KR102152532B1 - 디스펜서 노즐 및 이의 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

디스펜서 노즐은 상부에서부터 각각 제1층, 제2층 및 제3층의 순으로 형성된다. 제1층에는 디스펜서 노즐의 일측에 형성되며, 유체가 주입되는 유체 입구, 적어도 하나 이상의 댕글링 제거용 출구를 포함하고, 제2층에는 제1층의 유체 입구와 연결되는 내부 유로, 유체 입구의 반대측에 위치하고, 내부 유로와 연결되고 유체가 배출되는 유체 출구, 유체 출구의 주변부에 형성되는 복수개의 댕글링 제거용 흡입구, 복수개의 댕글링 제거용 흡입구와 제1층의 댕글링 제거용 출구와 연결되는 댕글링 제거용 채널을 포함하고, 제3층에는, 제2층의 내부 유로 및 유체 출구와 대응되는 위치에 형성되는 복수개의 압력 센서를 포함한다.

Description

디스펜서 노즐 및 이의 제조 방법{DISPENSOR NOZZLE AND MATHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}
본 발명은 디스펜서 노즐 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.
일반적인 정밀 디스펜서 장치는 소형 노즐이 사용된다. 이때에 소형 노즐인 경우 잦은 막힘 현상이 일어나는데, 노즐의 막힘을 자동적으로 관리하는 것이 필요하다.
특히, 노즐 끝단에는 유체가 댕글링이 형성되는 경우가 있는데, 이 경우 정상적인 토출을 위해 댕글링을 제어하는 장치가 필요하다. 일반적으로 노즐 끝단에 형성된 유체 댕글링은 공압 장치나 스폰지로 만들어진 흡수재와 같은 외부장치를 이용하여 제거하고 있다. 이는 디스펜싱 공정 중에 형성되는 댕글링을 실시간으로 제거하는 못하여 공정을 중단하고, 제거 후 다시 공정을 재진행해야 하는 단점을 가지고 있다.
기존의 압력 변화 수위 감지 방식은 노즐 외부에 압력센서가 배치되기 때문에, 수위 감지가 느린 특성을 가진다. 또한, 노즐 채널에 형성된 막힘 원인을 자체적으로 진단하고 제거하는 기능을 가지고 있지 않다.
한국등록특허 제10-1110020호
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 자동적으로 노즐의 불량을 제어할 수 있는 디스펜서 노즐 및 이의 제조 방법을 제공하고자 한다.
이러한 과제를 해결하고자, 본 발명에서 제공하는 디스펜서 노즐은 상부에서부터 각각 제1층, 제2층 및 제3층의 순으로 형성된다. 제1층에는 디스펜서 노즐의 일측에 형성되며, 유체가 주입되는 유체 입구, 적어도 하나 이상의 댕글링 제거용 출구를 포함하고, 제2층에는 제1층의 유체 입구와 연결되는 내부 유로, 유체 입구의 반대측에 위치하고, 내부 유로와 연결되고 유체가 배출되는 유체 출구, 유체 출구의 주변부에 형성되는 복수개의 댕글링 제거용 흡입구, 복수개의 댕글링 제거용 흡입구와 제1층의 댕글링 제거용 출구와 연결되는 댕글링 제거용 채널을 포함하고, 제3층에는, 제2층의 내부 유로 및 유체 출구와 대응되는 위치에 형성되는 복수개의 압력 센서를 포함한다.
