TWI598525B

TWI598525B - 致動器

Info

Publication number: TWI598525B
Application number: TW103135724A
Authority: TW
Inventors: 川內基範; 江頭賢治; 川田晃司
Original assignee: 山葉發動機股份有限公司
Priority date: 2013-11-01
Filing date: 2014-10-15
Publication date: 2017-09-11
Also published as: EP2881621B1; EP2881621A2; EP2881621A3; CN104613150B; CN104613150A; TW201527664A; US9752664B2; US20150122062A1

Description

致動器

本發明係關於一種使安裝於在軸方向延伸之旋轉軸之移動體根據旋轉軸之旋轉而向軸方向移動之致動器。

先前，廣泛使用如下致動器，該致動器使進給螺母螺合於兩端被軸承構件軸支之滾珠螺桿等進給螺桿，並且於該進給螺母安裝滑塊，將進給螺母及滑塊作為移動體，使移動體根據進給螺桿之旋轉向進給螺桿之軸方向移動。已知於上述致動器中，若進給螺桿之旋轉數(每秒之旋轉數)與進給螺桿之固有振動頻率一致，則會有進給螺桿共振而產生噪音或進給螺桿破損之問題之虞。因此，於日本專利第3221804號公報記載之發明中，一面藉由支撐托架(support bracket)支持進給螺桿，一面使支撐托架與滑塊之移動連動而以滑塊之移動速度之一半之速度移動。

此外，於日本專利第3221804號公報記載之發明中，於一軸承構件與進給螺母之間、以及另一軸承構件與進給螺母之間，支持進給螺桿之支撐托架之數量分別為1個，對提高進給螺桿之固有振動頻率而增大容許旋轉數之效果亦存在固定之極限。因此，伴隨滑塊之移動行程(moving stroke)變長，必須抑制進給螺桿之旋轉數而驅動致動器。因此，存在如下情況，即於將該致動器用作例如機器人等產業機器之驅動源之情形時，不得不降低動作速度。

此處，為了將進給螺桿之旋轉數維持得較高，較理想為增加介置於軸承構件與進給螺母之間之支撐托架之數量。然而，於日本專利第3221804號公報中，雖然揭示有使一對支撐托架與滑塊之移動連動而以1/2之速度移動之機構(以下稱為「連動機構」)，但完全未記載將支撐托架之個數進而增大後使所有支撐托架合理地移動之機構。

若於將記載於日本專利第3221804號公報之發明思想加以延伸而欲使支撐托架之個數為2倍之情形時，分別需要以較滑塊之1/2速度快之速度使支撐托架移動之連動機構、及以較滑塊之1/2速度慢之速度使支撐托架移動之連動機構，從而構造為複雜。因此，難以於使軸承構件與進給螺母之間介置複數個支撐托架之情況下，使用日本專利第3221804號公報記載之連動機構使複數個支撐托架合理地移動。

本發明係鑒於上述課題而完成者，其目的在於提供一種技術，該技術係可於藉由進給螺桿等旋轉軸旋轉而使移動體沿旋轉軸於軸方向移動之致動器，提高對旋轉軸之共振之抑制。

本發明之第1態樣之特徵在於：其係藉由於軸方向延伸之旋轉軸接受旋轉驅動力而旋轉，從而使移動體沿旋轉軸於軸方向移動之致動器，且包括：M個(其中，M為2以上之整數)支架，其等支持旋轉軸；及M個減速機；M個支架中第N個(其中，N為2至M之整數)支架相對於第(N-1)個支架位於移動體之相反側，M個減速機中第1個減速機連接於移動體與第1個支架，輸入移動體之軸方向之移動，並且將該輸入作為減速而得之驅動力驅動第1個支架，且第N個減速機連接於第(N-1)個支架與第N個支架，輸入第(N-1)個支架之軸方向之移動，並且將該輸入作為減速而得之驅動力驅動第N個支架。

於如此般構成之發明中，藉由將複數個減速機連續地連接，可將各減速機之減速比抑制為較小，從而可簡化構造。因此，可容易地增加支架之數量。藉此，藉由設置複數個支架而可有效地抑制旋轉軸之共振。

又，本發明之第2態樣之特徵在於：其係藉由於軸方向延伸之旋轉軸接受旋轉驅動力而旋轉，從而使移動體沿旋轉軸於軸方向移動之致動器，且包括：致動器本體；及複數個共振抑制機構，其等具有支持旋轉軸之支架及保持支架之單元；複數個單元排列於與軸方向正交之排列方向，複數個單元之各者包括：單元本體，其具有於與軸方向平行之移動方向延伸之形狀，並且一面保持支架一面相對於致動器本體於移動方向往返自如；一對旋轉構件，其等於移動方向相互分開且旋轉自如地設置於單元本體；及環狀索體，其架設於一對旋轉構件之間；於複數個單元中排列方向上之最上游之單元，於相對於一對旋轉構件更靠排列方向之上游側，環狀索體之一部分固定於致動器本體，並且於排列方向之最下游之單元，於相對於一對旋轉構件更靠排列方向之下游側，環狀索體之一部分連結於移動體，於在排列方向上相互鄰接之2個單元中排列方向上之上游側之單元，於相對於一對旋轉構件更靠排列方向之下游側，環狀索體之一部分連結於排列方向上之下游側之單元之單元本體，並且於排列方向上之下游側之單元，於相對於一對旋轉構件更靠排列方向之上游側，環狀索體之一部分連結於排列方向上之上游側之單元之單元本體。

於如此般構成之發明中，一對旋轉構件於移動方向上相互分開且旋轉自如地設置於單元本體、並且環狀索體架設於旋轉構件之間而成之單元於與軸方向正交之排列方向排列有複數個。於各單元中，單元本體相對於致動器本體於移動方向上往返自如，而且致動器本體、複數個環狀索體、複數個單元本體及移動體係以上述之連接關係連接。因此，如下文詳述般，伴隨移動體向軸方向之移動，而連動地執行旋轉構件之旋轉動作及單元本體之移動動作，於各共振抑制機構中，被保持於單元本體之支架一面支持旋轉軸，一面連動於移動體之移動而於軸方向移動，從而抑制旋轉軸之共振。因此，藉由設置複數個共振抑制機構而可有效地抑制旋轉軸之共振。

又，各單元之基本構成為相同，即便於增加共振抑制機構之情形時，亦可藉由使上述連接關係成立而容易地應對共振抑制機構之增加。於例如設置2個共振抑制機構之情形時，只要進行如下操作即可，即於最上游之單元中，於相對於一對旋轉構件更靠排列方向之下游側，將環狀索體之一部分連結至最下游之單元之單元本體，並且於最下游之單元中，於相對於一對旋轉構件更靠排列方向之上游側，將環狀索體之一部分連結至最上游之單元之單元本體。又，於進而增加1個共振抑制機構之情形時，只要進行如下操作即可，即於排列方向上，在最上游之單元與最下游之單元之間追加1個中間單元，於最上游之單元中，於相對於一對旋轉構件更靠排列方向之下游側，將環狀索體之一部分連結至中間單元之單元本體，於中間單元中，於相對於一對旋轉構件更靠排列方向之上游側，將環狀索體之一部分連結至最上游之單元之單元本體，並且於相對於一對旋轉構件更靠排列方向之下游側，將環狀索體之一部分連結至最下游之單元之單元本體，於最下游之單元中，於相對於一對旋轉構件更靠排列方向之上游側，將環狀索體之一部分連結至中間單元之單元本體。

根據本發明，可利用簡單之構造容易地增加支架之數量，該等支架於支持旋轉軸之情況下沿旋轉軸移動，而縮短旋轉軸之支持跨距。其結果為，可提高旋轉軸產生共振之旋轉數，從而可提高對旋轉軸之共振之抑制。

