TWI603568B - 線性致動器 - Google Patents

線性致動器 Download PDF

Info

Publication number
TWI603568B
TWI603568B TW104142747A TW104142747A TWI603568B TW I603568 B TWI603568 B TW I603568B TW 104142747 A TW104142747 A TW 104142747A TW 104142747 A TW104142747 A TW 104142747A TW I603568 B TWI603568 B TW I603568B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
magnet
pole
phase
coil
linear actuator
Prior art date
Application number
TW104142747A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201633672A (zh
Inventor
岩城純一郎
Original Assignee
Ｔｈｋ股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ｔｈｋ股份有限公司 filed Critical Ｔｈｋ股份有限公司
Publication of TW201633672A publication Critical patent/TW201633672A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI603568B publication Critical patent/TWI603568B/zh

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
    • H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
    • H02K41/03—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
    • H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
    • H02K41/03—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
    • H02K41/031—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors of the permanent magnet type
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
    • H02K41/06—Rolling motors, i.e. motors having the rotor axis parallel to the stator axis and following a circular path as the rotor rolls around the inside or outside of the stator ; Nutating motors, i.e. having the rotor axis parallel to the stator axis inclined with respect to the stator axis and performing a nutational movement as the rotor rolls on the stator

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Linear Motors (AREA)
  • Reciprocating, Oscillating Or Vibrating Motors (AREA)

