,當在步驟S105或步驟S110的處理中進行畫面之切換時,將由時間測量部11測量的持續時間重置為0,再次開始時間測量。
圖8的(A)~圖8的(D)為表示本實施形態之顯示例的圖。圖8的(A)~圖8的(D)的例子,顯示在接著圖5的(A)~圖5的(D)之輪動顯示之後的輪動顯示中,迴路編號No.3的控制迴路之溫度測量值PV從101℃變化到103℃的狀態。此處,用例如白色顯示不變化而穩定的數值,用例如粉紅色顯示已變化1.0℃以上的數值。如此方式,在本實施形態中,能夠以操作者容易識別數值變化之方式進行顯示。
[第3實施形態]
接下來,針對本發明的第3實施形態進行說明。本實施形態是與上述發明原理3對應的例子。圖9為表示本實施形態的顯示裝置之構成的方塊圖,對與圖3、圖6相同之構成標記相同符號。本實施形態的顯示裝置,包括:迴路資訊顯示控制部10、時間測量部11、顯示資訊取得部12、顯示變更部13、顯示元件14、顯示資訊儲存部15、以及時間指示部17(指示單元);該時間指示部17(指示單元),在時間測量部11測量的持續時間達到規定持續時間時,從顯示資訊取得部12取得接下來應顯示的控制迴路之最新資訊,針對每個相同種類的物理量,對所取得的控制迴路之資訊中所包含的 與控制動作相關之物理量和顯示資訊儲存部15中儲存的該控制迴路之當前的資訊中所包含之物理量進行比較,在針對至少1個物理量、接下來應顯示的物理量之值相對於當前的物理量之值產生規定量以上之變化的情形時,指示顯示變更部13使接下來應顯示的控制迴路之規定持續時間延長既定時間。
圖10為說明本實施形態的顯示裝置之動作的流程圖。迴路資訊顯示控制部10的步驟S100之動作如在第1實施形態中已說明。
顯示資訊儲存部15的步驟S107之動作如在第2實施形態中已說明。
時間測量部11的步驟S102之動作和顯示資訊取得部12的步驟S103之動作如在第1實施形態中已說明。
在時間測量部11測量的持續時間達到規定持續時間時(圖10步驟S104中的“是”),時間指示部17從顯示資訊取得部12取得接下來應顯示的控制迴路之最新資訊,針對每個相同種類的物理量,對所取得的控制迴路之資訊中所包含的與控制動作相關之物理量(例如控制量PV)和顯示資訊儲存部15中儲存的該控制迴路之當前的資訊中所包含之物理量進行比較,在針對至少1個物理量、接下來應顯示的物理量之值相對於當前的物理量之值產生規定量以上(變化量的絕對值為規定量以上)之變化的情形時(圖10步驟S108中的“是”),指示顯示變更部13使接下來應顯示的控制迴路之規定持續時間延長既定時間,並且對於時間指示部17自身使用的規定持續時間,也僅針對接下來應顯示的控制迴路延長既定時間(圖10步驟S111)。
顯示變更部13和迴路資訊顯示控制部10的步驟S105之動 作如在第1實施形態中已說明。
重覆執行如以上之步驟S101、S107、S102~S104、S108、S111、S105的處理,直至僅放大顯示1個迴路之資訊的動作結束為止(圖10步驟S106中的“是”)。
據此,與第1實施形態同樣地進行輪動顯示,但在有來自時間指示部17的指示的情形時,當在步驟S105的處理中畫面切換到接下來應顯示的控制迴路的資訊顯示時,該控制迴路的規定持續時間暫時性地變長,因此在步驟S104的處理中直至判定為“是”為止的時間變長,該控制迴路之顯示的持續時間延長既定時間。
例如,當在圖5的(A)~圖5的(D)的輪動顯示之後,進行圖的8(A)~圖8的(D)的輪動顯示的情形時,如上所述,迴路編號No.3的控制迴路之溫度測量值PV從101℃變化到103℃,因此對於迴路編號No.1、No.2、No.4的控制迴路的資訊(圖8的(A)、圖8的(B)、圖8的(D)),顯示的持續時間例如為5秒,但對於迴路編號No.3的控制迴路的資訊(圖8的(C)),顯示的持續時間例如為15秒。據此,在本實施形態中,能夠以操作者容易識別數值變化的持續情形之方式進行顯示。
[第4實施形態]