1‧‧‧致動器

2‧‧‧旋轉軸

3‧‧‧移動體

4D‧‧‧軸承構件

4U‧‧‧軸承構件

5‧‧‧第1引導機構

6‧‧‧共振抑制機構

7‧‧‧共振抑制機構

8‧‧‧第2引導機構

9‧‧‧共振抑制機構

10‧‧‧致動器本體

11‧‧‧固定金屬件

12‧‧‧連結金屬件

13‧‧‧連結金屬件

14‧‧‧連結金屬件

15‧‧‧連結金屬件

16‧‧‧連結金屬件

17‧‧‧連結金屬件

18‧‧‧連結金屬件

21‧‧‧致動器

22‧‧‧旋轉軸

23‧‧‧移動體

24‧‧‧軸承構件

25‧‧‧導軌

26‧‧‧支架

27‧‧‧止擋

28‧‧‧止擋

31‧‧‧進給螺母

32‧‧‧滑塊

54D‧‧‧支架用滑塊

54U‧‧‧支架用滑塊

55D‧‧‧支架用滑塊

55U‧‧‧支架用滑塊

56D‧‧‧支架用滑塊

56U‧‧‧支架用滑塊

57D‧‧‧支架用滑塊

57U‧‧‧支架用滑塊

58D‧‧‧支架用滑塊

58U‧‧‧支架用滑塊

61D、61U、91D、91U、71D、71U‧‧‧支架

62‧‧‧(最上游之)單元

72‧‧‧(最下游之)單元

82‧‧‧導軌

83‧‧‧導軌

92‧‧‧(中間之)單元

111‧‧‧本體固定構件

112‧‧‧導線保持構件

113‧‧‧壓縮彈簧

210‧‧‧框體

230‧‧‧平台

231‧‧‧螺母

232‧‧‧鉤

260‧‧‧框架

262‧‧‧軸接觸部

264‧‧‧引導卡合部

264a‧‧‧卡合部分

264b‧‧‧突出部分

266‧‧‧輥

511‧‧‧軌道固定台

512‧‧‧軌道固定台

521‧‧‧導軌

522‧‧‧導軌

531‧‧‧移動體用滑塊

532‧‧‧移動體用滑塊

611‧‧‧框架

612‧‧‧軸接觸部

612a‧‧‧分割襯套

612b‧‧‧分割襯套

621、721、921‧‧‧單元本體

621a、721a‧‧‧第1滑輪支持部

621b、721b‧‧‧第2滑輪支持部

621c、721c‧‧‧連結部

621d‧‧‧長孔

621D‧‧‧下游保持部位

621M‧‧‧中間部位

621T‧‧‧張力作用部位

621U‧‧‧上游保持部位

622、623、722、723、922、923‧‧‧滑輪

624、724、924‧‧‧導線

721D‧‧‧下游保持部位

721M‧‧‧中間部位

721T‧‧‧張力作用部位

721U‧‧‧上游保持部位

811‧‧‧樹脂滑塊

812‧‧‧樹脂滑塊

812a‧‧‧槽

813‧‧‧樹脂滑塊

821‧‧‧導槽

821D‧‧‧導槽

822‧‧‧導槽

823‧‧‧導槽

831‧‧‧導軌83之上部

2601‧‧‧軸對向部

2602‧‧‧引導對向部

2602b‧‧‧突出部分

2603‧‧‧抵接部

2622‧‧‧分割襯套

2624‧‧‧半圓構件

2624a‧‧‧接觸部分

C1‧‧‧間隔

C2‧‧‧間隔

C3‧‧‧間隔

C4‧‧‧間隔

C5‧‧‧間隔

C6‧‧‧間隔

CP‧‧‧連接位置

L1‧‧‧長度

L2‧‧‧長度

M‧‧‧馬達

Ps(1)‧‧‧停止位置

Ps(2)‧‧‧停止位置

Ps(3)‧‧‧停止位置

Ps(4)‧‧‧停止位置

T1‧‧‧時間

T2‧‧‧時間

T3‧‧‧時間

T4‧‧‧時間

X‧‧‧軸方向、移動方向

Y‧‧‧寬度方向、排列方向

Z‧‧‧高度方向

圖1係表示應用本發明之致動器之第1實施形態之立體圖。

圖2係自圖1中之A-A線之箭頭方向觀察之圖。

圖3A及圖3B係表示單元之構成之圖。

圖4A及圖4B係表示單元本體之構成之一部分之局部立體圖。

圖5係表示將單元本體安裝於第2引導機構之狀態之局部缺欠圖。

圖6係表示單元與移動體之連接關係之局部立體圖。

圖7係模式地表示單元、致動器本體及移動體之連接關係及動作之圖。

圖8係表示應用本發明之致動器之第2實施形態之立體圖。

圖9係自圖8中之B-B線之箭頭方向觀察之圖。

圖10係模式地表示單元、致動器本體及移動體之連接關係之圖。

圖11係模式地表示固定金屬件之變化例之圖。

圖12A至圖12D係模式地表示單元本體之變化例之圖。

圖13A及圖13B係表示應用本發明之致動器之第3實施形態之圖。

圖14係表示致動器之變化例之立體圖。

圖15係例示於圖14之致動器之俯視圖。

圖16係例示支架及其周邊之構成之立體圖。

圖17係例示支架及其周邊之構成之俯視圖。

圖18係例示支架及其周邊之構成之局部剖面圖。

圖19係例示移動體及其周邊之構成之立體圖。

圖20係例示移動體及其周邊之構成之局部剖面圖。

圖21係模式地例示致動器之動作之動作說明圖。

圖1係表示應用本發明之致動器之第1實施形態之立體圖。圖2係自圖1中之A-A線之箭頭方向觀察之圖。再者，於兩圖及以下之圖中，適當表示將致動器之長度方向設為X方向、將致動器之寬度方向設為Y方向(正交於X方向)、將致動器之高度方向設為Z方向(正交於X方向及Y方向)之XYZ正交座標軸。又，將各座標軸之箭頭側適當稱為正側，將各座標軸之箭頭之相反側適當稱為負側。

該致動器1係包括如下部分之單軸機器人，即包括：單一之旋轉軸2；及移動體3，其伴隨旋轉軸2之旋轉而移動。致動器1包括由例如不鏽鋼等合金鋼或鋁等金屬(輕金屬)構成之致動器本體10。致動器本體10包括沿X方向延伸之具有長條板形狀之基座部。而且，於致動器本體10之上表面安裝有以旋轉軸2及馬達M為代表之致動器1之各構成零件。

該旋轉軸2係向與X方向平行之軸方向以直線狀延伸之滾珠螺桿等進給螺桿，且於致動器本體10之上表面配置於Y方向之中央。又，於致動器本體10之上表面，軸承構件4U、4D於X方向上相互分開地被固定，分別軸支旋轉軸2之X方向之上游側端部及下游側端部。因此，旋轉軸2係於自致動器本體10之上表面向高度方向Z離開特定距離之狀態下旋轉自如地被保持。

馬達M之旋轉驅動軸(省略圖示)經由聯結器(省略圖示)而連接於該旋轉軸2之X方向之下游側端部。因此，當馬達M根據賦予至致動器1之驅動信號而動作時，利用馬達M產生之旋轉驅動力被賦予至旋轉軸2之X方向之下游側端部、即(+X)方向側端部，從而旋轉軸2繞於軸方向X延伸之旋轉中心線旋轉。

於該旋轉軸2形成有公螺紋，進給螺母31螺合於旋轉軸2，並且滑塊32安裝於該進給螺母31。因此，伴隨旋轉軸2之旋轉，進給螺母31及滑塊32作為移動體3一體地沿旋轉軸2向X方向移動。又，為了穩定地進行該移動體3之移動，而於致動器本體10之上表面設置有第1引導機構5。

第1引導機構5具有軌道固定台511、512、2個導軌521、522、移動體用滑塊531、532、及支架用滑塊54U、54D、55U、55D。於相對於旋轉軸2更靠寬度方向Y之上游側、即(-Y)方向側，於X方向延伸之軌道固定台511固定於致動器本體10之上表面，進而於該軌道固定台511上，於X方向延伸設置有導軌521。而且，如圖1所示，自馬達M側支架用滑塊54D、移動體用滑塊531及支架用滑塊54U於X方向滑動自如地安裝於導軌521。另一方面，即便於相對於旋轉軸2更(+Y)方向側，亦與(-Y)方向側同樣地，軌道固定台512固定於致動器本體10之上表面，於該軌道固定台512上，於X方向延伸設置有導軌522，進而自馬達M側支架用滑塊55D、移動體用滑塊532及支架用滑塊55U於X方向滑動自如地安裝於導軌522。

而且，移動體3安裝於該等滑塊中之移動體用滑塊531、532。更詳細而言，如圖1所示，構成移動體3之滑塊32之(-Y)側端部及(+Y)側端部分別固定於移動體用滑塊531、532之上表面。而且，移動體3一面以所謂的兩端固定狀態支持於第1引導機構5，一面被第1引導機構5於X方向導引且往返移動自如。

另一方面，支架61U、61D分別安裝於剩餘之滑塊中之支架用滑塊54U、54D。該等支架61U、61D係共振抑制機構6之構成要素，於相對於移動體3而分別更靠軸方向X之上游側及下游側。而且，該等上游支架61U及下游支架61D同樣地以保持於作為共振抑制機構6之構成要素之單元62之狀態，於X方向一體地移動自如。又，支架71U、71D分別安裝於支架用滑塊55U、55D。該等支架71U、71D係共振抑制機構7之構成要素，於相對於移動體3而分別更靠軸方向X之上游側及下游側。而且，該等上游支架71U及下游支架71D同樣地以保持於作為共振抑制機構7之構成要素之單元72之狀態，於X方向一體地移動自如。該等支架61U、61D、71U、71D與日本專利第3221804號公報記載之支撐托架同樣地構成為可支持旋轉軸2以防止旋轉軸2之共振。再者，由於該等支架61U、61D、71U、71D之基本構成均相同，故而接下來一面參照圖1及圖2一面對支架61D之構成進行說明，另一方面對其他支架標註相同或相當之符號，且省略構成說明。

該支架61D具有框架611及軸接觸部612。框架611包括例如不鏽鋼等合金鋼或鋁等金屬(輕金屬)，如圖1所示，自上方俯視具有大致L字形狀。框架611係基端部如上所述般安裝於支架用滑塊54D之上表面，並且軸接觸部612安裝於自該基端部向Y方向突出設置之軸對向部之下表面。

軸接觸部612如圖2所示般包括自X方向之兩側螺固於軸對向部之2個分割襯套612a、612b。各分割襯套612a、612b包括一對半圓構件。各半圓構件例如為樹脂製，且具有被切割為半圓狀之接觸部分。如此成對之2個半圓構件一面以接觸部分接觸旋轉軸2，一面自Z方向之兩側卡合於旋轉軸2。如此，軸接觸部612可一面以2個分割襯套612a、612b各自之接觸部分接觸旋轉軸2，一面沿旋轉軸2向X方向移動。即，於分割襯套612a、612b與旋轉軸2之間設置有微小之間隙(遊隙)。

又，支架61D一面如上所述般藉由第1引導機構5於X方向引導一面往返移動自如，但支架61D之Y方向側之下部、即分割襯套612b保持於單元62。再者，支架61U亦與支架61D同樣地構成，於(-X)方向在離開支架61D之位置上保持於單元62。因此，若如下所說明般單元62連動於移動體3之移動而於X方向移動，則支架61U及支架61D於維持固定之分開距離之情況下，與單元62一體地於X方向移動。又，支架71D、71U亦與支架61D、61U同樣地構成，如繼單元62之後所說明般被保持於單元72，並且連動於移動體3之移動而於X方向移動。

圖3A及圖3B係表示單元之構成之圖，圖3A表示單元隔著第2引導機構安裝於致動器本體10之狀態，另一方面圖3B表示安裝前之狀態。又，圖4A及圖4B係表示單元本體之構成之一部分之局部立體圖，圖4A係自(+Z)方向觀察之圖，圖4B係自(-Z)方向觀察之圖。進而，圖5係表示將單元本體安裝於第2引導機構之狀態之局部缺欠圖。以下，一面參照圖2至圖5一面對單元62、72之構成按該順序進行說明。

單元62如圖3A及圖3B所示般具有：長條形狀之單元本體621，其於X方向延伸；一對滑輪622、623，其等於方向X相互分開，且旋轉自如地設置於單元本體621；及環狀之導線624，其架設於一對滑輪622、623之間。單元本體621具有：第1滑輪支持部621a，其軸支滑輪622使之旋轉自如；第2滑輪支持部621b，其軸支滑輪623使之旋轉自如；及連結部621c，其連結該等滑輪支持部621a、621b。該等構成零件中之滑輪支持部621a、621b如圖2、圖4A、圖4B及圖5所示般，包括YZ剖面具有大致倒U字形狀之長條構件。可使用將例如薄板形狀之金屬板之寬度方向Y之兩端部向下方折彎而成者或將樹脂材料射出成形而成者作為滑輪支持部621a、621b。另一方面，連結部621c由金屬材料或樹脂材料形成，且如圖4B所示般具有條板形狀，即進入至形成於滑輪支持部621a、621b之背面側之凹部。而且，於連結部621c嵌入至滑輪支持部621a、621b之凹部之狀態下，利用複數個螺絲將連結部621c與滑輪支持部621a、621b緊固而一體化，作為整體形成沿X方向延伸設置之長條形狀之單元本體621。

