TWI376093B - An airtight terminal and method for producing the same, a piezoelectric vibrator and a method for producing the same, an oscillator, and electronic unit and a wave timepiece - Google Patents

Description

1376093 Ο) 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於氣密終端及其製造方法、具有氣密終端 之壓電振動器、及其製造方法、振盪器、電子單元、與具 有壓電振動器之波時計。 【先前技術】 φ 對於諸如時計、振盪器' 電子單元及波時計之工業產 品的製造而言，壓電振動器係必要的。壓電振動器被使用 於信號用之計時源、時序源或參照。一般使用之壓電振動 器封裝包括盒型陶瓷封裝及圓柱缸型封裝之壓電振動器封 裝》以下將參考圖23 A及23 B簡潔地說明後者的架構或缸 型封裝。 圖23 A及23B係顯示習知缸型壓電振動器的架構之圖 案示意圖。例如，諸如石英振動器之振動件8係利用使用 •金屬膜及導電黏著的電銨來固定氣密終端1之引線2的內 引線3(未顯示）。振動件8亦藉由底圓柱金屬外殼10予 以覆蓋及來提供真空之氣密密封。氣密終端1的外周緊密 裝入外殻1〇的內周。於圖23 A及23 B.中，假設，爲了說 明其內側的構造的目的’外殼1 〇係透明體。應注意到， 連接至一裝置之引線2的側在此稱爲內引線3，而，安裝 在基板上之另一側稱爲外引線4。 氣密終端1係以塡料6充塡，塡料6係使用於稱爲管 柄7之外環中的不透氣密封。兩個各以金屬薄實心的圓桿 -6- (2) 1376093 組成之平行引線2被插穿且固定至塡料。引線2及管柄7 的表面被電鍍。內引線3係藉由熔化內引線3的表面的局 部電鍍及將內引線3固定至形成在振動件8的基部之安裝 墊9經由電鍍而連接至振動件8。安裝墊9作爲內引線及 振動件8間之連接區。外殻10亦沿著其輪廓自振動件8 上方裝至管柄7。外殻1 0係經由電鍍層1 2利用冷壓焊接 而氣密接合至管柄7，管柄7的外環係以軟金屬製成。應 春注意到，於圖23A及23B中，電鍍層12的厚度被誇大。 習知的，使用此種封裝製造壓電振動器的過程係自動化。 然而，部件的尺寸快速減小近年來已非常難以使用習 知壓電振動器製造方法來製造具有良好產能及低成本之壓 電振動器。與此困難相關之主要問題之一係由於氣密終端 製造方法中的電鍍產能下降之氣密終端的單價之上升。第 二主要問題係氣密終端的外引線的剛度之下降。第三主要 問題係在氣密密封之後的共振頻率及共振阻抗値之起伏。 φ以下將簡潔地說明這三個問題。 第一問題，由於氣密終端尺寸減小而發生之電鏟產能 之實質下降，係因爲由於上述引線間的間隔的減小之剛度 下降及引線直徑的減小而造成的。缸型振動器的直徑D係 自約3匪減小至2 mm或甚至1 · 5 mra。直徑D作爲在密封後 之外殼的輪廓之最大値。使用於最近行動電話之缸型振動 器的直徑係更小，亦即，1.2 min。至於更小振動器直徑的 成長趨勢，具有小於1 IM的直徑之此種振動器的利用亦在 考量中。因爲更小的此種振動器的成長趨勢，兩個引線間 1376093

之間隔d 1，氣密終端的組件係非常小且引線本身的直徑 d2更小，因此導致剛度的下降。因此，引線可能更容易彎 曲。 習知電鍍過程利用有利於量產之滾筒電鍍方法。例如 ，滾筒的形狀係具有數十cm的直徑及約40至80 cm的長度 之六角柱。滚筒的材料係諸如丙烯酸的樹脂。大約20萬 至50萬，氣密終端被置於滾筒中，此筒然後被置於電鍍 隹浴中。當此滾筒正被緩慢的旋轉於電鑛浴中以攪動其中之 氣密終端時，氣密終端然後被電鍍達數小時的期間。於此 過程中，因爲引線間之小間隔以及其本身可容易彎曲之事 實’具有1 .2 mm或更小的直徑之小型氣密終端經常遭受到 諸如經由電鍍連接一起的兩個引線及外引線與另一者的接 觸之損壞。此造成諸如電鍍產量的實質下降及氣密終端製 造成本的上升之問題。 第二問題係氣密終端的外引線的剛度之下降。外引線 鲁的剛度下降已被點出爲有關第一問題之問題點，其係與氣 密終端的製造相關。剛度的減小在此被認爲是具有發生於 壓電振動器組裝過程中的另一態樣之問題點。此問題係與 內引線相關，其來自振動件的尺寸之減小。 未來振動件的尺寸之進一步減小將導致振動件上的安 裝墊的面積及振動件及內引線間的間隙兩者之減小。因此 ’一可能的挑戰將是如何建立接合至安裝墊之氣密終端的 內引線的尖部及安裝墊間之準確定位及關係。再者，外引 線係機械地配置且在組裝過程中固持在托架上，將後述。 -8- (4) 1376093 因此，外引線需要足夠剛硬以承受在組裝過程中之彎曲。 用於習知氣密終端，因爲圓桿形成之引線容易生產，整個 引線係以具有均勻直徑之實心圓桿形成的。習知方法目前 已使用具有較小直徑之內引線以回應振動件中的較小安裝 墊面積，因此導致安裝墊及內引線的尖部間之對準的準確 度之改善。然而，假設習知方法被採用，外引線的直徑亦 將更小，因此造成外引線不夠剛硬。例如，具有5 Ομιη的 隹直徑之內引線的使用用於具有50μιη的寬度之安裝墊將造 成引線容易彎曲。明顯地，這將使引線不夠剛硬。有具有 用於內及外引線的.相同直徑之習知架構的氣密終端不足以 承受振動件的尺寸減小之利害關係。 第三問題係在氣密密封之後的振動器之共振頻率及共 振阻抗値之起伏，此起伏係由使用於過程中的排氣夾具所 限制之振動器製造過程中的密封必要條件所造成。此起伏 係利用特別是以樹脂製成的托架而大大地影響到。托架係 鲁用於配置數個氣密終端於其上且致使氣密終端於振動器組 裝過程中自第一步驟流至最後步驟之固持夾具。托架符合 以良好準確性堅固地固持氣密終端的機械需求及作爲絕緣 體的電氣需求，此絕緣體防止相鄰氣密終端間之電氣干擾 。因爲非常大量托架於量產過程中亦是必要的，考慮到包 括其成本之獲得及拋棄的容易性，以樹脂形成的托架已被 使用。 圖24係顯示習知托架及氣密終端的配置之圖案示意 圖。當利用附接至托架35的金屬端子36機械地固持時， -9- (5) 1376093 氣密終端的外引線4係以恆定間隔配置。亦有提供於金屬 終端36及引線間之導電連續性。樹脂製成之托架可容易 架構以接收金屬終端36。至於例如，振動器密封於真空環 境之音叉型石英晶體振動器，然而，密封環境係在加蓋步 驟（其它稱爲壓合步驟或密封步驟）而加熱至高溫，以自 振動器移除在組裝中吸收的水份，以及，自各構件釋放許 多氣體成份。此亦使托架變熱，且，氣體係由樹脂產生， φ因此導致氣密密封真空之下降，此造成共振頻率及共振阻 抗値之起伏。再者，小型振動器的小發熱能力使振動器於 由客戶實施的回流過程中容易變熱。如果振動器係特別地 經由無鉛安裝在基板上，振動器在回流時具有260°C以上 之溫度，因此致使振動器遭受共振頻率及共振阻抗値之大 變化。因此，於製造過程中，加蓋步驟需要在高溫下實施 以在上述回流時防止頻率及共振阻抗値之起伏。然而，習 知托架具有增加溫度而增加所釋放的氣體的量之問題，這 修使托架材料的考量成爲需要。 【發明內容】 本發明的目的在於小型然而提供良好產量之氣密終端 及其製造方法，最佳適合使用於壓電振動器之氣密終端及 其製造方法，以及使用此氣密終端之具有小的特性變化之 小型壓電振動器。 爲解決上述問題，基於氣密終端的架構及此些氣密終 端的製造方法的基本重新考慮，本發明提供具有嶄新架構 -10- (6) 1376093 之氣密終端。 (1) 本發明提供一種氣密終端的製造方法，該氣密 終端由一環形管柄、一配置以通過該管柄且以導電材料形 成之引線、及~用於固定該引線於該管柄中之塡料所組成 ，該方法包含：一引線輪廓形成步驟，其中將一基部及— 引線形成部配置在一板狀或條狀導電材料上，以及以預定 間隔形成該引線的數個輪廓在該引線形成部上，其中該引 •線的至少一端連接至該基部；一塡料成形及燒結步驟，其 中於一預定位置以該塡料充塡具有所形成的其一輪廓之該 引線，以及使該塡料成形及燒結該塡料；一管柄安裝步驟 ’其中將管柄安裝至所燒結之該塡料的周圍；一燃燒步驟 ’其中加熱、熔化及冷卻該管柄中之該塡料，以及致使該 引線與該管柄緊密接觸以經由該塡料將該引線固定至該管 柄；一金屬膜形成步驟’其中形成一金屬膜在該引線的表 面上；及—切割步驟，其中使該引線的該一端與該基部分 •開。 (2) 再者，引線輪廓形成步驟另包含，形成一致使 該塡料的位置之塡料定位部於該引線中之預定位置。 (3) 且，於塡料成形及燒結步驟中，該引線係以該 塡料充塡以將該數個引線的兩相鄰引線捆束一起，且，一 預定偏移量被設定在該塡料的中心線及該兩個捆束一起的 引線的中心線之間。 (4) 爲解決第二及第三問題以及內引線與外引線的 成形，本發明因此提供以下所述之方法。

-11 - (7) 1376093 本發明提供一種氣密終端的製造方法，該氣密終端由 一環形管柄、一具有各配置以通過該管柄的一內引線部與 一外引線部之引線、及一用於固定該引線於該管柄中之塡 料所組成，該方法包含：一引線輪廓形成步驟，其中將— 基部及一具有所設置的該內引線部及該外引線部之引線形 成部配置在一板狀或條狀導電材料上，且形成該引線的數 個輪廓在該引線形成部上，其中該引線的至少—端連接至 •該基部；一塡料成形及燒結步驟，其中於—預定位置以該 塡料充塡具有所形成的其一輪廓之該引線，以及使該塡料 成形及燒結該墳料；一管柄安裝步驟，其中將管柄安裝至 所燒結之該塡料的周圍；一燃燒步驟，其中加熱、溶化及 冷卻該管柄中之該塡料，以及致使該引線與該管柄緊密接 觸以將該引線固定至該管柄.；一金屬膜形成步驟，其中形 成一金屬膜在該引線的表面上；及一切割步驟，其中自該 基部分開該外引線部的該一端。 • (5)再者’本發明的方法，另包含在燃燒步驟之後 及在該金屬膜形成步驟之前之使該內引線部成形的內引線 部成形步驟。 (6) 且，本發明的方法，另包含在該金屬膜形成步 驟之後及在切割步驟之前之使該外引線部成形的外引線部 成形步驟。 (7) 並且，本發明的方法，另包含在該金屬膜形成 步驟之後及在切割步驟之前之使該內引線部成形的內引線 部成形步驟及使該外引線部成形的外引線部成形步驟。 -12- 1376093

於依據本發明之方法，引線的輪廓係在引線輪廓形成 步驟有特性地形成在導電材料上，以下更明確說明。 (8) 引線輪廓形成步驟另包含將該外引線部的寬度 設定爲大於該內引線部的寬度。 (9) 引線輪廓形成步驟另包含形成該引線輪廓，使 得該內引線部距離該外引線部越遠，該內引線部的寬度將 是越小。 (10) 引線輪廓形成步驟另包含考慮該數個引線的兩 個相鄰引線形成爲一組，以及形成該組引線的兩個引線內 引線部，使得該等內引線部自該等外引線部越遠，該兩個 內引線部相互接近越近。 (11) 再者，引線輪廓形成步驟中，該內引線部設有 用於支撐一振動件之階。 (12) 引線輪廓形成步驟另包含於該引線中的預定位 置形成致使該塡料的位置之塡料定位部。 (13) 引線輪廊形成步驟另包含設置一焊接部於該外 引線部中之預定位置。 (14) 再者，引線輪廓形成步驟中，焊接點係以如使 用於一後續步驟的樹脂模具之引線框的電極終端部位的焊 接點之相同間距而設於該數個引線的該兩個相鄰引線的焊 接部。 (15) 且，於該塡料成形及燒結步驟中，該引線係以 該墳料充塡以將該數個引線的兩相鄰引線捆束—起，且， ~~預定偏移量被設定在該塡料的中心線及該兩個捆束一起 -13- (9) 1376093 的引線的中心線之間。 (1 6)氣密終端亦利用上述方法予以製造。 (17) 本發明提供一種氣密終端，包含：一環形管柄 :一引線’其配置以通過該管柄且以一導電材料形成；及 一塡料’用於固定該管柄中之引線；其中該氣密終端係藉 由以下步驟製造而成：將一基部及一引線形成部配置在一 板狀或條狀導電材料上，以及以預定間隔形成該引線的數 鲁個輪廓在該引線形成部上，其中該引線的至少一端連接至 該基部；於一預定位置以該塡料充塡具有所形成的其一輪 廓之該引線’以及使該塡料成形及燒結該塡料；將管柄安 裝至所成形的該塡料的周圍：加熱、熔化及冷卻該管柄中 之該塡料’以及致使該引線與該管柄緊密接觸以經由該塡 料將該引線固定至該管柄；形成一金屬膜在該引線的表面 上：及使該引線的該一端與該基部分開。 (18) 再者’依據本發明，上述之氣密終端被使用於 春壓電振動器之製造方法。 (1 9)本發明亦提供一種氣密終端製造方法，該氣密 終端由一環形管柄、一配置以通過該管柄且以導電材料形 成之引線' 用於固定該引線於該管柄中之塡料所組成、連 接至該引線之振動件、及一接合至該氣密終端以覆蓋該振 動件之外殼’氣密終端係藉由實施以下步驟製造而成：一 引線輪廓形成步驟，其中將一基部及一引線形成部配置在 —板狀或條狀導電材料上，以及以預定間隔形成該引線的 數個輪廓在該引線形成部上，其中該引線的至少一端連接

