TWI503483B - 油旋轉真空泵浦 - Google Patents

Description

油旋轉真空泵浦

本發明係關於一種油旋轉真空泵浦。

油旋轉真空泵浦係於泵浦室一邊讓旋轉體旋轉，一邊吸入、壓縮、排出氣體，藉以實現所期待的泵浦功能。此時，真空泵浦油係用於：在泵浦室的內面上滑動之旋轉體的潤滑，及用以支撐使旋轉體旋轉的旋轉軸之軸承部的潤滑等。

油旋轉真空泵浦已知有閘控型、凸輪型、搖動活塞型等型式。於閘控型之情形，上述旋轉體係對應於包含轉子和複數個葉片之旋轉翼。例如，下述專利文獻1記載著具有串聯連接著的2個旋轉體之閘控型2段式油旋轉真空泵浦。

在閘控型之油旋轉真空泵浦中，複數個葉片係伴隨著轉子的旋轉而在泵浦室的內周面上滑動，而從吸氣口將氣體移送到排氣口。典型上，上述轉子係配置成接近於泵浦室的上端，並以夾著該上端的方式分別形成有排氣口和吸氣口。而且，藉由在泵浦室的上端和轉子的外周面之間所形成之潤滑油的油膜，而確保在排氣口側和吸氣口側之間有特定的氣密性。

〔先行技術文獻〕 〔專利文獻〕

專利文獻1 日本特開平7-77184號公報

在上述構造之油旋轉真空泵浦中，用以減少葉片的滑動阻力之潤滑油係與氣體一起被朝向排氣口移送。潤滑油在葉片通過排氣口之後，透過泵浦室上端部的狹窄間隙而被導引至吸氣口側。另一方面，泵浦室的壓力愈降低，則葉片所撥出的潤滑油之量愈增加。若被導引至泵浦室上端的潤滑油達到特定量以上，則潤滑油被封閉在排氣口和泵浦室上端部的間隙，而使得潤滑油難以順利地被導引至吸氣側。其結果為上述被封閉在間隙中的潤滑油對泵浦室的內壁或葉片造成過大的負載，而有發生異常聲音或振動之情形。

有鑑於如以上之情事，本發明之目的在於提供一種能降低起因於泵浦室的潤滑油之異常聲音或振動的油旋轉真空泵浦。

為了達成上述目的，本發明之一形態之油旋轉真空泵浦具備潤滑油的儲存室、泵浦室、旋轉體以及驅動部。

上述泵浦室包含：與上述儲存室連通的通路、具有吸氣口和排氣口的圓筒形狀之內周面、在上述吸氣口和上述排氣口之間具有第1頂部之第1曲面部、在上述排氣口和上述第1頂部之間具有第2頂部且與上述第1曲面部接續形成之第2曲面部。

上述旋轉體具有與上述內周面對向之外周面、及在上述內周面上滑動之滑動部，且上述外周面的一部分係以接近上述第1曲面部的方式配置在上述泵浦室。

上述驅動部具有連接在上述泵浦室用以使上述旋轉體旋轉之旋轉軸。

本發明之一實施形態之油旋轉真空泵浦具備潤滑油的儲存室、泵浦室、旋轉體以及驅動部。

上述泵浦室包含：與上述儲存室連通的通路、具有吸氣口和排氣口的圓筒形狀之內周面、在上述吸氣口和上述排氣口之間具有第1頂部之第1曲面部、在上述排氣口和上述第1頂部之間具有第2頂部且與上述第1曲面部接續形成之第2曲面部。

上述旋轉體具有與上述內周面對向之外周面、及在上述內周面上滑動之滑動部，且上述外周面的一部分係以接近上述第1曲面部的方式配置在上述泵浦室。

上述驅動部具有連接在上述泵浦室用以使上述旋轉體旋轉之旋轉軸。

在上述油旋轉真空泵浦中，旋轉體係以其外周面的一部分和形成在泵浦室的內周面上之第1曲面部接近的方式配置。而且，若接收到透過旋轉軸所傳遞之驅動部的旋轉驅動力，則旋轉體在泵浦室旋轉，藉由滑動上述內周面上的滑動部而從吸氣口吸入、壓縮氣體，並且從排氣口排出。