又，於本實施形態中，於滑輪支持部621a設置有於X方向延伸之長孔621d作為用以插入緊固用螺絲之螺絲孔，可將滑輪支持部621a於X方向移動自如地安裝於連結部621c。因此，可於調整滑輪支持部621a相對於連結部621c之X方向位置後，將滑輪支持部621a安裝於連結部621c，藉由該位置調整可調整第1滑輪支持部621a與第2滑輪支持部621b之間隔，其結果為可調整導線624之張力。

再者，圖3A及圖3B中之符號621U、621D分別表示單元本體621之上游保持部位及下游保持部位。利用該上游保持部位621U保持位於相對於移動體3更靠軸方向X之上游側之上游支架61U，並且利用下游保持部位621D保持位於相對於移動體3更靠軸方向X之下游側之下游支架61D。又，符號621M係位於上游保持部位621U與下游保持部位621D之間之單元本體621之中間部位。進而，符號621T係夾於一對滑輪622、623之間之單元本體621之部位，承受導線624之張力。因此，於本說明書中，將該部位621T稱為「張力作用部位」。

單元72如圖3A及圖3B所示般除第2滑輪支持部721b之長度短於單元62之第2滑輪支持部621b之方面以外，與單元62相同。即於單元72中形成有長條形狀之單元本體721，該單元本體721係於X方向延伸，且第1滑輪支持部721a與第2滑輪支持部721b藉由連結部723連結。而且，滑輪722、723分別旋轉自如地安裝於該等滑輪支持部721a、721b之上表面，並且於該等一對滑輪722、723之間架設有導線724。又，圖3A及圖3B中之符號721U、721D、721M、721T分別表示單元本體721之上游保持部位、下游保持部位、中間部位及張力作用部位。

如此般構成之單元62、72於排列於Y方向之狀態下，分別被支持於第2引導機構8之樹脂滑塊811、812。該第2引導機構8如圖2所示般設置於夾於旋轉軸2與致動器本體10之間之空間。更詳細而言，第2引導機構8係以於X方向延伸之導軌82夾於軌道固定台511、512之間之方式而固定於致動器本體10之上表面。於該導軌82，2個導槽821、822於上方開口並且於X方向延伸設置。該等導槽821、822排列設置於Y方向，導槽821位於支架71D、71U之(-Y)側端部之正下方，另一方面導槽822位於支架61D、61U之(+Y)側端部之正下方。

各導槽821、822如圖2所示般具有Y方向上之開口尺寸窄於槽內部之尺寸之形狀。另一方面，樹脂滑塊811、812包括YZ剖面具有大致T字形狀之長條構件，且自導槽821、822之X方向端面側自如地嵌入至導槽821、822。更詳細而言，樹脂滑塊811、812具有下方端部、中間部及上方端部之3個部分，如圖5所示，雖然各部分之尺寸於X方向上相同，但於Y方向上相互不同。即，於樹脂滑塊811、812中，下方端部之Y方向尺寸稍微窄於導槽821、822之槽內部尺寸，且寬於開口尺寸。又，中間部之Y方向尺寸窄於導槽821、822之開口尺寸，上方端部之Y方向尺寸寬於導槽821、822之開口尺寸。而且，於使上方端部自導槽821向上方突出，並且使下方端部及中間部分別嵌入至導槽821之槽內部及開口部之狀態下，2個樹脂滑塊811嵌入至導槽821，且沿該導槽821於X方向滑動自如。又，2個樹脂滑塊812於與樹脂滑塊811同樣之狀態下嵌入至導槽822，且沿該導槽822於X方向滑動自如。因此，樹脂滑塊811、812於分別與導槽821、822牢固地卡合而限制向除X方向以外之方向之移動之狀態下，可沿導槽821、822僅於X方向移動。因此，於致動器本體10之下表面安裝於水平面上之情形時，樹脂滑塊811、812當然不會分別自導槽821、822脫落，即便於安裝於垂直面或天花板面之情形時，樹脂滑塊811、812亦不會分別自導槽821、822脫落，可一面被導槽821、822引導一面滑動。

而且，單元本體621安裝於如此般構成之2個樹脂滑塊811。更詳細而言，如圖3A及圖3B所明示，自滑輪622、623之旋轉軸之方向即Z方向觀察單元本體621，以與一對滑輪622、623排列於一直線上之方式，2個樹脂滑塊811均連接於單元本體621之中間部位621M而保持單元本體621。藉此，可防止單元本體621因自身重量所致之下垂、翹曲、彎曲等而變形為弓形。即，單元本體621中，不僅上游保持部位621U及下游保持部位621D分別連接於支架61U、61D，中間部位621M亦連接於樹脂滑塊811，故而可有效地防止因自身重量等所致之單元本體621之弓形變形。

又，於本實施形態中，2個樹脂滑塊811之其中一個如圖3B所示般安裝於單元本體621之張力作用部位621T。由於如此般將張力作用部位621T與一樹脂滑塊811連接而限制向Z方向之移位，故而可有效地防止藉由在導線624產生之張力而使張力作用部位621T弓形變形。再者，另一樹脂滑塊811安裝於滑輪623之附近位置。該單元本體621具有旋轉軸2之公螺紋形成區域、即移動體3之移動行程之約2/3左右之長度，一面藉由2個樹脂滑塊811有效地防止單元本體621之弓形變形，一面使單元62及支架61D、61U一體地於X方向穩定地移動自如。

又，單元本體721安裝於2個樹脂滑塊812。該等樹脂滑塊812均如圖3B所示般，於單元本體721之中間部位721M與張力作用部位721T之重疊部位，安裝於單元本體721。因此，與單元本體621側同樣地有效地防止單元本體721之弓形變形。再者，該單元本體721短於單元本體621，具有移動體3之移動行程之約1/3左右之長度，一面藉由樹脂滑塊812有效地防止單元本體721之弓形變形，一面使單元72及支架71D、71U一體地於X方向穩定地移動自如。再者，於本實施形態中，於導軌82設置有2個導槽821D、821U，但亦可代替導軌82而設置2個形成有1個導槽之導軌。關於該點，於下文所述之實施形態中亦同樣。又，於本實施形態中，單元62、72均被支持於2個樹脂滑塊，但樹脂滑塊之個數並不限定於此，可為任意個。

如此，單元62、72可分別獨立地於X方向移動，但為了藉由支架61D、61U、71D、71U有效地防止旋轉軸2之共振，而將移動體3、單元62、72及致動器本體10如下所述般連接。以下，一面參照圖3A、圖3B、圖6及圖7，一面對連接關係及伴隨移動體之移動之各部之動作進行說明。

圖6係表示單元與移動體之連接關係之局部立體圖。又，圖7係模式地表示單元、致動器本體及移動體之連接關係及動作之圖。再者，於圖7中，符號CP表示單元72與移動體3之連接位置，縱向表示時間經過，橫向表示X方向上之位置，各虛線表示與移動體3向(-X)方向之移動對應之各部之移動。尤其是虛線之斜度相當於移動速度，表示伴隨斜度變陡，移動速度變慢。

如圖3A、圖3B及圖7所示，單元62、72排列於與軸方向X正交之排列方向Y。而且，於單元62中，於相對於一對滑輪622、623更靠排列方向Y之上游側、即(-Y)方向側，導線624之一部分藉由固定金屬件11固定於致動器本體10。又，於單元72中，於相對於一對滑輪722、723更靠排列方向Y之下游側、即(+Y)方向側，導線724之一部分如圖6所示般，藉由連結金屬件12與移動體3之滑塊32連結。又，單元62、72相互鄰接，於排列方向Y上，位於上游側之單元62中，於相對於一對滑輪622、23更靠排列方向Y之下游側、即(+Y)方向側，導線624之一部分藉由連結金屬件13而連結於單元72之單元本體721，並且於單元72中，於相對於一對滑輪722、723更靠排列方向Y之上游側、即(-Y)方向側，導線724之一部分藉由連結金屬件14而連結於單元62之單元本體621。

如此般構成之單元62、72係當移動體3藉由旋轉軸2之旋轉而向例如(-X)方向移動時，於圖7之紙面中，於一對滑輪722、723向逆時針方向旋轉，並且一對滑輪622、623較滑輪722、723以低旋轉速度向逆時針方向旋轉之情況下，單元62、72一併連動於移動體3而向(-X)方向移動。但，由於構築有上述連接關係，故而如圖7之虛線所示般單元62之移動速度為移動體3之移動速度之1/3，單元72之移動速度為移動體3之移動速度之2/3。伴隨於此，保持於單元62之支架61D、61U之移動速度亦為移動體3之移動速度之1/3，保持於單元72之支架71D、71U之移動速度亦為移動體3之移動速度之2/3。如此，於本實施形態中，單元62、72作為減速機而發揮功能。因此，如圖7之「支架與移動體之滑動」之欄所示，伴隨移動體3向(-X)方向之移動，於較移動體3更上游側(該圖之右手側)，旋轉軸2之上游端部(軸承4U)、支架61U、71U及移動體3之間隔漸漸變窄，另一方面於較移動體3更下游側(該圖之左手側)，旋轉軸2之下游端部(軸承4D)、支架61D、71D及移動體3之間隔漸漸變寬。藉由此種4個支架61D、61U、71D、71U之移動而有效地抑制旋轉軸2之共振。

如上所述，根據本實施形態，單元本體621保持於樹脂滑塊811，且沿導軌82移動自如。而且，單元62一面利用該單元本體621保持支架對(上游支架61U及下游支架61D)一面使單元本體621連動於移動體3之移動而移動，藉此使支架對沿軸方向Z移動。

如此，於本實施形態中，單元62不僅為使支架對與移動體3之移動連動而進行連動之連動器件，亦作為於與第1引導機構5不同之位置上將支架對沿移動方向X導引之引導器件之一部分而發揮功能。因此，為小型化之構成，且抑制作用於馬達M之負載，並且可一面以優異之驅動效率穩定地引導支架對，一面使支架對連動於移動體3之移動而移動。又，此種作用效果於支架對(上游支架71U及下游支架71D)及單元72側亦同樣。

又，作為用以使支架61U、61D、71U、71D連動於移動體3之移動而移動之連動器件，於本實施形態中使用基本構成相同之2個單元62、72，並且將單元62、72、致動器本體10及移動體3如上所述般連接。由於使用此種連動器件，故而能以低能量使支架61U、61D、71U、71D伴隨移動體3之移動而順利地進行移動。其結果為，可抑制作用於馬達M之負載，儘管增大支架之數量，仍可抑制致動器1之大型化。

