TWI507102B - Processing device - Google Patents

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    • B23Q17/00Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
    • B23Q17/22Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating or measuring existing or desired position of tool or work
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Description

加工裝置
本發明係關於將類似如印刷線路板等的工件加工的加工裝置,詳言之,係關於檢測工具和工作件之接觸的感測器構成。
一般已知有印刷線路板穿孔機,其係藉由馬達使轉子軸旋轉,藉由安裝在該轉子軸尖端的鑽頭而在印刷線路板(工作件)上鑽孔。此種印刷線路板穿孔機,為了連接形成於不同層的電路之間,而在印刷線路板上穿設許多的通孔(貫通孔)、盲穴(帶底孔),但是近幾年來,印刷線路板越來越薄,同時也更進一步地多層化,因此被要求要有更高的加工精度。
更詳細地說,上述印刷線路板穿孔機,為了加工出從鑽頭尖端到達印刷線路板的表面的位置起算具有預設深度的孔,為了更提升加工精度,正確地檢測出鑽頭尖端到達印刷線路板表面就變得很重要了。因此,在過去已提出一種裝置,其係將印刷線路板31於絕緣的狀態下放置在加工台30上,同時將檢測被轉子軸6誘發的軸電壓V0之中的所定電壓Vi1、Vi2的比較器44與壓力腳20連接(參照專利文獻1)。
上述專利文獻1記載的印刷線路板穿孔加工機為,在印刷線路板31上穿孔時,首先,從換流器電源11向定子線圈50提供交流電壓使轉子軸6旋轉,在該轉子軸6正在旋轉的狀態下使支架4下降。當支架4開始下降時,先是壓力腳20的軸襯41接觸到印刷線路板31的表面。繼之,藉由空氣氣缸的收縮,在壓力腳20和印刷線路板抵接的狀態下,僅使心軸下降,使鑽頭14的尖端到達印刷線路板31的表面。當鑽頭14接觸到印刷線路板31時,透過印刷線路板31表面的銅箔31c、壓力腳20的軸襯41而將軸電壓V0輸出到比較器44。繼之,NC裝置23接收到表示該比較器44檢測到特定電壓Vi1、Vi2的事實之檢出信號,藉此,印刷線路板穿孔加工機檢測得知鑽頭14已到達印刷線路板31的表面。
[先行技術文獻]
[專利文獻]
[專利文獻1]專利第4184575號公報
像這樣地,使用將交流電壓提供給定子線圈50而在轉子軸6誘發的軸電壓V0,就能正確地檢知出鑽頭14和印刷線路板31的接觸。不過,通常工作件係由金屬製的基準銷和夾具等固定的狀態下被載置在加工台上,所以,雖然處於框體接地的狀態,但是在上述專利文獻1記載的印刷線路板穿孔機中,為了檢測出透過鑽頭14、印刷線路板31以及壓力腳20的軸襯而施加於轉子軸6的軸電壓V0,必須使印刷線路板31與加工台絕緣,不能使用上述的金屬性的銷,而必須特地採用由絕緣材料(例如陶瓷)所做成的銷。另外,以導電性材料形成和比較器連接的壓力腳20的軸襯41,同時,必須以絕緣性材料形成固持該軸襯41的支架40。
因此,本發明之目標為,提供一種加工裝置,其無須特意使工作件與加工台絕緣,也能夠使用軸電壓,正確地檢知出工作件表面和鑽頭尖端的接觸。
[用以解決課題的手段]
本發明加工裝置(1),其包括:轉子軸(16),其尖端安裝用以加工工作件(2)的工具(5),在絕緣的狀態下以自由轉動的方式被支撐;安裝於該轉子軸(16)上的轉子(19a);和該轉子(19a)一起形成馬達(19)的定子(19b);電源(20),其係提供交流電壓給設置於該等定子(19b)或轉子(19a)產生旋轉磁場的線圈(19c);以及在工作件(2)被接地的狀態下承載工作件之加工台(3);該加工裝置係為由該馬達(19)使該轉子軸(16)轉動以加工工作件(2),其特徵在於包括:在被絕緣的狀態下靠近該轉子軸(16)配置,在和該轉子軸(16)之間形成電容器(C)的電極構材(17e);連接該電極構材(17e),檢知由於交流電壓被提供給前述線圈(19c)而在該轉子軸(16)誘發的電壓(V0)的檢知裝置(29);控制部(30),當該檢知裝置(29)已檢知出的電壓(V0)變成未被檢測出時,判斷為該工具(5)的尖端已接觸到工作件(2)。
