TWI503269B - 迴旋流形成體及非接觸搬運裝置 - Google Patents

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Description

迴旋流形成體及非接觸搬運裝置
本發明係關於一種迴旋流形成體及使用該迴旋流形成體的非接觸搬運裝置，尤其是關於一種用於大型液晶顯示器(LCD)或電漿顯示器(PDP)等之FPD(平面顯示器)或太陽電池板(solar panel)等之生產的軌條(rail)狀之非接觸搬運裝置、及構成該非接觸搬運裝置的迴旋流形成體。
習知以來，在生產FPD或太陽電池板等時，有採用藉由將1片面板大型化以提高生產效率的方法。例如，在液晶玻璃的情況時，第10代可達2850×3050×0.7mm的大小。因此，如習知般，當將液晶玻璃載置於複數個並排的輥子上而滾動搬運時，會因支撐輥子的軸之撓曲或輥子高度的不均等而使較強之力局部在液晶玻璃起作用，而有傷及液晶玻璃之虞。
依上述輥子之滾動搬運裝置，近年來已開始採用一種被要求該裝置與面板為非接觸之例如在FPD之處理步驟中無法採用的氣浮式搬運裝置。作為非接觸搬運裝置，有存在如下的裝置：在板狀之軌條的一部分使用多孔質材料，藉由使其與供氣路徑連通而供氣，並利用噴出空氣將FPD浮起搬運。但是，當使用該裝置時，由於FPD是成為一邊朝上下方向移動一邊浮游的狀態，所以雖然能夠用於搬運步驟，但是卻無法在例如被要求30~50μm之高精度浮起高度的處理步驟中採用。
又，當在使用上述多孔質材料的板狀之軌條設置抽真空用的孔時，裝置的構成就會變得複雜，且裝置本身會變得高價，並且當為了要高精度地維持浮起高度而提高供氣壓力時，會有發生高剛性空氣之壓縮性的自激振動，而無法高精度地保持浮起高度的問題。
更且，雖然也有存在將孔口(orifice：小徑的口)取代多孔質材料來與抽真空用的孔交互地穿設的裝置，但是會有因來自孔口之較強的噴出空氣而發生靜電、或擾動無塵室之環境、或消耗流量變大而使運轉成本高漲的問題。
因此，在專利文獻1中，有提出一種在基體之搬運面具備2個以上之迴旋流形成體的非接觸搬運裝置，作為流體流量及能源消耗量少、且可高精度地維持浮起高度的非接觸搬運裝置，而該迴旋流形成體係藉由使流體從流體噴出口噴出，可產生朝向遠離環狀構件之表面側的方向之迴旋流，並且在環狀構件之表面側的開口部近旁產生朝背面方向的流體流動。
(專利文獻1)國際公開第2009/119377號文獻
在上述專利文獻1所記載的非接觸搬運裝置中，由於是在形成於基體之搬運面的凹部容納迴旋流形成體，且藉由突設於凹部周圍的隆起部將該迴旋流形成體斂縫接合，所以要將迴旋流形成體裝設於基體需要長時間而關係著非接觸搬運裝置之製造成本的升高，並且在將迴旋流形成體斂縫接合於基體時，會在迴旋流形成體之安裝角度產生不均等，或在迴旋流形成體或基體(軌條)發生向外彎曲使得被搬運物之浮起高度的精度降低之虞的問題。
因此，本發明係有鑒於上述先前技術的問題點而開發完成者，其目的在於提供一種可減低非接觸搬運裝置之製造成本，且防止被搬運物之浮起高度之精度降低的迴旋流形成體、及使用該迴旋流形成體的非接觸搬運裝置。
