TWI467676B - Threading device - Google Patents

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TWI467676B
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Katsutoshi Kuniyoshi
Hayato Kiuchi
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Shinkawa Kk
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Description

打線裝置
本發明係關於打線裝置之構造。
藉由打線裝置使半導體晶片之電極與基板之電極以金屬線連接之情況下，係使用下述方法，即在從接合工具之前端延伸之金屬線與火炬電極之間使火花產生而形成金線結球(free air ball)，將此金線結球接合於一電極上(結球接合)，從接合工具之前端送出引線並迴繞至另一電極上，以將引線接合到另一電極上。在引線接合時，一旦金屬線或是形成之金線結球之表面產生氧化，則金屬線或是形成之金線結球會和各電極產生接合不良，因此大多使用不會氧化之金線來作為引線。
另一方面，在近年來採用銅或鋁等氧化金屬線來進行引線接合之提案被提出。如上述，採用氧化金屬線來進行接合之情形，抑制金屬線表面之氧化是必要的，因此朝向金線結球形成區域或是進行接合之電極表面吹送氧化防止氣體，使金線結球形成區域或是電極附近之區域充滿氧化防止氣體以防止金屬線表面氧化之方法被提出(例如，參照專利文獻1)。
再者，配置氣體覆層(gas cover)圍繞在金線結球形成區域周圍，透過氣體覆層中安裝之多孔質構件，從周圍吹送氧化防止氣體到氣體覆層中央之腔室(cavity)，使腔室成為 氧化防止氣體環境氣氛，在其中使線材與火炬電極間產生火花而形成金線結球之方法被提出(例如，參照專利文獻2)。
專利文獻1：日本特開2007-294975號公報
專利文獻2：日本特開2008-130825號公報
然而，如專利文獻1中所記載，從管件之前端朝向金線結球形成區域吹送氧化防止氣體之情況，為了將金線結球形成區域保持在氧化防止氣體之環境氣氛塊體，必須增加氧化防止氣體之流量。因此，會有在金線結球形成之期間，因氧化防止氣體讓結球冷卻而無法形成良好之金線結球之問題。
一方面，打線裝置是使接合工具可上下地移動以進行引線接合之裝置。因此，如專利文獻2所記載，用氣體覆層包覆金線結球形成區域之周圍，在其中吹出氧化防止氣體以使氣體覆層中央之腔室內形成氧化防止氣體環境氣氛之情況下，使接合工具在腔室中往上下方向移動。
在金線結球形成之際，使接合工具之前端上昇到腔室中，且使火花產生在往前端延伸之引線與火炬電極之間。但是，一旦使接合工具上升，則滯留在接合工具周圍之空氣會伴隨接合工具進入腔室中。即使將氧化防止氣體從腔室周圍吹出，已進入腔室中之空氣亦被氣體覆層遮攬而不容易被排出至外部，在腔室內部會殘留含有氧氣之空氣環境氣氛，而有在此空氣環境氣氛中產生火花之情形。因此， 在專利文獻2所記載之習知技術，並無法抑制金線結球形成之際之金屬表面氧化，會有採用銅等在空氣中會氧化之金屬線來進行引線接合時之接合品質降低之問題。
本發明之目的在於在打線裝置中抑制金線結球表面氧化。
本發明之打線裝置，係藉由引線將半導體晶片之電極與基板之電極之間加以連接，其特徵在於，具備：接合工具，將引線接合至各電極；水平板，設有供接合工具之前端拔插之貫通孔；第一氧化防止氣體流路，沿著水平板上面朝向貫通孔中心吹出氧化防止氣體；以及第二氧化防止氣體流路，沿著水平板上面朝向貫通孔中心從與第一氧化防止氣體流路交叉之方向吹出氧化防止氣體；水平板之未配置各氧化防止氣體流路之區域係以水平板上面之氣體可往水平板之緣之外側流出之方式開放。
