TWI622766B - Inspection system and inspection method - Google Patents

Inspection system and inspection method Download PDF

Info

Publication number
TWI622766B
TWI622766B TW105141242A TW105141242A TWI622766B TW I622766 B TWI622766 B TW I622766B TW 105141242 A TW105141242 A TW 105141242A TW 105141242 A TW105141242 A TW 105141242A TW I622766 B TWI622766 B TW I622766B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
imaging device
light
defect
inspection object
inspection
Prior art date
Application number
TW105141242A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201723473A (zh
Inventor
Yumiko Kishi
Makoto Hino
Naoki Sakai
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ricoh Co Ltd filed Critical Ricoh Co Ltd
Publication of TW201723473A publication Critical patent/TW201723473A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI622766B publication Critical patent/TWI622766B/zh

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/892—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/892—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
    • G01N21/896—Optical defects in or on transparent materials, e.g. distortion, surface flaws in conveyed flat sheet or rod
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/958—Inspecting transparent materials or objects, e.g. windscreens

Landscapes

  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Textile Engineering (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

一種檢查具有透光性之薄片狀檢查對象物的檢查系統，具備：拍攝裝置，其拍攝檢查對象物；第1光源，其以使拍攝裝置接收以檢查對象物表面為主之漫反射光的方式，使光照射於拍攝裝置的拍攝區域；以及檢查裝置，其檢查檢查對象物有無缺陷；其中，該檢查裝置具備檢測部，該檢測部根據拍攝裝置所拍攝的拍攝影像檢測檢查對象物的缺陷。