為了達成上述目的，本發明提供一種迴旋流形成體，其特徵為，具備：呈碗狀的本體，其係具有開口於表面側之俯視觀察呈圓形的穴部；及流體噴出口，其係開口於形成該本體之前述穴部的內表面；以及流體取入口，其係開口於前述本體之外表面，且與前述流體噴出口連通，並藉由從前述流體噴出口噴出流體，俾於前述本體之表面側產生朝向遠離該表面之方向的上升迴旋流。
依據本發明，由於迴旋流形成體，係使流體噴出口開口於碗狀的本體之內表面，且於外表面具備與流體噴出口連通的流體取入口，所以藉由將該迴旋流形成體容納於基體之凹部等，且從流體取入口取入流體，就可簡單地構成非接觸搬運裝置，且可將非接觸搬運裝置之製造成本抑制得較低。又，正當將該迴旋流形成體裝設於基體時，藉由將該迴旋流形成體之本體的外表面壓入於基體之容納部的內表面，就不會在該本體的外表面與基體的容納部之內表面之間產生流體的洩漏而使該迴旋流形成體被裝設於前述基體。
又，在上述迴旋流形成體中，前述本體，係可於底面具備突出部，並且具備一體形成於前述穴部之開口部外周緣的環狀鍔部，且具備：從該環狀鍔部之外周面朝向前述底面側突出，且於前端具有卡止突起的複數個突出部。藉由該構成，就可以單觸操作(one touch)將迴旋流形成體裝設於基體，且可更進一步減低製造成本。又，由於在將迴旋流形成體裝設於基體時，並未如習知般地使用斂縫接合，所以不會在迴旋流形成體之安裝角度產生不均等，或在迴旋流形成體及基體發生向外彎曲，故可將被搬運物之浮起高度的精度維持得較高。
在上述迴旋流形成體中，前述流體噴出口，是在前述穴部之圓筒狀內壁面並位於該圓筒狀內壁面的切線方向，也就是位於：在夾隔著該穴部中心並呈對角線上之相對向之位置所形成的凹部處，使分別位在前述穴部之圓筒狀內壁面側的前述開口部，分別朝向相反方向而形成。如此，藉由在該凹部形成分別開口於相反方向的流體噴出口，就可使從該流體噴出口噴出的流體抵接於圓筒狀內壁面，且在該穴部產生右旋轉方向或是左旋轉方向的上升迴旋流。
又，迴旋流形成體，係可由聚縮醛共聚合物樹脂等之熱塑性合成樹脂一體成形，故可更進一步減低迴旋流形成體的製造成本。
更且，本發明提供一種非接觸搬運裝置，係由基體、與裝設於該基體的搬運面之可產生俯視觀察為相互地呈相反方向之上升迴旋流的2個以上之迴旋流形成體所構成，其特徵為：該基體係具備：俯視觀察呈圓形的複數個容納部，其係開口於搬運面；及該容納部的底面；以及呈帶狀的圓筒卡止凹部，其係形成於該容納部之圓筒狀內壁面且直徑比該容納部之開口部之直徑還更大；且藉由形成於前述迴旋流形成體的前述本體之底面的突出部抵接於前述基體之容納部的底面以使該本體撓曲，而可將前述複數個卡止突起之各個容納於前述基體之圓筒卡止凹部，且藉由該本體回復到原來的形狀而使前述複數個卡止突起之各個可卡止於該圓筒卡止凹部，並且藉由該本體之環狀鍔部的外周面被壓入嵌合於前述基體之容納部的圓筒狀內壁面而使該迴旋流形成體被裝設於前述基體之容納部。依據本發明，可提高一種構造簡單且減低製造成本的非接觸搬運裝置。
又，在上述非接觸搬運裝置中，將可產生一方向之上升迴旋流的前述迴旋流形成體與流體吸入用孔，沿著前述基體之寬度方向交互地配置而成的列；以及將可產生另一方向之上升迴旋流的前述迴旋流形成體與流體吸入用孔，沿著前述基體之寬度方向交互地配置而成的列，沿著該基體之長度方向交互地配置，並且前述流體吸入用孔以位在：位於該基體之寬度方向及長度方向的同方向產生上升迴旋流的前述迴旋流形成體之間的方式進行排列。藉由該構成，由於從迴旋流形成體擴展流動的面在複數個迴旋流形成體成為同一平面，且使被搬運物浮起的基準變成為基體之搬運面，所以可高精度地控制被搬運物之浮起高度，並且藉由以流體吸入用孔來真空吸附周圍的微量流體，就可高精度地控制被搬運物之浮起高度，並可合適地應用於處理步驟等中。