-14- 1376093 do) 至該基部；一塡料成形及燒結步驟，其中於—預定位置以 該塡料充塡具有所形成的其—輪廓之該引線，以及使該塡 料成形；一管柄安裝步驟，其中將管柄安裝至所燒結之該 塡料的周圍；一燃燒步驟，其中加熱、熔化及冷卻該管柄 中之該塡料，以及致使該引線與該管柄緊密接觸以經由該 塡料將該引線固定至該管柄；—金屬膜形成步驟，其中形 成一金屬膜在該引線的表面上；及一切割步驟，其中使該 •引線的該一端與該基部分開，該方法包含：一安裝步驟， 其中將該氣密終端之該引線的表面上的該金屬膜熔化及連 接至該振動件；及加蓋步驟，其中加蓋具有於該外殼中連 接至其上的該振動件之該氣密終端以覆蓋該振動件。 (2〇)本發明亦提供一種壓電振動器的製造方法，該 壓電振動器具有：一由一環形管柄、一配置以通過該管柄 且以導電材料形成之引線、一用於固定該引線於該管柄中 之塡料所組成之氣密終端、一連接至該引線之振動件、及 鲁一接合至該氣密終端以覆蓋該振動件之外殼，該方法包含 :一金屬膜形成步驟，其中形成一金屬膜在該氣密終端之 該引線的表面上；一安裝步驟，其中將該引線的表面上之 .該金屬膜熔化及連接至該振動件；及一加蓋步驟，其中加 蓋具有於該外殻中連接至其上的該振動件之該氣密終端以 覆蓋該振動件；其中當該加蓋步驟被實施時，具有連接至 其上的該振動件之該氣密終端係利用陶瓷製成的夾具予以 固持。 (2 1)再者，依據本發明之氣密終端於下述的方法係 -15- (11) 1376093 具有陶瓷夾具結合" 本發明提供一種壓電振動器的製造方法，該壓電振動 器具有：一由一環形管柄、一配置以通過該管柄且以導電 材料形成之引線、及一用於固定該引線於該管柄中之塡料 所組成之氣密終端、一連接至該引線之振動件、及一接合 至該氣密終端以覆蓋該振動件之外殼，該方法包含：一引 線輪廓形成步驟，其中將一基部及一引線形成部配置在一 φ板狀或條狀導電材料上，以及以預定間隔形成該引線的數 個輪廓在該引線形成部上，其中該引線的至少一端連接至 該基部；一塡料成形及燒結步驟，其中於一預定位置以該 塡料充塡具有所形成的其一輪廓之該引線，以及使該塡料 成形及燒結該塡料；一管柄安裝步驟，其中將管柄安裝至 所燒結之該塡料的周圍；一燃燒步驟，其中加熱、熔化及 冷卻該管柄中之該塡料，以及致使該引線與該管柄緊密接 觸以經由該塡料將該引線固定至該管柄；一金屬膜形成步 鲁驟，其中形成一金屬膜在該引線的表面上；一切割步驟， 其中使該引線的該一端與該基部分開；一安裝步驟，其中 將該引線的表面上之該金屬膜熔化及連接至該振動件；及 一加蓋步驟，其中加蓋具有於該外殻中連接至其上的該振 動件之該氣密終端以覆蓋該振動件；其中當該加蓋步驟被 實施時，具有連接至其上的該振動件之該氣密終端係利用 陶瓷製成的夾具予以固持。 (22) 壓電振動器係利用以上方法予以製造。 (23) 本發明提供一種壓電振動器，壓電振動器包含 -16- (12) 1376093 :一氣密終端，其由一環形管柄、一配置以通過該管柄且 以導電材料形成之引線、一用於固定該引線於該管柄中之 塡料所組成；一振動件，其連接至該引線；及一外殻，其 接合至該氣密終端以覆蓋該振動件；其中該氣密終端係藉 由實施以下步驟製造而成：一引線輪廓形成步驟，其中將 一基部及一引線形成部配置在一板狀或條狀導電材料上， 以及以預定間隔形成該引線的數個輪廓在該引線形成部上 φ ，其中該引線的至少一端連接至該基部；一塡料成形及燒 結步驟，其中於一預定位置以該塡料充塡具有所形成的其 一輪廓之該引線，以及使該塡料成形；一管柄安裝.步驟， 其中將管柄安裝至所形成之該填料的周圍；一燃燒步驟， 其中加熱、熔化及冷卻該管柄中之該塡料，以及致使該引 線與該管柄緊密接觸以經由該塡料固定該引線至該管柄； 一金屬膜形成步驟，其中形成一金屬膜在該引線的表面上 ;及一切割步驟，其中使該引線的該一端與該基部分開。 • (24)本發明提供一種壓電振動器，氣密終端包含： —氣密終端，其由一環形管柄、一配置以通過該管柄且以 導電材料形成之引線、及一用於固定該引線於該管柄中之 塡料所組成；一振動件，其連接至該引線，‘及一外殻，其 接合至該氣密終端以覆蓋該振動件；其中該壓電振動器係 藉由實施以下步驟製造而成：一金屬膜形成步驟，其中形 成—金屬膜在該氣密終端之該引線的表面上；一安裝步驟 ’其中將該氣密終端之該引線的表面上的該金屬膜熔化及 連接至該振動件；及一加蓋步驟，其中加蓋具有於該外殼 -17- (13) 1376093 Φ連接至其上的該振動件之該氣密終端以覆蓋該振動件； 及其中當該加蓋步驟被實施時，具有連接至其上的該振動 件之該氣密終端係利用陶瓷製成的夾具予以固持。 (25)本發明提供一種壓電振動器，氣密終端包含： —氣密終端，其由一環形管柄、一配置以通過該管柄且以 導電材料形成之引線、及一用於固定該引線於該管柄中之 塡料所組成；一振動件，其連接至該引線；及一外殼，其 鲁接合至該氣密終端以覆蓋該振動件，該氣密終端係藉由實 施以下步驟製造而成；其中該氣密終端係藉由實施以下步 驟製造而成：一引線輪廓形成步驟，其中將.一基部及一引 線形成部配置在一板狀或條狀導電材料上，以及以預定間 隔形成該引線的數個輪廓在該引線形成部上，其中該引線 的至少一端連接至該基部；一塡料成形及燒結步驟，其中 於一預定位置以該塡料充塡具有所形成的其一輪廓之該引 線，以及使該塡料成形及燒結該塡料；一管柄安裝步驟， 鲁其中將管柄安裝至所形成之該塡料的周圍；一燃燒步驟， 其中加熱、熔化及冷卻該管柄中之該塡料，以及致使該引 線與該管柄緊密接觸以經由該塡料固定該引線至該管柄； —金屬膜形成步驟，其中形成一金屬膜在該引線的表面上 ;及一切割步驟，其中使該引線的該一端與該基部分開； 其中該壓電振動器係藉由實施以下步驟製造而成：一安裝 步驟，其中將該氣密終端之該引線的表面上的該金屬膜熔 化及連接至該振動件；及一加蓋步驟，其中加蓋具有於該 外殼中連接至其上的該振動件之該氣密終端以覆蓋該振動 -18- (14) 1376093 件；以及其中當該加蓋步驟被實施時，具有連接至其上的 該振動件之該氣密終端係利用陶瓷製成的夾具予以固持。 (26) 上述之壓電振動器係連接至積體電路作爲依據 本發明的振盪器中之振盪元件。 (27) 再者，上述之壓電振動器係連接至依據本發明 的電子單元中之計時部位。 (2 8)且，上述的壓電振動器係連接至依據本發明之 •波時計中濾波器部位。 於依據本發明之氣密終端製造方法中，電鍍材料係經 由拉伸予以形成。結果，各別氣密終端係以恆定間隔而配 置在電鍍材料上，此防止兩個引線經由電鍍連接一起，及 兩個引線在電鍍過程中相互接觸。接著，依據本發明之方 法可證明對於在電鍍過程中產量下降的問題之解決方法， 其係爲習知氣密終端的製造所固有之問題。 於氣密終端製造過程中，定位部係形成在引線上以致 肇管柄的定位，因此使其可能產生具有良好準確度之氣密終 端。 再者，各引線被配置相對於環狀管柄的中心線而偏移 ，.此致使振動器的中心線於其厚度方向與安裝有振動器之 氣密終端的中心線大致對準。這因此使其可能控制振動臂 的尖部與外殼的內表面的機械收縮。 引線上之內引線部及外引線部的配置及成形ϋ供下述 之功效。 外引線部的寬度被設定大於內引線部的寬度，因此使 -19- (15) 1376093 其可能增強外引線部的剛度。外引線部被成形及架構來以 具有彈簧特徵’使其明顯地容易架構氣密終端以機械性地 固定至托架，且容許托架以取代樹脂之具有少量其本身釋 放的氣體的材料而形成。因此，烘烤及加蓋過程中之真空 減少小可被解決’這是習知壓電振動器製造過程本來就有 之問題。 再者，外引線部設有焊接部。兩個相鄰的引線間之焊 鲁接部的間距係相同如用於使用於後續過程的樹脂模具之引 線框的電極端子部位的焊接點之間距。這免除習知外引線 彎曲過程之需要，且改善焊接的品質。 內引線部的適當寬度及其適當形成的幾何容許內引線 部接合至安裝塾，问時甚至於較小的壓電振動件及減小的 安裝墊面積的情況下保持安裝準確度。使內引線部成形的 方法特別地包括使內引線部成形以使內引線部距外引線部 越遠、而內引線部的寬度越小的方法、使內引線部成形以 鲁使一組相玟的內引線距外引線部越遠、而這些相鄰的內引 線部間的間隔越短的方法、及使內引線部成形以使用於固 持振動件之階設在內引線部上的方法。此些方法的任何一 者容許較小的振動件以良好準確度而安裝.。 於製造流程中利用在切斷內引線部間的連接之後形成 金屬膜的步驟將容許金屬膜同樣地形成一切割表面。這將 改善相對於內引線之振動件的安裝墊部的濕化特性及內引 線與振動件間之接合強度。 再者，壓電振動器係使用利用上述方法製造之氣密終 -20- (16) 1376093 端予以製造的。此致使即使振動器較小可以良好準確度安 裝振動件，且致使氣密終端之生產單價控制’因此使其可 能以控制的成本上升來製造良好品質的氣密終端。 利用上述方法製造之氣密終端亦被配置在以陶瓷形成 之托架上以生產壓電振動器。此製造方法提供安裝振動件 之良好準確度。以陶瓷形成之托架亦容許於烘烤及加蓋過 程中比習知托架更快速地達到真空且具有極優的真空程度 φ 。比起習知過程’此方法容許更高溫度被設定於這些過程 中。因此，即使較小的壓電振動器被使用，高品質的生產 可以良好效率予以製造。 利用上述方法所生產之壓電振動器具有高機械定位準 確度在振動器及氣密終端的引線之間。這些壓電振動器極 少遭遇諸如中止的振盪器之失效情形’且具有由外殼密封 之振動器氣密實際操作的空間之改良的真空程度。這些振 動器具有在氣密密封之後共振頻率及共振阻抗値的小起伏 籲之穩定特性。 壓電振盪器可使用利用上述方法製造之小壓電振動器 予以架構。小壓電振動器可被使用於具有振盪器的所有組 件的最大能力之振動器，因此使其可能進一步減小振盪器 的外圍尺寸。這些振動器亦具有因爲被控制之共振頻率及 共振阻抗値的起伏而難以改變之特性，因此使其可能保持 高準確度之振盪器》 使用由上述方法所生產之小壓電振動器使其可能進一 步減小可攜式電子單元的尺寸。再者’真空的程度持續一 -21 - (17) (17)1376093 長時間’且’此些壓電振動器的特性難以改變，因此使其 可能保持高準確性之可攜式電子單元。 【實施方式】 (第一實施例） 作爲本發明的第一實施例，以下將說明製作氣密終端 的方法及利用此方法製造之氣密終端。 雖然氣密終端可以三或更多個引線構成，以下將說明 一組（一對）引線。構成氣密終端之構件將就三個構件（ 4件）予以說明’亦即，托架（1件）、引線（2件）、及 塡料（1件）。氣密終端可具有數個管柄及塡料。 低碳鋼（Fe)、鐵及鎳的合金（Fe-Ni)、鐵、鎳及 鈷（Fe-Ni-Co)被使用作爲形成引線及管柄之導電材料。 驗石灰（soda lime)玻璃、驗鋇（soda barium)玻璃、硼 砂鹽（borosilicate)玻璃及類似玻璃亦被使用作爲填料。 圖1A至1D係顯示依據本發明之氣密終端製造過程 的實例的槪要之流程圖。於圖1A至1D所示的流程圖中 ，圖1A所示之流程圖係基本流程。 於圖1A所示的簡要氣密終端製造過程中，氣密終端 被製造如以下所述。