Description

線性致動器
本發明係關於一種線性致動器，其可使第一構件相對於第二構件朝一方向進行相對移動。
作為線性致動器之一種，存在有將磁鐵使用於場磁鐵之同步型線性致動器。該線性致動器具備有：定子，其將複數個磁鐵以極性沿一方向交替地相異之方式排列；及動子，其以與定子之磁鐵列相對向之方式，將複數個線圈排列於一方向(參照專利文獻1)。線圈係捲繞於與定子之磁鐵列相對向之核心之突極。而且，若於線圈流通交流電，便藉由產生於磁鐵之磁通量與產生於突極之磁通量的相互作用，使動子相對於定子朝一方向移動。再者，如專利文獻1所記載，線圈移動之線性致動器被稱為動圈式之線性致動器。亦存在有取代線圈而使磁鐵移動之線性致動器，其被稱為動磁式之線性致動器。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2011-217591號公報
習知之線性致動器，理所當然係使動子朝與線圈之排列方向相同之方向移動。然而，習知之線性致動器並無法使動子朝與線圈之排列方向垂直之方向移動。如果能完成該項發明，即可獲得受矚目之動子的移動方式，亦可擴展線性致動器之用途。
因此，本發明之目的，在於提供一種線性致動器，其可使動子朝與線圈之排列方向垂直之方向移動。
為了解決上述問題，本發明之一態樣係一種線性致動器，係可使第一構件相對於第二構件朝一方向進行相對移動者，上述第一構件具有被排列於上述一方向之第一磁鐵、第二磁鐵及第三磁鐵，上述第一磁鐵、上述第二磁鐵及上述第三磁鐵係於與上述一方向垂直之方向具有N極及S極，上述第二磁鐵之N極及S極係相對於上述第一磁鐵之N極及S極朝與上述一方向垂直之方向偏移，上述第三磁鐵之N極及S極係相對於上述第二磁鐵之N極及S極朝與上述一方向垂直之方向偏移，上述第二構件具有：至少兩個突極，其等被排列於與上述一方向垂直之方向，而與上述第一構件相對向；及至少兩個線圈，其等被捲繞於上述突極。
根據本發明，可使動子(第一構件或第二構件)朝與線圈之排列方向垂直之方向(一方向)移動。
1‧‧‧動子(第一構件)
2‧‧‧定子(第二構件)
4a~4d‧‧‧線圈
5‧‧‧軛
6a‧‧‧第一磁鐵
6b‧‧‧第二磁鐵
6c‧‧‧第三磁鐵
7‧‧‧段磁鐵
8‧‧‧核心
8a‧‧‧突極
8b‧‧‧核心本體
9‧‧‧倒角
11‧‧‧內側線圈
12‧‧‧外側線圈
21‧‧‧動子
22‧‧‧軛
24a‧‧‧第一磁鐵
24b‧‧‧第二磁鐵
24c‧‧‧第三磁鐵
25、25a、25b‧‧‧磁鐵
N、S‧‧‧磁極
P1‧‧‧N極-S極間之間距
S1~S4‧‧‧位置
t1、t2‧‧‧長度
X、Y、Z‧‧‧方向
θ‧‧‧方向
圖1係本發明一實施形態之線性致動器之立體圖。
圖2係圖1之分解立體圖。
圖3係本實施形態之線性致動器之YZ平面之剖面圖。
圖4係沿X軸之本實施形態之線性致動器之剖面圖(圖4(a)係顯示動子位於衝程之一端時，圖4(b)係顯示動子位於衝程之中央時，圖4(c)係顯示動子位於衝程之另一端時)。
圖5係表示第一至第三磁鐵之外周之磁極的動子之立體圖。
圖6係顯示線圈之激磁方式之時序圖。
圖7係顯示動子之振動原理之圖。
圖8係顯示動子之其他例之立體圖。
以下，根據所附圖式，對本發明之實施形態之線性致動器進行說明。然而，本發明之線性致動器可以各種形態具體呈現，並不限定於本說明書所記載之實施形態。本實施形態係基於如下之意圖而提出者：藉由說明書之充分揭示，使本發明所屬技術領域中具有通常知識者可充分地理解發明之範圍。
圖1係顯示本發明一實施形態之線性致動器之立體圖，圖2係顯示圖1之分解立體圖。於所有隨附之圖式及以下之說明書中，對相同之構成賦予相同之符號。
如圖1所示，線性致動器具備有：作為第一構件之動子1、及作為第二構件之定子2。動子1係呈筒形。定子2係呈包圍動子1之環形。線性致動器係構成為若將定子2之線圈4a~4d激磁，動子1便朝一方向(即軸方向)移動。再者，於以下之說明中，將動子1之軸方向設為X方向，將與X方向正交之平面設為YZ平面，將YZ平面上之圓周方向設為θ方向。
