CN112234011A - 位置检测装置及位置检测方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种位置检测装置及位置检测方法。位置检测装置包括：出水部，具有出水口，出水口位于用于支撑检测对象(80)的支撑面的第一侧；接水部，具有接收从出水口中流出的水的接水口，接水口位于支撑面的与第一侧相对的第二侧；检测部(40)，设置在接水部上，以检测接水部是否接收到水；控制器(50)，与检测部(40)电连接，以根据检测部(40)的检测结果判断检测对象(80)是否在支撑面上。本发明通过水流对检测对象的位置进行检测，水经过晶圆的表面流走，不会对晶圆中的器件产生影响，有效地解决了光学检测晶圆时晶圆中的器件容易受到光的影响发生损坏或者某些晶圆不能采用光学方式进行位置检测的问题。
Description
技术领域
本发明涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种位置检测装置及位置检测方法。
背景技术
目前，在对晶圆进行加工的工艺过程中，通常需要检测晶圆是否在相应工位且位置正确，以便执行相应动作。具体地，在需要对晶圆进行加工时，检测到晶圆且位置正确则进行工艺过程，在晶圆取走时，检测晶圆不存在，则进行下一步动作。
现有技术中，通常采用光学的方式检测晶圆是否在相应工位，例如激光传感器、光电传感器，具体地，激光传感器或光电传感器通过对射或者反射的方式判断光强值进行晶圆检测，光学检测晶圆的方法方便可靠，且光学传感器种类众多，可适用于多种场合多种设备。
随着半导体工艺的发展，制程节点要求越来越高，对设备的加工要求和检测要求也越来越苛刻。某些工艺制程的晶圆中的器件对光敏感，容易受到光的影响发生损坏，影响晶圆质量；某些工艺制程的晶圆不能采用光学方式进行位置检测。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种位置检测装置及位置检测方法，以解决现有技术中采用光学的方式检测晶圆时晶圆中的器件容易受到光的影响发生损坏或者某些晶圆不能采用光学方式进行位置检测的问题。
为实现上述目的，本发明提供了一种位置检测装置，包括：出水部，具有出水口，出水口位于用于支撑检测对象的支撑面的第一侧；接水部，具有接收从出水口中流出的水的接水口，接水口位于支撑面的与第一侧相对的第二侧；检测部，设置在接水部上，以检测接水部是否接收到水；控制器，与检测部电连接，以根据检测部的检测结果判断检测对象是否在支撑面上。
进一步地，接水口的尺寸大于出水口的尺寸。
进一步地，接水部的接水端的内径从外向内逐渐减小。
进一步地，接水端的内表面为锥形面。
进一步地，接水部还具有排水口，检测部为检测从接水部中流过的水的流量的流量传感器。
进一步地，出水口、接水口及检测部均设有多个且一一对应设置，多个出水口对应于一个支撑面的边缘处，以根据多个检测部检测到的流量值判断检测对象在支撑面上的位置是否准确，或者，支撑面、出水口、接水口及检测部均设有多个且一一对应设置。
进一步地，接水部包括多个接水管，每个接水管的一端为接水口且另一端为排水口，每个接水管上设有检测部。
进一步地，出水部包括多个出水管，每个出水管的一端用于与供水装置连接且另一端为出水口，每个出水管上设有控制其是否出水的开关部，或者，位置检测装置还包括出水总管，多个出水管的一端均通过出水总管与供水装置连接，出水总管上设有控制其是否出水的开关部。
进一步地，位置检测装置还包括开关部，开关部设置在出水部上并与控制器电连接，以控制出水口是否出水，和/或，位置检测装置还包括调压部，调压部设置在出水部上并与控制器电连接，以调节从出水口处流出的水的压力。
本发明还提供了一种位置检测方法，包括以下步骤：步骤S10：水从出水部的出水口流出；步骤S20：检测部检测接水部是否接收到水；步骤S30：控制器根据检测部的检测结果判断检测对象是否在支撑面上。