基部及連接至此基部之引線形成部首 先被配置在板狀或條狀導電材料上，及，數個引線的輪廓 係形成在引線形成部上，其中引線的一端連接至基部（引 線輪廓形成步驟，步驟1〇)。關於連接至基部之引線的一 端，數個引線係以塡料充塡於預定位置，且，塡料被成形 -22- (18) 1376093 及燒結（塡料成形及燒結步驟，步驟20)。關於連接至基 部之引線的一端，管柄係裝至燒結的塡料的周圍（管柄安 裝步驟，步驟30)。關於連接至基部之引線的一端，引線 及管柄被燃燒，且，引線被致使帶入與管柄緊密接觸以經 由塡料將引線固定至管柄（燃燒步驟，步驟40)。關於連 接至基部之引線的一端，金屬膜係形成在引線的表面上（ 金屬膜形成步驟，步驟50 )。最後，引線的該一端係與基 •部分開（切割步驟，步驟60 )。 以下將參考圖2至9更詳細說明製造過程中之每一步 驟。.圖2係顯示圖1 A至1 D所示進一步細分成之簡要氣 密終端製造過程的詳細步驟之流程圖。圖3至9係顯示每 一步驟之解說圖。 〔引線輪廓形成步驟，步驟10〕 於引線輪廓形成步驟中（步驟10)，準備具有適當厚 • 度之板狀材料（以下稱爲基板11)，此材料係上述之材料 的一者（步驟11)。各基板11被致使以引線框或環的形 式而流動。用於形成數個引線之引線形成部11a及基部 11b.然後配置在基板11上的預定位置，使得基板n鄰接 至引線形成部1 1 a。壓製加工 '雷射處理、或諸如蝕刻之 化學處理被實施在基板11的引線形成部11a上以形成具 有連接至基部lib之引線2的一端之引線2的輪廓（步驟 12)。此允許該數個連接至基部Ub之引線2以恆定間隔 配置在基板11的引線形成部11a上。圖3及4顯示基板 -23- (19) 1376093 11的各種形狀。條狀引線框被顯示於圖3A及3B的每一 者，圖3A顯示標準型引線框。於此實施例中，22對引線 2被形成。於圖3B中，圖3A所示的數個標準框被形成於 垂直方向，且設計用於生產力改善。應注意到，圖3 A所 示的引線框可具有開口的馬蹄狀上部（未顯示）。 圖3C顯示圖3A所示之引線框的放大部。以下將參考 圖3 C詳細說明引線框。如上述，引線形成部1 1 a係以矩 鲁形配置於基板1 1，基板1 1的剩餘區作爲基部1 1 b。於此 實施例所示之引線輪廓形成步驟中（步驟1 0 )，後述之連 接壓電振動器組裝過程中的振動器之引線的側被視爲內引 線部13，內引線部13具有一開口端。再者，連接至基板 Π的基部1 lb之引線的側被視爲外引線部14。引線被致 使以其外引線部1 4連接至基板1 1而流動直到氣密終端製 造過程的最後步驟爲止。換言之，引線以每一基板11爲 基礎通過氣密終端製造過程的每一步驟。 • 應注意到，引線2連接至基部1 1 b，內引線及外引線 在此分別代表內引線部1 3及外引線部1 4。在切割步驟的 結束之後，每一各別獨立氣密終端之分開的引線及基部分 別代表內引線3及外引線4。 於此實施例中，每一引線2被形成使得每一對內引線 部13的尖部連接一起。以此方式形成每一個引線2使兩 個引線在氣密終端製造過程中分擔不同地加在單一引線2 上之負載，因此使引線難以彎曲。因此可能防止每一對引 線之平行度的降低。亦可能部份地改變內引線部1 3的寬 -24- (20) 1376093 度。 再者’外引線部14設有用於定位塡料之塡料定位部5 ，塡料將被裝入引線中且成形於後續步驟。塡料定位部5 亦可利用壓製加工、雷射處理、或諸如触刻之化學處理予 以形成。例如，不同於外引線部14之薄構件亦可設在外 引線部14外側以將塡料定位部5設在其尖部上。再者， 外引線部1 4亦可被形成比內引線部1 3更寬，使得外引線 •部14具有更大的強度以防止外引線部14在氣密終端製造 過程中彎曲。外引線部14的下端部Ma被形成更寬以提 供強度給將被形成於後續步驟之彈簧結構，以及，於壓電 振動器製造過程中提供與激勵探針接觸的更大面積及確定 與此探針的接觸。 圖4顯示以條狀導電材料形成之環型引線框的實例。 數個用於形成數個引線於基板11中的預定位置之引線形 成部11a及數個基部lib亦可配置於環型引線框，以使每 鲁一基部lib鄰接至每一引線形成部11a。於此實例中，數 個引線2被配置於水平列，使得每一頂引線正對每一底引 線。 於上述實施例中，引線2被形成以使每一引線2的外 引線部14的一端連接至基板11的基部llb。然而，引線 2亦可被形成使得每一引線2的內引線部1 3的一端連接至 基部1 1 b。因爲內引線部1 3的受限尺寸，然而，注意內引 線部1 3及外引線部1 4間之連接強度係重要的。 -25- (21) 1376093 〔塡料成形及燒結步驟（步驟2〇)〕 於塡料成形及燒結步驟中（步驟20)，氧化處理首先 被實施在已通過以上步驟之基板11上，以增強基板11及 塡料間之附著性，基板11將被成形在後續步驟（步驟21 )°塡料然後裝入每一引線且被成形。用於塡料之材料（ 例如’硼矽鹽玻璃粉末）被準備（步驟70 )»模具然後被 準備。塡料材料然後裝入數個於預定位置之引線2。塡料 鲁6然後利用高壓密封法而成形（步驟22 )。塡料然後被暫 時燃燒於具有75(TC的溫度之環境中以燒結塡料6 (步驟 23 )。在此步驟，仍有間隙在塡料及引線2之間。圖5A 及5B顯示燒結在引線框上之塡料。圖5A顯示數對配置的 引線，圖5B顯示圖5A所示之引線的一者的放大圖。塡料 6係利用塡料定位部5配置於引線2上之預定位置如上述 Φ 〔管柄安裝步驟（步驟3〇)〕 下一步驟係管柄安裝步驟。在不同於製造基板11之 上述過程的過程中製造之管柄7係經由其開口端側插入內 引線部1 3，且係安裝在已燒結的塡料6的外側上（步驟 3〇)。以下將說明用於製造管柄之不同過程（步驟80)。 用於管柄之電鑛材料被準備（步驟81)。如上述，諸如低 碳鋼、鐵及鎳的合金、鐵 '鎳及鈷的合金之材料被使用。 大量電鍍材料係利用衝壓機予以準備（步驟82 )。諸如酸 清潔及還原處理之預處理被實施在電鍍材料上（步驟83) -26- (22) 1376093 。氧化處理被實施在此些電鍍材料上以增強管柄及塡料6 間之附著性（步驟84)。經由此些步驟製造之管柄7被安 裝在塡料6的外側上。圖6A及6B係說明氣密終端的管柄 安裝步驟之解說示意圖。圖6A顯示數對配置的引線，每 —引線具有安裝至其上之管柄。圖6B係圖6A所示之引線 的一者的部份放大圖。 φ 〔燃燒步驟（步驟40)〕 下一步驟係塡料燃燒步驟（步驟40)。燃燒係依據預 定溫度圖案予以實施，藉此，塡料6被熔化，且，塡料6 被致使冷卻至室溫。此致使塡料6與引線2兩者以及塡料 6與管柄7兩者完全相互密封，因此提供可承受氣密性之 構造。圖7係說明燃燒步驟之圖案示意圖。安裝有管柄7 之基板Π利用載具單元19移動穿過用於燃燒之電爐18。 爐係利用加熱器17設定至1000 °C左右的溫度，且具有大 •長度在預定微動速度於箭頭20的方向。 〔金屬膜形成步驟（步驟50)〕 下一步驟係金屬膜形成步驟（步驟5 0 )。金屬膜形成 步驟係用於形成金屬膜在引線2的表面上及於管柄7的外 周之步驟。如以下所述’在金屬膜被形成之前，依賴用於 處理內引線部1 3之方法，加工係必要的。內引線部1 3的 尖部保持連接至基部直到前一步驟。此步驟及下一步驟需 要連接區13a與內引線部13分開。假使連接區i3a與內 -27- (23) 1376093 引線部1 3分開，金屬膜亦將形成在內引線的側表面上， 此側表面將作爲一切割表面。如果因此，引線係連接至振 動件8的安裝墊9,將可能提供足夠的濕化特性給甚至內 引線3的切割表面。當連接區自內引線部13分開時（步 驟45)亦將可能同時使金屬膜成形。內引線3的成形將予 以後述。 顯示於圖1A至1D中所示之氣密終端製造過程的槪 春要流程圖之流程B顯示在金屬膜形成步驟之前之上述”內 引線部形成（步驟45 ) ”。 至於金屬膜形成步驟，以下將說明利用濕式電鍍方法 形成相同材料的膜在引線2及管柄7的外周表面上之方法 。在電鍍過程之前’預處理被實施。也就是說，塡料6的 表面被清洗。引線2及管柄7的外周表面然後使用鹼性溶 液除去油脂。酸性清潔然後使用鹽酸溶液及硫酸溶液而實 施在引線2及管柄7的外周表面上。引線2及管柄7的外 鲁周表面以Cu或Ni電鍍至大約2至5μιη的厚度，此電鍍 形成底塗層（步驟51)。至於精加工電鍍，一電鍍材料及 一方法然後選自諸如錫（Sn )及銀（Ag )、錫及鉛的合金 (Sn-Pb)、錫及鉍的合金（Sn_Bi)、錫及銻的合金（Sn_ Sb)、錫及銅的合金（Sn_Cu)、及錫及銅的合金的電鏟 接著Ag電鍵之單一材料。引線2及管柄7的外周表面然 後以上述材料的任一被選者電鍍至大約8至ι8μηι的厚度 (步驟52)。以上材料的任—被選者的合成膜係形成在引 線2及管柄7的外周表面上，藉此使內引線3經由電鍍連

-28- (24) 1376093 接至振動件8。形成在管柄7的外周表面上之金屬膜16( 電鍍層）在特性上亦軟且可彈性變形，藉此使管柄7與外 殻冷壓接觸且因此氣密地接合至外殼。 假使如引線框之氣密終端被致使流動，具有以恆定間 隔自其吊掛的基板11之吊籃被置於電鑛浴中。電流然後 施加至基板11，爲了電鍍目的，基板11係移動於電鍍浴 中。假使如環型引線框之氣密終端被致使流動，環材料係 鲁以預定速度移動於電鍍浴中以形成電鍍膜於其上。環材料 可被致使在整個預處理及電鍍過程中恆定流動於一環中， 此些過程有助於環材料的電鏟的自動化。 於本發明中，外引線部1 4係以恆定間隔連接至基板 1 1的基部1 1 b ’如圖3及4中所示，在任何相鄰氣密終端 之間沒有接觸。因此，引線間沒有單一的接觸失敗。 以下將說明經由電鍍連接一起之兩個引線的問題。如 ”先前技術”部份中所述（參照圖2 3 A及2 3 B )，引線間之 鲁間隔dl及引線的直徑d2由於其減小的尺寸而變小。表1 顯示dl及d2之具體値。如果外殼在密封之後的輪廓之最 大値 D 係 2 mm，d 1 = 0.4 3 mm。如果 D = 1 · 5 刪、d 1 = 〇 . 2 5 _ ’間隔降低至6 0 % 。如果D = 1.2 mm、d 1 = 0.1 5 nim，d 1係大 約以上値的三分之一。再者，如果D = 2 mm，引線的直徑 d2 係 0.22 mm。如果 D=1.2 mm、d2 = 0.15 mm，d2 係大約一 半大。 於習知滾筒電鍍方法中，當引線間隔dl=0_ 15麵時， 引線係經由電鍍連接一起。其最大理由在於，引線不能沿

-29- (25) 1376093 著引線的長度以恆定間隔而配置。因此，於滾筒電鍍方法 中，大量的氣密終端被置於容器中且作旋轉運動，有引線 可能由於一組其它氣密終端的外力而變形之高度可能性。 用於引線.的抗彎強度所計算値的比較使其可能決定引線是 否可容易彎曲。抗彎強度之値係與面積的慣性矩之値成比 例。抗彎強度之値的比較顯示面積的慣性矩係與引線直徑 的四次方成比例。具有D = 1.2 mm之引線的抗彎強度係與具 φ有D = 2 mm之引線的抗彎強度之（0.1 5/0.22 ) 4倍大，亦即 ，具有D = 2 mm之引線的抗彎強度的大約1/5。換言之，具 有D=1.2inm之引線可容易地彎曲爲具有D = 2.nini之引線的五 倍。於本發明中，每兩引線的每一者的一端係連接至基部 電鍍，且，每兩引線以恆定間隔一直保持相互平行。因此 ，即使氣密終端之引線間隔d 1係0.1 5 mm，本發明使其可 能大大地減少連接一起的引線數量。即使用於d 1的値係 更小，將足夠地有小量的經由電鍍連接一起的引線。 〔表1〕

