JP6745731B2 - 制御装置および表示方法 - Google Patents

Description

本発明は、制御装置に係り、特に設定値ＳＰが継続的に変化するランプ入力タイプの制御を行なう場合の情報表示を改善する技術に関するものである。

１個または複数の制御ループを備える装置を扱うために、多機能の汎用調節計（温調計）が使用されることがある（特許文献１参照）。調節計（温調計）が対象とする加熱装置の例を図７、図８に示す。

図７の例では、加熱装置は、被加熱物を加熱するための加熱処理炉１００と、加熱処理炉１００の内部に設置された複数のヒータＨ１〜Ｈ４と、それぞれヒータＨ１〜Ｈ４によって加熱される加熱処理炉１００内の温度制御ゾーンＺ１〜Ｚ４の温度を測定する複数の温度センサＳ１〜Ｓ４と、ヒータＨ１〜Ｈ４に出力する操作量ＭＶ１〜ＭＶ４を算出する調節計１０１と、調節計１０１から出力された操作量ＭＶ１〜ＭＶ４に応じた電力をヒータＨ１〜Ｈ４に供給する電力調整器１０２−１〜１０２−４とから構成される。調節計１０１は、温度センサＳ１〜Ｓ４が計測した温度ＰＶ１〜ＰＶ４が温度設定値ＳＰ１〜ＳＰ４と一致するように操作量ＭＶ１〜ＭＶ４を算出する。この図７に示した加熱装置においては、温度ＰＶ１〜ＰＶ４を制御する制御ループが４個形成されていることになる。

また、図８に示した加熱装置の例では、酸化拡散炉２００内の石英管２０３の内部に、シリコンウェハ２０４が搬入される。温度センサＳ１〜Ｓ４は、それぞれヒータＨ１〜Ｈ４によって加熱される温度制御ゾーンＺ１〜Ｚ４の温度ＰＶ１〜ＰＶ４を測定する。調節計２０１は、温度センサＳ１〜Ｓ４が計測した温度ＰＶ１〜ＰＶ４が温度設定値ＳＰ１〜ＳＰ４と一致するように操作量ＭＶ１〜ＭＶ４を算出してヒータ電源２０２に出力する。ヒータ電源２０２は、操作量ＭＶ１〜ＭＶ４に応じた電力をヒータＨ１〜Ｈ４に供給する。こうして、酸化拡散炉２００内の石英管２０３内に導入される酸素とシリコンウェハ２０４とを加熱することにより、シリコンウェハ２０４の表面に酸化膜を形成する。この図８に示した加熱装置においても、温度ＰＶ１〜ＰＶ４を制御する制御ループが４個形成されていることになる。

調節計１０１，２０１や、調節計１０１，２０１を用いて例えば半導体の製造を行なう製造装置においては、オペレータに情報を伝えるために、液晶ディスプレイなどの表示装置が使用される（特許文献２参照）。

ところで、調節計の代表的な適用対象は、言うまでもなく上記のような加熱装置などの温度制御系である。特に加熱（昇温）制御においては、安全面や被加熱物の物性などの事情から、温度の急上昇を避けて徐々に温度を上げていく制御が多く行なわれている。この場合、制御の設定値ＳＰ（温度制御の場合は温度設定値）を一定の変化率で継続的に上昇させていくランプアップという処理を行なうことになる（特許文献３参照）。以下、設定値ＳＰを一定の変化率で継続的に上昇させていく処理を「ＳＰランプ」と呼ぶ。

小型の調節計に表示器を実装する場合は、小型の表示器が使用される。また、多機能な調節計の場合には、タッチパネル機能付きの表示器が使用される。いずれの表示器も豊富な表示領域を有するものではない。したがって、一般的には、設定値ＳＰが上昇途中にある時点において、その時点での設定値ＳＰと、その設定値ＳＰに追従するように制御されている温度計測値ＰＶ（制御量ＰＶ）とを優先的に表示するようになっている。このような表示形態は、多くの理由により従来から常態化している。

