JPH0326894A - 油回転真空ポンプ - Google Patents
油回転真空ポンプInfo
- Publication number
- JPH0326894A JPH0326894A JP15876289A JP15876289A JPH0326894A JP H0326894 A JPH0326894 A JP H0326894A JP 15876289 A JP15876289 A JP 15876289A JP 15876289 A JP15876289 A JP 15876289A JP H0326894 A JPH0326894 A JP H0326894A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vane
- inner peripheral
- sliding surface
- inner circumferential
- pump casing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract description 14
- 230000007704 transition Effects 0.000 abstract 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000004576 sand Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、例えば容器内を絶対真空に近い雰囲気にする
場合に使用して好適な油回転真空ボンブに関するもので
ある． 〔従来の技術〕 従来、この種の油回転真空ポンプは、例えばゲ一デ形の
ものとして実開昭５９−３５６９２号公報に開示され、
第４図に示すように構威されている．これを同図および
第５図に基づいて説明すると、同図において、符号ｌで
示すものはケース２内に設けられ各曲率半径Ｒ１． Ｒ
ｚ （ロータ径＜Ｒ＋＜Ｒｚ）が互いに異なる大小２つ
の内周面１ａ．１ｂをもちかつ上方に開口する吸気口３
と排気口４を有するポンプケーシング、５はこのポンプ
ケーシング１内の偏心位置に回転自在に収納されかつポ
ンプケーシングｌの内周面１ａ． ｌｂに間隙６を介し
て設けられベーン７を有するロータである．また、８は
前記ポンプケーシング１の排気口４を開閉する排気弁で
ある．なお、図中符号Ａはポンプケーシングｌの両内周
面１ａ， ｌｂが交差するエッジ部、ｌはロータ５の外
周面からポンプケーシングｌの内周面までの距離、θは
ベーン７の回転角（ベーン７がＹ軸上に位置する時を０
９とする）、Ｘはロータ５の回転方向を示す． このように構威された油回転真空ポンプにおいては、ロ
ータ５が第５図に矢印Ｘで示す方向に回転すると、気体
がロータ５．ポンプケーシング１およびベーン７によっ
て形成される空間部（間隙６）に吸気口３から吸い込ま
れ、この空間部で圧縮されて排気口４からポンプケーシ
ング１外に排出される。このとき、ベーン７はポンプケ
ーシングｌの内周面に沿って摺動するため、間隙６内に
おける気体の吸気側への漏洩を防止する．〔発明が解決
しようとする課題〕 ところで、この種の油回転真空ポンプにおいては、エッ
ジ部Ａの付近で内周面１ａ． ｉｂの曲率半径が急変す
ることからベーン７の追従性が悪く、べ−７７がエッジ
部Ａを通過する際にポンプケーシング１の内周面１ａ，
ｌｂから離間していた．この結果、ベーン７がエッジ
部Ａの付近を摺動ずると、ポンプケーシング１の内周面
１ａ． ｌｂに衝突して騒音が発生するという問題があ
った． 本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、ポン
プケーシング内周面の境界面で発生する衝突音を緩和さ
せることができ、もってロータ回転時の騒音を大幅に低
減することができる油回転真空ポンプを提供するもので
ある． 〔課題を解決するための手段〕 本発明に係る油回転真空ポンプにおいては、各曲率半径
が互いに異なる大小２つの内周面をもつポンプケーシン
グ内であって、両内周面が交差するエッジ部を含む部位
に切欠きを形成することによりベーン摺動面を設け、こ
のベーン摺動面を両内周面に接する切欠き面によって形
成したものである． 〔作 用〕 本発明においては、ロータの回転時にベーンが一方の内
周面から他方の内周面に移行するに際してベーン摺動面
に沿って摺動ずる． 〔実施例〕 以下、本発明の構戒等を図に示す実施例によって詳細に
説明する． 第１図は本発明に係る油回転真空ポンプの要部を示す断