又，於單元62(72)中構成為可調整第1滑輪支持部621a(721a)與第2滑輪支持部621b(721b)之間隔，故而可調整導線624(724)之張力。因此，於單元62(72)中，可對導線624(724)施加適當之張力，而使單元本體621(721)良好地移動。其結果，可穩定地發揮對共振產生之抑制功能。

又，由於不僅如上所述般利用單元本體621、721之上游保持部位621U、721U及下游保持部位621D、721D保持支架對，還使中間部位621M、721M連接於樹脂滑塊811、812，故而可有效地防止單元本體621、721之彎曲、翹曲、因自身重量所致之下垂等弓形變形。其結果為，可使支架對連動於移動體3之移動而穩定地移動。

又，樹脂滑塊811可於始終與導槽821牢固地卡合之狀態下沿導槽821移動。關於該點，於單元72中亦同樣。因此，不管致動器1之安裝狀態(水平安裝、垂直安裝、壁掛、懸掛安裝等)，均可使致動器1順利地動作。

又，於單元62、72中，由於在滑輪之間架設有導線，故而單元本體容易受到導線之張力而變形為弓形。然而，由於樹脂滑塊811、812如圖3B所示般安裝於單元本體621、721之張力作用部位621T、721T，故而可抑制上述變形，並且確保所需之導線張力而使致動器1順利地動作。

又，如圖2所示，利用夾於旋轉軸2與致動器本體10之間之空間而設置單元62、72及第2引導機構8。因此，儘管設置有上述連動器件，亦可防止致動器1之寬度方向Y之尺寸增大。

圖8係表示應用本發明之致動器之第2實施形態之立體圖。又，圖9係自圖8中之B-B線之箭頭方向觀察之圖。又，圖10係模式地表示單元、致動器本體及移動體之連接關係之圖。該第2實施形態與第1實施形態相比差異較大之點有2點。首先第1點為進而追加1個共振抑制機構而共振抑制機構成為3個、即追加一對支架91U、91D及單元92。又，第2點為所有支架61U、61D、71U、71D、91U、91D及移動體3 於懸臂狀態下藉由第1引導機構5而於X方向移動自如地支持。再者，由於其他構成基本上相同，故而以下主要說明不同點，對相同構成標註相同符號並省略說明。

於第1引導機構5中，於相對於旋轉軸2更靠寬度方向Y之上游側、即(-Y)方向側，於致動器本體10之上表面固定有於X方向延伸之軌道固定台511，進而於該軌道固定台511上，於X方向延伸設置有導軌521。而且，如圖8所示，自馬達M側，支架用滑塊56D、57D、58D、移動體用滑塊(省略圖示)及支架用滑塊58U、57U、56U於X方向滑動自如地安裝於導軌521。

而且，如圖8所示，移動體3之(-Y)方向側端部安裝於該等滑塊中之移動體用滑塊，且移動體3被以所謂的懸臂狀態支持，並且一面被第1引導機構5於X方向導引一面往返移動自如。另一方面，支架61D、91D、71D、71U、91U、61U分別安裝於剩餘之滑塊中之支架用滑塊56D、57D、58D、58U、57U、56U。該等中支架91U、91D係共振抑制機構9之構成要素，位於相對於移動體3分別更靠軸方向X之上游側及下游側。而且，該等上游支架91U及下游支架91D於被保持於單元92之狀態下於X方向一體地移動自如。再者，支架91U、91D與支架61U、61D、71U、71D同樣地構成為可支持旋轉軸2，且其基本構成均與支架61U、61D、71U、71D相同。

共振抑制機構9之另一個構成要素即單元92，除單元本體921之X方向之長度短於單元62之單元本體621之X方向之長度，且長於單元72之單元本體721之X方向之長度之方面以外，與單元62、72基本上相同。即，單元92包括：長條形狀之單元本體921，其於X方向延伸；一對滑輪922、923(圖10)，其等於方向X相互分開且旋轉自如地設置於單元本體921；及導線924(圖10)，其架設於一對滑輪922、923之間。

而且，單元92係以於Y方向上夾於單元62、72之間之方式配置，單元62、92、72係在排列於Y方向之狀態下，分別被支持於第2引導機構8之樹脂滑塊811、813、812。即便於該第2實施形態中，第2引導機構8亦如圖9所示般將該等單元62、72、92設置於夾於旋轉軸2與致動器本體10之間之空間。更詳細而言，第2引導機構8係於X方向延伸之導軌82在旋轉軸2之下方固定於致動器本體10之上表面。於該導軌82，於X方向延伸設置有3個導槽821、823、822。該等導槽821、823、822排列設置於Y方向，導槽821位於支架61D、61U之(+Y)側端部之正下方，導槽822位於支架71D、71U之(+Y)側端部之正下方，導槽823位於支架91D、91U之(+Y)側端部之正下方。再者，各導槽821、823、822之構造及與樹脂滑塊811、813、812之卡合狀態和第1實施形態之各導槽之構造及與樹脂滑塊之卡合狀態相同。

而且，單元本體621安裝於2個樹脂滑塊811。該單元本體621具有旋轉軸2之公螺紋形成區域、即移動體3之移動行程之約3/4左右之長度，且支架61U、61D分別固定於X方向上游端部及X方向下方端部之上表面。而且，單元62及支架61D、61U藉由樹脂滑塊811而一體地於X方向移動自如。又，單元本體921安裝於2個樹脂滑塊813。該單元本體921短於單元本體621，具有移動體3之移動行程之約2/4(=1/2)左右之長度，且支架91U、91D分別固定於單元本體921之上游保持部位(省略圖示)及下游保持部位(省略圖示)之上表面。該單元本體921之中間部位(省略圖示)被樹脂滑塊813保持，且單元92及支架91D、91U藉由該樹脂滑塊813而一體地於X方向移動自如。進而，單元本體721安裝於2個樹脂滑塊812。該單元本體721進而短於單元本體921，具有移動體3之移動行程之約1/4左右之長度，且支架71U、71D分別固定於X方向上游端部及X方向下方端部之上表面。而且，單元72及支架71D、71U藉由樹脂滑塊812而一體地於X方向移動自如。

如此，單元62、72及單元92可分別獨立地於X方向移動，但為了藉由支架61D、91D、71D、71U、91U、71U有效地防止旋轉軸2之共振，而將移動體3、單元62、單元92、單元72及致動器本體10如下所述般連接。以下，一面參照圖10一面對連接關係進行說明。

於該第2實施形態中，於排列於Y方向之3個單元62、92、72中位於最上游側、即(-Y)方向側之單元62中，與第1實施形態同樣地於相對於一對滑輪622、623更靠排列方向Y之上游側、即(-Y)方向側，導線624之一部分藉由固定金屬件11而固定於致動器本體10。又，於位於最下游側、即(+Y)方向側之單元72中，與第1實施形態同樣地於相對於一對滑輪722、723更靠排列方向Y之下游側、即(+Y)方向側，導線724之一部分藉由連結金屬件12與移動體3之滑塊32連結。

而且，於在排列方向Y上相互鄰接之2組、即單元62與單元92之組合及單元92與單元72之組合中，如圖10所示般連結。即，單元62及單元92相互鄰接，於在排列方向Y上位於上游側之單元62中，於相對於一對滑輪622、623更靠排列方向Y之下游側、即(+Y)方向側，導線624之一部分藉由連結金屬件15連結於單元92之單元本體921，並且於單元92中，於相對於一對滑輪922、923更靠排列方向Y之上游側、即(-Y)方向側，導線924之一部分藉由連結金屬件16連結於單元62之單元本體621。

又，單元92、72相互鄰接，於在排列方向Y上位於上游側之單元92中，於相對於一對滑輪922、923更靠排列方向Y之下游側、即(+Y)方向側，導線924之一部分藉由連結金屬件17連結於單元72之單元本體721，並且於單元72中，於相對於一對滑輪722、723更靠排列方向Y之上游側、即(-Y)方向側，導線724之一部分藉由連結金屬件18連結於單元92之單元本體921。

如此般構成之單元62、92、72係當移動體3藉由旋轉軸2之旋轉而向例如(-X)方向移動時，於圖10之紙面中，一面係一對滑輪722、723向逆時針方向旋轉，一對滑輪922、923較滑輪722、723以低旋轉速度向逆時針方向旋轉，並且一對滑輪622、623較滑輪922、923以更低之旋轉速度向逆時針方向旋轉，一面係單元62、單元92、單元72連動於移動體3而向(-X)方向移動。但，由於構築有上述連接關係，故而單元62之移動速度為移動體3之移動速度之1/4，單元92之移動速度為移動體3之移動速度之2/4(=1/2)，單元72之移動速度為移動體3之移動速度之3/4。伴隨於此，保持於單元62之支架61D、61U之移動速度亦為移動體3之移動速度之3/4，保持於單元92之支架91D、91U之移動速度亦為移動體3之移動速度之2/4(=1/2)，保持於單元72之支架71D、71U之移動速度亦為移動體3之移動速度之3/4。如此，於本實施形態中，單元62、92、72作為減速機而發揮功能。因此，伴隨移動體3向例如(-X)方向之移動，於較移動體3更上游側，旋轉軸2之上游端部(軸承4U)、支架61U、91U、71U及移動體3之間隔漸漸變窄，另一方面於較移動體3更下游側，旋轉軸2之下游端部(軸承4D)、支架61D、92D、71D及移動體3之間隔漸漸變寬。藉由此種6個支架61D、61U、92D、92U、71D、71U之移動而有效地抑制旋轉軸2之共振。

如上所述，根據第2實施形態，由於較第1實施形態增設支架對，故而可進而提高共振抑制效果。而且，伴隨增設支架對，亦追加單元92，但該單元92係具有與第1實施形態中使用之單元62、72相同之基本構成者，且構築與第1實施形態同樣之連接關係，藉此可良好地驅動支架。再者，即便於自第1實施形態增設2個以上之共振抑制機構之情形時，只要增設具有相同構成之單元，並且構築與第1實施形態同樣之連接關係即可。

又，單元本體921保持於樹脂滑塊813，且沿導軌82移動自如。而且，單元92一面利用該單元本體921保持支架對(上游支架91U及下游支架91D)，一面使單元本體921連動於移動體3之移動而移動，藉此使支架對朝軸方向Z移動。因此，獲得與第1實施形態同樣之作用效果。

又，省略圖式之圖示，但不僅利用單元本體921之上游保持部位及下游保持部位保持支架對，還使中間部位與樹脂滑塊813連接，故而針對單元本體921，亦可有效地防止彎曲、翹曲、因自身重量所致之下垂等弓形變形。其結果為，可使支架對連動於移動體3之移動而穩定地移動。