在本發明之打線裝置中，較佳為，在第一氧化防止氣體流路之吹出口周緣、第二氧化防止氣體流路之吹出口周緣、各吹出口之各周緣之間，設在水平板之上面之壁面以氧化防止氣體滯留在其附近之方式延伸，壁面係從設在水平板之貫通孔之周緣分離設置。
在本發明之打線裝置中，較佳為，各氧化防止氣體流路之連接於各吹出口之部分，分別為沿著水平板之上面延伸之直線管路；在各直線管路之內部分別設有抑制氧化防止氣體之偏流之導引葉片，較佳為，各導引葉片係將平板組合成十字形以使直線管路之剖面區分成四個區段；平板 係相對於前述水平板之上面傾斜配置。
在本發明的打線裝置中，較佳為，具備從前述水平板下面朝向斜下方向對前述貫通孔之中心吹出氧化防止氣體之第三氧化防止氣體流路，較佳為，前述第一氧化防止氣體流路、前述第二氧化防止氣體流路、前述第三氧化防止氣體流路、前述水平板係設在共通之基體部；前述基體部具有壁面，該壁面在前述第一氧化防止氣體流路之吹出口之周緣、前述第二氧化防止氣體流路之吹出口之周緣、前述各吹出口之各周緣之間配置在前述水平板之上面，在其附近氧化防止氣體滯留，較佳為，前述第三氧化防止氣體流路朝向前述接合工具之前端吹出氧化防止氣體。
在本發明的打線裝置中，較佳為，設有火炬電極，該火炬電極從各氧化防止氣體流路之任一方之氧化防止氣體流路之吹出口朝向水平板之貫通孔延伸，在與往接合工具前端延伸之引線之間使火花產生以形成金線結球。
本發明達到能夠抑制打線裝置中金線結球表面氧化之效果。
以下，參照圖式說明本發明之實施形態。如圖1所示，本實施形態之打線裝置100，具備：使引線接合於半導體晶片或基板電極之接合工具即毛細管31(capillary)、使毛細管31往上下方向移動之安裝於未圖示之超音波放大器(horn)之接合臂32、將從毛細管31之前端延伸之尾引線51(tail wire)形成圖6(b)所示之金線結球52之區域保持成氧化防止氣體環境氣氛並防止金線結球52表面氧化之氧化防止單元10。。氧化防止單元10係與接合臂32(bonding arm)安裝於未圖示之接合頭(bonding head)，一體地往水平方向移動。此外，在圖1，垂直方向係以Z方向表示、XY係表示互為直角之水平方向。以下，在各圖中均相同。
氧化防止單元10係包含以樹脂或絕緣體作成之基體部即本體11、安裝本體11於未圖示之接合頭之安裝臂40。如圖1、圖2所示，本體11係由大致長方體形狀之第一塊體11a、平面大致梯形形狀之第二塊體11b與水平板21整體組合成L字型的物體；第一塊體11a之第二塊體11b側之角部與第二塊體11b之長邊側之角部成形為一體，此凹部側之第一塊體11a與第二塊體11b之各外側面是藉由曲面11e連接。再者，第一塊體11a之垂直壁面11c與第二塊體11b斜邊側之垂直壁面11d相鄰配置。從第一塊體11a之垂直壁面11c與第二塊體11b斜邊側之垂直壁面11d，將第一塊體11a之底面、第二塊體11b之底面連接之水平板21，朝與各垂直壁面11c、11d呈垂直，即向水平方向(XY方向)延伸。亦即，本體11係下述物體，即第一塊體11a與第二塊體11b分別構成圖2所示之往正交之各中心線61(X方向中心線)、62(Y方向中心線)方向延伸之各腕，水平板21係配置成連接各腕之交叉部分、大致長方體形狀之第一塊體11a與平面大致梯形形狀之第二塊體11b與水平板21整體組合成L字型。再者，如圖2所示，水平板21之貫通孔22， 其中心22c是配置成位在第一塊體11a之中心線61(X方向中心線)與第二塊體11b之中心線62(Y方向中心線)之交點位置。再者，如圖1、圖2所示，毛細管31，是配置成其中心成為貫通孔22之中心22c。