面図で、同図において第４図および第５図と同一の部材
については同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
場合に使用して好適な油回転真空ボンブに関するもので
ある． 〔従来の技術〕 従来、この種の油回転真空ポンプは、例えばゲ一デ形の
ものとして実開昭５９−３５６９２号公報に開示され、
第４図に示すように構威されている．これを同図および
第５図に基づいて説明すると、同図において、符号ｌで
示すものはケース２内に設けられ各曲率半径Ｒ１． Ｒ
ｚ （ロータ径＜Ｒ＋＜Ｒｚ）が互いに異なる大小２つ
の内周面１ａ．１ｂをもちかつ上方に開口する吸気口３
と排気口４を有するポンプケーシング、５はこのポンプ
ケーシング１内の偏心位置に回転自在に収納されかつポ
ンプケーシングｌの内周面１ａ． ｌｂに間隙６を介し
て設けられベーン７を有するロータである．また、８は
前記ポンプケーシング１の排気口４を開閉する排気弁で
ある．なお、図中符号Ａはポンプケーシングｌの両内周
面１ａ， ｌｂが交差するエッジ部、ｌはロータ５の外
周面からポンプケーシングｌの内周面までの距離、θは
ベーン７の回転角（ベーン７がＹ軸上に位置する時を０
９とする）、Ｘはロータ５の回転方向を示す． このように構威された油回転真空ポンプにおいては、ロ
ータ５が第５図に矢印Ｘで示す方向に回転すると、気体
がロータ５．ポンプケーシング１およびベーン７によっ
て形成される空間部（間隙６）に吸気口３から吸い込ま
れ、この空間部で圧縮されて排気口４からポンプケーシ
ング１外に排出される。このとき、ベーン７はポンプケ
ーシングｌの内周面に沿って摺動するため、間隙６内に
おける気体の吸気側への漏洩を防止する．〔発明が解決
しようとする課題〕 ところで、この種の油回転真空ポンプにおいては、エッ
ジ部Ａの付近で内周面１ａ． ｉｂの曲率半径が急変す
ることからベーン７の追従性が悪く、べ−７７がエッジ
部Ａを通過する際にポンプケーシング１の内周面１ａ，
ｌｂから離間していた．この結果、ベーン７がエッジ
部Ａの付近を摺動ずると、ポンプケーシング１の内周面
１ａ． ｌｂに衝突して騒音が発生するという問題があ
った． 本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、ポン
プケーシング内周面の境界面で発生する衝突音を緩和さ
せることができ、もってロータ回転時の騒音を大幅に低
減することができる油回転真空ポンプを提供するもので
ある． 〔課題を解決するための手段〕 本発明に係る油回転真空ポンプにおいては、各曲率半径
が互いに異なる大小２つの内周面をもつポンプケーシン
グ内であって、両内周面が交差するエッジ部を含む部位
に切欠きを形成することによりベーン摺動面を設け、こ
のベーン摺動面を両内周面に接する切欠き面によって形
成したものである． 〔作 用〕 本発明においては、ロータの回転時にベーンが一方の内
周面から他方の内周面に移行するに際してベーン摺動面
に沿って摺動ずる． 〔実施例〕 以下、本発明の構戒等を図に示す実施例によって詳細に
説明する． 第１図は本発明に係る油回転真空ポンプの要部を示す断
面図で、同図において第４図および第５図と同一の部材
については同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
同図において、符号１ｌで示すポンプケーシング内には
、各曲率半径Ｒｉ． Ｉ’ｈが互いに異なる大小２つの
内周面１１ａ，ｌｌｂが交差するエッジ部Ｂを含む部位
に切欠き１２を形成することによりベーン摺動面１３が
設けられている．このベーン摺動面１３は、前記両内周
面１１ａ，ｌｌｂに接する切欠き面によって形成されて
いる． このように構威された油回転真空ポンプにおいては、ロ
ータ５の回転時にベー７７が内周面１１ａから内周面１
ｌｂに移行するに際してベーン摺動面ｌ３に沿って摺動
することになるから、エフジＢの付近でベーン７の追従
性を良好なものにすることができ、ポンプケーシング内
周面１１ａ． ｌｌｂの境界面で発生する衝突音を緩和
させることができる．次に、本実施例および従来例にお
けるロータ５の回転角とロータ５のポンプケーシング１
１内周面までの距離との関係を第２図に示す．これは、
ベーン７のロータ外径方向に飛び出す距離．遠心力，質
量，加速度，回転速度および回転半径をｊ（ｘ），ｆ，
ｍ，ａ，ｖ，ｒとすると、ａ −ｄ”ｘ ／ ｄｔ”，
ｆ−ｍα，α＝ｖ”／ｒとなり、これらの式から求め
ることかできる。ここで、本実施例および従来例におけ