又，由於樹脂滑塊813安裝於單元本體921之張力作用部位(省略圖示)，故而可抑制上述弓形變形，並且確保所需之導線張力而使致動器1順利地動作。

此外，於上述實施形態中，單元62之一部分藉由固定金屬件11固定於致動器本體10，又單元72之一部分藉由連結金屬件12與移動體3之滑塊32連結。因此，於單元之移動開始或移動停止時，有可能對單元施加衝擊而導致於致動器1產生振動。又，於利用連結金屬件13~18所進行之單元間之連結中亦同樣。因此，為了緩和該衝擊，亦可於固定部分或連結部分上，設置所謂的遊隙。例如，如圖11所示，亦可由本體固定構件111、導線保持構件112及壓縮彈簧113構成固定金屬件11。於該固定金屬件11中，本體固定構件111之基端部安裝於致動器本體10。又，於本體固定構件111之自基端部延伸至單元62側之前端部，棒狀突起部與單元62之導線624平行地突出設置於(+X)方向及(-X)方向。

另一方面，於導線保持構件112中，自保持導線624之保持部朝向本體固定構件111延伸設置有2個卡合部。於各卡合部設置有貫通孔，棒狀突起部貫通並可動插入至各貫通孔。因此，雖然導線保持構件112相對於本體固定構件111自如地移動2個卡合部之分開間隔之一半左右，但被限制超過2個卡合部之分開間隔之一半左右之X方向移動、以及Y方向及Z方向之移動。又，於本體固定構件111之前端部與導線保持構件112之卡合部之間，對棒狀突起部外插壓縮彈簧而向X方向賦予施壓力來謀求緩和衝擊力。

於該等實施形態中，樹脂滑塊811、812、813相當於「滑動構件」之一例，藉由使用樹脂材料而謀求滑動構件之輕量化，從而謀求減輕馬達M之負載，但亦可使用由除樹脂材料以外之材料、例如金屬材料形成之滑塊作為「滑動構件」。

再者，本發明並不限定於上述實施形態，可於不脫離本發明之主旨之範圍內，對上述各部分施加各種變更。例如，於上述實施形態中，就單元本體621、721、921之輕量化及剛性確保之觀點而言，將單元本體之YZ剖面精加工為大致倒U字形狀，但單元本體之剖面形狀並不限定於此。例如，如圖12A所示，亦可精加工為大致H字形狀。又，例如，如圖12B~圖12D所示，亦可於單元本體之內部設置中空部。

又，於上述實施形態中，如圖2或圖9所示，複數個滑輪於旋轉軸與Z方向平行之狀態下排列於Y方向，但可對滑輪之配置狀態或排列方向進行適當變更。例如複數個滑輪亦可於旋轉軸與Y方向平行之狀態下排列於Y方向。又，複數個滑輪亦可於旋轉軸與Z方向平行之狀態下排列於高度方向Z，此時，成為複數個單元積層配置於高度方向Z之構造。

又，於上述實施形態中，例如於第1實施形態中，由單元62、72構成一單元群，且構成為使4個支架61U、61D、71U、71D連動於移動體3而移動。此處，亦可於移動體3之(+Y)方向側配置上述一單元群，並且於(-Y)方向側配置另一單元群，此時，藉由作為整體之4個單元使複數個支架連動於移動體3而移動，從而可使多個支架更穩定地移動。當然，各單元群之單元數並不限定於「2」，亦可為3以上。

又，於上述第1實施形態中，於移動體3之(+Y)方向側及(-Y)方向側分別設置2個支架，並且分別設置2個單元，本發明之「M」為「2」。而且，支架71U、71D相當於本發明之「第1個支架」，另一方面支架91U、91D相當於本發明之「第2個支架」。又，單元72、62分別相當於本發明之「第1個減速機」、「第2個減速機」之一例。而且，共振抑制機構7、6分別相當於本發明之「第1個裝置」及「第2個裝置」。

又，於上述第2實施形態中，於移動體3之(+Y)方向側及(-Y)方向側分別設置3個支架，並且分別設置3個單元，本發明之「M」為「3」。而且，支架71U、71D相當於本發明之「第1個支架」，支架91U、91D相當於本發明之「第2個支架」，支架61U、61D相當於本發明之「第3個支架」。又，單元72、92、62分別相當於本發明之「第1個減速機」、「第2個減速機」及「第3個減速機」之一例。而且，共振抑制機構7、9、6分別相當於本發明之「第1個裝置」、「第2個裝置」及「第3個裝置」。

此處，關於值M之值，並不限定於上述之「2」、「3」，亦可為4以上，總之可設本發明之「M」為2以上之整數，藉由將M個單元連續地連接，獲得N/(N+1)、(N-1)/(N+1)、…、1/(N+1)之減速比。

又，於上述實施形態中，在各單元中，使用滑輪作為本發明之「旋轉構件」，並且使用導線作為本發明之「環狀索體」，但「旋轉構件」及「環狀索體」之組合並不限定於此。例如包含鏈輪與鏈條之組合、滑輪與皮帶之組合等。

又，於上述第1實施形態中，構成為使樹脂滑塊811、812沿形成於導軌82之導槽821、822而分別於X方向滑動自如，但導軌82之構成並不限定於此，例如，如圖13A及圖13B所示，亦可使用具有大致I字形狀之YZ剖面之導軌83(第3實施形態)。於該第3實施形態中，於樹脂滑塊812之底面中央部，自如嵌合於導軌83之上部831之形狀之槽812a於X方向延伸設置，樹脂滑塊812自導軌83之X方向端面側滑動自如地外嵌於導軌83之上部831。藉此，可有效地防止異物混入至滑動部分，從而可使單元72穩定地於X方向移動。又，於該圖中，僅對單元72側之引導機構進行圖示，但於第3實施形態中，對單元62側亦設置具有同樣之構成之引導機構，從而可使單元62穩定地於X方向移動。再者，關於此種引導機構，當然亦可應用於第2實施形態或其他實施形態。

又，於上述實施形態中，利用2個樹脂滑塊保持各單元本體621、721、921，但樹脂滑塊之個數並不限定於「2」，可為1以上之任意自然數。又，樹脂滑塊之形狀亦不限定於上述實施形態中之樹脂滑塊之形狀，只要沿導軌滑動自如，便可為任意形狀。

又，於第1實施形態中，如圖3A及圖3B所示，於單元62中，僅將2個樹脂滑動811中之一者安裝於單元本體621之張力作用部位621T，相對於此，於單元72中，將2個樹脂滑動812均安裝於單元本體721之張力作用部位721T，但樹脂滑塊於張力作用部位之安裝個數只要設置1個以上即可。

又，於上述實施形態中，在任一共振抑制機構中，均利用單元本體保持2個支架，但各共振抑制機構中之支架之數量並不限定於此，可為任意個。又，亦可使每個共振抑制機構中之支架之數量為不同。

又，於上述第1實施形態中，將本發明應用於包括2個共振抑制機構之致動器，相對於此，又於上述第2實施形態中，將本發明應用於包括3個共振抑制機構之致動器，但本發明之應用對象並不限定於其等。即，本發明亦可應用於包括1個或4個以上之共振抑制機構之致動器。

此外，於藉由支架支持如滾珠螺桿般之旋轉軸之構成中，由於支架接觸旋轉軸，故而於旋轉之旋轉軸與支架之間作用有摩擦力。另一方面，就抑制使旋轉軸旋轉之驅動源之負載之觀點而言，較佳為旋轉軸與支架之間之摩擦力較小。因此，考慮到藉由於旋轉軸之軸方向使支架小型化，而使旋轉軸與支架接觸之部分狹小，從而減少該等之間之摩擦力。然而，若於旋轉軸之軸方向使支架小型化，則支架卡合於如軌道般之引導構件之部分變窄，而導致支架之支持不穩定，其結果會有無法有效地抑制旋轉軸之共振之虞。

因此，較佳為可一面降低旋轉軸與支架之間之摩擦力而抑制驅動源之負載，一面穩定地支持支架而有效地抑制旋轉軸之共振。另一方面，雖然上文並未進行詳述，但上述實施形態中所示之支架具備可兼顧抑制驅動源之負載及抑制旋轉軸之共振之構成。因此，繼而對該點進行詳述。再者，與支架相關之該技術不僅可應用於使支架連動於移動體之移動之上述致動器，亦可應用於具備與上述構成不同之構成之致動器(圖14~圖21)。因此，以下之說明中所示之致動器未必使支架連動於移動體之移動。

圖14係表示致動器之變化例之立體圖。圖15係例示於圖14之致動器之俯視圖。於兩圖及以下之圖中，適當表示將致動器之長度方向設為X方向、將致動器之寬度方向設為Y方向(正交於X方向)、將致動器之厚度方向設為Z方向(正交於X方向及Y方向)之XYZ正交座標軸。又，將各座標軸之箭頭側適當稱為正側，將各座標軸之箭頭之相反側適當稱為負側。

該致動器21係包括如下部分之單軸機器人，即包括：單一之旋轉軸22；及移動體23，其伴隨旋轉軸22之旋轉而移動。致動器21包括由例如不鏽鋼等合金鋼或鋁等金屬(輕金屬)構成之框體210。框體210 於X方向具有長條形狀，且於X方向之兩側開口。進而，框體210亦於Z方向正側開口。藉此，可自Z方向經由開口將致動器21之構成零件安裝於框體210，從而謀求致動器21之組裝之容易化。

旋轉軸22係向與X方向平行之軸方向以直線狀延伸之螺桿，且配置於框體210之Y方向之中央。致動器21包括分別固定於框體210之X方向之兩端部之2個軸承構件24，旋轉軸22之X方向之各端部藉由軸承構件24可旋轉地支持。進而，致動器21包括固定於X方向正側之框體210之端部之馬達M，X方向正側之軸承構件24將馬達M與旋轉軸22相互結合。因此，藉由以馬達M驅動旋轉軸22，而可使旋轉軸22繞其中心線旋轉。

移動體23藉由螺母而螺合於旋轉軸22，伴隨旋轉軸22之旋轉，沿旋轉軸22向X方向移動。該移動體23之移動係藉由與旋轉軸22平行地配置之導軌25導引。即，於框體210中，在旋轉軸22之Y方向之兩側分別固定有導軌25，移動體23一面以Y方向之兩端部卡合於導軌25，一面沿導軌25向X方向移動。