第一塊體11a，具備在圖2所示中心線61(X方向中心線)之方向延伸直線狀之第一氧化防止氣體流路12。如圖3所示，第一氧化防止氣體流路12，係在第一孔14a之中嵌入導引葉片組合件14b者，該第一孔14a係以往中心線61(X方向中心線)之方向延伸之方式設置在第一塊體11a之相對於水平板21之垂直壁面11c。導引葉片組合件14b，係包含圓筒狀之外筒14c與使平板十字型交叉之導引葉片14。導引葉片組合件14b的導引葉片14，一旦導引葉片組合件14b嵌入第一孔14a之內面，便構成四個扇形剖面之流路區段12a~12d。導引葉片組合件14b，因十字型之導引葉片14係以與水平板21之上面21a呈45度傾斜之方式嵌入第一塊體11a之第一孔14a，故四個扇形之流路區段12a~12d之內，流路區段12a、12c係排列在垂直方向，流路區段12b、12d係排列在水平方向。因此，各流路區12a~12d整體構成第一氧化防止氣體流路12。再者，如圖3所示，在第一氧化防止氣體流路12之與垂直壁面11c相反側連接有連接於第一氧化防止氣體流路12且往第一塊體11a之斜上方向延伸之第一氧化防止氣體供給管18。因此，如圖1、圖2所示，第一氧化防止氣體流路12之對第一塊體11a之垂直壁面11c之開口，係成為朝向水平板21之貫通孔22吹出氧化防 止氣體之第一氧化防止氣體吹出口16。
第二塊體11b，具備在圖2所示中心線62(Y方向中心線)之方向延伸直線狀之第二氧化防止氣體流路13。如圖4所示，在第二氧化防止氣體流路13，在第二孔15a之中，嵌入安裝有往外筒15c傾斜之平板組合成十字之導引葉片15之導引葉片組合件15b，該第二孔15a係以往中心線62(Y方向中心線)之方向延伸之方式而設置在第二塊體11b之相對於水平板21之垂直壁面11d。導引葉片15，構成四個扇形剖面之流路區段13a~13d，各流路區段13a~13d整體構成第二氧化防止氣體流路13。再者，如圖2、圖4所示，在第二氧化防止氣體流路13之與垂直壁面11d相反側連接有連接於第二氧化防止氣體流路13且往第二塊體11b之斜上方延伸之第二氧化防止氣體供給管19。因此，第二氧化防止氣體流路13之對第二塊體11b之垂直壁面11d之開口，係成為朝向水平板21之貫通孔22吹出氧化防止氣體之第二氧化防止氣體吹出口17。如圖2所示，垂直壁面11d係因相對於中心線62(Y方向中心線)呈傾斜，故第二氧化防止氣體吹出口17如圖1所示成橢圓形狀。
如圖4所示，第二孔15a呈圓筒形狀，在下側設置有半圓形狀之剖面之槽15d。如圖1、圖2所示，槽15d係沿第二塊體11b的中心線62(Y方向中心線)延伸，在槽15d之中安裝有火炬電極35，該火炬電極35在與從毛細管31之前端延伸之尾引線51之間產生火花以形成如圖6所示金線結球52。火炬電極35，係往與第二塊體11b之垂直壁面11d 相反側之安裝臂40延伸，從貫通安裝臂40及第二塊體11b之火炬電極安裝孔36延伸至外部，連接於外部之電源裝置。再者，火炬電極35，係可通過此火炬電極安裝孔36作插拔，能不分解氧化防止單元10之其他部分而僅更換火炬電極35。
再者，如圖4所示，藉由十字型的導引葉片15區隔之4個扇形之流路區段13a~13d之內，下側之流路區段13a，雖火炬電極貫通其下部，但因為流路區段13a之剖面積增加槽15d之量，故構成為能與其他流路區段13b~13d流通同樣的氧化防止氣體。