Description

檢查系統及檢查方法
本發明係關於檢查系統及檢查方法。
先前習知技術提出有各種方法，例如將玻璃、預浸體(prepreg)等作為檢查對象物而在檢測製造步驟中檢測可能產生的表層裂痕、異物混入等缺陷。
例如提出有以下方法：將預浸體夾於相機與光源之間並且以相機及光源相對向來配置，以使光源照射的光穿透預浸體並入射於相機，且根據相機影像來檢測預浸體內部的空隙(例如參照專利文獻1)。
【先前技術文獻】
【專利文獻】專利文獻1：日本特開2006-64531號公報。
在專利文獻1的方法中，相機中入射有穿透光，該穿透光穿透檢查對象物的預浸體。因此，在相機拍攝影像中，檢查對象物的表層裂痕及混入內部的異物等種類相異缺陷會表現為相同陰影。因此，有可能無法判別檢查對象物所存在的缺陷種類。
本發明係鑒於上述而研究者，其目的為提供一種可判別所檢測缺陷種類的檢查系統。
根據本發明的一形態，檢查具有透光性之薄片狀檢查對象物的檢查系統具備：拍攝裝置，其拍攝檢查對象物；第 1光源，其以使拍攝裝置接收以檢查對象物表面為主之漫反射光的方式，使光照射於拍攝裝置的拍攝區域；以及檢查裝置，其檢查檢查對象物有無缺陷。該檢查裝置具備檢測部，該檢測部根據拍攝裝置所拍攝的拍攝影像，來檢測檢查對象物的缺陷。
根據本發明實施例係提供可判別所檢測缺陷種類的檢查系統。
10‧‧‧預浸體(檢查對象物)
100、200‧‧‧檢查系統
110、210‧‧‧搬送裝置
111、211‧‧‧第1搬送皮帶(第1搬送部)
112、212‧‧‧第2搬送皮帶(第2搬送部)
120、220‧‧‧拍攝裝置
130a、130b‧‧‧光源
140‧‧‧支撐構件
141‧‧‧支撐面
150、250‧‧‧檢查裝置
151、251、1161‧‧‧影像取得部
152、253‧‧‧檢測部
230‧‧‧第1光源
240‧‧‧第2光源
252‧‧‧色資訊取得部
1010‧‧‧預浸體(檢查對象物)
1010A‧‧‧未檢測到缺陷的預浸體
1010B‧‧‧檢測到缺陷的預浸體
1100、1200、1300、1400、1500、1600‧‧‧檢查系統
1110‧‧‧搬送裝置
1111‧‧‧第1搬送皮帶(第1搬送部)
1112‧‧‧第2搬送皮帶(第2搬送部)
1113‧‧‧第3搬送皮帶(第3搬送部)
1114‧‧‧第4搬送皮帶
1121‧‧‧第1拍攝裝置
1122‧‧‧第2拍攝裝置
1123‧‧‧第3拍攝裝置
1131a、1131b‧‧‧第1光源
1132‧‧‧第2光源
1133‧‧‧第3光源
1132a、1133a‧‧‧光軸
1134‧‧‧第4光源
1140‧‧‧支撐構件
1141‧‧‧支撐面
1150‧‧‧區分機構
1151‧‧‧第1托盤
1152‧‧‧第2托盤
1160‧‧‧檢查裝置
1162‧‧‧缺陷檢測部
1163‧‧‧區分部
1164‧‧‧色資訊取得部
1171‧‧‧鏡子
1172‧‧‧半反射鏡
A、B、AA、BB、CC‧‧‧缺陷
S101~S105‧‧‧步驟
S201~S208‧‧‧步驟
S1101~S1108‧‧‧步驟
S1201~S1210‧‧‧步驟
S1301~S1313‧‧‧步驟
圖1係例示第1實施例的檢查系統。
圖2係例示預浸體的缺陷(其第1個缺陷圖)。
圖3係例示第1實施例之缺陷檢查處理的流程圖。
圖4係示意例示第1實施例的影像資料。
圖5係例示第2實施例的檢查系統。
圖6係例示第2實施例之缺陷檢查處理的流程圖。
圖7係示意例示第2實施例的影像資料(B頻道)。
圖8係示意例示第2實施例的影像資料(R頻道)。
圖9係例示第3實施例的檢查系統。
圖10係例示預浸體的缺陷(其第2個缺陷圖)。
圖11係例示第3實施例之缺陷檢測處理的流程圖。
圖12係示意例示第3實施例的第1影像資料。
圖13係示意例示第3實施例的第2影像資料。
圖14A係說明缺陷檢測的必要處理時間(其第1個說明圖)。
圖14B係說明缺陷檢測的必要處理時間(其第2個說明圖)。
圖15係例示第4實施例的檢查系統。
圖16係例示第4實施例之缺陷檢測處理的流程圖。
圖17係例示第5實施例的檢查系統。
圖18係例示第5實施例之缺陷檢測處理的流程圖。
圖19係示意例示第5實施例的第1影像資料(B頻道)。
圖20係示意例示第5實施例的第1影像資料(R頻道)。
圖21係例示第6實施例的檢查系統。
圖22係例示第7實施例的檢查系統。
圖23係例示第8實施例的檢查系統。
以下參照圖面說明發明的實施例。各圖面中，相同構成部分係附上相同符號並省略重複說明。又，以下實施例中係說明檢測檢查對象物之預浸體有無缺陷的方法，但檢查對象物不限於預浸體。
【第1實施例】
圖1係例示第1實施例的檢查系統100。
如圖1所示，檢查系統100具備：搬送裝置110、拍攝裝置120、光源130a和130b、以及檢查裝置150，該檢查系統係用來檢查的檢查對象物的預浸體10中有無缺陷。
預浸體10係在纖維基礎材料含浸熱固化性樹脂後，加熱纖維基礎材料中的熱固化性樹脂並硬化者。纖維基礎材料係織入例如以玻璃纖維、聚酯纖維等所形成絲者。熱固化性樹脂係例如環氧樹脂、苯酚樹脂等。本實施例的預浸體10形成為表面平滑的薄片狀，光可從纖維基礎材料間隙通過透明熱固化性樹脂而穿透。
搬送裝置110具備作為第1搬送部的第1搬送皮帶111、以及作為第2搬送部的第2搬送皮帶112，並將預浸體10往圖1中的箭頭方向搬送。在第1搬送皮帶111中，無縫皮帶跨架於含有驅動輥的多個輥。與旋轉的驅動輥從動而使無縫皮帶旋轉，藉此，第1搬送皮帶111搬送載置於皮帶上的預浸體10。第2搬送皮帶112具備與第1搬送皮帶111相同的構成，並搬送由第1搬送皮帶111遞送的預浸體10。
又，搬送裝置110的構成並不限於本實施例中所例示的構成，例如可為以多個搬送輥搬送預浸體10的構成。
拍攝裝置120例如可為具備CCD(Charge Coupled Device)、CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)等拍攝元件的數位相機。拍攝裝置120係以拍攝區域的至少一部分與特定區域重疊的方式來設置，該特定區域係第1搬送皮帶111與第2搬送皮帶112之間的間隙並通過預浸體10的區域。在本實施例中，拍攝裝置120係以可在第1搬送皮帶111與第2搬送皮帶112之間拍攝在寬度方向上整體的預浸體10的方式來設置。
光源130a及130b分別可為例如LED(Light Emitting Diode)陣列，並對拍攝裝置120的拍攝區域照射白色光。又，光源130a及130b分別例如可為有機EL(ElectroLuminescence)陣列、冷陰極管等螢光燈等。
光源130a及130b分別以下列方式配置：拍攝裝置120可接收以預浸體10表面為主的漫反射光，該預浸體10在第1搬送皮帶111與第2搬送皮帶112之間搬送。本實施例中，光源130a及130b分別以相對於照射光之預浸體10表面的入射角度成為45度的方式來設置。又，拍攝裝置120係以光學系統的光軸與預浸體10表面垂直的方式來設置。
又，只要拍攝裝置120可接收以預浸體10表面為主的漫反射光，則光源130a及130b與拍攝裝置120的位置關係並不限於上述位置關係。本實施例中設置有2個光源130a及130b，但光源數目並不限於此，可設置1個或3個以上光源。又，可設置圓頂照明作為光源來照亮拍攝裝置120的拍攝區域。以下說明中，「光源130a及130b」有時僅稱為「光源130」。
支撐構件140設置於第1搬送皮帶111與第2搬送皮帶112之間。支撐構件140支撐在第1搬送皮帶111與第2搬送皮帶112之間所搬送的預浸體10。支撐構件140具備抵接預浸體10的支撐面141。支撐面141的寬度形成為預浸體10的寬度以上，並在第1搬送皮帶111與第2搬送皮帶112之間支撐在寬度方向上整體的預浸體10。預浸體10支撐於支撐構件140的支撐面141，藉此可在於第1搬送皮帶111與第2搬送皮帶112之間不產生彎曲下搬送。
支撐構件140的支撐面141係使用彩色材料而形成並為彩色。本實施例中，支撐面141係以藍色材料形成。又，支撐構件140中，例如可在支撐面141塗佈彩色塗料，也可以以具有彩色的材料形成含有支撐面141的部分。又，支撐面141的顏色只要為彩色即可，並不限於藍色。
檢查裝置150具備影像取得部151以及檢測部152。檢查裝置150例如可為具備CPU(Central Processing Unit)、ROM(Read-Only Memory)、RAM(Random Access Memory)等的電腦。檢查裝置150的各功能，亦即影像取得部151及檢測部152，例如可藉由將CPU從ROM所讀取的程式與RAM協同作用並實行來實現。
影像取得部151從拍攝裝置120取得預浸體10的影像資料。檢測部152根據影像取得部151從拍攝裝置120所取得的影像資料，檢測預浸體10所存在的缺陷。
圖2係例示預浸體10的缺陷。
圖2所示缺陷A係表層的裂痕。又，缺陷B係混入內部的異物。檢查裝置150的測部152根據影像取得部151從拍攝裝置120所取得之預浸體10的影像資料，檢測預浸體10的缺陷，並進一步判別檢測缺陷種類(缺陷A或缺陷B)。
圖3係例示第1實施例之缺陷檢測處理的流程圖。
如圖3所示，在檢查系統100中的缺陷檢測處理中，首先，在步驟S101中，搬送裝置110以從第1搬送皮帶111遞送至第2搬送皮帶112的方式搬送預浸體10。
接著在步驟S102中，光源130對拍攝裝置120的拍攝區域照射光。接著，在步驟S103中，拍攝裝置120拍攝在第1搬送皮帶111與第2搬送皮帶112之間的拍攝區域所搬送的預浸體10。如上述，拍攝裝置120的拍攝區域係設置在第1搬送皮帶111與第2搬送皮帶112之間的間隙，並拍攝預浸體10中支撐於支撐構件140的支撐面141的部分。拍攝裝置120連續拍攝 以搬送裝置110搬送的預浸體10，藉此拍攝整體預浸體10。
在步驟S104中，檢查裝置150的影像取得部151從拍攝裝置120取得預浸體1的影像資料。接著，在步驟S105中，檢測部152根據影像取得部151所取得影像資料，檢測預浸體10的缺陷。
圖4係示意表示拍攝裝置120所拍攝預浸體10的影像資料。
拍攝裝置120在預浸體10無缺陷部分係接收以下的光：預浸體10所反射的漫反射光、以及隔著具有透光性的預浸體10並在支撐構件140的支撐面141反射的漫反射光。因此，在拍攝裝置120拍攝預浸體10的影像資料中，無缺陷部分即係隔著預浸體10可看見支撐構件140的支撐面141而顯示支撐構件140的支撐面141的顏色。本實施例中，支撐構件140的支撐面141為藍色，故在拍攝裝置120的拍攝影像中，預浸體10的無缺陷部分為藍色。
在預浸體10的缺陷A中，光源130所照射的照射光的漫反射率係高於無缺陷部分的漫反射率。因此，從預浸體10的缺陷A反射並在拍攝裝置120接收的受光量係大於從無缺陷部分反射並在拍攝裝置120接收的受光量。因此，如圖4所示，在預浸體10的影像資料中，存在缺陷A的部分係較無缺陷部分更為明亮。
又，對於光源130的照射光的漫反射率越高，則拍攝裝置120所接收的受光量越大，其理由如下述。所謂漫反射率高是指漫反射程度較高，即無關於宏觀的反射法，光向各方向擴散的形態的反射程度較高。另一方面，光源130(130a及130b)與拍攝裝置120的位置關係漫反射程度越高，即無關於宏觀的反射法，光向各方向擴散的形態的反射程度越高，則拍攝裝置120的受光量越大。因此，對於光源130的照射光的漫反射率越高，則拍攝裝置120所接收的受光量越大。
又，拍攝裝置120在預浸體10存在缺陷B的部 分係接收：預浸體10表面的漫反射光、以及隔著具有透光性的預浸體10並在異物反射的漫反射光。因此，在拍攝裝置120的影像資料中，預浸體10存在缺陷B的部分，係隔著預浸體10可看到異物而顯示異物的顏色。例如，黑色異物混入預浸體10內部而產生缺陷B時，拍攝影像中缺陷B會看到黑影(參照圖4)。
如上述，在預浸體1的影像資料中，存在缺陷A的部分係較無缺陷部分明亮。因此，在影像資料中，存在缺陷A之部分的像素亮度係高於無缺陷部分的像素亮度。
又，以拍攝裝置120拍攝的影像資料中，例如因存在黑色異物所致缺陷B的部分係較無缺陷部分暗。因此，此時在影像資料中，存在缺陷B的部分的像素亮度係低於無缺陷部分的像素亮度。
又，檢查裝置150的檢測部152例如可預先計算預浸體10的影像資料中無缺陷部分的像素平均亮度，並根據影像資料的各像素亮度與預先計算的平均亮度的差，來檢測缺陷。檢測部152例如可將影像資料中亮度高於平均亮度的像素檢測為缺陷A。又，檢測部152例如可將影像資料中亮度低於平均亮度的像素檢測為缺陷B。
又，檢測部152可計算影像資料中各像素亮度與平均亮度的差，並將亮度高於平均亮度且與平均亮度的差在預先設定之第1閾值以上的像素，檢測作為缺陷A。又，檢測部152可將亮度低於平均亮度且與平均亮度的差在預先設定之第2閾值以上的像素，檢測作為缺陷B。藉由將各像素亮度與平均亮度的差與閾值相比較，並檢測缺陷，而可降低缺陷的檢測誤判。
如此，檢查裝置150的檢測部152可根據拍攝裝置120所拍攝影像的影像資料，區分並檢測預浸體10所存在的缺陷A(表層的裂痕)及缺陷B(混入異物)等缺陷。上述例中係說明檢測黑色異物缺陷B的情況，但即使是在檢測黑色以外異物缺陷B的情況，也可根據存在缺陷B的部分的像素亮度與無缺陷部分的像素亮度的差異，來檢測缺陷B。
如以上說明，根據第1實施例的檢查系統100，可檢測檢查對象物的預浸體10的缺陷，並判別缺陷種類。