进一步地，接水部还具有排水口，在步骤S20中，检测部检测从接水部中流过的水的流量；在步骤S30中，控制器根据检测部检测到的流量值判断检测对象是否在支撑面上。
进一步地，在步骤S30中，流量值大于等于预设值，检测对象不在支撑面上；流量值小于预设值时，检测对象在支撑面上，或者，流量值大于等于第一预设值，检测对象不在支撑面上；流量值小于等于第二预设值，检测对象在支撑面上，其中，第一预设值大于第二预设值。
进一步地，出水口、接水部的接水口及检测部均设有多个且一一对应设置，多个出水口对应于一个支撑面的边缘处，在步骤S30中，控制器根据多个检测部检测到的流量值判断检测对象在支撑面上的位置是否准确。
进一步地，在步骤S30中，至少一个流量值大于等于预设值时，检测对象在支撑面上的位置不准确；多个流量值均小于预设值，检测对象在支撑面上的位置准确。
本发明技术方案，具有如下优点：检测时，水从出水口流出，如果出水部的水完全被接水部接收，检测部检测到接水部接收到水并将其检测到的检测结果信号传输给控制器，控制器根据该信号判断检测对象不在支撑面上；如果接水部接收不到水，此时检测对象将出水部与接水部之间的水路阻断，检测部检测到接水部没有接收到水并将其检测到的检测结果信号传输给控制器，控制器根据该信号判断检测对象在支撑面上。上述结构通过水流对检测对象的位置进行检测，水经过晶圆的表面流走，不会对晶圆中的器件产生影响，有效地解决了光学检测晶圆时晶圆中的器件容易受到光的影响发生损坏或者某些晶圆不能采用光学方式进行位置检测的问题，水还可以对晶圆的表面的进行一定的冲洗，提高清洗效率。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1示出了本发明的第一种实施方式中提供的位置检测装置的简易示意图；
图2示出了图1的位置检测装置的检测对象不在支撑面上的简易示意图；
图3示出了本发明的第二种实施方式中提供的位置检测装置的简易示意图；
图4示出了本发明的第三种实施方式中提供的位置检测装置的简易示意图；
图5示出了本发明的第四种实施方式中提供的位置检测装置的简易示意图；
图6示出了本发明的第五种实施方式中提供的位置检测装置的简易示意图。
附图标记说明：
21、出水管；22、出水总管；31、接水管；40、检测部；50、控制器；60、开关部；70、调压部；80、检测对象。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
实施例一
如图1和图2所示，本实施例的位置检测装置包括：出水部、接水部、检测部40及控制器50，出水部具有出水口，出水口位于用于支撑检测对象80的支撑面的第一侧；接水部具有接收从出水口中流出的水的接水口，接水口位于支撑面的与第一侧相对的第二侧；检测部40设置在接水部上，以检测接水部是否接收到水；控制器50与检测部40电连接，以根据检测部40的检测结果判断检测对象80是否在支撑面上。
应用本实施例的位置检测装置，检测时，水从出水口流出，如果出水部的水完全被接水部接收，检测部40检测到接水部接收到水并将其检测到的检测结果信号传输给控制器50，控制器50根据该信号判断检测对象80不在支撑面上；如果接水部接收不到水，此时检测对象将出水部与接水部之间的水路阻断，检测部40检测到接水部没有接收到水并将其检测到的检测结果信号传输给控制器50，控制器50根据该信号判断检测对象在支撑面上。上述结构通过水流对检测对象的位置进行检测，水经过晶圆的表面流走，不会对晶圆中的器件产生影响，有效地解决了光学检测晶圆时晶圆中的器件容易受到光的影响发生损坏或者某些晶圆不能采用光学方式进行位置检测的问题，水还可以对晶圆的表面的进行一定的冲洗，提高清洗效率。
在本实施例中，接水口的尺寸大于出水口的尺寸，接水口可以将从出水口流出的水完全接收，防止水不能被接水口完全接收影响检测结果的情况。
在本实施例中，接水部的接水端的内径从外向内逐渐减小，接水端既可以将从出水口流出的水完全接收，还可以使得接水端中的水及时流走，提高检测准确率，有效地防止水从接水端溢出影响检测结果的情况。具体地，接水端的内表面为锥形面，便于加工制造，降低加工难度和成本。接水端的外表面也为锥形面。当然，接水端的内表面也可以为曲面。