又，致動器21包括一面卡合於旋轉軸22一面支持旋轉軸22之支架26。具體而言，於框體210內，於X方向之兩端之軸承構件24之各者與移動體23之間，設置有2個支架26。如此，於較移動體23更X方向正側及X方向負側之各者上，2個支架26沿旋轉軸22排列。各支架26可一面支持旋轉軸22一面沿旋轉軸22移動，如例如圖14及圖15之較移動體23更X方向正側所示般，各支架26係於連結於移動體23之狀態下，伴隨移動體23移動。但支架26之可移動範圍於每一支架26不同。針對該點，對設置於較移動體23更X方向正側之支架26、及設置於較移動體23更X方向負側之支架26分別進行說明。

首先，對設置於較移動體23更X方向正側之2個支架26進行說明。致動器21於旋轉軸22之Y方向負側包括沿X方向排列之2個止擋 27。該等止擋27為了使各支架26停止於X方向上相互不同之停止位置Ps(1)、Ps(2)，而配置於停止位置Ps(1)、Ps(2)。再者，停止位置Ps(1)位於X方向正側，停止位置Ps(2)位於X方向負側。

對應於停止位置Ps(1)之止擋27將2個支架26中X方向正側之支架26之可移動範圍限制於自停止位置Ps(1)向X方向正側。因此，X方向正側之支架26於自停止位置Ps(1)向X方向正側之可移動範圍(包含停止位置Ps(1))內，可伴隨移動體23移動，但當移動體23向較該可移動範圍更X方向負側移動時，自移動體23脫落而停止於停止位置Ps(1)。又，對應於停止位置Ps(2)之止擋27將2個支架26中X方向負側之支架26之可移動範圍限制於自停止位置Ps(2)向X方向正側。因此，X方向負側之支架26於自停止位置Ps(2)向X方向正側之可移動範圍(包含停止位置Ps(2))內，可伴隨移動體23移動，但當移動體23向較該可移動範圍更X方向負側移動時，自移動體23脫落而停止於停止位置Ps(2)。

於此種構成中，各支架26可於停止位置Ps(1)、Ps(2)停止而支持移動體23，另一方面能以不妨礙移動體23之移動之方式，於自停止位置Ps(1)、Ps(2)向軸承構件24側之可移動範圍內向X方向移動。即，於移動體23相對於停止位置Ps(1)、Ps(2)於可移動範圍之相反側移動之期間，支架26停止於停止位置Ps(1)、Ps(2)而支持旋轉軸22。另一方面，於移動體23進入可移動範圍之期間，支架26伴隨移動體23移動，且不妨礙移動體23於可移動範圍中之移動。如此，可於不妨礙移動體23之移動之情況下，藉由支架26支持旋轉軸22而抑制旋轉軸22之振動。

繼而，對設置於較移動體23更X方向負側之2個支架26進行說明。致動器21於旋轉軸22之Y方向正側包括排列於X方向之2個止擋27。該等止擋27為了使各支架26停止於X方向上相互不同之停止位置Ps(3)、Ps(4)，而配置於停止位置Ps(3)、Ps(4)。再者，停止位置Ps(3) 位於X方向負側，停止位置Ps(4)位於X方向正側。

對應於停止位置Ps(3)之止擋27將2個支架26中X方向負側之支架26之可移動範圍限制於自停止位置Ps(3)向X方向負側。因此，X方向負側之支架26於自停止位置Ps(3)向X方向負側之可移動範圍(包含停止位置Ps(3))內，可伴隨移動體23移動，但當移動體23向較該可移動範圍更X方向正側移動時，自移動體23脫落而停止於停止位置Ps(3)。又，對應於停止位置Ps(4)之止擋27將2個支架26中X方向正側之支架26之可移動範圍限制於自停止位置Ps(4)向X方向負側。因此，X方向正側之支架26於自停止位置Ps(4)向X方向負側之可移動範圍(包含停止位置Ps(4))內，可伴隨移動體23移動，但當移動體23向較該可移動範圍更X方向正側移動時，自移動體23脫落而停止於停止位置Ps(4)。

於此種構成中，各支架26可於停止位置Ps(3)、Ps(4)停止而支持移動體23，另一方面能以不妨礙移動體23之移動之方式，於自停止位置Ps(3)、Ps(4)向軸承構件24側之可移動範圍內向X方向移動。如此，可於不妨礙移動體23之移動之情況下，藉由支架26支持旋轉軸22而抑制旋轉軸22之振動。

如此，移動體23可一面適當伴隨支架26一面沿旋轉軸22移動。致動器21為了限制此種移動體23之移動範圍而包括止擋28。該止擋28分別設置於框體210之X方向之兩端部，且於較軸承構件24更內側固定於框體210。因此，移動至X方向之端部之移動體23抵接止擋28而停止。

以上為致動器21之概要。繼而，對支架26之詳細構成進行說明。再者，4個支架26具備大致同樣之構成，故而此處以設置於移動體23之X方向負側之2個支架26中、設置於X方向負側之支架26為代表進行說明。

圖16係例示支架及其周邊之構成之立體圖。圖17係例示支架及其周邊之構成之俯視圖。再者，於圖17中，被構件60遮蔽而看不到之構件64係以單點鏈線表示。圖18係例示支架及其周邊之構成之局部剖面圖，例示通過旋轉軸22之中心線之ZX剖面。

支架26具備將軸接觸部262及引導卡合部264安裝於框架260之概略構成。框架260包括例如不鏽鋼等合金鋼或鋁等金屬(輕金屬)，且包括：軸對向部2601，其自Z方向正側及Y方向之兩側包圍旋轉軸22；及引導對向部2602，其自Z方向正側與導軌25對向。而且，軸接觸部262固定於框架260之軸對向部2601之Z方向負側，引導卡合部264固定於框架260之引導對向部2602之負側。

軸接觸部262包括自X方向之兩側螺固於軸對向部2601之2個分割襯套2622。各分割襯套2622包括一對半圓構件2624，各半圓構件2624包括樹脂，且具有被切割為半圓狀之接觸部分2624a。如此成對之2個半圓構件2624一面以接觸部分2624a接觸旋轉軸22，一面自Z方向之兩側卡合於旋轉軸22。如此，軸接觸部262可一面以2個分割襯套2622各自之接觸部分2624a接觸旋轉軸22，一面沿旋轉軸22向X方向移動。即，於分割襯套2622與旋轉軸22之間設置有微小間隙(遊隙)。

如此般構成之軸接觸部262沿旋轉軸22於X方向具有長度L1。此處，長度L1可作為如下距離求得，該距離係設置有軸接觸部262接觸旋轉軸22之接觸部分2624a之範圍之X方向上的兩端之間之距離。因此，於此處之例中，長度L1可作為如下距離求得，該距離係X方向正側之分割襯套2622接觸旋轉軸22之接觸部分2624a之X方向正側之端、與X方向負側之分割襯套2622接觸旋轉軸22之接觸部分2624a之X方向負側之端之X方向上的距離。

引導卡合部264具有被切割為與X方向平行地延伸之槽狀之卡合部分264a，且以卡合部分264a卡合於導軌25。如此，引導卡合部264可一面以卡合部分264a卡合於導軌25，一面沿導軌25向X方向移動。如此般構成之引導卡合部264沿旋轉軸22於X方向具有長於長度L1之長度L2(L2>L1)。此處，長度L2作為如下距離求得，該距離係設置有引導卡合部264卡合於導軌25之卡合部分264a之範圍之X方向上的兩端之間之距離。因此，於此處之例中，長度L2作為如下距離求得，該距離係X方向上之卡合部分264a的兩端之間之距離。

即，引導卡合部264於旋轉軸22之軸方向(X方向)長於軸接觸部262，且具有相對於軸接觸部262向X方向之正側突出之突出部分264b。對應於此，安裝有引導卡合部264之引導對向部2602較安裝有軸接觸部262之軸對向部2601於X方向更長，且具有相對於軸對向部2601向X方向之正側突出之突出部分2602b。再者，於此處之例中，引導對向部2602於X方向稍微長於引導卡合部264。

如此，支架26一面以引導卡合部264卡合於導軌25，一面以軸接觸部262支持旋轉軸22。此時，引導卡合部264可沿導軌25向X方向移動，軸接觸部262可沿旋轉軸22向X方向移動。因此，支架26可作為整體向X方向移動。

進而，支架26於軸對向部2601之Z方向正側之端部具有可繞平行於Y方向之旋轉中心而旋轉之輥266。上述輥266由彈簧等彈性構件向Z方向正側施壓，而用於將支架26卡合於移動體23。又，支架26具有相對於軸對向部2601向Z方向負側突出之抵接部2603。上述抵接部2603係用於藉由抵接止擋27而使支架26脫離移動體23。

繼而，與移動體23之詳細構成一併對支架26進行說明。圖19係例示移動體及其周邊之構成之立體圖。圖20係例示移動體及其周邊之構成之局部剖面圖，例示通過旋轉軸22之中心線之ZX剖面。於圖19及圖20中，例示移動體23卡合於X方向正側之2個支架26之狀態。

移動體23巴庫：矩形狀之平台230，其具有平行於X方向及Y方向之平面；及螺母231，其固定於平台230之Z方向下側，且螺合於旋轉軸22。即，由旋轉軸22與螺母231構成滾珠螺桿。進而，移動體23包括卡合脫離自如地卡合於支架26之輥266之鉤232。鉤232於X方向之兩側設置於平台230，相對於平台230向X方向突出，且位於旋轉軸22之Z方向上側。構成移動體23之平台230、螺母231及鉤232包括例如不鏽鋼等合金鋼或鋁等金屬(輕金屬)。

而且，移動體23之各鉤232最大可一下卡合於2個支架26。此時，卡合於鉤232之2個支架26交替地配置，且構成為於X方向上局部重疊地收納。以較移動體23更X方向正側之2個支架26為代表對該點進行說明。

2個支架26於使各自之突出部分264b、2602b朝向彼此突出之狀態下，在X方向上對向。即，一支架26之突出部分264b、2602b向另一支架26側突出，並且另一支架26之突出部分264b、2602b向一支架26側突出。此時，2個支架26一面卡合於相互不同之導軌25，一面於X方向相互對向，各支架26之突出部分264b、2602b於Y方向相互偏離。即，一支架26之突出部分264b、2602b於Y方向上偏離另一支架26，並且另一支架26之突出部分264b、2602b於Y方向上偏離一支架26。因此，當2個支架26接近時，一支架26之突出部分264b、2602b於X方向上與另一支架26之軸接觸部262、軸對向部2601重疊，並且另一支架26之突出部分264b、2602b於X方向上與一支架26之軸接觸部262、軸對向部2601重疊。如此，2個支架26可一面於X方向上彼此局部重疊一面卡合於鉤232。

