CN217384384U - 漏液告警组件、冷却清洗装置及温控设备 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种漏液告警组件、冷却清洗装置及温控设备，该漏液告警组件包括接水盘和液位告警开关，接水盘用于承接由待检测设备泄漏出的液体，且接水盘底部凹设有第一凹槽，液位告警开关设置于第一凹槽内，用于监测第一凹槽内的液位情况；当待检测设备出现漏液时，漏液流入第一凹槽内，液位告警开关根据第一凹槽内的液位情况发出告警信号。本申请采用液位告警开关来实现漏液检测功能，其无源接点不需要任何电力供应，无电压接触的通用信号处理，检测与泡沫、电导率、介质常数、压力、真空、温度、蒸汽、冷凝液、气泡、沸腾效应和振动等无关，减少了故障点，解决了误告警的触发，增加了设备的可靠、安全的稳定运行。

Description

漏液告警组件、冷却清洗装置及温控设备

技术领域

本申请涉及高精密温度控制技术领域，具体涉及一种漏液告警组件、冷却清洗装置及温控设备。

背景技术

对于以光刻机为代表的超精密加工设备的环境控制，除了将设备置于高级洁净室外，设备内部微环境也需要有独立的温控设备，该温控设备可以采用浸没冷却或空气冷却等方式来实现冷却功能。其中，空气冷却的方式由于其布局简单，可以利用洁净室冷冻水换热的方便性而被广泛采用。

而对于采空气冷却的方式来实现冷却功能的温控设备，一般会配备有漏液告警装置，通过漏液告警装置来检测用于换热的管路是否出现漏液的情况。

但是，现有技术中，漏液告警装置通常是采用水浸感应绳和水浸控制器的配合使用来实现漏液检测，具体为将水浸感应绳放置于接水盘中，通过水浸感应绳感触到水份而触发告警，水浸感应绳基于液体导电工作原理检测是否发生漏水，需与水浸控制器配合使用。在实现本申请过程中，发明人发现现有技术中至少存在如下问题：当水浸感应绳任何位置接触到水时，水浸感应绳上的感应线均会发生类似导线短路的状况，而由于水浸感应绳沿线任意位置均可感应到水的出现，当空气湿度过大时也可能会触发误告警，使得检测结果不准确。

实用新型内容

为了克服上述现有技术存在的问题，本申请的主要目的在于提供一种能够避免触发误告警的漏液告警组件。

为了实现上述目的，本申请具体采用以下技术方案：

本申请提供了一种漏液告警组件，所述漏液告警组件包括：

接水盘，用于承接由待检测设备泄漏出的液体，且所述接水盘底部凹设有第一凹槽；

液位告警开关，所述液位告警开关设置于所述第一凹槽内，用于监测所述第一凹槽内的液位情况；

当所述待检测设备出现漏液时，所述漏液流入所述第一凹槽内，所述液位告警开关根据所述第一凹槽内的液位情况发出告警信号。

在一些实施例中，所述漏液告警组件还包括固定支架，所述固定支架连接于所述接水盘底部并位于所述第一凹槽的上方，用于安装所述液位告警开关。

在一些实施例中，所述第一凹槽底部设有排液孔，所述漏液告警组件还包括固定件和密封塞，所述密封塞用于封堵所述排液孔，所述固定件连接于所述固定支架并位于所述第一凹槽处，用于固定所述密封塞。

在一些实施例中，所述接水盘的底壁沿所述第一凹槽的凹陷方向倾斜设置。

相应地，本申请还提供了一种冷却清洗装置，该冷却清洗装置包括换热器、外框及如以上任一实施例所述的漏液告警组件，所述换热器和所述漏液告警组件分别设置于所述外框内。

在一些实施例中，所述冷却清洗装置还包括输入管和输出管，所述换热器包括用于换热的管路，所述输入管和所述输出管分别连接于所述管路，且所述输入管和所述输出管分别经所述外框连接于外部设备。