如以上所述，依據本發明，可提供一種減低非接觸搬運裝置之製造成本，且防止被搬運物之浮起高度之精度降低的迴旋流形成體、及使用該迴旋流形成體的非接觸搬運裝置。
其次，就本發明的實施形態一邊參照圖式一邊詳細說明。另外，在以下的說明中，係舉使用空氣作為搬運用流體，且搬運液晶玻璃(以下，稱為「玻璃」)作為被搬運物的情況為例加以說明。
第1圖(a)至第1圖(f)係顯示本發明之產生迴旋流形成體中的俯視觀察呈右旋轉方向(順時鐘方向)之上升迴旋流的迴旋流形成體1，而該迴旋流形成體1，係具備：碗狀的本體1a，其係以例如聚縮醛共聚合物樹脂等之熱塑性合成樹脂一體成形；及俯視觀察呈圓形的穴部1b，其係位於本體1a之內部，並且開口於一方；及環狀鍔部1c，其係形成於本體1a，且一體形成於該穴部1b之開口部的外周緣；及4支突出部1f，其係從該環狀鍔部1c之外周面1d朝向下方突出，且於前端具有卡止突起1e並在徑向相對向而形成；及圓筒狀的突出部1h，其係在本體1a之底面1g的中央部從該底面1g稍微朝下方突出；及凹部1j、1j，其係形成於本體1a的穴部1b之圓筒狀內壁面1i且形成於該圓筒狀內壁面1i之切線方向並隔著該穴部1b之中心O而呈對角線上之相對向的位置；及空氣的噴出口1k、1k，其係形成於各自的凹部1j，且朝向穴部1b之圓筒狀內壁面1i側分別開口於相反方向；以及空氣取入口1l、1l，其係連通於噴出口1k，且開口於本體1a之外周面。
上述迴旋流形成體1，係藉由夾介空氣取入口1l、1l分別從噴出口1k、1k噴出的空氣抵接於本體1a的穴部1b之圓筒狀內壁面1i，而產生俯視觀察呈右旋轉方向之上升迴旋流(第1圖(b)中的箭頭方向)。
第2圖(a)至第2圖(f)係顯示本發明之產生迴旋流形成體中的俯視觀察呈左旋轉方向之上升迴旋流的迴旋流形成體4，而該迴旋流形成體4，係與前述迴旋流形成體1同樣，具備：碗狀的本體4a，其係以例如聚縮醛共聚合物樹脂等之熱塑性合成樹脂一體成形；及俯視觀察呈圓形的穴部4b，其係位於本體4a之內部，並且開口於一方；及環狀鍔部4c，其係形成於本體4a，且一體形成於該穴部4b之開口部的外周緣；及4支突出部4f，其係從該環狀鍔部4c之外周面4d朝向下方突出，且於前端具有卡止突起4e並在徑向相對向而形成；及圓筒狀的突出部4h，其係在本體4a之底面4g的中央部從該底面4g稍微朝下方突出；及凹部4j、4j，其係形成於本體4a的穴部4b之圓筒狀內壁面4i且形成於該內壁面4i之切線方向並隔著該穴部4b之中心O而呈對角線上之相對向的位置；及空氣的噴出口4k、4k，其係形成於各自的凹部4j，且朝向該穴部4b之圓筒狀內壁面4i側分別開口於相反方向；以及空氣取入口4l、4l，其係連通於噴出口4k、4k，且開口於本體4a之外周面。
上述迴旋流形成體4，係藉由夾介空氣取入口4l、4l分別從噴出口4k、4k噴出的空氣抵接於本體4a的穴部4b之圓筒狀內壁面4i，而產生俯視觀察呈左旋轉方向之上升迴旋流(第2圖(b)中的箭頭方向)。