另一方面，潤滑油係從儲存室透過通路而被導入泵浦室，使滑動部潤滑並且在上述內周面及旋轉體的外周面形成油膜。因此，滑動部旋轉時，潤滑油與氣體一起被撥出，並且被朝向排氣口移送。

被滑動部撥出的潤滑油之量增加時，潤滑油被封閉在上述第1曲面部和旋轉體的外周面之間隙、或該等和排氣口之間隙，對泵浦室的內周面或滑動部產生負載，因而有發生異常聲音或振動之情形。在上述油旋轉真空泵浦中， 藉由擴大第1曲面部、旋轉體的外周面以及排氣口所圍繞的間隙來當做收容潤滑油的緩衝部，使第2曲面部減少潤滑油造成的負載，而能抑制發生異常聲音或振動。

又，上述油旋轉真空泵浦係接續形成有對向配置有旋轉體的第1曲面部、和收容潤滑油的第2曲面部。因此，上述滑動部可在泵浦室內周面滑行地移動。

上述油旋轉真空泵浦係上述第1曲面部及上述第2曲面部可各自包含具有同等的曲率半徑之曲面形狀。

因此，第2曲面部可藉由與第1曲面部同樣的製程來形成，能輕易且便宜地製造上述泵浦室。

上述油旋轉真空泵浦係上述第1曲面部及上述第2曲面部可各自具有與上述外周面同等的曲率半徑。

因此，泵浦室的內周面和旋轉體之密封性提高，可使泵浦功能提高，並且可藉由與第1曲面部同樣的製程來形成第2曲面部，能輕易且便宜地製造上述泵浦室。

以下，參照圖面並說明本發明之實施形態。

(油旋轉真空泵浦之構造)

圖1係顯示本發明之一實施形態之油旋轉真空泵浦的部分破斷側面圖。本實施形態舉出兩段式油旋轉真空泵浦為例進行說明。

本實施形態的油旋轉真空泵浦1具有主體10、驅動部20以及泵浦機構30。圖1中，X軸方向及Y軸方向表示水平方向，Z軸方向表示鉛垂方向(重力方向)。

主體10具有第1殼體101和第2殼體102。第1殼體101構成主體10的主要部位，各別組裝有驅動部20和泵浦機構30。第2殼體102安裝在第1殼體101的一端(圖1 中的右端)，於內部形成用以儲存泵浦油(潤滑油)之儲存室13。在第2殼體102的預定位置，安裝有用以確認儲存室13內的泵浦油之液面Ps之位準計103。

主體10具有吸氣管11和排氣管12。吸氣管11安裝在第1殼體101，且透過並未圖示的吸氣管連接部連接在真空室等。第1殼體101形成有用以連絡吸氣管11和泵浦機構30之間的吸氣通路111。排氣管12安裝在第2殼體102，用以將藉由泵浦機構30透過吸氣管11所吸入的氣體排出至裝置外部。排氣管12連接並未圖示之排氣管連接部等。

驅動部20係由用以驅動泵浦機構30的馬達和用以收容該馬達的馬達外殼等所構成，安裝在主體10(第1殼體101)。驅動部20具有在Y軸方向延伸的旋轉軸21，使旋轉軸21繞著其軸周圍旋轉。旋轉軸21也可以是連結在上述馬達的驅動軸之軸構件。於此情形下，上述軸構件可直接連結在上述驅動軸，亦可透過帶件或齒輪等旋轉傳遞機構而連接在驅動軸。旋轉軸係藉由例如滑動軸承等予以支撐成能旋轉。

泵浦機構30係由2段(two-stage)式閘控型泵浦單元構成。圖2係顯示泵浦機構30的詳細構造之放大圖。泵浦機構30具有第1汽缸區塊(cylinder block)31、第2汽缸區塊32、中間區塊(intermediate block)321以及側蓋33。

第1汽缸區塊31固定在構成第1殼體101之間隔壁112。中間區塊321固定在第1汽缸區塊31和第2汽缸區塊32之間，具有讓支撐旋轉軸21的滑動軸承插通的插通孔322。中間區塊321係使在第1汽缸區塊31的內部形成第1泵浦室P1。第1旋轉體R1可旋轉地收容在第1泵浦 室P1。第1旋轉體R1具有：連結在旋轉軸21的第1轉子41；及可朝徑方向自在滑動地安裝在第1轉子41周圍之一對第1葉片51(第1滑動部)。