在一些实施例中，所述冷却清洗装置还包括第一阀门和第二阀门，所述第一阀门设置于所述输入管，用于接入进气管，所述第二阀门设置于所述输出管，用于控制所述输出管的通断。

在一些实施例中，所述外框设置有第二凹槽和排水口，所述排水口设于所述第二凹槽的底部，所述第一凹槽与所述第二凹槽连通，所述输出管与所述第二凹槽连通。

在一些实施例中，所述第二凹槽的容积大于所述第一凹槽的容积，所述第一凹槽位于所述第二凹槽内。

对应地，本申请还提供了一种温控设备，该温控设备包括以上任一实施例所述的冷却清洗装置。

本申请的漏液告警组件包括接水盘和液位告警开关，接水盘用于承接由待检测设备泄漏出的液体，且接水盘底部凹设有第一凹槽，液位告警开关设置于第一凹槽内，用于监测第一凹槽内的液位情况，当待检测设备出现漏液时，漏液流入第一凹槽内，液位告警开关根据第一凹槽内的液位情况发出告警信号。相比于现有技术，本申请采用一组常闭点液位告警开关来实现漏液检测功能，该液位告警开关与液体无直接接触，不磨损和撕裂，无源接点不需要任何电力供应，无电压接触的通用信号处理，检测与泡沫、电导率、介质常数、压力、真空、温度、蒸汽、冷凝液、气泡、沸腾效应和振动等无关，减少了故障点，解决了误告警的触发，增加了设备的可靠、安全的稳定运行。

附图说明

图1为本申请实施例提供的漏液告警组件的安装结构示意图。

图2为图1中的漏液告警组件的俯视图。

图3为图1中的漏液告警组件的截面图。

图4为本申请另一实施例提供的漏液告警组件的安装结构示意图。

附图标识：

1、接水盘；11、第一凹槽；12、排液孔；2、密封塞；3、液位告警开关；4、固定支架；5、固定件；100、漏液告警组件；200、冷却清洗装置；201、换热器；202、外框；202a、第二凹槽；202b、排水口；203、输入管；204、输出管；205、第一阀门；206、第二阀门。

具体实施方式

为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

在本申请的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“第一”、“第二”仅用于描述的目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；除非另有规定或说明，术语“多个”是指两个或两个以上；术语“连接”、“固定”等均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接，或电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

本说明书的描述中，需要理解的是，本申请实施例所描述的“上”、“下”等方位词是以附图所示的角度来进行描述的，不应理解为对本申请实施例的限定。此外，在上下文中，还需要理解的是，当提到一个元件连接在另一个元件“上”或者“下”时，其不仅能够直接连接在另一个元件“上”或者“下”，也可以通过中间元件间接连接在另一个元件“上”或者“下”。

本申请的漏液告警组件应用于内部流有液体的待检测设备，例如换热器，用于检测待检测设备是否发生漏液的情况，本实施例的漏液告警组件安装于冷却清洗装置中，用于检测冷却清洗装置中换热器是否漏液。

目前时间主流光刻机的节点尺寸已经达到20nm以下，套刻精度达到3nm甚至更低，并且12nm芯片成功运用于商业生产中。光刻机在工作时，所处局部环境在空间上的不均匀或者随时间波动、漂移均会对最终的光刻定位精度、套刻精度等产生影响，具体有工件台关键零部件由于温度的空间分布不均匀和波动、漂移产生形变，从而导致运动误差；以激光干涉仪为代表的超精密传感、测量装置，由于温度、湿度、压力的空间分布不均匀和波动、漂移产生测量误差。由此可见以光刻机为代表的超精密加工设备不仅对外界大环境有要求，对于本身内部的微环境更是有着非常苛刻的要求来保证加工精度。

