JP6537443B2 - 表示装置および方法 - Google Patents

Description

本発明は、複数の制御ループを備えた装置を制御する汎用調節計から、表示対象の制御ループに関わる情報を受け取って表示する表示装置に関するものである。

複数の制御ループを備える装置（マルチループ系）を扱うために、汎用調節計（温調計）が使用されることがある（特許文献１、特許文献２参照）。マルチループ系の調節計（温調計）が対象とする加熱装置の例を図８、図９に示す。

図８の例では、加熱装置は、被加熱物を加熱するための加熱処理炉１００と、加熱処理炉１００の内部に設置された複数のヒータＨ１〜Ｈ４と、それぞれヒータＨ１〜Ｈ４によって加熱される加熱処理炉１００内の温度制御ゾーンＺ１〜Ｚ４の温度を測定する複数の温度センサＳ１〜Ｓ４と、ヒータＨ１〜Ｈ４に出力する操作量ＭＶ１〜ＭＶ４を算出する調節計１０１と、調節計１０１から出力された操作量ＭＶ１〜ＭＶ４に応じた電力をヒータＨ１〜Ｈ４に供給する電力調整器１０２−１〜１０２−４とから構成される。調節計１０１は、温度センサＳ１〜Ｓ４が計測した温度ＰＶ１〜ＰＶ４が温度設定値ＳＰ１〜ＳＰ４と一致するように操作量ＭＶ１〜ＭＶ４を算出する。この図８に示した加熱装置においては、温度ＰＶ１〜ＰＶ４を制御する制御ループが４個形成されていることになる。

また、図９に示した加熱装置の例では、酸化拡散炉２００内の石英管２０３の内部に、シリコンウェハ２０４が搬入される。温度センサＳ１〜Ｓ４は、それぞれヒータＨ１〜Ｈ４によって加熱される温度制御ゾーンＺ１〜Ｚ４の温度ＰＶ１〜ＰＶ４を測定する。調節計２０１は、温度センサＳ１〜Ｓ４が計測した温度ＰＶ１〜ＰＶ４が温度設定値ＳＰ１〜ＳＰ４と一致するように操作量ＭＶ１〜ＭＶ４を算出してヒータ電源２０２に出力する。ヒータ電源２０２は、操作量ＭＶ１〜ＭＶ４に応じた電力をヒータＨ１〜Ｈ４に供給する。こうして、酸化拡散炉２００内の石英管２０３内に導入される酸素とシリコンウェハ２０４とを加熱することにより、シリコンウェハ２０４の表面に酸化膜を形成する。この図９に示した加熱装置においても、温度ＰＶ１〜ＰＶ４を制御する制御ループが４個形成されていることになる。

調節計１０１，２０１や、調節計１０１，２０１を用いて例えば半導体の製造を行う製造装置においては、オペレータに情報を伝えるために、液晶ディスプレイなどの表示装置が使用される（特許文献３参照）。

特開平０５−１００７３９号公報 特開２０１２−０４８３７０号公報 特開２００１−１５４７８６号公報

小型の製造装置に表示装置を実装する場合は、小型の表示装置が使用される。しかしながら、図８、図９で説明したようなマルチループ系を扱う場合、小型の表示装置では画面の大きさが十分とは限らず、表示が見難くなり、利便性に支障が生じるという問題点があった。

特に、図１０に示すように、汎用調節計３００と一体化され、汎用目的で画面の仕様が設計される小型の表示装置３０１では、個々の制御対象（図１０のＮｏ．１〜Ｎｏ．４のループ番号で区別される制御対象）に固有の性質を反映した表示を効率的に行なうことに限界があった。このようにマルチループ系の情報表示に使用される小型の表示装置には、利便性の改善が求められている。

本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、マルチループ系で汎用的に使用される表示装置において、オペレータにとっての利便性を改善することを目的とする。

