CN216726619U - 一种液体检测装置及洗涤塔 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种液体检测装置及洗涤塔。其中，所述液体检测装置包括至少一个水平设置的连接管道和检测传感器，所述检测传感器垂直安装在所述连接管道上，所述检测传感器的检测端伸入所述连接管道内，且所述检测端不高于所述连接管道的中心线，以使所述检测端接触所述连接管道内的液体以进行检测。本实施例提供的液体检测装置中，检测传感器的检测端不高于连接管道高度的1/2。然后，将该液体检测装置用于对洗涤塔中流通的洗涤液进行检测，在洗涤塔的循环管道内的液体流速发生突变后，可确保有液体持续流过检测传感器的检测端，使得检测传感器可保持正常工作。

Description

一种液体检测装置及洗涤塔

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种液体检测装置及洗涤塔。

背景技术

在半导体芯片制造厂中，洗涤塔常作为尾气处理装置，用于将各种酸碱等水溶性气体中的有害物质去除后再排入空气中。在洗涤塔中的循环管道上常安装有一些检测传感器，对塔内流通的洗涤液进行监测以监控洗涤塔的运行情况。

在洗涤塔中，检测传感器多垂直于循环管道进行安装。如图1中的a部分所示，当循环管道400内的液体稳定流动时，液体填满整个管路，检测传感器120的检测端可与液体接触以进行检测，检测数据较稳定，变化趋势也呈现正常的周期性变化。但是，在循环管道400内的液体流速发生突变后(例如循环泵骤启或骤停后)，容易发生检测数据骤降、或长时间保持错误值不变等异常情况，无法正常监控洗涤塔的运行。

例如在循环泵骤停后，受重力影响，循环管道400内的液体会自然排空(如图1中的b部分所示)。在循环泵骤启时，因循环管道400内无压力，液体直接从管道中流过，无法填满整个管道(如图1中的c部分所示)，进而导致检测传感器120的检测端无法与液体接触，无法正常行使检测功能，从而导致检测数据异常。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种液体检测装置及洗涤塔，以解决现有的洗涤塔的循环管道内的液体流速发生突变后，检测传感器的检测端无法与液体接触，无法正常工作的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种液体检测装置，包括：

至少一个水平设置的连接管道；以及，

检测传感器，垂直安装在所述连接管道上，所述检测传感器的检测端从所述连接管道的上方伸入所述连接管道内，且所述检测端不高于所述连接管道的中心线，以使所述检测端接触所述连接管道内流过的液体以进行检测。

可选的，所述检测传感器的检测端包括检测孔，所述检测孔的中心线与所述连接管道的中心线齐平。

可选的，还包括多个流通管道，在每个所述连接管道的两端分别固定连接有一个所述流通管道。

可选的，所述连接管道的管径大于所述流通管道的管径。

可选的，所述流通管道的中心线与所述连接管道的中心线齐平。

可选的，所述连接管道的管径不超过所述流通管道的管径的2倍。

可选的，所述连接管道上垂直设置有安装管道，所述检测传感器的检测端穿过所述安装管道，并伸入所述连接管道内。

可选的，每个所述连接管道上安装有一个所述检测传感器；或者，每个所述连接管道上安装有多个检测传感器。

可选的，所述检测传感器包括PH检测传感器和电导度计中的至少其中之一。

本实用新型还提供一种洗涤塔，包括塔体、与所述塔体连接的循环泵和与所述循环泵连接的循环管道，所述洗涤塔还包括如上所述的液体检测装置，所述液体检测装置设置在所述循环管道的预定节点。

综上可见，在本实用新型实施例提供的液体检测装置中，检测传感器的检测端不高于连接管道的中心线，即检测传感器的检测端不高于连接管道高度的1/2。然后，将该液体检测装置用于对洗涤塔中流通的洗涤液进行检测，在洗涤塔的循环管道内的液体流速发生突变后，可确保有液体持续流过检测传感器的检测端，使得检测传感器可保持正常工作，有效避免异常数据的出现。同时，连接管道的管径大于流通管道的管径，即连接管道内的空间相对较大，为液体流动预留出一定的空间，以减小检测传感器对液体流动的阻挡作用，确保检测传感器保持正常工作的同时不影响洗涤液的传输。