对于以光刻机为代表的超精密加工设备的环境控制，除了将设备置于高级洁净室外，设备内部微环境也需要有独立的温控设备，如浸没冷却，空气冷却等。其中，空气冷却由于其布局简单，可以利用洁净室冷冻水换热的方便性而被广泛采用。但是由于空气本身的比热容小，在环境微调节中很容易波动和产生局部不均匀性，所以对于超精密温控设备来说，内部每一环节都需要做好稳定控制和温度流场分布均匀的设计。而现有技术中，对于如何解决超精密温控设备各部件工作的稳定性和可靠性，目前针对漏液告警触发模式结构尚未有稳定可靠的解决方案。

现有技术中，漏液告警装置通常是采用水浸感应绳和水浸控制器的配合使用来实现漏液检测，具体为将水浸感应绳放置于接水盘中，通过水浸感应绳感触到水份而触发告警，水浸感应绳基于液体导电工作原理检测是否发生漏水，需与水浸控制器配合使用。当水浸感应绳任何位置接触到水时，水浸感应绳上的感应线均会发生类似导线短路的状况，而由于水浸感应绳沿线任意位置均可感应到水的出现，当空气湿度过大时也可能会触发误告警，使得检测结果不准确；且水浸感应绳需要与水浸控制器配合使用其中也增加了一个故障点；同时，当设备触发告警时，需要用专用的吹干设备把水浸绳上水分完全蒸发才可消除告警重复使用，浪费时间及劳动成本。

参照图1所示，图1为本申请实施例提供的漏液告警组件的安装结构示意图。该漏液告警组件100用于检测内部流有液体的待检测设备是否漏液，该待检测设备在本实施例中为换热器201，该换热器201包括设备本体和管路，管路至少部分设置于设备本体，用于带走设备本体的热量，以实现换热冷却功能。漏液告警组件100用于检测管路是否发生漏液情况。

具体地，该漏液告警组件100包括接水盘1、密封塞2和液位告警开关3，接水盘1设置于管路下方，用于承接由管路泄漏出的液体，且接水盘1底部凹设有第一凹槽11，第一凹槽11底部设有排液孔12。密封塞2封堵于排液孔12，液位告警开关3设置于第一凹槽11内，用于监测第一凹槽11内的液位情况。当管路出现漏液时，漏液汇入接水盘1中，再流入第一凹槽11内，使液位告警开关3能够根据第一凹槽11内的液位情况发出告警信号。若需解除液位告警开关3的当前告警时，只需拔出密封塞2，排出第一凹槽11内的液体即可。告警消除后，再将密封塞2封堵住排液孔12。

本申请采用一组常闭点液位告警开关来实现漏液检测功能，该液位告警开关与液体无直接接触(液位告警开关利用浮球内的磁性系统，通过本体管去触发磁簧开关的闭合或断开，以产生开关动作，从而达到检测液位的目的)，不磨损和撕裂，无源接点不需要任何电力供应，无电压接触的通用信号处理，检测与泡沫、电导率、介质常数、压力、真空、温度、蒸汽、冷凝液、气泡、沸腾效应和振动等无关，减少了故障点，解决了误告警的触发，增加了设备的可靠、安全的稳定运行；且该漏液告警装置无需与控制器配合使用，减了出现故障的可能性；同时，当设备触发告警时，只需排出第一凹槽11内的液体即可继续使用液位告警开关，减少了时间及劳动成本。

参照图2和图3所示，图2为图1中的漏液告警组件的俯视图，图3为图1中的漏液告警组件的截面图。该漏液告警组件100还包括固定支架4和固定件5，固定支架4通过螺丝连接于接水盘1底部并位于第一凹槽11上方，用于安装液位告警开关3，在本实施例中，液位告警开关3的上端与固定支架4连接，使液位告警开关3悬空设置。固定件5通过螺丝连接于固定支架4并位于第一凹槽11处，用于抵压于密封塞2，以对密封塞2进行固定，防止密封塞2松动漏液。