又，在檢查系統100中，以在第1搬送皮帶111與第2搬送皮帶112之間的間隙檢查預浸體10的方式來設置光源130及拍攝裝置120。藉由如此構成，可在不受第1搬送皮帶111及第2搬送皮帶112的表面凹凸等的影響下，高精度地進行預浸體10的缺陷檢查。
又，支撐構件140在第1搬送皮帶111與第2搬送皮帶112之間支撐預浸體10，藉此可在第1搬送皮帶111與第2搬送皮帶112之間預浸體10不產生彎曲下，高精度地進行檢查。
又，假設支撐構件140的支撐面141例如為黑色、白色或灰色等無彩色時，以拍攝裝置120拍攝的影像資料中，存在缺陷A或缺陷B的部分與無缺陷部分的差異有可能會不明確。又，如上述，本實施例中藉由使支撐構件140的支撐面141為彩色，來使有無缺陷所致的差異更為明確，並可高精度地檢測缺陷。
在此，拍攝裝置120所拍攝之拍攝影像的影像資料例如可具有每個像素以R(紅)、G(綠)、B(藍)各色為0~255數值表的顏色，從RGB值所含之各色值中使用缺陷部分與無缺陷部分之亮度差最大的色值，來檢測缺陷。
例如，在支撐構件140的支撐面141為藍色時，在檢測可見表層裂痕所致白化的缺陷A時，係使用具有各像素G值的G頻道資料及具有各像素R值的R頻道資料。藉由使用G頻道資料及R頻道資料，可使缺陷A與無缺陷部分的差異更明確，並提高檢測靈敏度。又，此時，例如在檢測黑異物缺陷B時，係使用具有各像素B值的B頻道資料，可使缺陷B與無缺陷部分的差異更為明確，並提高檢測靈敏度。
又，第1實施例的說明係說明光源130照射白色光之例，但光源的照射光並不限於白色光，只要含有支撐構件140之支撐面141的色波長即可。例如，支撐面141顏色為藍色時， 光源可為含有藍色光之其他色的光，可為藍色光、洋紅光。
【第2實施例】
接著根據圖面說明第2實施例。又，與已說明實施例相同的構成部分適宜地省略了說明。
如圖5所示，檢查系統200具備搬送裝置210、拍攝裝置220、第1光源230、第2光源240、以及檢查裝置250，並檢查檢查對象物的預浸體10中有無缺陷。
搬送裝置210具備作為第1搬送部的第1搬送皮帶211、以及作為第2搬送部的第2搬送皮帶212，並將預浸體10往圖5中的箭頭方向搬送。在第1搬送皮帶211中，無縫皮帶跨架於含有驅動輥的多個輥。與旋轉的驅動輥從動而使無縫皮帶旋轉，藉此，第1搬送皮帶211搬送載置於皮帶上的預浸體10。第2搬送皮帶212具備與第1搬送皮帶211相同的構成，並搬送從第1搬送皮帶211遞送的預浸體10。
又，搬送裝置210的構成並不限於本實施例中所例示的構成，例如可為以多個搬送輥遞送並搬送預浸體10的構成。
拍攝裝置220例如可為具備CCD、CMOS等拍攝元件的數位相機。拍攝裝置220係以拍攝區域的至少一部分與特定區域重疊的方式來設置，該特定區域係第1搬送皮帶111與第2搬送皮帶112之間的間隙並通過預浸體10的區域。本實施例中，拍攝裝置220係以可在第1搬送皮帶211與第2搬送皮帶212之間拍攝在寬度方向上整體的預浸體10的方式來設置。
第1光源230例如可為藍色LED陣列，並對第1搬送皮帶211與第2搬送皮帶212之間照射藍色光。第1光源230係以拍攝裝置220可接受以所搬送預浸體10表面為主的漫反射光的方式配置。
第2光源240例如可為白色LED陣列，並對第1搬送皮帶211與第2搬送皮帶212之間照射白色光。第2光源240係以與拍攝裝置220相對向的方式配置，使拍攝裝置220可接收 穿透所搬送的預浸體10的穿透光。
本實施例中，第1光源230係照射第1波長區域(藍色波長區域)的藍色光，第2光源240係照射包括第1波長區域及與第1波長區域相異之第2波長區域(例如紅、綠之波長區域)的白色光。又，第1光源230及第2光源240可分別照射波長區域相異的光，也可以以照射與本實施例相異色之光的方式來構成。又，第1光源230及第2光源240例如可為有機EL陣列、冷陰極管等螢光燈等。
檢查裝置250具備影像取得部251、色資訊取得部252、以及檢測部253。檢查裝置250例如可具備CPU、ROM、RAM等的電腦。檢查裝置250的各功能，亦即影像取得部251、色資訊取得部252以及檢測部253例如可藉由將CPU從ROM所讀取的程式與RAM協同作用並實行來實現。
影像取得部251從拍攝裝置220取得預浸體10的影像資料。色資訊取得部252從影像取得部251所取得的影像資料來取得色資訊。檢測部253根據色資訊取得部252所取得的色資訊，檢測預浸體10所存在的缺陷。
圖6係例示第2實施例之缺陷檢測處理的流程圖。
如圖6所示，在檢查系統200中的缺陷檢測處理中，首先，在步驟S201中，搬送裝置210以從第1搬送皮帶211遞送至第2搬送皮帶212的方式搬送預浸體10。
接著，在步驟S202中，第1光源230及第2光源240對拍攝裝置120的拍攝區域照射光。接著，在步驟S203中，拍攝裝置120拍攝從第1搬送皮帶211遞送至第2搬送皮帶212的預浸體10。拍攝裝置220藉由連續拍攝以搬送裝置110搬送的預浸體10，來拍攝預浸體10整體。
在步驟S204中，檢查裝置250的影像取得部251從拍攝裝置220取得預浸體10的影像資料。接著，在步驟S205中，色資訊取得部252從影像取得部151所取得的預浸體10的影 像資料，取得後述第1色資訊。
在此，以拍攝裝置220拍攝之預浸體10的影像資料例如可具有每個像素以R(紅)、G(綠)、B(藍)之各色為0~255數值所表示的RGB值。色資訊取得部252取得對應各第1光源230及第2光源240照射之藍色光的藍色B頻道資料(各像素B值)，來作為第1色資訊。如此，色資訊取得部252從影像資料取得第1光源230所照射之藍色光波長區域所含的色資料，來作為第1色資訊。
圖7係示意表示預浸體10的影像資料(B頻道資料)。
在預浸體10的缺陷A中，從第1光源230照射之藍色光的漫反射率係高於無缺陷部分的漫反射率。因此，從第1光源230照射的藍色光在缺陷A反射並在拍攝裝置220接收的受光量係高於在無缺陷部分反射並在拍攝裝置220接收的受光量。因此，如圖7所示，在B頻道資料中，預浸體10中存在缺陷A的部分係較無缺陷部分明亮。
又，對於第1光源230的照射光的漫反射率越高，則拍攝裝置220所接收的受光量越大，其理由與第1實施例之說明中所描述的相同。
又，在預浸體10的缺陷B中，因異物而遮蔽第2光源240的照射光。因此，在第2光源240的照射光所含的藍色光中，拍攝裝置220所接收的受光量在存在缺陷B的部分係小於無缺陷部分。因此，如圖7所示，在B頻道的影像資料中，預浸體10中存在缺陷B的部分係較無缺陷部分暗。
又，在步驟S206中，色資訊取得部252從影像取得部151所取得的預浸體10的影像資料，取得後述第2色資訊。色資訊取得部252取得與第2光源240照射之白色光所含之紅色光對應的紅色R頻道資料(各像素R值)，來作為第2色資訊。如此，色資訊取得部252從影像資料取得第2光源240之照射光中之紅色光波長區域所含的色資料，來作為第2色資訊，該紅色 光波長區域與第1光源230所照射的藍色光波長區域相異。
又，色資訊取得部252可取得與第2光源240照射之白色光所含之綠色光對應的綠色G頻道資料(各像素G值)，來作為第2色資訊。此時，與以下說明之使用R頻道資料時同樣地，可檢測預浸體10的缺陷。
圖8係示意例示預浸體10的影像資料(R頻道資料)。
從第2光源240往拍攝裝置220照射的光被預浸體10中存在缺陷A或缺陷B的部分所遮蔽。因此，第2光源240的照射光所含之紅色光於拍攝裝置220所接收的受光量，在存在缺陷A或缺陷B的部分係小於無缺陷部分。因此，如圖8所示，在R頻道資料中，預浸體10中存在缺陷A及缺陷B的部分係較無缺陷部分暗。
在此，影像資料中各像素R值並不會受第1光源230照射之藍色光的影響，而依在拍攝裝置220所接收之下述紅色光的受光量來決定：該紅色光為第2光源240照射之白色光中所含的紅色光。因此，在存在缺陷A的部分，即使第1光源230的藍色光在拍攝裝置220接收的受光量增加，也不會使影像資料所含的R值變大。因此，如圖8所示，在R頻道資料中，存在缺陷A的部分不會受到藍色光的影響。
接著，在步驟S207中，檢測部253計算從色資訊取得部252取得之第1色資訊的B頻道資料與第2色資訊之R頻道資料的差。接著，在步驟S208中，檢測部253檢測預浸體10的缺陷。
在步驟S208中，檢測部253對於影像資料所含之全部像素計算第1色資訊的B頻道資料與第2色資訊的R頻道資料的差值(相同像素中的(B值-R值))。以下將由此方式所求的B頻道資料與R頻道資料的差值資料稱為B-R頻道資料。
如上述，在B頻道資料中，缺陷A部分之值係大於無缺陷部分之值(參照圖7)。對此，在R頻道資料中，缺陷A 部分之值係小於無缺陷部分的值(參照圖8)。因此，在B-R頻道資料中缺陷A部分之值與無缺陷部分之值的差係大於在各個B頻道資料及R頻道資料中缺陷A部分之值與無缺陷部分之值的差。
例如，在B頻道資料中，(缺陷A、缺陷B、無缺陷)各部分之值為(250、50、120)。又，在R頻道資料中，(缺陷A、缺陷B、無缺陷)各部分之值為(50、50、120)。如此情形下，在B-R頻道資料中，(缺陷A、缺陷B、無缺陷)各部分之值為(200、0、0)。
因此，在B-R頻道資料中，缺陷A部分之值與無缺陷部分之值的差為200，係大於B頻道資料中缺陷A部分之值與無缺陷部分之值的差(130)。又，B-R頻道資料中缺陷A部分之值與無缺陷部分之值的差(200)，係大於R頻道資料中缺陷A部分之值與無缺陷部分之值的差(70)。
因此，檢測部253根據缺陷A部分之值與無缺陷部分之值的差檢測缺陷A時，係使用缺陷A部分之值與無缺陷部分之值的差較大的B-R頻道資料，藉此可更高精度地檢測缺陷A。又，在B-R頻道資料中，係消去在B頻道資料及R頻道資料各別所含之預浸體10無缺陷部分中的亮度不均。因此，檢測部253係使用削去亮度不均的B-R頻道資料，藉此可降低缺陷A的檢測誤判。
又，檢測部253係檢測B頻道資料中像素之值小於無缺陷部分之值的平均值，且將與無缺陷部分之值的平均值的差在預先設定之閾值以上的部分，檢測作為缺陷B。
如以上說明，根據第2實施例的檢查系統200，可檢測檢查對象物之預浸體10的缺陷，並判別缺陷種類。又，從拍攝裝置220所拍攝的影像資料取得第1色資訊的B頻道資料，並取得第2色資訊的R頻道資料，並根據該等的差來檢測缺陷，藉此可提高缺陷A的檢測精度並降低誤檢測。
接著說明第3實施例、第4實施例、第5實施例、第6實施例、第7實施例以及第8實施例。
如上述，預浸體係在如碳纖維之類之纖維基礎材料含浸環氧樹脂等熱固化性樹脂，並加熱及乾燥而硬化纖維基礎材料中之熱固化性樹脂所得者，係使用於多層基板等。如此預浸體中，在製造步驟中有時會產生表面凹凸、表層裂痕、以及異物混入等缺陷。
以往係藉由目視檢查前述缺陷，但為了提高生產性而期望能夠自動化。又，已提出以下方法：以使預浸體夾於相機與光源之間且相機及光源相對向的方式配置，而使光源所照射的光穿透預浸體並入射於相機，並根據相機影像檢測預浸體內部的空隙(例如參照專利文獻1)。
專利文獻1的方法中，從預浸體穿透的光入射於相機。因此，在相機拍攝影像中，預浸體的表層裂痕、混入內部的異物等種類相異的缺陷會表現為相同陰影，有可能難以判別缺陷種類。又，表面存在凹凸的部分係與無缺陷部分同樣地可穿透光，故有可能無法檢測表面凹凸之類的缺陷。
例如，在預浸體的製造步驟中必須檢測上述各種缺陷。又，例如考慮使用分別檢測相異缺陷的多個檢查裝置，來依序檢查預浸體。但是，如此構成會導致裝置大型化，且檢測缺陷所需的時間會增加，而可能降低生產性。
以下說明的實施例係鑒於上述狀況而研究者，其目的在於提供可在短時間內檢測檢查對象物中種類相異之多個缺陷的檢查系統。
根據以下說明的實施例，提供可在短時間內檢測檢查對象物中種類相異之多個缺陷的檢查系統。
【第3實施例】
圖9係例示第3實施例的檢查系統1100。
如圖9所示，檢查系統1100具備搬送裝置1110、第1拍攝裝置1121、第2拍攝裝置1122、第1光源1131a和1131b、第2光源1132、支撐構件1140、區分機構1150、第1托盤1151、第2托盤1152、以及檢查裝置1160。檢查系統1100係檢查搬送 裝置1110所搬送之檢查對象物的預浸體1010有無缺陷。
如上述，預浸體1010係在纖維基礎材料含浸熱固化性樹脂後，將纖維基礎材料中之熱固化性樹脂加熱硬化者。纖維基礎材料例如為織入玻璃纖維及聚酯纖維等所形成的絲者。又，熱固化性樹脂例如為環氧樹脂及苯酚樹脂等。本實施例的預浸體1010係形成表面平滑的薄片狀，光可從纖維基礎材料的間隙通過透明熱固化性樹脂而穿透。
搬送裝置1110具備作為第1搬送部的第1搬送皮帶1111、作為第2搬送部的第2搬送皮帶1112、以及作為第3搬送部的第3搬送皮帶1113，並將預浸體1010往圖9中的箭頭方向搬送。
第1搬送皮帶1111中，無縫皮帶跨架於含有驅動輥的多個輥。與旋轉的驅動輥從動而使無縫皮帶旋轉，藉此第1搬送皮帶1111搬送載置於皮帶上的預浸體1010。第2搬送皮帶1112具備與第1搬送皮帶1111相同的構成，並搬送從第1搬送皮帶1111遞送的預浸體1010。第3搬送皮帶1113具備與第1搬送皮帶1111相同的構成，並搬送從第2搬送皮帶1112遞送的預浸體1010。
又，搬送裝置1110的構成並不限於本實施例中所例示的構成，例如可為以多個搬送輥搬送預浸體1010的構成。