於環形之定子2，沿θ方向排列有複數個線圈4a~4d。 在一般之旋轉馬達中，若將線圈沿θ方向排列，動子1便會朝θ方向旋轉。本發明之線性致動器具有下述特徵：即便將線圈4a~4d沿θ方向排列，動子1仍會朝X方向移動。以下，依序對動子1、定子2之構成進行說明。
如圖2所示，動子1具有筒形之軛5、以及被配置於軛5之外周的環形之第一磁鐵6a、第二磁鐵6b、及第三磁鐵6c。第一磁鐵6a、第二磁鐵6b、及第三磁鐵6c係藉由連接於軛5之外周等之結合手段加以結合。第一磁鐵6a、第二磁鐵6b、及第三磁鐵6c之大小相等，且該等係沿X方向鄰接而排列。軛5係由供磁流通過之磁性材料所構成。
第一磁鐵6a係沿θ方向交替地具有N極及S極，而由複數個圓弧形之段磁鐵7所構成，該等段磁鐵7係以極性沿θ方向交替地相異之方式排列。磁極之個數(段磁鐵7之個數)並未特別限定，例如為6個。段磁鐵7之外周係被磁化為N極及S極中之任一者，段磁鐵7之內周係被磁化為N極及S極中之另一者。第一磁鐵6a，亦可由沿θ方向交替地磁化為N極及S極且未被分割為段磁鐵7之環形磁鐵所構成。
第二磁鐵6b及第三磁鐵6c亦與第一磁鐵6a相同地，沿θ方向交替地具有N極及S極，且由複數個圓弧形之段磁鐵7所構成，該等段磁鐵7係以沿θ方向極性交替地相異之方式排列。第一磁鐵6a、第二磁鐵6b、及第三磁鐵6c之磁極個數全部相等，例如為6個。
第二磁鐵6b之N極及S極係相對於第一磁鐵6a之N極及S極，朝θ方向之一方向(順時針方向)偏移N極-S極間之間距 P1(θ方向之距離)之1/2。而且，第三磁鐵6c之N極及S極係相對於第二磁鐵6b之N極及S極，朝θ方向之一方向(順時針方向)偏移N極-S極間之間距P1之1/2。但是，第三磁鐵6c並未相對於第二磁鐵6b朝θ方向之另一方向(逆時針方向)偏移。第三磁鐵6c之N極及S極係相對於第一磁鐵6a之N極及S極，朝θ方向之一方向(順時針方向)偏移N極-S極間之間距P1，第三磁鐵6c與第一磁鐵6a係處於磁極反轉之關係。
定子2之構成如下所述。如圖2所示，定子2具備有：核心8；及複數個線圈4a~4d，該等係捲繞於核心8之突極8a。核心8具有：核心本體8b，其呈包圍動子1之環形；及複數個突極8a，該等係自核心本體8b朝向半徑方向內側突出(一併參照圖3)。突極8a之個數係動子1之第一至第三磁鐵6a~6c之磁極個數的2倍。由於磁極的個數為6，因此突極8a之個數為12。突極8a之前端係隔著磁性之間隙而與動子1相對向。核心8係由矽鋼等之磁性材料所構成。
該核心8，例如係將以YZ平面分割之複數片積層鋼板於X方向重疊而製造。此外，亦可以如下方式製造核心8：將核心8沿半徑方向之分割線分割為12個分割核心，將線圈4a~4d捲繞於分割核心之突極8a，並將經捲繞線圈4a~4d之分割核心於θ方向連結。
圖4係顯示線性致動器沿著X軸之剖面圖。如圖4(b)所示，核心8之突極8a之X方向之長度t2係較第一至第三磁鐵6a~6c之長度t1更短。第一至第三磁鐵6a~6c之X方向之長度為t1，且彼此相等。於突極8a之前端之X方向之兩端部，係施有倒角9(一 併參照圖2)。
如圖2所示，線圈4a~4d具有：筒形之內側線圈11，其剖面係呈四角形；及筒形之外側線圈12，其係配置於內側線圈11之外側，且剖面係呈四角形。內側線圈11係橫跨突極8a之全長而配置。外側線圈12，其長度係較內側線圈11之長度更短，而僅被配置於突極8a之半徑方向之外周側。內側線圈11之捲線與外側線圈12之捲線係電性連結。
如圖3之YZ平面之剖面圖所示，相鄰接之突極8a間之間隙係呈外周側較內周側更廣之扇形。藉由將線圈4a~4d分為內側線圈11與外側線圈12，可有效率地將線圈4a~4d配置於扇形之間隙。再者，亦可不將線圈4a~4d分為內側線圈11與外側線圈12，而將其設為梯形。
圖1所示之動子1係經由支撐手段而可朝X方向移動地被支撐於定子2。支撐手段係可使用滾珠花鍵、滾珠軸襯、滑動軸承等周知之軸承。亦可使用跨設於動子1與定子2之板彈簧、或介設於動子1與定子2之間之筒形的橡膠等，以取代軸承。