일 실시예에 있어서, 제2층의 내부 유로는, 제1층의 유체 입구와 연결되어 유체 출구 방향으로 연장되는 도입로, 도입로의 폭 보다 작은 폭을 가지는 연계로 및 연계로의 폭보다 넓은 폭을 가지고 유체 출구와 연결되는 출구로를 포함하고, 출구로는 유체의 채널이 좁아지는 영역인 배출인접영역을 포함하고, 복수개의 댕글링 제거용 흡입구는 배출인접영역에 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 압력 센서는 적어도 3개 이상이 설치되며, 적어도 하나의 압력 센서는 내부 유로의 도입로에서 연계로로 연결되는 위치와 대응되는 영역에 설치되고, 적어도 하나의 압력 센서는 내부 유로의 출구로에 대응되는 영역에 설치되고, 적어도 하나의 압력 센서는 유체 출구와 대응되는 영역에 설치되는 것을 특징으로 할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 제3층의 하부에는, 제2층의 내부 유로의 출구로의 배출인접영역와 대응되는 영역에 위치하는, 국부 가열용 히터 회로 및 온도 감지 센서가 형성되고, 제2층의 유체 출구와 대응되는 영역에 위치하는, 정전 용량 측정 패드가 형성될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 제3층의 하부에는, 제2층의 내부 유로와 대응되는 영역에 위치하여, 초음파를 발생하는 압전소자 막이 배치되는 것을 특징으로 할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 제1층의 상부에는, 유체 입구의 주변부에 형성되는 원형 형상의 유체 누설 감지 패드를 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
이러한 과제를 해결하고자, 본 발명에서 제공하는 디스펜서 노즐의 제조 방법은 디스펜서 노즐의 일측에 형성되며, 유체가 주입되는 유체 입구; 및 적어도 하나 이상의 댕글링 제거용 출구;를 포함하는 제1층을 형성 하는 단계; 제1층의 유체 입구와 연결되는 내부 유로; 유체 입구의 반대편 끝에 위치하고, 내부 유로와 연결되고 유체가 배출되는 유체 출구; 유체 출구의 주변부에 형성되는 복수개의 댕글링 제거용 흡입구; 및 복수개의 댕글링 제거용 흡입구와 제1층의 댕글링 제거용 출구와 연결되는 댕글링 제거용 채널;을 포함하는 제2층을 형성하는 단계; 및 제2층의 내부 유로 및 유체 출구와 대응되는 위치에 형성되는 복수개의 압력 센서를 포함하는 제3층을 형성하는 단계를 포함한다.
일 실시예에 있어서, 디스펜서의 제조 방법의 순서는 제3층을 먼저 형성하고, 제2층을 형성하고, 제1층을 형성하는 순서로 제작되는 것을 특징으로 할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 제2층의 내부 유로는, 제1층의 유체 입구와 연결되어 유체 출구 방향으로 연장되는 도입로; 도입로의 폭 보다 작은 폭을 가지는 연계로; 및 연계로의 폭보다 넓은 폭을 가지고 유체 출구와 연결되는 출구로를 포함하고, 출구로는 유체의 채널이 좁아지는 영역인 배출인접영역을 포함하고, 복수개의 댕글링 제거용 흡입구는 배출인접영역에 형성되는 것을 특징으로 하고, 압력 센서는 적어도 3개 이상이 설치되며, 적어도 하나의 압력 센서는 내부 유로의 도입로에서 연계로로 연결되는 위치와 대응되는 영역에 설치되고, 적어도 하나의 압력 센서는 내부 유로의 출구로에 대응되는 영역에 설치되고, 적어도 하나의 압력 센서는 유체 출구와 대응되는 영역에 설치되는 것을 특징으로 할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 제3층의 하부에는, 제2층의 내부 유로의 출구로의 배출인접영역와 대응되는 영역에 위치하는, 국부 가열용 히터 회로 및 온도 감지 센서가 형성되고, 제2층의 유체 출구와 대응되는 영역에 위치하는, 정전 용량 측정 패드가 형성되고, 제2층의 내부 유로와 대응되는 영역에 위치하여, 초음파를 발생하는 압전소자 막이 배치되고, 제1층의 상부에는, 유체 입구의 주변부에 형성되는 원형 형상의 유체 누설 감지 패드를 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 단일 노즐 및 다채널 노즐로 분주 시 노즐의 막힘이나 댕글링 발생을 센서를 통해 자동으로 감지하고 제어하여 무인 자동화 작업이 가능하다.