如第3圖(a)及(b)所示，裝設有上述迴旋流形成體1或4的基體2，係具備：俯視觀察呈圓形的容納部2b，其係穿設於搬運面2a，且開口於上面；及該容納部2b的底面2d；及帶狀的圓筒狀卡止凹部2e，其係形成於該容納部2b之圓筒狀內壁面2c，且形成直徑比容納部2b之開口部的直徑還更大；以及貫通孔2g，其係將經由從泵浦(未圖示)沿著基體2之長度方向而形成的空氣通路2f供給的空氣供給至容納部2b。
在基體2之容納部2b裝設迴旋流形成體1時，係將迴旋流形成體1從突出部1f之卡止突起1e側插入於基體2之容納部2b，且如第5圖(a)所示，在使迴旋流形成體1之突出部1h抵接於基體2的容納部2b之底面2d之後，當將迴旋流形成體1下壓時，本體1a就會撓曲而可將卡止突起1e插入於帶狀的圓筒狀卡止凹部2e。之後，當解除迴旋流形成體1朝下方的按壓力時，就如第5圖(b)所示，本體1a會回復到原來的形狀，且在迴旋流形成體1之卡止突起1e卡止於基體2之圓筒狀卡止凹部2e的狀態下迴旋流形成體1可牢固地固設於基體2。此時，由於迴旋流形成體1的本體1a之環狀鍔部1c之外周面1d會與基體2的容納部2b之圓筒狀內壁面2c壓入嵌合，所以可防止空氣從該壓入嵌合部洩漏。另外，在將迴旋流形成體4裝設於基體2之容納部2b的情況，也可以與前述迴旋流形成體1朝基體2之容納部2b的裝設方法相同的方法來進行。
第4圖(a)及(b)係顯示裝設有迴旋流形成體1或4的基體2之另一實施形態，且具備：俯視觀察呈圓形的容納部2b，其係穿設於搬運面2a，且開口於上面；及該容納部2b的底面2d；及帶狀的圓筒狀卡止凹部2e，其係形成於該容納部2b之圓筒狀內壁面2c，且形成直徑比容納部2b之開口部的直徑還更大；以及空氣通路2f，其係從泵浦(未圖示)沿著基體2之長度方向而形成，且一部分開口於前述容納部2b。在該第4圖(a)及(b)所示的基體2中，並不需要從前述第3圖(a)及(b)所示的基體2中之空氣通路2f將空氣供給至容納部2b的貫通孔2g。另外，該第4圖(a)及(b)所示之將迴旋流形成體1或4裝設於基體2的方法，係與在前述第5圖(a)及(b)中說明的裝設方法相同。
其次，就上述迴旋流形成體1、與裝設有該迴旋流形成體1的基體2之動作，參照第6圖加以說明。
從泵浦(未圖示)供給至基體2之空氣通路2f的空氣，係經由連通於該空氣通路2f的貫通孔2g供給至容納部2b，且從容納部2b經由迴旋流形成體1之空氣取入口1l、1l(參照第1圖(e))分別從噴出口1k、1k噴出至穴部1b。噴出後的空氣，係抵接於穴部1b之圓筒狀內壁面1i，且在迴旋流形成體1之穴部1b的上方產生俯視觀察呈右旋轉方向(順時鐘方向)之上升迴旋流，然後利用該上升迴旋流使作為被搬運物的玻璃3浮起。
其次，就本發明的非接觸搬運裝置之一實施形態，一邊參照第7圖及第8圖一邊說明。
第7圖所示的非接觸搬運裝置10，係供以非接觸方式搬運玻璃3使用，且具備：二個搬運步驟11及13；以及包夾於此等搬運步驟11及13的處理步驟12。
在二個搬運步驟11及13中，係並排地配置3座非接觸搬運裝置21，該非接觸搬運裝置21係將迴旋流形成體1、及可產生與該迴旋流形成體1逆向之迴旋流的迴旋流形成體4，在基體2之搬運面2a遍及於2排，且在第7圖之紙面上以上下左右交互地裝設複數個而構成。另外，為了易於圖解，以塗滿黑色顯示迴旋流形成體4。