本発明の表示装置は、複数の制御ゾーンの配置を表すレイアウトイメージの画像データを、制御ゾーンの配置形態ごとに予め記憶するレイアウトイメージ記憶手段と、制御対象の装置における複数の制御ゾーンの配置を示す情報を予め記憶する配置情報記憶手段と、前記制御対象の装置における複数の制御ループと複数の制御ゾーンとの対応関係を示す情報を予め記憶する対応情報記憶手段と、画像表示のための表示素子と、前記制御対象の装置における表示対象の制御ループに関わる表示対象の情報を前記表示素子に表示させるループ情報表示制御手段と、前記制御対象の装置における複数の制御ゾーンの配置を示す情報を前記配置情報記憶手段から取得し、この制御ゾーンの配置に対応するレイアウトイメージの画像データを前記レイアウトイメージ記憶手段から取得して、前記ループ情報表示制御手段が表示させた画像中にレイアウトイメージを表示させるレイアウトイメージ表示制御手段と、前記制御対象の装置における複数の制御ループと複数の制御ゾーンとの対応関係を示す情報を前記対応情報記憶手段から取得し、取得した情報に基づいて前記表示対象の制御ループに対応する制御ゾーンの位置を前記レイアウトイメージ中に表示させる該当位置表示制御手段とを備えることを特徴とするものである。

また、本発明の表示装置の１構成例は、前記制御対象の装置における複数の制御ゾーンの配置が横一列であり、前記配置情報記憶手段は、この制御ゾーンの配置を示す情報を予め記憶することを特徴とするものである。
また、本発明の表示装置の１構成例は、前記制御対象の装置における複数の制御ゾーンの配置が縦一列であり、前記配置情報記憶手段は、この制御ゾーンの配置を示す情報を予め記憶することを特徴とするものである。
また、本発明の表示装置の１構成例において、前記ループ情報表示制御手段は、前記制御対象の装置を制御する調節計から前記表示対象の制御ループに関わる表示対象の情報を受け取ることを特徴とするものである。

また、本発明の表示方法は、制御対象の装置における表示対象の制御ループに関わる表示対象の情報を表示素子に表示させるループ情報表示ステップと、前記制御対象の装置における複数の制御ゾーンの配置を示す情報を記憶する配置情報記憶手段を参照して記憶されている情報を取得し、複数の制御ゾーンの配置を表すレイアウトイメージの画像データを、制御ゾーンの配置形態ごとに記憶するレイアウトイメージ記憶手段を参照して、前記配置情報記憶手段から取得した情報に対応するレイアウトイメージの画像データを取得し、前記ループ情報表示ステップで表示させた画像中にレイアウトイメージを表示させるレイアウトイメージ表示ステップと、前記制御対象の装置における複数の制御ループと複数の制御ゾーンとの対応関係を示す情報を記憶する対応情報記憶手段を参照して記憶されている情報を取得し、取得した情報に基づいて前記表示対象の制御ループに対応する制御ゾーンの位置を前記レイアウトイメージ中に表示させる該当位置表示ステップとを含むことを特徴とするものである。

本発明によれば、レイアウトイメージ記憶手段と、配置情報記憶手段と、対応情報記憶手段と、レイアウトイメージ表示制御手段と、該当位置表示制御手段とを設けることにより、表示中の情報に、対応する制御ゾーンの位置を把握し易くする表示を追加することができ、汎用目的で画面の仕様が設計される、マルチループ系で使用される小型の表示装置において、オペレータにとっての利便性を改善することができる。

表示装置の画面に４つの制御ループ分の情報を表示させる例を示す図である。 表示装置の画面に１つの制御ループ分の情報を拡大表示させる例を示す図である。 本発明の実施の形態に係る表示装置の構成を示すブロック図である。 本発明の実施の形態に係る表示装置の動作を説明するフローチャートである。 本発明の実施の形態における表示例を示す図である。 本発明の実施の形態における他の表示例を示す図である。 本発明の実施の形態における他の表示例を示す図である。 複数の制御ループを備えた加熱装置の構成例を示す図である。 複数の制御ループを備えた加熱装置の別の構成例を示す図である。 汎用調節計と一体化された表示装置の例を示す図である。

［発明の原理］
図１に示すように、表示装置の画面１に、例えば４つの制御ループ分の情報を表示させる場合には、縦２×横２の配置が情報表示としては扱いやすい。図１の例では、Ｎｏ．１〜Ｎｏ．４のループ番号で区別される各制御ループの温度設定値ＳＰと温度計測値ＰＶとが画面上の対応する区画１−１〜１−４に１ループ分ずつ表示されている。

図１の例では、情報表示としては見やすくなるが、実際の４制御ループが実装されている製造装置などにおいては、図８に示したように温度制御ゾーンが横一列の並びになっていたり、図９に示したように縦一列の並びになっていたりして、制御ゾーンの並びの位置関係と画面上の表示の並びの位置関係とが異なることがある。このため、オペレータとしては、図１のような表示を見ただけでは、表示されている情報を制御ゾーンの並びと対応付けて把握することができない。