2 mm 1 · 5 mra 1.2 mm 引線間隔dl 0.43 0.25 0.15 引線直徑d2 0.22 0.18 0.15 單位：mm -30- (26) 1376093 氣密終端然後退火於具有用於穩定電鍍膜的真空胃胃 之爐中（步驟5 3 )。如退火必備條件的實例，如果電鑛材 料係錫及銅的合金（Sn-Cu)，加溫爲170°C，且，加熱 時間係約一小時。 圖8A及8B係說明金屬膜形成步驟之示意圖。圖8A 顯示五組在金屬膜形成之前的引線。左邊第四引線具有尙 未形成其上之內引線部。內引線部的連接區13a保持連接 鲁至內引線部13的尖部。圖8A顯示左邊第五引線具有已經 形成之內引線部。連接區13a已被切除且與內引線部的尖 部分開。圖8B顯示具有已形成的內引線部13之氣密終端 的放大圖。預定金屬膜（電鍍膜）16係形成在包括此切割 表面之內引線部13的表面、管柄7的外周表面及外引線 部14的表面的每一者上。 以上已說明藉由濕性電鍍的金屬膜形成。由於減小的 尺寸’本發明致使氣密終端之電鍍產量下降的解決方法。 •然而，形成金屬膜的方法未受限於僅濕性電鍍。形成金屬 膜的其它方法可被使用。例如，諸如蒸汽沉積及化學蒸汽 方法之物理膜形成方法可被選擇。再者，不同金屬膜可被 成形管柄的外周表面及引線的表面的每一者。 〔切割步驟（步驟60)〕 下一步驟係切割步驟。切割步驟係經由切割使氣密終 端的外引線部14與基板11的基部iib分開以獲得各別氣 密終端之步驟。然而，切割不是簡單地實施在連接部上。 -31 - (27) 1376093 內引線部13及外引線部14可在切割步驟前各別地或同時 形成。圖1B顯示用於形成內引線部13於氣密終端製造過 程’中之流程。圖1C顯示用於形成外引線部14於氣密終端 製造過程中之流程。圖1D顯示同時形成內引線部13及外 引線部14兩者於氣密終端製造過程中之流程。 至於內引線部13的成形，如上述，如果諸如電鍍膜 之金屬膜16不必要在內引線部的切割表面上，連接區13a 鲁的切割及各種類型的成形可於切割步驟中實施在內引線部 13上。 至於外引線部1 4的成形.，外引線部1 4係利用壓床（ 步驟55 )予以架構以具有彈簧特性。圖9A及9B係說明 切割步驟之不意圖。圖9A係顯不具有連接至基板11之所 有成形的內引線部1 3的切割部之示意圖。圖9B係成形於 圖9A之內引線部1 3的部份放大圖。內引線部1 3係經由 切割沿著圖9A中的虛線A-A與基板1 1分開以形成各別 修氣密終端。較佳地，因爲彈簧部14b於後續壓電振動器製 造過程中被固定及保持在托架，外引線部的彈簧部14b應 具有如彈簧之彈性在一大面積上。 再者，如果安裝在托架上之氣密終端被致使於壓電振 動器組裝過程中流動，各外引線的接觸部係於頻率微調及 分類過程中利用設在製造儀器上的探針予以高壓密封及激 勵。至於壓電振動器的共振特性，其驅動電流甚至在共振 時係數mA或更小。爲確定外引線的接觸部與探針接觸， 較佳地’外引線部的接觸部1 4c應具有比探針的尖部更足 -32- (28) 1376093 夠大的面積，亦考慮到，儀器的位置機械的可能機械移位 〇 圖10A至10E顯不利用上述方法所生產的氣密終端。 圖10A顯示由此方法所生產之氣密終端，氣密終端具有標 準架構。氣密終端具有兩個金屬引線2。引線的內引線3 的端向內傾斜。引線係架構來比振動件8的安裝墊9更窄 。外引線4的下端部係比其另外部份更寬，且架構以具有 鲁彈簧特性，其使氣密終端容易配置且保持於托架。此點將 被詳述。較高的引線確定氣密終端將與實施於壓電振動器 組裝過程中之探測中的探針機械接觸。如果振動器被安裝 在基板上，雖然外引線4可被用戶彎曲，較寬外引線4亦 增強氣密終端的剛度，且提供其抗彎強度的改善。 如上述，本發明致使引線的寬度隨著相當的自由度而 改變。內引線3及外引線4的每一者的寬度不僅可被改變 ’而且若需要的話，亦可部份地改變。同樣地，外引線可 φ被改變以具有新功能。 塡料係以例如，硼矽鹽玻璃製成，且成形以儘可能提 供管柄7及引線2間之在熱膨脹係數之小差別。塡料定位 部5係自外引線4向外形成於塡料成形之部，且，塡料然 後被定位。具有決定厚度之金屬膜1 6係形成在內引線3 的表面、外引線4的表面、及管柄7的外周表面上。至於 金屬膜16，例如，各具有預定厚度之底塗層及完成塗層被 形成。此些表面及外周表面係以Ni或Cu電鍍成約2至 5 μηι的厚度，此形成底塗層。完成塗層被塗佈至約8至 -33- (29) 1376093 15μιη的厚度，其使用選自諸如錫（Sn)及銀（Ag)、錫 及鉛的合金（Sn-Pb)、錫及鉍的合金（Sn-Bi)、錫及銻 的合金（Sn-Sb)、錫及銅的合金（Sn-Cu) '及錫及銅的 合金的電鎪接著Ag電鍍之單一材料之電鑛材料及方法。 內引線3的電鍍係使用來連接內引線至振動件8。管柄7 的外周表面的電鍍供作爲致使管柄7與外殻1〇接觸且保 持與外殻10的緊密接合之軟金屬。外引線4的電鍍用來 φ確保引線與實施於壓電振動器製造過程的探測中之探針接 觸。外引線4的電鍍亦用來以基板上的焊料弄濕引線，以 保持當氣密終端裝在基板上時之足夠固定強度。 圖10B、10C、10D及10E顯示內引線3之各種類型 的成形。在說明各種成形之前，將以圖11A及11B所示之 音叉型石英晶體振動件作爲實例而詳細說明。 圖1 1 A及1 1 B係顯示小型音叉型石英晶體振動件的一 個實例之示意圖。圖1 1 A係石英晶體振動件的平面圖，以 •及，圖1 1 B係如自音叉臂的尖部所視之石英晶體振動件的 側視圖。音叉型石英晶體振動件的全長 L 1係設在約 16 00μηι。其振動臂的長度L2係約160μιη。其基部的長度 L3係約440μηι。振動臂的寬度W1亦設在約50μηι。基部 的寬度W2係約150μιη。因此，形成在振動件的基部上之 安裝墊的寬度W3亦需要50至60 μπι。安裝墊及引線間之 間隔W4亦設在30至50μιη。因此，內引線3的尖部的寬 度亦需要小於安裝墊的寬度W3。於此例中，內引線3的 長度沿著其全長不需爲約5〇μιη或更小，且，僅引線及安 -34- (30) 1376093 裝墊間之連接部需要製作得更薄。以此方式，振動件8可 被裝在內引線上而不會減小其剛度。 於安裝墊9的面積係由於振動件8的尺寸減小而更小 的例子中，連接所需之電鍍的量係更小的。如果電鍍的量 太大，用於分開安裝墊9之間隔（圖11A中W4)係小， 熔化的電鍍係超過兩個振動臂，且，短路可能發生。因此 ，被要求電鍍的量不應大於所需量。控制內引線3的電鍍 •的厚度小於管柄7的外周表面的厚度以調整電鍍的量將花 掉很多時間。本發明省下這些時間，且使電鍍的量藉由改 變內引線3的尖部的寬度予以調整。 現將回到圖10A至10E說明各種成形的內引線3。圖 10B顯示不同於圖10A所示的標準型內引線3之具有箭頭 尖部之內引線3，其係架構可利用於較小面積的安裝墊9 。圖1 0C顯示標準內引線的變化，其可利用於些微較寬的 安裝墊9。圖10D顯示具有些微較寬尖部之內引線3，如 •果內引線3其被預期是可利用的，較佳地在大面積上接合 至安裝墊9且如果內引線的尖部設有凸出。圖10E亦顯示 適於內引線3係使用外部供應的焊球接合至振動件8之應 用之內引線3，且，內引線3在其尖部具有一狹縫用於定 位焊球。 應注意到，圖10A至10E中，兩個相互平行配置之內 引線3係顯示對稱於氣密終端的中心線。此兩內引線3不 需要是對稱的，且可以是不對稱之內引線3(未顯示）。 圖1 2 A及1 2B係顯示安裝有特別小的振動件之內引線 -35- (31) 1376093 的實例之示意圖，其中圖12A係內引線的前視圖，以及， 圖12B係圖12A所示沿著切割線a_A所取之內引線的橫 向剖面圖。 如上述，減小振動件8的尺寸可減小安裝墊9的區。· 因此，安裝墊9不能如習知安裝墊9可將內引線3的尖部 保持接合至其區，且，尖部自安裝墊9的區出現。於此例 中，難以提供內引線3及振動件8的尖部間之準確定位關 嫌係，且，彎曲強度可容易變動。如以下後述，亦有振動臂 的尖部可能與金屬外殼10的內表面接觸之利害關係。 於本發明中，階21係經由壓製加工而形成在內引線3 的尖部上。兩個內引線3的階部被成形以容納振動件8的 基部。因此，此使其可能以良好準確度提供內引線3及振 動件8間之定位關係^明確地，具有階量d3之階21係設 在兩個內引線3的每一者的尖部上，如圖12B所示。由兩 個階21所形成之間隔W5將被架構以具有50μπι左右的邊 #界，如果此間隔相較於振動件8的基部的寬度W2。因此 ，間隔W 5將係較佳地用於藉由機器之振動件8的自動供 應及定位。形成階21的方法未受限於壓製加工，且，雷 射處理或諸如蝕刻之化學處理可與引線的輪廓的形成一起 使用。 使用上述的配置使其可能熔化內引線3的電鍍且接合 內引線3至振動件8的安裝墊9，而具有兩者間之優良定 位關係。再者，如果導電黏著劑被使用，此黏著劑係預先 塗佈在包括階21之內引線3側，且，振動件8被供應， -36- (32) 1376093 因此確定內引線3的位置。內引線3係如所需地 黏著劑自振動件8側塗佈至內引線3側以強化接 接合至安裝墊9。 甚至用於安裝墊9的較小直徑，塗佈導電黏 裝墊的目前實際直徑係約ΙΟΟμπι »黏著劑其本身 出現有50μηι平方的小面積。然而，本發明使其 關於安裝墊的直徑之問題，導電黏著劑係藉由塗 鲁至具有比安裝墊的寬度W3更大的寬度之內引線 至此安裝墊。 以下參考圖13Α至13Β說明相對於環形管柄 線22的偏心（移位）而配置之引線2的實例。 當振動件8被安裝至其上時，內引線3中的彎曲 合至振動件8之振動臂的尖部與金屬外殼10的 觸，因此導致電氣短路以及振盪損壞。因此，引 配置爲偏心，使得振動件8的中心線23於厚度 鲁管柄7的中心線22大致對準。此在振動臂的前 提供大致相等間隔在振動臂的尖部及金屬外殼1 面之間。因此，即使如果有相似彎曲於內引線3 能減小所安裝的振動件8的振動臂的尖部可能與 10的內表面接觸之可能性。 圖1 3 Α至1 3 Β係說明自引線的管柄之移位的 圖13A顯示習知振動件8如何安裝在習知內引線 13B係圖13A所示沿著線A-A所取之內引線3的 圖，其中引線2的中心線24於厚度方向係與環 將更多的 合強度而 著劑之安 自安裝墊 可能解決 佈黏著劑 側而塗佈 7的中心 已知地， 將致使接 內表面接 線係預先 方向係與 面及後面 0的內表 ，這係可 金屬外殻 示意圖。 3上。圖 橫向剖面 形管柄的 -37- (33) 1376093 中心線22大致對準。振動件8係位於圖13A中之管柄的 中心線22上方。圖13 C顯示偏心配置之引線2的實例。 移位的量係由d4所表示。D4値係考慮連接至引線2之振 動件8的厚度而決定。例如，如果振動件8的厚度係 70μιη 且引線 2 的厚度係〗〇〇μπι，d4=(70/2 ) + ( 100/2) =85 μιη。設定如上述的移位的量使其可能使振動件8的中 心線23於厚度方向與環形管柄的中心線22大致對準。此 •減小所安裝的振動件8的尖部可與金屬外殻1〇的內表面 接觸之可能性，因此有助於減小振盪損壞。 圖14Α及14Β顯示氣密終端及振動件間之連接的變化 ，保持在內引線3間之振動件8的實例。以進一步減小振 動件8的尺寸，將難以如同習知技術將兩個平行安裝墊9 配置在基部上。於此例中，較佳地，一個安裝墊9應被配 置在基部的每一表面上以確保安裝墊9的面積。圖14Β顯 示圖1 4Α所示沿著線A-Α所取之內引線的橫向剖面圖。 鲁如圖14B所示，振動件8係接合至內引線3，而振動件8 保持兩者間。如果內引線3的電鍍爲了接合目的而熔化， 較佳地，電鍍膜應被形成在內引線3的切割表面上，因爲 安裝墊9的表面正對內引線3的切割表面。導電黏著劑亦 可被使用。 接合振動件8至內引線3的方法的其它類型的改變（ 未顯示）可被考慮。特別地，如果振動件係更小，足夠的 '機械強度可由簡單連接附接至振動件8之安裝墊9的一者 至內引線3的一者予以提供。因此，另一安裝墊可簡單被 -38- (34) 1376093 使用於電連接。另一安裝墊可被連接至電連接之電線。於 此例中，此兩個內引線的每一者具有不同功能，且，各獨 立內引線的形狀可以是因此而不同。 (第二實施例） 以下將說明氣密終端的外引線部的形狀的變化如本發 明的第二實施例。 φ 圖15A及UB係說明外引線部的形狀的變化之示意圖 。圖15A係顯示外引線的示意圖。圖15B係顯示用於具有 與其接合之外引線的樹脂模具之引線框的示意圖。 至於圓柱形缸型封裝中之壓電振動器，此封裝已用樹 脂模製，使得此封裝適當地由自動安裝機來安裝。大量模 製產品已被製造，其藉由用於樹脂模的引線框設有電極。 