TWI360026B - Slit nozzle and chemical-coating apparatus having - Google Patents

Description

1,360026 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本^月侧於細縫喷嘴及具備該細縫喷嘴之藥液塗佈 係關於用以平順且均勾地供給藥液而 備狀態的細縫料及具備該細縫喷嘴之藥液塗 【先前技術】 在平板顯示器面板之製造過程中，有傕用多楛蕴访办 處理破璃基板之表面的步驟。例如， ^ ^ 基 =進行顯影， 表面均勻塗佈顯影液，於一 。此時，為了獲得在嶋= ϊ供給低流量（例如每1分鐘約3〇 顯旦π 顯，液時’亦必須使藉由由細縫喷嘴吐出之 狀了文/成的簾幕（curtam)不會破裂而保持在-定形 故價主半造用的顯影液’由於要求超高純度，

最在顯影步驟中，若為可能，則最好以 取八使用量來均勻塗佈基板表面。 取U 以；:Ϊ之細縫喷嘴，供吐出顯影液之吐出口3 出^的寬产過办ΐ顯影液過度流出過多，另一方面，當吐 的寬度過乍時，則顯影液的吐出速度過快，而有在玻 5 1360026 璃基板上產生氣泡（bubble)的問題。 【發明内容】 (發明所欲解決之課題） 供給=====供-種可平順地 如上所課題在提供-種具備 上的所提及之技術 該項技術者所㈣確理解糾田了由町之記載而為熟習 (解決課題之手段） 縫喷=:述==發明之一實施形態的細 置在部相對向配置之第2胴體部；以及配 隔件。在此:前述間隔件最:係在ί 口。 5 _ °卩之間形成與前述供給孔相連結的吐出 態的術本發明之-實施形 = 連結而用以傳達前述藥液的配管；以 及將别述綠吐出至基板上的前述細縫喷嘴。 (發明之效果） 梦置縫嘴嘴及具備該細縫喷嘴之藥液塗佈 L½；iΓ;--= 控制=之間隔件的厚度，可容易在細縫喷嘴内 L360026 再者，藉由彎曲形成藥液之吐出口，可防止藥液吐出 速度過度上升而使塗佈在基板上的藥液產生氣泡。 1360026 【實施方式】 f他實施例之具體事項係包含在詳細之説明及圖示。 太旅Γ日照f據所附圖示而於後詳述之實施例，可明確瞭解 = 點及特徵、及達成該優點及特徵之方法ϋ ί J而 揭示的實施例，可除了該實施例 明，讓本發明所屬技術領域中熟習該

^範圍及發明之詳細説明而予以4發另聽由 在整個_書中，同―元件符麟表補—構成要素。 之圖示，詳加說明本發明之一實施形態 之=縫賀嘴及具備该細縫喷嘴之藥液塗佈裝置。以 ίίϊ之實施形態中，為便於説明起見，係例示在半導體 ί1紐之顯驗塗職置作為藥液塗佈裝 置，惟本發明並雜定於此，為了在基板上均勻塗佈藥液， 可設置於任意之半導體製造裝置。 /、 圖1係概略顯示本發明之一實施形態之藥液塗佈裝置

的斜視圖，圖2係圖i之藥液塗佈裝置所包含之細縫喷嘴 的側面圖。 ' 參照圖1，本發明之一實施形態之藥液塗佈裝置1〇〇 係具備：用以在基板10上塗佈藥液之細縫喷嘴（slit n〇zzie 或puddle knife) 150 ;用以保管藥液之藥液供給源11〇 ; 與藥液供給源110相連結而用以傳達藥液之配管12〇、 122 ;以及連結於細縫噴嘴15〇與配管12〇、122之間而用 以將藥液供給至細缝喷嘴150之供給線14〇。此外，藥液 塗佈裝置100係具備為了塗佈藥液而使基板1〇移動基 移送裝置20。 在此，藥液供給源110係保管塗佈在基板1〇表面的藥 液’例如顯影液（例如2.38%的TMAH溶液）。 ’、 9 1360026 配管120、122係、具備：用以傳達藥液之第1配管120; 及用二去除f供給至第1配管12G之藥液内部之空氣的第 2配官122。第1配管12〇係具備供藥液供給量調節用的第 1#闊130’气過第1㈤13〇的調節來調節藥液的供給量。接 著，第1配f 120係經由藥液供給源11〇透過複數條供給 線140而與細縫噴嘴15〇相連結，透過供給線140，將藥 液均勻供給至細縫噴嘴150整體。此時，第2配管122為 被供給至第1配管12G之藥液内部的空氣而設置第 2 閥 132 〇