以上のように、発明者は、表示装置の画面に表示されている情報を見ただけでは制御ゾーンを把握し難いことが、オペレータにとっての利便性に支障を生じさせる要因であることを見出した。特に、個別の制御ゾーンの操作のために１制御ループ分の操作情報のみを拡大表示した状態にしている場合（図２）、オペレータは、ループ番号（図２の例ではＮｏ．３）の表示のみを手掛かりに、装置のどのゾーンの操作を行なっているのかを認識しなければならない。この場合、利便性はさらに著しく損なわれる。つまり、大きな表示装置の画面に情報を表示する場合と小型の表示装置の画面に情報を表示する場合では、事情が異なるのである。

そこで、発明者は、表示装置に表示させる情報の中に、対応する制御ゾーンの位置を把握しやすくする表示を追加することに想到した。具体的には、例えば横一列、縦一列といった複数の制御ゾーンの配置と表示中の情報に対応する制御ゾーンの位置とを示すレイアウトイメージを表示する。

［実施の形態］
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図３は本発明の実施の形態に係る表示装置の構成を示すブロック図である。本実施の形態では、図８、図９に示したように４制御ループ（装置としては４制御ゾーン）の製造装置を事例とする。ただし、４制御ループよりも少ない３制御ループや、４制御ループよりも多い５制御ループ、６制御ループであっても、本発明の本質部分であるレイアウトイメージ表示は適用可能である。

本実施の形態の表示装置は、複数の制御ゾーンの配置を表すレイアウトイメージの画像データを、制御ゾーンの配置形態ごとに予め記憶するレイアウトイメージ記憶部１０と、制御対象の装置における複数の制御ゾーンの配置を示す情報を予め記憶する配置情報記憶部１１と、制御対象の装置における複数の制御ループと複数の制御ゾーンとの対応関係を示す情報を予め記憶する対応情報記憶部１２と、制御対象の装置における表示対象の制御ループに関わる表示対象の情報を後述する表示素子に表示させるループ情報表示制御部１３と、制御対象の装置における複数の制御ゾーンの配置を示す情報を配置情報記憶部１１から取得し、この制御ゾーンの配置に対応するレイアウトイメージの画像データをレイアウトイメージ記憶部１０から取得して、ループ情報表示制御部１３が表示させた画像中にレイアウトイメージを表示させるレイアウトイメージ表示制御部１４と、制御対象の装置における複数の制御ループと複数の制御ゾーンとの対応関係を示す情報を対応情報記憶部１２から取得し、取得した情報に基づいて表示対象の制御ループに対応する制御ゾーンの位置をレイアウトイメージ中に表示させる該当位置表示制御部１５と、画像表示のための液晶パネル等の表示素子１６とから構成される。

図４は本実施の形態の表示装置の動作を説明するフローチャートである。レイアウトイメージ記憶部１０には、表示すべき情報を本実施の形態の表示装置に出力する情報出力装置（例えば汎用調節計）が制御対象としている装置（例えば加熱装置）における制御ゾーンの配置を表すレイアウトイメージの画像データが、制御ゾーンの配置形態ごとに予め記憶されている。レイアウトイメージの画像データは、情報出力装置（例えば汎用調節計）が制御対象としている装置（例えば加熱装置）における制御ゾーンの配置を示すパラメータＰＡの値と対応付けて記憶されている。

配置情報記憶部１１には、図示しない情報出力装置（例えば汎用調節計）が制御対象としている装置（例えば加熱装置）における制御ゾーンの配置を示すパラメータＰＡの値が予め記憶されている。例えば図８に示したように制御ゾーンが横一列の並びになっている場合、配置情報記憶部１１にはＰＡ＝１が記憶される。また、図９に示したように制御ゾーンが縦一列の並びになっている場合、配置情報記憶部１１にはＰＡ＝２が記憶される。

対応情報記憶部１２には、情報出力装置（例えば汎用調節計）が制御対象としている装置（例えば加熱装置）における複数の制御ループと複数の制御ゾーンとの対応関係を示すパラメータＤの値が予め記憶されている。図８の例のように制御ゾーンの配置が横一列で、制御ループを特定するループ番号が左からＮｏ．１，Ｎｏ．２，Ｎｏ．３，Ｎｏ．４であった場合、左から１番目の制御ゾーンに対応するパラメータＤ１の値は１、２番目の制御ゾーンに対応するパラメータＤ２の値は２、３番目の制御ゾーンに対応するパラメータＤ３の値は３、４番目の制御ゾーンに対応するパラメータＤ４の値は４となる。