關於以上述方式構成之打線裝置100之動作，參照圖5至圖7作說明。圖5係表示，在接合載台41之上所吸附之基板42之電極43之上已接合引線50之狀態。在此狀態，毛細管31之前端，通過貫通孔22抵達電極43之表面，上下方向之毛細管31之中心線34與貫通孔22之中心線63(Z方向中心線)為在同一軸上且通過電極43之中心之位置。再者，在圖5如實線箭頭標示，從第一、第二氧化防止氣體供給管18、19，氧化防止氣體各自供給至第一、第二氧化防止氣體流路12、13，氧化防止氣體，係從第一、第二氧化防止氣體流路12、13之各吹出口16、17朝向貫通孔22之中心22c吹出。
如圖6(a)所示，一旦完成引線50向電極43接合，接合臂32旋轉，安裝在接合臂32前端之毛細管31往上方向上昇。一旦毛細管31上昇，則使尾引線51在毛細管31前端 延伸。尾引線51達既定之長度時，藉由未圖示之夾持器(clamper)夾持引線與毛細管31一起上昇，藉此切斷引線。接著，在毛細管31前端將呈現延伸既定之長度之尾引線51之狀態。因此，進一步地，毛細管31前端較水平板21之上面21a更為上側，使毛細管31上昇至尾引線51之下端到達火炬電極35之中心位置附近為止。
一旦毛細管31上昇，毛細管31周圍之空氣，如圖6(a)所示虛線之箭頭，伴隨毛細管31，通過貫通孔22，上昇至水平板21之上面21a。
一方面，如圖6(a)實線箭頭所示，從第一、第二氧化防止氣體流路12、13之各吹出口16、17，沿著水平板21之上面21a朝向貫通孔22之中心22c吹出氧化防止氣體。如圖7所示，從各吹出口16、17吹出之氧化防止氣體，分別在水平板21之上側，沿著各中心線61(X方向中心線)、62(Y方向中心線)方向前進，抵達貫通孔22之上，之後，從未配置氧化防止氣體流路或垂直壁面而開放之與水平板21中心線61(X方向中心線)垂直之緣25、與中心線62(Y方向中心線)垂直之緣23、及相對於中心線61(X方向中心線)、62(Y方向中心線)傾斜之緣24，朝水平板21之外側流去。此際，如圖6(a)、圖7以虛線箭頭所示，通過貫通孔22向水平板21上面21a之上側上昇的空氣，藉由以實線箭頭所示之氧化防止氣體，從未被各垂直壁面11c、11d圍繞而開放之各緣23、24、25向水平板21的外側流出。再者，從各吹出口16、17吹出的氧化防止氣體，藉由相對於水平板21呈 垂直之壁面之第一、第二塊體11a、11b之各垂直壁面11c、11d形成滯留區域，如圖6(a)、圖7所示，以從水平板21之上面21a起與垂直壁面11c、11d之上端之間的高度，包含貫通孔22之區域、與貫通孔和垂直壁面11c、11d之間之區域般地，形成往水平方向擴散之氧化防止氣體之環境氣氛區域70。
如此，已進入水平板21上側的空氣，藉由氧化防止氣體，向水平板21之各緣23~25之外側排出之外，形成氧化防止氣體環境氣氛區域70，因此氧化防止氣體環境氣氛區域70係能形成不包含空氣之區域。因此，在此氧化防止氣體環境氣氛區域70之中，在火炬電極35和毛細管31前端的尾引線51之間產生火花，如圖6(b)所示，一旦在毛細管31前端形成金線結球52，則因在氧化防止氣體環境氣氛區域70之中，含氧之空氣未混入，因此可以很有效果地抑制金線結球52表面之氧化。
再者，在本實施形態，第一、第二氧化防止氣體流路12、13，因各十字型之導引葉片14、15從水平板21之上面21a呈45度傾斜配置，四個扇形之流路區段12a~12d、13a~13d之內，流路區段12a、12c及13a、13c在垂直方向排列，流路區段12b、12d及13b、13d在水平方向排列。如上述，因配置有各流路區段12a~12d，如本實施形態，即使第一氧化防止氣體供給管18，係於垂直方向或相對於水平方向傾斜地連接於第一氧化防止氣體流路12，流經各流路區段12a~12d之氧化防止氣體之流量亦呈大致相同之流 量。再者，同樣地，即使第二氧化防止氣體供給管19，於垂直方向或相對於水平方向傾斜地連接於第二氧化防止氣體流路13，流經第二氧化防止氣體流路13之各流路區段13a~13d之氧化防止氣體之流量亦呈大致相同之流量。依此，能有效果地抑制在從各吹出口16、17向貫通孔22吹出之氧化防止氣體例如發生氣體只偏向下側流動之偏流，因此能夠擴大水平板21上側之氧化防止氣體環境氣氛區域70之高度的幅度，即使對於各式各樣的接合條件亦可有效地抑制金線結球52表面之氧化，能夠提高採用銅或鋁等在空氣中會氧化之金屬引線的接合品質。