るベーン７の軌跡を各々太い破線と細い破線で表すこと
ができる．そして、ベーン７の軌跡開始点Ｍをベーン摺
動面１３（接ｍ）の始まる点に平行移動させると両者の
曲線が略同一になり、これよりベーン７の摺動はロータ
回転時にベーン摺動面１３上を離間することなく行われ
ることが理解できる．ここで、符号Ｃはベーン７がポン
プケーシング１１の内周面に衝突する位置を示す。
、各曲率半径Ｒｉ． Ｉ’ｈが互いに異なる大小２つの
内周面１１ａ，ｌｌｂが交差するエッジ部Ｂを含む部位
に切欠き１２を形成することによりベーン摺動面１３が
設けられている．このベーン摺動面１３は、前記両内周
面１１ａ，ｌｌｂに接する切欠き面によって形成されて
いる． このように構威された油回転真空ポンプにおいては、ロ
ータ５の回転時にベー７７が内周面１１ａから内周面１
ｌｂに移行するに際してベーン摺動面ｌ３に沿って摺動
することになるから、エフジＢの付近でベーン７の追従
性を良好なものにすることができ、ポンプケーシング内
周面１１ａ． ｌｌｂの境界面で発生する衝突音を緩和
させることができる．次に、本実施例および従来例にお
けるロータ５の回転角とロータ５のポンプケーシング１
１内周面までの距離との関係を第２図に示す．これは、
ベーン７のロータ外径方向に飛び出す距離．遠心力，質
量，加速度，回転速度および回転半径をｊ（ｘ），ｆ，
ｍ，ａ，ｖ，ｒとすると、ａ −ｄ”ｘ ／ ｄｔ”，
ｆ−ｍα，α＝ｖ”／ｒとなり、これらの式から求め
ることかできる。ここで、本実施例および従来例におけ
るベーン７の軌跡を各々太い破線と細い破線で表すこと
ができる．そして、ベーン７の軌跡開始点Ｍをベーン摺
動面１３（接ｍ）の始まる点に平行移動させると両者の
曲線が略同一になり、これよりベーン７の摺動はロータ
回転時にベーン摺動面１３上を離間することなく行われ
ることが理解できる．ここで、符号Ｃはベーン７がポン
プケーシング１１の内周面に衝突する位置を示す。
なお、本実施例におけるベーン摺動面１３は、例えば数
値制御工作機械によって形或することができるが、この
他第１図に鎖線で示すように内周面１ｌｂの曲率半径Ｒ
と同一の曲率半径をもつ円弧面をボンプケーシングｌ内
に形成し、この円弧面と各内周面１１ａ， Ｉｌｂ間の
エッジ部Ｂをサンドペーバによって表面加工してベーン
摺動面ｌ３と近似したベーン摺勤面２１を簡単かつ安価
に得ることができる．この場合、表面加工前におけるベ
ーン摺動面２ｌの中心は前記両内周面１１ａ． ｌｌｂ
に共通の接線に直交しかつ前記エッジ部Ｂを通遇する線
上に位置し、その曲率半径は前記両内周面１１ａ．１ｌ
ｂのうち内周面ｆｉｂの曲率半径Ｒ８と同一の寸法に設
定されている．そして、ベーン７の軌跡は第３図に示す
鎖線で表すことができる． 〔発明の効果〕 以上説明したように本発明によれば、各曲率半径が互い
に異なる大小２つの内周面をもつポンプケーシング内で
あって、両内周面が交差するエッジ部を含む部位に切欠
きを形成することによりべ一ン摺動面を設け、このベー
ン摺動面を前記両内周面に接する切欠き面によって形成
したので、ロータの回転時にベーンが一方の内周面から
他方の内周面に移行するに際してベーン摺動面に沿って
摺動ずることになる。したがって、エッジの付近でベー
ンの追従性を良好なものにすることができるから、ポン
プケーシング内周面の境界面で発生する衝突音を緩和さ
せることができ、ロータ回転時の騒音を大幅に低減する
ことができる．
値制御工作機械によって形或することができるが、この
他第１図に鎖線で示すように内周面１ｌｂの曲率半径Ｒ
と同一の曲率半径をもつ円弧面をボンプケーシングｌ内
に形成し、この円弧面と各内周面１１ａ， Ｉｌｂ間の
エッジ部Ｂをサンドペーバによって表面加工してベーン
摺動面ｌ３と近似したベーン摺勤面２１を簡単かつ安価
に得ることができる．この場合、表面加工前におけるベ
ーン摺動面２ｌの中心は前記両内周面１１ａ． ｌｌｂ
に共通の接線に直交しかつ前記エッジ部Ｂを通遇する線
上に位置し、その曲率半径は前記両内周面１１ａ．１ｌ
ｂのうち内周面ｆｉｂの曲率半径Ｒ８と同一の寸法に設
定されている．そして、ベーン７の軌跡は第３図に示す
鎖線で表すことができる． 〔発明の効果〕 以上説明したように本発明によれば、各曲率半径が互い
に異なる大小２つの内周面をもつポンプケーシング内で
あって、両内周面が交差するエッジ部を含む部位に切欠
きを形成することによりべ一ン摺動面を設け、このベー
ン摺動面を前記両内周面に接する切欠き面によって形成
したので、ロータの回転時にベーンが一方の内周面から