另一方面，如第7圖(a)所示，處理步驟12中的非接觸搬運裝置12，係具備基體2，該基體2係將可產生俯視觀察呈右旋轉方向之上升迴旋流的迴旋流形成體1與吸入微量空氣的流體吸入用之小徑孔31，沿著基體2之寬度方向交互地配置而成的列；以及將可產生俯視觀察呈左旋轉方向之上升迴旋流的迴旋流形成體4與流入微量空氣的流體吸入用之小徑孔31，沿著基體2之寬度方向交互地配置而成的列，沿著該基體2之長度方向交互地配置，並且以直徑1~2mm左右的小徑孔31位於和該基體2之寬度方向及長度方向鄰接的迴旋流形成體1與1之間、以及所鄰接的迴旋流形成體4與4之間的方式進行排列。如第7圖(b)所示，該非接觸搬運裝置32，係並排地配置3排而構成。
其次，就上述處理步驟12中的非接觸搬運裝置32之詳細構造，一邊參照第8圖一邊說明。
對裝設於基體2之搬運面2a的迴旋流形成體1及4，經由在基體2之內部沿著基體2之長度方向而穿設的空氣通路2f及泵浦(未圖示)供給空氣，且從第1圖(e)所示的迴旋流形成體1之噴出口1k、1k及第2圖(e)所示的迴旋流形成體4之噴出口4k、4k噴出至穴部1b及4b。從此等噴出口1k、1k及4k、4k噴出的空氣，係抵接於該穴部1b及4b之圓筒狀內壁面1i及4i，藉此，該迴旋流形成體1就會在穴部1b之上方產生俯視觀察呈右旋轉方向之上升迴旋流，而迴旋流形成體4則會在穴部4b之上方產生俯視觀察呈左旋轉方向之上升迴旋流。在此，如第8圖(b)所示，由於各空氣通路2f，係相互地藉由連通孔(未圖示)而連通，所以可均一地維持來自噴出口1k、1k及4k、4k的空氣之噴出量，且可均一地維持玻璃3之浮起高度。
又，如第8圖(b)所示，開口於基體2之搬運面2a並以位於和該基體2之寬度方向及長度方向鄰接的迴旋流形成體1與1之間、以及所鄰接的迴旋流形成體4與4之間的方式進行排列的直徑1~2mm左右的小徑孔31，係連通於沿著基體2之長度方向而穿設的空氣通路41，並且該空氣通路41係藉由連通孔(未圖示)而連通。因而，小徑孔31，係利用真空泵浦(未圖示)吸引迴旋流形成體1及4之周邊的空氣，藉此可均一地維持來自小徑孔31的空氣之吸引量，且可既均一又高精度地控制玻璃3之浮起高度。
如此在處理步驟中的非接觸搬運裝置32中，藉由控制：利用對迴旋流形成體1及迴旋流形成體4之噴出口1k、1k及4k、4k的供氣壓力來加大浮起量的作用；以及利用來自小徑孔31的真空吸附壓力來減小浮起量的作用之兩作用，就可高精度地控制30~50μm的被搬運物之浮起高度。
其次，就具有上述構成的非接觸搬運裝置10之動作，參照第7圖加以說明。
在搬運步驟11之非接觸搬運裝置21中已浮起的狀態下，藉由另外設置的空氣噴出裝置(未圖示)等而被搬運的玻璃3，係當進入處理步驟12中的非接觸搬運裝置32時，就會藉由產生於迴旋流形成體1及4的上升迴旋流而浮起，並且利用位於各迴旋流形成體間的小徑孔31來真空吸附周圍之微量空氣，藉此玻璃3就可高精度地控制在30~50μm之浮起高度，且可進行各種檢查或加工。之後，玻璃3，係在搬運步驟13之非接觸搬運裝置21中已浮起的狀態下，藉由另外設置的空氣噴出裝置搬運至下一個步驟。在此，厚度0.7mm的玻璃3在第7圖(b)所示的處理步驟12中，可獲得如下的實驗結果：在以迴旋流形成體1、4之穴部1b、4b的直徑Φ 16mm、噴出口1k、4k之直徑0.35mm、供氣壓力50kPa、真空吸附壓力10kPa之條件進行搬運的狀態中，可將玻璃3的彎曲起伏之振幅抑制在30μm以下；相對於此，在前後的搬運步驟11及13中，玻璃3的彎曲起伏之振幅會超過100μm。