再者，在本實施形態，各吹出口16、17，係以與XY方向呈正交的情形說明，但即使各吹出口16、17並無相互呈正交，只要以從各吹出口向貫通孔22之中心22c吹出氧化防止氣體且能在貫通孔22之上相碰之方式交叉即可。
其次，關於本發明之其他實施形態，參照圖8~圖12說明。對和參照圖1~圖7說明的實施形態同樣的部分標示同樣的符號以省略說明。如圖8所示，本實施形態，具備和基體部即本體11之第一塊體11a和第二塊體11b向反方向突出的第三塊體11f。在第三塊體11f之上側，安裝有第三氧化防止氣體供給管81，如圖9所示，在第三塊體11f，設置有從第三塊體11f之上面向下面11g傾斜貫通之第三氧化防止氣體流路82，如圖9所示，第三塊體11f之下面11g之開口，為從下面11g向斜下方噴出氧化防止氣體的第三氧化防止氣體吹出口83。因此，第三塊體11f之下面11g， 為與水平板21之下面呈同一面。如圖9所示，第三氧化防止氣體流路82之中心線84，在與接合臂32之延伸方向大致同樣的方向，如圖10所示在貫通孔22之中心線34的方向，朝向毛細管31的前端或毛細管31和電極43的接點附近。因此，從第三氧化防止氣體吹出口83吹出之氧化防止氣體，朝毛細管31接觸之電極43的附近吹出。
關於以上述方式構成之打線裝置100之動作，參照圖10~圖12來說明。在圖10，如實線箭頭所示，從第一、第二、第三氧化防止氣體供給管18、19、81，氧化防止氣體分別供給至第一、第二、第三氧化防止氣體流路12、13、82，氧化防止氣體，係從第一、第二、第三氧化防止氣體流路12、13、82之各吹出口16、17、83吹出。從第一、第二氧化防止氣體吹出口12、13吹出之氧化防止氣體，係沿著水平板21之上面21a朝貫通孔22之中心22c吹出，從第三氧化防止氣體吹出口83吹出之氧化防止氣體，係朝在貫通孔22之中心毛細管31接觸之電極43之附近吹出。因此，從第三氧化防止氣體吹出口83吹出之氧化防止氣體，在水平板21之下側滯留，在毛細管31的前端與電極43之附近形成氧化防止氣體環境氣氛區域75。
如圖11(a)所示，一旦完成引線50向電極43的接合，接合臂32旋轉，在接合臂32的前端安裝的毛細管31向上方向上昇，並在毛細管31的前端延伸既定之長度的尾引線51的狀態。因此，進一步地，毛細管31的前端在較水平板21之上面21a更為上側，使毛細管31上昇到尾引線51的 下端成為火炬電極35之中心位置附近為止。
在先前參照圖1~圖7說明之實施形態中，如圖6(a)所示，一旦使毛細管31上昇，毛細管31周圍之空氣，如圖6(a)所示之虛線箭頭般，伴隨毛細管31通過貫通孔22上昇至水平板21之上面21a，但在本實施形態，如參照圖10所說明，藉由從第三氧化防止氣體吹出口83吹出之氧化防止氣體，在水平板21之下面形成氧化防止氣體環境氣氛區域75。因此，如圖11(a)所示，一旦使毛細管31上昇，則如圖11(a)之實線所示，滯留在水平板21之下面的氧化防止氣體，伴隨毛細管31通過貫通孔22向水平板21之上面21a吹出。
