TWI568960B - 管接頭 - Google Patents

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TWI568960B TW101134388A TW101134388A TWI568960B TW I568960 B TWI568960 B TW I568960B TW 101134388 A TW101134388 A TW 101134388A TW 101134388 A TW101134388 A TW 101134388A TW I568960 B TWI568960 B TW I568960B
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Description

管接頭
本發明係有關管接頭,特別是有關適用於半導體製造用等之要求極高潔淨度之用途的管接頭。
習知,關於適用於半導體製造用等之要求極高潔淨度之用途的管接頭,可得知係包含有:具有相互連通之流體通路之一對管狀接頭構件、以及介設在兩接頭構件之匹配(match)端面之間的圓環狀墊片(gasket),且藉由設置在其中任一側之接頭構件之公螺紋構件與設置於另一側之接頭構件的母螺紋構件將接頭構件彼此而結合者。
先前技術文獻 專利文獻
專利文獻1 日本特開2010-96329號公報
發明概要
上述習知的管接頭中,將公螺紋構件與母螺紋構件螺合時,乃有產生微粒子的可能,此情形下,微粒子會進入流體通路內而存在有無法確保高潔淨度的可能性。
本發明的目的在於提供一種管接頭,係可防將公螺紋與母螺紋構件螺合時所產生的微粒子進入流體通路內,而能維持高潔淨度的管接頭。
依據本發明之管接頭,係包含:一對管狀接頭構件、以及介設在兩接頭構件之匹配端面之間的圓環狀墊片,且藉由設置在其中任一側之接頭構件之公螺紋構件與設置於另一側之接頭構件的母螺紋構件而將接頭構件彼此結合,其特徵在於:於公螺紋構件設置有覆蓋兩接頭構件之匹配部外周面的蓋部。
將公螺紋與母螺紋構件螺合時,會有產生微粒子的可能,但是藉由在公螺紋構件設置用以覆蓋兩接頭構件之匹配部外周面的蓋部,可防止微粒子進入流體通路而能維持高潔淨度。
各接頭構件係由內周成為流體通路之圓筒狀的套筒部本體、以及一體設置於其匹配端部的凸緣所構成且形成同一形狀,凸緣本體彼此間隔著墊片而相對向,凸緣彼此最好是,以其匹配端面較套筒本體凸出,且隔有防過度鎖緊用間隙而相對向。
套筒彼此間藉由墊片進行匹配時,當套筒的匹配端面彼此間的間隔與墊片之寬度的大小相等時,微粒子的進入可能性變高,惟以使凸緣彼此間隔有防過度鎖緊用間隙而對向的狀態且與公螺紋構件之蓋部的一部分配合而能獲得雙重的防止微粒子進入機構。防過度鎖緊用間隙係以在進行了適當的鎖緊的情況下大致成為零,而在進行了比此更鎖緊的情況下相對於鎖緊之抗力變大的方式來設定,如此方式不僅可防止微粒子進入且有助於防止過度鎖緊。
依據本發明之管接頭,於公螺紋構件設置用以覆蓋兩接頭構件之匹配部外周面的蓋部,因此可防止在螺合公螺紋構件與母螺紋構件時可能產生的微粒子進入流體通路內而能維持高潔淨度。
用以實施發明的形態
以下參照圖式來說明本發明之實施形態。又,於以下的說明中,將第1圖的左右設為左右。
第1圖係顯示依據本發明的管接頭之一實施形態,接頭(1)包含有:具有相互連通之流體通路的第1及第2管狀接頭構件(2)(3)、介設在兩接頭構件(2)(3)之間的圓環狀墊片(4)、保持墊片(4)且本身被第1接頭構件(2)所保持的保持器(5)、被嵌在第1接頭構件(2)之大致圓筒狀的公螺紋構件(6)、以及被嵌在第2接頭構件(3)之大致圓筒狀的母螺紋構件(7)。
各接頭構件(2)(3)係由內周成為流體通路之圓筒狀的套筒本體(11)(13)、以及一體設置於其匹配端部的凸緣(12)(14)所構成且形成同一形狀。
墊片(4)設為鎳合金等金屬製品,此乃用以建構成在兩接頭構件(2)(3)之匹配端面間因塑性變形而獲得密封性。各接頭構件(2)(3)之套筒本體(11)(13)的匹配端面設置有環狀的墊片按壓突起(11a)(13a)。墊片(4)之內徑設成相等於各接頭構件(2)(3)的內徑。
墊片(4),係於右端部設置有外徑比其他部分大且內徑相等的大徑部(4a),而具有平順的內周面及帶有階差的外周面之形狀。保持器(5),係以於內周面設置與墊片(4)之大徑部(4a)對應的大徑部(5a),而作成具有與墊片(4)之帶有階差的外周面對應之帶有段差的內周面的形狀。墊片(4)與保持器(5)係以墊片(4)之大徑部(4a)收容於保持器(5)之大徑部(5a)內的方式相互嵌合。