在第3實施形態中,構成為將標準的規定持續時間設為5秒、將物理量(例如控制量PV)產生規定量以上之變化的控制迴路之規定持續時間設為15秒,但也可以構成為將標準的規定持續時間設為15秒、將物理量(例如控制量PV)未產生規定量以上(變化量的絕對值低於規定量)之變化的 控制迴路之規定持續時間變更為5秒。圖11示出該情形下的顯示裝置之動作。顯示裝置之構成與第3實施形態相同。
在本實施形態的情形下,在時間測量部11測量的持續時間達到規定持續時間時(圖11步驟S104中的“是”),時間指示部17從顯示資訊取得部12取得接下來應顯示的控制迴路之最新資訊,針對每個相同種類的物理量,對所取得的控制迴路之資訊中所包含的與控制動作相關之物理量(例如控制量PV)和顯示資訊儲存部15中儲存的該控制迴路之當前的資訊中所包含之物理量進行比較,在針對全部的物理量、接下來應顯示的物理量之值相對於當前的物理量之值未產生規定量以上(變化量的絕對值小於規定量)之變化的情形時(圖11步驟S112中的“是”),指示顯示變更部13使接下來應顯示的控制迴路之規定持續時間縮短既定時間,並且對於時間指示部17自身使用的規定持續時間,也僅針對接下來應顯示的控制迴路縮短既定時間(圖11步驟S113)。其他動作如在第3實施形態中已說明。
[第5實施形態]
此外,不限於顯示形式或時間間隔,也可以增加輪動中的顯示頻度並將顯示的位準(level)變更為高位準側(醒目的一側),以使操作者容易識別。例如在迴路編號No.3的控制迴路之物理量(例如,控制量PV)產生變化的情形時,也可以按照No.1→No.2→No.3→No.4→No.3→No.1→No.2→...的方式,使迴路編號No.3的控制迴路之資訊的顯示頻度增加。圖12中示出該情形下的顯示裝置之構成,圖13中示出該情形下的顯示裝置之動作。
在時間測量部11測量的持續時間達到規定持續時間時(圖13步驟S104中的“是”),本實施形態的形式指示部16a(指示單元)從顯示資訊取得部12取得接下來應顯示的控制迴路之最新資訊,針對每個相同種類的物理量,對所取得的控制迴路之資訊中所包含的與控制動作相關之物理量(例如控制量PV)和顯示資訊儲存部15中儲存的該控制迴路之當前的資訊中所包含之物理量進行比較,在針對至少1個物理量、接下來應顯示的物理量之值相對於當前的物理量之值產生規定量以上之變化的情形時(圖13步驟S108中的“是”),以使接下來應顯示的控制迴路之顯示頻度增加的方式,暫時性地變更顯示變更部13中登錄的輪動順序,並且也暫時性地進行變更形式指示部16a自身使用的輪動順序(圖13步驟S114)。只要使輪動順序在持續一定時間而變更後返回到初始設定即可。其他動作如在第2實施形態中已說明。
另外,在第1~第5實施形態中,以與通用調節器分離的顯示裝置來進行說明,但也可以將本發明適用於與通用調節器一體化而成的顯示裝置。
在第1實施形態中說明的顯示裝置中,迴路資訊顯示控制部10、時間測量部11、顯示資訊取得部12和顯示變更部13能夠藉由具備CPU(Central Processing Unit,中央處理單元)、儲存裝置和介面的電腦以及控制這些硬體資源的程式來實現。同樣地,在第2實施形態中說明的顯示裝置中,迴路資訊顯示控制部10a、時間測量部11、顯示資訊取得部12、顯示變更部13、顯示資訊儲存部15和形式指示部16能夠藉由電腦來實現。同樣地,在第3、第4實施形態中說明的顯示裝置中,迴路資訊顯示控制部 10、時間測量部11、顯示資訊取得部12、顯示變更部13、顯示資訊儲存部15和時間指示部17能夠藉由電腦來實現。另外,在第5實施形態中說明的顯示裝置中,迴路資訊顯示控制部10、時間測量部11、顯示資訊取得部12、顯示變更部13、顯示資訊儲存部15和形式指示部16a能夠藉由電腦來實現。這些電腦的CPU,依照在儲存裝置中儲存的程式執行第1~第5實施形態中說明的處理。
【產業上的可利用性】
本發明能夠適用於在多迴路系統中使用的顯示裝置。

Claims (12)