第1拍攝裝置1121例如可為具備CCD、CMOS等拍攝元件的數位相機。第1拍攝裝置1121係以所拍攝區域(第1拍攝區域)的至少一部分與特定區域重疊的方式來設置，該特定區域係第1搬送皮帶1111與第2搬送皮帶1112之間的間隙且通過預浸體1010的區域。本實施例中，第1拍攝裝置1121係以可在第1搬送皮帶1111與第2搬送皮帶1112之間拍攝在寬度方向上整體的預浸體1010的方式來設置。
第1光源1131a及1131b例如可為LED(Light Emitting Diode)陣列，並對第1拍攝裝置1121所拍攝的預浸體1010的第1拍攝區域照射光。又，第1光源1131a及1131b例如 可為有機EL陣列、冷陰極管等螢光燈、鹵素燈等。以壽命長、發熱少、可選擇單色光等觀點來看，光源較佳為LED。
第1光源1131a及1131b各別以下列方式配置：第1拍攝裝置1121可接收預浸體1010表面為主的漫反射光，該預浸體1010在第1搬送皮帶1111與第2搬送皮帶1112之間搬送。在本實施例中，第1光源1131a及1131b各別係以相對於照射光之預浸體1010表面的入射角度成為45度的方式來設置。又，第1拍攝裝置1121係以光學系統的光軸與預浸體1010表面垂直的方式來設置。
又，只要第1拍攝裝置1121可接收以預浸體1010表面為主的漫反射光，第1光源1131a及1131b與第1拍攝裝置1121的位置關係並不限於上述位置關係。本實施例中，兩個光源1131a及1131b係對稱設置，但光源數目並不限於此，可設置1個或3個以上光源。又，可設置圓頂照明作為光源，來照亮第1拍攝裝置1121的第1拍攝區域。以下說明中有時將「第1光源1131a及1131b」僅稱為「第1光源1131」。
支撐構件1140設置在第1搬送皮帶1111與第2搬送皮帶1112之間。支撐構件1140用以支撐在第1搬送皮帶1111與第2搬送皮帶1112之間所搬送的預浸體1010。支撐構件1140具備與預浸體1010抵接的支撐面1141。支撐面1141的寬度形成為預浸體1010的寬度以上，並在第1搬送皮帶1111與第2搬送皮帶1112之間支撐在寬度方向上整體的預浸體1010。預浸體1010支撐於支撐構件1140的支撐面1141，藉此可在第1搬送皮帶111與第2搬送皮帶1112之間不產生彎曲下搬送。
如此，支撐構件1140在第1搬送皮帶1111與第2搬送皮帶1112之間支撐預浸體1010，藉此，可在第1搬送皮帶1111與第2搬送皮帶1112之間預浸體1010不產生彎曲下，高精度地進行缺陷檢查。
支撐構件1140的支撐面1141係使用彩色材料而形成彩色。本實施例中，支撐面1141係以藍色材料形成。又，在 支撐構件1140中，例如可在支撐面1141塗佈彩色塗料，也可以以具有彩色的材料形成含有支撐面1141的部分。又，支撐面1141的顏色只要為彩色即可，並不限於藍色。
又，假設支撐構件1140的支撐面1141例如為黑色、白色或灰色等無彩色時，在以第1拍攝裝置1121拍攝的影像資料中，有無缺陷的差異有可能會不明確。又，本實施例中為了使影像資料中有無缺陷的差異更為明確，並提高缺陷檢測精度，而使支撐構件1140的支撐面1141為彩色。
第2拍攝裝置1122例如可為具備CCD、CMOS等拍攝元件的數位相機。第2拍攝裝置1122係以拍攝區域(第2拍攝區域)的至少一部分與特定區域重疊的方式來設置，該特定區域係第2搬送皮帶1112與第3搬送皮帶1113之間的間隙並通過預浸體1010的區域。本實施例中，第2拍攝裝置1122係以可在第2搬送皮帶1112與第3搬送皮帶1113之間拍攝在寬度方向上整體的預浸體1010的方式來設置。
第2光源1132例如可為LED陣列，並對第2拍攝裝置1122所拍攝的預浸體1010的第2拍攝區域照射光。又，第2光源1132例如可為有機EL陣列、冷陰極管等螢光燈、鹵素燈等。
第2光源1132係以第2拍攝裝置1122可接收以預浸體1010表面為主之鏡面反射光的方式配置，該預浸體1010在第2搬送皮帶1112與第3搬送皮帶1113之間搬送。本實施例中，第2光源1132係以與照射光之預浸體1010表面的入射角度成為45度的方式來設置。又，第2拍攝裝置1122係以光學系統的光軸相對於預浸體1010表面的角度成為45度的方式來設置。
如後述，區分機構1150依缺陷檢查結果將預浸體1010從第3搬送皮帶1113導引至第1托盤1151或第2托盤1152。區分機構1150只要可以依缺陷檢查結果來區分預浸體1010，則任意構成皆可。
亦即，未檢測到缺陷的預浸體1010A藉由區分 機構1150引導並積載於第1托盤1151。檢測到缺陷的預浸體1010B藉由區分機構1150引導並積載於第2托盤1152。
檢查裝置1160具備影像取得部1161、缺陷檢測部1162、以及區分部1163。檢查裝置1160例如可為具備CPU、ROM、RAM等的電腦。檢查裝置1160的各功能，亦即影像取得部1161、缺陷檢測部1162及區分部1163例如可藉由將CPU從ROM所讀取的程式與RAM協同作用並實行來實現。
影像取得部1161從第1拍攝裝置1121及第2拍攝裝置1122取得預浸體1010的影像資料。缺陷檢測部1162根據影像取得部1161從第1拍攝裝置1121及第2拍攝裝置1122所取得的影像資料檢測預浸體1010所存在的缺陷。
區分部1163根據缺陷檢測部1162所檢測的預浸體1010的缺陷檢測結果，控制區分機構1150，並將預浸體1010由第3搬送皮帶1113導引至第1托盤1151或第2托盤1152。區分部1163以下述的方式控制區分機構1150：未檢測到缺陷的預浸體1010A導引至第1托盤1151，且將檢測到缺陷的預浸體1010B導引至第2托盤1152。
圖10係例示預浸體1010的缺陷。
圖10所示缺陷AA係預浸體1010表面的凹凸。缺陷BB係預浸體1010的表層裂痕。又，缺陷CC係混入預浸體1010內部的異物。檢查裝置1160的缺陷檢測部1162根據影像取得部1161從第1拍攝裝置1121及第2拍攝裝置1122所取得的影像資料，檢測預浸體1010的缺陷。又，圖10中誇大表示缺陷AA，該缺陷AA實際上為以目視無法確認之微小凹凸。
圖11係例示第3實施例之缺陷檢測處理的流程圖。
如圖11所示，在檢查系統1100中之缺陷檢測處理中，首先，在步驟S1101中，搬送裝置1110將預浸體1010從第1搬送皮帶1111往第3搬送皮帶1113搬送。
接著，在步驟S1102中，第1拍攝裝置1121拍 攝搬送於第1搬送皮帶1111與第2搬送皮帶1112之間的第1拍攝區域的預浸體1010。如上述，第1拍攝裝置1121的第1拍攝區域設置在第1搬送皮帶1111與第2搬送皮帶1112之間，第1拍攝裝置1121拍攝預浸體1010支撐於支撐構件1140之支撐面1141的部分。第1拍攝裝置1121藉由連續拍攝搬送裝置1110所搬送的預浸體1010，拍攝預浸體1010整體。
在步驟S1103中，檢查裝置1160的缺陷檢測部1162根據影像取得部1161從第1拍攝裝置1121所取得的預浸體1010的影像資料(以下稱為第1影像資料)，檢測預浸體1010的缺陷。
圖12係示意例示第1拍攝裝置1121所拍攝之預浸體1010的第1影像資料。
第1拍攝裝置1121在預浸體1010的無缺陷部分係接收：預浸體1010所反射的漫反射光、以及隔著具有透光性的預浸體1010並在支撐構件1140之支撐面1411反射的漫反射光。因此，在預浸體1010的第1影像資料中，無缺陷部分係隔著預浸體1010可看見支撐構件1140的支撐面1141，而顯示支撐構件1140的支撐面1141的顏色。本實施例中，支撐構件1140的支撐面1141為藍色，故在第1拍攝裝置1121的拍攝影像中，預浸體1010的無缺陷部分為藍色。
預浸體1010的缺陷AA係與無缺陷部分相同地反射第1光源1131的照射光。因此，第1拍攝裝置1121從預浸體1010之缺陷AA所接收的受光量係與第1拍攝裝置1121從無缺陷部分所接收的受光量相同。因此，如圖12所示，在預浸體1010的第1影像資料中，存在缺陷AA的部分與無缺陷部分具有同等亮度。
預浸體1010的缺陷BB具備內部裂痕所致白化的狀態。第1拍攝裝置1121在預浸體1010存在缺陷BB的部分係接收：預浸體1010表面所反射的漫反射光、以及隔著具有透光性的預浸體1010並在缺陷BB反射的漫反射光。因此，在預浸體 1010的第1影像資料中，存在缺陷BB的部分的亮度高於無缺陷部分。
又，第1拍攝裝置1121在預浸體1010存在缺陷CC的部分係接收：預浸體1010表面的漫反射光、以及隔著具有透光性的預浸體1010並在異物反射的漫反射光。因此，在第1拍攝裝置1121的第1影像資料中顯示異物的顏色，在預浸體1010存在缺陷CC的部分中，通過預浸體1010而可看到異物。例如，黑色異物混入預浸體1010內部而產生缺陷CC時，在第1影像資料中，缺陷CC表示為陰影。
如上述，在第1拍攝裝置1121所拍攝預浸體1010的第1影像資料中，存在缺陷BB及缺陷CC的部分在亮度及顏色係與無缺陷部分相異。
又，檢查裝置1160的檢測部1162例如可預先計算預浸體1010的第1影像資料中無缺陷部分的像素平均亮度，並根據第1影像資料的各像素亮度與預先計算的平均亮度的差，來檢測缺陷。缺陷檢測部1162例如可將第1影像資料中亮度高於平均亮度的像素，檢測作為缺陷BB。又，缺陷檢測部1162例如可將第1影像資料中亮度低於平均亮度的像素，檢測作為缺陷CC。
又，缺陷檢測部1162例如可計算第1影像資料中各像素亮度相對於平均亮度的亮度差(亦即「各像素亮度」-「平均亮度」)，並根據亮度差檢測缺陷BB及缺陷CC。缺陷檢測部1162例如可比較與預先設定之第1閾值(>0)及第2關值(<0)的亮度差，並將亮度差為第1閾值以上的像素，檢測作為缺陷BB。又，將亮度差為第2閾值以下的像素，檢測作為缺陷CC。
如此，檢查裝置1160的缺陷檢測部1162可根據從第1拍攝裝置1121所取得的第1影像資料，檢測預浸體1010所存在的缺陷BB及缺陷CC。上述例中係說明檢測黑色異物缺陷CC的情形，但即使是黑色以外的異物缺陷CC，也可根據存在缺陷CC之部分的像素亮度與無缺陷部分之像素亮度的差異，檢測缺陷CC。
回到圖11所示缺陷檢測處理的流程圖，在步驟S1104中，第2拍攝裝置1122拍攝搬送於第2搬送皮帶1112與第3搬送皮帶1113之間的第2拍攝區域的預浸體1010。如上述，第2拍攝裝置1122的第2拍攝區域設置在第2搬送皮帶1112與第3搬送皮帶1113之間。第2拍攝裝置1122藉由連續拍攝搬送裝置1110所搬送的預浸體1010拍攝預浸體1010整體。
在步驟S1105中，檢查裝置1160的缺陷檢測部1162根據影像取得部1161從第2拍攝裝置1122取得的預浸體1010的影像資料(以下稱為第2影像資料)，檢測預浸體1010的缺陷。
圖13係示意例示第2拍攝裝置1122所拍攝之預浸體1010的第2影像資料。
第2拍攝裝置1122接收來自預浸體1010之無缺陷部分的預浸體1010表面的鏡面反射光。又，在存在缺陷CC的部分中，與無缺陷部分同樣地，預浸體1010表面係鏡面反射第2光源1132的照射光。因此，在第2拍攝裝置1122中，即便是預浸體1010之存在缺陷CC的部分，亦與無缺陷部分同樣地接收預浸體1010表面的鏡面反射光。
第2光源1132的照射光在預浸體1010之缺陷AA及缺陷BB的漫反射率係高於無缺陷部分的漫反射率。因此，第2拍攝裝置1122從預浸體1010的缺陷AA及缺陷BB接收的受光量係小於第2拍攝裝置1122從無缺陷部分接收的受光量。因此，如圖13所示，在預浸體1010的第2影像資料中，存在缺陷AA及缺陷BB的部分係較無缺陷部分或存在缺陷CC的部分暗。
又，對於第2光源1132之照射光的預浸體1010的漫反射率越高，則第2拍攝裝置1122所接收的受光量越小，其理由如下。所謂漫反射率高是指漫反射程度較高，亦即無關於宏觀的反射法，光向各方向擴散的反射程度較高。另一方面，第2光源1132與第2拍攝裝置1122的位置關係如下：漫反射程度越低，亦即越接近鏡面反射，則第2拍攝裝置1122的受光量越大。 因此，對於第2光源1132之照射光的預浸體1010的漫反射率越高，則第2拍攝裝置1122所接收的受光量小。
因此，檢查裝置1160的缺陷檢測部1162例如可預先計算預浸體1010的第2影像資料中無缺陷部分的像素平均亮度，並比較第2影像資料的各像素亮度與預先計算的平均亮度，來檢測缺陷AA及缺陷BB。缺陷檢測部1162例如可將第2影像資料中亮度低於平均亮度的像素，檢測作為缺陷AA及缺陷BB。又，缺陷檢測部1162例如可計算第2影像資料中各像素亮度相對於平均亮度的亮度差(亦即「各像素亮度」-「平均亮度」)，並將亮度差在預先設定的閾值以下的像素，檢測作為缺陷AA及缺陷BB。
如此，檢查裝置1160的缺陷檢測部1162根據從第2拍攝裝置1122所取得的第2影像資料，檢測預浸體1010所存在的缺陷AA及缺陷BB。
回到圖11所示缺陷檢測處理的流程圖，缺陷檢測部1162未從預浸體1010檢測到缺陷AA、缺陷BB、及缺陷CC之任一者時(步驟S1106：NO)，處理往步驟S1107進行。在步驟S1107中，區分部1163控制區分機構1150，將未檢測到缺陷的預浸體1010從第3搬送皮帶1113往第1托盤1151排出，並結束處理。