附图说明

图1为现有技术中洗涤塔不同状态下的管道内液体流动变化的示意图；

图2为本实用新型一实施例提供的液体检测装置的示意图；

图3为本实用新型一实施例提供的洗涤塔的示意图。

图4为本实用新型一实施例提供的洗涤塔不同状态下的液体检测装置中液体流动变化的示意图；

图中，

100-液体检测装置；110-连接管道；120-检测传感器；121-检测孔；130-流通管道；140-安装管道；200-塔体；300-循环泵；400-循环管道。

具体实施方式

在洗涤塔的循环管道内的液体流速发生突变后，例如在循环泵骤停后，受重力影响，循环管路内的液体会自然排空。在循环泵骤启时，因循环管道内无压力，导致液体直接从管路中流过，无法填满整个管道，进而导致检测传感器的检测端无法与液体接触，无法正常行使检测功能，从而导致检测数据异常。

本实施例提供了一种液体检测装置及洗涤塔，液体检测装置中的检测传感器的检测端不高于连接管道的中心线，即检测传感器的检测端不高于连接管道高度的1/2。从而，在洗涤塔的循环管道内的液体流速发生突变后，确保有液体持续流过检测传感器的检测端，使得检测传感器可保持正常工作。

以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的液体检测装置及洗涤塔作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

图2为本实用新型一实施例提供的液体检测装置的示意图。如图2所示，本实施例提供的液体检测装置100包括至少一个水平设置的连接管道110和检测传感器120，用于对流通的液体进行监测(例如，用于对洗涤塔内的洗涤液进行检测，以监控洗涤塔的运行情况)。

其中，所述检测传感器120垂直安装在所述连接管道110上，所述检测传感器120的检测端从所述连接管道110的上方伸入所述连接管道110内，且所述检测端不高于所述连接管道110的中心线，以使所述检测端接触所述连接管道110内流过的液体以进行检测。

在洗涤塔骤停后启动时，循环管道中液体的液位多维持在管道高度的3/4-4/5处。因此，本实施例中设置所述检测传感器120的检测端不高于所述连接管道110的中心线，即调整所述检测传感器120的检测端不高于所述连接管道110高度的1/2。从而，在循环管道内的液体流速发生突变后(洗涤塔骤停后启动)，确保有液体持续流过所述检测传感器120的检测端，使得所述检测传感器120可保持正常工作，有效避免异常数据的出现。

进一步的，所述检测传感器120的检测端包括检测孔121，所述检测孔121的中间线与所述连接管道110的中心线齐平。本实施例中，例如采用带有检测孔121的检测传感器，通过所述检测孔121与管道内的液体接触以实现检测。其中，所述检测孔121位于所述检测传感器120的端部。本实施例中，设置所述检测孔121的中间线与所述连接管道110的中心线齐平，即所述检测孔121的中心线位于所述连接管道110的高度的1/2处，以确保有液体持续流过所述检测孔121，使得所述检测传感器120可保持正常工作。其中，所述检测传感器120例如包括PH检测传感器和电导度计中的至少其中之一，用于检测洗涤塔内溶液的PH值或者电导率，以对洗涤塔内流过的洗涤液进行监控。

继续参考图2所示，本实施例提供的液体检测装置100还包括多个流通管道130，在每个所述连接管道110的两端分别固定连接有一个所述流通管道130。其中，所述流通管道130和所述连接管道110例如为一体成型；或者，所述流通管道130和所述连接管道110独立设置，利用连接件进行固定。

具体的，多个相互连接的所述流通管道130和所述连接管道110形成所述液体检测装置100中的液体流动管道，位于所述液体检测装置100两端的两个所述流通管道130暴露出来的管口，可作为所述液体检测装置100的连接口，用于与其他设备进行。其中，在靠近所述连接管道110端部的位置处，所述流通管道130与所述连接管道110位于同一直线上；在远离所述连接管道110端部的位置处，所述流通管道130可根据需要进行弯曲设置。