  1. 一種顯示裝置,其特徵在於,具備:顯示元件,用於圖像顯示;迴路資訊顯示控制單元,使與控制物件之裝置中的多個控制迴路中的、顯示物件之控制迴路相關的顯示物件之資訊顯示在該顯示元件上,並且,可同時顯示多個迴路之資訊,亦可僅放大顯示1個迴路之資訊;時間測量單元,在僅放大顯示1個迴路之資訊時,測量顯示同一控制迴路之資訊的持續時間;顯示資訊取得單元,從資訊輸出裝置定期地取得全部的控制迴路之資訊;以及顯示變更單元,在該時間測量單元測量的持續時間達到規定持續時間時,從該顯示資訊取得單元取得接下來應顯示的控制迴路之最新資訊並轉送給該迴路資訊顯示控制單元,並切換該顯示元件之畫面,以僅放大顯示該控制迴路之資訊。
  2. 如申請專利範圍第1項之顯示裝置,其進一步具備:顯示資訊儲存單元,儲存在僅放大顯示1個迴路之資訊時該迴路資訊顯示控制單元使該顯示元件顯示之資訊;以及指示單元,在該時間測量單元測量的持續時間達到該規定持續時間時,從該顯示資訊取得單元取得接下來應顯示的控制迴路之最新資訊,針對每個相同種類的物理量,對所取得的控制迴路之資訊中所包含的與控制動作相關之物理量和該顯示資訊儲存單元中儲存的該控制迴路之當前的資訊中所包含之物理量進行比較,在針對至少1個物理量、接下來應顯示的物理量之值相對於當前的物理量之值產生規定量以上之變化的情形時,使顯示變更,以使接下來應顯示的控制迴路之資訊醒目。
  3. 如申請專利範圍第2項之顯示裝置,其中,在該時間測量單元測量的持續時間達到該規定持續時間時,該指示單元從該顯示資訊取得單元取得接下來應顯示的控制迴路之最新資訊,針對每個相同種類的物理量,對所取得的控制迴路之資訊中所包含的與控制動作相關之物理量和該顯示資訊儲存單元中儲存的該控制迴路之當前的資訊中所包含之物理量進行比較,在針對至少1個物理量、接下來應顯示的物理量之值相對於當前的物理量之值產生規定量以上之變化的情形時,指示該迴路資訊顯示控制單元變更該物理量之顯示形式。
  4. 如申請專利範圍第2項之顯示裝置,其中,在該時間測量單元測量的持續時間達到該規定持續時間時,該指示單元從該顯示資訊取得單元取得接下來應顯示的控制迴路之最新資訊,針對每個相同種類的物理量,對所取得的控制迴路之資訊中所包含的與控制動作相關之物理量和該顯示資訊儲存單元中儲存的該控制迴路之當前的資訊中所包含之物理量進行比較,在針對至少1個物理量、接下來應顯示的物理量之值相對於當前的物理量的值產生規定量以上之變化的情形時,指示該顯示變更單元將接下來應顯示的控制迴路之該規定持續時間延長既定時間。
  5. 如申請專利範圍第2項之顯示裝置,其中,在該時間測量單元測量的持續時間達到該規定持續時間時,該指示單元從該顯示資訊取得單元取得接下來應顯示的控制迴路之最新資訊,針對每個相同種類的物理量,對所取得的控制迴路之資訊中所包含的與控制動作相關之物理量和該顯示資訊儲存單元中儲存的該控制迴路之當前的資訊中所包含之物理量進行比較,在針對至少1個物理量、接下來應顯示的物理量之值相對於當前的物理量之值產生規定量以上之變化的情形時,暫時性地變更該顯示變更單元中登錄的輪動順序,以使接下來應顯示的控制迴路之顯示頻度增加。
  6. 如申請專利範圍第1項之顯示裝置,其進一步具備:顯示資訊儲存單元,儲存在僅放大顯示1個迴路之資訊時該迴路資訊顯示控制單元使該顯示元件顯示之資訊;以及指示單元,在該時間測量單元測量的持續時間達到該規定持續時間時,從該顯示資訊取得單元取得接下來應顯示的控制迴路之最新資訊,針對每個相同種類的物理量,對所取得的控制迴路之資訊中所包含的與控制動作相關之物理量和該顯示資訊儲存單元中儲存的該控制迴路之當前的資訊中所包含之物理量進行比較,在針對全部的物理量、接下來應顯示的物理量之值相對於當前的物理量之值未產生規定量以上之變化的情形時,指示該顯示變更單元將接下來應顯示的控制迴路之該規定持續時間縮短既定時間。
  7. 一種顯示方法,其特徵在於,包含:迴路資訊顯示控制步驟,使與控制物件之裝置中的多個控制迴路中的、顯示物件之控制迴路相關的顯示物件之資訊顯示在顯示元件上,並且,可同時顯示多個迴路之資訊,亦可僅放大顯示1個迴路之資訊;時間測量步驟,在僅放大顯示1個迴路之資訊時,測量顯示同一控制迴路之資訊的持續時間;顯示資訊取得步驟,從資訊輸出裝置定期地取得全部的控制迴路之資訊;以及顯示變更步驟,在該時間測量步驟中測量出的持續時間達到規定持續時間時,取得接下來應顯示的控制迴路之最新資訊,並切換該顯示元件之畫面,以僅放大顯示所取得的控制迴路之資訊。