圖21係模式地例示致動器之動作之動作說明圖。按照步驟1~步驟5之順序，對移動體23自X方向負側之端部移動至X方向正側之端部之情形進行說明。於步驟1中，移動體23位於其移動範圍之X方向負側，處於其移動範圍中距離X方向正側之軸承構件24最遠之位置。此時，較移動體23更X方向負側之2個支架26均卡合於移動體23，較移動體23更X方向正側之2個支架26抵接止擋27而停止於各自之停止位置Ps(1)、Ps(2)。

於步驟1所示之狀態中，針對軸承構件24、距離該軸承構件24最遠之移動體23、及該軸承構件24與移動體23之間之支架26，各自之間之沿旋轉軸22之間隔C1、C2、C3相對於旋轉軸22之最高旋轉數滿足特定之條件。此處，最高旋轉數係當使用致動器21時所容許之旋轉軸22之旋轉數之最高值，一般而言，於致動器之目錄、設計說明書或操作說明書等中有規定。由於以此方式規定最高旋轉數，故而於實際之使用中，旋轉軸22係以最高旋轉數以下之旋轉數進行旋轉。因此，於旋轉軸22上可能產生之振動模式中，節間距離長於與旋轉軸22之最高旋轉數之旋轉共振之旋轉軸22之基本振動之半波長。相對於此，將間隔C1、C2、C3均設定為短於與旋轉軸22之最高旋轉數之旋轉共振之旋轉軸22之基本振動之半波長。因此，可藉由軸承構件24、支架26及移動體23控制旋轉軸22之振動，而抑制噪音或旋轉軸22之破損。

進而，亦設定間隔C1、C2、C3之相互關係，具體而言，將間隔C2及間隔C3設定為長於間隔C1。此時，關於間隔C2、C3，該等可彼此相等，亦可其中一者長於另一者。

即，間隔C1係相互鄰接之軸承構件24與支架26之沿旋轉軸22之間隔。上述間隔C1可作為如下距離求得，該距離係設置有軸承構件24接觸旋轉軸22之部分的範圍之支架26側之端、與設置有支架26接觸旋轉軸22之接觸部分2624a的範圍之軸承構件24側之端(長度L1之軸承構件24側之端)之沿旋轉軸22之距離。間隔C2係相互鄰接之2個支架26之沿旋轉軸22之間隔。上述間隔C2可作為如下距離求得，該距離係設置有一支架26接觸旋轉軸22之接觸部分2624a的範圍之另一支架26側之端(長度L1之另一支架26側之端)、與設置有另一支架26接觸旋轉軸22之接觸部分2624a之範圍的一支架26側之端(長度L1之一支架26側之端)之沿旋轉軸22之距離。間隔C3係相互鄰接之支架26與移動體23之沿旋轉軸22之間隔。上述間隔C3可作為如下距離求得，該距離係設置有支架26接觸旋轉軸22之接觸部分2624a的範圍之移動體23側之端(長度L1之移動體23側之端)、與設置有移動體23(之螺母231)接觸旋轉軸22之部分的範圍之支架26側之端之沿旋轉軸22之距離。

旋轉軸22自步驟1之狀態接受馬達M之驅動而開始旋轉，移動體23朝向X方向正側開始移動後，較移動體23更X方向負側之2個支架26伴隨移動體23向X方向正側移動。繼而，如步驟2所示，於移動體23朝向X方向正側通過停止位置Ps(3)之過程中，卡合於移動體23之2個支架26中、X方向負側之支架26(之抵接部2603)抵接於與停止位置Ps(3)對應之止擋27。再者，該等支架26中、X方向負側之支架26之抵接部2603較X方向正側之支架26之抵接部2603更向止擋27側突出，抵接於與停止位置Ps(3)對應之止擋27，另一方面X方向正側之支架26並不抵接該止擋27而通過該止擋27。因此，如步驟3所示，X方向負側之支架26自移動體23脫落，停止於停止位置Ps(3)，另一方面X方向正側之支架26伴隨移動體23移動。

如步驟3所示，當移動體23碰撞於停止於停止位置Ps(2)之支架26時，該支架26卡合於移動體23而伴隨移動體23移動。又，如步驟4所示，於移動體23朝向X方向正側通過停止位置Ps(4)之過程中，卡合於移動體23之支架26(之抵接部2603)抵接於與停止位置Ps(4)對應之止擋27。因此，如步驟5所示，該支架26自移動體23脫落而停止於停止位置Ps(3)。繼而，如步驟5所示，當移動體23碰撞於停止於停止位置Ps(1)之支架26時，該支架26卡合於移動體23而伴隨移動體23移動，且移動體23藉由抵接止擋28而停止。再者，以如下方式設置止擋28，即於移動體23抵接止擋28之狀態下，在卡合於移動體23之軸承構件24與軸承構件24之間空開空隙△。

又，與上述相反，於移動體23自X方向負側之端部移動至X方向正側之端部之情形時，以步驟5~1之順序執行。此時，於步驟5所示之狀態中，針對軸承構件24、距離該軸承構件24最遠之移動體23、及該軸承構件24與移動體23之間之支架26，各自之間之沿旋轉軸22之間隔C4、C5、C6與上述之間隔C1、C2、C3滿足同樣之條件。即，將間隔C1、C2、C3均設定為短於與旋轉軸22之最高旋轉數之旋轉共振之旋轉軸22之基本振動之半波長，且可藉由軸承構件24、支架26及移動體23控制旋轉軸22之振動，而抑制噪音或旋轉軸22之破損。進而，亦設定間隔C4、C5、C6之相互關係，具體而言，將間隔C5及間隔C6設定為長於間隔C4。再者，關於間隔C5、C6，該等可彼此相等，亦可其中一者長於另一者。而且，自上述狀態，一面依序執行步驟4~1，一面使移動體23朝向X方向負側移動。

如上所述，於致動器21中，支架26包括：引導卡合部264，其卡合於導軌25(引導構件)；及軸接觸部262，其與旋轉軸22接觸而支持旋轉軸22；且於X方向(軸方向)上，引導卡合部264長於軸接觸部262(L2>L1)。即，支架26一面以比較窄之軸接觸部262接觸旋轉軸22，一面以比較寬之引導卡合部264卡合於導軌25。因此，使支架26以較窄之軸接觸部262接觸旋轉軸22，可降低旋轉軸22與支架26之間之摩擦力，並且使支架26以較寬之引導卡合部264牢固地卡合於導軌25，可穩定地支持支架26。其結果為，可一面降低旋轉軸22與支架26之間之摩擦力而抑制馬達M(驅動源)之負載，一面穩定地支持支架26而有效地抑制旋轉軸22之共振。

此外，於上述致動器21中，於移動體23與軸承構件24之間，具備排列於X方向之複數(2個)個支架26。於如此般由複數個支架26支持旋轉軸22之構成中，複數個支架26之各者與旋轉軸22之間產生摩擦力。因此，要求對各個支架26降低摩擦力而抑制馬達M之負載。但不僅要求降低摩擦力，亦一併要求穩定地支持支架26而有效地抑制旋轉軸22之共振。因此，極佳為以此處所示之方式構成。

附帶而言，當沿旋轉軸22鄰接之2個支架26相互接近時，一支架26之引導卡合部264之突出部分2602b於X方向上與另一支架26之軸接觸部262重疊，並且另一支架26之引導卡合部264之突出部分2602b於X方向上與一支架26之軸接觸部262重疊。即，可使鄰接之2個支架26於X方向上重疊。因此，可將該等支架26於軸方向小型化地收納，從而可謀求移動體23之行程之長條化。

又，於X方向鄰接之支架26彼此的沿旋轉軸22之間隔C2、C5，長於在X方向鄰接之停止位置Ps(1)、Ps(3)之支架26與軸承構件24之沿旋轉軸22之間隔C1、C4。即，於由複數(2個)個支架26支持旋轉軸22之上述構成中，旋轉軸22實質上藉由軸承構件24及鄰接於軸承構件24之支架26而固定支持，故而相對於該支架26，於軸承構件24之相反側，藉由此種固定支持旋轉軸22牢固地支持。因此，即便將於X向鄰接之支架26彼此的沿旋轉軸22之間隔C2、C5規定得長於在X向鄰接之停止位置之支架26與軸承構件24之沿旋轉軸22之間隔C1、C4，亦可抑制旋轉軸22之共振。尤其是藉由如此般規定，可使停止於停止位置之支架26彼此之間隔較寬，而容易實現例如一面抑制支架26之個數一面謀求移動體23之行程之長條化之設計。

又，移動體23具有可卡合脫離地卡合於支架26之輥266(被卡合部)之鉤232(卡合部)。而且，當移動體23自一側通過停止位置時，使停止位置上停止之支架26卡合於鉤232後，伴隨卡合於鉤232之支架26而移動，另一方面，當移動體23自另一側通過停止位置時，將藉由止擋27(止擋件)停止於停止位置並自鉤232脫落之支架26留在停止位置後移動。於此種構成中，藉由使移動體23之鉤232與支架26之輥266卡合脫離而可容易地執行使支架26伴隨移動體23移動之動作、及使支架 26自移動體23脫落而停止於停止位置之動作。

此時，於移動體23之鉤232與支架26之輥266接觸之狀態下，輥266被彈性力朝向鉤232施壓。於此種構成中，當進行移動體23之鉤232與支架26之輥266之卡合脫離時，輥266根據於鉤232與輥266之間作用之應力而彈性地移位(具體而言，輥266藉由如下應力而彈性地移位，該應力係自於鉤232之前端向Z方向負側突出之突起受到之應力)。因此，可順利地進行移動體23之鉤232與支架26之輥266之卡合脫離。

又，支架26藉由旋轉自如之輥266卡合於移動體23之鉤232。於此種構成中，當進行移動體23之鉤232與支架26之輥266之卡合脫離時，輥266根據於鉤232與輥266之間作用之應力而旋轉。因此，可順利地進行移動體23之鉤232與支架26之輥266之卡合脫離。

又，具備止擋28(移動限制器件)，該止擋28使接近軸承構件24之移動體23於卡合於移動體23之支架26與軸承構件24之間空出空隙△之狀態下停止。於此種構成中，可避免設置於移動體23與軸承構件24之間之支架26伴隨移動體23之移動而碰撞於軸承構件24。因此，由於將支架26之軸接觸部262構成為較窄，故而例如即便為軸接觸部262之強度不大之情形，亦可抑制軸接觸部262因軸承構件24之衝擊而破損。

又，藉由共用之導軌25執行移動體23之移動之導引及支架26之移動之導引之兩者。因此，無需對移動體23及支架26分別設置用以導引移動之構件，而可謀求致動器21之構成之簡化。