进一步的，所述连接管道110的管径大于所述流通管道130的管径。例如，设置所述连接管道110的管径不超过所述流通管道130的管径的2倍。则在所述液体检测装置100中，所述连接管道110的边缘较所述流通管道130的边缘凸出。具体的，所述流通管道130的中心线与所述连接管道110的中心线齐平。

由于所述检测传感器120的检测端需伸入所述连接管道110中且高度相对较低，会占用管道内的一部分空间，从而会对洗涤液的流动产生一定的阻挡，影响洗涤液的传输效率。因此，本实施例中，设置所述连接管道110的管径大于所述流通管道130的管径，即增大所述连接管道110内的空间，为液体流动预留出较多的空间，以减小所述检测传感器120对液体流动的阻挡作用，以确保所述检测传感器120保持正常工作的同时不影响洗涤液的传输。

继续参考图2所示，所述连接管道110上垂直设置有安装管道140，所述检测传感器120的检测端穿过所述安装管道140，并伸入所述连接管道110内。本实施例中，所述安装管道140的形状和尺寸与所述检测传感器120的形状和尺寸相匹配，每个所述安装管道140内固定一个所述检测传感器120，以利用所述安装管道140对所述检测传感器120进行保护和固定。具体的，所述安装管道140垂直地固定在所述连接管道110的上方，与所述连接管道110相连通。然后，所述检测传感器120的检测端从所述安装管道140的开口处插入，并伸入至所述连接管道110内。所述检测传感器120的另一端伸出所述安装管道140，且在靠近所述安装管道140开口的位置处，与所述安装管道140进行固定。其中，在所述检测传感器120的另一端，例如为数据传输端，可将采集到的数据传输至远程监控终端(例如计算机)，以对洗涤塔进行监控。

进一步的，每个所述连接管道110上安装有一个所述检测传感器120。即，在每个所述连接管道110上设置有一个所述安装管道140，根据需要进行检测传感器120的设置。或者，每个所述连接管道110上安装有多个检测传感器120。例如，在同一个所述连接管道110上设置多个安装管道140，并分别装入功能不同的检测传感器120，可同步进行不同参数的检测；或者，在一个安装管道140内设置多个检测传感器。

本实施例还提供了一种洗涤塔，包括塔体200、与所述塔体200连接的循环泵300和所述循环泵300连接循环管道400，所述洗涤塔还包括上述的液体检测装置100，所述液体检测装置100设置在所述循环管道400的预定节点。其中，可根据需要，在洗涤塔中，设置多组所述液体检测装置100。

图3为本实用新型一实施例提供的洗涤塔的示意图。如图3所示，通过所述循环管道400，将所述循环泵300的入口与所述塔体200的底部相连接，所述循环泵300的出口与所述塔体200的顶部相连接。即所述循环泵300的入口和出口分别连接至所述塔体200的底部和顶部，用以将所述塔体200底部的洗涤液抽出并送至所述塔体200顶部(即在所述循环管道400内洗涤液由下往上传输)，以便于洗涤液可通过位于所述塔体200顶部的喷洒装置喷洒进所述塔体200内部。接着，洗涤液经位于所述塔体200顶部的喷洒装置均匀洒下并回到所述塔体200的底部，再由所述循环泵300输送至所述塔体200的顶部而形成一循环作业。同时，废气则由位于所述塔体200底部的进气口进入，然后向上流动并与喷洒装置喷出的洗涤液接触，使废气中的污染物(如微粒、酸气等)溶入洗涤液中以进行净化，而经净化的气体则由位于所述塔体200顶部的排出口排出。

进一步的，如图3所示，在洗涤塔中，所述液体检测装置100设置在所述循环泵300的出口与所述塔体200的顶部之间，则所述液体检测装置100中洗涤液也为由下往上流动。