또한, 노즐 유체 채널 끝단에 배치된 압력센서로 인해 막힘 현상을 빠르게 감지하여 대응함으로써, 대응 지연으로 인해 발생되는 관로 누설과 같은 2차 불량을 예방할 수 있다.
또한, 히터 및 온도 센서 내장으로 유체의 온도를 측정하거나 제어가 가능하다.
또한 압전소자 박판을 소자 외측에 접합하여 자체적인 유체의 토출도 가능하다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스펜서 노즐의 상부를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1의 실시예에 따른 디스펜서 노즐의 하부를 나타내는 사시도이다.
도 3은 도 1의 실시예에 따른 디스펜서 노즐의 하부에 적용되는 회로를 나타내는 도면이다.
도 4는 도 1의 실시예에 따른 디스펜서 노즐의 PZT 막 구성을 나타내는 도면이다.
도 5는 도 1의 실시예에 따른 디스펜서 노즐의 제1층을 나타내는 도면이다.
도 6은 도 1의 실시예에 따른 디스펜서 노즐의 제2층을 나타내는 도면이다.
도 7 및 도 8은 도 1의 실시예에 따른 디스펜서 노즐의 제3층을 나타내는 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 명세서에 개시된 실시 예를 상세히 설명하되, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 유사한 구성요소는 동일한 참조 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 이하의 설명에서 사용되는 구성요소에 대한 접미사 "모듈" 및 "부"는 명세서 작성의 용이함만이 고려되어 부여되거나 혼용되는 것으로서, 그 자체로 서로 구별되는 의미 또는 역할을 갖는 것은 아니다. 또한, 본 명세서에 개시된 실시 예를 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 명세서에 개시된 실시 예의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 첨부된 도면은 본 명세서에 개시된 실시 예를 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것일 뿐, 첨부된 도면에 의해 본 명세서에 개시된 기술적 사상이 제한되지 않으며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
또한, 본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
본 발명은 본 발명의 및 필수적 특징을 벗어나지 않는 범위에서 다른 특정한 형태로 구체화될 수 있음은 당업자에게 자명하다.
이하, 도면들을 참조하여 본 발명의 실시 예에 대해 상세히 설명하기로 한다. 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.
디스펜서 노즐의 구성
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스펜서 노즐의 상부를 나타내는 사시도이다. 도 2는 도 1의 실시예에 따른 디스펜서 노즐의 하부를 나타내는 사시도이다.
도 1 및 도 2을 참조하면, 디스펜서 노즐은 상부에서부터 각각 제1층(100), 제2층(200) 및 제3층(300)의 순으로 형성될 수 있다. 디스펜서 노즐은 반도체 공정 방법을 적용하여 제작될 수 있다. 반도체 공정으로 제작하는 유체 노즐은 유체 토출 끝단을 기계식 금형이나 드릴 방식 노즐보다 작고 정밀하게 제작이 가능한 장점을 가진다.
이러한 제조 방법의 순서는 제1층(100), 제2층(200) 및 제3층(300)의 순으로 형성되거나, 역으로 제3층(300)을 먼저 형성하고, 제2층(200)을 형성하고, 제1층(100)을 형성하는 순서로 제작될 수 있다.
제1층(100)에는 디스펜서 노즐(1000)의 일측에 형성되며, 유체가 주입되는 유체 입구(110)가 형성되고, 적어도 하나 이상의 댕글링 제거용 출구(120)가 형성된다. 제1층(100)의 상부에는, 유체 입구(110)의 주변부에 형성되는 원형 형상의 유체 누설 감지 패드(410)가 형성될 수 있다.