一方、図８の例のように制御ゾーンの配置が横一列で、制御ループを特定するループ番号が右からＮｏ．１，Ｎｏ．２，Ｎｏ．３，Ｎｏ．４であった場合、左から１番目の制御ゾーンに対応するパラメータＤ１の値は４、２番目の制御ゾーンに対応するパラメータＤ２の値は３、３番目の制御ゾーンに対応するパラメータＤ３の値は２、４番目の制御ゾーンに対応するパラメータＤ４の値は１となる。

図９の例のように制御ゾーンの配置が縦一列で、制御ループを特定するループ番号が上からＮｏ．１，Ｎｏ．２，Ｎｏ．３，Ｎｏ．４であった場合、上から１番目の制御ゾーンに対応するパラメータＤ１の値は１、２番目の制御ゾーンに対応するパラメータＤ２の値は２、３番目の制御ゾーンに対応するパラメータＤ３の値は３、４番目の制御ゾーンに対応するパラメータＤ４の値は４となる。

図９の例のように制御ゾーンの配置が縦一列で、制御ループを特定するループ番号が下からＮｏ．１，Ｎｏ．２，Ｎｏ．３，Ｎｏ．４であった場合、上から１番目の制御ゾーンに対応するパラメータＤ１の値は４、２番目の制御ゾーンに対応するパラメータＤ２の値は３、３番目の制御ゾーンに対応するパラメータＤ３の値は２、４番目の制御ゾーンに対応するパラメータＤ４の値は１となる。

ループ情報表示制御部１３は、情報出力装置（例えば汎用調節計）から渡された表示すべき情報を予め定められた規則に従って表示素子１６に表示させる（図４ステップＳ１）。汎用調節計は、予め定められた規則に従って自動的に選択した表示すべき情報、若しくはオペレータの操作に応じて選択した表示すべき情報をループ情報表示制御部１３に渡す。

例えば４制御ループ分の表示を行う場合、汎用調節計は、各制御ループに対応する制御情報や操作情報と、各制御ループを特定するループ番号とをループ情報表示制御部１３に渡す。ループ情報表示制御部１３は、予め定められた規則に従って、図１のように各制御ループに対応する情報（図１の例では温度設定値ＳＰと温度計測値ＰＶ）とループ番号（Ｎｏ．１〜Ｎｏ．４）とを縦２×横２のマトリクス状に配置した画像を表示素子１６に表示させる。

また、１制御ループ分の表示を行う場合、汎用調節計は、対象となる制御ループに対応する制御情報や操作情報と、当該制御ループを特定するループ番号とをループ情報表示制御部１３に渡す。ループ情報表示制御部１３は、予め定められた規則に従って、図２のように制御ループに対応する情報（図２の例では温度設定値ＳＰと温度計測値ＰＶ）とループ番号（Ｎｏ．３）とを１画面に拡大して配置した画像を表示素子１６に表示させる。
なお、ステップＳ１の処理は、従来から汎用調節計で行われている処理と同じである。

次に、レイアウトイメージ表示制御部１４は、情報出力装置（例えば汎用調節計）が制御対象としている装置（例えば加熱装置）における制御ゾーンの配置を示すパラメータＰＡの値を配置情報記憶部１１から取得し、取得したパラメータＰＡの値に対応するレイアウトイメージの画像データをレイアウトイメージ記憶部１０から取得して、ループ情報表示制御部１３が表示させた画像中にレイアウトイメージを表示させる（図４ステップＳ２）。

このとき、レイアウトイメージ表示制御部１４は、ループ情報表示制御部１３が表示素子１６に表示させた画像が、図１のように複数の制御ループの情報を画面上の分割された区画に１制御ループ分ずつ表示する画像になっている場合、同一のレイアウトイメージを各区画に１つずつ表示させるようにする。

該当位置表示制御部１５は、制御ループと制御ゾーンとの対応関係を示すパラメータＤ１〜Ｄ４の値を対応情報記憶部１２から取得し、ループ情報表示制御部１３が表示素子１６に情報を表示させた制御ループに対応する制御ゾーンの位置を前記レイアウトイメージ中に表示させる（図４ステップＳ３）。