  8. 如申請專利範圍第7項之顯示方法,其進一步包含:顯示資訊儲存步驟,儲存在僅放大顯示1個迴路之資訊時使該顯示元件顯示的控制迴路之資訊;以及指示步驟,在該時間測量步驟中測量出的持續時間達到該規定持續時間時,取得接下來應顯示的控制迴路之最新資訊,針對每個相同種類的物理量,對所取得的控制迴路之資訊中所包含的與控制動作相關之物理量和在該顯示資訊儲存步驟中儲存的該控制迴路之當前的資訊中所包含之物理量進行比較,在針對至少1個物理量、接下來應顯示的物理量之值相對於當前的物理量之值產生規定量以上之變化的情形時,使顯示變更,以使接下來應顯示的控制迴路之資訊醒目。
  9. 如申請專利範圍第8項之顯示方法,其中,該指示步驟包含如下步驟:在該時間測量步驟中測量出的持續時間達到該規定持續時間時,取得接下來應顯示的控制迴路之最新資訊,針對每個相同種類的物理量,對所取得的控制迴路之資訊中所包含的與控制動作相關之物理量和在該顯示資訊儲存步驟中儲存的該控制迴路之當前的資訊中所包含之物理量進行比較,在針對至少1個物理量、接下來應顯示的物理量之值相對於當前的物理量之值產生規定量以上之變化的情形時,使該物理量之顯示形式變更。
  10. 如申請專利範圍第8項之顯示方法,其中,該指示步驟包含如下步驟:在該時間測量步驟中測量出的持續時間達到該規定持續時間時,取得接下來應顯示的控制迴路之最新資訊,針對每個相同種類的物理量,對所取得的控制迴路之資訊中所包含的與控制動作相關之物理量和在該顯示資訊儲存步驟中儲存的該控制迴路之當前的資訊中所包含之物理量進行比較,在針對至少1個物理量、接下來應顯示的物理量之值相對於當前的物理量之值產生規定量以上之變化的情形時,將接下來應顯示的控制迴路之該規定持續時間延長既定時間。
  11. 如申請專利範圍第8項之顯示方法,其中,該指示步驟包含如下步驟:在該時間測量步驟中測量出的持續時間達到該規定持續時間時,取得接下來應顯示的控制迴路之最新資訊,針對每個相同種類的物理量,對所取得的控制迴路之資訊中所包含的與控制動作相關之物理量和在該顯示資訊儲存步驟中儲存的該控制迴路之當前的資訊中所包含之物理量進行比較,在針對至少1個物理量、接下來應顯示的物理量之值相對於當前的物理量之值產生規定量以上之變化的情形時,暫時性地變更在該顯示變更步驟中使用的輪動順序,以使接下來應顯示的控制迴路之顯示頻度增加。
  12. 如申請專利範圍第7項之顯示方法,其進一步包含:顯示資訊儲存步驟,儲存在僅放大顯示1個迴路之資訊時使該顯示元件顯示的控制迴路之資訊;以及指示步驟,在該時間測量步驟中測量出的持續時間達到該規定持續時間時,取得接下來應顯示的控制迴路之最新資訊,針對每個相同種類的物理量,對所取得的控制迴路之資訊中所包含的與控制動作相關之物理量和在該顯示資訊儲存步驟中儲存的該控制迴路之當前的資訊中所包含之物理量進行比較,在針對全部的物理量、接下來應顯示的物理量之值相對於當前的物理量之值未產生規定量以上之變化的情形時,將接下來應顯示的控制迴路之該規定持續時間縮短既定時間。
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2019008606A (ja) * 2017-06-26 2019-01-17 株式会社Vtsタッチセンサー タッチパネル及び表示装置
JP6940234B2 (ja) * 2017-12-26 2021-09-22 アズビル株式会社 監視システム、監視方法、および、上位装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW200922452A (en) * 2007-11-09 2009-05-16 Delta Electronics Inc Heat dissipating system
US20110115642A1 (en) * 2009-11-19 2011-05-19 Silver Spring Networks, Inc. Utility network interface device configured to detect and report abnormal operating condition