側蓋33固定在第2汽缸區塊32，藉此在第2汽缸區塊32的內部形成第2泵浦室P2。第2旋轉體R2可旋轉地收容在第2泵浦室P2。第2旋轉體R2具有：連結在旋轉軸21的第2轉子42；及可朝徑方向自在滑動地安裝在第2轉子42周圍之一對第2葉片52(第2滑動部)。第1汽缸區塊31、第2汽缸區塊32以及側蓋33，係藉由例如軸方向朝Y軸方向之複數支螺桿構件B而固定在間隔壁112。

泵浦機構30係藉由儲存在儲存室13的泵浦油而被潤滑。泵浦機構30設置有用以將泵浦油分別供給至第1泵浦室P1及第2泵浦室P2之潤滑線(通路)。上述潤滑線係使泵浦油於儲存室13和泵浦室P1、P2之間連通。

上述潤滑線具有第1貫通孔L1、第2貫通孔L2、第3貫通孔L3、第4貫通孔L4。以下說明中，除了各別說明之情形外，總稱第1~第4貫通孔L1~L4，又稱為潤滑線L。

第1貫通孔L1形成在從旋轉軸21的軸心僅偏離特定距離之位置，使側蓋33貫通在Y軸方向。又，第2貫通孔L2形成在從旋轉軸21的軸心僅偏離上述特定距離之位置，使第2轉子42貫通在Y軸方向，且可在第2轉子42的任意旋轉位置，與第1貫通孔L1整齊排列。

第3貫通孔L3形成在從旋轉軸21的軸心僅偏離特定距離之位置，使中間區塊321貫通在Y軸方向，且可在第2轉子42的任意旋轉位置，與第2貫通孔L2整齊排列。第3貫通孔L3的形成位置沒有特別限定，但本實施形態中， 比旋轉軸21更針對重力方向而形成在上方側。

而且，第4貫通孔L4形成在從旋轉軸21的軸心僅偏離特定距離之位置，使第1轉子41貫通在Y軸方向，且可在第1轉子41的任意旋轉位置，與第3貫通孔L3整齊排列。

藉由轉子41、42的旋轉而在各泵浦室P1、P2形成負壓，且在儲存室13和泵浦室P1、P2之間產生壓力差。因此，儲存在儲存室13的泵浦油透過潤滑線L，供給至第1及第2泵浦室P1、P2。

又，在第1泵浦室P1和驅動部20之間，旋轉軸21的周圍裝設有油密封件。藉此防止泵浦油從第1泵浦室P1浸入驅動部20。

圖3係圖2中的〔A〕-〔A〕線方向剖視圖。第2泵浦室P2的內周面N2分別形成有第2吸氣埠(第2吸氣口)T2和第2排氣埠(第2排氣口)E2。第2吸氣埠T2透過跨設在第1汽缸區塊31、中間區塊321及第2汽缸區塊32所形成的連絡通路121，而與第1排氣埠E1連通。第2排氣埠E2可以是複數或單數。第2排氣埠E2朝徑方向貫通第2汽缸區塊32。又，第2汽缸區塊32的內周面分別配置有用以覆蓋第2排氣埠E2之排氣閥V2。排氣閥V2係簧片閥方式之止回閥，若第2排氣埠E2內的壓力超過特定值，則開閥，排出氣體。

第2轉子42形成為具有與第2泵浦室P2大致同等高度之圓柱形狀，其軸心部固定著旋轉軸21。第2葉片52各自分別配置在第2轉子42的周圍以180度間隔形成為放射狀的一對溝內，該等葉片52之間安裝有彈簧62，其係預先 經壓縮之狀態且朝徑方向貫通第2轉子42及旋轉軸21。

第2葉片52分別接受因第2轉子42的旋轉所致之離心力及彈簧62的彈性力而被朝第2轉子42的徑外方彈推，各葉片52的前端部被推壓在第2泵浦室P2的內壁面上。而且，各葉片52前端部的功能係做為在第2泵浦室P2的內壁面滑動之滑動部，將氣體從第2吸氣埠T2運送至第2排氣埠E2。此時，由於第2轉子42對第2泵浦室P2呈偏芯配置，因此在第2轉子42的旋轉位置，第2葉片52的突出量改變，因而氣體運送空間的容積也改變。由於第2排氣埠E2形成在上述運送空間的容積最小的區域，因此氣體一邊被壓縮，一邊被導引至第2排氣埠E2。