於樹脂模製過程中，一對用於缸型壓電振動器之外引線4 係位於較寬的間隔，且，多餘部份被切斷且自外引線移除 •。電終端26係與外引線4對準且利用諸如電阻焊接的方 法而連接至外引線4〇 於本發明中，氣密終端係預先設計，使得外引線4的 焊接部27的間距（圖15A中的符號P1所示）具有如用於 圖15B所示的樹脂模的引線框25的電極26的焊接部的間 距P2之相同尺寸。外引線4係考慮到外引線4對用於樹 脂模的另一引線框2 5的焊接予以成形及按尺寸切割，此 焊接在後續過程中之樹脂模係需要的。此可免除用於加寬 外引線的操作之需要。 (35) 1376093 習知上，實心圓條形之引線及用於樹脂模之引線框25 的電終端26已被固持在用於焊接之頂模及底膜間。因爲 引線係圓條形，引線不是均勻壓擠’因此造成引線框25 及電終端2 6間之不均勻焊接強度。於本發明中’設在氣 密終端的外引線4上之焊接部27係扁平且具有較寬面積 ，因此提供引線框25及電終端26間之均勻接觸且較寬面 積。因此，本發明係較佳地用於焊接的機械強度之改善及 φ不均勻強度的控制。圖15B顯示焊接至用於樹脂模之引線 框25的左邊之壓電振動器40，其具有設於預定位置之空 窗。應注意到，於此實施例中，壓電振動器40在焊接加 工之前沿著鏈線2 8切斷。 (第三實施例） 以下將說明本發明的第三實施例。使用依據本發明之 上述氣密終端致使托架被形成具有小量的諸如取代習知樹 •脂的陶瓷之自其釋放的氣體之材料。如”先前技術，，部份中 說明，托架扮演兩個角色：壓製及機械地固定氣密終端的 外引線且提供外引線及金屬終端間之導電連續性。習知托 架設有許多.鍍金的金屬材料製成，此材料具有用於頻率微 調及分類之彈簧特性。例如，需要44個金屬終端36來配 置22個氣密終端在單—托架上。合倂這些金屬終端36於 此托架中’需要此托架具有複雜的構造。因此，容易成形 樹脂被選爲托架的材料。 然而’於本發明中’彈簧部4d係配置在氣密終端的 -40- (36) 1376093 外引線上’因此明顯地使用於機械固定氣密終端至托架之 構造變簡單。圖16A及16B係顯示依據本發明之托架及依 據本發明於其上的氣密終端的配置之示意圖。圖16A係上 述托架的前視圖’以及，圖1 6 B係托架的右側圖。 如圖16A所示，各具有安裝至其上之音叉型石英晶體 振動件8之氣密終端1係配置在托架30上。托架30由底 部位31及覆蓋部位32構成。如圖16B所示，用於固定外 鲁引線的彈簧部4d之V形溝槽3 3係形成於底部位3丨，且 ，氣密終端的y方向（於圖16A所示的座標系統）係固定 至溝槽。用於固定氣密終端的X方向之溝槽（未顯示）亦. 形成於底部位3 1。覆蓋部位3 2自z方向壓下氣密終端的 外引線，此造成氣密終端被機械定位。 覆蓋部位3 2具有定位氣密終端的外引線4之長孔3 4 。於頻率微調及分類過程中，此過程中製造設備側上之探 針（未顯示）被致使自長孔與外引線的接觸部4c接觸。 •外引線的接觸部4c電鑛有金屬膜16，且，金屬膜的內表 面與銳緣接觸在探針的尖部，因此提供探針及引線間之堅 固且緊密接觸。 以下將說明所釋之玻璃的特性。在室溫自樹脂所釋的 玻璃的量通常在1〇_2至1〇-^&.1113.3-1.111-2的範圍。更 多的玻璃係以使用於壓電振動器製造過程中的150至220 °C的溫度在烘烤步驟自樹脂所釋。樹脂可承受200至240 乞達一長時間。使用於烘烤之溫度接近樹脂的抗熱範圍β 另一方面，自陶瓷所釋的玻璃的量係在1〇_4至i〇'5pa • 41 - (37) 1376093 -m3, s-1 · m-2的範圍且更小兩位數。再者，在150至 22 0°C所烘烤不會造成陶瓷的特性劣化。 如上述，使用於烘烤的陶瓷比使用於烘烤習知樹脂發 出如此更少的氣體，因此致使達到真空所需時間之減少及 在烘烤與加蓋步驟達到真空程度之改善。甚至在諸如實施 於真空的烘烤與加蓋步驟之200 °C以上的溫度設定之步驟 ，由於良好抗熱性能之陶瓷的小劣化致使使用作爲托架材 φ料之材料超過一長時間。陶瓷的低氣體釋放特性使其可能 設定烘烤溫度及真空加蓋步驟至更高的溫度。 烘烤步驟及加蓋步驟可被實施在比習知技術上之更高 的溫度，因此容許水份及氣體有效率地離開振動件、氣密 終端及由壓電振動器組合之殼的表面。此提供由於這些表 面上的水份及氣體之振動器的共振頻率及共振電阻値之變 動的問題之解決方法，此問題在成長的尺寸減小方面已更 顯著。 φ 以下將參考製造流程圖說明小型壓電振動器製造過程 。圖17顯示依據本發明之壓電振動器製造過程的振動件 的實例之流程圖。圖1 8係顯示壓電振動器組裝過程的實 例之流程圖。以下將首先參考圖17說明之振動件製造過 程。然後將參考圖1 8說明使用依據本發明的氣密終端之 組裝壓電振動器的過程。以下將採用音叉型石英晶體振動 器作爲實例。不同於音叉型振動器之具有其它振動模式之 AT振動器及BT振動器係可應用的。對諸如LiNb03及 Li Ta03之其它壓電材料的任何一者的所形成之振動件亦是 -42- (38) (38)1376093 可應用的3 於振動件製造過程中，Lambard石英原石首先被設置 在使用X光繞射方法的加工台以獲得預先切割角度（步驟 1〇〇)。石英原石然後例如，使用諸如線鋸的切割設備而 切成各具有約200 μηι的厚度之片件。通常，自由磨粒一般 被使用來切割原石。例如，具有約1 600μηι的直徑之高碳 鋼線被使用作爲切割鋼線（步驟1 1 〇 )。 晶圓然後被硏磨至一恆定厚度。用於硏磨，粗硏磨通 常使用具有大粒尺寸的自由磨粒予以實施。精硏磨然後使 用具有小粒尺寸的自由磨粒予以實施。蝕刻然後實施在各 晶圓的表面上，且，任何合成變質（transubstantial )層 係自晶圓的表面移除，晶圓然後被拋光以獲得具有預定厚 度及預定平面度之精加工鏡面（步驟120)。當振動件的 尺寸變更小時，晶圓的厚度變更小。如上述，如果振動件 的全長係1600μιη，晶圓的厚度將約爲50μιη。 各晶圓係以超純水的純水清洗（步驟1 3 0 )。晶圓然 後被乾燥，且，具有一預定厚度之掩蔽用的金屬膜（一般 使用鉻及金的沉積層）係利用諸如濺射的膜形成機構而沉 積在晶圓的表面（步驟140)。金屬膜被配置在晶圓的兩 表面。 音叉型石英晶體振動件的輪廓然後經由光微影技術而 形成（步驟1 5 0 )。特別地，抗蝕劑被施加至石英晶體振 動件，且，石英晶體振動件的兩表面係經由輪廓光罩而曝 光。石英晶體振動件然後被顯影以獲得石英晶體振動件的 -43- (39) 1376093 輪廓的抗蝕圖案。任何不想要的金屬圖案然後使用蝕刻溶 液自石英晶體振動件移除以獲得金屬光罩圖案。抗蝕劑係 自石英晶體振動件移除，且，石英晶體被蝕刻於氫氟酸溶 液中以形成晶圓的數個輪廓。當振動器的尺寸變更小時， 振動臂的寬度及振動臂的厚度間之比例値（wi/t，1其使 用圖1 1 A及1 1 B所示的符號）通常變更小。如果比例係小 於1.0，關於音叉型石英晶體振動器的振動臂之電場效率 φ下降，且，振動器之共振電阻値增加。例如，共振電阻値 將增加100kQ以上，因此使音叉型石英晶體振動器不合意 作爲一振動器。爲防止共振電阻的上升，溝槽被形成於振 動臂以增加電場效率且降低共振電阻値。 在輪廓及溝槽被形成如上述之後，所有使用作爲光罩 之金屬膜自晶圓脫離（剝離）（步驟160)。具有預定厚 度之金屬膜（供作爲電極膜）然後再次經由濺射及類似方 法沉積至晶圓的兩表面（步驟170)。如果上述的溝槽已 鲁被形成，金屬膜亦形成在溝槽的內表面上。在膜沉積之後 ’電極膜圖案係使用如同上述的輪廓形成步驟之微影技術 予以形成（步驟180)。 具有數微米的厚度之膜（供作配重）然後形成於具有 電極膜圖案形成至其上之晶圓的振動臂的尖部區中（步驟 190)。作爲使用爲配重之膜的材料，鉻及銀或金一般使 用於沉積層。 下一步驟係頻率微調步驟（粗微調）。配重部位係於 環境中以雷射照射。當量測振盪頻率時，沉積於先前步驟 -44 - (40) 1376093 之配重膜的一部份被蒸發同時調整配重的重量。音叉型石 英晶體振動件的振盪頻率係藉由此加工調整至一預定範圍 (步驟200 )。 在頻率微調之後，晶圓的超音波清洗被實施以移除由 於頻率微調引起之膜的殘餘物及來自晶圓的外來物質（步 驟210)。此步驟提供各具有數個振動件之完整晶圓。 以下將參考圖18所示的流程圖說明之壓電振動器組 φ裝過程的製造流程圖。利用上述方法製造之氣密終端1被 烘烤在預定瘟度以自氣密終端移除在儲存時所造成之水份 及類似物（步驟300)。外殻10亦被烘烤以自外殼的表面 移除水份（步驟400 )。數個氣密終端係使用夾具配置在 上述的陶瓷所形成之托架30上（步驟310)。 下一步驟係安裝步驟（步驟320 )。振動件8 (由圖 17及18中的符號P1所表示）及氣密終端1的內引線3 相互接合，兩者已依據圖17所示的製造流程予以生產。 鲁於安裝步驟中，振動件8首先自用於經由雷射及機械機構 將每一振動件8連接至晶圓上之連接（未顯示）切斷。內 引線3然後與振動件8的安裝墊9對準。內引線3的金屬 膜1 6然後藉由來自外部的加熱予以熔化以使內引線3接 合至安裝墊9。作爲用於熔化金屬膜16之機構，各種機構 係可能’諸如加熱的氮氣、雷射照射、光源加熱、及電弧 釋放的熱。係可能使用導電黏著劑、焊凸、焊球及類似物 來安裝內引線3而不需熔化內引線3的金屬膜16。 在安裝步驟之後，振動件係於烘烤目的用的真空設備 -45- (41) 1376093 中加熱至預定溫度，且，發生於安裝步驟中之任何振動器 變形被移除（步驟330)。如果導電黏著劑被使用，黏著 劑被固化且保持熱度以釋放來自黏著劑的氣體成份。於此 例中，托架30係以陶瓷製成，且可被保持足夠的熱度。 下一步驟係頻率微調步驟（精微調）。托架30被載 入真空系統中，且，外引線4被探測。當量測振盪頻率時 ’振動件8的臂係以雷射照射。調整用的金屬膜被蒸發用 φ於頻率微調（步驟340 )。這亦可能藉由以惰性氣體離子 照射用於頻率微調的金屬膜以及濺射金屬膜的表面來實施 頻率微調。依據本發明氣密終端的外引線的接觸部4c係 架構以具有大寬度，因此致使氣密終端及探針間之某些對 準邊界，其能夠減少接觸失效。 數個具有經由頻率微調的振動器之托架30係配置於 模具中，且被對準來正對密封用之外殼10(步驟410)。 至於用於對準及固持外殼及材料之夾具的材料，具有低釋 •放氣體特性之材料被選擇。足夠的真空加熱被實施於密封 單元以移除盾份及氣體成份於在密封前之步驟。在加熱之 後，外殻10被壓合以及真空氣密密封可被實施（步驟350 )。習知上，加蓋步驟已有在如上述的加熱中之真空程度 降低的問題。然而，托架3 0係以樹脂形成，且，依據本 發明以陶瓷製成之托架30的使用提供對於真空程度降低 的問題之解決方法。 篩選然後被實施在預定溫度以穩定振盪頻率（#胃 360)。共振阻抗用之値及其它電特性然後被量測在分類 -46- (|)· (42) 1376093 系統上（步驟370 )。 在分類中，振動器的外引線4被探測。 引線的接觸部4c具有大寬度，因此使其可 及分類用的探針間之不良接觸。在量測之後 架移除（步驟380)。以上過程提供完成的 體振動器。 利用以上過程所製造之音叉型石英晶體 •於圖19A。於安裝部位中，內引線3的尖部 內引線3自安裝墊9的區出現。管柄7的外 膜16被壓焊且接合至外殼10,以使振動件 以建立真空。外引線4係以金屬膜16覆蓋 係裝在基板上，振動器具有與基板上的焊料 化特性。於烘烤步驟及加蓋步驟中，振動件 份地真空加熱，水份及氣體成份的量於氣體 。因此，具有充份控制的共振頻率及共振電 0被實現。 圖19B顯示AT型石英晶體振動器。爲 管柄7的外周表面的表面上之金屬膜16被 外殼1 〇。振動件8係利用導電黏著劑（未 引線3。內引線3係接合至安裝墊9在大面 的共振電阻。在長時間以高溫安裝及烘烤於 組件除氣被充份地控制之後，導電黏著劑被 在氣密密封之後，外殻1 0及金屬膜間的空 移現象被控制，其中氣體成份將以不同方式 在此步驟，外 能減少外引線 ，振動器自托 音叉型石英晶 振動器被顯示 被加工以防止 周表面的金屬 8係氣密密封 。