又，缺陷檢測部1162從預浸體1010檢測到缺陷AA、缺陷BB、及缺陷CC之任一缺陷時(步驟S1106：是)，處理往步驟S1108進行。在步驟S1108中，區分部1163控制區分機構1150，將檢測到缺陷的預浸體1010從第3搬送皮帶往第2托盤1152排出，並結束處理。
在此，如上述，檢查裝置1160的缺陷檢測部1162從第1拍攝裝置1121所拍攝的第1影像資料，檢測預浸體1010的缺陷BB及缺陷CC(步驟S1103)。又，從第2拍攝裝置1122所拍攝的第2影像資料，檢測預浸體1010的缺陷AA及缺陷BB(步驟S1105)。如此，在第1影像資料進行的處理與第2影像資料進行的處理中，所檢測的缺陷種類相異。又，在第1影像資料的步 驟S1103中，缺陷BB及缺陷CC係以相異處理(例如將亮度高於平均亮度的像素檢測為缺陷BB的處理，以及將亮度低於平均亮度的像素檢測為缺陷CC的處理)來檢測。對此，在藉由第2影像資料的步驟S1105中，缺陷AA及缺陷BB係以相同處理(例如將亮度低於平均亮度的像素檢測為缺陷AA及缺陷BB的處理)來檢測。其結果，藉由第1影像資料之處理的處理時間t1係較藉由第2影像資料之處理的處理時間t2長。
因此，例如在預浸體1010的搬送路徑中，若以第2拍攝裝置1122在較第1拍攝裝置1121上游側拍攝的方式構成，則會增加整體處理時間。此時，若以第1拍攝裝置1121的第1拍攝區域與第2拍攝裝置1122的第2拍攝區域之間的預浸體1010搬送時間為t3，如圖14A所示，從第1影像資料及第2影像資料檢測缺陷所需的必要處理時間為T21=t1+t3。
對此，在本實施例的檢查系統1100中，在預浸體1010的搬送路徑中，係以第1拍攝裝置1121在較第2拍攝裝置1122上游側拍攝的方式構成。藉由如此構成，如圖14B所示，從第1影像資料及第2影像資料檢測缺陷所需的必要處理時間為T12=t1，可較上述必要處理時間T21(=t1+t3)更為縮短。
如以上說明，根據第3實施例的檢查系統1100可依據第1拍攝裝置1121及第2拍攝裝置1122所拍攝的影像，檢測檢查對象物之預浸體1010的缺陷。又，在預浸體1010的搬送路徑中，藉由使第1拍攝裝置1121在較第2拍攝裝置1122上游側拍攝，而可縮短缺陷檢測處理所需的時間，並提高生產性。
又，在第3實施例的檢查系統1100中，係以在搬送裝置1110的搬送皮帶1111及1112之間的間隙檢查預浸體1010的方式來設置第1拍攝裝置1121。又，係以在搬送裝置1110的搬送皮帶1112及1113之間的間隙檢查預浸體1010的方式來設置第2拍攝裝置1122等。藉由如此構成，可在不受搬送裝置1110中搬送皮帶表面凹凸等的影響下，高精度地檢查預浸體1010的缺陷。
【第4實施例】
接著根據圖面說明第4實施例。又，與已說明實施例相同的構成部分適宜地省略了說明。
圖15係例示第4實施例的檢查系統1200。
如圖15所示，檢查系統1200具備搬送裝置1110、第1拍攝裝置1121、第2拍攝裝置1122、第3拍攝裝置1123、第1光源1131a和1131b、第2光源1132、第3光源1133、支撐構件1140、區分機構1150、第1托盤1151、第2托盤1152以及檢查裝置1160。檢查系統1200係檢查搬送裝置1110所搬送檢查對象物的預浸體1010有無缺陷。
搬送裝置1110除了第1搬送皮帶1111、第2搬送皮帶1112、及第3搬送皮帶1113以外，還具備作為第4搬送部的第4搬送皮帶1114，並將預浸體1010往圖15中的箭頭方向搬送。第4搬送皮帶具備與第1搬送皮帶1111相同的構成，並搬送從第3搬送皮帶1113遞送的預浸體1010。
第3拍攝裝置1123例如可為具備CCD、CMOS等拍攝元件的數位相機。第3拍攝裝置1123係以拍攝區域(第3拍攝區域)之至少一部分與特定區域重疊的方式來設置，該特定區域係第3搬送皮帶1113與第4搬送皮帶1114之間的間隙並通過預浸體1010的區域。第3拍攝裝置1123從與第2拍攝裝置1122相反的一側拍攝預浸體1010。本實施例中，第3拍攝裝置1123透過鏡子1171拍攝預浸體1010。
第3光源1133例如可為LED陣列，並對第3拍攝裝置1123拍攝預浸體1010的第3拍攝區域照射光。第3光源1133的照射光係以半反射鏡1172反射，並引導至第3搬送皮帶1113與第4搬送皮帶1114之間的第3拍攝區域。
第3光源1133、鏡子1171、以及半反射鏡1172係以下述方式配置：第3拍攝裝置1123接收以預浸體1010表面為主的鏡面反射光，其中，該預浸體1010在第3搬送皮帶1113與第4搬送皮帶1114之間搬送。又，例如可以以使第3光源1133 所照射的光成為平行光的方式，將光控制膜設於第3光源1133。
圖16係例示第4實施例之缺陷檢測處理的流程圖。
如圖16所示，在檢查系統1200的缺陷檢測處理中，首先，在步驟S1201中，搬送裝置1110將預浸體1010從第1搬送皮帶1111往第4搬送皮帶1114搬送。
接著，在步驟S1202中，第1拍攝裝置1121拍攝在第1搬送皮帶1111與第2搬送皮帶1112之間的第1拍攝區域所搬送的預浸體1010。在步驟S1203中，檢查裝置1160的缺陷檢測部1162根據影像取得部1161從第1拍攝裝置1121所取得的預浸體1010的第1影像資料，與上述第3實施例同樣地檢測預浸體1010的缺陷BB及缺陷CC。
在步驟S1204中，第2拍攝裝置1122拍攝在第2搬送皮帶1112與第3搬送皮帶1113之間的第2拍攝區域所搬送的預浸體1010。在步驟S1205中，檢查裝置1160的缺陷檢測部1162根據影像取得部1161從第2拍攝裝置1122所取得的預浸體1010的第2影像資料，與上述第3實施例同樣地檢測預浸體1010第1面側中的缺陷AA及缺陷BB。
在步驟S1206中，第3拍攝裝置1123拍攝在第3搬送皮帶1113與第4搬送皮帶1114之間的第3拍攝區域所搬送的預浸體1010。在步驟S1207中，檢查裝置1160的缺陷檢測部1162根據影像取得部1161從第3拍攝裝置1123所取得的預浸體1010的影像資料(以下稱為第3影像資料)，檢測預浸體1010中與第1面相反的一側之第2面側中的缺陷AA缺陷BB。
藉由缺陷檢測部1162檢測從第3拍攝裝置1123取得的第3影像資料的缺陷檢測方法，係與第2拍攝裝置1122所拍攝的第2影像資料的缺陷檢測方法相同。如此，可根據第2拍攝裝置1122所拍攝的第2影像資料及第3拍攝裝置1123所拍攝的第3影像資料，在預浸體1010兩面檢測缺陷AA及缺陷BB。
缺陷檢測部1162未從預浸體1010檢測到缺陷 AA、缺陷BB、及缺陷CC之任一者時(步驟S1208：否)，處理往步驟S1209進行。在步驟S1209中，區分部1163控制區分機構1150，將未檢測到缺陷的預浸體1010從第4搬送皮帶1114往第1托盤1151排出，並結束處理。
又，缺陷檢測部1162從預浸體1010檢測到缺陷AA、缺陷BB、及缺陷CC之任一缺陷時(步驟S1208：YES)，處理往步驟S1210進行。在步驟S1210中，區分部1163控制區分機構1150，將檢測到缺陷的預浸體1010從第4搬送皮帶1114往第2托盤1152排出，並結束處理。
如以上說明，根據第4實施例的檢查系統1200，可依據第1拍攝裝置1121、第2拍攝裝置1122、及第3拍攝裝置1123所拍攝的影像，檢測檢查對象物之預浸體1010的缺陷。又，在預浸體1010的搬送路徑中，係以使第1拍攝裝置1121在較第2拍攝裝置1122及第3拍攝裝置上游側拍攝預浸體1010的方式構成，藉此可與上述第3實施例相同地縮短缺陷檢測處理所需的時間，並提高生產性。
又，第4實施例的檢查系統1200係以在搬送裝置1110之各個搬送皮帶之間的間隙檢查預浸體1010的方式設置第1拍攝裝置1121、第2拍攝裝置1122、及第3拍攝裝置1123等。藉由如此構成，與上述第3實施例相同地，可在不受搬送裝置1110中搬送皮帶的表面凹凸等影響下，高精度地檢查預浸體1010的缺陷。
【第5實施例】
接著根據圖面說明第5實施例。又，與已說明實施例相同的構成部分適當地省略了說明。
圖17係例示第5實施例的檢查系統1300。
如圖17所示，檢查系統1300具備搬送裝置1110、第1拍攝裝置1121、第2拍攝裝置1122、第3拍攝裝置1123、第1光源1131a和1131b、第2光源1132、第3光源1133、第4光源1134、區分機構1150、第1托盤1151、第2托盤1152以及 檢查裝置1160。檢查系統1300係檢查以搬送裝置1110搬送之檢查對象物的預浸體1010有無缺陷。
第1光源1131a及1131b例如可為藍色LED陣列，並對第1搬送皮帶1111與第2搬送皮帶1112之間照射藍色光。第1光源1131a及1131b係以第1拍攝裝置1121可接收以搬送之預浸體1010表面為主的漫反射光的方式配置。
第4光源1134例如可為白色LED陣列，並對第1搬送皮帶1111與第2搬送皮帶1112之間照射白色光。第4光源1134係以第1拍攝裝置1121可接收穿透搬送之預浸體1010之穿透光的方式，與第1拍攝裝置1121相對向地配置。
在本實施例中，第1光源1131a及1131b係照射第1波長區域(藍色波長區域)的藍色光，第4光源1134係照射含有第1波長區域及與第1波長區域相異之第2波長區域(例如紅或綠的波長區域)的光。又，第1光源1131a和1131b及第4光源1134可照射各別波長區域相異的光，也可構成為照射與本實施例相異色的光。又，第1光源1131a和1131b及第4光源1134例如可為有機EL陣列、冷陰極管、鹵素燈等螢光燈等。
檢查裝置1160除了影像取得部1161、缺陷檢測部1162、及區分部1163以外，還具備色資訊取得部1164。該色資訊取得部1164從影像取得部1161所取得的影像資料來取得色資訊。缺陷檢測部1162根據影像取得部1161所取得的影像資料及色資訊取得部1164所取得的色資訊，檢測預浸體1010所存在的缺陷。
圖18係例示第5實施例之缺陷檢測處理的流程圖。
如圖18所示，檢查系統1300的缺陷檢測處理中，首先，在步驟S1301中，搬送裝置1110將預浸體1010從第1搬送皮帶1111往第4搬送皮帶1114搬送。接著，在步驟S1302中，第1拍攝裝置1121拍攝在第1搬送皮帶1111與第2搬送皮帶1112之間的第1拍攝區域所搬送的預浸體1010。
在步驟S1303中，檢查裝置1160的色資訊取得部1164係由第1拍攝裝置1121所拍攝第1影像資料取得第1色資訊。
在此，第1拍攝裝置1121所拍攝預浸體1010的第1影像資料係例如對每個像素具有R(紅)、G(綠)、B(藍)各色為0~255數值所表示的RGB值。色資訊取得部1164取得與從第1光源1131a和1131b及第4光源1134照射的藍色光對應的藍色B頻道資料(各像素B值)，來作為第1色資訊。如此，色資訊取得部1164從第1影像資料取得第1光源1131a和1131b及第4光源1134所照射藍色光之波長區域所含的色資料，來作為第1色資訊。
圖19係示意表示第1拍攝裝置1121所拍攝預浸體1010的第1影像資料(B頻道資料)。
在預浸體1010的缺陷AA中，與無缺陷部分同樣地反射第1光源1131a及1131b所照射的藍色光。因此，第1拍攝裝置1121接收來自預浸體1010之缺陷AA的受光量與來自無缺陷部分接收的受光量相等。因此，如圖19所示，B頻道資料在存在缺陷AA的部分與無缺陷部分係顯示相等亮度。
在預浸體1010的缺陷BB中，第1光源1131a及1131b所照射藍色光的漫反射率係高於無缺陷部分的漫反射率。因此，第1拍攝裝置1121從第1光源1131照射藍色光的缺陷BB接收的受光量係大於從無缺陷部分接收的受光量。因此，如圖19所示，在B頻道資料中，預浸體1010中存在缺陷BB的部分係較無缺陷部分明亮。
又，在預浸體1010的缺陷CC中，因異物遮蔽第4光源1134的照射光。因此，第1拍攝裝置1121接收第4光源1134之照射光所含藍色光的受光量，在存在缺陷CC的部分係較無缺陷部分小。因此，如圖19所示，在B頻道資料中，存在缺陷CC的部分係較無缺陷部分暗。
又，第1光源1131a及1131b之照射光的反射光與第4光源1134之照射光的穿透光的和係成為第1影像資料，故 如圖19所示，在B頻道資料中，存在缺陷BB的部分係較無缺陷部分明亮。又，存在缺陷CC的部分係較無缺陷部分暗。
又，在步驟S1304中，色資訊取得部1164從第1拍攝裝置1121所拍攝的第1影像資料取得第2色資訊。色資訊取得部1164取得與第4光源1134照射之白色光所含的紅色光對應的紅色R頻道資料(各像素R值)，來作為第2色資訊。如此，色資訊取得部1164從影像資料取得第4光源1134的照射光中與第1光源1131照射之藍色光波長區域相異之紅色光波長區域所含的色資料，來作為第2色資訊。
又，色資訊取得部1164可取得與第4光源1134照射之白色光所含的綠色光對應的綠色G頻道資料(各像素G值)，來作為第2色資訊。此時，與使用以下說明之R頻道資料時同樣地，可檢測預浸體1010的缺陷。
圖20係示意例示第1拍攝裝置1121所拍攝預浸體1010的第1影像資料(R頻道資料)。
由第4光源1134往第1拍攝裝置1121照射的光係在預浸體1010中存在缺陷AA的部分及無缺陷部分同樣地穿透。因此，第1拍攝裝置1121接收第4光源1134之照射光所含紅色光的受光量，在存在缺陷AA的部分與無缺陷部分中幾乎相同。因此，如圖20所示，R頻道資料中，預浸體1010中存在缺陷AA的部分係顯示與無缺陷部分相等亮度。