第1閥130係為了調節顯影液供給量而將所喷霧的流 量設定為m定。第2閥132係為了錄第丨崎120内的 空氣而予錢置為_大容量閥，以周紐（例如約$秒 間隔）反覆開閉動作。例如，在顯影步驟中，空氣（士、 microbubble)係造成顯影液未均勻塗佈在基板面等 題之原因之故。 m線140係例如以全氣烧ft(_UC)r()alk()xy) 官f (tube)等所形成’為了迅収均勻供給由第i配管

Z戶的=液至細縫喷嘴150而設置有複數個。為了 在配s 120、122内部產生空氣時，會上升至配管 120 Ί22 側而不會殘留在細縫嗜嘴15〇，如圖2所示，供 14〇 ，構成為將供給線140的長度拉長為“〕，，字型，以確保空 需ϊ間。在運轉初期去除最大限度的大量空氣 icn為ρΪ要w在^期使用大流量閥以使其排出至細縫喷嘴 山t形液簾幕（curtain)以後的空氣，由於益法排 :，在動作中所產生的空氣最好係以不會 内的方式’而停留在配管⑽ 10 1360026 10表面的細縫方式的塗佈裝置 置HK)係具備為了均勻塗佈藥液至基板 備有樂液之流量或流速差異的以上的細縫喷嘴15〇。 作ΑΛ以下參關3至圖5，詳加說明本發明之—實施形 ^細縫喷嘴。圖3係本發明之—實施形態之細縫喷嘴的 分解？視圖’圖4係圖3之細縫噴嘴的結合斜視圖，圖5 係沿著A-A線切斷圖4之細縫噴嘴的剖面圖。

右參照圖3至圖5 ’本發明之一實施形態的細縫喷嘴 15^係具備：用以形成在内部呈彎曲之吐出口 26〇的第^ 及第2胴體部210、220 ;及介於第i及第2胴體部21〇、 220之間而提供用以形成吐出口 26〇之空間的間隔件2如。 在此，在第1胴體部210的一面係形成有插接有供給 線（參照圖1之元件符號140)而供給藥液15的供給孔 240。為了迅速且均勻供給藥液15至細縫噴嘴15〇，最好 亦對應供給線的數量而形成複數個供給孔24〇。此外複 數個供給孔240係可沿著細縫喷嘴15〇的長邊方向而以一 定間隔排列。

供給孔240與吐出口 260係彼此相連結，因此流入第 1胴體部210的藥液15係首先暫時滯留在供給孔24〇内的 空，之後，透過吐出口 260而吐出至基板表面。在第i胴 體部210的另一面，亦即，在與第2胴體部22〇相對向的 面，係形成有用以形成呈彎曲之吐出口 26〇的溝部212。 々第2胴體部220係藉由間隔件230隔著預定間隔而與 第1胴體部21〇相對向結合。在與第1胴體部210相對向 之第2胴體部220的一面，係形成有與第丨胴體部21〇的 溝部212相對應的突出部222 ^藉由在溝部212内插入突 出部222而以預定間隔隔離配置，而使藥液15移動的吐出 口 260具有以“3”字型彎曲的形狀。如上所示，藉由將吐 出口 260形成為彎曲形狀，可防止已流入細縫喷嘴15〇之 11 1360026 藥液15的吐出速度過度上升。 此外，由間隔件23〇的厚度d來決定吐出口 26〇的寬 j據—般的流體力學，流體的速度與流體的流動剖 積係成立如以下式1所示的關係。 【式1】 流量=剖面積X流速 囚此

^认旦t 4 孔40而供給至細縫噴嘴150之藥液 的旦if if吐出0 260而由細縫嗔嘴150吐出之藥液15 =j相同（亦即流量相同）’因此藥液15之 由吐出口 260的寬度d所決定。 又糸 ，供給孔24G之剖面積相比較，在以往，吐出口 26〇 ，寬J過窄（例如_至〇.2mm)、藥液15之吐出速度過 板上的藥液會有產生氣泡的問題。此 卜女為了均勻維持藥液的塗佈特性而將吐出口的細 士寬J管理為f定會有很多困難點 '然而，在本實施形態 中’藉由將吐出口 260的寬度d(亦即間隔件23〇