如果振動器 有關之足夠濕 8係以高溫充 空間中係低的 阻値之振動器 了氣密密封， 壓焊且接合至 不）連接至內 積上以控制低 真空中以及使 固化。因此， 間中，且，頻 黏著至電極的 -47- (43) 1376093 表面’而導致共振頻率的下降。以此方式，於依據本發明 之AT型石英晶體振動器，振盪頻率起伏被控制，且，頻 率可在一般長時間內保持高度準確性。 (第四實施例） 以下將說明本發明的第四實施例。圖20係顯示依據 本發明之音叉型石英晶體振盪器的架構及顯示利用上述的 •音叉型石英晶體振盪器之表面安裝型壓電振盪器之簡要圖 案示意圖。 .於圖20所示的表面安裝型壓電振盪器中，音叉型石 英晶體振動器41被設置於基板42上之預定位置，且，振 盪器用的積體電路43被配置鄰接至石英晶體振動器。諸 如電容器之電子部件44亦被安裝。此些部件係經由配線 圖案（未顯示）而電連接一起。音叉型石英晶體振動器41 的振動件的機械揮動係由於石英晶體的壓電特性而轉換成 鲁電信號，且輸入積體電路43»於積體電路43中，信號處 理被實施，且，頻率信號被輸出。此電路作用如振盪器。 這些組件的每一者係以樹脂（未顯示）模製。積體電路43 的適當選擇提供控制單功能振盪器及其它有關待測的系統 與外部系統的操作日期以及提供具有時間及日曆資訊的使 用者之功能。 使用藉由依據本發明之方法所製造的壓電振動器使其 可能使用於具有振盪器的所有組件的最大容積的振動器之 小型振動器。這因此使其可能進一步減小振盪器的外部尺 -48- (44) 1376093 寸。壓電振動器亦具有因爲其共振頻率及共振電阻値來控 制起伏，難以改變之特性，因此使其可能保持高準確性的 振盪器。 (第五實施例） 以下將說明本發明的第勿實施例。以下將說明使用利 用依據本發明的方法製造之壓電振動器的電子單元的實例 φ 。作爲電子單元的實例，以下將詳述由行動電話所代表之 可攜式資訊單元的較佳實施例。 作爲一必備條件，依據此實施例之可攜式資訊單元係 利用相關習知技術製造之已開發且改良版本的時計。可攜 式資訊單元在外觀上相似於時計。可攜式資訊單元具有取 代時鐘字盤之液晶顯示器，其可在其螢幕上顯示目前時間 。當可攜式資訊單元被使用作爲通信單元時，可攜式資訊 單元係自手腕移除。各結合在錶帶部位內側之揚聲器及微 φ聲器可被使用來作如同由相關技術所製造的行動電話之通 信。此可攜式資訊單元比習知行動電話更小且輕很多。 以下將參考圖式說明依據本發明的實施例之可攜式資 訊單元的功能性架構。圖2 1係功能性地顯示依據本發明 的實施例之可攜式資訊單元的架構之方塊圖。 於圖21中，參考號碼101表示以電力供應後述的每 一功能部位之供電部位，此部位特別係由鋰離子次電池提 供電力。控制部位102、計時部位103、通信部位104、電 壓檢測部位105及顯示部位107係並聯連接至供電部位 -49- (45) (45)1376093 101，所有這些部位將後述。電力自供電部位101供應至 此些功能性部位。 控制部位1 02控制功能性部位的每一者（將後述）以 控制整個系統的操作，諸如聲頻資料傳輸及接收以及目前 時間量測及顯示。控制部位1 02特別係藉由預先寫入程式 ROM、讀取及執行此程式之CPU、及使用作爲CPU及類 似功能的工作區之RAM予以設置。 計時部位103係由具有內建的振盪電路、暫存器電路 、計數器電路及介面電路之積體電路與如圖19A所示之音 叉型石英晶體振動器所組成。由於石英晶體的壓電特性， 音叉型石英晶體振動器的振動件的機械振動被轉換成電信 號，且輸入以電晶體及電容器形形成之振盪電路。振盪電 路的輸出係藉由暫存器電路及計數器電路二元化及計數。 信號係經由介面電路傳輸至及接收自控制部位，且，目前 時間及目前日期或日曆資訊被顯示在顯示部位1 07上。 通信部位1 〇4具有習知行動電話之相似功能。通信部 位1 04係以無線電傳輸部位1 04a、聲頻處理部位1 04b、 放大部位l〇4c、聲頻輸入及輸出部位104d、來話聲音產 生部位l〇4e、切換部位104f '呼叫控制記憶104g及電話 號碼輸入部位l〇4h所組成。 無線電傳輸部位1 04a經由天線將各型的資料傳輸至 基地台及自基地台接收各型資料。聲頻處理部位l〇4b編 碼及解碼自無線電傳輸部位l〇4a或放大部位104c輸入的 聲頻信號（將後述）。放大部位l〇4c將自聲頻處理部位 -50- (46) 1376093 104b或聲頻輸入及輸出部位l〇4d (將後述）輸入 放大至一預定位準。聲頻輸入及輸出部位l〇4d特 聲器或微聲器，以及使來話聲音及已收到的聲頻可 且收集揚聲器的聲音。 來話聲音產生部位l〇4e產生回應來自基地台 之來話聲音。切換部位1 04f在來話呼叫的情況下 至聲頻處理部位104b之放大部位104c切換至來話 φ生部位1 〇4e，使得所產生的來話聲音經由放大部f 輸出至聲頻輸入及輸出部位l〇4d。 呼叫控制記憶1 04g儲存與輸入及輸出所有控 信相關之程式。再者，電話號碼輸入部位1 〇4h特另[ 至9的數自鍵及一些其它鍵而組成的，且輸入呼叫 的行動號碼及類似號碼。 如果由供電部位1 〇 1施加至包括控制部位1 02 性部位的每一者之電壓下降至預定値以下，電壓檢 φ 1 05檢測到電壓下降，且然後告知控制部位1 02。 値係預設作爲通信部位104的穩定操作所需之最小 値，且例如爲3 V等的電壓。如果被電壓檢測部位 知有電壓下降，控制部位1 02阻止無線電傳輸部位 聲頻處理部位104b、切換部位104f、及來話聲音 位1 〇4e的操作。特別地，具有大耗電量的無線電 位1 〇4a的操作的停止細必要的。在同時，顯示部 顯示有關通信部位104由於電池中剩餘電力的不足 無法利用之效應的訊息。 的信號 別係揚 被聽到 的呼叫 將連接 聲音產 Ϊ 104c 制的通 ’係以0 接收者 之功能 測部位 此預定 電壓之 105告 104a ' 產生部 傳輸部 位 107 已變成 -51 - (47) 1376093 通信部位1 04的操作係經由電壓檢測部位1 〇5及控制 部位1 02的合作而被阻止。有關此效應之訊息亦可藉由顯 示部位107予以顯示。 於本發明的實施例中，與通信部位的功能有關之供電 部位設有可選擇性阻斷的供電阻斷部位106，因此使其可 能更完美地停止通信部位的功能。 文字訊息可被使用來顯示有關通信部位104已變成無 φ法使用之效應之訊息。例如，將具有X的電話圖符標記在 顯示部位107上之更深入的方法可被使用。 使用利用依據本發明之方法製造之小型壓電振動器於 可攜式資訊單元使其可能進一步減小可攜式資訊單元的尺 寸。壓電振動器亦具有因爲其共振頻率及共振電阻値來控 制起伏，難以改變之特性，因此使其可能保持高度準確性 之可攜式資訊單元。 # (第六實施例） 圖22係顯示作爲依據本發明的第六實施例的電子單 元之波時計的方塊圖之簡要示意圖。圖19A顯示利用依據 本發明之方法製造之音叉型石英晶體振動器（壓電振動器 )的實例，此振動器連接至波時計的濾波器部位。 波時計係設有接收且自動地改正包括時間資訊的標準 波成準確時間且顯示正確時間的功能之時計。於日本，有 兩個用於傳輸標準波之傳輸站（廣播站）：一者位於 Fukushima Prefecture ( 40KHz )，而，另一者於 Saga -52- (48) (48)1376093

Prefecture ( 60KHz) 。40或60KHz的長波具有沿著地球 表面傳播的特性及反射至電離層及地球表面之傳播的特性 。其長波具有較寬傳播範圍，且，來自以上兩個傳輸站之 長波一起覆蓋整個國家。 於圖22中，天線201接收40或60KHz的長標準電波 。長標準電波係受到具有稱爲時間碼的時間資訊之AM調 變之40或60KHz載波。 所接收的長標準電波係藉由放大器2 02而放大，且藉 由包括具有如載頻的相同共振頻率之石英晶體振動器203 、204的濾波器部位205所濾波及同步化。具有預定頻率 的濾波信號係藉由波檢測及整流電路206所檢測及解調的 。時間碼係藉由波形形成電路 207所取出以及藉由 CPU208所計數。CPU208然後讀取諸如@前的年、累積的 日、星期的日期及時間之資訊。所讀取的資訊被反射至 RTC209，且，準確時間資訊被顯示。 因爲載波具有40或6 0KHz的頻率，對於構成濾波器 部位之石英晶體振動器203、204而言，具有成形如同音 叉的上述架構之振動器係較佳的。以作爲實例之60KHz， 係可能架構具有約2.8 mm的全長及具有約0.5 mm的寬度的 底部之音叉型石英晶體振動件。 利用依據本發明之方法製造之壓電振動器係連接至波 時計的濾波器部位，因此使其可能進一步減小波時計的尺 寸。壓電振動器亦具有因爲其共振頻率及共振電阻値來控 制起伏，難以改變之特性。因此，在壓電振動器被安裝在 -53- (49) 1376093 基板之後，相對於由於改變加在壓電振動器上之周圍溫度 的週期之拉力及壓力，壓電振動器的電特性係充份穩定。 此容許波時計的濾波器功能在長時間操作同時保持良好準 確性。 【圖式簡單說明】 圖1 A至1 D係顯示依據本發明之氣密終端製造過程 φ的實例的槪要之流程圖，其中圖1 A係基本流程，圖1 B係 用於形成內引部之流程，圖1 C用於形成外引部之流程， 以及，圖1D係用於形成內引部及外引部兩者之流程。 圖2係顯示依據本發明之氣密終端製造過程的實例之 詳細流程圖。 圖3A至3C係顯示使用於依據本發明之氣密終端製造 過程中之不间類型的引線框之示意圖，其中圖3A係顯示 標準條之示意圖，圖3B係顯示數個配置於垂直方向的條 •狀引線框之示意圖，以及，圖3C係顯示圖3A所示之引線 框的放大部。 圖4係顯示使用來製造依據本發明的氣密終端之環型 引線框的實例之示意圖。 圖5A及5B係說明依據本發明之氣密終端的塡料成形 及燒結步驟之示意圖，其中圖5A係顯示數對配置有燒結 的塡料之引線的示意圖，以及，圖50係顯示圖5A所示之 引線的部份放大圖之示意圖。 圖6A及6B係說明依據本發明之氣密終端的管柄安裝 v(|/ -54- (50) 1376093 步驟之示意圖’其中圖6A係顯示數對配置有已安裝管柄 的引線之示意圖’以及，圖6B顯示圖6A所示之引線的部 份放大圖之示意圖。 圖7係說明依據本發明之氣密終端的燃燒步驟之示意 圖。 圖8A及8B係說明依據本發明之氣密終端的金屬膜形 成步驟之示意圖，其中圖8A係顯示在金屬膜形成步驟之 φ前的狀態之示意圖，以及，圖8B係顯示在金屬膜形成步 驟之後的狀態之示意圖。 圖9A及9B係說明依據本發明之氣密終端的切割步驟 之示意圖，其中圖9A係顯示在切割之前的狀態之示意圖 ，以及，圖9B係顯示圖9A所示的引線的部份放大圖之示 意圖。 圖10A至10E係顯示依據本發明之氣密終端的形狀的 實例之示意圖，其中圖10A係顯示標準內引線的形狀之示 φ意圖，圖10B係顯示具有薄尖部之內引線的形狀之示意圖 ，圖10C係顯示標準內引線的形狀之示意圖，圖10D係顯 示具有寬外側之標準內引線的形狀之示意圖，以及，圖 10E係具有一狹縫於尖部之標準內引線的形狀之示意圖。 圖11A及11B係顯示小音叉型石英晶體振動件的一個 實例之示意圖，其中圖1 1 A係小音叉型石英晶體振動件的 平面圖，以及，圖1 1 B係如自音叉臂的尖部所視之小音叉 型石英晶體振動件的側視圖。 圖12A及12B係顯示依據本發明之氣密終端的內引線 (51) 1376093 的振動之示意圖，其中圖12A係依據本發明之氣密終端的 內引線的前視圖，以及，圖12B係圖12A所示沿著線a-A 所取之內引線的橫向剖面圖。 圖13A至13C係說明相對於依據本發明之氣密終端的 內引線的管柄之偏心率的示意圖，其中圖13A係顯示線 A-A的位置之前式圖，圖13B係沿著線A-A所取未偏心的 內引線的橫向剖面圖，以及，圖1 3 C係沿著線A-A所取 φ之偏心的內引線的橫向剖面圖。 圖14A及14B係顯示依據本發明之氣密終端的振動件 連接的振動之示意圖，其中圖14A係依據本發明之氣密終 端的振動件連接的前視圖，以及，圖1 4 B係圖1 4 A所示沿 著線A-A所取之振動件連接的橫向剖面圖。 