圖4係顯示線性致動器沿著X軸之剖面圖。圖4(b)係顯示動子1位於衝程之中央時，圖4(a)係顯示動子1位於衝程之一端時，圖4(c)係顯示動子1位於衝程之另一端時。本實施形態之線性致動器係動子1交替地自衝程之一端移動至另一端，自另一端移動至一端之振動致動器。但是，本發明之線性致動器之用途，並不限定於振動致動器。
圖5係表示第一至第三磁鐵6a~6c之外周之磁極的動子1之立體圖。圖5之四角係顯示與動子1相對向之線圈4a~4d， 四角內之文字A、B、A、B係顯示線圈4a~4d之激磁方式。於圖5中，在第一至第三磁鐵6a~6c之一個段磁鐵7，顯示2個磁極NN或SS。這是為了使兩個線圈4d、4a或4b、4c等與一個段磁鐵7相對向，且使與線圈4d、4a或4b、4c等對向之段磁鐵7之磁極明確化。實際上，一個段磁鐵7具有一個磁極。
A相之線圈4a係依序自圖5之裡側使NNS之磁極相對向。B相之線圈4b係使SNN之磁極相對向。A相之線圈4c係使SSN之磁極相對向。B相之線圈4d係使NSS之磁極相對向。A相之線圈4a係沿θ方向每隔4個出現一次。與每隔4個線圈之線圈4a相對向之動子1之磁極相同。其他相之線圈4b~4d亦相同。
12個線圈4a~4d係以4個為1組。1組之4個線圈4a~4d係與二相步進馬達之線圈相同地，被激磁為A相、B相、A相、B相。再者，亦可將線圈設為6個1組，而將1組中之6個線圈與三相步進馬達之線圈相同地，激磁為6相。
圖6係顯示線圈4a~4d之激磁方式之時序圖。A相與B相係偏移90度相位。A相與A相係偏移180度相位。A相與B相係偏移270度相位。再者，線圈之激磁方式並不限定於此。例如，亦可將施加於線圈之電壓波形設為正弦波以取代矩形波。
圖7係顯示動子1之振動原理之示意圖。於圖7中，僅抽出圖5之A相之線圈4a，以及與其相鄰之B相之線圈4d而顯示。與A相之線圈4a相對向之動子1之磁極，自圖5之裡側起依序為NNS。與B相之線圈4d相對向之動子1之磁極，自圖5之裡側起依序為NSS。若將A相之線圈4a以圖6所示之激磁方式進行激磁，A相之線圈4a之突極8a之極性，便會於S1時變化為N極， 於S2時變化為N極，於S3時變化為S極，而於S4時變化為S極。若將B相之線圈4d以圖6所示之激磁方式進行激磁，B相之線圈4d之突極8a之極性，便會於S1時變化為N極，於S2時變化為S極，於S3時變化為S極，於S4時變化為N極。伴隨著該等線圈4a、4d之突極8a之極性之變化，動子1係使其位置變化為左端位置(S1)、中央位置(S2)、右端位置(S3)、中央位置(S4)。因此，動子1便會振動。再者，於圖7中，雖然僅顯示A相之線圈4a與B相之線圈4d之組合，但A相之線圈4a與B相之線圈4b之組合、A相之線圈4c與B相之線圈4b之組合、A相之線圈4c與B相之線圈4d之組合，同樣地亦可使動子1振動。總而言之，只要為以正弦波激磁之線圈4a、4c與以餘弦波激磁之線圈4b、4d之組合，便可使動子1振動。
圖8係顯示動子之其他例。該例之動子21具有：軛22，其呈圓柱形；及朝X方向被排列於軛22之外周之第一磁鐵24a、第二磁鐵24b、第三磁鐵24c。第一磁鐵24a、第二磁鐵24b、及第三磁鐵24c分別具備有沿θ方向排列之複數個磁鐵25。磁鐵25之個數係與線圈4a~4d之個數同為12個。磁鐵25係朝高度方向(換言之，為半徑方向)被磁化之板狀的方形磁鐵。亦可將磁鐵25設為圓柱形磁鐵。
於θ方向上相鄰接之磁鐵25係以兩個構成一組之磁鐵25a或25b。各組磁鐵25a或25b之磁鐵25之磁極相同。一組磁鐵25a之磁鐵25之磁極係與相鄰之組之磁鐵25b之磁鐵25之磁極相反。如此，若以組為單位來看磁鐵25，便會構成與圖5所示之段磁鐵7同樣之磁極。但是，在該例中，第二磁鐵24b之N極及S 極係相對於第一磁鐵24a之N極及S極朝θ方向之一方向(逆時針方向)偏移N極-S極間之間距P1之1/2。第三磁鐵24c之N極及S極係相對於第二磁鐵24b之N極及S極朝θ方向之一方向(逆時針方向)偏移N極-S極間之間距P1之1/2。而且，第三磁鐵24c之N極及S極係相對於第一磁鐵24a之N極及S極朝θ方向之一方向(逆時針方向)偏移N極-S極間之間距P1(θ方向之距離)，第三磁鐵24c與第一磁鐵24a係處於磁極反轉之關係。即便為該例之動子21，亦可使用以正弦波激磁之線圈4a、4c與以餘弦波激磁之線圈4b、4d，來使動子21振動。