另外,更具體地說,以此為佳:藉由空氣軸承(17)以自由轉動的方式支撐該轉子軸(16),以絕緣構材(27)使該空氣軸承(17)的上端部絕緣而形成該電極構材(17e)。
此外,上述括號內的符號,係用於和圖式對照之物,但此係為為了使得發明易於理解的權宜之計,並不會對申請專利範圍的構成造成絲毫影響。
[發明的效果]
依據申請專利範圍第1項之發明,在轉子軸以及在被絕緣的狀態下靠近該轉子軸配置的電極構材之間形成電容器,藉由將檢知裝置與該電極構材連接,能夠不透過工作件,而檢知加工時旋轉的轉子軸所誘發的電壓(軸電壓)。藉此,能夠用金屬製的銷容易地將工作件固定在加工台,並且,藉由檢知裝置不再檢測到軸電壓的事實,能夠精確地檢知出工具和工作件的接觸。
根據申請專利範圍第2項的發明,藉由用空氣軸承支撐轉子軸,能夠以些微的摩擦損失使該轉子軸高速轉動,並且能夠在不和空氣軸承接觸而絕緣的狀態下支撐之。另外,以絕緣構材使該空氣軸承的上端部絕緣而形成該電極構材,藉此,能夠不改變加工裝置的基本構造而檢知到軸電壓,以達到零件的共通化。
[加工裝置的概略構成]
以下針對本發明的實施形態進行說明。如第1圖所示,作為加工工作件的加工裝置的印刷線路板穿孔機1包括:承載作為工作件的印刷線路板2的加工台3;尖端安裝鑽頭(工具)5的心軸6;嵌合於該心軸6的尖端,在鑽頭5之前和印刷線路板2接觸,並把該印刷線路板2按壓在加工台3上的壓力腳7。上述印刷線路板2,係由絕緣層和電路交互層積而形成,在其表面上貼有用以形成電路圖形的銅箔2a,如第2圖所示,係由2根基準銷9a、9b而固定在加工台上。具體言之,在加工台3的表面上,形成方形的溝10、一側面形成為V字形狀的溝11,一側的基準銷9a插入方形的溝10,並由夾具板12固定之(第2圖的2點鎖線的狀態),限制住印刷線路板2向Y軸方向的移動。另外,另一側的基準銷9b插入一側面為V字形狀的溝11中,該基準銷9b由夾具板13固定在V字部分11a,藉此,限制印刷線路板2向X軸方向的移動。
另一方面,如第1圖所示,配置為和上述加工台3相對的心軸6係構成為包括:圓筒形狀的主體部15、尖端安裝了加工印刷線路板2的鑽頭5的轉子軸16、以自由轉動的方式支撐該轉子軸16的空氣軸承17、使轉子軸16轉動的馬達19,該空氣軸承17,係以徑向空氣軸承17a在徑方向支撐轉子軸16,以推力空氣軸承17b在上下方向支撐轉子軸16。該徑向空氣軸承17a係由從空氣軸承的主體部分17c向轉子軸16在徑方向噴出壓縮空氣的許多的噴出口構成,並且,推力空氣軸承17b係由,在嵌插了設置在轉子軸16的上端部的圓環狀的受壓部16a的空氣軸承主體部分17c的縫隙部17d,在受壓部16a從上下噴出壓縮空氣的複數個噴出口構成。
另外,上述馬達19係由下列構成:將銅材於轉子軸16中央部形成端環狀的轉子(轉動子)19a;配置於和心軸的主體部15的轉子19a面對的位置的定子(固定子)19b,當交流電壓從換流器電源20提供給定子19b的線圈19c時,產生變動的磁場(旋轉磁場)而使轉子(轉子軸16)19a轉動。此外,換流器電源20將從三相電源21輸入的商務交流電壓轉換為頻率高的交流電壓。
上述心軸6的主體部15,固定於相對於橫滑台22之上下方向(Z軸方向)自由移動的鞍座23,該橫滑台22係以可在左右方向(Y軸方向)自由移動的方式,由設置於床面25的平交軌(未圖示)支撐為跨越加工台3。另外,上述加工台3,係設置為可以在床面25上與橫滑台22垂直相交的方向(X軸方向)上自由移動,印刷線路板穿孔機1藉由橫滑台22使心軸6在Y軸方向移動,同時,藉由使加工台3在X軸方向移動,以決定加工位置。而且,當加工位置被決定時,藉由鞍座23讓心軸下降,而能在印刷線路板上穿孔。此外,使鞍座23在Z軸方向下降時,在鑽頭5之前,壓力腳7的軸襯7a接觸到印刷線路板2,但是該壓力腳7係由一對的空氣氣缸26所支撐,藉由該空氣氣缸26的伸縮,而能夠使其與心軸6相對移動。
[接觸感測器的構成]
繼之,基於第1圖以及第3圖,說明檢測出鑽頭5已到達印刷線路板2表面的事實的感測器構造(以下稱之為接觸感測器)31。穿設有上述噴出口17a、17b的空氣軸承17的主體部分17c,其上端部17e係藉由絕緣構材27,被固定於對心軸6的主體部15、空氣軸承17的下方部17f絕緣的狀態下。這上端部17e,在其下方側的空氣軸承17的主體部分17c的空氣軸承的下方部17f之間設有間隙,形成配置了轉子軸16的受壓部16a的該縫隙部17d,同時,成為對地電阻高的電極構材,在和該轉子軸16的受壓部16a之間形成電容器C。