在一些实施例中，密封塞2可以为翻转芯密封结构或弹跳芯密封结构，提高了维护的便利性，节省维护时间。

在一些实施例中，接水盘1可以设计成锥状、椭圆、曲面等加快液体快速流动到点、面、位的结构方式，为触发告警信缩短时间。

当管路内部任意部位出现漏液时，漏液汇入接水盘1中，然后流入第一凹槽11内，若第一凹槽11内的液位触发到液位告警开关3的告警量时，液位告警开关3的常闭点断开，发出告警信号；若要解除当前告警，只需移出固定件5后，拔出密封塞2，排出第一凹槽11内的液体，即可消除告警。故障解决后恢复密封塞2和固定件5至原位置。

本申请的漏液告警装置减少了故障点，解决了误告警的触发，增加了设备的可靠、安全的稳定运行。

基于上述实施例的基础上，本申请还公开了另一种具体实施方式，参照图4所示，图4为本申请另一实施例提供的漏液告警组件的安装结构示意图，本实施例与上述实施例的区别在于，在本实施例中，接水盘1的底壁沿第一凹槽11的凹陷方向倾斜设置，具体地，接水盘1的底壁设为斜面，斜面朝向第一凹槽11的方向倾斜，使第一凹槽11位于接水盘1底壁的最低位处，以便于汇入接水盘1内的液体能够快速地流入第一凹槽11内，使液位告警开关3快速触发告警信号，为抢修设备争取更多的时间。

基于上述实施例的基础上，本申请还公开了一种冷却清洗装置，该冷却清洗装置应用于超精密加设备中的温控设备，用于对超精密加设备的内部微环境进行温度控制。超精密加工设备可以为诸如以光刻机为代表的超精密加工、测量装备，超精密车床、磨床等机械加工设备。继续参照图1所示，该冷却清洗装置200包括换热器201、外框202和以上任一实施例所述的漏液告警组件100，换热器201和漏液告警组件100分别设置于外框202内,且漏液告警组件100中的接水盘设置于外框202底部。换热器201用于对超精密加工设备的内部微环境进行温度控制，漏液告警组件100用于检测换热器201内管路是否发生漏液情况，以能够及时对管路进行维修，保证设备的正常运行。

具体地，该冷却清洗装置200还包括输入管203、输出管204、第一阀门205和第二阀门206。换热器201包括设备本体和用于换热的管路，管路至少部分设置于设备本体，用于进行换热冷却。输入管203和输出管204分别连接于管路，且输入管203和输出管204分别经外框202连接于外部设备。第一阀门205设置于输入管203，用于接入进气管。第二阀门206设置于输出管204，用于控制输出管204的通断。在需要对管路进行清洗时，使清洗液由输入管203流入，并流经各管路，再经输出管204流出，以完成对管路的清洗工作。

继续参照图2所示，外框202设置有第二凹槽202a和排水口202b，排水口202b设于第二凹槽202a的底部，第一凹槽11经排液孔12与第二凹槽202a连通，输出管204穿过接水盘1与第二凹槽202a连通。

在本实施例中，第二凹槽202a的容积大于第一凹槽11的容积，且第一凹槽11位于第二凹槽202a内，本实施例通过将第一凹槽11和第二凹槽202a集合在一起，从而使清洗排液与漏液排液结合在一起，节省了空间的占用，降低了生产成本。可以理解，在其他实施例中，第一凹槽11也可以不设于第二凹槽202a内。

当管路内部任意部位出现漏液时，漏液汇入接水盘1中，然后流入第一凹槽11内，若第一凹槽11内的液位触发到液位告警开关3的告警量时，液位告警开关3的常闭点断开，发出告警信号；若要解除当前告警，只需移出固定件5后，拔出密封塞2，使第一凹槽11内的液体经排液孔12排出至第二凹槽202a内，即可消除告警，第二凹槽202a内的液体可以经排水口202b排至设备外。故障解决后恢复密封塞2和固定件5至原位置。