根據本實施形態之線性致動器，可發揮以下之功效。將第一磁鐵6a、第二磁鐵6b、及第三磁鐵6c朝X方向排列於動子1，使第二磁鐵6b之磁極相對於第一磁鐵6a之磁極朝θ方向偏移，並使第三磁鐵6c之磁極相對於第二磁鐵6b之磁極朝θ方向偏移，藉此可使動子1朝與線圈4a~4d之排列方向(θ方向)垂直之方向(X方向)。藉此，可實現線性致動器之X方向的小型化、高推力化。
將第一至第三磁鐵6a~6c朝X方向排列於動子1，藉此可獲得適於振動致動器之線性馬達，可使動子1以較長衝程振動。
將第二磁鐵6b之磁極相對於第一磁鐵6a之磁極朝θ方向偏移N極-S極間之間距的1/2，並將第三磁鐵6c之磁極相對於第二磁鐵6b之磁極朝θ方向偏移N極-S極間之間距的1/2，藉此可橫跨衝程之全長而以高推力使動子1振動。
將線圈4a~4d朝θ方向排列，並將第一至第三磁鐵6a~6c之磁極朝θ方向排列，藉此可實現線性致動器之小型化。
藉由將突極8a結合於環形之核心本體8b，而可使突 極8a之磁通量之流動提升。
由段磁鐵7構成第一至第三磁鐵6a~6c，藉此可自段磁鐵7之θ方向之一端至另一端獲得大致一定之徑向磁通密度。由於第一至第三磁鐵6a~6c之徑向磁通密度之大小與推力具有相互關係，因此可獲得高推力。
將突極8a之X方向之長度t1設為較第一至第三磁鐵6a~6c之X方向之長度t2更短，藉此可減小齒槽效應力(Cogging Force)。齒槽效應力係因突極8a與第一至第三磁鐵6a~6c之吸引力所產生之力。齒槽效應力係於電流未流通於線圈4a~4d時亦作用於動子1，而成為推力之妨礙。藉由減小齒槽效應力，可使推力提升。再者，若將其設為t2≧t1，則與t2<t1之情形相比，齒槽效應力會變大。
藉由對突極8a之前端之X方向之端部施以倒角9，則與未施以倒角9之情形相比，可減小齒槽效應力。此外，藉由施以倒角9，可將動子1之衝程設為較大。
再者，本發明並不限定於具體呈現為上述實施形態者，在不變更本發明主旨之範圍內可具體呈現為各種實施形態。
在前述之實施形態中，雖然將定子之線圈排列於θ方向，並將動子之磁鐵之磁極排列於θ方向，但亦可以若將旋轉馬達平面化地設置便可獲得扁平狀之線性馬達之方式，而將定子及動子平面化地設置來獲得扁平狀之線性馬達。
前述之實施形態雖為動磁形之線性致動器，但亦可設為動圈形之線性致動器。
在前述之實施形態中，雖然將第一至第三磁鐵配置於 朝θ方向排列之線圈的內側，但亦可將第一至第三磁鐵配置於朝θ方向排列之線圈的外側。
在前述之實施形態中，雖然將第一至第三磁鐵配置於動子，但亦可配置第一至第四磁鐵、第一至第五磁鐵或是其等以上之磁鐵。在該情形時，各磁鐵仍相對於相鄰之磁鐵朝θ方向之一方向(例如順時針方向)偏移N極-S極間之間距之1/2。亦即，第三磁鐵之磁極係處於與第一磁鐵之磁極反轉之關係，第五磁鐵之磁極係處於與第一磁鐵之磁極一致之關係。
在前述之實施形態中，雖然將一個核心配置於定子，但亦可配置2個以上之核心。
在前述之實施形態中，雖然使動子僅朝X方向移動，但亦可使動子朝X方向移動並且使其朝θ方向旋轉。
在前述之實施形態中，雖然動子之第一至第三磁鐵係沿圓周方向使N極及S極交替地具有共6個磁極，且突極及線圈之個數為12個，但磁極、突極及線圈之個數並不限定於此。例如，第一至第三磁鐵之N極及S極的個數亦可具有合計2個或4個磁極。此外，突極及核心之個數亦可設為2個、4個或是8個。
本說明書係根據2014年12月26日提出申請之日本專利特願2014-264117。其內容全部包含於本說明書中。
1‧‧‧動子(第一構件)
2‧‧‧定子(第二構件)
4a‧‧‧線圈
4b‧‧‧線圈
4c‧‧‧線圈
4d‧‧‧線圈
5‧‧‧軛
6a‧‧‧第一磁鐵
6b‧‧‧第二磁鐵
6c‧‧‧第三磁鐵
7‧‧‧段磁鐵
8‧‧‧核心
8a‧‧‧突極
8b‧‧‧核心本體
9‧‧‧倒角
11‧‧‧內側線圈
12‧‧‧外側線圈
N‧‧‧磁極
P1‧‧‧N極-S極間之間距
S‧‧‧磁極
X‧‧‧方向
Y‧‧‧方向
Z‧‧‧方向
θ‧‧‧方向