第9圖係顯示第7圖(b)所示的非接觸搬運裝置10之處理步驟12的另一實施形態，而在該處理步驟12中，係在並排地排列3座的非接觸搬運裝置32更進一步排列與該非接觸搬運裝置32鄰接之3座的非接觸搬運裝置32。在排列2排的該非接觸搬運裝置32的處理步驟12中，係在非接觸搬運裝置32與32之間，進行例如照相穿透檢查等的作業。
另外，在上述實施形態中，如第1圖及第2圖所示，雖然是在迴旋流形成體1及4之穴部1b設置凹部1j及4j，且在凹部1j及4j形成有噴出口1k及4k，但是並不一定要設置凹部1j及4j，亦可在穴部1b之圓筒狀內壁面1i及4i直接形成噴出口1k及4k。
又，雖然在迴旋流形成體1及4之本體1a及4a的環狀鍔部1c及4c之外周面1d及4d於徑向相對向延伸設置有4支具有卡止突起1e及4e的突出部1f及4f，但是突出部1f及4f的支數並未被限定於4支，亦可設為3支或5支以上。更且，正當將迴旋流形成體1及4裝設於基體2時，並不使用具有卡止突起1e及4e的突出部1f及4f，亦可採用其他的卡止構造。
更且，在上述各實施形態中，雖然已就使用空氣作為流體的情況加以說明，但是亦可使用空氣以外之氮氣等的處理氣體。
1、4．．．迴旋流形成體
1a、4a．．．本體
1b、4b．．．穴部
1c、4c．．．環狀鍔部
1d、4d．．．環狀鍔部之外周面
1e、4e．．．卡止突起
1f、4f．．．突出部
1g、4g．．．底面
1h、4h．．．突出部
1i、4i．．．圓筒狀內壁面
1j、4j．．．凹部
1k、4k．．．噴出口
1l、4l．．．空氣取入口
2．．．基體
2a．．．搬運面
2b．．．容納部
2c．．．圓筒狀內壁面
2d．．．底面
2e．．．圓筒卡止凹部
2f．．．空氣通路
2g．．．貫通孔
3．．．氣體
10．．．非接觸搬運裝置
11、13‧‧‧搬運步驟
12‧‧‧處理步驟
21‧‧‧非接觸搬運裝置
31‧‧‧小徑孔
32‧‧‧非接觸搬運裝置
41‧‧‧空氣通路
第1圖係顯示本發明之產生俯視觀察呈右旋轉方向(順時鐘方向)之迴旋流的迴旋流形成體之一實施形態的示意圖；其中的(a)為前視圖；(b)為俯視圖；(c)為仰視圖；(d)為(b)之A-A線剖視圖；(e)為(c)之B部的放大剖視圖；(f)為(d)之C部的放大剖視圖。
第2圖係顯示本發明之產生俯視觀察呈左旋轉方向(逆時鐘方向)之迴旋流的迴旋流形成體之一實施形態的示意圖；其中的(a)為前視圖；(b)為俯視圖；(c)為仰視圖；(d)為(c)之D-D線剖視圖；(e)為(c)之E部的放大剖視圖；(f)為(d)之F部的放大剖視圖。
第3圖係顯示裝設迴旋流形成體的基體之一實施形態的示意圖；其中的(a)為俯視圖；(b)為(a)之G-G線剖視圖。
第4圖係顯示裝設迴旋流形成體的基體之另一實施形態的示意圖；其中的(a)為俯視圖；(b)為(a)之H-H線剖視圖。
第5圖係用以說明將第1圖所示的迴旋流形成體裝設於第3圖所示的基體之要領的剖視圖；其中的(a)係顯示將迴旋流形成體整體下壓在基體的容納部之底面的狀態；(b)係迴旋流形成體被裝設於基體之容納部的狀態。
第6圖係顯示將第1圖所示的迴旋流形成體裝設於第3圖所示的基體之容納部的狀態之剖視圖。
第7圖係顯示本發明的非接觸搬運裝置之一實施形態的俯視圖；其中的(a)係顯示處理步驟用非接觸搬運裝置之一部分的俯視圖；(b)係顯示包含搬運步驟在內的非接觸搬運裝置整體之俯視圖。