在本实施例中，接水部还具有排水口，检测部40为检测从接水部中流过的水的流量的流量传感器。当检测对象不在支撑面上时，从出水部流出的水完全被接水部接收，流量传感器可检测到水流量；当检测对象在支撑面上时，检测对象将出水部和接水部之间的水路阻断，流量传感器检测的水流量为0或接近于0。通过流量传感器检测水的流量，方便检测。
当检测对象在支撑面上时，检测对象将出水部和接水部之间的水路阻断，可能会有部分水沿检测对象的表面流到接水口中，此时流量传感器也检测到水的流量，进而发生误检测的情况，为了避免发生误检测的情况和提高检测精度，可设定预设值，流量传感器检测到的水的流量值大于等于预设值时，检测对象不在支撑面上；流量传感器检测到的水的流量值小于预设值时，检测对象在支撑面上。
在本实施例中，位置检测装置还包括开关部60，开关部60设置在出水部上并与控制器50电连接，以控制出水口是否出水。当检测到检测对象在支撑面件上时，控制器50通过开关部60控制出水部不出水，节约水资源。具体地，开关部60为开关阀，使用方便，成本低廉。
在本实施例中，位置检测装置还包括调压部70，调压部70设置在出水部上并与控制器50电连接，以调节从出水口处流出的水的压力，使水在一定压力下流出，保证从出水口处流出的水不间断。具体地，调压部70为调压阀，使用方便，成本低廉。
在本实施例中，接水部为一个接水管31，接水管31包括相连接的锥管段和直管段，锥管段的内外径从其与直管段的连接的一端向另一端逐渐增大，锥管段的远离直管段的一端为接水口，直管段的远离锥管段的一端为排水口，直管段上设有流量传感器。
在本实施例中，出水部为一个出水管21，出水管21设有开关阀和调压阀，开关阀和调压阀分别控制出水管21的通断和水压。
在本实施例中，检测对象80为晶圆，在需要对晶圆进行加工时，检测到晶圆且位置正确，则进行工艺过程，控制器控制相应的部件对晶圆进行加工；在晶圆取走时，检测晶圆不存在，则进行下一步动作，例如控制器控制相应的部件将晶圆放在支撑面等。当然，检测对象也并不局限于此，可以采用水流的方式进行检测的检测对象不会因水产生影响。
在本实施例中，出水口对应于晶圆的边缘。当然，出水口也可以对应于晶圆的中心或其他位置。
在本实施例中，晶圆水平放置。当然，晶圆也可以竖直放置。
在本实施例中，位置检测装置设置在清洗晶圆的清洗装置或对晶圆进行中转的中转装置中，清洗装置或中转机构具有支撑部，支撑部具有用于支撑晶圆的支撑面，出水管、接水管等部件均设置在清洗装置或中转装置的固定部件上。当然，如果清洗装置或中转装置上没有合适的固定部件固定出水管、接水管等部件时，需要再另外单独设置，此时位置检测装置还可以包括固定结构，固定结构对出水管、接水管等部件进行固定，固定结构可以与固定部件连接或不连接，固定结构采用现有技术中固定水管的结构即可，在此不再详细赘述。
在本实施例中，从排水口流出的水可以排入清洗装置的污水收集结构，如果中转机构没有污水收集结构，位置检测装置还可以包括污水收集结构，污水收集结构采用现有技术中的结构即可，在此不再详细赘述。
作为可替换的实施方式，如果水可以重复利用，可以设置一个水箱，出水管和接水管均与水箱连接。
作为可替换的实施方式，流量值大于等于第一预设值，检测对象80不在支撑面上；流量值小于等于第二预设值，检测对象80在支撑面上，其中，第一预设值大于第二预设值；流量值小于第一预设值且大于等于第二预设值，此时可能处于异常状态，需要操作人员进行查看。
实施例二
图3示出了本发明的位置检测装置的实施例二的结构，实施例二的位置检测装置与实施例一的区别在于接水管31、出水管21、开关阀、调压阀及流量传感器的数量不同，在实施例二中，出水口、接水口及流量传感器均设有多个且一一对应设置，多个出水口对应于一个支撑面的边缘处，以根据多个流量传感器检测到的流量值判断检测对象80在支撑面上的位置是否准确，进而检测晶圆在支撑面上的放置位置是否准确。