Claims (10)

  1. 一種線性致動器，係可使第一構件相對於第二構件朝一方向進行相對移動者，上述第一構件具有被排列於上述一方向之第一磁鐵、第二磁鐵及第三磁鐵，上述第一磁鐵、上述第二磁鐵及上述第三磁鐵係於與上述一方向垂直之方向具有N極及S極，上述第二磁鐵之N極及S極係相對於上述第一磁鐵之N極及S極朝與上述一方向垂直之方向偏移，上述第三磁鐵之N極及S極係相對於上述第二磁鐵之N極及S極朝與上述一方向垂直之方向偏移，上述第二構件具有：至少兩個突極，其等被排列於與上述一方向垂直之方向，而與上述第一構件相對向；及至少兩個線圈，其等被排列於與上述一方向垂直之方向，而被捲繞於上述突極；上述至少兩個線圈係包含：A相線圈與相位相對於A相偏移90度之B相線圈、或A相線圈與相位相對於A相偏移270度之相線圈、或相線圈與相位相對於相偏移90度之相線圈、或相線圈與相位相對於相偏移270度之B相線圈、或以正弦波激磁之線圈與以餘弦波激磁之線圈。
  2. 如請求項1之線性致動器，其中，上述第二磁鐵之N極及S極係相對於上述第一磁鐵之N極及S極朝與上述一方向垂直之方向偏移N極-S極間之間距的1/2，上述第三磁鐵之N極及S極係相對於上述第二磁鐵之N極及S極朝與上述一方向垂直之方向偏移N極-S極間之間距的1/2。
  3. 如請求項1或2之線性致動器，其中，上述一方向係X方向，與上述一方向垂直之方向係與X方向正交之YZ平面上之圓周方向。
  4. 如請求項3之線性致動器，其中，上述突極係結合於環形之核心本體。
  5. 如請求項3之線性致動器，其中，上述第一磁鐵、上述第二磁鐵及上述第三磁鐵係由朝半徑方向被磁化之複數個圓弧形之段磁鐵所構成。
  6. 如請求項1或2之線性致動器，其中，上述第一磁鐵、上述第二磁鐵及上述第三磁鐵係由朝高度方向被磁化之複數個板狀磁鐵所構成。
  7. 如請求項1或2之線性致動器，其中，上述突極之上述一方向之長度係較上述第一磁鐵、上述第二磁鐵及上述第三磁鐵之上述一方向之長度更短。
  8. 如請求項1或2之線性致動器，其中，於上述突極之前端之上述一方向之端部係施有倒角。
  9. 如請求項1或2之線性致動器，其中，上述至少兩個線圈係包含：A相線圈、相位相對於該A相線圈偏移90度之B相線圈、相位相對於該A相線圈偏移180度之相線圈、及相位相對於該A相線圈偏移270度之相線圈。
  10. 如請求項1或2之線性致動器，其中，上述至少兩個突極及上述至少兩個線圈係於上述一方向上僅設有一列， 上述線性致動器係使上述第一構件相對於上述第二構件而於上述一方向上振動。
TW104142747A 2014-12-26 2015-12-18 線性致動器 TWI603568B (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014264117A JP6082380B2 (ja) 2014-12-26 2014-12-26 リニアアクチュエータ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201633672A TW201633672A (zh) 2016-09-16
TWI603568B true TWI603568B (zh) 2017-10-21