US20120257062A1 (en) * 2011-04-06 2012-10-11 Hon Hai Precision Industry Co., Ltd. Video switch system and method of viewing surveillance videos
TW201245946A (en) * 2011-05-13 2012-11-16 Golden Emperor Internat Ltd A system for monitoring power of a computer
CN103207633A (zh) * 2013-03-07 2013-07-17 上海电机学院 一种温湿度监控方法和系统

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3751489B2 (ja) 1999-11-25 2006-03-01 株式会社山武 数値設定装置
JP2002077892A (ja) * 2000-08-28 2002-03-15 Matsushita Electric Works Ltd モニタテレビユニット
JP3775282B2 (ja) * 2001-11-05 2006-05-17 横河電機株式会社 測定装置
JP2004147813A (ja) * 2002-10-30 2004-05-27 Aruze Corp ゴルフ遊技システム
JP2004248642A (ja) * 2003-02-19 2004-09-09 Taiyo Musen Co Ltd 多元漁業情報受信配信システム
JP4933164B2 (ja) * 2005-07-01 2012-05-16 キヤノン株式会社 情報処理装置、情報処理方法、プログラムおよび記憶媒体
JP5575585B2 (ja) * 2010-08-25 2014-08-20 アズビル株式会社 エネルギー総和抑制制御装置、電力総和抑制制御装置および方法
JP5556758B2 (ja) * 2011-07-22 2014-07-23 日本電気株式会社 情報表示装置、情報表示方法およびプログラム
JP6317922B2 (ja) * 2013-12-20 2018-04-25 日本光電工業株式会社 生体情報表示装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW200922452A (en) * 2007-11-09 2009-05-16 Delta Electronics Inc Heat dissipating system
US20110115642A1 (en) * 2009-11-19 2011-05-19 Silver Spring Networks, Inc. Utility network interface device configured to detect and report abnormal operating condition
US20120257062A1 (en) * 2011-04-06 2012-10-11 Hon Hai Precision Industry Co., Ltd. Video switch system and method of viewing surveillance videos
TW201245946A (en) * 2011-05-13 2012-11-16 Golden Emperor Internat Ltd A system for monitoring power of a computer
CN103207633A (zh) * 2013-03-07 2013-07-17 上海电机学院 一种温湿度监控方法和系统

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