形成為約丨至:，，不僅防止藥液15之吐牛出速度過度;) 加及防止氣泡產生甘由於相對而言吐 之‘ 寬，因此較易於:其維持為—定來進行管 所述，藉由將吐出口 260形成為呈彎 丹=2 = 液15的吐出速度。 狀’可控㈣ 第1胴體部210、第2胴體部22〇或 了形成各種形狀之呈彎曲的吐出口 ^件〇係為 形成。例如，可以PVC等形成出當二而以樹脂系物質 150時，因細縫喷嘴15。本身㈣旦與：絲成細縫喷嘴 藥液塗佈裝置進行細縫喷嘴15G之$ = 3有易於對於 12 1360026 >在本實施形態中，在第1胴體部210形成有溝部212, 在第2胴體部220形成有突出部222，惟本發明並非限定 於此，可採用可形成呈彎曲之吐出口 26〇之任意形狀的第 I,胴體。P 210及第2胴體部220。例如，在第1胴體部21〇 形成突出部，在第2胴體部220形成供插入如上所述之突 出部的溝部。 第1胴體部210、間隔件230及第2胴體部220係可 ，用分別形成的結合孔252、254、256及螺絲250而相鎖 S。但本發明並非限定於此，可藉由黏著劑、接著劑、鉤 結等各種結合手段來結合固定第丨胴體部21〇、間隔件23〇 及第2胴體部220。 以下參照圖6說明本發明之其他實施形態。圖6 ^月之其他實施形態之細縫喷嘴之剖面圖。為便於説明起 述之實施形態之圖示（圖1至圖5)所示之各構 ^同魏的構件係標註相同的元件符號，且省略其 兑明。本實施形態之細縫噴嘴65〇係如圖6所示 之細縫喷嘴與接下來的説明以外，基本 溝部=、’ if，在第1胴體部21G係形成有2個 在第2胴體部220係形成有與前述溝部 2、214相對應的2個突出部222、224。如上 =2對溝部212、214與突出部222、224更= =二的吐出速度。亦即，可防止藥液 明態中，係以2對溝部與突出部為例加以現 ，但本發明並非限定於如上所述之 d 1 ’可在細縫噴嘴形成！個以上的突出部及溝^冓p的數 發明ίΐ技說明本發明之實施例，惟若為本 發月所屬技術中熱習該項技術者，當可理解本發明可 13 1360026 在未變更其技術思想或必要特徵的情形下以其他具體態樣 予以實施。因此，必須理解前述之實施例在任何方面均僅 為例示者，而非予以限定者。 (產業上可利用性） 本發明係可適用於與細縫喷嘴及具備該細縫喷嘴之藥 液塗佈裝置相關連的技術領域。 14 1360026 【圖式簡單說明】 圖 的斜i圖系概略顯不本發明之一實施形態之藥液塗佈裝置 圖2係圖1之藥液塗佈裝置所包含之細縫喷嘴的側面 圖。圖3縣胸之—實_態之細㈣嘴的分解斜視 圖4係圖3之細縫喷嘴的結合斜視圖。

圖5係沿著A_A，線切斷圖4之細縫噴嘴的剖面圖。 圖6係本發明之其他實施形態之細縫嘴嘴的剖面圖 【主要元件符號說明】 10 基板 15 藥液 20 基板移送裝置 100 藥液塗佈裝置 110 藥液供給源 120 配管 122 配管 130 閥 132 閥 140 供給線 150 細縫噴嘴 210 第1胴體部 15 1360026 212 溝部 214 溝部 220 第2胴體部 222 突出部 224 突出部 230 間隔件 240 供給孔 250 螺絲 252 結合孔 254 結合孔 256 結合孔 260 吐出口 650 細縫喷嘴

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Claims (1)

100年12月22日修正替換頁

十、申請專利範圍： 1. 一種細縫噴嘴，係具備： 公· 二％ ^角，1承具備： 丨@丨日修正；] 形土有供流入藥液之供給孔之-第 與前述第1胴體部相對向配置之-第2胴. 以及配置在前述第1及第2胴體邻 及第=體部隔離_預定間隔之一間隔ς之間’使前述第- 刖述間隔件係在前述第丨及第2胴 j供給孔相連結的-吐出口，前述吐出與 體!^第2胴體部内呈彎曲的形ΐ， 體部二=二 係具備與前述溝部二;心 述溝部與前述突出部係藉由隔離預部，前 成前述呈彎曲的吐出口。 視疋間w目結合，以形 2. 如申請專利範圍第！項之細縫喷嘴， 的寬度約為1至3毫米（1 _3_)。-巾月K間隔件 3. 如中請專利範圍第i項之細縫噴嘴， :、前述第2_部或前述間隔件係: 4. 一種藥液塗佈裝置，係具備： 用以保管藥液的一藥液供給源； 配管與^藥液供給源相連結域㈣達前述藥液的一 至第液Ϊ出上之如申請專利範圍第1項 主第3項中任一項之前述細縫喷嘴。 17