第1泵浦室P1係與第2泵浦室P2同樣地形成對旋轉軸21偏芯之圓筒形狀，但第1泵浦室P1的容積形成為第2泵浦室P2的容積以上之大小。第1泵浦室P1的內周面分別形成有：與吸氣通路111連通之第1吸氣埠T1；朝徑方向貫通第1汽缸區塊31之第1排氣埠E1。第1排氣埠E1可以是複數或單數。又，第1汽缸區塊31的內周面分別配置有用以覆蓋各排氣埠E1之排氣閥V1。排氣閥V1係簧片閥方式之止回閥，若第1排氣埠E1內的壓力超過特定值則開閥，排出氣體。

第1轉子41形成為具有與第1泵浦室P1大致同等高度之圓柱形狀，其軸心部固定著旋轉軸21。第1葉片51各自分別配置在第1轉子41的周圍以180度間隔形成為放射狀的一對溝內，該等葉片51之間安裝有彈簧61，其係預先經壓縮之狀態且朝徑方向貫通第1轉子41及旋轉軸21。而且，第1旋轉體R1的功能也又是藉由使第1轉子41旋轉 的方式，使第1葉片51分別在第1泵浦室P1的內壁面上滑動之滑動部，將氣體從第1吸氣埠T1運送至第1排氣埠E1。

圖4係表示圖3所示之第2泵浦室P2的內周面N2之詳細構造的放大圖。此外，圖4係為了說明而比實際還強調地顯示。內周面N2包含第1曲面部C1和第2曲面部C2。此外，轉子42係以虛線顯示。又，將第2泵浦室P2內的第2曲面部C2、轉子42以及第2排氣埠E2所圍繞的區域設為S1，且加上網點來顯示。

第1曲面部C1係具有例如與轉子42的外周面同等的曲率半徑之曲面，包含位於第2吸氣埠T2和第2排氣埠E2之間的第1頂端Tp1(第1頂部)。虛線所示之轉子42係如圖示配置在接近於第1頂端Tp1。包含第1頂端Tp1的第1曲面部C1和轉子42的外周面之間，形成例如0.01~0.05mm的間隙，利用在該間隙填滿泵浦油而形成油膜。此外，第1頂端Tp1的位置只要是在第2吸氣埠T2和第2排氣埠E2之間，則沒有特別限制。又，形成第1曲面部C1的區域只要包含第1頂端Tp1則沒有特別限制。

第2曲面部C2係與第1曲面部C1接續形成，例如具有與轉子42的外周面同等的曲率半徑之曲面，包含第2頂端Tp2(第2頂部)。第2頂端Tp2只要是在第2排氣埠E2和第1頂端Tp1之間，則其位置沒有特別限制。又，形成第2曲面部C2之區域只要是包含第2頂端Tp2，則沒有特別限制。

(油旋轉真空泵浦之動作)

在如以上所構成之本實施形態的油旋轉真空泵浦1，第 1轉子41係接受透過旋轉軸21傳遞的驅動部20的旋轉驅動力而在第1泵浦室P1內旋轉。而且，藉由在第1泵浦室P1的內壁面上滑動之第1葉片51，從第1吸氣埠T1吸入、壓縮氣體之後，運送至第1排氣埠E1。

其中，例如於運轉開始時，於運送到第1排氣埠E1之氣體的壓力超過特定值時，氣體透過排氣閥V1朝儲存室13開放，從排氣管連接部12排出。又，如定常運轉時等，於從第1排氣埠E1排出的氣體的壓力為特定值以下時，不開放排氣閥V1，而是透過連絡通路121導入第2泵浦室P2。

第2轉子42又接受透過旋轉軸21傳遞的驅動部20的旋轉驅動力而在第2泵浦室P2內旋轉。而且，藉由在第2泵浦室P2的內壁面上滑動的第2葉片52，從第2吸氣埠T2吸入、壓縮氣體之後，運送至第2排氣埠E2，開放排氣閥V2且排出至儲存室13。

其中，由於在第2泵浦室P2所吸引的氣體係從第1泵浦室P1排出且透過連絡通路121到達第2吸氣埠T2之氣體，因此在第2泵浦室P2，該氣體進一步被壓縮、排氣。因此本實施形態的油旋轉真空泵浦1之壓縮比高，能得到低的到達壓力。