しかし、表示領域が限られていて、多数の情報を同時に表示できない場合、設定値ＳＰと制御量ＰＶの数値のみが表示されることになり、ＳＰランプについて以下の３つの問題点があった。

（I）第１の問題点は、昇温中に昇温の最終到達点の設定値ＳＰが表示されないので、ＳＰランプの設定操作が確実に行なわれたかどうか分からないことである。
（II)第２の問題点は、設定値ＳＰの変化が遅い場合、表示の更新タイミングまで長く待たないと、ＳＰランプ動作になっているかどうか分からないことである。
（III）第３の問題点は、仮に昇温の最終到達点の設定値ＳＰを、昇温途中の設定値ＳＰの代わりに表示すると、継続的に変化していく昇温途中の設定値ＳＰが分からないことである。

以上のように表示領域に限りがある制御装置の場合、ＳＰランプについて認識し難いという問題点があり、改善が求められている。

特開２０１２−０４８３７０号公報 特開２００１−１５４７８６号公報 特開２００９−１８７１８０号公報

本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、ＳＰランプについての認識し難さを改善することができる制御装置および表示方法を提供することを目的とする。

本発明の制御装置は、ＰＩＤ制御に必要なパラメータとして、制御量ＰＶの上下限値を示す制御量レンジを予め記憶するように構成された第１の記憶部と、設定値ＳＰが一定の変化率で継続的に変化するランプ入力の設定パラメータとして、前記設定値ＳＰの変化率と初期値と最終値とを予め記憶するように構成された第２の記憶部と、前記設定値ＳＰが一定の変化率で継続的に変化するランプ入力タイプの制御の開始に応じて、前記第２の記憶部に記憶されている変化率と初期値に基づいて、前記設定値ＳＰの現在値を算出するように構成されたランプ動作部と、前記設定値ＳＰの現在値と制御対象の制御量ＰＶとを入力としてＰＩＤ制御演算により操作量ＭＶを算出して前記制御対象に出力するように構成されたＰＩＤ制御部と、前記制御量レンジと前記初期値と前記現在値と前記最終値とを取得して、前記制御量レンジを数直線のフルスケールとしたときの、この数直線上での前記初期値と前記現在値と前記最終値のそれぞれの表示位置を算出するように構成された数直線表示算出部と、この数直線表示算出部が算出した数直線上の位置に、前記初期値と前記現在値と前記最終値とを、前記数直線上の点として表示するように構成された表示制御部とを備えることを特徴とするものである。
また、本発明の制御装置の１構成例は、前記ランプ入力タイプの制御の開始時点からの経過時間に応じて前記数直線の表示形式を変更する指示を出力するように構成された時間経過指示部をさらに備え、前記表示制御部は、前記時間経過指示部が指示した表示形式で、前記初期値と前記現在値と前記最終値とを表示することを特徴とするものである。

また、本発明の制御装置の表示方法は、設定値ＳＰが一定の変化率で継続的に変化するランプ入力タイプの制御の開始に応じて、予め記憶されている前記設定値ＳＰの変化率と初期値に基づいて、前記設定値ＳＰの現在値を算出する第１のステップと、前記設定値ＳＰの現在値と制御対象の制御量ＰＶとを入力としてＰＩＤ制御演算により操作量ＭＶを算出して前記制御対象に出力する第２のステップと、前記制御量ＰＶの予め記憶されている上下限値を示す制御量レンジと前記設定値ＳＰの初期値と前記現在値と前記設定値ＳＰの予め記憶されている最終値とを取得して、前記制御量レンジを数直線のフルスケールとしたときの、この数直線上での前記初期値と前記現在値と前記最終値のそれぞれの表示位置を算出する第３のステップと、この第３のステップで算出した数直線上の位置に、前記初期値と前記現在値と前記最終値とを、前記数直線上の点として表示する第４のステップとを含むことを特徴とするものである。