図５、図６は本実施の形態の表示例を示す図である。図５の例は、図８の例のように制御ゾーンの配置が横一列で、制御ループを特定するループ番号が左からＮｏ．１，Ｎｏ．２，Ｎｏ．３，Ｎｏ．４であった場合（Ｄ１＝１，Ｄ２＝２，Ｄ３＝３，Ｄ４＝４）の表示例である。この場合、図１と同様に、表示素子１６の画面１に、Ｎｏ．１〜Ｎｏ．４のループ番号で区別される各制御ループの温度設定値ＳＰと温度計測値ＰＶとが画面上の対応する区画１−１〜１−４に１ループ分ずつ表示され、各区画に同一のレイアウトイメージ２（図５の例では横一列の４個のブロック）が表示され、さらに各レイアウトイメージ２中に制御ループに対応する制御ゾーンの位置を示すマーク３−１〜３−４が表示される。

ここでは、ループ番号Ｎｏ．１の制御ループが左から１番目の制御ゾーンに対応しているので、区画１−１のレイアウトイメージ２中の左から１番目のブロックを濃くしたマーク３−１が表示され、ループ番号Ｎｏ．２の制御ループが２番目の制御ゾーンに対応しているので、区画１−２のレイアウトイメージ２中の２番目のブロックを濃くしたマーク３−２が表示され、ループ番号Ｎｏ．３の制御ループが３番目の制御ゾーンに対応しているので、区画１−３のレイアウトイメージ２中の３番目のブロックを濃くしたマーク３−３が表示され、ループ番号Ｎｏ．４の制御ループが４番目の制御ゾーンに対応しているので、区画１−４のレイアウトイメージ２中の４番目のブロックを濃くしたマーク３−４が表示される。

図６の例は、図９の例のように制御ゾーンの配置が縦一列で、制御ループを特定するループ番号が上からＮｏ．１，Ｎｏ．２，Ｎｏ．３，Ｎｏ．４であった場合（Ｄ１＝１，Ｄ２＝２，Ｄ３＝３，Ｄ４＝４）の表示例である。この場合、図１と同様に、表示素子１６の画面１に、Ｎｏ．１〜Ｎｏ．４のループ番号で区別される各制御ループの温度設定値ＳＰと温度計測値ＰＶとが画面上の対応する区画１−１〜１−４に１ループ分ずつ表示され、各区画に同一のレイアウトイメージ２（図６の例では縦一列の４個のブロック）が表示され、さらに各レイアウトイメージ２中に制御ループに対応する制御ゾーンの位置を示すマーク３−１〜３−４が表示される。

ここでは、ループ番号Ｎｏ．１の制御ループが上から１番目の制御ゾーンに対応しているので、区画１−１のレイアウトイメージ２中の上から１番目のブロックを濃くしたマーク３−１が表示され、ループ番号Ｎｏ．２の制御ループが２番目の制御ゾーンに対応しているので、区画１−２のレイアウトイメージ２中の２番目のブロックを濃くしたマーク３−２が表示され、ループ番号Ｎｏ．３の制御ループが３番目の制御ゾーンに対応しているので、区画１−３のレイアウトイメージ２中の３番目のブロックを濃くしたマーク３−３が表示され、ループ番号Ｎｏ．４の制御ループが４番目の制御ゾーンに対応しているので、区画１−４のレイアウトイメージ２中の４番目のブロックを濃くしたマーク３−４が表示される。

図７の例は、図８の例のように制御ゾーンの配置が横一列で、制御ループを特定するループ番号が左からＮｏ．１，Ｎｏ．２，Ｎｏ．３，Ｎｏ．４で、図２の例のようにループ番号Ｎｏ．３の制御ループの温度設定値ＳＰと温度計測値ＰＶとを拡大表示する表示例である。この場合、横一列の４個のブロックのレイアウトイメージ２が表示され、さらにレイアウトイメージ２中の左から３番目のブロックを濃くしたマーク３が表示される。

以上のように、本実施の形態では、表示中の情報に、対応する制御ゾーンの位置を把握し易くする表示を追加することができる。すなわち、汎用目的で画面の仕様が設計される、マルチループ系で使用される小型の表示装置において、オペレータにとっての利便性を改善することができる。

なお、本実施の形態では、汎用調節計と分離した表示装置として説明しているが、汎用調節計と一体化された表示装置に本発明を適用してもよいことは言うまでもない。

本実施の形態で説明した表示装置のうち、レイアウトイメージ記憶部１０と配置情報記憶部１１と対応情報記憶部１２とループ情報表示制御部１３とレイアウトイメージ表示制御部１４と該当位置表示制御部１５とは、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、記憶装置及びインタフェースを備えたコンピュータと、これらのハードウェア資源を制御するプログラムによって実現することができる。ＣＰＵは、記憶装置に格納されたプログラムに従って本実施の形態で説明した処理を実行する。