本實施形態中的第2泵浦室P2係藉由第1曲面部C1具有與轉子42的外周面同等的曲率半徑，使第1曲面部C1的任意位置與轉子42之間隔為大致一定。因此，第1曲面部C1和轉子42的間隙之大致全面能形成均勻的油膜，而能得到高密封性。因此，可防止含有已在第2排氣埠E2側壓縮之氣體的泵浦油過度地流入第2吸氣埠T2側，而能將泵浦室保持所要的壓力。此外，第1曲面部C1 和轉子42之間隔沒有特別限制，但以0.01~0.05mm不會妨礙泵浦油的油膜形成而能保持良好的密封性。

圖5係表示在與本實施形態同樣的2段式油旋轉真空泵浦中，第2泵浦室P20的內周面N20為大致一樣的圓筒形狀之情形的一例圖。此外，轉子420以虛線顯示，且將內周面N20和轉子420最接近的位置設為頂端Tp10。

圖5中，頂端Tp10中的曲面部C10和轉子420之間隔最窄，內周面N20的任意位置與轉子420之間隔並非一定。因而，曲面部C10和轉子420的密封性低。因此，葉片沿著內周面N20上旋轉，通過第2排氣埠E20時，泵浦油輕易流入第2吸氣埠T20側。此流入之泵浦油混入有壓縮氣體，該氣體在第2吸氣埠T20側膨脹而有使到達壓力提高之情形。

另一方面，圖6係表示在與本實施形態同樣的2段式油旋轉真空泵浦中，第2泵浦室P21的內周面N21為大致一樣的圓筒形狀，但僅形成有對應於第1曲面部C1的曲面部C11之情形的一例圖。此外，轉子421以虛線顯示。曲面部C11為例如具有與轉子421的外周面同等的曲率半徑之曲面，包含頂端Tp11。又，將曲面部C11、轉子421及第2排氣埠E21圍繞的區域設為S11，且加上網點來顯示。本例中，與本實施形態同樣地，曲面部C11和轉子421之間形成有大致均勻的油膜來保持密封性。

葉片沿著內周面N21上旋轉且通過第2排氣埠E21時，泵浦油也會被葉片撥出，而運送到區域S11。特別是當第2泵浦室P21內達到所要的壓力時，第2泵浦室P21和泵浦油的儲存室之壓差提高，相較於運轉開始時，有較多 的泵浦油被導入泵浦室。又，泵浦室P1、P2的壓力愈降低則各泵浦室的氣體容積愈降低，潤滑油所佔的量增加該降低量。進一步，曲面部C11和轉子421之間已存在充分的泵浦油時，由葉片撥出的泵浦油在狹窄的間隙之區域S11引起急劇的壓力上升，葉片被推入轉子421內，因此也會發生異常聲音或振動。

相對於此，本實施形態的油旋轉真空泵浦1係如圖4所示，在第2泵浦室P2的內周面N2具有與第1曲面部C1接續形成的第2曲面部C2。因此，圖4的區域S1相較於圖6的區域S11，具有較大的體積。

因此，葉片52沿著內周面N2上旋轉雖然通過第2排氣埠E2時，泵浦油也會被葉片52撥出，但區域S1具有做為收容泵浦油的緩衝部的功能，並能緩和泵浦油與第1曲面部C1和轉子42之間的油膜接觸所引起之衝撃。再者，由於泵浦油難以在區域S1內引起急劇的壓力上升，因此能緩和對葉片52的衝撃，也能抑制葉片52被推入轉子42時的異常聲音或振動。

第2曲面部C2的曲率沒有特別限定，只要以較內周面N2大的曲率形成即可。本實施形態中，例如以具有與轉子42的外周面同等的曲率半徑之曲面形成。因此，可確保第1曲面部C1具有所期望的密封性，並且有效地抑制第2曲面部C2發生因為潤滑油造成的異常聲音或振動。

又，由於第1曲面部C1和第2曲面部C2係連續地形成，因此能抑制因兩曲面部間的葉片52的彈起所致之異聲之發生。

以上，針對本發明之實施形態予以說明，但本發明並 不受限於此，可根據本發明之技術思想做各種變形。

以上之實施形態係假設第1曲面部C1和第2曲面部C2各自具有與轉子42的外周面同等的曲率半徑來進行說明，但當然不限於此。例如，第1曲面部C1只要是在與相對向的轉子42的外周面之間形成具有充分密封性的油膜之曲面即可。