又，從第4光源1134往第1拍攝裝置1121照射的光被預浸體1010中存在缺陷BB或缺陷CC的部分遮蔽。因此，在第1拍攝裝置1121中，第4光源1134之照射光所含的紅色光的受光量，在存在缺陷BB或缺陷CC的部分係小於無缺陷部分。因此，如圖20所示，在R頻道資料中，預浸體1010中存在缺陷BB及缺陷CC的部分係較無缺陷部分暗。
在此，影像資料中，各像素R值不受第1拍攝裝置1121從第1光源1131照射的藍色光的影響，而以第1拍攝裝置1121從第4光源1134照射之光所含的紅色光的受光量來決 定。因此，假設即使在存在缺陷AA的部分，第1拍攝裝置1121所接受第1光源1131之藍色光的受光量增加，影像資料所含R值也不會變大。因此，如圖20所示，R頻道資料中，存在缺陷AA的部分不會受到藍色光的影響。
回到如圖18所示缺陷檢測處理的流程圖，接著，在步驟S1305中，缺陷檢測部1162計算色資訊取得部1164所取得的第1色資訊的B頻道資料與第2色資訊的R頻道資料的差。接著，在步驟S1306中，缺陷檢測部1162根據第1影像資料及色資訊檢測預浸體1010的缺陷。
在步驟S1305中，缺陷檢測部1162對影像資料所含全部像素計算第1色資訊的B頻道資料與第2色資訊的R頻道資料的差值(相同像素中的(B值-R值))。以下將如此所求的B頻道資料與R頻道資料的差值資料稱為B-R頻道資料。
如上述，B頻道資料中，缺陷BB部分之值大於缺陷部分之值(參照圖19)。對此，R頻道資料中，缺陷BB部分之值小於無缺陷部分之值(參照圖20)。因此，在B-R頻道資料中，缺陷BB部分之值與無缺陷部分之值的差係大於B頻道資料及R頻道資料各別中缺陷BB部分之值與無缺陷部分之值的差。
例如，在B頻道資料中，(缺陷BB、無缺陷)各部分之值為(250、120)。又，在R頻道資料中，(缺陷BB、無缺陷)各部分之值為(50、120)。此時，B-R頻道資料為(缺陷AA、無缺陷)各部分之值為(200、0)。
因此，B-R頻道資料中，缺陷BB部分之值與無缺陷部分之值的差為200，係大於B頻道資料中缺陷BB部分之值與無缺陷部分之值的差(130)。又，BR頻道資料中缺陷BB部分之值與無缺陷部分之值的差(200)，係大於R頻道資料中缺陷BB部分之值與無缺陷部分之值的差(70)。
因此，缺陷檢測部1162在根據缺陷BB部分之值與無缺陷部分之值的差來檢測缺陷BB時，使用缺陷BB部分之值與無缺陷部分之值的差較大的B-R頻道資料，藉此可更高精度 地檢測缺陷BB。又，B-R頻道資料中，係消去B頻道資料及R頻道資料各別所含之預浸體1010無缺陷部分中的亮度不均。因此，缺陷檢測部1162使用消去亮度不均的B-R頻道資料，藉此可降低檢測誤判，並高精度地檢測缺陷BB。
又，缺陷檢測部1162在R頻道資料中，將像素值小於無缺陷部分之值之平均值，且與無缺陷部分之值之平均值的差在預先設定之閾值以上的部分，檢測作為缺陷BB或缺陷CC。
在步驟S1307中，第2拍攝裝置1122拍攝在第2搬送皮帶1112與第3搬送皮帶1113之間的第2拍攝區域所搬送的預浸體1010。在步驟S1308中，缺陷檢測部1162根據影像取得部1161從第2拍攝裝置1122所取得的預浸體1010的第2影像資料，檢測預浸體1010之第1面側中的缺陷AA及缺陷BB。
在步驟S1309中，第3拍攝裝置1123拍攝在第3搬送皮帶1113與第4搬送皮帶1114之間的第3拍攝區域所搬送的預浸體1010。在步驟S1310中，缺陷檢測部1162根據影像取得部1161從第3拍攝裝置1123所取得的預浸體1010的第3影像資料，檢測預浸體1010中與第1面相反的一側之第2面側中的缺陷AA及缺陷BB。
根據第2拍攝裝置1122所拍攝的第2影像資料及第3拍攝裝置1123所拍攝的第3影像資料來檢測缺陷AA及缺陷BB的方法，係與上述第4實施例相同。
缺陷檢測部1162未從預浸體1010檢測到缺陷AA、缺陷BB、及缺陷CC之任一者時(步驟S1311：否)，處理往步驟S1312進行。在步驟S1312中，區分部1163控制區分機構1150，並將未檢測到缺陷之38預浸體1010從第4搬送皮帶1114往第1托盤1151排出，並結束處理。
又，缺陷檢測部1162從預浸體1010檢測到缺陷AA、缺陷BB、及缺陷CC之任一缺陷時(步驟S1311：是)，處理往步驟S1313。在步驟S1313中，區分部1163控制區分機構1150，並將檢測到缺陷的預浸體1010從第4搬送皮帶1114往第2托盤 1152排出，並結束處理。
如上述說明，根據第5實施例的檢查系統1300，可根據第1拍攝裝置1121、第2拍攝裝置1122、及第3拍攝裝置1123所拍攝的影像，檢測檢查對象物之預浸體1010的缺陷。又，缺陷檢測部1162可藉由使用色資訊取得部1164從第1影像資料取得的第1色資訊的B頻道資料及第2色資訊的R頻道資料，降低檢測誤判，並高精度地檢測缺陷BB。又，在預浸體1010的搬送路徑中，第1拍攝裝置1121係以在較第2拍攝裝置1122及第3拍攝裝置1123上游側拍攝預浸體1010的方式構成，藉此，與上述第3實施例相同地，可縮短缺陷檢測處理所需的時間，並提高生產性。
【第6實施例】
接著根據圖面說明第6實施例。又，與已說明實施例相同的構成部分適宜地省略了說明。
圖21係例示第6實施例的檢查系統1400。
如圖21所示，檢查系統1400具備搬送裝置1110、第1拍攝裝置1121、第2拍攝裝置1122、第3拍攝裝置1123、第1光源1131a和1131b、第2光源1132、第3光源1133、支撐構件1140、區分機構1150、第1托盤1151、第2托盤1152以及檢查裝置1160。檢查系統1400係檢查搬送裝置1110所搬送之檢查對象物的預浸體1010有無缺陷。
搬送裝置1110具備第1搬送皮帶1111、第2搬送皮帶1112、以及第3搬送皮帶1113，並將預浸體1010往圖21中的箭頭方向搬送。
第3拍攝裝置1123係以拍攝區域(第3拍攝區域)之至少一部分與特定區域重疊的方式來設置，該特定區域係第2搬送皮帶1112與第3搬送皮帶1113之間的間隙並通過預浸體1010的區域。第3拍攝裝置1123從與第2拍攝裝置1122相反的一側拍攝預浸體1010。第3拍攝裝置1123與第2拍攝裝置1122相同地，係以拍攝在第2搬送皮帶1112與第3搬送皮帶1113之 間通過之預浸體1010的方式來設置。
在此，若第2拍攝裝置1122中來自第3光源1133的受光量、及第3拍攝裝置1123中來自第2光源1132的受光量增加時，則根據各拍攝裝置之影像資料的缺陷檢測精度可能會降低。因此，較佳為以盡可能抑制第2拍攝裝置1122中來自第3光源1133的受光量、及第3拍攝裝置1123中來自第2光源1132的受光量的方式，來構成第2拍攝裝置1122、第3拍攝裝置1123、第2光源1132、以及第3光源1133等。
與第4實施例同樣地，檢查裝置1160的缺陷檢測部1162根據從第1拍攝裝置1121、第2拍攝裝置1122、及第3拍攝裝置1123所取得的影像資料，檢測預浸體1010的缺陷AA、缺陷BB、及缺陷CC。
第6實施例的檢查系統1400藉由與第4實施例之缺陷檢測處理相同的處理，檢測檢查對象物之預浸體1010的缺陷，並依缺陷檢測結果，將預浸體1010區分送至第1托盤1151或第2托盤1152。
如以上說明，根據第6實施例的檢查系統1400，可根據第1拍攝裝置1121、第2拍攝裝置1122、及第3拍攝裝置1123所拍攝的影像，檢測檢查對象物的預浸體1010的缺陷。又，在預浸體1010的搬送路徑中，係以第1拍攝裝置1121在較第2拍攝裝置1122及第3拍攝裝置1123上游側拍攝預浸體1010的方式構成，藉此，與上述第3實施例同樣地，可縮短缺陷檢測處理所需的時間，並提高生產性。
又，根據第6實施例的檢查系統1400，係以使第2拍攝裝置1122及第3拍攝裝置1123兩者在第2搬送皮帶1112與第3搬送皮帶1113之間拍攝預浸體1010的方式構成，藉此可使整體構成小型化。
又，可以下述方式構成：與第5實施例同樣地設置第4光源1134，並由第1拍攝裝置1121所拍攝的第1影像資料取得色資訊，並根據所取得色資訊檢測缺陷。
【第7實施例】
接著根據圖面說明第7實施例。又，與已說明實施例相同的構成部分適宜地省略了說明。
圖22係例示第7實施例的檢查系統1500。
如圖22所示，檢查系統1500具備搬送裝置1110、第1拍攝裝置1121、第2拍攝裝置1122、第3拍攝裝置1123、第1光源1131a和1131b、第2光源1132、第3光源1133、支撐構件1140、區分機構1150、第1托盤1151、第2托盤1152、以及檢查裝置1160。檢查系統1500係檢查以搬送裝置1110搬送之檢查對象物的預浸體1010有無缺陷。
第3拍攝裝置1123係以拍攝區域(第3拍攝區域)的至少一部分與特定區域重疊的方式來設置，該特定區域係第2搬送皮帶1112與第3搬送皮帶1113間的間隙並通過預浸體1010的區域。又，配置第3光源1133，使第3拍攝裝置1123接收以在第2搬送皮帶1112與第3搬送皮帶1113之間所搬送的預浸體1010表面為主的鏡面反射光。
在此，若第2拍攝裝置1122中來自第3光源1133的受光量、及第3拍攝裝置1123中來自第2光源1132的受光量增加，則根據各拍攝裝置的影像資料的缺陷檢測精度有可能會降低。因此，較佳以可降低第2拍攝裝置1122中來自第3光源1133的受光量、以及第3拍攝裝置1123中來自第2光源1132的受光量的方式，來構成第2拍攝裝置1122、第3拍攝裝置1123、第2光源1132、及第3光源1133等。
又，如圖22所示，本實施例中，係以使第2光源1132的光軸1132a(光照射方向)與第3光源1133的光軸1133a(光照射方向)成平行的方式來構成。藉由如此構成，可分別降低第2拍攝裝置1122中來自第3光源1133的受光量、及第3拍攝裝置1123中來自第2光源1132的受光量，並在維持預浸體1010的缺陷檢測精度同時使裝置構成小型化。
與第4實施例同樣地，檢查裝置1160的缺陷檢 測部1162根據第1拍攝裝置1121、第2拍攝裝置1122、以及第3拍攝裝置1123各別拍攝的影像資料，檢測預浸體1010的缺陷AA、缺陷BB、以及缺陷CC。
第7實施例的檢查系統1500藉由與第4實施例之缺陷檢測處理相同的處理，檢測檢查對象物的預浸體1010的缺陷，並依缺陷檢測結果，將預浸體1010區分送至第1托盤1151或第2托盤1152。
如以上說明，根據第7實施例的檢查系統1500，可根據第1拍攝裝置1121、第2拍攝裝置1122、以及第3拍攝裝置1123所拍攝的影像，檢測檢查對象物的預浸體1010的缺陷。又，在預浸體1010的搬送路徑中，係以第1拍攝裝置1121在較第2拍攝裝置1122及第3拍攝裝置上游側拍攝預浸體1010的方式構成，藉此可與上述第3實施例同樣地，縮短缺陷檢測處理所需的時間，並提高生產性。
又，可以下述方式構成：與第5實施例同樣地設置第4光源1134，並由第1拍攝裝置1121所拍攝的第1影像資料取得色資訊，並根據所取得色資訊檢測缺陷。
【第8實施例】
接著根據圖說明書第8實施例。又，與已說明實施例相同的構成部分適宜地省略了說明。
圖23係例示第8實施例的檢查系統1600。
如圖23所示，檢查系統1600具備搬送裝置1110、第1拍攝裝置1121、第2拍攝裝置1122、第1光源1131a和1131b、第2光源1132、第3光源1133、支撐構件1140、區分機構1150、第1托盤1151、第2托盤1152、以及檢查裝置1160。檢查系統1600係檢查搬送裝置1110所搬送的檢查對象物的預浸體1010有無缺陷。
在本實施例中，第1拍攝裝置1121及第2拍攝裝置1122係以在搬送皮帶上拍攝搬送裝置1110所搬送的預浸體1010的方式來設置。第1拍攝裝置1121係以在第1搬送皮帶1111 上拍攝預浸體1010的方式來設置。又，第2拍攝裝置1122係以在第2搬送皮帶1112上拍攝預浸體1010的方式來設置。又，第1拍攝裝置1121及第2拍攝裝置1122可以以在相同搬送皮帶上拍攝預浸體1010的方式來設置。
與第3實施例同樣地，檢查裝置1160的缺陷檢測部1162根據第1拍攝裝置1121所拍攝的第1影像資料及第2拍攝裝置1122所拍攝的第2影像資料，檢測預浸體1010的缺陷。
如以上說明，根據第8實施例的檢查系統1600，可根據第1拍攝裝置1121及第2拍攝裝置1122所拍攝的影像，檢測檢查對象物的預浸體1010的缺陷。又，在預浸體1010的搬送路徑中，係以第1拍攝裝置1121在較第2拍攝裝置1122及第3拍攝裝置上游側拍攝預浸體1010的方式構成，藉此，可上述第3實施例相同地，縮短缺陷檢測處理所需的時間，並提高生產性。又，係以第1拍攝裝置1121的第1拍攝區域與第2拍攝裝置1122的第2拍攝區域相接近的方式來配置，藉此可使裝置構成小型化。
以上說明實施例的檢查系統及檢查方法，但本發明並不限於上述實施例，可在本發明範圍內進行各種變更及改良。上述各實施例的說明中，係說明檢查對象物為預浸體1010的檢查方法，但檢查對象物並不限於預浸體。
本申請案主張根據2015年12月16日申請之日本國專利申請第2015-245600號、及2015年12月16日申請之日本國專利申請第2015-245708號的優先權，並將該等日本國專利申請第2015-245600號及日本國專利申請第2015-245708號的全部內容援用至本申請案中。