本発明によれば、制御量レンジ（ＰＶレンジ）を数直線のフルスケールとして、設定値ＳＰの初期値と現在値と最終値とを数直線上の点として表示することにより、表示領域が限られている場合であっても、ＳＰランプの設定操作が確実に行なわれたかどうかとＳＰランプ動作になっているかどうかを確認することができ、さらに設定値ＳＰの初期値と現在値と最終値とを同時に確認することができる。その結果、本発明では、ＳＰランプについての認識し難さを改善することができる。

また、本発明では、時間経過指示部を設けることにより、時間の経過を更に認識し易くすることができる。

本発明の実施例に係る制御装置の外観図である。 本発明の実施例に係る制御装置の構成を示すブロック図である。 本発明の実施例に係る制御装置の動作を説明するフローチャートである。 本発明の実施例における情報の表示例を示す図である。 本発明の実施例における数直線の表示例を示す図である。 本発明の実施例に係る制御装置の別の例を示す外観図である。 複数の制御ループを備えた加熱装置の構成例を示す図である。 複数の制御ループを備えた加熱装置の別の構成例を示す図である。

［発明の原理１］
ＳＰランプは、前記したように設定値ＳＰを継続的かつ一定の変化率で直線的に上昇させていく動作なので、制御量ＰＶや設定値ＳＰを数直線（バーグラフ）で表現すれば、上記の問題点をほぼ解決できる。ただし、どのようなスケールの数直線とするかによって、認識し易さが変わってくることに留意しなければならない。

そこで、発明者は、制御量ＰＶのフルレンジを規定するパラメータであるＰＶレンジを、スケールの基礎とすることに着眼した。ＰＶレンジは、温調計などの汎用の制御装置において、使用する温度センサのスペックや過昇温アラームのデフォルト設定と関連する、温度制御系の重要な設計情報としての意味を持つパラメータである。また、ＰＶレンジは、そのような重要なパラメータなので、頻繁に変更するものではなく、温調計で一旦設定してしまえば、オペレータにとって一貫した感覚で扱えるパラメータである。したがって、ＰＶレンジをスケールの基礎とする数直線表示部を採用すれば、オペレータが慣れているスケールの数直線になる。上記に基づき、ＰＶレンジをスケールの基礎とする数直線表示部を採用し、ＳＰランプの変化の状態を色別に表示すれば、小さな画面でも昇温の最終到達点などを認識可能にできることに想到した。

ＳＰランプは、代表的には急な温度上昇を嫌う昇温制御に利用されるものである。急な温度上昇を嫌う状況とは、ヒータがオフになっている低温から、加熱処理に必要な高温へと昇温するような状況である。すなわち、使用される温度センサの下限付近から温度センサの上限付近への昇温の場合であり、ＰＶレンジの下限付近からＰＶレンジの上限付近への昇温の場合が、ＳＰランプの代表的な用途ということになる。このことからも、ＰＶレンジをスケールの基礎とすれば、適度なスケールの数直線になる可能性が高く、汎用の制御装置の使用方法にとって好適である。

［発明の原理２］
ＳＰランプは、前記したように設定値ＳＰを継続的かつ直線的に上昇させていく動作なので、昇温の経過時間（あるいは予定時間）に基づき、例えば１分おきに色が変化するように表示することで、規則正しい色の変化になるので、時間の経過を認識し易くできる。

［実施例］
以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する。本実施例は、上記発明の原理１、発明の原理２に対応する例である。図１は本実施例に係る制御装置の外観図、図２は制御装置の構成を示すブロック図である。本実施例の制御装置は、例えば４制御ループの温調計ユニット１と、温調計ユニット１と接続されて使用される小型の表示器ユニット２とから構成される。