又，第2曲面部C2係與第1曲面部C1接續形成，只要能在與轉子42之間形成充分的空間做為泵浦油的緩衝部即可。又，亦可形成用以連通第2曲面部C2和第2排氣埠E2之通路，亦可設置用以吸收泵浦油之吸收體等。

又，以上之實施形態係限定於說明2段式的油旋轉真空泵浦的2段側之泵浦室，但同樣的構造亦可適用在1段側。

又，以上之實施形態係舉2段式的油旋轉真空泵浦為例予以說明，但不限於此，亦可適用1段式的油旋轉真空泵浦。

1‧‧‧油旋轉真空泵浦

10‧‧‧主體

101‧‧‧第1殼體

102‧‧‧第2殼體

103‧‧‧位準計

111‧‧‧吸氣通路

112‧‧‧間隔壁

12‧‧‧排氣管

121‧‧‧連絡通路

13‧‧‧儲存室

20‧‧‧驅動部

21‧‧‧旋轉軸

30‧‧‧泵浦機構

31‧‧‧第1汽缸區塊

32‧‧‧第2汽缸區塊

33‧‧‧側蓋

321‧‧‧中間區塊

322‧‧‧插通孔

41‧‧‧第1轉子

42‧‧‧第2轉子

420‧‧‧轉子

51‧‧‧第1葉片

52‧‧‧第2葉片

61、62‧‧‧彈簧

B‧‧‧螺桿構件

C1‧‧‧第1曲面部

C2‧‧‧第2曲面部

C10‧‧‧曲面部

E1‧‧‧第1排氣埠

E2、E20‧‧‧第2排氣埠

L‧‧‧潤滑線

L1~14‧‧‧第1~4貫通孔

N20‧‧‧內周面

P1‧‧‧第1泵浦室

P2、P20‧‧‧第2泵浦室

R1‧‧‧第1旋轉體

R2‧‧‧第2旋轉體

T1‧‧‧第1吸氣埠

T2、T20‧‧‧第2吸氣埠

Tp1‧‧‧第1頂部

Tp2‧‧‧第2頂部

Tp10‧‧‧頂端

S1‧‧‧區域

V1、V2‧‧‧排氣閥

圖1係顯示本發明之一實施形態之油旋轉真空泵浦的構造之部分剖開側視圖。

圖2係上述油旋轉真空泵浦之主要部位放大圖。

圖3係圖2中的〔A〕-〔A〕線方向斷面箭頭方向視圖。

圖4係上述油旋轉真空泵浦中的第2泵浦室的內周面之主要部位放大圖。

圖5係顯示在與本實施形態同樣的油旋轉真空泵浦中，第2泵浦室的內周面為大致一樣的圓柱形狀之情形下的一例之主要部位放大圖。

圖6係顯示在與本實施形態同樣的油旋轉真空泵浦中，第2泵浦室的內周面僅形成有與第1曲面部對應之曲面部的情形之一例的主要部位放大圖。

42‧‧‧第2轉子

C1‧‧‧第1曲面部

C2‧‧‧第2曲面部

E2‧‧‧第2排氣埠

N2‧‧‧內周面

S1‧‧‧區域

T2‧‧‧第2吸氣埠

Tp1‧‧‧第1頂端

Tp2‧‧‧第2頂端

P2‧‧‧第2泵浦室

Claims (1)

1. 一種油旋轉真空泵浦，其具備：潤滑油的儲存室；泵浦室，其係包含：與前述儲存室連通的通路、具有吸氣口和排氣口的圓筒形狀之內周面、在前述吸氣口和前述排氣口之間具有第1頂部之第1曲面部、及在前述排氣口和前述第1頂部之間具有第2頂部且與前述第1曲面部接續形成之第2曲面部；旋轉體，其具有與前述內周面對向之外周面、及在前述內周面上滑動之滑動部，且前述外周面的一部分係以接近前述第1曲面部的方式配置在前述泵浦室，前述外周面的一部分與前述第1曲面部之間形成0.01~0.05mm的間隙；及驅動部，其具有連接在前述泵浦室用以使前述旋轉體旋轉之旋轉軸；前述第1曲面部與前述第2曲面部各自具有與前述外周面同等的曲率半徑。