上述轉子軸16,係藉由空氣軸承17,以可自由轉動的方式支撐於從周圍浮起的狀態下。亦即,轉子軸16係在與周遭(心軸的主體部15、空氣軸承17)電氣絕緣的狀態下被支撐,但是當換流器電源20向定子19b的線圈19c提供3相交流電壓時,就產生若干的所謂零相電壓,藉由此零相電壓,透過馬達19的線圈19c和框(例如空氣軸承17的下方部17f)等和轉子19a之間的浮游容量,在轉子19a誘發誘導電壓(以下稱之為軸電壓)V0(數V程度)。而且,當軸電壓V0被誘發時,在與轉子軸16之間形成電容器的上述電極構材17e上也誘發電壓,檢知該軸電壓V0的檢知裝置29與該電極構材17e連接。
另外,固定上述印刷線路板2的基準銷9a、9b,係由鐵等的金屬製,而且,加工台3業同樣是鋼材等的金屬製,印刷線路板2其表面的銅箔2a係透過基準銷9a、9b而被框體接地(接地)。因此,當鑽頭5的尖端接觸印刷線路板2的表面時,轉子軸16的電位為0、也不會在電極構材誘發電壓。上述檢知裝置29,和控制印刷線路板穿孔機的NC裝置(控制部)30連接,其檢知軸電壓V0,並且,當鑽頭5到達印刷線路板2表面上使得本來已檢知到的軸電壓V0變得檢知不到時,將檢知信號輸出至NC裝置30。而且,NC裝置30基於從該檢知裝置29傳來的檢知信號,判斷鑽頭5的尖端已到達印刷線路板2的表面上了,並以此時心軸位置作為穿孔加工的基準位置(0點位置)。
接觸感測器31係由該等轉子軸16、電極構材17e、檢知裝置29以及NC裝置30構成,藉由在轉子軸16和電極構材17e之間形成電容器C,可以不透過其他的構材(例如印刷線路板),而檢測得知誘發於轉動的轉子軸16的電壓V0,並且,依據該軸電壓V0的變化而檢出鑽頭5尖端和印刷線路板2表面的接觸,因此能正確檢測得知鑽頭5尖端的位置。
另外,心軸6,其上下方向(Z軸方向)移動範圍有受到限制,當使心軸6開始下降以後經過特定的時間(例如心軸6從上端位置到印刷線路板2表面移動所需要的時間),也沒有從檢知裝置29收到檢知信號時,NC裝置30判斷為鑽頭5受到折損。
茲說明本發明實施形態的印刷線路板穿孔裝置1的動作。操作者,當執行印刷線路板2的穿孔時,首先,將印刷線路板2載置於加工台3上,並且,使用以鐵等的導電性材料做成的基準銷9a、9b,將印刷線路板2固定在加工台3上。
當印刷線路板2被載置於加工台3上時,啟動換流器電源20以向定子19b的線圈19c提供交流電壓,使轉子軸16轉動。當交流電壓被供應至定子19b的線圈19c時,在轉子軸16誘發軸電壓V0,同時檢知裝置29透過電容器C檢知軸電壓V0。
繼之,NC裝置30,當加工的準備完成時,使加工台3以及橫滑台22移動並定位加工位置,若鑽頭5位於加工位置上,則使鞍座23下降。當鞍座23下降時,開始將壓力腳7以及心軸6兩者下降,首先,透過壓力腳7將印刷線路板2按壓在加工台3上。
繼之,若鞍座23進一步由此狀態下降,則空氣氣缸26收縮,從壓力腳7和印刷線路板2抵接的狀態下僅使心軸下降,鑽頭5的尖端到達印刷線路板2的表面上。當鑽頭5的尖端和印刷線路板2的表面接觸時,轉子軸16的電位變為0,用檢知裝置29也無法檢知軸電壓V0。當無法檢知軸電壓V0時,檢知裝置29向NC裝置30輸出檢知信號,當接收到該檢知信號時,NC裝置30判斷為鑽頭5的尖端已到達印刷線路板2的表面上,並將該時刻的心軸6的位置作為加工的基準位置。繼之,使心軸6下降從該基準位置預先設定的所欲距離,以在印刷線路板2上穿設孔。
如此,根據本實施形態,將與周遭絕緣的電極構材17e靠近轉子軸16配置以形成電容器C,藉此,可以不透過其他的構材(例如印刷線路板),而檢測得知誘發於轉動的轉子軸16的電壓V0。尤其是,由空氣軸承17形成轉子軸16,使該空氣軸承17的一部分(在本實施形態中構成推力空氣軸承17b的上端部)為電極構材17e,藉此,和轉子軸16的間隙17d越小,則越能提升空氣軸承的性能以及軸電壓V0的檢知性能。
另外,因為無須變更加工裝置的基本構造,而能達到和別的加工裝置之間零件的共通化,而且構造簡單,無須準備用以檢出鑽頭的特別的電壓源。此外,因為無須使印刷線路板2絕緣,所以能用金屬製的銷將印刷線路板2固定在加工台3上,並且,因為印刷線路板2的沒有完全絕緣,所以也沒有加工精度下降之虞。