温調計ユニット１は、設定値ＳＰと制御量ＰＶとを入力としてＰＩＤ制御演算により操作量ＭＶを算出して制御対象に出力するＰＩＤ制御部１０と、ＰＩＤ制御に必要なパラメータとして、制御量ＰＶの上下限値を示すＰＶレンジ（制御量レンジ）を少なくとも記憶するパラメータ記憶部１１と、ＳＰランプ入力の設定パラメータとして、設定値ＳＰの変化率と設定値ＳＰの初期値と設定値ＳＰの最終値とを記憶するＳＰランプ記憶部１２と、ＳＰランプ記憶部１２に記憶されている変化率と初期値に基づいて、設定値ＳＰの現在値を算出するＳＰランプ動作部１３とを備えている。

表示器ユニット２は、ＰＶレンジと設定値ＳＰの初期値と現在値と最終値とを取得して、ＰＶレンジを数直線のフルスケールとしたときの、この数直線上での初期値と現在値と最終値のそれぞれの表示位置を算出する数直線表示算出部２０と、ランプ入力タイプの制御開始時点からの経過時間に応じて数直線の表示形式を変更する指示を出力する時間経過指示部２１と、数直線表示算出部２０と時間経過指示部２１の出力結果を取得し、設定値ＳＰの初期値と現在値と最終値の数直線表示を実行する表示制御部２２と、画像表示のための液晶パネル等の表示素子２３と、オペレータが制御装置に指示を与えるための操作部２４とを備えている。

図３は本実施例の制御装置の動作を説明するフローチャートである。温調計ユニット１のパラメータ記憶部１１には、ＰＩＤ制御に必要なパラメータとして、少なくともＰＶレンジが予め記憶されている。通常は、温調計を実装した時点でオペレータによりＰＶレンジの記憶作業（パラメータ設定）が行なわれ、その後は記憶内容の変更は行なわれない。

一方、温調計ユニット１のＳＰランプ記憶部１２には、ＳＰランプ入力の設定パラメータとして、設定値ＳＰの変化率ΔＳＰ［％／ｓｅｃ］と設定値ＳＰの初期値ＳＰｓ［％］と設定値ＳＰの最終値ＳＰｅ［％］とが予め記憶されている。これらのパラメータについては、通常は、何らかの記憶装置に予め登録されている昇温プランを参照して、昇温開始前に記憶内容をＳＰランプ記憶部１２にコピーするような形で記憶作業が行なわれる。昇温完了後は、原則として記憶内容を維持する必要性はない。

温調計ユニット１のＳＰランプ動作部１３は、例えばオペレータが操作部２４を操作したことにより、ランプ入力タイプの昇温の開始指示を受けると（図３ステップＳ１００においてＹＥＳ）、ＳＰランプ記憶部１２に記憶されているパラメータΔＳＰ，ＳＰｓに基づいて、現在の制御周期における設定値ＳＰを算出してＰＩＤ制御部１０に出力する（図３ステップＳ１０１）。ランプ入力タイプの昇温の開始時点からの経過時間をｔ［ｓｅｃ］とすると、設定値ＳＰ［％］は次式のようになる。
ＳＰ＝ＳＰｓ＋ΔＳＰｔ ・・・（１）

温調計ユニット１のＰＩＤ制御部１０は、設定値ＳＰと制御量ＰＶとを入力として、制御量ＰＶが設定値ＳＰと一致するように周知のＰＩＤ制御演算により操作量ＭＶを算出して制御対象に出力する（図３ステップＳ１０２）。本実施例の制御対象を図７、図８に示したような加熱装置とする場合、設定値ＳＰは温度設定値であり、制御量ＰＶは温度センサによって計測される温度計測値であり、操作量ＭＶの実際の出力先は電力調整器やヒータ電源である。

なお、設定値ＳＰが初期値からステップ状に変化するステップ入力タイプの昇温では、昇温中の設定値ＳＰが最終値と同一の一定値であることは言うまでもない。したがって、ＳＰランプ動作部１３で設定値ＳＰの現在値を算出する必要はない。

表示器ユニット２の数直線表示算出部２０は、ＰＶレンジと設定値ＳＰの初期値ＳＰｓと設定値ＳＰの最終値ＳＰｅと現在の制御周期における設定値ＳＰとを温調計ユニット１から取得して、ＰＶレンジを数直線のフルスケール（全表示範囲）としたときの、当該数直線上での初期値ＳＰｓと最終値ＳＰｅと現在の設定値ＳＰのそれぞれの表示位置を算出する（図３ステップＳ１０３）。