도 1 및 도 2에는 나타나 있지 않지만, 제2층(200)에는 제1층(100)의 유체 입구(110)와 연결되는 내부 유로, 유체 입구(110)의 반대측에 위치하고, 내부 유로(210)와 연결되고 유체가 배출되는 유체 출구(220), 유체 출구(220)의 주변부에 형성되는 복수개의 댕글링 제거용 흡입구(230) 및 복수개의 댕글링 제거용 흡입구(230)와 제1층의 댕글링 제거용 출구(120)와 연결되는 댕글링 제거용 채널을 포함한다.
제3층(300)에는, 제2층(200)의 내부 유로(210) 및 유체 출구(220)와 대응되는 위치에 형성되는 복수개의 압력 센서(310)를 포함한다.
도 3은 도 1의 실시예에 따른 디스펜서 노즐의 하부에 적용되는 회로를 나타내는 도면이다. 도 4는 도 1의 실시예에 따른 디스펜서 노즐의 PZT 막 구성을 나타내는 도면이다.
도 3을 참조하면, 제3층(300)의 하부에는, 제2층(200)의 내부 유로(210)의 출구로(213)의 배출인접영역(215)와 대응되는 영역에 위치하는, 국부 가열용 히터 회로 및 온도 감지 센서(420)가 형성된다. 제2층(200)의 유체 출구(220)와 대응되는 영역에 위치하는, 정전 용량 측정 패드(460)가 형성된다.
도 4를 참조하면, 제3층(300)의 하부에는, 제2층(200)의 내부 유로(210)와 대응되는 영역에 위치하여, 초음파를 발생하는 압전소자 막(440)과 압전소자 전극(450)이 배치된다.
디스펜서 노즐의 제작 공정
도 5는 도 1의 실시예에 따른 디스펜서 노즐의 제1층을 나타내는 도면이다. 도 6은 도 1의 실시예에 따른 디스펜서 노즐의 제2층을 나타내는 도면이다. 도 7 및 도 8은 도 1의 실시예에 따른 디스펜서 노즐의 제3층을 나타내는 도면이다.
도 5을 참조하면, 제1층(100)은 디스펜서 노즐(1000)의 일측에 형성되며, 유체가 주입되는 유체 입구(110), 적어도 하나 이상의 댕글링 제거용 출구(120)를 포함한다.
도 6을 참조하면, 제2층(200)은 제1층(100)의 유체 입구(110)와 연결되는 내부 유로(210), 유체 입구(110)의 반대측에 위치하고, 내부 유로(210)와 연결되고 유체가 배출되는 유체 출구(220), 유체 출구(220)의 주변부에 형성되는 복수개의 댕글링 제거용 흡입구(230), 복수개의 댕글링 제거용 흡입구(230)와 제1층의 댕글링 제거용 출구(120)와 연결되는 댕글링 제거용 채널(240)을 포함한다.
특히, 제2층(200)의 내부 유로(210)는 제1층(100)의 유체 입구(110)와 연결되어 유체 출구(220) 방향으로 연장되는 도입로(211), 도입로(211)의 폭 보다 작은 폭을 가지는 연계로(212) 및 연계로(212)의 폭보다 넓은 폭을 가지고 유체 출구(220)와 연결되는 출구로(213)를 포함한다.
출구로(213)는 유체의 채널이 좁아지는 영역인 배출인접영역(215)을 포함하고, 복수개의 댕글링 제거용 흡입구(230)는 배출인접영역(215)에 형성될 수 있다.
도 7 및 도 8을 참조하면, 제3층(300)에는, 제2층(200)의 내부 유로(210) 및 유체 출구(220)와 대응되는 위치에 형성되는 복수개의 압력 센서(310)가 배치된다.
압력 센서(310)는 적어도 3개 이상이 설치되며, 한 압력 센서(313)는 내부 유로(210)의 도입로(211)에서 연계로로 연결되는 위치와 대응되는 영역에 설치되고, 한 압력 센서(312)는 내부 유로(210)의 출구로(213)에 대응되는 영역에 설치되고, 한 압력 센서(311)는 유체 출구(220)와 대응되는 영역에 설치된다.