在所述液体检测装置100中，所述检测传感器120的检测端需要伸入至管道内部并与液体接触以进行检测，而所述检测传感器120伸入管道内的部分会对液体流动产生阻挡作用，从而影响洗涤液的传输效率。因此，本实施例中，设置所述液体检测装置100独立与所述循环管道300，以分流出部分溶液至所述液体检测装置100中，用于洗涤液的监测，从而减小所述检测传感器120对洗涤液的传输效率的影响。具体的，例如可采用三通接头，将所述液体检测装置100的连接口与所述循环管道300进行连接，即位于所述液体检测装置100两端的两个所述流通管道130中暴露出来的管口分别与所述循环管道300进行连接。

图4为本实用新型一实施例提供的洗涤塔不同状态下的液体检测装置中液体流动变化的示意图。如图4中的a部分所示，在洗涤塔正常运行时，所述流通管道130和所述连接管道110中均充满了洗涤液，所述检测传感器120的检测孔121与洗涤液接触以进行检测，可保持正常工作。

如图4中的b部分所示，例如为洗涤塔中循环泵骤停，受重力作用，所述液体检测装置100的管道内的洗涤液将自然排空(由上往下流)。此时，因所述连接管道110的边缘较所述流通管道130的边缘凸出，则在所述连接管道110的底部凸出的部分中，仍残留有少量液体。

如图4中的c部分所示，在洗涤塔骤启后的一段时间内，洗涤液无法填满所述液体检测装置100中的管道，液位保持在管道高度的3/4-4/5处。本实施例中，设置所述检测传感器120的所述检测孔121的中间线与所述连接管道110的中心线齐平，即所述检测孔121位于所述连接管道110的高度的1/2处，从而使得有液体持续流过所述检测孔121，使得所述检测传感器120保持正常工作。

综上可见，在本实用新型实施例提供的液体检测装置中，设置检测传感器的检测端不高于连接管道的中心线，即检测传感器的检测端不高于连接管道高度的1/2。然后，将该液体检测装置用于对洗涤塔中流通的洗涤液进行检测，在洗涤塔的循环管道内的液体流速发生突变后，可确保有液体持续流过检测传感器的检测端，使得检测传感器可保持正常工作，有效避免异常数据的出现。同时，连接管道的管径大于流通管道的管径，即连接管道内的空间相对较大，为液体流动预留出一定的空间，以减小检测传感器对液体流动的阻挡作用，确保检测传感器保持正常工作的同时不影响洗涤液的传输。

上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本实用新型领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。

Claims (10)

1.一种液体检测装置，其特征在于，包括：

至少一个水平设置的连接管道；以及，

检测传感器，垂直安装在所述连接管道上，所述检测传感器的检测端从所述连接管道的上方伸入所述连接管道内，且所述检测端不高于所述连接管道的中心线，以使所述检测端接触所述连接管道内流过的液体以进行检测。

2.如权利要求1所述的液体检测装置，其特征在于，所述检测传感器的检测端包括检测孔，所述检测孔的中心线与所述连接管道的中心线齐平。

3.如权利要求1所述的液体检测装置，其特征在于，还包括多个流通管道，在每个所述连接管道的两端分别固定连接有一个所述流通管道。

4.如权利要求3所述的液体检测装置，其特征在于，所述连接管道的管径大于所述流通管道的管径。

5.如权利要求3所述的液体检测装置，其特征在于，所述流通管道的中心线与所述连接管道的中心线齐平。

6.如权利要求4所述的液体检测装置，其特征在于，所述连接管道的管径不超过所述流通管道的管径的2倍。

7.如权利要求1所述的液体检测装置，其特征在于，所述连接管道上垂直设置有安装管道，所述检测传感器的检测端穿过所述安装管道，并伸入所述连接管道内。

8.如权利要求1所述的液体检测装置，其特征在于，每个所述连接管道上安装有一个所述检测传感器；或者，每个所述连接管道上安装有多个检测传感器。

9.如权利要求1所述的液体检测装置，其特征在于，所述检测传感器包括PH检测传感器和电导度计中的至少其中之一。

10.一种洗涤塔，其特征在于，包括塔体、与所述塔体连接的循环泵和与所述循环泵连接的循环管道，所述洗涤塔还包括如权利要求1-9任一项所述的液体检测装置，所述液体检测装置设置在所述循环管道的预定节点。

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