他方の内周面に移行するに際してベーン摺動面に沿って
摺動ずることになる。したがって、エッジの付近でベー
ンの追従性を良好なものにすることができるから、ポン
プケーシング内周面の境界面で発生する衝突音を緩和さ
せることができ、ロータ回転時の騒音を大幅に低減する
ことができる．
第１図は本発明に係る油回転真空ポンプの要部を示す断
面図、第２図および第３図は本発明と従来例におけるベ
ーンの軌跡を示す図、第４図および第５図は従来の油回
転真空ボンブの全体と要部を示す断面図である． ５・・・・ロー夕、７・・・・ベーン、１１・・・・ポ
ンプケーシング、１１ａ．１ｌｂ ・・・・内周面、
１２・・・・切欠き、１３・・・・ベーン摺動面、Ｂ・
・・・エッジ部。 代 理 人 大 岩 増 雄第１図 第２図
面図、第２図および第３図は本発明と従来例におけるベ
ーンの軌跡を示す図、第４図および第５図は従来の油回
転真空ボンブの全体と要部を示す断面図である． ５・・・・ロー夕、７・・・・ベーン、１１・・・・ポ
ンプケーシング、１１ａ．１ｌｂ ・・・・内周面、
１２・・・・切欠き、１３・・・・ベーン摺動面、Ｂ・
・・・エッジ部。 代 理 人 大 岩 増 雄第１図 第２図
Claims (1)
- 各曲率半径が互いに異なる大小２つの内周面をもつポン
プケーシングと、このケーシング内に回転自在に設けら
れベーンを有するロータとを備えた油回転真空ポンプに
おいて、前記ポンプケーシング内であって前記両内周面
が交差するエッジ部を含む部位に切欠きを形成すること
によりベーン摺動面を設け、このベーン摺動面を前記両
内周面に接する切欠き面によって形成したことを特徴と
する油回転真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15876289A JPH0326894A (ja) | 1989-06-21 | 1989-06-21 | 油回転真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15876289A JPH0326894A (ja) | 1989-06-21 | 1989-06-21 | 油回転真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0326894A true JPH0326894A (ja) | 1991-02-05 |
Family
ID=15678787
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15876289A Pending JPH0326894A (ja) | 1989-06-21 | 1989-06-21 | 油回転真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0326894A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20040028131A (ko) * | 2002-09-30 | 2004-04-03 | 발레오만도전장시스템스코리아 주식회사 | 노이즈 저감형 진공 펌프 |
| CN102678560A (zh) * | 2011-03-18 | 2012-09-19 | Ulvac机工株式会社 | 油旋转真空泵 |
-
1989
- 1989-06-21 JP JP15876289A patent/JPH0326894A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20040028131A (ko) * | 2002-09-30 | 2004-04-03 | 발레오만도전장시스템스코리아 주식회사 | 노이즈 저감형 진공 펌프 |
| CN102678560A (zh) * | 2011-03-18 | 2012-09-19 | Ulvac机工株式会社 | 油旋转真空泵 |
| JP2012193721A (ja) * | 2011-03-18 | 2012-10-11 | Ulvac Kiko Inc | 油回転真空ポンプ |
| KR101348497B1 (ko) * | 2011-03-18 | 2014-01-06 | 울박 키코 인코포레이션 | 오일 회전 진공 펌프 |
| TWI503483B (zh) * | 2011-03-18 | 2015-10-11 | Ulvac Kiko Inc | 油旋轉真空泵浦 |
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