디스펜서 노즐의 압력 센서
도 6 내지 도 8을 참조하면, 디스펜서 노즐의 내부 유로(210)에 압력 센서(310)를 다수 배치하여 노즐 채널에서의 압력 변화를 빠르게 감지함으로서 노즐의 막힘 현상을 진단할 수 있다.
또한, 유체 출구(220)와 대응되는 영역에 위치하는, 정전 용량 측정 패드(460)의 측정값은 압력 변화의 반응 전달이 느린 물리적인 특성을 보완하여 압력값의 변화를 빠르게 감지할 수 있다.
따라서 다수의 압력 센서(311, 312, 313) 및 정전 용량 측정 패드(460)로 감지하는 압력 변화의 감지를 통해 막히는 지점과 현상을 정확히 진단할 수 있다.
디스펜서 노즐의 댕글링 제어
디스펜서 노즐 끝단의 유체 댕글링 현상은 토출 불량 유발 및 정량 토출에 에러 요인이 될 수 있다. 본 실시예에서느, 댕글링 생성 시 끝단에 형성된 댕글링을 구동 중에 실시간으로 제거할 수 있다.
댕글링 제거용 흡입구(230)를 통해 흡입하고, 이것이 댕글링 제거용 채널(240)을 통하여 댕글링 제거용 출구(120)로 배출한다. 이렇게 제거 유체 채널을 통해 댕글링을 제거하거나, 댕글링을 감지하여 음압을 형성하여 댕글링을 제거할 수 있다.
디스펜서 노즐의 막힘 제어
일반적으로 노즐 끝단에서의 막히는 현상은 노즐의 유체 채널이 좁아지는 지점에서 막힘의 원인이 되는 버블이나 이물질이 모이게 되는 것으로 발생된다. 단순히 노즐 채널의 압력을 상승하는 것으로는 제거가 잘 되지 않는다.
도 2 및 도 3, 도 6을 참조하면, 유체 채널이 좁아지는 지점인 배출인접영역(215)에 압전소자 막(440)과 히터 회로 및 온도 감지 센서(420)가 배치된다. 따라서 배출인접영역(215)에 국부적인 히팅으로 이물질이나 버블을 팽창시키는 동시에 압전소자 막(440)을 통해 초음파 발생으로 버블이나 이물질의 막힘 현상을 제어할 수 있다.
특히, 노즐의 단결정 실리콘측 외면에 배치되는 압전소자(PZT or PMN-PT) 막(440)은 단결정 실리콘 막과 압전 박막간의 변형의 상관관계에 따른 박막의 휨을 이용하여 유체 토출도 설계할 수 있다.
또한, 히터 회로 및 온도 감지 센서(420)는 노즐의 외부 및 내부에 형성되어, 노즐의 온도를 개별적으로 제어 한다. 유체의 채널 안쪽에 형성된 온도 센서를 통해 노즐의 유체 채널의 유체 온도를 측정한다.
도 3을 참조하면, 유체 출구(220)와 대응되는 영역에 위치하는 정전 용량 측정 패드(460)는 노즐 끝단에 형성된다. 이 뿐 아니라, 커넥터 주면 및 기타 여러곳에 배치되어 정전 용량을 측정할 수 있다.
노즐 끝단의 정전 용량 값의 변화는 유체의 수위를 측정하는 기능을 가지고 할 수 있고, 커넥터 주변의 전도성 패드의 정전 용량 값은 커넥터 영역에서의 유체의 누설을 감지할 수 있다.
수위 측정 시 전도성 패드를 통한 정전용량 변화를 통한 감지 (cLLD) 와 압력 변화 감지 (pLLD) 방식으로 동시에 측정하는 기능을 가지며, 이는 정전용량값 에러 발생이나, 압력 변화의 느린 전달 특성을 보완하는 장점을 가질 수 있다.