套筒本體(11)(13)彼此間係隔著墊片(4)而相對向,凸緣(12)(14)彼此為,其匹配端面較套筒本體(11)(13)突出,並隔有防過度鎖緊用間隙(G)而相對向。凸緣(12)(14)的匹配端面形成有用以收納保持器(5)的凹處(12a)(14a)。
保持器(5)保持墊片(4)並嵌入凸緣(12)(14)之凹處(12a)(14a),且藉由剖面圓形之金屬製線材形成C字狀的的扣環(snap ring)(8)而被第1接頭構件(2)所保持。
如第2圖所示,公螺紋構件(6)具有:圓筒狀的本體(15)、由本體(15)之右端面(匹配端面)朝右方(軸方向)突出並覆蓋兩接頭構件(2)(3)之匹配部外周面的圓筒狀蓋部(16)、設置於本體(15)之右端部(匹配端部)之外周的公螺紋部(17)、以及設置於本體(15)之左端部(匹配端部的相反側部)之外周的六角卡合部(18)。公螺紋構件(6)從左方嵌合第1接頭構件(2),其本體(15)右面從左方抵接於第1接頭構件(2)的左面。
母螺紋構件(7)稱為蓋形螺帽,從右方嵌合第2接頭構件(3)。母螺紋構件(7)之左端面的內周形成有母螺紋部 (7a)俾供公螺紋構件(6)之公螺紋構件(17)螺合。母螺紋構件(7)之右端部形成有向內的凸緣(7b),向內凸緣(7b)嵌合於第2接頭構件(3)的套筒本體(13)的周圍,並從右方抵接於第2接頭構件(3)的凸緣(12)的右面。
公螺紋構件(6)的蓋部(16)的內徑比第1及第2接頭構件(2)(3)的凸緣(12)的外徑稍大一些,外徑比母螺紋構件(7)的內徑稍小一些。
第2接頭構件(3)的凸緣(14)與母螺紋構件(17)之向內凸緣(7a)之間介設有防止共轉用的墊圈(9)。
第1圖顯示以手鎖緊公螺紋構件(6)與母螺紋構件(7)的狀態(完全鎖緊前的狀態),墊片按壓突起(11a)(13a)的前端抵接於墊片(4)。其後,適當地(規定的轉矩值或規定的螺帽旋轉量)鎖緊時,墊片按壓突起(11a)(13a)咬入墊片(4)的兩面,以此狀態確保強的密封性且各套筒本體(11)(13)之沒設置墊片按壓突起(11a)(13a)的部分全面密接於墊片(4)的兩面,以此狀態更提高密封性。
此時,位於凸緣(12)(14)之匹配端面間的防過度鎖緊用間隙(G)雖變小,但仍保持著些許大小。此防過度鎖緊用間隙(G)係設定成在進行了適當的鎖緊時成為大致零,於適當的鎖緊狀態下,在凸緣(12)(14)之匹配端面彼此間的力量不相互影響或不會過大。而進一步進行鎖緊時,防過度鎖緊用間隙(G)成為負值,因為在凸緣(12)(14)之匹配端面間力量相互影響的狀態下,相對於鎖緊的抵抗會增大,如此一來可防止過度鎖緊。
將公螺紋構件(6)與母螺紋構件(7)螺合時會有產生微粒子的可能,套筒本體(11)(13)彼此隔著墊片(4)進行匹配時,當套筒本體(11)(13)之匹配端面彼此之間隔為和墊片(4)之寬度的大小相等時,微粒子進入套筒本體(11)(13)內之流體通路的可能性變高。依據本發明的管接頭(1),係使凸緣(12)(14)彼此隔有防過度鎖緊用間隙(G)而相對向,而且藉由公螺紋構件(6)之蓋部(16)而填塞了此一微小的防過度鎖緊用間隙(G),藉此構成雙重的防止進入機構,使微粒子進入的可能性大幅地減少。
產業上利用性
本發明之管接頭可防止公螺紋構件與母螺紋構件螺合時產生的微粒子進入流體通路,因此可適用於要求高潔淨度之各種用途,而能增進確保高潔淨度。
1‧‧‧管接頭
2、3‧‧‧接頭構件
4‧‧‧墊片
5‧‧‧螺栓
6‧‧‧公螺紋構件
7‧‧‧母螺紋構件
16‧‧‧蓋部
第1圖係顯示依據本發明的管接頭之一實施形態的縱剖面圖。
第2圖係顯示在本發明的管接頭使用之公螺紋構件的立體圖。
1‧‧‧管接頭
2、3‧‧‧接頭構件
4‧‧‧墊片
4a‧‧‧大徑部
5‧‧‧螺栓
5a‧‧‧大徑部
6‧‧‧公螺紋構件
7‧‧‧母螺紋構件
7a‧‧‧向內凸緣
7b‧‧‧凸緣
8‧‧‧扣環
9‧‧‧墊圈
11、13‧‧‧套筒本體
11a、13a‧‧‧墊片按壓突起
12、14‧‧‧凸緣
12a、14a‧‧‧凹處
15‧‧‧本體
16‧‧‧蓋部
17‧‧‧公螺紋部(公螺紋構件)
18‧‧‧六角卡合部

Claims (1)

  1. 一種管接頭,係包含:具有相互連通之流體通路之一對管狀接頭構件、以及介設在兩接頭構件之匹配端面之間的圓環狀墊片,且藉由設置在其中任一側之接頭構件之公螺紋構件與設置於另一側之接頭構件的母螺紋構件而將接頭構件彼此結合,其特徵在於:公螺紋構件係具有在外周形成公螺紋且和接頭構件匹配之圓筒狀的本體、及從與本體的接頭構件之匹配面向軸向突出且未形成有公螺紋之圓筒狀的突出部,公螺紋構件的突出部係覆蓋兩接頭構件之匹配部外周面。
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