当设备输出气流的洁净度指标无法满足要求时，就需要对设备系统进行维护清洁处理。具体清洁过程为：停止设备运行，使系统进入维护清洁状态，同时开启第二阀门，此时清洗液经输入管203流入，并流经各管路，对各管路进行清洗，然后再通过输出管204流到第二凹槽202a内，最后通过排水口202b排出管路内受污染的液体；当管路内的液体排除干净后，将进气管插入第一阀门205，以对设备内部的管路进行气压彻底清洁，清洁完成开启，开启设备正常运转。

由于对超精密加工设备的高精度输出要求，需要对超精密加工设备内部的温控模块及控制部件的构造运行有极高的洁净度要求，所以对设备结构的密封性、器件的结构性都有极高的要求，目前同类设备的温控设备无法进行内部定期的清洗，设备在运行一定的时间后无法满足气体测试，在1000级净化间测试，出风口颗粒度不超过1000级。

为了解决设备因长期运行无法满足气体输出苛刻的洁净度要求，本申请由输入管203、输出管204、接水盘1、第二凹槽202a及排水口202b等组成排水清洁机构，从而解决了设备因长期运行无法满足气体输出苛刻的洁净要求，保证了设备的定期清洗要求，使设备的气体输出洁净度得到了保障。

相应地，本申请还公开了一种温控设备，该温控设备包括以上任一实施例所述的冷却清洗装置。

以上所述，仅为本申请较佳的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此，本申请的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种漏液告警组件，其特征在于，包括：

接水盘，用于承接由待检测设备泄漏出的液体，且所述接水盘底部凹设有第一凹槽；

液位告警开关，所述液位告警开关设置于所述第一凹槽内，用于监测所述第一凹槽内的液位情况；

当所述待检测设备出现漏液时，所述漏液流入所述第一凹槽内，所述液位告警开关根据所述第一凹槽内的液位情况发出告警信号。

2.根据权利要求1所述的漏液告警组件，其特征在于，所述漏液告警组件还包括固定支架，所述固定支架连接于所述接水盘底部并位于所述第一凹槽的上方，用于安装所述液位告警开关。

3.根据权利要求2所述的漏液告警组件，其特征在于，所述第一凹槽底部设有排液孔，所述漏液告警组件还包括固定件和密封塞，所述密封塞用于封堵所述排液孔，所述固定件连接于所述固定支架并位于所述第一凹槽处，用于固定所述密封塞。

4.根据权利要求1～3任一项所述的漏液告警组件，其特征在于，所述接水盘的底壁沿所述第一凹槽的凹陷方向倾斜设置。

5.一种冷却清洗装置，其特征在于，包括换热器、外框及如权利要求1～4任一项所述的漏液告警组件，所述换热器和所述漏液告警组件分别设置于所述外框内。

6.根据权利要求5所述的冷却清洗装置，其特征在于，所述冷却清洗装置还包括输入管和输出管，所述换热器包括用于换热的管路，所述输入管和所述输出管分别连接于所述管路，且所述输入管和所述输出管分别经所述外框连接于外部设备。

7.根据权利要求6所述的冷却清洗装置，其特征在于，所述冷却清洗装置还包括第一阀门和第二阀门，所述第一阀门设置于所述输入管，用于接入进气管，所述第二阀门设置于所述输出管，用于控制所述输出管的通断。

8.根据权利要求6所述的冷却清洗装置，其特征在于，所述外框设置有第二凹槽和排水口，所述排水口设于所述第二凹槽的底部，所述第一凹槽与所述第二凹槽连通，所述输出管与所述第二凹槽连通。

9.根据权利要求8所述的冷却清洗装置，其特征在于，所述第二凹槽的容积大于所述第一凹槽的容积，所述第一凹槽位于所述第二凹槽内。

10.一种温控设备，其特征在于，所述温控设备包括权利要求5～9任一项所述的冷却清洗装置。

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