再者，如在圖11(a)以實線箭頭所示，從第一、第二氧化防止氣體流路12、13之各吹出口16、17，沿著水平板21之上面21a向貫通孔22之中心22c吹出氧化防止氣體。如圖12所示，從各吹出口16、17吹出的氧化防止氣體，分別在水平板21之上側，沿著各中心線61(X方向中心線)、62(Y方向中心線)之方向前進，碰到貫通孔22之上，之後，從未配置氧化防止氣體流路或垂直壁面而開放的水平板21之與中心線61(X方向中心線)垂直之緣25、與中心線62(Y方向中心線)垂直之緣23、相對於中心線61(X方向中心線)及62(Y方向中心線)傾斜之緣24，向水平板21的外側流去。再者，從第三氧化防止氣體吹出口83已吹出之氧化防止氣體，如圖12之以一點鍊線箭頭所示，進入水平板21之下側，通過貫通孔22，如圖12之實線表示，往水平板21之上面21a之上側上昇之後，從未被各垂直壁面11c、11d 圍繞而開放之各緣23、24、25向水平板21之外側流出。再者，從各吹出口16、17已吹出之氧化防止氣體，藉由相對於水平板21呈垂直壁面的第一、第二塊體11a、11b之各垂直壁面11c、11d形成滯留區域，如圖10(a)、圖12所示，以從水平板21之上面21a起至垂直壁面11c、11d之上端之間的高度，以包含貫通孔22之區域與貫通孔和垂直壁面11c、11d之間的區域之方式，形成向水平方向擴張之氧化防止氣體環境氣氛區域70。
如上述，藉由從第三氧化防止氣體吹出口83已吹出之氧化防止氣體，預先在水平板21之下側形成氧化防止氣體環境氣氛區域75，藉此在毛細管31上昇之際，抑制空氣回繞至水平板21之上面21a且在水平板21a之上側形成氧化防止氣體環境氣氛區域70，因此可以有效抑制在氧化防止氣體環境氣氛區域70混入有空氣。因此，在此氧化防止氣體環境氣氛區域70之中，在火炬電極35和毛細管31前端之尾引線51之間產生火花，如圖11(b)所示，一旦在毛細管31之前端形成金線結球52，因在氧化防止氣體環境氣氛區域70之中未混入含氧之空氣，能夠有效地抑制金線結球52表面的氧化。
如以上說明，在本實施形態，以在第一塊體11a之與第二塊體11b相反側設置第三塊體11f，第三氧化防止氣體流路82之中心線84安裝在和接合臂32之延伸方向大致同樣之方向進行說明，但只要第三氧化防止氣體吹出口83之方向配置成朝在貫通孔22之中心毛細管31接觸電極43位置 的附近，例如第三氧化防止氣體吹出口83之方向是沿著Y方向之中心線62的方向亦可。
10‧‧‧氧化防止單元
11‧‧‧本體
11a‧‧‧第一塊體
11b‧‧‧第二塊體
11c,11d‧‧‧垂直壁面
11e‧‧‧曲面
11f‧‧‧第三塊體
11g‧‧‧下面
12‧‧‧第一氧化防止氣體流路
12a~12d,13a~13d‧‧‧流路區段
13‧‧‧第二氧化防止氣體流路
14,15‧‧‧導引葉片
14a‧‧‧第一孔
14b,15b‧‧‧導引葉片組合件
14c,15c‧‧‧外筒
15a‧‧‧第二孔
15d‧‧‧槽
16,17‧‧‧吹出口
18‧‧‧第一氧化防止氣體供給管
19‧‧‧第二氧化防止器體供給管
21‧‧‧水平板
21a‧‧‧上面
22‧‧‧貫通孔
22c‧‧‧中心
23,24,25‧‧‧緣
31‧‧‧毛細管
32‧‧‧接合臂
34,61,62,63‧‧‧中心線
35‧‧‧火炬電極
36‧‧‧火炬電極安裝孔
40‧‧‧安裝臂
41‧‧‧接合載台
42‧‧‧基板
43‧‧‧電極
50‧‧‧引線
51‧‧‧尾引線
52‧‧‧金線結球
70,75‧‧‧氧化防止氣體環境氣氛區域
81‧‧‧第三氧化防止氣體供給管
82‧‧‧第三氧化防止氣體流路
83‧‧‧第三氧化防止氣體吹出口
100‧‧‧打線裝置
圖1係本發明實施形態之打線裝置之氧化防止單元之立體圖。
圖2係本發明實施形態之打線裝置之氧化防止單元之俯視圖。
圖3係顯示設置於本發明實施形態之打線裝置之氧化防止單元之導引葉片之構成之立體圖。
圖4係顯示設置於本發明實施形態之打線裝置之氧化防止單元之氧化防止氣體流路之剖面之剖面圖。