本発明は、マルチループ系で使用される表示装置に適用することができる。

１０…レイアウトイメージ記憶部、１１…配置情報記憶部、１２…対応情報記憶部、１３…ループ情報表示制御部、１４…レイアウトイメージ表示制御部、１５…該当位置表示制御部、１６…表示素子。

Claims (8)

1. 複数の制御ゾーンの配置を表すレイアウトイメージの画像データを、制御ゾーンの配置形態ごとに予め記憶するレイアウトイメージ記憶手段と、
   制御対象の装置における複数の制御ゾーンの配置を示す情報を予め記憶する配置情報記憶手段と、
   前記制御対象の装置における複数の制御ループと複数の制御ゾーンとの対応関係を示す情報を予め記憶する対応情報記憶手段と、
   画像表示のための表示素子と、
   前記制御対象の装置における表示対象の制御ループに関わる表示対象の情報を前記表示素子に表示させるループ情報表示制御手段と、
   前記制御対象の装置における複数の制御ゾーンの配置を示す情報を前記配置情報記憶手段から取得し、この制御ゾーンの配置に対応するレイアウトイメージの画像データを前記レイアウトイメージ記憶手段から取得して、前記ループ情報表示制御手段が表示させた画像中にレイアウトイメージを表示させるレイアウトイメージ表示制御手段と、
   前記制御対象の装置における複数の制御ループと複数の制御ゾーンとの対応関係を示す情報を前記対応情報記憶手段から取得し、取得した情報に基づいて前記表示対象の制御ループに対応する制御ゾーンの位置を前記レイアウトイメージ中に表示させる該当位置表示制御手段とを備えることを特徴とする表示装置。
2. 請求項１記載の表示装置において、
   前記制御対象の装置における複数の制御ゾーンの配置が横一列であり、
   前記配置情報記憶手段は、この制御ゾーンの配置を示す情報を予め記憶することを特徴とする表示装置。
3. 請求項１記載の表示装置において、
   前記制御対象の装置における複数の制御ゾーンの配置が縦一列であり、
   前記配置情報記憶手段は、この制御ゾーンの配置を示す情報を予め記憶することを特徴とする表示装置。
4. 請求項１乃至３のいずれか１項に記載の表示装置において、
   前記ループ情報表示制御手段は、前記制御対象の装置を制御する調節計から前記表示対象の制御ループに関わる表示対象の情報を受け取ることを特徴とする表示装置。
5. 制御対象の装置における表示対象の制御ループに関わる表示対象の情報を表示素子に表示させるループ情報表示ステップと、
   前記制御対象の装置における複数の制御ゾーンの配置を示す情報を記憶する配置情報記憶手段を参照して記憶されている情報を取得し、複数の制御ゾーンの配置を表すレイアウトイメージの画像データを、制御ゾーンの配置形態ごとに記憶するレイアウトイメージ記憶手段を参照して、前記配置情報記憶手段から取得した情報に対応するレイアウトイメージの画像データを取得し、前記ループ情報表示ステップで表示させた画像中にレイアウトイメージを表示させるレイアウトイメージ表示ステップと、
   前記制御対象の装置における複数の制御ループと複数の制御ゾーンとの対応関係を示す情報を記憶する対応情報記憶手段を参照して記憶されている情報を取得し、取得した情報に基づいて前記表示対象の制御ループに対応する制御ゾーンの位置を前記レイアウトイメージ中に表示させる該当位置表示ステップとを含むことを特徴とする表示方法。
6. 請求項５記載の表示方法において、
   前記制御対象の装置における複数の制御ゾーンの配置が横一列であり、
   前記配置情報記憶手段は、この制御ゾーンの配置を示す情報を予め記憶することを特徴とする表示方法。
7. 請求項５記載の表示方法において、
   前記制御対象の装置における複数の制御ゾーンの配置が縦一列であり、
   前記配置情報記憶手段は、この制御ゾーンの配置を示す情報を予め記憶することを特徴とする表示方法。
8. 請求項５乃至７のいずれか１項に記載の表示方法において、
   前記ループ情報表示ステップは、前記制御対象の装置を制御する調節計から前記表示対象の制御ループに関わる表示対象の情報を受け取るステップを含むことを特徴とする表示方法。