Claims (16)

  1. 一種檢查系統，係檢查具有透光性的薄片狀檢查對象物，具備：拍攝裝置，其拍攝前述檢查對象物；第1光源，其以使前述拍攝裝置接收以前述檢查對象物表面為主之漫反射光的方式，對前述拍攝裝置的拍攝區域照射光；以及檢查裝置，其檢查前述檢查對象物有無缺陷；其中，前述檢查裝置具備檢測部，該檢測部根據前述拍攝裝置所拍攝的拍攝影像檢測前述檢查對象物的缺陷；前述檢查系統還具備第2光源，前述第2光源係以使前述拍攝裝置接收穿透前述檢查對象物的光的方式，對前述拍攝區域照射光；前述第1光源係照射第1波長區域的光；前述第2光源係照射含有與前述第1波長區域相異之第2波長區域的光；前述檢查裝置具備色資訊取得部，該色資訊取得部從前述拍攝影像取得前述第1波長區域所含顏色的第1色資訊、以及前述第2波長區域所含顏色的第2色資訊；前述檢測部根據前述第1色資訊與前述第2色資訊的差檢測前述檢對象物的缺陷。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的檢查系統，還具備將前述檢查對象物由第1搬送部往第2搬送部遞送並搬送的搬送裝置；前述拍攝裝置係以前述拍攝區域的至少一部分與特定區域重疊的方式來設置，前述特定區域係前述第1搬送部與前述第2搬送部之間的間隙並通過前述檢查對象物的區域。
  3. 如申請專利範圍第2項所述的檢查系統，其中，在前述拍攝區域中具有支撐前述檢查對象物的支撐構件。
  4. 如申請專利範圍第3項所述的檢查系統，其中，前述支撐構件與前述檢查對象物抵接的支撐面為彩色。
  5. 如申請專利範圍第1項至第4項中任一項所述的檢查系統，其中，前述檢測部檢測前述檢查對象物的缺陷係前述檢查對象物的表層裂痕、以及混入前述檢查對象物內部的異物。
  6. 一種檢查方法，係檢查具有透光性的薄片狀檢查對象物，具有：拍攝步驟，其以拍攝裝置拍攝前述檢查對象物；第1光照射步驟，其以使前述拍攝裝置接收以前述檢查對象物表面為主之漫反射光的方式，使第1光源對前述拍攝裝置的拍攝區域照射第1波長區域的光；第2光照射步驟，其以使前述拍攝裝置接收穿透前述檢查對象物的光的方式，使第2光源對前述拍攝區域照射含有與前述第1波長區域相異之第2波長區域的光；色資訊取得步驟，其從前述拍攝裝置所拍攝之拍攝影像取得前述第1波長區域所含顏色的第1色資訊、以及前述第2波長區域所含顏色的第2色資訊；以及檢測步驟，其根據前述第1色資訊與前述第2色資訊的差檢測前述檢查對象物的缺陷。
  7. 一種檢查系統，係檢查具有透光性的薄片狀檢查對象物，具備：搬送裝置，其搬送前述檢查對象物；第1拍攝裝置，其拍攝以前述搬送裝置搬送並通過第1拍攝區域的前述檢查對象物；第1光源，其以使前述第1拍攝裝置接收以前述檢查對象物表面為主之漫反射光的方式，對前述第1拍攝區域照射光；第2拍攝裝置，其拍攝以前述搬送裝置搬送並通過在較前述第1拍攝區域下游側之第2拍攝區域的前述檢查對象物；第2光源，其以使前述第2拍攝裝置接收以前述檢查對象物表面為主之鏡面反射光的方式，對前述第2拍攝區域照射光；以及缺陷檢測部，其根據前述第1拍攝裝置所拍攝的拍攝影像及前述第2拍攝裝置所拍攝的拍攝影像檢測前述檢查對象物的缺陷；其中，前述檢查系統進一步具有：第4光源，其以使前述第1拍攝裝置接收穿透前述檢查對象物的光的方式，對前述第1拍攝區域照射光；以及色資訊取得部，其從前述第1拍攝裝置所拍攝的拍攝影像取得色資訊；前述第1光源係照射第1波長區域的光；前述第4光源係照射含有與前述第1波長區域相異之第2波長區域的光；前述色資訊取得部從前述第1拍攝裝置所拍攝的拍攝影像取得前述第1波長區域所含顏色的第1色資訊、及前述第2波長區域所含顏色的第2色資訊；前述缺陷檢測部根據前述第1色資訊與前述第2色資訊的差檢測前述檢查對象物的缺陷。
  8. 如申請專利範圍第7項所述的檢查系統，其中，前述搬送裝置具備搬送前述檢查對象物的第1搬送部、以及搬送由前述第1搬送部所遞送之前述檢查對象物的第2搬送部；前述第1拍攝裝置以前述第1拍攝區域的至少一部分與特定區域重疊的方式來設置，前述特定區域係前述第1搬送部與前述第2搬送部之間的間隙並通過前述檢查對象物的區域。
  9. 如申請專利範圍第8項所述的檢查系統，還具備支撐構件，該支撐構件設置在前述第1搬送部與前述第2搬送部之間，並支撐由前述第1搬送部往前述第2搬送部遞送的前述檢查對象物。
  10. 如申請專利範圍第9項所述的檢查系統，其中前述支撐構件與前述檢查對象物抵接的支撐面為彩色。
  11. 如申請專利範圍第8項至第10項中任一項所述的檢查系統，其中，前述搬送裝置進一步具有搬送由前述第2搬送部遞送之前述檢查對象物的第3搬送部；前述第2拍攝裝置係以前述第2拍攝區域之至少一部分與特定區域重疊的方式來設置，前述特定區域係前述第2搬送部與前述第3搬送部之間的間隙並通過前述檢查對象物的區域。
  12. 如申請專利範圍第7項至第10項中任一項所述的檢查系統，進一步具有：第3拍攝裝置，其從與前述第2拍攝裝置相反面側拍攝以前述搬送裝置搬送並通過較前述第1拍攝區域下游側之第3拍攝區域的前述檢查對象物；以及第3光源，其以使前述第3拍攝裝置接收以前述檢查對象物表面為主之鏡面反射光的方式，對前述第3拍攝區域照射光；前述缺陷檢測部根據前述第3拍攝裝置所拍攝的拍攝影像檢測前述檢查對象物的缺陷。
  13. 如申請專利範圍第12項所述的檢查系統，其中前述第3拍攝裝置以前述第3拍攝區域的至少一部分與前述第2拍攝區域重疊的方式來設置。
  14. 如申請專利範圍第13項所述的檢查系統，其中前述第2光源的光軸與前述第3光源的光軸為平行。
  15. 如申請專利範圍第7項至第10項中任一項所述的檢查系統，其中，前述缺陷檢測部檢測前述檢查對象物的缺陷係前述檢查對象物表面的凹凸、前述檢查對象物的表層裂痕、以及混入前述檢查對象物內部的異物。
  16. 一種檢查方法，係在檢查系統中檢查檢查對象物，該檢查系統具有：搬送裝置，其搬送具有透光性的薄片狀檢查對象物；第1拍攝裝置，其拍攝以前述搬送裝置搬送並通過第1拍攝區域的前述檢查對象物；第1光源，其以使前述第1拍攝裝置接收以前述檢查對象物表面為主之漫反射光的方式，對前述第1拍攝區域照射第1波長區域的光；第2拍攝裝置，其拍攝以前述搬送裝置搬送並通過較前述第1拍攝區域下游側之第2拍攝區域的前述檢查對象物；第2光源，其以使前述第2拍攝裝置接收以前述檢查對象物之表面為主之鏡面反射光的方式，對前述第2拍攝區域照射光；第4光源，其以使前述第1拍攝裝置接收穿透前述檢查對象物的光的方式，對前述第1拍攝區域照射含有與前述第1波長區域相異之第2波長區域的光；以及色資訊取得部，其從前述第1拍攝裝置所拍攝的拍攝影像取得色資訊；其中，前述檢查方法具備：第1拍攝步驟，以前述第1拍攝裝置拍攝以前述搬送裝置搬送並通過前述第1拍攝區域的前述檢查對象物；色資訊取得步驟，從前述第1拍攝裝置所拍攝的拍攝影像取得前述第1波長區域所含顏色的第1色資訊、以及前述第2波長區域所含顏色的第2色資訊；第1缺陷檢測步驟，根據前述第1色資訊與前述第2色資訊的差檢測前述檢查對象物的缺陷；第2拍攝步驟，以前述第2拍攝裝置拍攝以前述搬送裝置搬送並通過前述第2拍攝區域的前述檢查對象物；以及第2缺陷檢測步驟，根據前述第2拍攝裝置所拍攝的拍攝影像檢測前述檢查對象物的缺陷。
TW105141242A 2015-12-16 2016-12-13 Inspection system and inspection method TWI622766B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015245600 2015-12-16
JP2015245708 2015-12-16