圖15A及15B係顯示依據本發明之氣密終端的外引線 的振動之示意圖，其中圖1 5 A係外引線的前視圖，以及， 圖1 5 B係顯示用於具有與其接合之外引線的模具之引線框 鲁的示意圖。 圖16A及16B係顯示依據本發明之托架及氣密終端的 配置狀態之示意圖’其中圖16A係依據本發明之托架的前 視圖，以及，圖1 6 B係依據本發明之托架的右側圖。 圖17係顯示依據本發明之壓電振動器的振動件之製 造過程的一個實例之流程圖。 圖1 8係顯示依據本發明之壓電振動器的組裝過程之 流程圖。 圖19A及HB係顯示依據本發明之壓電振動器的架構 -56- (52) 1376093 的一個實例之圖案示意圖，其中圖19A係顯示音叉型石英 晶體振動器之示意圖，圖i 9B係顯示AT型石英晶體振動 器之示意圖。 圖20係顯示依據本發明之音叉型石英晶體振盪器的 架構的一個實例之簡要圖案示意圖。 圖2 1係顯示依據本發明之可攜式資訊終端單元的一 個實例之簡要示意圖。 # 圖22係顯示依據本發明之波時計的方塊圖的一個實 例之簡要7K意圖。 圖23 A及23B係顯示習.知壓電振動器的架構之圖案示 意圖。 圖24係顯示習知托架及習知氣密終端的配置狀態之 圖案示意圖。 【主要元件符號說明】 • d 1 :間隔 d2 :直徑 d3 :階量 L1 :全長 L2 :長度 L3 :長度 W1 :寬度 W2 :寬度 W3 :寬度 -57- (53) (53)1376093 W4 :間隔 W 5 :間隔 P2 :間距 1 :氣密終端 2 :引線 3 :內引線 4 :外引線 φ 4d :彈簧部 4c :接觸部 5 :塡料定位部 6 :塡料 7 :管柄 8 :振動件 9 :安裝墊 1 〇 :外殼 籲1 1 :基板 11a :引線形成部 1 1 b :基部 12 :電鍍層 13 :內引線部 1 3 a :連接區 14 :外引線部 14a :下端部 14b :彈簧部 -58 (54) (54)1376093 1 6 :金屬膜 1 7 :加熱器 1 8 :電爐 19 :載具單元 21 :階 2 2 ·中 /|_j、線 2 3 .中心、線 φ 24 :中心線 25 :引線框 2 6 :電終端. 2 7 :焊接部 2 8 :鏈線 30 :托架 3 1 :基部位 3 2 :覆蓋部位 鲁3 3 : V形溝槽 3 4 :長孔 35 :托架 3 6 :金屬終端 40 :壓電振動器 4 1 :音叉型石英晶體振動器 42 :基板 43 :積體電路 4 4 :電子部件 -59- (55) (55)1376093 101 :供電部位 1 02 :控制部位 1 〇 3 :計時部位 104 :通信部位 1 〇4a :無線電傳輸部位 104b :聲頻處理部位 1 〇4c :放大部位 φ 104d:聲頻輸入及輸出部位 104e:來話聲音產生部位 104f :切換部位 104g :呼叫控制記憶 l〇4h :電話號碼輸入部位 105 :電壓檢測部位 106 :供電阻斷部位 1 0 7 :顯示部位 籲2〇1 :天線 202 :放大器 203、204 :石英晶體振動器 205 :濾波器部位 2 0 6 :整流電路 207 :波形形成電路

208 ： CPU

209 ： RTC -60-

Claims (1)

1376093 第095102673號專利申請案中文申請專利範圍修正本 民國101年8月7日修正 十、申請專利範圍 1. 一種氣密終端的製造方法，該氣密終端由一環形 管柄、一配置以通過該管柄且以導電材料形成之引線、及 一用於固定該引線於該管柄中之塡料所組成，該方法包含 一引線輪廓形成步驟，其中將一基部及一引線形成部 配置在一板狀或條狀導電材料上，以及以預定間隔形成該 引線的數個輪廓在該引線形成部上，其中該引線的至少一 端連接至該基部； 一塡料成形及燒結步驟，其中於一預定位置以該塡料 充塡具有所形成的其一輪廓之該引線，以及使該塡料成形 及燒結該塡料； 一管柄安裝步驟，其中將該管柄安裝至所燒結之該塡 料的周圍； 一燃燒步驟，其中加熱、熔化及冷卻該管柄中之該塡 料’以及致使該引線與該管柄緊密接觸以經由該塡料將該 引線固定至該管柄； 一金屬膜形成步驟，其中形成一金屬膜在該引線的表 面上；及 一切割步驟，其中使該引線的該一端與該基部分開。 2 _如申請專利範圍第1項之氣密終端的製造方法， 其中該引線輪廓形成步驟另包含，形成一致使該塡料的定 1376093 位之塡料定位部於該引線中之預定位置。 3 ·如申請專利範圍第1項之氣密終端的製造方法， 其中於塡料成形及燒結步驟中，該引線係以該塡料充塡以 將該數個引線的兩相鄰引線捆束一起，且，一預定偏移量 被設定在該塡料的中心線及該兩個捆束一起的引線的中心 線之間。 4 ·—種氣密終端的製造方法，該氣密終端由一環形 管柄、一具有各配置以通過該管柄的一內引線部與一外引 線部之引線、及一用於固定該引線於該管柄中之塡料所組 成，該方法包含： —引線輪廓形成步驟，其中將一基部及一具有所設置 的該內引線部及該外引線部之引線形成部配置在一板狀或 條狀導電材料上，且形成該引線的數個輪廓在該引線形成 部上’其中該引線的至少一端連接至該基部； —塡料成形及燒結步驟，其中於一預定位置以該塡料 充塡具有所形成的其一輪廓之該引線，以及使該塡料成形 及燒結該塡料； 一管柄安裝步驟，其中將該管柄安裝至所燒結之該塡 料的周圍； 一燃燒步驟’其中加熱、熔化及冷卻該管柄中之該塡 料· ’以及致使該引線與該管柄緊密接觸以將該引線固定至 該管柄； 一金屬膜形成步驟’其中形成一金屬膜在該引線的表 面上；及 -2 - 1376093 一切割步驟，其中自該基部分開該外引線部的該一端 〇 5.如申請專利範圍第4項之氣密終端的製造方法， 另包含’在該燃燒步驟之後及在該金屬膜形成步驟之前之 使該內引線部成形的內引線部成形步驟。 6 _如申請專利範圍第4項之氣密終端的製造方法， 另包含’在該金屬膜形成步驟之後及在該切割步驟之前之 使該外引線部成形的外引線部成形步驟。 7 ·如申請專利範圍第4項之氣密終端的製造方法，· 另包含’在該金屬膜形成步驟之後及在該切割步驟之前之 使該內引線部成形的內引線部成形步驟及使外引線部成形 的外引線部成形步驟。 8·如申請專利範圍第4項之氣密終端的製造方法， 其中該引線輪廓形成步驟另包含，將該外引線部的寬度設 定爲大於該內引線部的該寬度。 9.如申請專利範圍第4項之氣密終端的製造方法， 其中該引線輪廓形成步驟另包含，形成該引線輪廓，使得 該內引線部距該外引線部越遠，該內引線部的該寬度將是 越小。 10·如申請專利範圍第4項之氣密終端的製造方法， 其中該引線輪廓形成步驟另包含’考慮該數個該引線的兩 個相鄰引線形成爲一組，以及形成該組該引線的兩個引線 內引線部’使得該等內引線部距該等外引線部越遠，該兩 個內引線部相互更接近。 -3- 1376093 π.如申請專利範圍第4項之氣密終端的製造方法’ 其中於該引線輪廓形成歩驟中，該內引線部設有用於支撐 一振動件之階》 12.如申請專利範圍第4項之氣密終端的製造方法’ 其中該引線輪廓形成步驟另包含，於該引線中的預定位置 形成致使該塡料的該位置之塡料定位部。 1 3 ·如申請專利範圍第4項之氣密終端的製造方法， 其中該引線輪廓形成步驟另包含，設置一焊接部於該外引 線部中之預定位置。 1 4 ·如申請專利範圍第1 3項之氣密終端的製造方法 ，其中該引線輪廓形成步驟中，焊接點係以如使用於一後 續步驟的樹脂模具之引線框的電極終端部位的焊接點之相 同間距，設於該數個該引線的該兩個相鄰引線的該焊接部 〇 1 5 ·如申請專利範圍第4項之氣密終端的製造方法， 其中於該塡料成形及燒結步驟中，該引線係以該塡料充塡 以將該數個該引線的兩相鄰引線捆束一起，且，一預定偏 移量被設定在該塡料的中心線及該兩個捆束一起的引線的 中心線之間。 16. —種氣密終端，包含： 一環形管柄： 一引線，其配置以通過該管柄且以一導電材料形成； 及 一塡料，用於固定該管柄中之該引線； -4- 1376093 其中該氣密終端係藉由以下步驟製造而成：將一基部 及一引線形成部配置在一板狀或條狀導電材料上，以及以 預定間隔形成該引線的數個輪廓在該引線形成部上，其中 該引線的至少一端連接至該基部；於一預定位置以該塡料 充塡具有所形成的其一輪廓之該引線，以及使該塡料成形 及燒結該塡料；將該管柄安裝至所成形的該塡料的周圍； 加熱、熔化及冷卻該管柄中之該塡料，以及致使該引線與 ^ 該管柄緊密接觸以經由該塡料將該引線固定至該管柄；形 成一金屬膜在該引線的表面上；及使該引線的該一端與該 基部分開。 17. —種壓電振動器的製造方法，該壓電振動器包括 :一氣密終端，其由一環形管柄、一配置以通過該管柄且 以導電材料形成之引線、及一用於固定該引線於該管柄中 之塡料所組成；一連接至該引線之振動件；及一接合至該 氣密終端以覆蓋該振動件之外殼；該氣密終端係藉由實施 φ 以下步驟製造而成：一引線輪廓形成步驟，其中將一基部 及一引線形成部配置在一板狀或條狀導電材料上，以及以 預定間隔形成該引線的數個輪廓在該引線形成部上，其中 該引線的至少一端連接至該基部；一塡料成形步驟，其中 於一預定位置以該塡料充塡具有所形成的其一輪廓之該引 線’以及使該塡料成形；一管柄安裝步驟，其中將該管柄 安裝至所燒結之該塡料的周圍；一燃燒步驟，其中加熱、 熔化及冷卻該管柄中之該塡料’以及致使該引線與該管柄 緊密接觸以將該引線固定至該管柄：一金屬膜形成步驟， -5- 1376093 其中形成一金屬膜在該引線的表面上；及一切割步驟，其 中使該引線的該一端與該基部分開，該方法包含： —安裝步驟，其中將該氣密終端之該引線的該表面上 的該金屬膜熔化及連接至該振動件；及 一加蓋步驟，其中加蓋具有於該外殻中連接至其上的 該振動件之該氣密終端以覆蓋該振動件。 18· —種壓電振動器的製造方法，該壓電振動器具有 :一氣密終端，其由一環形管柄、一配置以通過該管柄且 以導電材料形成之引線、及一用於固定該引線於該管柄中 之塡料所組成；一連接至該引線之振動件；及一接合至該 氣密終端以覆蓋該振動件之外殻；該方法包含： 一引線輪廓形成步驟，其中將一基部及一引線形成部 配置在一板狀或條狀導電材料上，以及以預定間隔形成該 引線的數個輪廓在該引線形成部上，其中該引線的至少一 端連接至該基部； —塡料成形及燒結步驟，其中於一預定位置以該塡料 充塡具有所形成的其一輪廓之該引線，以及使該塡料成形 及燒結該塡料； 一管柄安裝步驟，其中將該管柄安裝至所燒結之該塡 料的周圍； 一燃燒步驟，其中加熱、熔化及冷卻該管柄中之該塡 料’以及致使該引線與該管柄緊密接觸以經由該塡料將該 引線固定至該管柄； 一金屬膜形成步驟，其中形成一金屬膜在該引線的表 -6 - 1376093 面上； 一切割步驟，其中使該引線的該一端與該基部分開以 製造該氣密終端； 一安裝步驟，其中將該氣密終端之該引線的該表面上 之該金屬膜熔化及連接至該振動件；及 一加蓋步驟，其中加蓋具有於該外殼中連接至其上的 該振動件之該氣密終端以覆蓋該振動件； 其中當該加蓋步驟被實施時，具有連接至其上的該振 動件之該氣密終端係利用陶瓷製成的夾具予以固持。 19. 一種壓電振動器，包含： —氣密終端，其由一環形管柄、一配置以通過該管柄 且以導電材料形成之引線、及一用於固定該引線於該管柄 中之塡料所組成； 一振動件，其連接至該引線；及 一外殼，其接合至該氣密終端以覆蓋該振動件： 其中該氣密終端係藉由實施以下步驟製造而成：一引 線輪廓形成步驟，其中將一基部及一引線形成部配置在一 板狀或條狀導電材料上，以及以預定間隔形成該引線的數 個輪廓在該引線形成部上，其中該引線的至少一端連接至 該基部；一塡料成形步驟，其中於一預定位置以該塡料充 塡具有所形成的其一輪廓之該引線，以及使該塡料成形； 一管柄安裝步驟，其中將該管柄安裝至所成形之該塡料的 周圍；一燃燒步驟，其中加熱、熔化及冷卻該管柄中之該 塡料，以及致使該引線與該管柄緊密接觸以經由該塡料固 1376093 定該引線至該管柄；一金屬膜形成步驟，其中形成一金屬 膜在該引線的表面上；及一切割步驟，其中使該引線的該 一端與該基部分開。 