例えば、右にいくほど数値が大きくなる数直線で情報を表示する場合に、ＰＶレンジが０℃−４００℃で、表示すべき数直線の長さが１００ｍｍと仮定すると、左端から０ｍｍの位置が０℃、左端から１００ｍｍ（右端から０ｍｍ）の位置が４００℃になる。初期値ＳＰｓが１００℃であれば、数直線上の初期値ＳＰｓの位置は左端から２５ｍｍの位置になる。最終値ＳＰｅが３００℃であれば、数直線上の最終値ＳＰｅの位置は左端から７５ｍｍの位置になる。現在の設定値ＳＰが２００℃であれば、現在の設定値ＳＰの数直線上の位置は左端から５０ｍｍの位置になる。

表示器ユニット２の時間経過指示部２１は、ランプ入力タイプの昇温の開始時点からの経過時間ｔに応じて数直線の表示形式（例えば表示色）を変更する指示を出力する（図３ステップＳ１０４）。経過時間ｔの値は、温調計ユニット１から取得すればよい。また、温調計ユニット１からランプ入力タイプの昇温の開始信号を取得してからの経過時間ｔを時間経過指示部２１自身が計測してもよい。あるいは、時間経過指示部２１は、温調計ユニット１から取得した設定値ＳＰの変化率ΔＳＰと初期値ＳＰｓと現在の設定値ＳＰとから経過時間ｔを算出してもよい。これらの値を取得できれば、式（１）により経過時間ｔを算出できることは言うまでもない。時間経過指示部２１は、予め規定された時間（例えば１分）が経過する度に、所定の規則に従って表示形式を変更する。

表示器ユニット２の表示制御部２２は、温調計ユニット１から渡された表示すべき情報を所定の規則に従って表示素子２３に表示させる。表示制御部２２は、ある制御ループでランプ入力タイプと異なる昇温（例えばステップ入力タイプの昇温）が行われている場合、あるいはランプ入力タイプの昇温が行われているが、表示すべき情報の中に設定値ＳＰが含まれていない表示モードになっている場合（図３ステップＳ１０５においてＮＯ）、当該制御ループについて通常形式の情報表示（例えば数値表示）を行なう（図３ステップＳ１０６）。

表示モードは、予め定められた規則に従って自動的に設定されるか、あるいはオペレータの操作に応じて設定される。温調計ユニット１のＳＰランプ動作部１３からは現在の設定値ＳＰが出力され、ＰＩＤ制御部１０からは制御量ＰＶと操作量ＭＶとが出力され、ＳＰランプ記憶部１２からは設定値ＳＰの初期値ＳＰｓと最終値ＳＰｅとが出力される。表示制御部２２は、これら温調計ユニット１から出力された情報のうち、表示モードで指定された情報を表示する。

また、表示制御部２２は、ある制御ループでランプ入力タイプの昇温が行われ、かつ表示すべき情報の中に設定値ＳＰが含まれる表示モードになっている場合（ステップＳ１０５においてＹＥＳ）、当該制御ループについて通常形式の情報表示を行なうと共に、設定値ＳＰの数直線表示を行なう（図３ステップＳ１０７）。このとき、表示制御部２２は、初期値ＳＰｓと最終値ＳＰｅと現在の設定値ＳＰとを、数直線表示算出部２０が算出した数直線上の位置に、時間経過指示部２１が指定した表示形式で、数直線上の点として表示する。

以上のようなステップＳ１０１〜Ｓ１０７の処理を、制御装置の表示動作が終了するまで（図３ステップＳ１０８においてＹＥＳ）、制御周期毎および制御ループ毎に繰り返し実行する。
図４は本実施例における情報表示の例を示す図である。図４の例では、Ｎｏ．１〜Ｎｏ．４のループ番号で区別される各制御ループの設定値ＳＰと制御量ＰＶとを表示素子２３の画面２３０上の対応する区画２３０−１〜２３０−４に１ループ分ずつ表示する表示モードの例を示している。