第8圖係顯示第7圖所示的處理步驟用非接觸搬運裝置之示意圖；其中的(a)為俯視圖；(b)為(a)之I-I線剖視圖。
第9圖係顯示本發明之包含搬運步驟在內的非接觸搬運裝置整體之另一實施形態的俯視圖。
1．．．迴旋流形成體
1a．．．本體
1b．．．穴部
1c．．．環狀鍔部
1d．．．環狀鍔部之外周面
1e．．．卡止突起
1f．．．突出部
1g．．．底面
1h．．．突出部
1i．．．圓筒狀內壁面
1j．．．凹部
1k．．．噴出口
1l．．．空氣取入口
O．．．中心

Claims (5)

  1. 一種迴旋流形成體，其特徵為，具備：本體，其係形成為具有開口於表面側之俯視觀察呈圓形的穴部之碗狀，於底面具備突出部，並且具備一體形成於前述穴部之開口部外周緣的環狀鍔部，且具備：從該環狀鍔部之外周面朝向前述底面側突出，且於前端具有卡止突起的複數個突出部；及流體噴出口，其係開口於形成該本體之前述穴部的內表面；以及流體取入口，其係開口於前述本體之外表面，且與前述流體噴出口連通，並藉由從前述流體噴出口噴出流體，俾於前述本體之表面側產生朝向遠離該表面之方向的上升迴旋流。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的迴旋流形成體，其中，前述流體噴出口，是在前述穴部之圓筒狀內壁面並位於該圓筒狀內壁面的切線方向，也就是位於：在夾隔著該穴部中心並呈對角線上之相對向之位置所形成的凹部處，使分別位在前述穴部之圓筒狀內壁面側的前述開口部，分別朝向相反方向而形成。
  3. 如申請專利範圍第1或2項所述的迴旋流形成體，其中，該迴旋流形成體，係由熱塑性合成樹脂一體成形。
  4. 一種非接觸搬運裝置，係由基體、與裝設於該基體的搬運面之可產生俯視觀察為相互地呈相反方向之上升迴旋流的2個以上之迴旋流形成體所構成，其特徵為： 該基體係具備：俯視觀察呈圓形的複數個容納部，其係開口於搬運面；及該容納部的底面；以及呈帶狀的圓筒卡止凹部，其係形成於該容納部之圓筒狀內壁面且直徑比該容納部之開口部之直徑還更大；且前述迴旋流形成體，係如申請專利範圍第1至3項中任一項所述的迴旋流形成體，並藉由形成於前述本體之底面的突出部抵接於前述基體之容納部的底面以使該本體撓曲，而可將前述複數個卡止突起之各個容納於前述基體之圓筒卡止凹部，且藉由該本體回復到原來的形狀而使前述複數個卡止突起之各個可卡止於該圓筒卡止凹部，並且藉由該本體之環狀鍔部的外周面被壓入嵌合於前述基體之容納部的圓筒狀內壁面而使該迴旋流形成體被裝設於前述基體之容納部。
  5. 如申請專利範圍第4項所述的非接觸搬運裝置，其中，將可產生一方向之上升迴旋流的如前述申請專利範圍第1至3項中任一項所述的迴旋流形成體與流體吸入用孔，沿著前述基體之寬度方向交互地配置而成的列；以及將可產生另一方向之上升迴旋流的如前述申請專利範圍第1至3項中任一項所述的迴旋流形成體與流體吸入用孔，沿著前述基體之寬度方向交互地配置而成的列，沿著該基體之長度方向交互地配置，並且前述流體吸入用孔以位在：位於該基體之寬度方向及長度方向的同方向產生上升 迴旋流的前述迴旋流形成體之間的方式排列。
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