此外,在本實施形態中,檢知裝置29係由本來已檢知到的軸電壓V0變得檢知不到時,開始將檢知信號輸出至NC裝置30,但是也可以是:當檢知出軸電壓V0,就向NC裝置30輸出檢知信號,當不再輸出該檢知信號時,NC裝置30判斷為鑽頭5接觸到印刷線路板2。亦即,只要能夠得知檢知裝置不再檢測得到軸電壓V0的事實,檢知信號的輸出模式可以是任何方式。另外,檢知裝置29透過濾過器檢知軸電壓V0的特定的電壓亦可。
再者,電極構材17e只要靠近轉子軸配置即可,設置在哪裡都可以,並不一定要和空氣軸承17為一體。另外,電極構材17e也可以不要像本實施形態一樣地透過陶瓷等等的絕緣構材安裝在心軸上,而是用絕緣構材塗布其全體使其絕緣。另外,轉子軸16也可以是藉由陶瓷製的軸承絕緣的狀態下,以可自由轉動的方式被支撐。
再者,印刷線路板2也可以不用金屬製的銷,而用金屬製的夾具而固定於加工台3。另外,在本實施形態中,雖係針對印刷線路板2的穿孔加工機進行說明,但是只要是至少表面是導電性的工作件的加工裝置即可,可以適用於任何裝置,加工工作件的工具不限於鑽頭,也可以是端銑刀等其他的工具。
此外,在本實施形態中,係例示將3相互換流器輸出提供給設置在定子用以產生旋轉磁場的線圈3而驅動的誘導馬達中以零相電壓在轉子軸誘發的軸電壓,但在轉子使用永久磁石和電磁鐵(激磁)的磁石同時期馬達也是一樣,另外在設於轉子的電機子線圈使用刷子等提供交流電壓(就流過線圈的電流的方向逆轉的意義而言是交流電壓)驅動的直流馬達等中,透過電機子線圈和轉子軸之間的浮游容量而在轉子軸誘發軸電壓,所以也能適用本案發明。
1‧‧‧加工裝置(印刷線路板穿孔機)
2‧‧‧工作件(印刷線路板)
3‧‧‧加工台
5‧‧‧工具
16‧‧‧轉子軸
17‧‧‧空氣軸承
17e‧‧‧電極構材
19‧‧‧馬達
19a‧‧‧轉子
19b‧‧‧定子
19c‧‧‧線圈
20‧‧‧電源(換流器電源)
27‧‧‧絕緣構材
29‧‧‧檢知裝置
30‧‧‧控制部(NC裝置)
C‧‧‧電容器
V0‧‧‧電壓(軸電壓)
第1圖為本發明的實施形態的加工裝置的正面圖。
第2圖為本發明的實施形態的加工台的工作件固定方法的模式圖。
第3圖為本發明的實施形態的加工裝置的接觸感測器構造的模式圖。
5...工具
16...轉子軸
16a...受壓部
17e...電極構材
19...馬達
19a...轉子
19b...定子
19c...線圈
20...電源(換流器電源)
21...三相電源
29...檢知裝置
30...控制部(NC裝置)
31...感測器構造(接觸感測器)
C...電容器

Claims (2)

  1. 一種加工裝置,其包括:轉子軸,其尖端安裝用以加工工作件的工具,在絕緣的狀態下以自由轉動的方式被支撐;轉子,安裝於該轉子軸上;定子,該轉子一起形成馬達;電源,其係提供交流電壓給設置於該等定子或轉子產生旋轉磁場的線圈;以及加工台,在工作件被接地的狀態下承載工作件;該加工裝置係為由該馬達使該轉子軸轉動以加工工作件,其特徵在於包括:電極構材,在被絕緣的狀態下靠近該轉子軸配置,並且和該轉子軸之間形成電容器;檢知裝置,連接該電極構材,檢知由於交流電壓被提供給該線圈而在該轉子軸誘發的電壓;控制部,當該檢知裝置已檢知出的電壓變成未被檢測出時,判斷為該工具的尖端已接觸到工作件。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之加工裝置,其中:藉由空氣軸承以自由轉動的方式支撐該轉子軸;以絕緣構材使該空氣軸承的上端部絕緣而形成該電極構材。
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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102014204833A1 (de) * 2014-03-14 2015-09-17 Werner Kluft Vorrichtung, Werkzeugmaschine und Verfahren zum Messen und Überwachen von Werkzeugen bzw. Werkstücken
JP6909535B2 (ja) * 2017-01-12 2021-07-28 ビアメカニクス株式会社 基板加工装置及び基板加工方法