。再者，與支架相關之該技術並不限定於此處所示之技術，可於不脫離其主旨之範圍內施加各種變更。例如，於上述實施形態中，藉由止擋27使支架26適當停止於停止位置Ps(1)~Ps(4)。然而，如圖1~圖13B所示，亦可應用於如下致動器，該致動器構成為使支架連動於移動體而移動。

進而，亦可對支架26之具體構成進行各種變形。例如於上述中，引導卡合部264之突出部分264b相對於軸接觸部262僅向X方向之一側突出。然而，亦可使引導卡合部264之突出部分264b相對於軸接觸部262向X方向之兩側突出而構成為T字狀。

或者，於上述中，隔著框架260將軸接觸部262與引導卡合部264相互安裝。然而，亦可不隔著框架260，而藉由例如螺固等安裝軸接觸部262與引導卡合部264，或將軸接觸部262與引導卡合部264一體地構成。

又，軸接觸部262及引導卡合部264之具體構成亦不限定於上述構成。因此，可由1個或3個以上之分割襯套2622構成軸接觸部262，亦可由除分割襯套2622以外之零件構成軸接觸部262。

又，於上述中，於移動體23之鉤232與支架26之輥266接觸之狀態下，輥266被彈性力朝向鉤232施壓。然而，亦可構成為鉤232被彈性力朝向輥266施壓。

又，於上述中，於移動體23設置有鉤232，於支架26設置有輥266。然而，亦可於移動體23設置有輥266，於支架26設置有鉤232。

又，於圖14所示之致動器21中，使移動體23與支架26連結之構成亦不限定於利用上述之鉤232與輥266進行連結者，亦可為藉由例如磁力等進行吸附之構成。

又，上述間隔C1~C6之相互之大小關係並不限定於上述之內容。因此，間隔C1亦可為間隔C2或間隔C3以上，且間隔C4亦可為間隔C5或間隔C6以上。同樣地間隔C11亦可為間隔C12或間隔C13以上。

又，設置於軸承構件24與移動體23之間之支架26之個數並不限定於2個，亦可為1個或3個以上。

又，連動機構29用以使支架26連動之具體構成亦不限定於上述構成，支架26之位置或移動速度亦可適當進行變更。

總之，圖14~圖21所示之致動器包括：旋轉軸，其於軸方向延伸；驅動源，其使旋轉軸旋轉；移動體，其安裝於旋轉軸，且根據旋轉軸之旋轉而向軸方向移動；軸承構件，其支承旋轉軸；引導構件，其沿旋轉軸設置，且於軸方向延伸；及支架，其可一面卡合於引導構件一面沿引導構件移動，且於移動體與軸承構件之間支持旋轉軸；且支架包括：引導卡合部，其卡合於引導構件；及軸接觸部，其與旋轉軸接觸而支持旋轉軸；於軸方向上，引導卡合部長於軸接觸部。

於如此般構成之致動器中，支架包括：引導卡合部，其卡合於引導構件；及軸接觸部，其與旋轉軸接觸而支持旋轉軸；於軸方向上，引導卡合部長於軸接觸部。即，支架一面以比較窄之軸接觸部接觸旋轉軸，一面以比較寬之引導卡合部卡合於引導構件。因此，使支架以較窄之軸接觸部接觸旋轉軸，可降低旋轉軸與支架之間之摩擦力，並且使支架以較寬之引導卡合部牢固地卡合於引導構件，可穩定地支持支架。其結果為，可一面降低旋轉軸與支架之間之摩擦力而抑制驅動源之負載，一面穩定地支持支架而有效地抑制旋轉軸之共振。

又，亦可將致動器構成為於移動體與軸承構件之間包括排列於軸方向之複數個支架。於如此般由複數個支架支持旋轉軸之構成中，複數個支架之各者與旋轉軸之間產生摩擦力。因此，要求對各個支架降低摩擦力，而抑制驅動源之負載。但，不僅要求降低摩擦力，亦一併要求穩定地支持支架而有效地抑制旋轉軸之共振。因此，極佳為以此處所示之方式構成。

又，亦可將致動器構成為：於與軸方向正交之寬度方向上之旋轉軸之兩側分別包括引導構件，沿旋轉軸鄰接之2個支架以各自之引導卡合部卡合於相互不同之引導構件。

此時，亦可將致動器構成為：2個支架中的一支架之引導卡合部具有相對於軸接觸部向另一支架側突出之突出部分，另一支架之引導卡合部具有相對於軸接觸部向一支架側突出之突出部分，一支架之引導卡合部之突出部分於寬度方向上偏離另一支架，另一支架之引導卡合部之突出部分於寬度方向上偏離一支架，當2個支架相互接近時，一支架之引導卡合部之突出部分於軸方向上與另一支架之軸接觸部重疊，並且另一支架之引導卡合部之突出部分於軸方向上與一支架之軸接觸部重疊。

於此種構成中，當沿旋轉軸鄰接之2個支架相互接近時，一支架之引導卡合部之突出部分於軸方向上與另一支架之軸接觸部重疊，並且另一支架之引導卡合部之突出部分於軸方向上與一支架之軸接觸部重疊。即，可使鄰接之2個支架於軸方向上重疊。因此，可將該等支架於軸方向小型化地收納，從而可謀求移動體之行程之長條化。

又，亦可將致動器構成為：進而包括使複數個支架之各者停止於相互不同之停止位置之止擋件，複數個支架之各者於自停止位置向軸承構件側之可移動範圍內可向軸方向移動，於移動體相對於上述停止位置而於可移動範圍之相反側移動之期間，複數個支架之各者藉由止擋件而停止於停止位置，於移動體進入可移動範圍之期間，伴隨移動體而於可移動範圍內移動。

於此種構成中，支架可停止於停止位置上而支持旋轉軸，另一方面能以不妨礙移動體之移動之方式，於自停止位置向軸承構件側之可移動範圍內向軸方向移動。即，於移動體相對於停止位置而於可移動範圍之相反側移動之期間，支架停止於停止位置而支持旋轉軸。另一方面，於移動體進入可移動範圍之期間，支架伴隨移動體而移動，且不妨礙移動體於可移動範圍內之移動。如此，可於不妨礙移動體之移動之情況下，藉由支架支持旋轉軸而抑制旋轉軸之振動。而且，藉由以此處所示之方式構成，可一面降低旋轉軸與支架之間之摩擦力而抑制驅動源之負載，一面穩定地支持支架而有效地抑制旋轉軸之共振。

此時，亦可將致動器構成為：止擋件將於軸方向鄰接之支架彼此的沿旋轉軸之間隔規定得長於在軸方向鄰接之停止位置之支架與軸承構件之沿旋轉軸之間隔。即，於由複數個支架支持旋轉軸之上述構成中，旋轉軸實質上藉由軸承構件及鄰接於軸承構件之支架而固定支持，故而相對於該支架，於軸承構件之相反側，旋轉軸藉由此種固定支持而被牢固地支持。因此，即便將於軸方向鄰接之支架彼此的沿旋轉軸之間隔規定得長於在軸方向鄰接之停止位置之支架與軸承構件之沿旋轉軸之間隔，亦可抑制旋轉軸之共振。尤其是藉由如此般規定，可使停止於停止位置之支架彼此的間隔較寬，而容易實現例如一面抑制支架之個數一面謀求移動體之行程之長條化之設計。

又，亦可將致動器構成為：移動體具有可卡合脫離地卡合於支架之被卡合部之卡合部，當移動體自可移動範圍之外側通過停止位置時，使停止於停止位置之支架卡合於卡合部後，伴隨卡合於卡合部之支架而於可移動範圍內移動，另一方面當移動體自可移動範圍之內側通過停止位置時，將藉由止擋件停止於停止位置而自卡合部脫落之支架留在停止位置，於可移動範圍之外側移動。於此種構成中，藉由使移動體之卡合部與支架之被卡合部進行卡合脫離而可容易地執行使支架於可移動範圍內伴隨移動體移動之動作、及使支架自移動體脫落而停止於停止位置之動作。

又，亦可將致動器構成為：移動體之卡合部及支架之被卡合部中、至少一者被彈性力朝向另一者施壓。於此種構成中，當進行移動體之卡合部與支架之被卡合部之卡合脫離時，該等中之至少一者根據於卡合部與被卡合部之間作用之應力而彈性地移位。因此，可順利地進行移動體之卡合部與支架之被卡合部之卡合脫離。

又，亦可將致動器構成為：被卡合部係旋轉自如之輥。於此種構成中，當進行移動體之卡合部與支架之被卡合部之卡合脫離時，被卡合部(輥)根據於卡合部與被卡合部之間起作用之應力而旋轉。因此，可順利地進行移動體之卡合部與支架之被卡合部之卡合脫離。

又，亦可將致動器構成為：進而包括移動限制器件，該移動限制器件使接近軸承構件之移動體於移動體和軸承構件之間之支架與軸承構件之間空出空隙之狀態下停止。於此種構成中，可避免設置於移動體與軸承構件之間之支架伴隨移動體之移動而碰撞於軸承構件。因此，由於使支架之軸接觸部構成為較窄，故而即便為例如軸接觸部之強度不大之情形時，亦可抑制軸接觸部因軸承構件之衝擊而破損。

又，亦可將致動器構成為：進而包括連動器件，該連動器件使複數個支架之各者連動於移動體而向軸方向移動。即便於此種構成中，亦可一面降低旋轉軸與支架之間之摩擦力而抑制驅動源之負載，一面穩定地支持支架而有效地抑制旋轉軸之共振。

此時，亦可將致動器構成為：連動器件將於軸方向鄰接之支架彼此的沿旋轉軸之間隔規定得長於在軸方向鄰接之支架與軸承構件之沿旋轉軸之間隔。即，於由複數個支架支持旋轉軸之上述構成中，旋轉軸實質上藉由軸承構件及鄰接於軸承構件之支架而固定支持，故而相對於該支架，於軸承構件之相反側，旋轉軸藉由此種固定支持而被牢固地支持。因此，即便將於軸方向鄰接之支架彼此的沿旋轉軸之間隔規定得長於在軸方向鄰接之支架與軸承構件之沿旋轉軸之間隔，亦可抑制旋轉軸之共振。尤其是藉由如此般規定，可使支架彼此的間隔較寬，而容易實現例如一面抑制支架之個數一面謀求移動體之行程之長條化之設計。

本發明可應用於所有致動器，該致動器係藉由於軸方向延伸之旋轉軸接受旋轉驅動力旋轉而使移動體沿上述旋轉軸於上述軸方向移動。