본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니다. 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명에 따른 구성요소를 치환, 변형 및 변경할 수 있다는 것이 명백할 것이다.
1000 : 디스펜서 노즐
100 : 제1층 200 : 제2층
300 : 제3층
110 : 유체 입구 120 : 댕글링 제거용 출구
210 : 내부 유로 220 : 유체 출구
230 : 댕글링 제거용 흡입구 240 : 댕글링 제거용 채널
310 : 압력센서(311, 312, 313)
211 : 도입로 212 : 연계로
213 : 출구로 215 : 배출인접영역
410 : 유체 누설 감지 패드 420 : 히터 회로 및 온도 감지 센서
440 : 압전소자 막 450 : 압전소자 전극
460 : 정전 용량 측정 패드

Claims (10)

  1. 상부에서부터 각각 제1층(100), 제2층(200) 및 제3층(300)의 순으로 형성되는 디스펜서 노즐(1000)에 있어서,
    상기 제1층(100)에는,
    상기 디스펜서 노즐(1000)의 일측에 형성되며, 유체가 주입되는 유체 입구(110);
    적어도 하나 이상의 댕글링 제거용 출구(120);를 포함하고,
    상기 제2층(200)에는,
    상기 제1층(100)의 유체 입구(110)와 연결되는 내부 유로(210);
    상기 유체 입구(110)의 반대측에 위치하고, 상기 내부 유로(210)와 연결되고 상기 유체가 배출되는 유체 출구(220);
    상기 유체 출구(220)의 주변부에 형성되는 복수개의 댕글링 제거용 흡입구(230);
    상기 복수개의 댕글링 제거용 흡입구(230)와 상기 제1층의 댕글링 제거용 출구(120)와 연결되는 댕글링 제거용 채널(240);을 포함하고,
    상기 제3층(300)에는,
    상기 제2층(200)의 내부 유로(210) 및 유체 출구(220)와 대응되는 위치에 형성되는 복수개의 압력 센서(310)를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스펜서 노즐.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제2층(200)의 내부 유로(210)는,
    상기 제1층(100)의 유체 입구(110)와 연결되어 상기 유체 출구(220) 방향으로 연장되는 도입로(211);
    상기 도입로(211)의 폭 보다 작은 폭을 가지는 연계로(212); 및
    상기 연계로(212)의 폭보다 넓은 폭을 가지고 상기 유체 출구(220)와 연결되는 출구로(213)를 포함하고,
    상기 출구로(213)는 유체의 채널이 좁아지는 영역인 배출인접영역(215)을 포함하고,
    상기 복수개의 댕글링 제거용 흡입구(230)는 상기 배출인접영역(215)에 형성되는 것을 특징으로 하는 디스펜서 노즐.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 압력 센서(310)는 적어도 3개 이상이 설치되며,
    적어도 하나의 상기 압력 센서(313)는 상기 내부 유로(210)의 도입로(211)에서 상기 연계로로 연결되는 위치와 대응되는 영역에 설치되고,
    적어도 하나의 상기 압력 센서(312)는 상기 내부 유로(210)의 출구로(213)에 대응되는 영역에 설치되고,
    적어도 하나의 상기 압력 센서(311)는 상기 유체 출구(220)와 대응되는 영역에 설치되는 것을 특징으로 하는 디스펜서 노즐.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 제3층(300)의 하부에는,
    상기 제2층(200)의 내부 유로(210)의 출구로(213)의 배출인접영역(215)와 대응되는 영역에 위치하는,
    국부 가열용 히터 회로 및 온도 감지 센서(420)가 형성되고,
    상기 제2층(200)의 유체 출구(220)와 대응되는 영역에 위치하는,
    정전 용량 측정 패드(460)가 형성되는 것을 특징으로 하는 디스펜서 노즐.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 제3층(300)의 하부에는,
    상기 제2층(200)의 내부 유로(210)와 대응되는 영역에 위치하여,
    초음파를 발생하는 압전소자 막(440)이 배치되는 것을 특징으로 하는 디스펜서 노즐.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제1층(100)의 상부에는,
    상기 유체 입구(110)의 주변부에 형성되는 원형 형상의 유체 누설 감지 패드(410)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스펜서 노즐.