在本实施例中，多个流量值均小于预设值，检测对象80在支撑面上的位置准确，控制器控制相应的部件对晶圆进行加工；至少一个流量值大于等于预设值时，检测对象80在支撑面上的位置不准确，控制器控制相应的部件对晶圆的位置进行调整，或者，控制器控制相应的部件发出提示，以提醒操作人员。
在本实施例中，接水部包括多个接水管31，每个接水管31的一端为接水口且另一端为排水口，每个接水管31上设有流量传感器。通过多个接水管形成接水部，简化整体结构，降低制造成本。
在本实施例中，出水部包括多个出水管21，每个出水管21的一端用于与供水装置连接且另一端为出水口，每个出水管21上设有控制其是否出水的开关阀。通过多个出水管形成出水部，结构简单，便于加工制造，且每个出水管的通断单独控制。
在本实施例中，每个出水管21上设有调压阀，通过调压阀可以控制出水管中的水的压力。
在本实施例中，接水管31、出水管21、流量传感器、开关阀及调压阀均设有三个。当然，接水管31、出水管21、流量传感器、开关阀及调压阀的数量也可以大于三个。
实施例三
图4示出了本发明的位置检测装置的实施例三的结构，实施例三的位置检测装置与实施例二的区别在于出水部的结构不同，在实施例三中，位置检测装置还包括出水总管22，多个出水管21的一端均通过出水总管22与供水装置连接，出水总管22上设有控制其是否出水的开关阀，多个出水管21的通断通过一个开关阀控制，控制更简单，零件数量少，降低成本。
在本实施例中，出水总管22上设有调压阀，通过调压阀可以控制出水总管中的水的压力，进而控制每个出水管21中的水的压力，通过一个调压阀控制多个出水管中的水的压力，减少零件数量，成本低廉。
实施例四
图5示出了本发明的位置检测装置的实施例四的结构，实施例四的位置检测装置与实施例一的区别在于支撑面、接水管31、出水管21、开关阀、调压阀及流量传感器的数量不同，在实施例四中，支撑面、出水口、接水口及检测部40均设有多个且一一对应设置，换言之，一个支撑面上设置一个晶圆，控制器可以同时控制多个工位，便于控制。
在本实施例中，接水部包括多个接水管31，每个接水管31的一端为接水口且另一端为排水口，每个接水管31上设有流量传感器。通过多个接水管形成接水部，简化整体结构，降低制造成本。
在本实施例中，出水部包括多个出水管21，每个出水管21的一端用于与供水装置连接且另一端为出水口，每个出水管21上设有控制其是否出水的开关阀。通过多个出水管形成出水部，结构简单，便于加工制造，且每个出水管的通断单独控制，进而对每个工位进行单独控制。
在本实施例中，每个出水管21上设有调压阀，通过调压阀可以控制出水管中的水的压力。
在本实施例中，一个支撑面对应于一个工位，例如，位置检测装置设置在清洗装置中时，工位为清洗工位，位置检测装置设置在中转装置中时，工位为中转工位，多个工位可以均为清洗工位或中转工位，或者，多个工位的一部分为清洗工位，另一部分为中转工位。
实施例五
图6示出了本发明的位置检测装置的实施例五的结构，实施例五的位置检测装置与实施例四的区别在于出水部的结构不同，在实施例五中，位置检测装置还包括出水总管22，多个出水管21的一端均通过出水总管22与供水装置连接，出水总管22上设有控制其是否出水的开关阀，多个出水管21的通断通过一个开关阀控制，控制更简单，零件数量少，降低成本。
在本实施例中，出水总管22上设有调压阀，通过调压阀可以控制出水总管中的水的压力，进而控制每个出水管21中的水的压力，通过一个调压阀控制多个出水管中的水的压力，减少零件数量，成本低廉。
在本实施例中，位置检测装置设置在清洗装置中时，工位为清洗工位，位置检测装置设置在中转装置中时，工位为中转工位，多个工位均为清洗工位或中转工位，通过一个开关阀和一个调压阀控制多个相同工位，结构更简单。
本发明还提供了一种位置检测方法，包括以下步骤：
步骤S10：水从出水部的出水口流出；
步骤S20：检测部40检测接水部是否接收到水；