ここで、ループ番号Ｎｏ．３，Ｎｏ．４の制御ループについては、例えばステップ入力タイプの昇温が行われているため、設定値ＳＰと制御量ＰＶとが通常形式で数値表示されている。一方、ループ番号Ｎｏ．１，Ｎｏ．２の制御ループについては、ランプ入力タイプの昇温が行われているため、設定値ＳＰと制御量ＰＶとが通常形式で数値表示されると共に、設定値ＳＰが数直線２３１−１〜２３１−２で表示されている。

数直線２３１の表示を行なう場合、ＰＶレンジを数直線２３１のフルスケールとして、初期値ＳＰｓと最終値ＳＰｅと現在の設定値ＳＰとを数直線上の点として表示し、さらに時間の経過と共に設定値ＳＰの表示位置を変化させていくので、表示領域が限られている場合であっても、ＳＰランプの設定操作が確実に行なわれたかどうかとＳＰランプ動作になっているかどうかを確認することができ、さらに設定値ＳＰの初期値ＳＰｓと継続的に変化していく設定値ＳＰの現在値と昇温の最終値ＳＰｅとを同時に確認することができる。

例えば図５（Ａ）、図５（Ｂ）、図５（Ｃ）、図５（Ｄ）、図５（Ｅ）はそれぞれ昇温開始から６分後、９分後、１３分後、１６分後、２０分後の数直線２３１を表している。
また、本実施例では、時間の経過と共に、数直線の表示形式、例えば表示色を変更することにより、時間の経過を更に認識し易くすることができる。なお、設定値ＳＰの表示形式のみを時間の経過と共に変更してもよいし、同時に初期値ＳＰｓと最終値ＳＰｅの表示形式を変更してもよい。

上記の実施例では、温調計ユニット１と表示器ユニット２とが別体の制御装置を例に挙げて説明したが、図６に示すように温調計ユニットと表示器とが一体の制御装置であってもよいことは言うまでもない。また、図６に示すように表示素子２３が液晶パネルでなく、ＬＥＤであってもよい。図６の例では、ＳＰ＝１８５℃、ＰＶ＝１８０℃の時点を示している。

また、図６の例では、１制御ループの表示を行なう場合を示しているが、図４の例では、４制御ループの表示を行なう場合を示している。このように本発明は、１制御ループの表示、複数の制御ループの表示のいずれにも適用可能である。
また、上記の実施例では、昇温制御の場合を例に挙げて説明しているが、これに限るものではなく、降温制御の場合にも本発明を適用することができる。この場合、ステップ入力タイプの降温では、設定値ＳＰがステップ状に低下し、ランプ入力タイプの降温では、設定値ＳＰが一定の変化率で継続的に低下することは言うまでもない。

なお、特開平５−１００７０７号公報には、バーグラフ表示を行なう調節計が開示されている。しかしながら、この調節計は、制御量ＰＶと操作量ＭＶとをグラフ表示するものであり、本発明の制御装置とは目的、効果が異なるものである。

また、本発明で言う数直線は、バーグラフとほぼ同様の機能を有するものであるが、異なる点もある。一般的なバーグラフ表示では、現在値をバーグラフの長さで表現できるものの、現在値と最終値を同時に表示することはできない。また、一般的なバーグラフ表示では、フルスケールの下限値が初期値と同じであれば、バーグラフの始点で初期値を表現することができる。しかし、図５（Ａ）〜図５（Ｅ）に示した例のようにフルスケールの下限値（０℃）と設定値ＳＰの初期値ＳＰｓ＝１００℃とが異なる場合、フルスケールの下限値から始まるバーグラフの長さで現在値を表現する方法では、現在値と初期値を同時に表示することはできない。