  7. 디스펜서 노즐(1000)의 일측에 형성되며, 유체가 주입되는 유체 입구(110); 및 적어도 하나 이상의 댕글링 제거용 출구(120);를 포함하는 제1층(100)을 형성 하는 단계;
    상기 제1층(100)의 유체 입구(110)와 연결되는 내부 유로(210); 상기 유체 입구(110)의 반대편 끝에 위치하고, 상기 내부 유로(210)와 연결되고 유체가 배출되는 유체 출구(220); 상기 유체 출구(220)의 주변부에 형성되는 복수개의 댕글링 제거용 흡입구(230); 및 상기 복수개의 댕글링 제거용 흡입구(230)와 상기 제1층(100)의 댕글링 제거용 출구(120)와 연결되는 댕글링 제거용 채널(240);을 포함하는 제2층(200)을 형성하는 단계; 및
    상기 제2층(200)의 내부 유로(210) 및 상기 유체 출구(220)와 대응되는 위치에 형성되는 복수개의 압력 센서(310)를 포함하는 제3층(300)을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스펜서 노즐의 제조 방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기의 제조 방법의 순서는 제3층(300)을 먼저 형성하고, 제2층(200)을 형성하고, 제1층(100)을 형성하는 순서로 제작되는 것을 특징으로 하는 디스펜서 노즐의 제조 방법.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 제2층(200)의 내부 유로(210)는, 상기 제1층(100)의 유체 입구(110)와 연결되어 상기 유체 출구(220) 방향으로 연장되는 도입로(211); 상기 도입로(211)의 폭 보다 작은 폭을 가지는 연계로(212); 및 상기 연계로(212)의 폭보다 넓은 폭을 가지고 상기 유체 출구(220)와 연결되는 출구로(213)를 포함하고,
    상기 출구로(213)는 유체의 채널이 좁아지는 영역인 배출인접영역(215)을 포함하고, 상기 복수개의 댕글링 제거용 흡입구(230)는 상기 배출인접영역(215)에 형성되는 것을 특징으로 하고,
    상기 압력 센서(310)는 적어도 3개 이상이 설치되며,
    적어도 하나의 상기 압력 센서(313)는 상기 내부 유로(210)의 도입로(211)에서 상기 연계로로 연결되는 위치와 대응되는 영역에 설치되고,
    적어도 하나의 상기 압력 센서(312)는 상기 내부 유로(210)의 출구로(213)에 대응되는 영역에 설치되고,
    적어도 하나의 상기 압력 센서(311)는 상기 유체 출구(220)와 대응되는 영역에 설치되는 것을 특징으로 하는 디스펜서 노즐의 제조 방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제3층(300)의 하부에는,
    상기 제2층(200)의 내부 유로(210)의 출구로(213)의 배출인접영역(215)와 대응되는 영역에 위치하는, 국부 가열용 히터 회로 및 온도 감지 센서(420)가 형성되고,
    상기 제2층(200)의 유체 출구(220)와 대응되는 영역에 위치하는, 정전 용량 측정 패드(260)가 형성되고,
    상기 제2층(200)의 내부 유로(210)와 대응되는 영역에 위치하여, 초음파를 발생하는 압전소자 막(440)이 배치되고,
    상기 제1층(100)의 상부에는,
    상기 유체 입구(110)의 주변부에 형성되는 원형 형상의 유체 누설 감지 패드(410)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스펜서 노즐의 제조 방법.
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