Family

ID=56149981

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW104142747A TWI603568B (zh) 2014-12-26 2015-12-18 線性致動器

Country Status (6)

Country Link
US (1) US10003247B2 (zh)
JP (1) JP6082380B2 (zh)
CN (1) CN107112884B (zh)
DE (1) DE112015005761T5 (zh)
TW (1) TWI603568B (zh)
WO (1) WO2016103947A1 (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7449085B2 (ja) 2019-12-20 2024-03-13 キヤノン株式会社 リニアモータ、ステージ装置、リソグラフィ装置及び物品の製造方法
US20220166302A1 (en) * 2020-11-20 2022-05-26 Lin Engineering, Inc. Bipolar linear step motor

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW201121211A (en) * 2009-09-25 2011-06-16 Sungjin Royal Motion Co Ltd Linear motor
JP2013102695A (ja) * 2013-03-07 2013-05-23 Hitachi Ltd リニアモータ
JP2014209832A (ja) * 2013-03-26 2014-11-06 株式会社ミツバ ハブダイナモ

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7425783B2 (en) * 2003-09-08 2008-09-16 Rorze Corporation Linear motor
CN100466425C (zh) * 2003-10-30 2009-03-04 乐金电子(天津)电器有限公司 直线电机的定子组件
JP4089597B2 (ja) * 2003-11-18 2008-05-28 株式会社日立製作所 リニアモータ及びｘｙステージ
JP5313333B2 (ja) * 2009-03-13 2013-10-09 株式会社日立製作所 リニアモータ
JP5574173B2 (ja) 2010-03-18 2014-08-20 株式会社安川電機 永久磁石形同期リニアモータおよびそれを用いたテーブル送り装置
JP5888867B2 (ja) 2011-03-31 2016-03-22 日本電産コパル株式会社 振動アクチュエータ
CN102223050B (zh) * 2011-06-14 2012-12-12 哈尔滨工业大学 圆筒无重叠式横向磁通永磁直线电机
CN102843015A (zh) 2012-09-06 2012-12-26 东南大学 一种直线旋转两自由度磁悬浮无轴承永磁作动器

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW201121211A (en) * 2009-09-25 2011-06-16 Sungjin Royal Motion Co Ltd Linear motor
US20120187779A1 (en) * 2009-09-25 2012-07-26 Sangseok Lee Linear motor
JP2013506394A (ja) * 2009-09-25 2013-02-21 スンジン ロイヤル モーション カンパニー リミテッド リニアモータ
JP2013102695A (ja) * 2013-03-07 2013-05-23 Hitachi Ltd リニアモータ
JP2014209832A (ja) * 2013-03-26 2014-11-06 株式会社ミツバ ハブダイナモ

Also Published As

Publication number Publication date
CN107112884A (zh) 2017-08-29
US10003247B2 (en) 2018-06-19
WO2016103947A1 (ja) 2016-06-30
JP2016127612A (ja) 2016-07-11
JP6082380B2 (ja) 2017-02-15
US20180123438A1 (en) 2018-05-03
CN107112884B (zh) 2018-10-02
TW201633672A (zh) 2016-09-16
DE112015005761T5 (de) 2017-10-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI425746B (zh) 線性馬達
JP5082241B2 (ja) リニアモータ及びこれに含まれる固定子の製造方法
JPWO2015140941A1 (ja) 永久磁石型電動機の回転子
JP2008148447A (ja) 電動パワーステアリング装置用モータ
TWI603568B (zh) 線性致動器
JP3220537B2 (ja) リニアパルスモータ
EP2955822A1 (en) Brushless motor
JP5589507B2 (ja) リニア駆動装置の可動子及び固定子
JP5386925B2 (ja) 円筒形リニアモータ
JP5637458B2 (ja) リニアモータ
JP2012165506A (ja) アキシャルギャップモータ
CN110247492B (zh) 旋转电机的转子组装体及旋转电机
JP5544538B2 (ja) 磁石埋め込み型円筒リニアモータ
JP4551684B2 (ja) シリンダ型リニアモータ
JP4988233B2 (ja) リニアモータ
JP5821047B2 (ja) 円筒型リニアモータ
JP2010035296A (ja) 円筒型リニアモータのマグネットスキュー構造
JP4972442B2 (ja) 直動形電動機の永久磁石配置構造
JP2008067470A (ja) 固定子の製造方法及び着磁コア
JPH1141905A (ja) リニアパルスモータ
JP2009194991A (ja) リニアモータとアクチュエータ
JP2006074882A (ja) シリンダ形リニアモータの移動子
JP5589508B2 (ja) リニア駆動装置の可動子、固定子、及びリニア駆動装置
JP2023121183A (ja) 筒型リニアモータ
JP2006074881A (ja) シリンダ形リニアモータの移動子