上記の実施例で説明した制御装置のうち、ＰＩＤ制御部１０とパラメータ記憶部１１とＳＰランプ記憶部１２とＳＰランプ動作部１３と数直線表示算出部２０と時間経過指示部２１と表示制御部２２とは、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、記憶装置及びインタフェースを備えたコンピュータと、これらのハードウェア資源を制御するプログラムによって実現することができる。ＣＰＵは、記憶装置に格納されたプログラムに従って本実施例で説明した処理を実行する。

本発明は、制御装置に適用することができる。

１…温調計ユニット、２…表示器ユニット、１０…ＰＩＤ制御部、１１…パラメータ記憶部、１２…ＳＰランプ記憶部、１３…ＳＰランプ動作部、２０…数直線表示算出部、２１…時間経過指示部、２２…表示制御部、２３…表示素子、２４…操作部。

Claims (4)

1. ＰＩＤ制御に必要なパラメータとして、制御量ＰＶの上下限値を示す制御量レンジを予め記憶するように構成された第１の記憶部と、
   設定値ＳＰが一定の変化率で継続的に変化するランプ入力の設定パラメータとして、前記設定値ＳＰの変化率と初期値と最終値とを予め記憶するように構成された第２の記憶部と、
   前記設定値ＳＰが一定の変化率で継続的に変化するランプ入力タイプの制御の開始に応じて、前記第２の記憶部に記憶されている変化率と初期値に基づいて、前記設定値ＳＰの現在値を算出するように構成されたランプ動作部と、
   前記設定値ＳＰの現在値と制御対象の制御量ＰＶとを入力としてＰＩＤ制御演算により操作量ＭＶを算出して前記制御対象に出力するように構成されたＰＩＤ制御部と、
   前記制御量レンジと前記初期値と前記現在値と前記最終値とを取得して、前記制御量レンジを数直線のフルスケールとしたときの、この数直線上での前記初期値と前記現在値と前記最終値のそれぞれの表示位置を算出するように構成された数直線表示算出部と、
   この数直線表示算出部が算出した数直線上の位置に、前記初期値と前記現在値と前記最終値とを、前記数直線上の点として表示するように構成された表示制御部とを備えることを特徴とする制御装置。
2. 請求項１記載の制御装置において、
   前記ランプ入力タイプの制御の開始時点からの経過時間に応じて前記数直線の表示形式を変更する指示を出力するように構成された時間経過指示部をさらに備え、
   前記表示制御部は、前記時間経過指示部が指示した表示形式で、前記初期値と前記現在値と前記最終値とを表示することを特徴とする制御装置。
3. 設定値ＳＰが一定の変化率で継続的に変化するランプ入力タイプの制御の開始に応じて、予め記憶されている前記設定値ＳＰの変化率と初期値に基づいて、前記設定値ＳＰの現在値を算出する第１のステップと、
   前記設定値ＳＰの現在値と制御対象の制御量ＰＶとを入力としてＰＩＤ制御演算により操作量ＭＶを算出して前記制御対象に出力する第２のステップと、
   前記制御量ＰＶの予め記憶されている上下限値を示す制御量レンジと前記設定値ＳＰの初期値と前記現在値と前記設定値ＳＰの予め記憶されている最終値とを取得して、前記制御量レンジを数直線のフルスケールとしたときの、この数直線上での前記初期値と前記現在値と前記最終値のそれぞれの表示位置を算出する第３のステップと、
   この第３のステップで算出した数直線上の位置に、前記初期値と前記現在値と前記最終値とを、前記数直線上の点として表示する第４のステップとを含むことを特徴とする制御装置の表示方法。
4. 請求項３記載の制御装置の表示方法において、
   さらに、前記ランプ入力タイプの制御の開始時点からの経過時間に応じて前記数直線の表示形式を変更する指示を出力する第５のステップをさらに含み、
   前記第４のステップは、前記第５のステップで指示された表示形式で、前記初期値と前記現在値と前記最終値とを表示するステップを含むことを特徴とする制御装置の表示方法。