CN107378063A (zh) * 2017-07-27 2017-11-24 苏州艾乐蒙特机电科技有限公司 一种钻床自动感应软件
JP6948928B2 (ja) * 2017-12-08 2021-10-13 芝浦機械株式会社 主軸装置および工作機械
TWI825238B (zh) * 2018-12-11 2023-12-11 日商維亞機械股份有限公司 鑽孔加工裝置及鑽孔加工方法
CN113681637B (zh) * 2021-08-26 2022-10-25 广州弘高科技股份有限公司 一种电路板测试针床开孔设备及方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6309151B1 (en) * 1996-05-17 2001-10-30 Pluritec Italia Device and method for controlling the machining depth of a machine for machining multilayer printed circuit boards
JP2002233933A (ja) * 2001-02-02 2002-08-20 Japan Science & Technology Corp 工作機械用接触検出方法およびその装置
JP2003236734A (ja) * 2002-02-20 2003-08-26 Toyota Motor Corp 加工装置及び加工装置に装着する回転工具の撓み検出方法、加工装置の検出回路チェック方法
TWM323365U (en) * 2007-05-25 2007-12-11 Femto Technology Co Ltd Spindle unit
CN201606067U (zh) * 2010-01-19 2010-10-13 王铁群 用于钻孔测量的可连续测角装置

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04164556A (ja) * 1990-10-25 1992-06-10 Kobe Steel Ltd 微小切込切削装置用工具の微小切込制御方法
JP4184575B2 (ja) * 2000-05-31 2008-11-19 日立ビアメカニクス株式会社 ワークの加工方法および工具の折損検出方法並びに加工装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6309151B1 (en) * 1996-05-17 2001-10-30 Pluritec Italia Device and method for controlling the machining depth of a machine for machining multilayer printed circuit boards
JP2002233933A (ja) * 2001-02-02 2002-08-20 Japan Science & Technology Corp 工作機械用接触検出方法およびその装置
JP2003236734A (ja) * 2002-02-20 2003-08-26 Toyota Motor Corp 加工装置及び加工装置に装着する回転工具の撓み検出方法、加工装置の検出回路チェック方法
TWM323365U (en) * 2007-05-25 2007-12-11 Femto Technology Co Ltd Spindle unit
CN201606067U (zh) * 2010-01-19 2010-10-13 王铁群 用于钻孔测量的可连续测角装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR101775589B1 (ko) 2017-09-06
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CN103180095A (zh) 2013-06-26
JP5583555B2 (ja) 2014-09-03
JP2012101309A (ja) 2012-05-31
TW201233271A (en) 2012-08-01
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