步骤S30：控制器50根据检测部40的检测结果判断检测对象80是否在支撑面上。
应用本实施例的检测位置检测方法，检测时，水从出水口流出，如果出水部的水完全被接水部接收，检测部40检测到接水部接收到水并将其检测到的检测结果信号传输给控制器50，控制器50根据该信号判断检测对象80不在支撑面上；如果接水部接收不到水，此时检测对象将出水部与接水部之间的水路阻断，检测部40检测到接水部没有接收到水并将其检测到的检测结果信号传输给控制器50，控制器50根据该信号判断检测对象在支撑面上。上述结构通过水流对检测对象的位置进行检测，水经过晶圆的表面流走，不会对晶圆中的器件产生影响，有效地解决了光学检测晶圆时晶圆中的器件容易受到光的影响发生损坏的问题，水还可以对晶圆的表面的进行一定的冲洗，提高清洗效率。
接水部还具有排水口，在步骤S20中，检测部40检测从接水部中流过的水的流量；在步骤S30中，控制器50根据检测部40检测到的流量值判断检测对象80是否在支撑面上。当检测对象不在支撑面上时，从出水部流出的水完全被接水部接收，流量传感器可检测到水流量；当检测对象在支撑面上时，检测对象将出水部和接水部之间的水路阻断，流量传感器检测的水流量为0或接近于0。通过流量传感器检测水的流量，方便检测。
当检测对象在支撑面上时，检测对象将出水部和接水部之间的水路阻断，可能会有部分水沿检测对象的表面流到接水口中，此时流量传感器也检测到水的流量，进而发生误检测的情况，为了避免发生误检测的情况和提高检测精度，可设定预设值，具体地，在步骤S30中，流量值大于等于预设值，检测对象80不在支撑面上；流量值小于预设值时，检测对象80在支撑面上。
出水口、接水部的接水口及检测部40且一一对应设置，多个出水口对应于一个支撑面的边缘处，在步骤S30中，控制器50根据多个检测部40检测到的流量值判断检测对象80在支撑面上的位置是否准确。不仅可以检测检测对象是否在支撑面上，还可以同时检测检测对象在支撑面上的位置是否准确。具体地，在步骤S30中，至少一个流量值大于等于预设值时，检测对象80在支撑面上的位置不准确；多个流量值均小于预设值，检测对象80在支撑面上的位置准确。
从以上的描述中，可以看出，本发明的上述的实施例实现了如下技术效果：
1、在用于支撑晶圆的支撑面的上侧布置一根或多根出水管，并在出水管上设置调压阀和开关阀，在支撑面的下侧对应布置接水管，接水管的端部采用锥形结构，使从出水管流出的水完全被接水管接收，在接水管上设置流量传感器，可检测从接水管中流过的水的流量判断晶圆是否在工位上。当晶圆不在此工位时，出水管的水完全被接水管接收，流量传感器可检测到水流量；当晶圆在此工位时，晶圆将出水管与接水管之间的水路阻断，接水管处的流量传感器检测到的水流量为0或接近于0。通过水流检测晶圆的方法，有效地解决了光学检测晶圆时晶圆中的器件容易受到光的影响发生损坏的问题，此方法可用在CMP设备或其它类似应用的设备中。
2、通过流量传感器检测从接水管中流过的水流量，可设定一个预设值，流量值当大于等于预设值时，晶圆不在工位上，当流量值小于预设时，晶圆在工位上，有效地提高检测精度，或者，可设定两个预设值，流量值大于等于第一预设值，晶圆不在工位上；流量值小于等于第二预设值，晶圆在工位上，其中，第一预设值大于第二预设值。
3、当使用多个出水管和接水管检测同一工位时，调压阀和开关阀可共同使用一套或每路各用一套，接水管的流量传感器使用多个；当检测不同工位时，调压阀和开关阀可共同使用一套或每路各用一套，每个工位采用独立的接水管，流量传感器使用多个。
显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。
Claims (14)
1.一种位置检测装置，其特征在于，包括：
出水部，具有出水口，所述出水口位于用于支撑检测对象(80)的支撑面的第一侧；
接水部，具有接收从所述出水口中流出的水的接水口，所述接水口位于所述支撑面的与所述第一侧相对的第二侧；
检测部(40)，设置在所述接水部上，以检测所述接水部是否接收到水；