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201723473A TW201723473A (zh) 2017-07-01
TWI622766B true TWI622766B (zh) 2018-05-01

Family

ID=59056609

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW105141242A TWI622766B (zh) 2015-12-16 2016-12-13 Inspection system and inspection method

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP6677260B2 (zh)
KR (1) KR102141216B1 (zh)
CN (1) CN108369194A (zh)
TW (1) TWI622766B (zh)
WO (1) WO2017104575A1 (zh)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107643291A (zh) * 2017-10-25 2018-01-30 佛山市南海鑫隆机工机械有限公司 一种瓷具把手缺陷检测装置及方法
US20210003387A1 (en) * 2018-01-18 2021-01-07 Toray Industries, Inc. Measurement method for resin state of prepreg surface and measurement device therefor
CN110376203A (zh) * 2019-06-26 2019-10-25 阳程科技股份有限公司 玻璃纤维丝检测机台及其检测方法
JP7363357B2 (ja) 2019-10-21 2023-10-18 住友ゴム工業株式会社 ゴム引きコード部材の検査方法及び検査装置
CN111141745B (zh) * 2020-01-07 2022-12-23 武汉精立电子技术有限公司 一种图像检测装置及其检测方法
JP6970866B2 (ja) * 2020-03-06 2021-11-24 フロンティアシステム株式会社 表面検査装置
CN111982929A (zh) * 2020-08-14 2020-11-24 加藤义晴 一种电子部件检测设备及电子部件检测方法
CN113267514A (zh) * 2021-06-25 2021-08-17 国网河南省电力公司电力科学研究院 一种玻璃丝纤维绝缘拉杆质量的光学检测方法和装置
KR20230046683A (ko) * 2021-09-30 2023-04-06 주식회사 엘지화학 광학 필름의 이물질과 결함을 검출하는 시스템

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20070216897A1 (en) * 2004-11-24 2007-09-20 Asahi Glass Co., Ltd. Defect inspection method and apparatus for transparent plate-like members
US20090266038A1 (en) * 2008-04-25 2009-10-29 Wolfgang Schafer Patch transfer and inspection apparatus
JP2010008170A (ja) * 2008-06-25 2010-01-14 Panasonic Electric Works Co Ltd 光透過性フィルムの欠陥検出装置
TW201245701A (en) * 2011-05-10 2012-11-16 Asahi Glass Co Ltd Method for inspecting minute defect of translucent board-like body, and apparatus for inspecting minute defect of translucent board-like body
TW201435331A (zh) * 2013-02-21 2014-09-16 Omron Tateisi Electronics Co 缺陷檢查裝置及缺陷檢查方法

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0413954A (ja) * 1990-05-03 1992-01-17 Showa Denko Kk ウエブの欠点検査装置
JP3108428B2 (ja) * 1990-08-13 2000-11-13 株式会社東芝 透明体円形ワークの欠陥検出装置
CN1260876A (zh) * 1997-06-17 2000-07-19 株式会社之技术综合 片材包装检查装置
JP2006064531A (ja) 2004-08-26 2006-03-09 Matsushita Electric Works Ltd プリプレグの検査方法
JP4970085B2 (ja) * 2007-02-28 2012-07-04 太平洋セメント株式会社 異物除去装置
FR2983583B1 (fr) * 2011-12-02 2013-11-15 Saint Gobain Dispositif d'analyse des defauts d'aspect d'un substrat transparent
CN103076344A (zh) * 2012-12-27 2013-05-01 深圳市华星光电技术有限公司 显示面板的缺陷检测方法及其检测装置
JP6314557B2 (ja) * 2014-03-12 2018-04-25 オムロン株式会社 シート検査装置
JP2015220219A (ja) * 2014-05-21 2015-12-07 株式会社Ｊｏｌｅｄ 有機ｅｌ表示パネルの製造方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20070216897A1 (en) * 2004-11-24 2007-09-20 Asahi Glass Co., Ltd. Defect inspection method and apparatus for transparent plate-like members
US20090266038A1 (en) * 2008-04-25 2009-10-29 Wolfgang Schafer Patch transfer and inspection apparatus
JP2010008170A (ja) * 2008-06-25 2010-01-14 Panasonic Electric Works Co Ltd 光透過性フィルムの欠陥検出装置
TW201245701A (en) * 2011-05-10 2012-11-16 Asahi Glass Co Ltd Method for inspecting minute defect of translucent board-like body, and apparatus for inspecting minute defect of translucent board-like body
TW201435331A (zh) * 2013-02-21 2014-09-16 Omron Tateisi Electronics Co 缺陷檢查裝置及缺陷檢查方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN108369194A (zh) 2018-08-03
JP6677260B2 (ja) 2020-04-08
WO2017104575A1 (ja) 2017-06-22
JPWO2017104575A1 (ja) 2018-08-30
KR20180081576A (ko) 2018-07-16
KR102141216B1 (ko) 2020-08-04
TW201723473A (zh) 2017-07-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI622766B (zh) Inspection system and inspection method
JP5806808B2 (ja) 撮像光学検査装置
JP4523474B2 (ja) 不良検査装置及びｐｔｐ包装機
JP6834174B2 (ja) 外観検査方法および外観検査装置
CN107664645B (zh) 照明单元、缺陷检查装置及照明方法
JP7262260B2 (ja) 欠陥検査装置、及び欠陥検査方法
JP2006226724A (ja) ラベル検査方法およびその装置
US20180045652A1 (en) Appearance inspection apparatus and appearance inspection method
JP2018025439A (ja) 外観検査方法および外観検査装置
KR102162693B1 (ko) 결함 검출 시스템 및 방법
JP6454913B2 (ja) ブリッジを有するキャップの検査方法及び同キャップの検査装置
JP6616658B2 (ja) 被搬送物の検査方法
TW201629474A (zh) 檢查裝置
CN206348279U (zh) 检查系统
JP2010091530A (ja) 異物検査方法および異物検査装置
JP5959430B2 (ja) ボトルキャップの外観検査装置及び外観検査方法
CN112557410A (zh) 环形产品的外观检查装置
JP2006153534A (ja) 不良検査装置及びｐｔｐ包装機
JP2001124702A (ja) 帯状シート検査装置
JP6428554B2 (ja) 検査システム、検査方法
JP7240153B2 (ja) 積層体の検査方法、検査装置及び製造方法
KR102233781B1 (ko) 카메라 모듈 내부에 적외선 필터의 유무를 검사하는 장치 및 그를 이용한 검사방법
JP2022083641A (ja) 皺検査装置及び皺判定装置
JP2016125817A (ja) 検査システム、検査方法
JP2017067622A (ja) 物品検査装置

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees