TWI380338B - Method for inspecting settling time of deflection amplifier, and method for judging failure of deflection amplifier - Google Patents

Description

1380338 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種偏向放大器之穩定時間檢查方法及偏 向放大器之故障判定方法，例如係關於使電子束偏向之成 形放大器之穩定時間檢查方法及成形放大器之故障檢測方 法，孩電子束係搭載於使可變成形之電子束偏向後照射到 试樣之電子束描繪裝置。

本申請案係基於2008年5月1曰在曰本申請之先前之曰本 國專利申請案No. 2008-1 19557主張其優先權，該申請案之 全部内容作為參照引用於此。 【先前技術】 承擔半導體裝置之微細化進展之微影技術在半導體製造 製程中亦係唯一生成圖案之極其重要之製程。近年來，伴 隨LSI之尚集積化’半導體裝置所要求之電路線寬係逐年 微細化。為向前述半導體裝置形成希求之電路圖案，需要 南精度之原晝圖案（亦稱作標線片或光罩）。此處，電子線 (電子束）描繪技術係具有本質上優良之解像性，用於高精 度之原畫圖案之生產。 圖13係用於說明先前之可變成形型電子線描繪裝置之動 作之概念圖。 可變成形型電子線（EB : Electron beam)描繪裝置係如下 所述進行動作。在第i孔隙410形成有用於成形電子線33〇 之矩形例如長方形之開口 411。此外，在第2孔隙420形成 有用於將通過第1孔隙410之開口 411之電子線330成形為希 140049.doc 1380338 求之矩形形狀之可變成形開口 42 1。自荷電粒子源430照射 並通過第1孔隙410之開口 411之電子線330係藉由偏向器而 偏向’通過第2孔隙420之可變成形開口 421之一部分後， 照射到搭載於沿特定一方向（例如X方向）連續移動之工作 臺上之試樣340。亦即’將可以通過第！孔隙4 ! 〇之開口 4 i i 及第2孔隙420之可變成形開口 42 1兩者之矩形形狀，描繪 到搭載於沿X方向連續移動之工作臺上之試樣340之描繪區 域。將通過第1孔隙410之開口 411及第2孔隙420之可變成 形開口 421兩者而作成任意形狀之方式稱作可變成形方 式。 如前所述，描繪裝置中係使電子束等荷電粒子束偏向後 將圖案照射到試樣上。在該荷電粒子束偏向中使用偏向放 大器。作為使用如此之偏向放大器之束偏向之作用，可列 舉例如控制束發射之形狀或尺寸、控制發射位置及束之遮 沒。 近年來，電子束描繪裝置所要求之通量非常嚴格。因 此亦要求縮紐發射位置或束成形所耗費之準備時間（穩 定時間）°此穩料間耗可以任意設^，但若設定過長 則通量會相應降低。相反^過短，則不能向偏向器施加充 足之電壓，無法進行需要之偏向。其結果，圖案尺寸或發 射位置產生誤差。因此’要求找出最合適之穩定時間。先 則，為找出最合狀穩定時“在塗佈有絲之基板上進 行實際描緣。接著，使被描繪之基板顯影，姓刻後測定所 形成之圖案尺寸。—面改變穩定時間—面反覆進行前述作 140049.doc 業出可肜成问精度圖案尺寸之穩定時間以作為最合適 之穩&時間。此作前係f要1()小時左右。因此 縮短作業時間。 ’ 此外’在圖案尺寸或發射位置產生誤差時，雖然需要特 定其原因’但若可以迅速地衫原因是否係成形放大器之 故障，則可以縮短裝置停止之時間。因此，希求迅速地判 定成形放W之故障之方法。而且，作為成形放大器之故 障原因:穩定性能之劣化佔有較大比重。因此，希求迅速 地判定穩定性能是否次、I夕十_ ,+ 月匕疋否名化之方法。但是，先前未能確立充 分之判定方法。 此處’在文獻中揭示如下之技術，即：雖然與成形放大 益之不良錢，但在處於描纟會前後之週期，設置時差向2 個成形放大器中之一者輸入偏向資料，向另一者輸入與前 者反方向之偏向資料，利用示波器測定結合於兩輸出彼此 間之敎電阻之中點的f壓變化，檢測成形放大器之穩定 時間（例如參照日本特開讀·259812號公報）。 如月〕所述：t求迅速地找出最合適之穩定時間。此外， 希求迅速地判定穩定性能是否劣化之方法。但是，兩者皆 未能確立充分之方法。 【發明内容】 種用於迅速地找出最合 本發明之目的在於提供 之方法。 因此’本發明之目的在於提供一 適之穩定時間之檢查方法。此外， 一種迅速地判定穩定性能是否劣化 本發明之一 樣態之偏向放大器之穩定時間檢查 方法’其 140049.doc i38〇338 特徵在於： 複數-人父替發射不同之2種圖案，該2種圖案係藉由設定 穩定時間後，以所設定之穩定時間驅動之偏向放大器之輸 出所控制之偏向器使荷電粒子 .., 々 租十束偏向’使何電粒子束通過 第1及第2成形孔隙而成形； 測定所發射之束電流； 對所測定之束電流進行積分電流之運算；且 運算並輸出所運算出之積分 預刀電"IL與基準積分電流之差 分。 之故障判定方法，其特徵 本發明之一樣態之偏向放大器 在於： 複數次交替發射不同之2種圖案，該2種圖案係藉由設定 穩定時間後，以所設定之穩定時間驅動之偏向放大器之輸 出所控制之偏向器使荷電粒子束偏向’使荷電粒子束通過 第1及第2成形孔隙而成形； 測定所發射之束電流； 對所測定之束電流進行積分電流之運算； 運异:運算出之積分電流與基準積分電流之差分；且 當運算出之差分與前述穩定時間之基準值之0_ 定範圍時，判定為偏向放大器故障。 【實施方式】 以下之實施形態中’係對使用電子束作為荷電粒子束之 一例之構成進行說明。但是，荷電粒子束係不限定於電子 束，亦可係離子束等使用荷電粒子之束。此外，作為荷電 140049.doc 1380338 粒子束裝置之一例係對可變成形型之描繪裝置進行說明。 實施形態1 · 圖1係顯示實施形態1之描繪裝置之構成之概念圖。圖1 中’描繪裝置100具備描繪部150及控制部160。描繪裝置 100係荷電粒子束描繪裝置之一例。特別係可變成形型之 描繪裝置之一例。描繪部150係具備電子鏡筒1〇2及描繪室 103。在電子鏡筒102内配置有電子搶2(H、照明透鏡2〇2、 第1成形孔隙203、投影透鏡204、偏向器205、第2成形孔 隙206、物鏡207、及偏向器208。在描繪室1〇3内配置有 XY工作臺105。在XY工作臺1〇5上配置有描繪時作為描繪 對象之光罩等試樣，但此處省略圖示。在χγ工作臺1 〇5上 與配置試樣之位置不同之位置配置有法拉第杯2〇9。控制 部160具有控制計算機110、記憶體112、監視器114、介面 電路116、偏向控制電路12〇、OAC(數位.類比轉換 器）1 22、偏向放大器1 24、及測量器2 1 〇。在控制計算機 110經由未圖示之匯流排連接有記憶體丨12、監視器丨14、 介面電路11 6、偏向控制電路丨2〇、及測量器2丨〇。此外， 在偏向控制電路120經由DAC122連接偏向放大器124，且 偏向放大益12 4係連接於偏向器2 〇 5。並且，測量器21 〇係 連接於法拉第杯209。此外，輸入控制計算機11〇之輸入資 料或運算結果係記憶於記憶體1 1 2。此處，圖1中係記載有 說明貫把形癌' 1上所需要之構成。對於描繪袭置1 〇 〇，當然 亦可具備通常需要之其他構成。 圖2係顯示貫施形態1之第i成形孔隙之開口部之一例的 140049.doc 1380338 概念圖。圖3係顯示實施形態1之第2成形孔隙之開口部之 一例的概念圖。圖2中，在第1成形孔隙203形成有矩形、 例如正方形或長方形之開口部10。圖3中，在第2成形孔隙 206形成有去除長方形之1邊及6角形之1邊而連結之開口部 20。開口部2.0例如係形成為以45度之整數倍之角度為頂點 之圖形。 接著，描繪裝置1 〇〇係如下所述般動作而進行描繪。自 電子搶201射出之電子束200 ’係藉由照明透鏡2〇2照明具 有矩形例如長方形之孔的第1成形孔隙2〇3整體。此處，將 電子束200首先成形為矩形例如長方形。接著，通過第1成 形孔隙203之第1孔隙像之電子束200係藉由投影透鏡2〇4投 影到第2成形孔隙206上。將藉由偏向控制電路1 2〇所輸出 之表示偏向量之數位信號利用DAC122轉換為類比之偏向 電壓’用偏向放大器124放大後施加於偏向器2〇5。藉由施 加有該偏向電壓之偏向器205 ’偏向控制前述第2成形孔隙 206上之第1孔隙像’可以改變束形狀及尺寸。接著，通過 第2成形孔隙206之第2孔隙像之電子束2〇〇係藉由物鏡2〇7 而聚焦，並藉由偏向器208偏向後，照射到配置於連續移 動之XY工作臺105之忒樣之期望位置。用於束成形之偏向 器205用偏向放大器124之穩定時間係可以任意設定，但若 設定過長則通量會相應降低。相反若設定過短則不能向偏 向益205施加充足之電壓而無法進行需要之偏向。盆么士 果，所成形之圖案之尺寸產生誤差。因此，要求找出最合 適之穩定時間。實施形態1中，係對檢查用試樣不進行實 140049.doc -10· 丄北0338 際描繪而找以合適之穩定時間之方法進行以下說明。 圖4係顯示實施形心之偏向放大器之穩定時間檢查μ 之要部步社流程圖。圖4巾實施下述—連串步驟：發射 步驟(S1〇2)、束電路測定步驟(遞)、次數判定步驟(sl〇6)、 讀變更步踢（S108)、積分電流運算步驟（sn〇)、差異運 鼻步驟（S112)、穩;t時間判定步驟（SU4)、及設料間變 更步驟（S116)。 圖5係顯示實施形之成形偏向位置之一例圖。^係 顯示通過開口部10之第i成形孔隙像12與第2成形孔隙2〇6 心里且位置之一例圖。不错由偏向器205偏向 電子束200時，第1成形孔隙像12係照射到（〇)所示之遠離開 口部20之位置。例如在將電子束2〇〇成形為正方形或長方 形時，第1成形孔隙像12係藉由施加有由偏向放大器124所 輸出之偏向電壓之偏向器2〇5而偏向後，照射到（1)所示之 位置，成為成形有通過開口部2〇之斜線部分之像。此外， 例如圖5中在將電子束20〇成形為直角之角係位於左下之直 角二等邊三角形時，第丨成形孔隙像12係藉由施加有由偏 向放大器124所輸出之偏向電壓之偏向器2〇5而偏向後，照 射到（2)所示之位置，成為成形有通過開口部2〇之斜線部分 之像。又，例如圖5中在將電子束200成形為直角之角係位 於右下之直角二等邊三角形時，第i成形孔隙像12係藉由 施加有由偏向放大器124所輸出之偏向電壓之偏向器205而 偏向後，照射到（3)所示之位置，成為成形有通過開口部2〇 之斜線部分之像。又，例如圖5中在將電子束2〇〇成形為直 140049.doc 1380338 角之角隸於右上之直角二等邊三角形時，第W形孔隙 像12係藉由施加有由偏向放大器124所輸出之偏向電壓之 偏向器205而偏向後，照射到（4)所示之位置，成為成形有 通過開口部20之斜線部分之像。又，例如圖5中在將電子 束200成形為直角之角係位於左上之直角二等邊三角形 時，第1成形孔隙像12係藉由施加有由偏向放大器124所輪 出之偏向電壓之偏向器205而偏向後，照射到（5)所示之位 置，成為成形有通過開口部20之斜線部分之像。此等圖形 一面隨每一發射而改變一面對試樣描繪期望之圖案。偏向 放大124之穩定時間t係需要設定例如為使〜〇之各位 置中任意兩個位置之間產生偏向所需要之時間。例如，作 為一例，以下說明為了自（2)所示之位置向（4)所示之位置 偏向所需要之穩定時間。 首先，將偏向放大器124之穩定時間t設定為可設定之最 小值此外，XY工作臺105係以使法拉第杯2〇9位於電子 束2〇〇之光軸之方式進行移動。通過開口部2〇之電子束2〇〇 不藉由偏向器208偏向之情形，係使其在照射到光軸上時 不藉由偏向器208偏向。倘若通過開口部2〇之電子束偏 離光軸時，只要以使通過開口部2〇之電子束2〇〇照射到法 拉第杯209之方式偏向即可。 s(步驟）102中，作為發射步驟係複數次交替發射不同之 2種圖案；該2種圖案係藉由以所設定之穩定時間t驅動之 偏向放大器124之輸出所控制之偏向器2〇5使電子束2〇〇偏 向，藉由使電子束200通過第丄成形孔隙2〇3及第2成形孔隙 140049.doc •12· 1380338 206而成形。 圖ό係顯示實施形態1之交替發射之發射圖形之一例圖。 圖6中，作為一例係顯示交替成形圖案3〇與圖案32之情 形，上述圖案30係將第1成形孔隙像12照射到（2)所示之位 置時之直角之角位於左下之直角二等邊三角形，上述圖案 32係將第1成形孔隙像12照射到（4)所示之位置時之直角之 角位於右上之直角二等邊三角形。在複數次發射前述2種 圖案時，係使電子束200每次通過第1成形孔隙2〇3及第2成 形孔隙206各自之相同位置。 S 1 04中，作為束電流測定步驟，每次發射分別測定照射 到法拉第杯209之電子束200之束電流。照射到法拉第杯 209之電子束200之束電流值係利用測量器21〇測定，作為 數位信號輸出到控制計算機1丨〇。 S106中，作為次數判定步驟，控制計算機11〇計數發射 次數η並判定是否進行了特定次數k之發射。例如，對於i 個圖案宜設定為進行數萬次發射。 S108中，作為次數變更步驟，控制計算機11〇係當發射 次數η未達到規定次數1之情形在n上加上丨。接著，返回 S102。 如上所述，一面以交替成形圖案3〇、32之方式複數次發 射，一面反覆S102〜S108。例如，使用描繪裝置1〇〇，即使 對1個圖案進行數萬次發射亦可用丨秒左右完成。 S110中，作為積分電流運算步驟，控制計算機11〇係將 以交替成形圖案3G、32之方式複數次發射而測定之各束電 140049.doc 13 1380338 流進行積分，運算積分電流。 S112中，作為差分運算步驟，控制計算機11〇係運算所 運算出之積分電流與基準積分電流之差分。接著，將運算 結果輸出到記憶體i 12，記憶體i 12係記憶運算結果。或 者，亦可經由I/F電路1 16將運算結果输出到外部。此處， 基準積分電流可以在設定為相同穩定時間之狀態下，將藉 由首先連續發射規定次數圖案3〇而測定之各束電流、與藉 由接著連續發射規定次數圖案3 2而測定之各束電流進行積 分而得到。此基準積分電流只要預先測定並運算即可。或 者，亦可並列實施對應於8102至su〇之各步驟之交替成形 發射圖案3G ' 32之情形，及對應於用於得到基準積分電流 之各步驟之連續成形發射圖案3〇後連續成形發射圖案32之 情形。而且，只要將在連續成形發射圖案3〇後連續成形發 射圖案32時所得到之積分電流作為基準積分電流即可。 s 114中，作為穩定時間判定步驟，控制計算機】1 〇係判 疋5又疋之穩定時間t是否成為特定之最大時間tm，亦或超 過最大時間tm。在穩定時間！未達到最大時間恤時，在穩 疋時間t上加上At。然後返回S102。若穩定時間t達到最大 時間tm則結束。 如上所述，一面緩慢地增大穩定時間t一面反覆Sl02至 S116之各步驟。接著，當積分電流與基準積分電流之差分 大時可以判定為並非最合適值。因此，只要改變穩定時間 進行各步驟出前述差變得更小之穩定時間即可。藉由 此方法，作為—例’可以得到自圖5之（2)所示之位置向（4) 140049.doc -14- !380338 係。 爪心左刀之關 圖7係顯示實施形態1之穩定時間m積分mix 關係之一例圖。圖7中，「A ^ _ 口 T Α」所τ之折線圖係表示自圖5 之（2)所示之位置向（4)所示 也 置偏向k件到之穩定時間t 與積分電流之差分之關係的_ 「 * _ ώ θ c J β」所不之折線圖係 表不自圖5之（3)所示之位置向（ < 、』所不之位置偏向時得到之 穩定時間t與積分電流之差分 I關係的一例。此處，因為 不論係連續成形發射—圖錢連續成料射另—圖案之情 形’或係交替改變成形之闇安 & 取办之圖案之情形，作為結果因成形之 圖案數量相同，故只要籍中全 故〃要穩疋時間足夠則兩者之積分電流值 成為相同。因此，積分電流之差大致成為〇之穩定時 間為最合適時間。即使敎僅1次之束電流因電流值過小 而難於判定’但可以藉由使用積分複數次發射之束電流之 積分電流使值增大，可以將前述之差明確到可判定之程 X圖7中自圖5之⑺所示位置向⑷所示位置偏向時之 最合適之穩定時間，自折線圖A可知係2〇〇 nsec左右。此 外丄自圖5之（3)所示位置向（5)所示位置偏向時之最合適之 二疋時間自折線圖B可知係i 5〇 左右。此折線圖係 由控制計算機m製作並顯示於監視器114，藉此使用者可 以辨識。或者’亦可經由Ι/F電路1 16輸出到外部。 圖8係顯不實施形態丨之偏向距離d與最合適之穩定時間t 之關係圖。前述之例中，雖然說明自圖5之（2)所示之位置 向（4)所不之位置偏向之情形，但在其他2個位置間亦係同 H0049.doc •15- 1380338 樣地測定’製作顯示偏向距㈣與最合適之穩料間t之關 係之相關圖表40。製作此相關圖表4〇需要3〇〜6〇分左右。 若預先製作有該相關圓表40,可以自成形偏向所需要之距 離d來參照最合適之穩定時間t。 如上所述，實施形態艸，因為可以藉由束之積分電流 與基準積分電流之差分來判定最合適之穩定時間，故不需 要於基板進行實際描繪。因& ’亦不需要如先前之準備塗 佈光阻之基板之時間。此外，亦不需要顯影時間、蝕刻時 間、及實際測定形成圖案之尺寸之時間。因此，可以相較 於先前大幅地縮短用於檢查成形放大器之最合適穩定時間 的時間。如此可以迅速地找出最合適之穩定時間。 實施形態2. 實施形態丨中係說明成形放大器之最合適穩定時間之檢 查方法。實施形態2中係利用前述穩定時間（與積分電流之 差刀之關係’說明偏向放大器之故障判定方法。 圖9係顯示實施形態2之偏向放大器之故障判定方法之要 部步驟之流程圖。圖9中除在穩定時間判定步驟（su4)後 追加判定步驟（S118)之點外，其餘與圖4相同。此外裝 置構成亦與圖1相同。在圖案尺寸產生誤差時，如下述般 地判定原因是否係偏向放大器124之故障。 預先使用未發生故障之成形放大器求出各穩定時間之基 準值。接著，使用疑為故障之偏向放大器124實施與實施 形態1同樣的S1〇2至S114之各步驟。藉此，可以得到使用 疑為故障之偏向放大器124時之穩定時間t與積分電流之差 140049.doc 1380338 分之關係。 圖1 〇係顯示貫施形感2之穩定時間t與積分電流之差分之 關係之一例圖。圖10中，以「A，」及「B,」所示之折線 圖’係顯示使用疑為故障之偏向放大器124而得到之穩定 時間t與積分電流之差分之關係之一例。此處，當然係以 ‘成形相同圖案之結果來進行比較。 SU8中，作為判定步驟，當運算出之差分與穩定時間之 • 基準值之差分超過特定範圍時，判定為偏向放大器124故 障。該判定既可係控制計算機110所進行，亦可係使用者 進行判定。在實施形態！之評價中’如圖7所示在2〇〇 附近積分電流之差大致為相較於此，在圖1〇之例中可 知穩定時間t在100 nsec至4〇〇 nsec之間，兩者積分電流之 差係較大地偏離0。因此，在得到前述結果時，可以判定 疑為故障之偏向放大器124係實際發生故障。只要適當地 言史定判定為故障之基準之範圍即可。此處，例如僅測：自 • ® 5之⑺所示位4向⑷所示位置偏向之情形，取得！個折 線圖即可判定是否故障。因此，可以用數秒或數分得出結 果。 如上所述，#預先已知纟故障之成形放大器之穩定時間 t與積分電流之差分之關係，可以得到疑為故障之成形放 大器之差分與前述穩定時間之基準值之差分。然後只要 f該差分超過特定範圍時判定為偏向放大器故障即可:、換 。之藉由比較運具出之差分與穩定時間之基準值，可以 迅速地判疋成形放大器之故障。因此’可以縮短裝置停止 140049.doc 之時間。 此處’前述各實施形態中，在將不同類型之2種圖形圖 案照射到法拉第杯209時，係不變更照射位置地進行照 射，但並不限定於此。 圖11A及圖11B係顯示一面改變照射位置一面進行發射 時之照射位置之一例的圖。圖丨丨A中係顯示連續地照射號 碼1至25之一圖形後’連續地照射號碼26至5〇之另—圖形 之情形。圖11B中係顯示一面交替改變圖形一面照射號碼} 至50之情形。圖11A及圖UB中，號碼係表示發射順序。 不論何種情形只要利用偏向器2〇8使電子束2〇〇偏向，以使 藉由法拉第杯209接受到電子束200即可。此處，雖然作為 :例係記載各25次即合計5G次之發射，但宜採用例如各數 萬次之發射。 圖12係為與實施形態2進行比較而顯示利用先前之方法 評價穩定時間時之尺寸偏差與穩定時間之關係圖。此處， 系將不同之2種圖案實際描繪於塗佈有光阻之基板。例 如二只要將如圖11B所示之2種圖案交替描繪於基板即可。 接著使所也繪之基板顯影，㈣後測定所形成之圖案尺 寸：此等作業係—面改變穩定時間一面反覆進行，並將在 各t疋時間下件到之圖案尺寸與將穩定時間設定為足夠長 :得到之「：案尺寸之尺寸偏差顯示於折線圖。圖12中 」 」、及「C」所示之各折線圖係表示改變描繪 圖案之構造而得到之情形。此處係使用均疑為故障之成 形放大@之、果。自圖12所示之折線圖可知在⑽nsec至 140049.doc .18- 1380338 400 nsec之間各折線圖尺寸偏差皆大。利用實施形態2之方 法得到之使用疑為故障之成形放大器之結果，如圖丨〇所示 在100 nsec至400 nsec之間積分電流之差亦係較大偏離〇。 因此，係成為與先前之評價同樣之結果。所以，可知實施 开’態2之方法在判定成形放大器之故障上十分有效。 如前所述，依照實施形態2可以迅速地判定穩定性能是 否劣化。 以上，參肊具體例說明實施形態。但是，本發明並不限 定於前述具體例。 此外，雖然省略了對裝置構成或控制方法等在本發明之 說明中並非直接需要之部分等之記載，但可以適當選擇使 用需要之裝置構成或控制方法。例如，雖然省略了對控制 描繪裝置100之控制部構成之記載，但可適當選擇使用需 要之控制部構成係理所當然的。 其他具備本發明之要件，且本行業者可適當進行設計變 更之所有偏向放大器之穩定時間檢查方法及偏向放大器之 故障判定方法’均包含於本發明之範圍内。 熟悉本技藝者可想到其他技術特點或變更，所以本發明 在更廣闊之方面並未限定於本說明書之特有細節及代表例 說明，因A ’本發明可以在申請專利範圍及其等同替換範 圍定義之發明概念之思想或範圍内進行各種變更。 【圖式簡單說明】 圖1係喊示貫施形態1之描繪裝置之構成之概令圖. 圖2係顯示實施形態' i之第i成形孔隙之開口部之一例的 140049.doc •19- 1 獨 338 概念圖； 圖3係顯示實旅形態1之第2成形孔隙之開口部之一例的 概念圖； 圖4係顯示實施形態1之偏向放大器之穩定時間檢查方法 之要部步驟的流程圖； 圖5係顯示實施形態1之成形偏向位置之一例圖； 圖6係顯示實施形態1之交替發射之發射圖形之一例圖； 圖7係顯示實施形態1之穩定時間t與積分電流之差分之 關係之一例圖； 圖8係顯示實施形態丨之偏向距離d與最合適之穩定時間t 之關係圖； 圖9係顯示實施形態2之偏向放大器之故障判定方法之要 部步驟的流程圖； 圖10係顯示實施形態2之穩定時間t與積分電流之差分之 關係之一例圖； 圖11A及圖11B係顯示一面改變照射位置一面進行發射 時之照射位置之一例圖； 圖12係為與實施形態2進行比較而顯示藉由先前之方法 評價穩定時間時之尺寸偏差與穩定時間之關係圖；及 圖13係用於說明可變成形型電子線描繪裝置之動作之概 念圖。 【主要元件符號說明】 10, 20 開口部 12 第1成形孔隙像 140049.doc -20- 1380338

30, 32 圖案 40 相關圖表 100 描繪裝置 102 電子鏡筒 103 描繪室 105 XY工作臺 110 控制計算機 112 記憶體 114 監視器 116 I/F電路 120 偏向控制電路 122 DAC 124 偏向放大器 150 描繪部 160 控制部 200 電子束 201 電子搶 202 照明透鏡 203 第1成形孔隙 204 投影透鏡 205, 208 偏向器 206 第2成形孔隙 207 物鏡 209 法拉第杯 140049.doc •21 - 1380338 210 330 電子線 340 試樣 410 第1孔隙 411 開口 420 第2孔隙 421 可變成形開口 430 荷電粒子源 140049.doc - 22 -

Claims (1)

1380338 第098114248號專利申請案 f文申諳專利篏圊桂拖士 災q月） 七'申請專利範圍：_ . 種偏向放大器之穩定時間檢查方法，其特徵在於： 複數次交替發射藉由設定穩定時間後，以所設定之穩 定時間驅動之偏向放大器之輸出所控制之偏向器使荷電 粒子束偏向，使别述荷電粒子束通過第丨及第2成形孔隙 而成形之不同之2種圖案； 測定所發射之束電流； 對所測定之束電流進行積分電流之運算；且 運算並輸出運算出之積分電流與基準積分電流之差 分。 2. 如請求項1之偏向放大器之穩定時間檢查方法，其係一 面改變前述穩定時間，一面進行前述發射、測定前述束 電流、運算前述積分電流、及運算前述差分。 3. 如請求項2之偏向放大器之穩定時間檢查方法，其中前 述穩定時間係緩慢地增大β 4. 如請求項1之偏向放大器之穩定時間檢查方法，其中前 述束電流係使用法拉第杯進行測定。 5. 如請求項1之偏向放大器之穩定時間檢查方法， 7^ * 月 y 述基準積分電流係藉由將分別連續複數次發射前述2種 圖案時之各束電流進行積分而得到。 6_如請求項2之偏向放大器之穩定時間檢查方法，其中複 數次發射前述2種圖案時，係使前述荷電粒子束每次通 過前述第1及第2成形孔隙各自之相同位置。 7. 一種偏向放大器之故障判定方法，其特徵在於： 140049-1010914.doc 1380338 複數次交替發射藉由設定穩定時間後，以所設定之穩 定時間驅動之偏向放大器之輸出所控制之偏向器使荷電 粒子束偏向，使前述荷電粒子束通過第1及第2成形孔隙 而成形之不同之2種圖案； 測定所發射之束電流； 對所測定之束電流進行積分電流之運算； 運算所運异出之積分電流與基準積分電流之差分；且 當運算出之差分與前述穩定時間之基準值之差分超過 特定範圍時，判定為前述偏向放大器故障。 如請求項7之偏向放大器之故障判定方法 電流係使用法拉第杯進行測定。

，其中前述束 之故障判定方法，其係一面改 面進行前述發射、測定前述束電 1、運算前述差分、及進行前述判

之故障判定方法，其中前述基 J連續複數次發射前述2種圖案 I40049-I0109I4.doc