控制器(50)，与所述检测部(40)电连接，以根据所述检测部(40)的检测结果判断所述检测对象(80)是否在所述支撑面上。
2.根据权利要求1所述的位置检测装置，其特征在于，所述接水口的尺寸大于所述出水口的尺寸。
3.根据权利要求2所述的位置检测装置，其特征在于，所述接水部的接水端的内径从外向内逐渐减小。
4.根据权利要求3所述的位置检测装置，其特征在于，所述接水端的内表面为锥形面。
5.根据权利要求1所述的位置检测装置，其特征在于，所述接水部还具有排水口，所述检测部(40)为检测从所述接水部中流过的水的流量的流量传感器。
6.根据权利要求5所述的位置检测装置，其特征在于，
所述出水口、所述接水口及所述检测部(40)均设有多个且一一对应设置，多个所述出水口对应于一个所述支撑面的边缘处，以根据多个所述检测部(40)检测到的流量值判断检测对象(80)在所述支撑面上的位置是否准确，或者，
所述支撑面、所述出水口、所述接水口及所述检测部(40)均设有多个且一一对应设置。
7.根据权利要求6所述的位置检测装置，其特征在于，所述接水部包括多个接水管(31)，每个所述接水管(31)的一端为接水口且另一端为排水口，每个所述接水管(31)上设有所述检测部(40)。
8.根据权利要求6或7所述的位置检测装置，其特征在于，
所述出水部包括多个出水管(21)，每个所述出水管(21)的一端用于与供水装置连接且另一端为出水口，
每个所述出水管(21)上设有控制其是否出水的开关部(60)，或者，所述位置检测装置还包括出水总管(22)，多个所述出水管(21)的一端均通过所述出水总管(22)与所述供水装置连接，所述出水总管(22)上设有控制其是否出水的开关部(60)。
9.根据权利要求1所述的位置检测装置，其特征在于，所述位置检测装置还包括开关部(60)，所述开关部(60)设置在所述出水部上并与所述控制器(50)电连接，以控制所述出水口是否出水，和/或，所述位置检测装置还包括调压部(70)，所述调压部(70)设置在所述出水部上并与所述控制器(50)电连接，以调节从所述出水口处流出的水的压力。
10.一种位置检测方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤S10：水从出水部的出水口流出；
步骤S20：检测部(40)检测接水部是否接收到水；
步骤S30：控制器(50)根据所述检测部(40)的检测结果判断检测对象(80)是否在支撑面上。
11.根据权利要求10所述的位置检测方法，其特征在于，所述接水部还具有排水口，
在所述步骤S20中，所述检测部(40)检测从所述接水部中流过的水的流量；
在所述步骤S30中，所述控制器(50)根据所述检测部(40)检测到的流量值判断检测对象(80)是否在所述支撑面上。
12.根据权利要求11所述的位置检测方法，其特征在于，在所述步骤S30中，所述流量值大于等于预设值，所述检测对象(80)不在所述支撑面上；所述流量值小于所述预设值时，所述检测对象(80)在所述支撑面上，或者，所述流量值大于等于第一预设值，所述检测对象(80)不在所述支撑面上；所述流量值小于等于第二预设值，所述检测对象(80)在所述支撑面上，其中，所述第一预设值大于所述第二预设值。
13.根据权利要求11所述的位置检测方法，其特征在于，所述出水口、所述接水部的接水口及所述检测部(40)均设有多个且一一对应设置，多个所述出水口对应于一个所述支撑面的边缘处，在所述步骤S30中，所述控制器(50)根据多个所述检测部(40)检测到的流量值判断检测对象(80)在所述支撑面上的位置是否准确。
14.根据权利要求13所述的位置检测方法，其特征在于，在所述步骤S30中，至少一个所述流量值大于等于预设值时，所述检测对象(80)在所述支撑面上的位置不准确；多个所述流量值均小于所述预设值，所述检测对象(80)在所述支撑面上的位置准确。
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