圖5係顯示本發明實施形態之打線裝置與氧化防止單元之動作之側視圖。
圖6係顯示本發明實施形態之打線裝置與氧化防止單元之動作之側視圖。
圖7係顯示本發明實施形態之打線裝置與氧化防止單元之動作之俯視圖。
圖8係本發明其他實施形態之打線裝置之氧化防止單元之立體圖。
圖9係本發明其他實施形態之打線裝置之氧化防止單元之俯視圖。
圖10係顯示本發明其他實施形態之打線裝置與氧化防止單元之動作之側視圖。
圖11係顯示本發明其他實施形態之打線裝置與氧化防止單元之動作之側視圖。
圖12係顯示本發明其他實施形態之打線裝置與氧化防止單元之動作之俯視圖。
10‧‧‧氧化防止單元
11‧‧‧本體
11a‧‧‧第一塊體
11b‧‧‧第二塊體
11c,11d‧‧‧垂直壁面
11e‧‧‧曲面
12‧‧‧第一氧化防止氣體流路
13‧‧‧第二氧化防止氣體流路
14,15‧‧‧導引葉片
15a‧‧‧第二孔
15d‧‧‧槽
16,17‧‧‧吹出口
18‧‧‧第一氧化防止氣體供給管
19‧‧‧第二氧化防止氣體供給管
21‧‧‧水平板
21a‧‧‧上面
22‧‧‧貫通孔
23~25‧‧‧緣
31‧‧‧毛細管
32‧‧‧接合臂
35‧‧‧火炬電極
40‧‧‧安裝臂
51‧‧‧尾引線

Claims (9)

  1. 一種打線裝置，係藉由引線將半導體晶片之電極與基板之電極之間加以連接，其特徵在於，具備：接合工具，將該引線接合至該各電極；水平板，設有供該接合工具之前端拔插之貫通孔；第一氧化防止氣體流路，具有吹出口且沿著該水平板上面朝向該貫通孔中心吹出氧化防止氣體；以及第二氧化防止氣體流路，具有吹出口且沿著該水平板上面朝向該貫通孔中心從與該第一氧化防止氣體流路交叉之方向吹出氧化防止氣體；該水平板之未配置該各氧化防止氣體流路之區域係以該水平板上面之氣體可往該水平板之緣之外側流出之方式開放。
  2. 如申請專利範圍第1項之打線裝置，其中，在該第一氧化防止氣體流路之吹出口周緣、該第二氧化防止氣體流路之吹出口周緣、該各吹出口之各周緣之間，設在該水平板之上面之壁面以氧化防止氣體滯留在其附近之方式延伸。
  3. 如申請專利範圍第2項之打線裝置，其中，該壁面係從設在該水平板之該貫通孔之周緣分離設置。
  4. 如申請專利範圍第1至3項中任一項之打線裝置，其中，該各氧化防止氣體流路之連接於該各吹出口之部分，分別為沿著該水平板之上面延伸之直線管路；在該各直線管路之內部分別設有抑制氧化防止氣體之 偏流之導引葉片。
  5. 如申請專利範圍第4項之打線裝置，其中，該各導引葉片係將平板組合成十字形以使該直線管路之剖面區分成四個區段；該平板係相對於前述水平板之上面傾斜配置。
  6. 如申請專利範圍第1至3項中任一項之打線裝置，其具備從該水平板下面朝向斜下方向對該貫通孔之中心吹出氧化防止氣體之第三氧化防止氣體流路。
  7. 如申請專利範圍第6項之打線裝置，其中，該第一氧化防止氣體流路、該第二氧化防止氣體流路、該第三氧化防止氣體流路、該水平板係設在共通之基體部；該基體部具有壁面，該壁面在該第一氧化防止氣體流路之吹出口之周緣、該第二氧化防止氣體流路之吹出口之周緣、該各吹出口之各周緣之間配置在該水平板之上面，在其附近氧化防止氣體滯留。
  8. 如申請專利範圍第6項之打線裝置，其中，該第三氧化防止氣體流路朝向該接合工具之前端吹出氧化防止氣體。
  9. 如申請專利範圍第1至3項中任一項之打線裝置，其中，設有火炬電極，該火炬電極從該第一、第二之各氧化防止氣體流路之任一方之氧化防止氣體流路之吹出口朝向該水平板之該貫通孔延伸，在與往該接合工具前端延伸之引線之間使火花產生以形成金線結球。
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