20. —種壓電振動器，包含： 一氣密終端，其由一環形管柄、一配置以通過該管柄 且以導電材料形成之引線、及一用於固定該引線於該管柄 中之塡料所組成； 一振動件，其連接至該引線；及 一外殼，其接合至該氣密終端以覆蓋該振動件； 其中該壓電振動器係藉由實施以下步驟製造而成：一 金屬膜形成步驟，其中形成一金屬膜在該氣密終端之該引 線的表面上；一安裝步驟，其中將該氣密終端之該引線的 該表面上的該金屬膜熔化及連接至該振動件；及一加蓋步 驟，其中加蓋具有於該外殻中連接至其上的該振動件之該 氣密終端以覆蓋該振動件；及 其中當該加蓋步驟被實施時，具有連接至其上的該振 動件之該氣密終端係利用陶瓷製成的夾具予以固持。 21· —種壓電振動器，包含： 一氣密終端，其由一環形管柄、一配置以通過該管柄 且以導電材料形成之引線、及一用於固定該引線於該管柄 中之塡料所組成； 一振動件，其連接至該引線；及 —外殻’其接合至該氣密終端以覆蓋該振動件； 其中該氣密終端係藉由實施以下步驟製造而成：一引 -8- 1376093 線輪廓形成步驟，其中將一基部及一引線形成部配置在一 板狀或條狀導電材料上，以及以預定間隔形成該引線的數 個輪廓在該引線形成部上，其中該引線的至少一端連接至 該基部；一塡料成形及燒結步驟，其中於一預定位置以該 塡料充塡具有所形成的其一輪廓之該引線，以及使該塡料 成形及燒結該塡料；一管柄安裝步驟，其中將該管柄安裝 至所成形之該塡料的周圍；一燃燒步驟，其中加熱、熔化 及冷卻該管柄中之該塡料，以及致使該引線與該管柄緊密 接觸以經由該塡料固定該引線至該管柄；一金屬膜形成步 驟，其中形成一金屬膜在該引線的表面上：及一切割步驟 ，其中使該引線的該一端與該基部分開； 其中該壓電振動器係藉由實施以下步驟製造而成：一 安裝步驟，其中將該氣密終端之該引線的該表面上的該金 屬膜熔化及連接至該振動件；及一加蓋步驟，其中加蓋具 有於該外殼中連接至其上的該振動件之該氣密終端以覆蓋 該振動件；及 其中當該加蓋步驟被實施時，具有連接至其上的該振 動件之該氣密終端係利用陶瓷製成的夾具予以固持。 22.—種振盪器，包含： 一壓電振動器，其連接至一積體電路作爲一振盪元件 其中該壓電振動器具有：一氣密終端，其由一環形管 柄、一配置以通過該管柄且以導電材料形成之引線、及一 用於固定該引線於該管柄中之塡料所組成；一振動件’其 1376093 連接至該引線：及一外殼，其接合至該氣密終端以覆蓋該 振動件： 其中該氣密終端係藉由實施以下步驟製造而成：一引 線輪廓形成步驟，其中將一基部及一引線形成部配置在一 板狀或條狀導電材料上，以及以預定間隔形成該引線的數 個輪廓在該引線形成部上，其中該引線的至少一端連接至 該基部；一塡料成形步驟，其中於一預定位置以該塡料充 塡具有所形成的其一輪廓之該引線，以及使該塡料成形： 一管柄安裝步驟，其中將該管柄安裝至所成形之該塡料的 周圍；一燃燒步驟，其中加熱、熔化及冷卻該管柄中之該 塡料，以及致使該引線與該管柄緊密接觸以經由該塡料固 定該引線至該管柄；一金屬膜形成步驟，其中形成一金屬 膜在該引線的表面上；及一切割步驟，其中使該引線的該 一端與該基部分開。 23. —種振盪器，包含： —壓電振動器，其連接至一積體電路作爲一振盪元件 t 其中該壓電振動器具有：一氣密終端，其由一環形管 柄、一配置以通過該管柄且以導電材料形成之引線、及一 用於固定該引線於該管柄中之塡料所組成、一振動件，其 連接至該引線、及一外殼，其接合至該氣密終端以覆蓋該 振動件： 其中該壓電振動器係藉由實施以下步驟製造而成：一 金屬膜形成步驟，其中形成一金屬膜在用於該振動件之該 -10- 1376093 引線的表面上；一安裝步驟，其中將該引線的該表面上的 該金屬膜熔化及連接至該振動件；及一加蓋步驟，其中加 蓋具有於該外殼中連接至其上的該振動件之該氣密終端以 覆蓋該振動件；及 其中當該加蓋步驟被實施時，具有連接至其上的該振 動件之該氣密終端係利用陶瓷製成的夾具予以固持。 24. —種振盪器，包含： φ 一壓電振動器，其連接至一積體電路作爲一振盪元件 t 其中該壓電振動器具有：一氣密終端，其由一環形管 柄、一配置以通過該管柄且以導電材料形成之引線、及一 用於固定該引線於該管柄中之塡料所組成；一振動件，其 連接至該引線；及一外殼，其接合至該氣密終端以覆蓋該 振動件； 其中該氣密終端係藉由實施以下步驟製造而成：一引 φ 線輪廓形成步驟，其中將一基部及一引線形成部配置在一 板狀或條狀導電材料上，以及以預定間隔形成該引線的數 個輪廓在該引線形成部上，其中該引線的至少一端連接至 該基部；一塡料成形及燒結步驟，其中於一預定位置以該 塡料充塡具有所形成的其一輪廓之該引線，以及使該塡料 成形及燒結該塡料；一管柄安裝步驟，其中將該管柄安裝 至所成形之該塡料的周圍；一燃燒步驟，其中加熱、熔化 及冷卻該管柄中之該塡料，以及致使該引線與該管柄緊密 接觸以經由該塡料固定該引線至該管柄；一金屬膜形成步 -11 - 1376093 驟，其中形成一金屬膜在該引線的表面上；及一切割步驟 ’其中使該引線的該一端與該基部分開； 其中該壓電振動器係藉由實施以下步驟製造而成：一 安裝步驟，其中將該氣密終端之該引線的該表面上的該金 屬膜熔化及連接至該振動件；及一加蓋步驟，其中加蓋具 有於該外殻中連接至其上的該振動件之該氣密終端以覆蓋 該振動件；及 其中當該加蓋步驟被實施時，具有連接至其上的該振 動件之該氣密終端係利用陶瓷製成的夾具予以固持。 25. —種電子單元，包含： —壓電振動器，其連接至一計時部位； 其中該壓電振動器具有：一氣密終端，其由一環形管 柄、一配置以通過該管柄且以導電材料形成之引線、及一 用於固定該引線於該管柄中之塡料所組成；一振動件，其 連接至該引線；及一外殼，其接合至該氣密終端以覆蓋該 振動件； 其中該氣密終端係藉由實施以下步驟製造而成：一引 線輪廓形成步驟，其中將一基部及一引線形成部配置在一 板狀或條狀導電材料上，以及以預定間隔形成該引線的數 個輪廓在該引線形成部上，其中該引線的至少一端連接至 該基部；一塡料成形步驟，其中於一預定位置以該塡料充 塡具有所形成的其一輪廓之該引線，以及使該塡料成形： 一管柄安裝步驟，其中將管柄安裝至所成形之該塡料的周 圍：一燃燒步驟，其中加熱、熔化及冷卻該管柄中之該塡 -12- 1376093 料，以及致使該引線與該管柄緊密接觸以經由該塡料固定 該引線至該管柄；一金屬膜形成步驟，其中形成一金屬膜 在該引線的表面上；及一切割步驟，其中使該引線的該一 端與該基部分開。 26. —種電子單元，包含： 一壓電振動器，其連接至一計時部位； 其中該壓電振動器具有：一氣密終端，其由一環形管 柄、一配置以通過該管柄且以導電材料形成之引線、及一 用於固定該引線於該管柄中之塡料所組成；一振動件，其 連接至該引線；及一外殼，其接合至該氣密終端以覆蓋該 振動件； 其中該氣密終端係藉由實施以下步驟予以製造：一金 屬膜形成步驟，其中形成一金屬膜在用於該氣密終端之該 引線的表面上；一安裝步驟，其中將該氣密終端之該引線 的該表面上的該金屬膜熔化及連接至該振動件；及一加蓋 步驟，其中加蓋具有於該外殼中連接至其上的該振動件之 該氣密終端以覆蓋該振動件；及 其中當該加蓋步驟被實施時，具有連接至其上的該振 動件之該氣密終端係利用陶瓷製成的夾具予以固持。 27. —種電子單元，包含： 一壓電振動器，其連接至一計時部位； 其中該壓電振動器具有：一氣密終端，其由一環形管 柄、一配置以通過該管柄且以導電材料形成之引線、及一 用於固定該引線於該管柄中之塡料所組成；一振動件，其 -13- 1376093 連接至該引線；及一外殼，其接合至該氣密終端以覆蓋該 振動件； 其中該氣密終端係藉由實施以下步驟予以製造：一引 線輪廓形成步驟，其中將一基部及一引線形成部配置在一 板狀或條狀導電材料上，以及以預定間隔形成該引線的數 個輪廓在該引線形成部上，其中該引線的至少一端連接至 該基部；一塡料成形及燒結步驟，其中於一預定位置以該 塡料充塡具有所形成的其一輪廓之該引線，以及使該塡料 成形及燒結該塡料；一管柄安裝步驟，其中將該管柄安裝 至所成形之該塡料的周圍；一燃燒步驟，其中加熱、熔化 及冷卻該管柄中之該塡料，以及致使該引線與該管柄緊密 接觸以經由該塡料固定該引線至該管柄；一金屬膜形成步 驟，其中形成一金屬膜在該引線的表面上；及一切割步驟 ，其中使該引線的該一端與該基部分開； 其中該壓電振動器係藉由實施以下步驟予以製造：一 安裝步驟，其中將該氣密終端之該引線的該表面上的該金 屬膜熔化及連接至該振動件；及一加蓋步驟，其中加蓋具 有於該外殼中連接至其上的該振動件之該氣密終端以覆蓋 該振動件：及 其中當該加蓋步驟被實施時，具有連接至其上的該振 動件之該氣密終端係利用陶瓷製成的夾具予以固持。 28. —種波時計，包含： 一壓電振動器，其連接至一濾波器部位： 其中該壓電振動器具有：一氣密終端，其由一環形管 -14- 1376093 柄、一配置以通過該管柄且以導電材料形成之引線、及一 用於固定該引線於該管柄中之塡料所組成；一振動件，其 連接至該引線；及一外殼，其接合至該氣密終端以覆蓋該 振動件； 其中該氣密終端係藉由實施以下步驟製造而成：一引 線輪廓形成步驟’其中將一基部及一引線形成部配置在一 板狀或條狀導電材料上’以及以預定間隔形成該引線的數 ^ 個輪廓在該引線形成部上，其中該引線的至少一端連接至 該基部；一塡料成形步驟’其中於—預定位置以該塡料充 塡具有所形成的其一輪廓之該引線，以及使該塡料成形； 一管柄安裝步驟’其中將該管柄安裝至所成形之該塡料的 周圍；一燃燒步驟，其中加熱、熔化及冷卻該管柄中之該 塡料’以及致使該引線與該管柄緊密接觸以經由該塡料固 疋該引線至該管柄；一金屬膜形成步驟，其中形成一金屬 膜在該引線的表面上；及一切割步驟，其中使該引線的該 φ —端與該基部分開。 29.—種波時計，包含： 一壓電振動器’其連接至一濾波器部位； 其中該壓電振動器具有：一氣密終端，其由—環形管 柄、一配置以通過該管柄且以導電材料形成之引線、及— 用於固定該引線於該管柄中之塡料所組成；—振動件，其 連接至該引線·，及一外殼，其接合至該氣密終端以覆蓋該 振動件； 其中該壓電振動器係藉由貫施以下步驟製造而成：一 -15- 1376093 金屬膜形成步驟’其中形成一金屬膜在用於該氣密終端之 該引線的表面上；一安裝步驟，其中將該氣密終端之該引 線的該表面上的該金屬膜熔化及連接至該振動件；及一加 蓋步驟’其中加蓋具有於該外殼中連接至其上的該振動件 之該氣密終端以覆蓋該振動件；及 其中當該加蓋步驟被實施時，具有連接至其上的該振 動件之該氣密終端係利用陶瓷製成的夾具予以固持。 30. —種波時計，包含： —壓電振動器，其連接至一濾波器部位； 其中該壓電振動器具有：一氣密終端，其由一環形管 柄、一配置以通過該管柄且以導電材料形成之引線、及一 用於固定該引線於該管柄中之塡料所組成；一振動件，其 連接至該引線；及一外殼’其接合至該氣密終端以覆蓋該 振動件； 其中該氣密終端係藉由實施以下步驟製造而成：一引 線輪廓形成步驟’其中將一基部及一引線形成部配置在— 板狀或條狀導電材料上，以及以預定間隔形成該引線的數 個輪廓在該引線形成部上，其中該引線的至少一端連接至 該基部；一塡料成形及燒結步驟，其中於一預定位置以該 塡料充塡具有所形成的其一輪廓之該引線，以及使該塡料 成形及燒結該塡料；一管柄安裝步驟，其中將該管柄安裝 至所成形之該塡料的周圍；一燃燒步驟，其中加熱 '熔化 及冷卻該管柄中之該塡料，以及致使該引線與該管柄緊密 接觸以經由該塡料固定該引線至該管柄；一金屬膜形成步 -16- 137,6093 驟，其中形成一金屬膜在該引線的表面上；及一切割步驟 ，其中使該引線的該一端與該基部分開； 其中該壓電振動器係藉由實施以下步驟製造而成：一 安裝步驟，其中將該氣密終端之該引線的該表面上的該金 屬膜熔化及連接至該振動件；及一加蓋步驟，其中加蓋具 有於該外殼中連接至其上的該振動件之該氣密終端以覆蓋 該振動件；及 其中當該加蓋步驟被實施時，具有連接至其上的該振 動件之該氣密終端係利用陶瓷製成的夾具予以固持。 -17-